JPH0560908A - 面状光源装置およびその製法ならびにこれに用いられるドライフイルムレジスト - Google Patents
面状光源装置およびその製法ならびにこれに用いられるドライフイルムレジストInfo
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- JPH0560908A JPH0560908A JP3293451A JP29345191A JPH0560908A JP H0560908 A JPH0560908 A JP H0560908A JP 3293451 A JP3293451 A JP 3293451A JP 29345191 A JP29345191 A JP 29345191A JP H0560908 A JPH0560908 A JP H0560908A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、液晶表示素子のバックライト等に
好適な面状光源装置に関し、該装置における光を均一に
拡散するための光拡散体の形成を高精度で良好な再現性
をもってできるようにする。 【構成】 本発明では、光拡散体5を乳色半透明のドラ
イフィルムレジストの光硬化物から構成する。ドライフ
ィルムレジストを透光板2の一面に貼り付け、ホトマス
クを介して露光したのち、現像し、所望のパターンを有
する光拡散体5を形成する。乳色半透明のドライフィル
ムレジストは、シリカ、ガラスビーズ、高分子艶消剤な
どの光拡散性微粉末を通常のドライフィルムレジストに
配合、分散させることで得られる。
好適な面状光源装置に関し、該装置における光を均一に
拡散するための光拡散体の形成を高精度で良好な再現性
をもってできるようにする。 【構成】 本発明では、光拡散体5を乳色半透明のドラ
イフィルムレジストの光硬化物から構成する。ドライフ
ィルムレジストを透光板2の一面に貼り付け、ホトマス
クを介して露光したのち、現像し、所望のパターンを有
する光拡散体5を形成する。乳色半透明のドライフィル
ムレジストは、シリカ、ガラスビーズ、高分子艶消剤な
どの光拡散性微粉末を通常のドライフィルムレジストに
配合、分散させることで得られる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示装置等のバッ
クライトなどに好適な面状光源装置およびその製法なら
びにこれに用いられるドライフィルムレジストに関す
る。
クライトなどに好適な面状光源装置およびその製法なら
びにこれに用いられるドライフィルムレジストに関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、このような面状光源装置として、
例えば特開平1−245220号公報に記載のものがあ
る。このものは図1および図2に示すように、ガラス、
アクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂などの透光性材料
からなり、その一側面端部が光入射部1とされた透光板
2と、この透光板2の光入射部1に近接して設けられた
冷陰極管などの筒状の光源3と、透光板2の表面に貼り
合わされた乳色半透明のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムなどの散乱板4と、透光板2の裏面に設けられた
光拡散体5と、この光拡散体5上に設けられ、この光拡
散体5から延びて光源3を包囲するアルミニウム鏡面板
などからなる反射板6とから構成されている。
例えば特開平1−245220号公報に記載のものがあ
る。このものは図1および図2に示すように、ガラス、
アクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂などの透光性材料
からなり、その一側面端部が光入射部1とされた透光板
2と、この透光板2の光入射部1に近接して設けられた
冷陰極管などの筒状の光源3と、透光板2の表面に貼り
合わされた乳色半透明のポリエチレンテレフタレートフ
ィルムなどの散乱板4と、透光板2の裏面に設けられた
光拡散体5と、この光拡散体5上に設けられ、この光拡
散体5から延びて光源3を包囲するアルミニウム鏡面板
などからなる反射板6とから構成されている。
【0003】上記光拡散体5は、図2に示すように、多
数の小径から大径にいたるドット7…を分散したものか
らなり、透光板2の光入射部1に近い部分には小径(約
300μm程度)のドット7…が配され、光入射部1か
ら離れるにしたがって、径が順次大きくされたドット7
…が列状に複数列配置されている。
数の小径から大径にいたるドット7…を分散したものか
らなり、透光板2の光入射部1に近い部分には小径(約
300μm程度)のドット7…が配され、光入射部1か
ら離れるにしたがって、径が順次大きくされたドット7
…が列状に複数列配置されている。
【0004】このドット7…の形成は、透明ビヒクルに
酸化チタン、酸化亜鉛、酸化カルシウム、酸化バリウ
ム、硫酸バリウム等の光散乱性微粉末を分散した乳色半
透明の印刷インキを用い、スクリーン印刷などの印刷法
によって透光板2表面に上記多数のドット7…を印刷す
る方法で行われている。
酸化チタン、酸化亜鉛、酸化カルシウム、酸化バリウ
ム、硫酸バリウム等の光散乱性微粉末を分散した乳色半
透明の印刷インキを用い、スクリーン印刷などの印刷法
によって透光板2表面に上記多数のドット7…を印刷す
る方法で行われている。
【0005】このような光拡散体5を設けることによっ
て、透光板2の光入射部1から入射された光が、光入射
部1から離れるにしたがって大径のドット7…によって
多く拡散されることとなり、散乱板4全表面から均一に
放射され、面全体から均一な光量の光を放射する薄型の
面状光源装置となる。
て、透光板2の光入射部1から入射された光が、光入射
部1から離れるにしたがって大径のドット7…によって
多く拡散されることとなり、散乱板4全表面から均一に
放射され、面全体から均一な光量の光を放射する薄型の
面状光源装置となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このような面状光源装
置では、光拡散体5の形成をスクリーン印刷などの印刷
法によっているため、ドットの形成の正確性が不足する
不都合がある。すなわち、上記ドットの最小径は80μ
m程度の微小なものとなり、その位置も所定位置に正し
く印刷する必要があるが、印刷法ではこのような精度を
確保することが困難である。また、近時20〜100μ
mの径のドットを高密度、高精度に配置する要望があ
り、印刷法ではますます対応できなくなりつつある。
置では、光拡散体5の形成をスクリーン印刷などの印刷
法によっているため、ドットの形成の正確性が不足する
不都合がある。すなわち、上記ドットの最小径は80μ
m程度の微小なものとなり、その位置も所定位置に正し
く印刷する必要があるが、印刷法ではこのような精度を
確保することが困難である。また、近時20〜100μ
mの径のドットを高密度、高精度に配置する要望があ
り、印刷法ではますます対応できなくなりつつある。
【0007】また、印刷法では、印刷中にゴミなどの異
物がドットに混入することがあり、光の拡散の均一性が
さまたげられることもある。
物がドットに混入することがあり、光の拡散の均一性が
さまたげられることもある。
【0008】よって、本発明における課題は、印刷法に
よらずに光拡散体の形成を行うことにある。
よらずに光拡散体の形成を行うことにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】かかる課題は、乳色半透
明のドライフィルムレジストを用いて光拡散体の形成を
行うようにし、光拡散体を該ドライフィルムレジストの
光硬化物から構成することで解決される。
明のドライフィルムレジストを用いて光拡散体の形成を
行うようにし、光拡散体を該ドライフィルムレジストの
光硬化物から構成することで解決される。
【0010】以下、本発明を詳しく説明する。
【0011】まず、請求項1に記載のドライフィルムレ
ジストについて説明する。
ジストについて説明する。
【0012】請求項1記載の乳色半透明のドライフィル
ムレジストは、通常のドライフィルムレジストにシリ
カ、ガラスビーズ、高分子艶消剤、酸化チタン、酸化亜
鉛、酸化カルシウム、炭酸カルシウム、酸化バリウム、
硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、三酸化アンチモ
ン、タルクなどの光拡散性微粉末を配合、分散して、こ
れを透過する光が乳色半透明を呈するものである。ここ
でのドライフィルムレジストとしては、特に限定され
ず、熱可塑性重合体と、分子中に少なくとも1個のエチ
レン性不飽和基を有する架橋性単量体と、光重合開始剤
を必須成分とするものが用いられる。
ムレジストは、通常のドライフィルムレジストにシリ
カ、ガラスビーズ、高分子艶消剤、酸化チタン、酸化亜
鉛、酸化カルシウム、炭酸カルシウム、酸化バリウム、
硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、三酸化アンチモ
ン、タルクなどの光拡散性微粉末を配合、分散して、こ
れを透過する光が乳色半透明を呈するものである。ここ
でのドライフィルムレジストとしては、特に限定され
ず、熱可塑性重合体と、分子中に少なくとも1個のエチ
レン性不飽和基を有する架橋性単量体と、光重合開始剤
を必須成分とするものが用いられる。
【0013】上記熱可塑性重合体は、使用する現像液に
可溶であるかまたは膨潤するものであれば種々のものが
使用できる。具体例としては、1,1,1−トリクロロ
エタンを現像液とするフォトレジストの場合、ポリメタ
クリル酸メチルまたはメタクリル酸メチルを主成分とす
る共重合体が用いられる。メタクリル酸メチルと共重合
するのに使用される単量体の具体例としては、(メタ)
アクリル酸メチル(アクリル酸メチルまたはメタクリル
酸メチルの意,以下同様)、(メタ)アクリル酸エチ
ル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリ
ル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、
(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t
−ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、
(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸2−
ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ
プロピル等の(メタ)アクリル酸エステル、スチレンな
どがあげられる。
可溶であるかまたは膨潤するものであれば種々のものが
使用できる。具体例としては、1,1,1−トリクロロ
エタンを現像液とするフォトレジストの場合、ポリメタ
クリル酸メチルまたはメタクリル酸メチルを主成分とす
る共重合体が用いられる。メタクリル酸メチルと共重合
するのに使用される単量体の具体例としては、(メタ)
アクリル酸メチル(アクリル酸メチルまたはメタクリル
酸メチルの意,以下同様)、(メタ)アクリル酸エチ
ル、(メタ)アクリル酸n−プロピル、(メタ)アクリ
ル酸イソプロピル、(メタ)アクリル酸n−ブチル、
(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アクリル酸t
−ブチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、
(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸2−
ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシ
プロピル等の(メタ)アクリル酸エステル、スチレンな
どがあげられる。
【0014】一方、炭酸ナトリウム等のアルカリ希薄溶
液を現像液とするフォトレジストの場合は、前記の(メ
タ)アクリル酸エステルまたはスチレン等とアクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、マレイン酸
等のカルボキシル基を有する単量体との共重合体があげ
られる。
液を現像液とするフォトレジストの場合は、前記の(メ
タ)アクリル酸エステルまたはスチレン等とアクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、フマル酸、マレイン酸
等のカルボキシル基を有する単量体との共重合体があげ
られる。
【0015】上記分子中に少なくとも1個のエチレン性
不飽和基を有する架橋性単量体としては、ポリエチレン
グリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート等のポリエステルアクリ
レートやエポキシアクリレート、ウレタンアクリレート
等があげられ、これらは1種またはそれ以上併用して、
25〜50重量%の範囲で使用される。
不飽和基を有する架橋性単量体としては、ポリエチレン
グリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
ペンタエリスリトールテトラアクリレート、トリメチロ
ールプロパントリアクリレート等のポリエステルアクリ
レートやエポキシアクリレート、ウレタンアクリレート
等があげられ、これらは1種またはそれ以上併用して、
25〜50重量%の範囲で使用される。
【0016】また、上記光重合開始剤は公知の例えば、
ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、t−ブチルアント
ラキノン、2−エチルアントラキノン、チオキサントン
類、ベンゾインアルキルエーテル類、ベンジルケタール
類等があげられ、これらは1種または2種以上を併用で
きる。光重合開始剤の使用量はコスト、パターンの仕上
がり具合、あるいは解像度等の点から0.5〜10重量
%である。
ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、4,4’−ビス
(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、t−ブチルアント
ラキノン、2−エチルアントラキノン、チオキサントン
類、ベンゾインアルキルエーテル類、ベンジルケタール
類等があげられ、これらは1種または2種以上を併用で
きる。光重合開始剤の使用量はコスト、パターンの仕上
がり具合、あるいは解像度等の点から0.5〜10重量
%である。
【0017】このドライフィルムレジストは、レジスト
の粘度が高過ぎない場合は、希釈剤の不存在下でも製造
可能であるが、一般的には熱可塑性重合体を溶解させ、
かつ沸点のあまり高くない溶剤、例えばメチルエチルケ
トン、メチレンクロリド、塩化メチレン/メチルアルコ
ール混合物、またはイソプロピルアルコール等を併用し
て製造した方が好ましい結果が得られる。溶剤の使用量
は、200重量%以下、好ましくは100〜200重量
%である。また、必要に応じて可塑剤、熱重合禁止剤、
充填剤等を添加することもできる。
の粘度が高過ぎない場合は、希釈剤の不存在下でも製造
可能であるが、一般的には熱可塑性重合体を溶解させ、
かつ沸点のあまり高くない溶剤、例えばメチルエチルケ
トン、メチレンクロリド、塩化メチレン/メチルアルコ
ール混合物、またはイソプロピルアルコール等を併用し
て製造した方が好ましい結果が得られる。溶剤の使用量
は、200重量%以下、好ましくは100〜200重量
%である。また、必要に応じて可塑剤、熱重合禁止剤、
充填剤等を添加することもできる。
【0018】上記光拡散性微粉末の配合量は2〜30重
量%程度とされ、得られる乳色半透明ドライフィルムレ
ジストの光線透過率が25〜90%程度となるように決
められる。乳色半透明ドライフィルムレジストの製造
は、所定量の光拡散性微粉末、熱可塑性重合体、架橋性
単量体および光重合開始剤等混練し、ポリエチレンテレ
フタレートなどの支持フィルム上に目的の厚みとなるよ
うに流延または積層し、必要ならば乾燥したのちポリオ
レフィンなどの保持フィルムを積層することで簡単に行
うことができる。
量%程度とされ、得られる乳色半透明ドライフィルムレ
ジストの光線透過率が25〜90%程度となるように決
められる。乳色半透明ドライフィルムレジストの製造
は、所定量の光拡散性微粉末、熱可塑性重合体、架橋性
単量体および光重合開始剤等混練し、ポリエチレンテレ
フタレートなどの支持フィルム上に目的の厚みとなるよ
うに流延または積層し、必要ならば乾燥したのちポリオ
レフィンなどの保持フィルムを積層することで簡単に行
うことができる。
【0019】次に、請求項2に記載の面状光源装置につ
いて説明する。この発明の面状光源装置は、図1に示す
ような従来の面状光源装置において、その光拡散体5を
上記乳色半透明のドライフィルムレジストの光硬化物か
ら構成したものである。
いて説明する。この発明の面状光源装置は、図1に示す
ような従来の面状光源装置において、その光拡散体5を
上記乳色半透明のドライフィルムレジストの光硬化物か
ら構成したものである。
【0020】このような光拡散体5の作成は、次のよう
にして行われる。まず、透光板1の一面全面に未硬化状
態の乳色半透明ドライフィルムレジストを貼り付け、所
定のパターン、例えば図2に示すような多数のドットか
らなるパターンが形成されたホトマスクを介して紫外線
を照射し、露光する。ついで、アルカリ水溶液または有
機溶剤などの現像液を用い、ドライフィルムレジストの
未露光の未硬化部位を溶解、除去して、透光板2上に乳
色半透明のドライフィルムレジスト光硬化物からなる多
数のドットを透光板2上に形成し、目的の光拡散体とす
る。
にして行われる。まず、透光板1の一面全面に未硬化状
態の乳色半透明ドライフィルムレジストを貼り付け、所
定のパターン、例えば図2に示すような多数のドットか
らなるパターンが形成されたホトマスクを介して紫外線
を照射し、露光する。ついで、アルカリ水溶液または有
機溶剤などの現像液を用い、ドライフィルムレジストの
未露光の未硬化部位を溶解、除去して、透光板2上に乳
色半透明のドライフィルムレジスト光硬化物からなる多
数のドットを透光板2上に形成し、目的の光拡散体とす
る。
【0021】この際、乳色半透明ドライフィルムレジス
トの透光板2への貼付は、未硬化の乳色半透明ドライフ
ィルムレジストが有している粘着性によって行うことが
でき、改めて接着剤を用いる必要はかならずしもない。
また、ドライフィルムレジストの光硬化物も透光板に対
して良好な接着性を有し、露光、現像後においても強固
に透光板に接着している。
トの透光板2への貼付は、未硬化の乳色半透明ドライフ
ィルムレジストが有している粘着性によって行うことが
でき、改めて接着剤を用いる必要はかならずしもない。
また、ドライフィルムレジストの光硬化物も透光板に対
して良好な接着性を有し、露光、現像後においても強固
に透光板に接着している。
【0022】このようにして得られる光拡散体のパター
ンは、図2に示したもの以外に図3ないし図5に示すよ
うなものが用いられる。これらのパターンは光拡散体が
設けられていない面から出射される光の強度が均一にな
るように設計される必要がある。例えばこれらの光拡散
体は透光板の光入射部1に相当する一側縁部分から離れ
るにしたがって、光拡散が大となるようにするために乳
色半透明のドライフィルムレジスト光硬化物からなるド
ットやライン等の密度が密となるようにあるいはそれら
の面積が大となるように形成されている。
ンは、図2に示したもの以外に図3ないし図5に示すよ
うなものが用いられる。これらのパターンは光拡散体が
設けられていない面から出射される光の強度が均一にな
るように設計される必要がある。例えばこれらの光拡散
体は透光板の光入射部1に相当する一側縁部分から離れ
るにしたがって、光拡散が大となるようにするために乳
色半透明のドライフィルムレジスト光硬化物からなるド
ットやライン等の密度が密となるようにあるいはそれら
の面積が大となるように形成されている。
【0023】このように、本発明によれば、光拡散体の
形成を乳色半透明ドライフィルムレジストを用い、ホト
リソグラフ技術を利用して行っているため、微小なドッ
トやライン等の形成を極めて高い精度と再現性を伴って
行うことができる。また、製造工程中にゴミ等の異物が
混入することも少なくなる。
形成を乳色半透明ドライフィルムレジストを用い、ホト
リソグラフ技術を利用して行っているため、微小なドッ
トやライン等の形成を極めて高い精度と再現性を伴って
行うことができる。また、製造工程中にゴミ等の異物が
混入することも少なくなる。
【0024】また、本発明の透光板2の光入射部1につ
いては、これを1個所と限定する必要はなく、2個所以
上とすることができ、例えば透光板2の平面的に相対向
する2つの側面端部をそれぞれ光入射部1,1とするこ
とができる。このような場合には図2ないし図5に示し
た光拡散体のパターンは当然変化し、図2に対応するパ
ターンとしては図6に示すようなものになる。すなわ
ち、透光板2の中央部においてドット7の径が最大とな
り、光入射部1,1側に移動するにつれて対称的にドッ
ト7の径が徐々に小さくなるようになっている。同様に
図3のパターンに対応するパターンとしては図7に示す
ようになる。光入射部1が3個所以上となれば、同様に
してパターンが変化する。
いては、これを1個所と限定する必要はなく、2個所以
上とすることができ、例えば透光板2の平面的に相対向
する2つの側面端部をそれぞれ光入射部1,1とするこ
とができる。このような場合には図2ないし図5に示し
た光拡散体のパターンは当然変化し、図2に対応するパ
ターンとしては図6に示すようなものになる。すなわ
ち、透光板2の中央部においてドット7の径が最大とな
り、光入射部1,1側に移動するにつれて対称的にドッ
ト7の径が徐々に小さくなるようになっている。同様に
図3のパターンに対応するパターンとしては図7に示す
ようになる。光入射部1が3個所以上となれば、同様に
してパターンが変化する。
【0025】
【実施例】光拡散性微粉末として、三酸化アンチモンを
5重量%配合、分散したレジスト厚さ50μmのアクリ
ル樹脂系乳色半透明ドライフィルムレジストを作成し
た。このものの光線透過率は54%であった。
5重量%配合、分散したレジスト厚さ50μmのアクリ
ル樹脂系乳色半透明ドライフィルムレジストを作成し
た。このものの光線透過率は54%であった。
【0026】ついで、この乳色半透明ドライフィルムレ
ジストを透光板としての厚さ2.0mm、縦200m
m、横150mmのメチルメタアクリレート透明樹脂板
の一面にその粘着性を利用して貼り付け、図2に示すド
ットパターンのホトマスクを用いて紫外線を照射し、露
光した。このホトマスクのドットの最小のものは径50
μmとし、最大のものは径1.2mmとした。
ジストを透光板としての厚さ2.0mm、縦200m
m、横150mmのメチルメタアクリレート透明樹脂板
の一面にその粘着性を利用して貼り付け、図2に示すド
ットパターンのホトマスクを用いて紫外線を照射し、露
光した。このホトマスクのドットの最小のものは径50
μmとし、最大のものは径1.2mmとした。
【0027】露光後のドライフィルムレジストをアルカ
リ水溶液で現像し、未露光の未硬化部分を溶解除去し、
多数の光硬化物のドットからなる光拡散体を形成した。
得られた光拡散体のドットの最小のものの径は50±3
μmであり、十分な精度であった。
リ水溶液で現像し、未露光の未硬化部分を溶解除去し、
多数の光硬化物のドットからなる光拡散体を形成した。
得られた光拡散体のドットの最小のものの径は50±3
μmであり、十分な精度であった。
【0028】かくして光拡散体を設けた透光板を使用し
て図1に示すような有効露光面が縦180mm、横13
0mmの面状光源装置を作成したところ、全露光面にわ
たって均一な光量が得られ、照度の最大のバラツキは2
0%以内であった。
て図1に示すような有効露光面が縦180mm、横13
0mmの面状光源装置を作成したところ、全露光面にわ
たって均一な光量が得られ、照度の最大のバラツキは2
0%以内であった。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では面状光
源装置の光拡散体の形成を乳色半透明のドライフィルム
レジストを用いて行い、このドライフィルムレジストの
光硬化物で光拡散体を構成したものである。よって、微
小なドットやラインなどからなる光拡散体を高い精度と
再現性を伴って形成することができる。
源装置の光拡散体の形成を乳色半透明のドライフィルム
レジストを用いて行い、このドライフィルムレジストの
光硬化物で光拡散体を構成したものである。よって、微
小なドットやラインなどからなる光拡散体を高い精度と
再現性を伴って形成することができる。
【図1】本発明で対象とする面状光源装置の一例を示す
概略構成図である。
概略構成図である。
【図2】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
【図3】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
【図4】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
【図5】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
【図6】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
【図7】光拡散体のパターンの例を示す平面図である。
1 光入射部 2 透光板 3 光源 4 散乱板 5 光拡散体 6 反射板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小▲柳▼ 精也 広島県大竹市御幸町20番1号 三菱レイヨ ン株式会社中央研究所内
Claims (5)
- 【請求項1】 乳色半透明のドライフィルムレジスト。
- 【請求項2】 透光性材料からなる透光板の少なくとも
一側面端部を光入射部とし、この透光板の一面に光拡散
が可能となるような光拡散体が設けられてなる面状光源
装置において、 上記光拡散体が乳色半透明のドライフィルムレジストの
光硬化物から構成されていることを特徴とする面状光源
装置。 - 【請求項3】 透光板の光入射部から入射された光が、
光拡散体が設けられていない面から出射される際、この
光の強度が均一になるように、光拡散体を形成すること
を特徴とする請求項2記載の面状光源装置。 - 【請求項4】 透光板の少なくとも一側面端部を光入射
部とし、この透光板の一面に上記光入射部から離れるに
したがって光拡散が大となるような光拡散体が設けられ
ていることを特徴とする請求項2記載の面状光源装置。 - 【請求項5】 透光板の一面に乳色半透明のドライフィ
ルムレジストを貼着し、このドライフィルムレジストに
ホトマスクを介して露光せしめたのち現像し、透光板の
光入射部から離れるにしたがって光拡散が大となるよう
なドライフィルムレジストの光硬化物からなる光拡散体
を形成することを特徴とする面状光源装置の製法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP3293451A JPH0560908A (ja) | 1990-12-17 | 1991-11-08 | 面状光源装置およびその製法ならびにこれに用いられるドライフイルムレジスト |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP41113390 | 1990-12-17 | ||
JP2-411133 | 1990-12-17 | ||
JP3293451A JPH0560908A (ja) | 1990-12-17 | 1991-11-08 | 面状光源装置およびその製法ならびにこれに用いられるドライフイルムレジスト |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPH0560908A true JPH0560908A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=26559417
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP3293451A Withdrawn JPH0560908A (ja) | 1990-12-17 | 1991-11-08 | 面状光源装置およびその製法ならびにこれに用いられるドライフイルムレジスト |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0560908A (ja) |
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1991
- 1991-11-08 JP JP3293451A patent/JPH0560908A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
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