JPH0541296A - 衝撃波遅延管 - Google Patents
衝撃波遅延管Info
- Publication number
- JPH0541296A JPH0541296A JP21481691A JP21481691A JPH0541296A JP H0541296 A JPH0541296 A JP H0541296A JP 21481691 A JP21481691 A JP 21481691A JP 21481691 A JP21481691 A JP 21481691A JP H0541296 A JPH0541296 A JP H0541296A
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- Japan
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- wave delay
- delay tube
- titanium
- shock wave
- sor
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 衝撃波遅延管からのガスの発生を防止して光
取り出しライン内を超高真空状態に保つ。 【構成】 衝撃波遅延管３０内のセル３８内の空間にＳ
ＯＲ光２９の通過を妨げない位置にチタンフィラメント
４０を配設する。このチタンフィラメント４０に外部か
ら電流を供給して蒸発させる。これにより衝撃波遅延管
３０の内周面にチタンの蒸着膜が形成される。このチタ
ン蒸着膜はガスのゲッター面として作用し、光取り出し
ライン中に浮游しているガスを吸着排気し、光取り出し
ライン内を超高真空に保つ。
取り出しライン内を超高真空状態に保つ。 【構成】 衝撃波遅延管３０内のセル３８内の空間にＳ
ＯＲ光２９の通過を妨げない位置にチタンフィラメント
４０を配設する。このチタンフィラメント４０に外部か
ら電流を供給して蒸発させる。これにより衝撃波遅延管
３０の内周面にチタンの蒸着膜が形成される。このチタ
ン蒸着膜はガスのゲッター面として作用し、光取り出し
ライン中に浮游しているガスを吸着排気し、光取り出し
ライン内を超高真空に保つ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＳＯＲ（シンクロト
ロン放射光）装置の光取り出しラインに配設される衝撃
波遅延管の改良に関し、衝撃波遅延管の内周面をガスの
ゲッター面として、衝撃波遅延管に真空ポンプの働きを
させることにより、光取り出しライン内の超高真空が得
られるようにしたものである。
ロン放射光）装置の光取り出しラインに配設される衝撃
波遅延管の改良に関し、衝撃波遅延管の内周面をガスの
ゲッター面として、衝撃波遅延管に真空ポンプの働きを
させることにより、光取り出しライン内の超高真空が得
られるようにしたものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、シンクロトロン装置は、ＳＯＲ光
装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待
されている。ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁
石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９
は光取り出しライン２６を通して出射されて、例えば露
光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等と
して利用される。
装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における
診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待
されている。ＳＯＲ光装置の概要を図２に示す。ＳＯＲ
光装置１において、電子発生装置（電子銃等）１０で発
生した電子ビームは直線加速器（ライナック）１２で光
速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６
で偏向されて、インフレクタ１８を介してシンクロトロ
ンの蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に
入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギ
を与えられながら収束電磁石２３で収束され、偏向電磁
石２４で偏向されて真空ダクト２２内を周回し続ける。
偏向電磁石２４で偏向される時に発生するＳＯＲ光２９
は光取り出しライン２６を通して出射されて、例えば露
光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等と
して利用される。
【０００３】光取り出しライン２６の途中には、その端
部からの空気流入事故に備えて衝撃波遅延管３０が配設
されており、空気流入があった時にその流入を遅延し
て、上流側にある高速遮断弁３２を閉じることにより、
蓄積リング２２への空気の流入を阻止する。
部からの空気流入事故に備えて衝撃波遅延管３０が配設
されており、空気流入があった時にその流入を遅延し
て、上流側にある高速遮断弁３２を閉じることにより、
蓄積リング２２への空気の流入を阻止する。
【０００４】従来の衝撃波遅延管内の構造を図３に断面
図で示す。この衝撃波遅延管３０は、全体が円筒状の管
３４で構成され、その両側のフランジ３４ａ，３４ｂで
光取り出しライン２６に接続される。管３４内には円板
状の複数の仕切板３６が配設されて、複数のセル３８を
構成している。仕切板３６の中心部には孔３６ａが開設
されて、ＳＯＲ光２９がこの孔３６ａを通って出射され
るようになっている。
図で示す。この衝撃波遅延管３０は、全体が円筒状の管
３４で構成され、その両側のフランジ３４ａ，３４ｂで
光取り出しライン２６に接続される。管３４内には円板
状の複数の仕切板３６が配設されて、複数のセル３８を
構成している。仕切板３６の中心部には孔３６ａが開設
されて、ＳＯＲ光２９がこの孔３６ａを通って出射され
るようになっている。
【０００５】光取り出しライン２６の端部のベリリウム
窓が破壊されるなどして大気突入側Ａから空気が流入す
ると、衝撃波遅延管３０は各セル３８で流入空気を順次
遅延して蓄積リング側Ｂ側へ伝達する。したがって、こ
の遅延している間に高速遮断弁３２（図２）を閉じるこ
とにより、蓄積リング２２への空気の流入を阻止するこ
とができる。
窓が破壊されるなどして大気突入側Ａから空気が流入す
ると、衝撃波遅延管３０は各セル３８で流入空気を順次
遅延して蓄積リング側Ｂ側へ伝達する。したがって、こ
の遅延している間に高速遮断弁３２（図２）を閉じるこ
とにより、蓄積リング２２への空気の流入を阻止するこ
とができる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】衝撃波遅延管３０は内
部の表面積が大きいためガスの発生源となりやすく、光
取り出しライン２６および蓄積リング２２内を１０-10
Torr等の超高真空に保つのが難しかった。この発明は、
前記従来の技術における問題点を解決して、衝撃波遅延
管からのガスの発生を防止して光取り出しラインの超高
真空が得られるようにした衝撃波遅延管を提供しようと
するものである。
部の表面積が大きいためガスの発生源となりやすく、光
取り出しライン２６および蓄積リング２２内を１０-10
Torr等の超高真空に保つのが難しかった。この発明は、
前記従来の技術における問題点を解決して、衝撃波遅延
管からのガスの発生を防止して光取り出しラインの超高
真空が得られるようにした衝撃波遅延管を提供しようと
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、ＳＯＲ装置
における光取り出しラインに配設されて、内部に複数の
仕切板で仕切られた複数のセルを縦列に配し、当該仕切
板に形成されたＳＯＲ光通過孔を通してＳＯＲ光が出射
される衝撃波遅延管において、前記セル内のＳＯＲ光が
通過する位置を外れた空間内に配設されたチタンフィラ
メントと、このチタンフィラメントに外部から電流を供
給する電流供給路とを具備してなるものである。
における光取り出しラインに配設されて、内部に複数の
仕切板で仕切られた複数のセルを縦列に配し、当該仕切
板に形成されたＳＯＲ光通過孔を通してＳＯＲ光が出射
される衝撃波遅延管において、前記セル内のＳＯＲ光が
通過する位置を外れた空間内に配設されたチタンフィラ
メントと、このチタンフィラメントに外部から電流を供
給する電流供給路とを具備してなるものである。
【０００８】
【作用】この発明によれば、チタンフィラメントに通電
してチタンを蒸発させて衝撃波遅延管の内周面に付着さ
せることにより、この内周面がガスのゲッター面となる
ので、チタンサブリメーションポンプの原理で光取り出
しライン中のガスの吸着排気することができる。また、
衝撃波遅延管内周面自体からのガスの発生も防止できる
ので、光取り出しラインさらには蓄積リング内を超高真
空に保つことが可能となる。
してチタンを蒸発させて衝撃波遅延管の内周面に付着さ
せることにより、この内周面がガスのゲッター面となる
ので、チタンサブリメーションポンプの原理で光取り出
しライン中のガスの吸着排気することができる。また、
衝撃波遅延管内周面自体からのガスの発生も防止できる
ので、光取り出しラインさらには蓄積リング内を超高真
空に保つことが可能となる。
【０００９】
【実施例】この発明の一実施例を図１に断面図で示す。
また図１のＡ−Ａ矢視拡大図を図４に示す。衝撃波遅延
管３０は、全体が円筒状の管３４で構成され、その両側
のフランジ３４ａ，３４ｂで光取り出しライン２６に接
続される。管３４内には円板状の複数の仕切板３６が配
設されて、複数のセル３８を構成している。仕切板３６
の中心部にはＳＯＲ光通過孔３６ａが開設されて、ＳＯ
Ｒ光２９がこの孔３６ａを通って出射されるようになっ
ている。
また図１のＡ−Ａ矢視拡大図を図４に示す。衝撃波遅延
管３０は、全体が円筒状の管３４で構成され、その両側
のフランジ３４ａ，３４ｂで光取り出しライン２６に接
続される。管３４内には円板状の複数の仕切板３６が配
設されて、複数のセル３８を構成している。仕切板３６
の中心部にはＳＯＲ光通過孔３６ａが開設されて、ＳＯ
Ｒ光２９がこの孔３６ａを通って出射されるようになっ
ている。
【００１０】各セル３８内の空間にはそれぞれチタンフ
ィラメント４０が図４に示すようにＳＯＲ光２９の通過
位置を外れてリング状に配設されている。各チタンフィ
ラメント４０は、両端部が銅等の金属ロッド４４，４６
に個々に接続されてセル３８中の空間に支持されてい
る。金属ロッド４４，４６は管３４の側部に形成された
孔４２から電流導入端子４８を介してそれぞれ外部に引
き出されて、電源に接続されており、チタンフィラメン
ト４０への給電を行なう。なお、チタンを蒸発させる時
にチタン蒸気が衝撃波遅延管３０の外に広がらないよう
に、衝撃波遅延管３０の両端部側にゲートバルブを配し
て、チタンを蒸発させる時にこのゲートバルブを閉じる
ようにするのが望ましい。
ィラメント４０が図４に示すようにＳＯＲ光２９の通過
位置を外れてリング状に配設されている。各チタンフィ
ラメント４０は、両端部が銅等の金属ロッド４４，４６
に個々に接続されてセル３８中の空間に支持されてい
る。金属ロッド４４，４６は管３４の側部に形成された
孔４２から電流導入端子４８を介してそれぞれ外部に引
き出されて、電源に接続されており、チタンフィラメン
ト４０への給電を行なう。なお、チタンを蒸発させる時
にチタン蒸気が衝撃波遅延管３０の外に広がらないよう
に、衝撃波遅延管３０の両端部側にゲートバルブを配し
て、チタンを蒸発させる時にこのゲートバルブを閉じる
ようにするのが望ましい。
【００１１】図１の衝撃波遅延管３０の使用方法につい
て説明する。チタンの蒸発を行なう時は衝撃波遅延管３
０の両端部のゲートバルブを閉じてＳＯＲ光２９の出射
を停止し、チタンフィラメント４０に通電加熱して少し
ずつ昇華させる。昇華したチタン蒸気４１（図４）はゲ
ートバルブで閉じられた空間の内周面（管３４の内周面
および仕切板３６の表面）に蒸着して、チタンによるガ
スのゲッター面５０を形成する。
て説明する。チタンの蒸発を行なう時は衝撃波遅延管３
０の両端部のゲートバルブを閉じてＳＯＲ光２９の出射
を停止し、チタンフィラメント４０に通電加熱して少し
ずつ昇華させる。昇華したチタン蒸気４１（図４）はゲ
ートバルブで閉じられた空間の内周面（管３４の内周面
および仕切板３６の表面）に蒸着して、チタンによるガ
スのゲッター面５０を形成する。
【００１２】ゲッター面５０が形成されたら、チタンフ
ィラメント４０への通電をやめ、ゲートバルブを開く。
これにより、蓄積リング２２（図２）の偏向位置から放
射されたＳＯＲ光２９は、衝撃波遅延管３０を通って出
射される。
ィラメント４０への通電をやめ、ゲートバルブを開く。
これにより、蓄積リング２２（図２）の偏向位置から放
射されたＳＯＲ光２９は、衝撃波遅延管３０を通って出
射される。
【００１３】この時衝撃波遅延管３０の内周面はチタン
蒸着膜によるガスのゲッター面５０を形成しているの
で、光取り出しライン２６中に浮游しているガスを吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管３０の内周
面自体からのガスの発生も抑えられる。したがって、光
取り出しライン２６さらには蓄積リング（図２）内を１
０-10 Torr等の超高真空に保つことができる。なお、ゲ
ッター面５０のガス吸着能力が低下したら、再び両側の
ゲートバルブを閉じて、チタン蒸着を行なう。
蒸着膜によるガスのゲッター面５０を形成しているの
で、光取り出しライン２６中に浮游しているガスを吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管３０の内周
面自体からのガスの発生も抑えられる。したがって、光
取り出しライン２６さらには蓄積リング（図２）内を１
０-10 Torr等の超高真空に保つことができる。なお、ゲ
ッター面５０のガス吸着能力が低下したら、再び両側の
ゲートバルブを閉じて、チタン蒸着を行なう。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、チタンフィラメントに通電してチタンを蒸発させて
衝撃波遅延管の内周面に付着させることにより、この内
周面がガスのゲッター面となるので、チタンサブリメー
ションポンプの原理で光取り出しライン中のガスの吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管内周面自体
からのガスの発生も防止できるので、光取り出しライン
さらには蓄積リング内を超高真空に保つことが可能とな
る。
ば、チタンフィラメントに通電してチタンを蒸発させて
衝撃波遅延管の内周面に付着させることにより、この内
周面がガスのゲッター面となるので、チタンサブリメー
ションポンプの原理で光取り出しライン中のガスの吸着
排気することができる。また、衝撃波遅延管内周面自体
からのガスの発生も防止できるので、光取り出しライン
さらには蓄積リング内を超高真空に保つことが可能とな
る。
【図１】この発明の一実施例を示す縦断面図である。
【図２】ＳＯＲ装置の概要を示す平面図である。
【図３】従来の衝撃波遅延管を示す縦断面図である。
【図４】図１のＡ−Ａ矢視拡大図である。
１ ＳＯＲ装置 ２６ 光取り出しライン ２９ ＳＯＲ光 ３０ 衝撃波遅延管 ３６ 仕切板 ３６ａ ＳＯＲ光通過孔 ３８ セル ４０ チタンフィラメント ４４，４６ 金属ロッド（電流供給路）
Claims (1)
- 【請求項１】ＳＯＲ装置における光取り出しラインに配
設されて、内部に複数の仕切板で仕切られた複数のセル
を縦列に配し、当該仕切板に形成されたＳＯＲ光通過孔
を通してＳＯＲ光が出射される衝撃波遅延管において、 前記セル内のＳＯＲ光が通過する位置を外れた空間内に
配設されたチタンフィラメントと、 このチタンフィラメントに外部から電流を供給する電流
供給路とを具備してなる衝撃波遅延管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481691A JPH0541296A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 衝撃波遅延管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21481691A JPH0541296A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 衝撃波遅延管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541296A true JPH0541296A (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=16662002
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21481691A Pending JPH0541296A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 衝撃波遅延管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541296A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060148A (en) * | 1997-03-28 | 2000-05-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic honeycomb structural body |
| US8007556B2 (en) * | 2003-12-24 | 2011-08-30 | Saint-Gobain Centre De Recherches Et D'etudes Europeen | Block for filtering particles contained in exhaust gases of an internal combustion engine |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP21481691A patent/JPH0541296A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6060148A (en) * | 1997-03-28 | 2000-05-09 | Ngk Insulators, Ltd. | Ceramic honeycomb structural body |
| US8007556B2 (en) * | 2003-12-24 | 2011-08-30 | Saint-Gobain Centre De Recherches Et D'etudes Europeen | Block for filtering particles contained in exhaust gases of an internal combustion engine |
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