JPH0581714A - Magneto-optical recording medium - Google Patents
Magneto-optical recording mediumInfo
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- JPH0581714A JPH0581714A JP26548891A JP26548891A JPH0581714A JP H0581714 A JPH0581714 A JP H0581714A JP 26548891 A JP26548891 A JP 26548891A JP 26548891 A JP26548891 A JP 26548891A JP H0581714 A JPH0581714 A JP H0581714A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、高い再生信号特性およ
び高記録感度を有する再生可能な光磁気記録媒体に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a reproducible magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics and high recording sensitivity.
【0002】[0002]
【従来の技術】情報の記録・再生を繰返すこと、すなわ
ち情報の書換えが可能な記録層(磁性層)を備えた記録
媒体として、磁性層の微細な区域を光によってキュリー
点まで加熱し、この区域の保磁力が極端に低下した状態
で外部磁界を印加し磁化方向の反転を生じさせ、情報を
記録する光磁気記録媒体が実用化されている。2. Description of the Related Art As a recording medium having a recording layer (magnetic layer) on which information can be repeatedly recorded and reproduced, that is, information can be rewritten, a fine area of the magnetic layer is heated by light to a Curie point. A magneto-optical recording medium that records information by applying an external magnetic field and reversing the magnetization direction in a state where the coercive force of the area is extremely reduced has been put into practical use.
【0003】このような光磁気記録媒体では、情報は
0,1に対応する磁化方向の反転区域と未反転区域との
繰り返しとして記録される。記録された情報は、例えば
レーザー光が記録層の表面で反射する際に、その偏向面
が磁化の方向によって異なる方向に回転するカー効果を
利用し、この回転角(カー回転角θκ)の変化を読み取
ることにより再生される。In such a magneto-optical recording medium, information is recorded as a repetition of a reversal area and a non-reversal area of the magnetization direction corresponding to 0 and 1. The recorded information uses, for example, the Kerr effect in which the deflection surface rotates in different directions depending on the direction of magnetization when the laser light is reflected on the surface of the recording layer, and the change in this rotation angle (Kerr rotation angle θκ) Is played by reading.
【0004】磁性層のカー回転角θκは、記録された情
報の再生特性に重大な影響をおよぼし、例えば情報の読
取りやすさの指標となるC/N比(再生信号特性)は、
カー回転角θκの増大とともに向上する。C/N比を向
上させることにより、情報再生装置の光学系の精度を下
げても正確な情報再生を行える他、再生速度を上げるこ
とが可能となる。The Kerr rotation angle θκ of the magnetic layer has a great influence on the reproduction characteristic of recorded information. For example, the C / N ratio (reproduction signal characteristic) which is an index of readability of information is:
It increases as the Kerr rotation angle θκ increases. By improving the C / N ratio, accurate information reproduction can be performed and the reproduction speed can be increased even if the accuracy of the optical system of the information reproduction apparatus is lowered.
【0005】上記のような光磁気記録媒体は通常、基板
上に順次、第1誘電体層、記録層である磁性層および第
2誘電体層が形成された層構成を有している(特開平1-
263963号公報、特開昭62-209750 号公報および特開昭62
-217444 号公報)。第1誘電体層は、磁性層を保護する
役割を有しており、酸化されやすい磁性層への酸素、水
などの透過を防止する。さらに第1誘電体層は、カー効
果を高めるエンハンス層として働き、多重反射を利用し
て見かけ上のカー回転角を大きくして再生信号特性を向
上させる。また、第2誘電体層は磁性層の保護のために
設けられる。The magneto-optical recording medium as described above usually has a layer structure in which a first dielectric layer, a magnetic layer as a recording layer and a second dielectric layer are sequentially formed on a substrate (special feature). Kaihei 1-
263963, JP-A-62-209750 and JP-A-62
-217444 publication). The first dielectric layer has a role of protecting the magnetic layer, and prevents permeation of oxygen, water, etc. to the magnetic layer which is easily oxidized. Further, the first dielectric layer functions as an enhancement layer that enhances the Kerr effect, and utilizes multiple reflections to increase the apparent Kerr rotation angle and improve the reproduction signal characteristics. The second dielectric layer is provided to protect the magnetic layer.
【0006】さらに最近では、より大きな再生信号特性
を得るために、磁性層に隣接させて、もしくは第2誘電
体層の外側に、反射層を設けた構成の光磁気記録媒体に
ついての研究がなされている(特公昭62-27458号公報、
特開昭60-63747号公報)。これは、カー効果に加えて、
磁性層透過光の反射によるファラデー効果を利用しよう
とするものである。More recently, research has been conducted on a magneto-optical recording medium having a reflective layer adjacent to the magnetic layer or outside the second dielectric layer in order to obtain a larger reproduction signal characteristic. (Japanese Patent Publication No. 62-27458,
JP-A-60-63747). This is in addition to the car effect
It is intended to utilize the Faraday effect due to reflection of light transmitted through the magnetic layer.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】反射層は、磁性層にレ
ーザーによって書き込む際の熱を膜垂直方向に逃げやす
くし、ピットを矩形に書かせて高いC/N比を得る目的
で、Al、Au、Ag、Cu等の材料が用いられてき
た。しかしながら、このような材料では記録感度が低
く、高記録パワー領域でしか高いC/N比を得ることが
できないという問題があった。The reflecting layer is made of Al, for the purpose of making it easier to escape the heat when writing with a laser to the magnetic layer in the direction perpendicular to the film, and making the pits rectangular so as to obtain a high C / N ratio. Materials such as Au, Ag, Cu have been used. However, such a material has a problem that the recording sensitivity is low and a high C / N ratio can be obtained only in a high recording power region.
【0008】また、耐蝕性の改善、C/N比および記録
感度を高める等の目的で、Alと、Ta、Ti、Zr、
V、Mo、Cr、Pt、Pd等の金属との合金を用いる
試みも知られている(特開昭64-86348号公報、特開平1-
173454号公報および特開平1-173455号公報)。しかしな
がら、このような合金の場合、上記各種金属はAlとの
固溶性が低いために、磁性層との界面に局在する傾向が
あり、それ故、書き込み時のレーザー熱の膜垂直方向へ
逃げる速度が低下するので記録感度は向上するが、一方
磁性層側の熱伝導性が低下してピット矩形性が劣化する
ため、C/N比が低下するという問題があった。Further, for the purpose of improving the corrosion resistance, increasing the C / N ratio and the recording sensitivity, Al, Ta, Ti, Zr,
Attempts to use alloys with metals such as V, Mo, Cr, Pt, and Pd are also known (Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-86348, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-86348).
173454 and JP-A-1-173455). However, in the case of such an alloy, since the above-mentioned various metals have low solid solubility with Al, they tend to be localized at the interface with the magnetic layer, so that the laser heat during writing escapes in the direction perpendicular to the film. Although the recording speed is improved because the speed is decreased, the thermal conductivity on the magnetic layer side is decreased and the pit rectangularity is deteriorated, which causes a problem that the C / N ratio is decreased.
【0009】そこで本発明は、高い再生信号特性および
高記録感度を有する光磁気記録媒体を提供することを目
的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics and high recording sensitivity.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、反射層の
材質について鋭意検討を重ねた結果、従来使用されてい
たAl、Au、Ag、Cu等の材料に、Oおよび/また
はNを特定量添加すると、高い再生信号特性および高記
録感度を有する光磁気記録媒体を得ることができること
を見出し、本発明に到達した。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies on the material of the reflective layer, the inventors of the present invention added O and / or N to the conventionally used materials such as Al, Au, Ag and Cu. They have found that a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics and high recording sensitivity can be obtained by adding a specific amount, and have reached the present invention.
【0011】すなわち本発明は、透明基板上に磁性層
と、該磁性層の基板と反対側に隣接して熱伝導層とが少
なくとも設けられた光磁気記録媒体において、該熱伝導
層が、(A)Al、Au、AgおよびCuから選ばれる
少なくとも1種の金属ならびに(B)Oおよび/または
Nを含み、(B)は、(A)および(B)の合計量の1
〜10モル%であることを特徴とする。That is, according to the present invention, in a magneto-optical recording medium having at least a magnetic layer on a transparent substrate and a heat conductive layer adjacent to the magnetic layer on the side opposite to the substrate, the heat conductive layer comprises: A) at least one metal selected from Al, Au, Ag and Cu and (B) O and / or N, (B) being 1 of the total amount of (A) and (B).
It is characterized by being 10 mol%.
【0012】本発明の光磁気記録媒体は、基板/磁性層
/熱伝導層の層構成を少なくとも有する。任意的に、基
板と磁性層の間に第1誘電体層を、そして熱伝導層の外
側(基板と反対側)に第2誘電体層を有することができ
る。The magneto-optical recording medium of the present invention has at least a layer structure of substrate / magnetic layer / heat conductive layer. Optionally, there can be a first dielectric layer between the substrate and the magnetic layer and a second dielectric layer outside the heat conducting layer (opposite the substrate).
【0013】基板の材料としては、具体的にはガラスな
どの無機材料、ポリカーボネート、ポリメチルメタアク
リレート、エポキシ樹脂などの樹脂材料を挙げることが
できる。基板の厚さは特に限定されず、必要に応じて変
えることができる。Specific examples of the material of the substrate include inorganic materials such as glass, resin materials such as polycarbonate, polymethylmethacrylate, and epoxy resin. The thickness of the substrate is not particularly limited and can be changed as needed.
【0014】磁性層は記録層であり、通常希土類金属と
遷移金属との合金が使用できる。例えば、TbFeCo
系、GdFeCo系、DyFeCo系、PrFeCo系
等の非晶質合金が挙げられる。好ましくは、次式:[T
bX (Fe1-Y CoY )1-X ]100-Z MZ (式中、M
はCr、Ti、Zr、Pt、Pd、Rh、Nb、Vおよ
びInから選ばれ、X、YおよびZはそれぞれ、0.17≦
X≦0.26、0≦Y≦0.20、0≦Z≦6を満たす有理数で
ある)で示される組成を有する。層厚は、好ましくは20
0 〜600 オングストロームである。磁性層は公知の薄膜
形成法のいずれで形成しても良く、例えばスパッタ法、
真空蒸着法、イオンプレーティング法、気相成長法など
を使用できる。なかでもスパッタ法が特に好ましく、直
流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波スパッ
タ法などが好ましく用いられる。The magnetic layer is a recording layer, and usually an alloy of a rare earth metal and a transition metal can be used. For example, TbFeCo
Examples thereof include amorphous alloys such as those based on GdFeCo, GdFeCo, DyFeCo, and PrFeCo. Preferably, the following formula: [T
b X (Fe 1-Y Co Y ) 1-X ] 100-Z M Z (in the formula, M
Is selected from Cr, Ti, Zr, Pt, Pd, Rh, Nb, V and In, and X, Y and Z are each 0.17 ≦.
X ≦ 0.26, 0 ≦ Y ≦ 0.20, 0 ≦ Z ≦ 6, which is a rational number). The layer thickness is preferably 20
0 to 600 Angstroms. The magnetic layer may be formed by any known thin film forming method, for example, a sputtering method,
A vacuum deposition method, an ion plating method, a vapor phase growth method or the like can be used. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the DC sputtering method, the high frequency sputtering method, the reactive high frequency sputtering method and the like are preferably used.
【0015】本発明は、上記した磁性層の基板と反対側
の、磁性層に隣接して設けられる熱伝導層に特徴を有す
る。熱伝導層は、(A)Al、Au、AgおよびCuか
ら選ばれる少なくとも1種の金属および(B)Oおよび
/またはNを含み、(B)は、(A)および(B)の合
計量の1〜10モル%、好ましくは2〜6モル%であ
る。(B)が1モル%より少ないと記録感度の向上がみ
られず、10モル%より多いとピット矩形性が劣化し、
C/N比の低下を招く。(A)群の金属は、一部または
全部が合金の形になっていても良い。(B)は、O2 、
N2 、NOx 等の形で(A)の金属母材中に含まれてい
てもよく、また、(A)群の金属と一部結合して化合物
(例えばAl2 O3 、CuO、AlN等)の形で含まれ
ることもできる。(B)は、(A)群の金属(母材)中
に均一に分散していても良く、または磁性層側あるいは
磁性層と反対側(第2誘電体層が設けられている場合に
は、第2誘電体層側)の界面近傍に局在していても良
い。磁性層と反対側の界面近傍に局在しているのが好ま
しい。熱伝導層の層厚は、150 〜300 オングストローム
であるのが好ましい。このような熱伝導層は、汎用され
ている上記した公知の薄膜形成法のいずれで形成するこ
ともできる。なかでもスパッタ法が特に好ましく、直流
スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波スパッタ
法などが好ましく用いられる。スパッタ法を用いた場合
には、(A)の金属ターゲットを用いて、不活性ガス
(主にAr)プラズマ中でスパッタ製膜する際に、不活
性ガス中にO2 および/またはN2 ガスを含有させる。
このO2 および/またはN2 ガスの含有量を調整するこ
とによって、(B)の含有量を調整することができる。
例えば、スパッタガス圧 1.5×10-3Torrで、スパッタガ
ス組成をAr/(N2 および/またはO2 )(体積比)
を10/1 〜10/5 とするとよい。また、(B)を磁性層
と反対側(第2誘電体層側)の界面近傍に局在させる場
合には、例えば(A)の金属ターゲットを用いて、不活
性ガス(主にAr)プラズマ中でスパッタすることによ
り熱伝導層を形成した後、O2 および/またはN2 のイ
オンビームを、磁性層と反対側の面に照射する。また、
スパッタ法のみで局在化を行うこともできる。不活性ガ
スプラズマ中で比較的高いガス圧および/または高い電
力投入により高速で熱伝導層を形成して、層表面を粗く
かつ多孔質にした後、この上にさらに第2誘電体層をO
2 および/またはN2 を含む不活性ガスプラズマ中で形
成すれば、(B)を磁性層と反対側(第2誘電体層側)
の界面近傍に局在させることが可能である。また、通常
のスパッタ法でも、初めはArのみでスパッタし、磁性
層と反対側(第2誘電体層側)近傍でN2 および/また
はO2 を混合して、局在させることが可能である。The present invention is characterized by the heat conducting layer provided adjacent to the magnetic layer on the side opposite to the substrate of the magnetic layer. The heat conductive layer contains (A) at least one metal selected from Al, Au, Ag and Cu and (B) O and / or N, and (B) is the total amount of (A) and (B). 1 to 10 mol%, preferably 2 to 6 mol%. If (B) is less than 1 mol%, the recording sensitivity is not improved, and if it is more than 10 mol%, the pit rectangularity is deteriorated.
This causes a decrease in C / N ratio. The metal of group (A) may be partly or wholly in the form of an alloy. (B) is O 2 ,
It may be contained in the metal base material of (A) in the form of N 2 , NO x or the like, or may be partially bonded to the metal of the (A) group to form a compound (for example, Al 2 O 3 , CuO, AlN). Etc.) can also be included. (B) may be uniformly dispersed in the metal (base material) of the (A) group, or may be on the magnetic layer side or the side opposite to the magnetic layer (when the second dielectric layer is provided). , The second dielectric layer side) may be localized near the interface. It is preferably localized near the interface on the side opposite to the magnetic layer. The layer thickness of the heat conducting layer is preferably 150 to 300 angstroms. Such a heat conductive layer can be formed by any of the above-described well-known thin film forming methods which are generally used. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the DC sputtering method, the high frequency sputtering method, the reactive high frequency sputtering method and the like are preferably used. When the sputtering method is used, when the metal target of (A) is used to form a film by sputtering in an inert gas (mainly Ar) plasma, O 2 and / or N 2 gas is added to the inert gas. Is included.
The content of (B) can be adjusted by adjusting the content of this O 2 and / or N 2 gas.
For example, the sputter gas pressure is 1.5 × 10 −3 Torr, and the sputter gas composition is Ar / (N 2 and / or O 2 ) (volume ratio).
Should be 10/1 to 10/5. When (B) is localized near the interface on the side opposite to the magnetic layer (on the side of the second dielectric layer), for example, a metal target of (A) is used and an inert gas (mainly Ar) plasma is used. After forming the heat conductive layer by sputtering in the inside, the surface opposite to the magnetic layer is irradiated with an ion beam of O 2 and / or N 2 . Also,
Localization can also be performed only by the sputtering method. After forming a heat conductive layer at a high speed by relatively high gas pressure and / or high power input in an inert gas plasma to make the surface of the layer rough and porous, a second dielectric layer is further formed thereon.
When formed in an inert gas plasma containing 2 and / or N 2 , (B) is on the side opposite to the magnetic layer (second dielectric layer side).
It is possible to localize in the vicinity of the interface. Further, even in the ordinary sputtering method, it is possible to sputter only Ar at first and mix with N 2 and / or O 2 near the side opposite to the magnetic layer (second dielectric layer side) to localize the mixture. is there.
【0016】また、(B)を磁性層側の界面近傍に局在
させる方法としては、次のような方法を用いることがで
きる。すなわち、上記と同様通常のスパッタ法にて、磁
性層近傍ではスパッタガスとしてArならびにN2 およ
び/またはO2 の混合ガスを用い、その後Arのみでス
パッタすることにより可能である。As a method of localizing (B) near the interface on the magnetic layer side, the following method can be used. That is, the same sputtering method as described above can be performed by using a mixed gas of Ar and N 2 and / or O 2 as a sputtering gas in the vicinity of the magnetic layer, and then performing sputtering only with Ar.
【0017】本発明の光磁気記録媒体においては、熱伝
導層は、上記の組成にさらに、(C)Cr、Ge、I
r、Mo、Nb、Pd、Pt、Rh、Ru、Si、S
n、Ta、Th、Ti、V、W、ZnおよびZrから選
ばれる少なくとも1種の金属を、(A)、(B)および
(C)の合計に対して3モル%までの量で含むものであ
ることが好ましい。(C)はより好ましくは0.5〜2
モル%である。(C)群の金属は3モル%より多いとC
/N比が低下してしまう。(C)群の金属は、(A)群
の金属(母材)中に均一に分散していても良く、または
磁性層側に近付くほどその濃度が高くなっていても良
い。(C)群の金属は、磁性層側に局在しているのが特
に好ましい。また(C)群の金属の一部または全部が、
互いに、あるいは(A)群の金属と合金の形になってい
ても良い。このような熱伝導層は、上記した製膜法にお
いて、ターゲットとして、(A)群の金属ターゲット上
に(C)群の金属のチップをモザイク状に配置した複合
ターゲットを用いて行うことによって、得ることができ
る。In the magneto-optical recording medium of the present invention, the heat conducting layer further comprises (C) Cr, Ge, I in addition to the above composition.
r, Mo, Nb, Pd, Pt, Rh, Ru, Si, S
It contains at least one metal selected from n, Ta, Th, Ti, V, W, Zn and Zr in an amount of up to 3 mol% based on the total of (A), (B) and (C). Preferably. (C) is more preferably 0.5 to 2
Mol%. If the metal of the (C) group is more than 3 mol%, it becomes C
The / N ratio will decrease. The metal of the group (C) may be uniformly dispersed in the metal (base material) of the group (A), or may have a higher concentration as it gets closer to the magnetic layer side. It is particularly preferable that the metal of group (C) is localized on the magnetic layer side. In addition, part or all of the metals in group (C)
They may be in the form of metals or alloys of each other or of the (A) group. Such a heat-conducting layer is formed in the above-described film forming method by using a composite target in which the metal chips of the (C) group are arranged in a mosaic pattern on the metal target of the (A) group as a target. Obtainable.
【0018】第1および第2誘電体層にはそれぞれ、Z
nS等の硫化物、SiO、SiO2 、In2 O3 、Sn
O2 等の酸化物、AlN、窒化ケイ素等の窒化物が使用
できる。好ましくは窒化ケイ素であり、例えばSiN、
Si2 N3 、Si3 N4 等が挙げられる。各誘電体層の
層厚は400 〜1500オングストロームが好ましい。特に保
護層である第2誘電体層の層厚は、十分な保護特性を得
ると共に良好な記録感度を保つために、500 〜1200オン
グストロームであるのが好ましい。このような誘電体層
は、上記した磁性層と同様に、公知の薄膜形成法のいず
れで形成しても良い。なかでもスパッタ法が特に好まし
く、直流スパッタ法、高周波スパッタ法、反応性高周波
スパッタ法などが好ましく用いられる。The first and second dielectric layers each have Z
Sulfides such as nS, SiO, SiO 2 , In 2 O 3 , Sn
Oxides such as O 2 and nitrides such as AlN and silicon nitride can be used. Preferred is silicon nitride, for example SiN,
Si 2 N 3, Si 3 N 4 and the like. The layer thickness of each dielectric layer is preferably 400 to 1500 angstroms. In particular, the layer thickness of the second dielectric layer, which is the protective layer, is preferably 500 to 1200 angstrom in order to obtain sufficient protective characteristics and maintain good recording sensitivity. Such a dielectric layer may be formed by any known thin film forming method, like the magnetic layer described above. Among them, the sputtering method is particularly preferable, and the DC sputtering method, the high frequency sputtering method, the reactive high frequency sputtering method and the like are preferably used.
【0019】[0019]
【作用】本発明の光磁気記録媒体においては、磁性層に
隣接して存在する熱伝導層が、Al、Au、Agおよび
Cuから選ばれた金属に、適度な量のOおよび/または
Nを添加したものであるので、ピット矩形性を維持して
C/N比を向上させ、かつ記録感度を向上させることが
できる。さらに、(C)群の金属を添加すると、これは
書き込み時のレーザー熱の膜垂直方向へ逃げる速度の低
下をもたらし記録感度向上に寄与するため、(B)およ
び(C)両者の相乗効果、すなわちピット矩形性を維持
したまま記録感度を従来より著しく向上させることがで
きる。In the magneto-optical recording medium of the present invention, the heat conducting layer existing adjacent to the magnetic layer provides a metal selected from Al, Au, Ag and Cu with an appropriate amount of O and / or N. Since it is added, the pit rectangularity can be maintained, the C / N ratio can be improved, and the recording sensitivity can be improved. Furthermore, when the metal of the (C) group is added, this causes a decrease in the rate of escape of laser heat in the film perpendicular direction at the time of writing and contributes to the improvement of recording sensitivity. Therefore, a synergistic effect of both (B) and (C), That is, the recording sensitivity can be remarkably improved as compared with the conventional one while maintaining the pit rectangularity.
【0020】[0020]
【実施例】以下の実施例により、本発明をさらに詳しく
説明する。実施例1〜4 ポリカーボネート(以下、PCということがある)基板
上に、順次、SiNx (第1誘電体層、x=2.2)、
Tb18.5Fe74.8Co6.7 の組成を有する磁性層、表1に示し
た材質の熱伝導層、およびSiNx (第2誘電体層、x
=2.0)の各層を形成した。各層の形成は、プレーナ
ーマグネトロンスパッタ装置(基板自公転型、ULVA
C社製)を使用して、同一バッチ内で、以下の条件にて
行った。ただし、熱伝導層の形成は、母材となる(A)
群の金属のターゲット上に(C)群の金属のチップをモ
ザイク状に配置した複合ターゲットを用いて行い、添加
濃度は(C)群の金属のチップ個数を変化させることに
より行った。熱伝導層形成時の製膜電力は4.56W/cm
2 であった。初期真空度 第1誘電体層および第2誘電体層形成時:2×10-6Torr
以下、 磁性層形成時:5×10-7Torr以下、 熱伝導層形成時:2×10-6Torr以下スパッタガス種およびガス圧 第1誘電体層形成時:Ar+N2 、6×10-3Torr、 磁性層形成時:Ar、5×10-3Torr、 熱伝導層形成時:Ar+N2 (体積比Ar/N2 =10/
2 、1.5 ×10-3Torr) 、 第2誘電体層形成時:Ar+N2 (体積比Ar/N
2 =10/3 、7×10-3Torr かくして、基板/第1誘電体層/磁性層/熱伝導層/第
2誘電体層の層構成を有する光磁気記録媒体を作製し
た。各層の層厚は、第1誘電体層が、800オングスト
ローム、磁性層が400オングストロームおよび第2誘
電体層が1000オングストロームであった。なお、熱
伝導層の組成および層厚は表1に示したとおりである。
熱伝導層におけるその組成およびNが均一に分散されて
いたことを、オージェ電子分光法およびSIMS法によ
って確認した。The present invention will be described in more detail by the following examples. Examples 1 to 4 SiN x (first dielectric layer, x = 2.2), sequentially on a polycarbonate (hereinafter sometimes referred to as PC) substrate,
A magnetic layer having a composition of Tb 18.5 Fe 74.8 Co 6.7 , a heat conductive layer of the material shown in Table 1, and SiN x (second dielectric layer, x
= 2.0). Each layer is formed by a planar magnetron sputtering device (substrate rotation / revolution type, ULVA).
(Manufactured by Company C) was used in the same batch under the following conditions. However, the heat conductive layer is formed as a base material (A)
The composite target in which the metal chips of the (C) group were arranged in a mosaic pattern on the metal target of the group was used, and the addition concentration was performed by changing the number of the metal chips of the (C) group. The film forming power at the time of forming the heat conductive layer is 4.56 W / cm.
Was 2 . Initial vacuum degree When forming the first and second dielectric layers: 2 × 10 -6 Torr
Hereinafter, when the magnetic layer is formed: 5 × 10 -7 Torr or less, when the heat transfer layer formed: 2 × 10 -6 Torr or less sputtering gas species and the gas pressure first dielectric layer formed upon: Ar + N 2, 6 × 10 -3 Torr, magnetic layer formation: Ar, 5 × 10 −3 Torr, heat conduction layer formation: Ar + N 2 (volume ratio Ar / N 2 = 10 /
2, 1.5 × 10 −3 Torr), when forming the second dielectric layer: Ar + N 2 (volume ratio Ar / N
2 = 10/3, 7 × 10 −3 Torr Thus, a magneto-optical recording medium having a layer structure of substrate / first dielectric layer / magnetic layer / heat conductive layer / second dielectric layer was produced. The layer thickness of each layer was 800 Å for the first dielectric layer, 400 Å for the magnetic layer, and 1000 Å for the second dielectric layer. The composition and layer thickness of the heat conductive layer are as shown in Table 1.
It was confirmed by Auger electron spectroscopy and SIMS that the composition and N in the heat conductive layer were uniformly dispersed.
【0021】得られた光磁気記録媒体の再生信号特性
(C/N比)を、半径24 mm の測定位置にて、ディスク
回転数 2400rpm 、記録周波数 3.84 MHz、分解能帯域
幅 30KHz 、レーザー波長 830nm 、外部印加磁場±30
0 oe、記録レーザパワー2.6 〜10 mW 、消去レーザパワ
ー7.8 mW、再生レーザパワー1.5 mWにて測定した。ま
た、C/N=45dB時の記録レーザパワーを記録感度と
し、およびC/N≧45dBの記録レーザパワー範囲を45dB
マージン幅として評価した。結果を表1に示す。実施例5 熱伝導層形成時に、ターゲットとして(A)群の金属と
(C)群の金属との複合ターゲットの代わりに(A)群
の金属のみのターゲットを使用した他は実施例1〜4と
同様にして、光磁気記録媒体を製造した。The reproduction signal characteristics (C / N ratio) of the obtained magneto-optical recording medium were measured at a measurement position of a radius of 24 mm, the disk rotation speed was 2400 rpm, the recording frequency was 3.84 MHz, the resolution bandwidth was 30 KHz, and the laser wavelength was 830 nm. Externally applied magnetic field ± 30
Measurement was performed at 0 oe, recording laser power of 2.6 to 10 mW, erasing laser power of 7.8 mW, and reproducing laser power of 1.5 mW. The recording laser power at C / N = 45 dB is used as the recording sensitivity, and the recording laser power range of C / N ≧ 45 dB is 45 dB.
It was evaluated as the margin width. The results are shown in Table 1. Example 5 Examples 1 to 4 except that a target containing only the metal of the group (A) was used instead of the composite target of the metal of the group (A) and the metal of the group (C) at the time of forming the heat conductive layer. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as.
【0022】得られた光磁気記録媒体について、実施例
1〜4と同一の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB
時記録感度および45dBマージン幅を測定した。結果を表
1に示す。比較例1 熱伝導層形成時に、スパッタ条件を次のようにしてNの
含有量を変えた他は実施例5と同様にして、光磁気記録
媒体を製造した。Regarding the obtained magneto-optical recording medium, the reproduction signal characteristic (C / N ratio) was 45 dB under the same conditions as in Examples 1 to 4.
The recording sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 1. Comparative Example 1 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 5 except that the N content was changed in the following sputtering condition when the heat conductive layer was formed.
【0023】スパッタガス種:Ar+N2 (体積比Ar
/N2 =10/6 ) スパッタガス圧:1.5 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表1に示す。実施例6〜9 熱伝導層形成時に、スパッタガス種およびガス圧をA
r:7.5 ×10-3Torrとし、かつ製膜電力を6.84W/cm2 と
して熱伝導層のみ高電力で製膜して、得られた層表面を
粗くかつ多孔質とした他は実施例1〜4と同様にして光
磁気記録媒体を製造した。なお、第2誘電体層の組成は
SiNx (x=1.0 )、層厚は1000オングストロームで
あった。Sputtering gas species: Ar + N 2 (volume ratio Ar
/ N 2 = 10/6) Sputtering gas pressure: 1.5 × 10 −3 Torr Reproduction signal characteristics (C / N ratio) of the obtained magneto-optical recording medium under the same conditions as in Examples 1 to 4, recording at 45 dB The sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 1. Examples 6 to 9 At the time of forming the heat conductive layer, the sputter gas species and the gas pressure were set to A.
Example 1 except that r: 7.5 × 10 −3 Torr, the film-forming power was 6.84 W / cm 2 , and only the heat-conducting layer was formed with high power to make the layer surface rough and porous. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in. The composition of the second dielectric layer was SiN x (x = 1.0), and the layer thickness was 1000 Å.
【0024】なお、このようにして形成した光磁気記録
媒体の熱伝導層は、その第2誘電体層との界面近傍(表
面より100オングストロームの深さ)にNが局在して
いることを、実施例1〜4と同様にオージェ電子分光法
およびSIMS法によって確認した。熱伝導層の組成お
よび層厚を表1に示す。In the heat conduction layer of the magneto-optical recording medium thus formed, N is localized near the interface with the second dielectric layer (100 angstroms deep from the surface). It was confirmed by Auger electron spectroscopy and SIMS as in Examples 1 to 4. Table 1 shows the composition and layer thickness of the heat conductive layer.
【0025】得られた光磁気記録媒体について、実施例
1〜4と同一の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB
時記録感度および45dBマージン幅を測定した。結果を表
1に示す。実施例10 熱伝導層形成時に、ターゲットとして(A)群の金属と
(C)群の金属との複合ターゲットの代わりに(A)群
の金属のみのターゲットを使用した他は実施例6〜9と
同様にして光磁気記録媒体を製造した。なお、第2誘電
体層の組成はSiNx (x=1.0 )、層厚は1000オング
ストロームであった。Regarding the obtained magneto-optical recording medium, the reproduction signal characteristic (C / N ratio) was 45 dB under the same conditions as in Examples 1 to 4.
The recording sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 1. Example 10 Examples 6 to 9 except that a target of only the metal of the group (A) was used instead of the composite target of the metal of the group (A) and the metal of the group (C) when forming the heat conductive layer. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in. The composition of the second dielectric layer was SiN x (x = 1.0), and the layer thickness was 1000 Å.
【0026】得られた光磁気記録媒体について、実施例
1〜4と同一の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB
時記録感度および45dBマージン幅を測定した。結果を表
1に示す。比較例2 実施例10と同様にして光磁気記録媒体を製造した。た
だし、熱伝導層の第2誘電体層側の界面近傍でのN2 含
有量を増大させるために、熱伝導層を製膜電力6.84W/cm
2 にて、ただし磁性層側はArのみで、第2誘電体層側
はN2 を導入してAr+N2 雰囲気でスパッタした。両
者の比は膜厚にして8:2であった。Regarding the obtained magneto-optical recording medium, the reproduction signal characteristic (C / N ratio) was 45 dB under the same conditions as in Examples 1 to 4.
The recording sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 1. Comparative Example 2 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 10. However, in order to increase the N 2 content in the vicinity of the interface of the heat conductive layer on the side of the second dielectric layer, the heat conductive layer was formed at a film forming power of 6.84 W / cm.
At 2, provided that the magnetic layer side with only Ar, the second dielectric layer side was sputtered with Ar + N 2 atmosphere by introducing N 2. The ratio of the two was 8: 2 in terms of film thickness.
【0027】熱伝導層形成時のスパッタ条件 磁性層側(膜厚にして8割) スパッタガス種:Ar スパッタガス圧:1.5 ×10-3Torr 第2誘電体層側(膜厚にして2割) スパッタガス種:Ar+N2 (体積比Ar/N2 =10/
2 ) スパッタガス圧:1.7 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表1に示す。比較例3〜6 熱伝導層形成時に、スパッタガス種およびガス圧をA
r:1.5 ×10-3Torrとした他は実施例1〜4と同様にし
て、光磁気記録媒体を製造した。得られた光磁気記録媒
体について、実施例1〜4と同一の条件で再生信号特性
(C/N比)、45dB時記録感度および45dBマージン幅を
測定した。結果を表1に示す。 Sputtering conditions when forming the heat conduction layer Magnetic layer side (80% film thickness) Sputtering gas species: Ar Sputtering gas pressure: 1.5 × 10 −3 Torr Second dielectric layer side (20% film thickness) ) Sputtering gas species: Ar + N 2 (volume ratio Ar / N 2 = 10 /
2) Sputtering gas pressure: 1.7 × 10 −3 Torr Regarding the obtained magneto-optical recording medium, the reproduction signal characteristics (C / N ratio), the recording sensitivity at 45 dB and the 45 dB margin width were set under the same conditions as in Examples 1 to 4. It was measured. The results are shown in Table 1. Comparative Examples 3 to 6 At the time of forming the heat conductive layer, the sputter gas species and the gas pressure were set to A.
A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Examples 1 to 4 except that r: 1.5 × 10 −3 Torr was used. The reproduction signal characteristics (C / N ratio), the recording sensitivity at 45 dB, and the 45 dB margin width of the obtained magneto-optical recording medium were measured under the same conditions as in Examples 1 to 4. The results are shown in Table 1.
【0028】[0028]
【表1】 実施例11 熱伝導層形成時のスパッタ条件を以下のようにかえた以
外は実施例1〜4と同様にして光磁気記録媒体を製造し
た。[Table 1] Example 11 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Examples 1 to 4 except that the sputtering conditions for forming the heat conductive layer were changed as follows.
【0029】スパッタガス種:Ar+O2 (体積比Ar
/O2 =10/2 ) ガス圧:1.7 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表2に示す。実施例12 熱伝導層形成時に、ターゲットとして(A)群の金属と
(C)群の金属との複合ターゲットの代わりに(A)群
の金属のみのターゲットを使用し、かつスパッタ条件を
次のようにかえてOの含有量を変えた他は実施例11と同
様にして、光磁気記録媒体を製造した。Sputtering gas species: Ar + O 2 (volume ratio Ar
/ O 2 = 10/2) Gas pressure: 1.7 × 10 −3 Torr For the obtained magneto-optical recording medium, reproduction signal characteristics (C / N ratio) and recording sensitivity at 45 dB under the same conditions as in Examples 1 to 4. And the 45 dB margin width was measured. The results are shown in Table 2. Example 12 When forming the heat conductive layer, a target containing only the metal of the (A) group was used as the target instead of the composite target of the metal of the (A) group and the metal of the (C) group, and the sputtering conditions were as follows. A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 11 except that the O content was changed.
【0030】スパッタガス種:Ar+O2 (体積比Ar
/O2 =10/4 ) スパッタガス圧:1.7 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表2に示す。比較例7 熱伝導層形成時に、スパッタ条件を次のようにかえてO
の含有量を変えた他は実施例12と同様にして光磁気記録
媒体を製造した。Sputtering gas species: Ar + O 2 (volume ratio Ar
/ O 2 = 10/4) Sputtering gas pressure: 1.7 × 10 −3 Torr Reproduction signal characteristics (C / N ratio) of the obtained magneto-optical recording medium under the same conditions as in Examples 1 to 4, recording at 45 dB The sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 2. Comparative Example 7 When the heat conductive layer was formed, the sputtering conditions were changed as follows and O was changed.
A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 12 except that the content of was changed.
【0031】スパッタガス種:Ar+O2 (体積比Ar
/O2 =10/6 ) スパッタガス圧:2.0 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表2に示す。実施例13 実施例6〜9と同様にして熱伝導層までを形成した後、
第2誘電体層を以下の条件で形成して、光磁気記録媒体
を製造した。Sputtering gas species: Ar + O 2 (volume ratio Ar
/ O 2 = 10/6) Sputtering gas pressure: 2.0 × 10 −3 Torr Reproduction signal characteristics (C / N ratio) of the obtained magneto-optical recording medium under the same conditions as in Examples 1 to 4, recording at 45 dB The sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 2. Example 13 After forming up to the heat conductive layer in the same manner as in Examples 6 to 9,
The second dielectric layer was formed under the following conditions to manufacture a magneto-optical recording medium.
【0032】第2誘電体層形成時のスパッタ条件 スパッタガス種:Ar+O2 (体積比Ar/O2 =10/
3 ) スパッタガス圧:7.0 ×10-3Torr なお、第2誘電体層の材質は、SiOx (x=1.0 )、
層厚は1000オングストロームであった。 Sputtering conditions for forming the second dielectric layer Sputtering gas type: Ar + O 2 (volume ratio Ar / O 2 = 10 /
3) Sputtering gas pressure: 7.0 × 10 −3 Torr The material of the second dielectric layer is SiO x (x = 1.0),
The layer thickness was 1000 Å.
【0033】得られた光磁気記録媒体について、実施例
1〜4と同一の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB
時記録感度および45dBマージン幅を測定した。結果を表
2に示す。Regarding the obtained magneto-optical recording medium, reproduction signal characteristics (C / N ratio), 45 dB under the same conditions as in Examples 1 to 4
The recording sensitivity and the 45 dB margin width were measured. The results are shown in Table 2.
【0034】[0034]
【化2】実施例14 熱伝導層形成時に、ターゲットとして(A)群の金属と
(C)群の金属との複合ターゲットの代わりに(A)群
の金属のみのターゲットを使用し、かつスパッタ条件を
次のようにして行った他は実施例1〜4と同様にして光
磁気記録媒体を製造した。## STR00002 ## Example 14 At the time of forming the heat conductive layer, a target containing only the metal of the (A) group was used as the target instead of the composite target of the metal of the (A) group and the metal of the (C) group, and sputtering Magneto-optical recording media were manufactured in the same manner as in Examples 1 to 4 except that the conditions were as follows.
【0035】スパッタガス種:Ar+O2 +N2 (体積
比Ar:O2 :N2 =10:1 :1) スパッタガス
圧:1.6 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表3に示す。比較例8 熱伝導層形成時のスパッタ条件を次のようにかえた他は
実施例14と同様にして光磁気記録媒体を製造した。Sputtering gas species: Ar + O 2 + N 2 (volume ratio Ar: O 2 : N 2 = 10: 1: 1) Sputtering gas pressure: 1.6 × 10 −3 Torr The obtained magneto-optical recording medium was used in Example 1 The reproduction signal characteristics (C / N ratio), the recording sensitivity at 45 dB, and the 45 dB margin width were measured under the same conditions as those in [4]. The results are shown in Table 3. Comparative Example 8 A magneto-optical recording medium was manufactured in the same manner as in Example 14 except that the sputtering conditions when forming the heat conductive layer were changed as follows.
【0036】スパッタガス種:Ar+O2 +N2 (体積
比Ar:O2 :N2 =10:3 :3) スパッタガス
圧:2.2 ×10-3Torr 得られた光磁気記録媒体について、実施例1〜4と同一
の条件で再生信号特性(C/N比)、45dB時記録感度お
よび45dBマージン幅を測定した。結果を表3に示す。Sputtering gas species: Ar + O 2 + N 2 (volume ratio Ar: O 2 : N 2 = 10: 3: 3) Sputtering gas pressure: 2.2 × 10 -3 Torr The obtained magneto-optical recording medium was used in Example 1 The reproduction signal characteristics (C / N ratio), the recording sensitivity at 45 dB, and the 45 dB margin width were measured under the same conditions as those in [4]. The results are shown in Table 3.
【0037】[0037]
【表3】 [Table 3]
【0038】[0038]
【発明の効果】本発明により、高い再生信号特性および
記録感度を有する光磁気記録媒体を提供することができ
る。したがって、本発明の光磁気記録媒体は実用性が高
く、工業的に有用である。According to the present invention, it is possible to provide a magneto-optical recording medium having high reproduction signal characteristics and high recording sensitivity. Therefore, the magneto-optical recording medium of the present invention is highly practical and industrially useful.
【表2】 [Table 2]
Claims (2)
と反対側に隣接して熱伝導層とが少なくとも設けられた
光磁気記録媒体において、該熱伝導層が、(A)Al、
Au、AgおよびCuから選ばれる少なくとも1種の金
属ならびに(B)Oおよび/またはNを含み、(B)
は、(A)および(B)の合計量の1〜10モル%であ
ることを特徴とする光磁気記録媒体。1. A magneto-optical recording medium comprising at least a magnetic layer on a transparent substrate and a heat conducting layer adjacent to the magnetic layer on the side opposite to the substrate, wherein the heat conducting layer comprises (A) Al. ,
At least one metal selected from Au, Ag and Cu and (B) containing O and / or N, (B)
Is 1 to 10 mol% of the total amount of (A) and (B), a magneto-optical recording medium.
Ir、Mo、Nb、Pd、Pt、Rh、Ru、Si、S
n、Ta、Th、Ti、V、W、ZnおよびZrから選
ばれる少なくとも1種の金属を、(A)、(B)および
(C)の合計に対して3モル%までの量で含む請求項1
記載の光磁気記録媒体。2. The heat conductive layer further comprises (C) Cr, Ge,
Ir, Mo, Nb, Pd, Pt, Rh, Ru, Si, S
At least one metal selected from n, Ta, Th, Ti, V, W, Zn and Zr is contained in an amount of up to 3 mol% based on the total of (A), (B) and (C). Item 1
The magneto-optical recording medium described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26548891A JPH0581714A (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Magneto-optical recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26548891A JPH0581714A (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Magneto-optical recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0581714A true JPH0581714A (en) | 1993-04-02 |
Family
ID=17417880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26548891A Pending JPH0581714A (en) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | Magneto-optical recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0581714A (en) |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP26548891A patent/JPH0581714A/en active Pending
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