JPH0576194U - High Magnetostrictive Rare Earth Alloy Protection Mechanism - Google Patents
High Magnetostrictive Rare Earth Alloy Protection MechanismInfo
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- JPH0576194U JPH0576194U JP1466592U JP1466592U JPH0576194U JP H0576194 U JPH0576194 U JP H0576194U JP 1466592 U JP1466592 U JP 1466592U JP 1466592 U JP1466592 U JP 1466592U JP H0576194 U JPH0576194 U JP H0576194U
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高磁歪希土類合金を用いて形成された磁歪ロ
ッドの折れやチッピング等を防止する。
【構成】 磁歪ロッド10の両端面に設けられた振動体
15に、一対又は複数対の軸受20を設け、該軸受20
に磁歪ロッド保護用シャフト21をスライド可能に挿入
し、該シャフト21の一端をスライド可能に軸支し、他
端を振動板15に固定する。これにより、外力として働
く曲げ応力及び剪断力が、軸受20及びシャフト21で
吸収され、磁歪ロッド10に伝達しない。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent bending and chipping of a magnetostrictive rod formed using a high magnetostrictive rare earth alloy. [Structure] A pair of or a plurality of pairs of bearings 20 are provided on a vibrating body 15 provided on both end surfaces of a magnetostrictive rod 10.
A shaft 21 for protecting the magnetostrictive rod is slidably inserted into the shaft, one end of the shaft 21 is slidably supported, and the other end is fixed to the diaphragm 15. As a result, the bending stress and shearing force acting as external force are absorbed by the bearing 20 and the shaft 21 and are not transmitted to the magnetostrictive rod 10.
Description
【0001】[0001]
本考案は、高磁歪希土類合金を用いた水中用送波器等といった種々の駆動装置 において、その高磁歪希土類合金を破壊等から保護する高磁歪希土類合金の保護 機構に関するものである。 The present invention relates to a protection mechanism for a high magnetostrictive rare earth alloy, which protects the high magnetostrictive rare earth alloy from destruction in various drive devices such as a submersible wave transmitter using the high magnetostrictive rare earth alloy.
【0002】[0002]
従来、このような分野の技術としては、例えば次のような文献に記載されるも のがあった。 文献;UDT CONFERENCE (1991) (仏) Fclaeyssen D,Boucher 著“デザイ ン オブ ランサナイド マグネットストラクティブ ソーナ プロジ ェクターズ(DESIGN OF LANTHANIDE MAGNETOSTRICTIVE SONAR PROJECTO RS)”P.1059−1065 図2は、前記文献に記載された従来の高磁歪希土類合金を用いた水中用送波器 の概略の断面図である。 Conventionally, as a technique in such a field, there has been one described in the following documents, for example. Reference: UDT CONFERENCE (1991) (France) Fclaeyssen D, Boucher, “DESIGN OF LANTHANIDE MAGNETOSTRICTIVE SONAR PROJECTO RS” P. 1059-1065 FIG. 2 is a schematic sectional view of a conventional underwater transmitter using the high magnetostrictive rare earth alloy described in the above-mentioned document.
【0003】 この送波器は、高磁歪希土類合金を用いて形成された複数の磁歪ロッド1を有 し、その磁歪ロッド1には磁気バイアス用又は交流磁界発生用のコイル2が巻装 されている。磁歪ロッド1の両端面には、磁気カプラ3を介して円盤状の振動体 4がそれぞれ取付けられている。磁歪ロッド1の両端面に取付けられた振動体4 は、プリストレス印加用のボルト5で固定され、該磁歪ロッド1に対してその軸 方向にプリストレスを印加するようになっている。また、コイル2の外側には、 強制冷却装置6が取付けられ、該コイル2で発生する熱を外部へ放熱する構造に なっている。This wave transmitter has a plurality of magnetostrictive rods 1 formed of a high magnetostrictive rare earth alloy, and a coil 2 for magnetic bias or AC magnetic field generation is wound around the magnetostrictive rods 1. There is. Disc-shaped vibrators 4 are attached to both end surfaces of the magnetostrictive rod 1 via magnetic couplers 3, respectively. The vibrating body 4 attached to both end surfaces of the magnetostrictive rod 1 is fixed with bolts 5 for applying prestress, and prestress is applied to the magnetostrictive rod 1 in its axial direction. A forced cooling device 6 is attached to the outside of the coil 2 so that the heat generated in the coil 2 is radiated to the outside.
【0004】 この種の水中用送波器では、適当な防水処理を施した後、水中に入れ、交流電 流をコイル2に流すと、交番磁場により、その大きさに従って磁歪ロッド1が軸 方向(長さ方向)に伸縮し、軸方向に駆動力を発生する。この駆動力は、振動体 4に伝えられて該振動体4が振動し、音波(超音波等)が発生してその音波が水 中に放射される。In this type of underwater transmitter, after being appropriately waterproofed, it is placed in water and an alternating current is passed through the coil 2, whereby an alternating magnetic field causes the magnetostrictive rod 1 to move in the axial direction ( It expands and contracts in the length direction) and generates a driving force in the axial direction. This driving force is transmitted to the vibrating body 4 and vibrates the vibrating body 4, and a sound wave (ultrasonic wave or the like) is generated and the sound wave is radiated into water.
【0005】[0005]
しかしながら、上記構成の装置では、次のような課題があった。 高磁歪希土類合金を用いて形成された磁歪ロッド1は、横荷重に対する強度が 弱いため、振動体4等への取付けの際のひねりや曲げ等による機械的な力で、折 れるという問題があった。又、ボルト5で磁歪ロッド1にプリストレスを加える ときに、振動体4と磁歪ロッド1との接合面を並行に保つことが困難であり、そ れを並行に保てないために、該磁歪ロッド1の磁気カプラ3との接合面で一部に 力が集中してチッピング(tiping;縦揺れ)を発生させる等の問題があり 、磁歪ロッド1に対してそれを充分に保護することが困難であった。 However, the device having the above configuration has the following problems. Since the magnetostrictive rod 1 formed of a high magnetostrictive rare earth alloy has a weak strength against lateral load, there is a problem that it is broken by mechanical force due to twisting or bending when it is attached to the vibrating body 4 or the like. It was Also, when prestressing the magnetostrictive rod 1 with the bolt 5, it is difficult to keep the joint surfaces of the vibrating body 4 and the magnetostrictive rod 1 in parallel, and since it is not possible to keep them in parallel, There is a problem that force is concentrated on a part of the joint surface of the rod 1 with the magnetic coupler 3 to cause chipping, and it is difficult to sufficiently protect it against the magnetostrictive rod 1. Met.
【0006】 本考案は、前記従来技術が持っていた課題として、高磁歪希土類合金を用いて 形成された磁歪ロッドが折れたり、チッピングする等の点について解決した高磁 歪希土類合金の保護機構を提供するものである。The present invention provides a protection mechanism for a high magnetostrictive rare earth alloy, which has been solved as a problem that the above-mentioned prior art has, such as breaking or chipping of a magnetostrictive rod formed using a high magnetostrictive rare earth alloy. Is provided.
【0007】[0007]
本考案は、前記課題を解決するために、高磁歪希土類合金を用いて形成され、 外部から作用する交番磁場の大きさに従って軸方向に伸縮する磁歪ロッドと、前 記磁歪ロッドの端面に取付けられ該磁歪ロッドの歪みによって振動する振動体と 、前記磁歪ロッドに対しその軸方向にプリストレスを印加するプリストレス印加 手段とを、備えたアクチュエータやトランスデューサ等といった駆動装置におい て、次のような手段を講じている。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a magnetostrictive rod which is formed by using a high magnetostrictive rare earth alloy and which expands and contracts in the axial direction according to the magnitude of an alternating magnetic field acting from the outside, and is attached to the end face of the magnetostrictive rod. In a driving device such as an actuator or a transducer including a vibrating body that vibrates due to strain of the magnetostrictive rod and a prestress applying unit that applies a prestress to the magnetostrictive rod in the axial direction, the following means are provided. Are taking.
【0008】 即ち、本考案では、前記振動体に一対又は複数対設けられ前記磁歪ロッドと並 行な方向に軸受面を有する軸受と、前記磁歪ロッドと並行に摺動自在に前記軸受 面で軸支されたシャフトとを備え、高磁歪希土類合金を保護するようにしている 。That is, in the present invention, a pair of bearings or a plurality of pairs are provided on the vibrating body, and the bearing has a bearing surface in a direction parallel to the magnetostrictive rod, and a shaft is slidable in parallel with the magnetostrictive rod. It is equipped with a supported shaft to protect high magnetostrictive rare earth alloys.
【0009】[0009]
本考案によれば、以上のように高磁歪希土類合金の保護機構を構成したので、 磁歪ロッドと並行な方向に軸受面を有し振動体に取付けられた軸受は、それに挿 入されたシャフトを小さなクリアランス(間隙)を持って摺動自在(スライド自 在)に軸受するように働く。そのため、磁歪ロッドの駆動方向(軸方向)のみに 力の伝達が規制され、その他の方向からの力の伝達が排除され、外力として働く 曲げ応力及び剪断力が該磁歪ロッドに伝達されない。これにより、磁歪ロッドの 切断やチッピング等の問題を解決できるのである。 According to the present invention, since the protection mechanism of the high magnetostrictive rare earth alloy is configured as described above, the bearing mounted on the vibrating body having the bearing surface in the direction parallel to the magnetostrictive rod has the shaft inserted therein. It works so that it can slide freely (slide itself) with a small clearance. Therefore, transmission of force is restricted only in the driving direction (axial direction) of the magnetostrictive rod, transmission of force from other directions is excluded, and bending stress and shearing force acting as external forces are not transmitted to the magnetostrictive rod. This can solve problems such as cutting and chipping of the magnetostrictive rod.
【0010】[0010]
図1(a),(b)は、本考案の実施例を示す水中用送波器の概略の構造図で あり、同図(a)は平面図、及び同図(b)は断面図である。 この送波器は、テルビウム・ディスプロシウム・鉄(TbDyFe)等の超磁 歪希土類合金で形成された磁歪ロッド10を有している。この磁歪ロッド10は 、使用目的に応じて1本から複数本用いられるが、図1では1本を用いた場合が 示されている。磁歪ロッド10の外周には、筒状のボビン11が配設され、その ボビン11に、磁歪ロッド駆動用のソレノイドコイル12が巻装されている。 1 (a) and 1 (b) are schematic structural views of an underwater transmitter showing an embodiment of the present invention. FIG. 1 (a) is a plan view and FIG. 1 (b) is a sectional view. is there. This wave transmitter has a magnetostrictive rod 10 formed of a giant magnetostrictive rare earth alloy such as terbium / dysprosium / iron (TbDyFe). The magnetostrictive rod 10 is used from one to a plurality depending on the purpose of use, but FIG. 1 shows the case where one rod is used. A cylindrical bobbin 11 is arranged on the outer circumference of the magnetostrictive rod 10, and a solenoid coil 12 for driving the magnetostrictive rod is wound around the bobbin 11.
【0011】 磁歪ロッド10の両端面には、該磁歪ロッド10に対する磁気バイアス印加用 の磁気カプラ13及び永久磁石14を介して、真鍮等で形成された円盤状の振動 体15がそれぞれ取付けられている。両側の振動板15は、プリストレス印加手 段である複数本のシャフト16によって相互に連結され、その各シャフト16の 両端に位置し各振動板15内に設けられたコイルバネ17により、磁歪ロッド1 0に対しその軸方向に並行にプリストレスを印加する構成になっている。プリス トレス印加用のシャフト16及びコイルバネ17は、1本の磁歪ロッド10に対 して2〜5方向に設けられる。図1では3方向に設けられている。A disk-shaped vibrating body 15 made of brass or the like is attached to both end surfaces of the magnetostrictive rod 10 via a magnetic coupler 13 for applying a magnetic bias to the magnetostrictive rod 10 and a permanent magnet 14. There is. The vibrating plates 15 on both sides are connected to each other by a plurality of shafts 16 which are prestress applying means, and the magnetostrictive rods 1 are provided by coil springs 17 provided at both ends of each shaft 16 and provided in the vibrating plates 15. The prestress is applied in parallel to 0 in the axial direction. The shaft 16 for applying the stress and the coil spring 17 are provided in two to five directions with respect to one magnetostrictive rod 10. In FIG. 1, it is provided in three directions.
【0012】 両側の振動板15には、磁歪ロッド10と並行な方向に軸受面を有するすべり 軸受20がそれぞれ埋め込まれており、その各すべり軸受20の穴に磁歪ロッド 保護用のシャフト21が挿入され、磁歪ロッド10がその軸方向にのみ駆動力が 伝達するようになっている。即ち、シャフト21は一方の振動体16だけにボル ト22を用いて固定され、該磁歪ロッド10の他端はフリーな状態(スライド可 能な状態)にしておき、軸方向駆動に対してスティフネス(stiffness ;固定状態)としては働かず、摩擦による抵抗分を含む状態となっている。この シャフト21も、プリストレス系と同様、1本の磁歪ロッド10に対して2〜5 方向に設けられている。図1では3方向に設けられている。又、すべり軸系20 の軸受面とシャフト21との間のクリアランスは、低摩擦でかつ軸方向規制の条 件を満足する領域として、10μm〜0.5mm程度に設定されている。A slide bearing 20 having a bearing surface in a direction parallel to the magnetostrictive rod 10 is embedded in each of the diaphragms 15 on both sides, and a shaft 21 for protecting the magnetostrictive rod is inserted into a hole of each slide bearing 20. Thus, the driving force is transmitted only to the axial direction of the magnetostrictive rod 10. That is, the shaft 21 is fixed to only one of the vibrating bodies 16 by using the bolt 22, and the other end of the magnetostrictive rod 10 is left in a free state (sliding state) so as to be stiff to the axial drive. It does not work as (stiffness; fixed state), and is in a state including resistance due to friction. This shaft 21 is also provided in the 2 to 5 directions with respect to one magnetostrictive rod 10 as in the prestress system. In FIG. 1, it is provided in three directions. Further, the clearance between the bearing surface of the sliding shaft system 20 and the shaft 21 is set to about 10 μm to 0.5 mm as a region that has low friction and satisfies the conditions of axial regulation.
【0013】 この種の水中用送波器では、適当な防水処理を施した後、水中に入れる。磁気 カプラ13及び永久磁石14により、磁歪ロッド10に磁気バイアスが印加され ているので、ソレノイドコイル12に交流電流を重畳すると、該ソレノイドコイ ル12によって交番磁場が発生して磁歪ロッド10がその軸方向に伸び縮みの振 動を起こす。すると、この振動により、両側の振動体15がそれぞれ振動し、音 波(超音波等)が発生して水中に放射される。In this type of underwater wave transmitter, it is put in water after being subjected to appropriate waterproofing treatment. Since a magnetic bias is applied to the magnetostrictive rod 10 by the magnetic coupler 13 and the permanent magnet 14, when an alternating current is superposed on the solenoid coil 12, an alternating magnetic field is generated by the solenoid coil 12 so that the magnetostrictive rod 10 has its axis. It causes the vibration of expansion and contraction in the direction. Then, due to this vibration, the vibrating bodies 15 on both sides vibrate, and a sound wave (ultrasonic wave or the like) is generated and radiated into water.
【0014】 この水中用送波器における高磁歪希土類合金の保護機構では、各振動体15に すべり軸受20を設け、該すべり軸受20内に、小さなクリアランスでシャフト 21の一端がスライド可能に挿入され、該シャフト21の他端が一方の振動体1 5に固定されている。そのため、他方の振動体15は、シャフト21に対して磁 歪ロッド10と並行方向の一軸方向のみにスライド可能になる。 従って、磁歪ロッド10を振動体15等へ取付ける際に、該磁歪ロッド10に 対するひねりや曲げ等の機械的な力が加わった場合、その機械的な力がすべり軸 受20とシャフト21によって吸収され、該磁歪ロッド10には印加されない。 そのため、機械的な力によって磁歪ロッド10が折れることを的確に防止できる 。又、シャフト16及びコイルバネ17によって磁歪ロッド10にプリストレス を加えるときに、すべり軸受20とシャフト21により、振動体15と磁歪ロッ ド10との接合面を並行に保つことができ、該磁歪ロッド10に生じるチッピン グを的確に防止できる。In the protection mechanism for a high magnetostrictive rare earth alloy in this underwater transmitter, each vibration body 15 is provided with a slide bearing 20, and one end of a shaft 21 is slidably inserted into the slide bearing 20 with a small clearance. The other end of the shaft 21 is fixed to the one vibrating body 15. Therefore, the other vibrating body 15 can slide with respect to the shaft 21 only in one axial direction parallel to the magnetostrictive rod 10. Therefore, when a mechanical force such as a twist or a bending is applied to the magnetostrictive rod 10 when the magnetostrictive rod 10 is attached to the vibrating body 15, the mechanical force is absorbed by the slide bearing 20 and the shaft 21. And is not applied to the magnetostrictive rod 10. Therefore, it is possible to accurately prevent the magnetostrictive rod 10 from being broken by a mechanical force. Further, when prestressing the magnetostrictive rod 10 by the shaft 16 and the coil spring 17, the sliding bearing 20 and the shaft 21 can keep the joint surfaces of the vibrating body 15 and the magnetostrictive rod 10 parallel to each other. The chipping that occurs in 10 can be accurately prevented.
【0015】 なお、本考案は上記実施例に限定されず、種々の変形が可能である。 (a) 図1では、軸受としてすべり軸受20を用いているが、オイルレスベ アリング(ころがり軸受)等の他の軸受を用いても、上記実施例と同様の作用、 効果が得られる。 (b) 保護用シャフト21の一端をボルト22を用いて振動体15に固定し ているが、接着剤等を用いた他の方法で固定してもよい。 (c) 図1では、永久磁石14を用いて磁歪ロッド10に磁気バイアスを印 加するようにしているが、他の方法で磁気バイアスを印加するようにしてもよい 。The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. (A) In FIG. 1, the slide bearing 20 is used as the bearing, but the use of other bearings such as oilless bearings (rolling bearings) can also obtain the same operation and effect as the above-mentioned embodiment. (B) Although one end of the protective shaft 21 is fixed to the vibrating body 15 by using the bolt 22, it may be fixed by another method using an adhesive or the like. (C) In FIG. 1, the permanent magnet 14 is used to apply the magnetic bias to the magnetostrictive rod 10, but the magnetic bias may be applied by another method.
【0016】 (d) 上記実施例では、シャフト16及びコイルバネ17を用いてプリスト レス印加手段を構成しているが、弾性体等を用いた他の構造でプリストレス印加 手段を構成してもよい。 (e) 上記実施例では、水中用送波器について説明したが、磁歪ロッドの振 動力を利用した駆動装置であれば、アクチュエータ等といった種々の装置に上記 磁歪ロッドの保護機構を適用することが可能である。駆動装置の構造や形状等に 応じて、保護機構を他の形状や構造に変更すればよい。(D) In the above-described embodiment, the shaft 16 and the coil spring 17 are used to constitute the prestress applying means, but the prestress applying means may be constituted by another structure using an elastic body or the like. .. (E) In the above embodiments, the underwater wave transmitter has been described. However, if the drive device uses the vibration power of the magnetostrictive rod, the magnetostrictive rod protection mechanism may be applied to various devices such as actuators. It is possible. The protection mechanism may be changed to another shape or structure depending on the structure or shape of the drive device.
【0017】[0017]
以上詳細に説明したように、本考案によれば、高磁歪希土類合金を用いた駆動 装置において、振動を一軸方向に規制するために軸受を振動体に設け、その軸受 でシャフトをスライド自在に軸支するようにしたので、一軸方向のみにスムーズ に力の伝達が行われ、外力として働く曲げ応力及び剪断力が軸受及びシャフトで 吸収され、磁歪ロッドに伝達しない。そのため、磁歪ロッドがチッピングを生じ たり、折れたりすることを簡単な構造で的確に防止できる。従って、水中用送波 器等といった種々の駆動装置に適用できる。 As described in detail above, according to the present invention, in a drive device using a high magnetostrictive rare earth alloy, a bearing is provided on a vibrating body to regulate vibration in a uniaxial direction, and the shaft is slidably supported by the bearing. Since it is supported, the force is smoothly transmitted only in one axial direction, and bending stress and shearing force acting as external forces are absorbed by the bearing and the shaft and are not transmitted to the magnetostrictive rod. Therefore, it is possible to accurately prevent the magnetostrictive rod from chipping or breaking with a simple structure. Therefore, it can be applied to various drive devices such as an underwater transmitter.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本考案の実施例を示す水中用送波器の概略の構
造図である。FIG. 1 is a schematic structural diagram of an underwater transmitter showing an embodiment of the present invention.
【図2】従来の水中用送波器の概略の断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view of a conventional underwater transmitter.
10 磁歪ロッド 12 ソレノイドコイル 13 磁気カプラ 14 永久磁石 15 振動体 16 プリストレス印加用シャフト 17 コイルバネ 20 すべり軸受 21 磁歪ロッド保護用シャフト 10 Magnetostrictive Rod 12 Solenoid Coil 13 Magnetic Coupler 14 Permanent Magnet 15 Vibrating Body 16 Prestressing Shaft 17 Coil Spring 20 Sliding Bearing 21 Magnetostrictive Rod Protection Shaft
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 吉川 隆 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)考案者 谷 信裕 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)考案者 網谷 泰孝 神奈川県横須賀市夏島町2番15号 海洋科 学技術センター内 (72)考案者 土屋 利雄 神奈川県横須賀市夏島町2番15号 海洋科 学技術センター内 (72)考案者 村上 勝彦 東京都千代田区丸の内1丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 (72)考案者 山上 伸夫 東京都千代田区丸の内1丁目1番2号 日 本鋼管株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Takashi Yoshikawa 1-7-12 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd. (72) Nobuhiro Tani 1-7-12 Toranomon, Minato-ku, Tokyo Oki Electric Industry Co., Ltd. (72) Inventor Yasutaka Amitani 2-15, Natsushima-cho, Yokosuka City, Kanagawa Prefecture Marine Science and Technology Center (72) Toshio Tsuchiya 2-15, Natsushima-cho, Yokosuka City, Kanagawa Prefecture Marine Science and Technology In the center (72) Inventor Katsuhiko Murakami 1-2 1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Steel Pipe Co., Ltd. (72) Innovator Nobuo Yamagami 1-2 1-2 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Nihon Steel Pipe Co., Ltd.
Claims (1)
部から作用する交番磁場の大きさに従って軸方向に伸縮
する磁歪ロッドと、前記磁歪ロッドの端面に取付けられ
該磁歪ロッドの歪みによって振動する振動体と、前記磁
歪ロッドに対しその軸方向にプリストレスを印加するプ
リストレス印加手段とを、備えた駆動装置において、 前記振動体に一対又は複数対設けられ前記磁歪ロッドと
並行な方向に軸受面を有する軸受と、前記磁歪ロッドと
並行に摺動自在に前記軸受面で軸支されたシャフトと
を、備えたことを特徴とする高磁歪希土類合金の保護機
構。1. A magnetostrictive rod formed of a high magnetostrictive rare earth alloy, which expands and contracts in the axial direction according to the magnitude of an alternating magnetic field acting from the outside, and is attached to an end face of the magnetostrictive rod and vibrates by the strain of the magnetostrictive rod. In a drive device comprising a vibrating body and a prestress applying means for applying a prestress to the magnetostrictive rod in the axial direction thereof, a pair or a plurality of pairs are provided on the vibrating body and bearings are provided in a direction parallel to the magnetostrictive rod. A protective mechanism for a high magnetostrictive rare earth alloy, comprising: a bearing having a surface; and a shaft axially supported by the bearing surface so as to be slidable in parallel with the magnetostrictive rod.
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JP1466592U JP2570221Y2 (en) | 1992-03-18 | 1992-03-18 | Protection mechanism of high magnetostriction rare earth alloy |
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JPH0576194U true JPH0576194U (en) | 1993-10-15 |
JP2570221Y2 JP2570221Y2 (en) | 1998-05-06 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2004087341A1 (en) * | 2003-03-31 | 2004-10-14 | Tdk Corporation | Ultrasonic transducer element and ultrasonic transducer using same |
-
1992
- 1992-03-18 JP JP1466592U patent/JP2570221Y2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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