JPH0539564Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0539564Y2 JPH0539564Y2 JP16768988U JP16768988U JPH0539564Y2 JP H0539564 Y2 JPH0539564 Y2 JP H0539564Y2 JP 16768988 U JP16768988 U JP 16768988U JP 16768988 U JP16768988 U JP 16768988U JP H0539564 Y2 JPH0539564 Y2 JP H0539564Y2
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- Japan
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- anode
- light
- emitting bulb
- bulb
- lead rod
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- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 21
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Landscapes
- Discharge Lamp (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術の属する分野〕
本考案は直流電源で使用されるシヨートアーク
型高圧水銀灯に関する。
型高圧水銀灯に関する。
直流電源で点灯使用されるシヨートアーク型の
高圧水銀灯は、耐熱温度の高い石英ガラスよりな
る発光バルブ内にタングステン製の陽極と陰極と
を、電極間距離１mm乃至６mm程度保つて配置し、
内部に始動用ガスと共に点灯時蒸気圧が１気圧前
後から50気圧になる程度の量の水銀を封入してい
る。
高圧水銀灯は、耐熱温度の高い石英ガラスよりな
る発光バルブ内にタングステン製の陽極と陰極と
を、電極間距離１mm乃至６mm程度保つて配置し、
内部に始動用ガスと共に点灯時蒸気圧が１気圧前
後から50気圧になる程度の量の水銀を封入してい
る。
このような放電灯は電極間距離が短かくて高輝
度が得られることから半導体露光装置用の光源等
に好んで使用されている。ところで近時、半導体
露光装置用の光源としては、半導体ウエハの大型
化、スループツトの増大（露光処理時間の短縮）
等の関係から大出力化の傾向がある。比較的小出
力のものは、例えば実願昭49−102752（実開昭51
−30377）に解説された構造の放電灯で十分であ
るが、消費電力が1KW以上のものでは、更に改
良の必要のあることが分つた。
度が得られることから半導体露光装置用の光源等
に好んで使用されている。ところで近時、半導体
露光装置用の光源としては、半導体ウエハの大型
化、スループツトの増大（露光処理時間の短縮）
等の関係から大出力化の傾向がある。比較的小出
力のものは、例えば実願昭49−102752（実開昭51
−30377）に解説された構造の放電灯で十分であ
るが、消費電力が1KW以上のものでは、更に改
良の必要のあることが分つた。
すなわち、消費電力が大きくなると、放電灯の
電流、電圧の設計値にもよるが大体において電流
値は大きくなり、それにともなつて、電子衝突を
受ける陽極の体積は大きくなり、太く、長くな
る。
電流、電圧の設計値にもよるが大体において電流
値は大きくなり、それにともなつて、電子衝突を
受ける陽極の体積は大きくなり、太く、長くな
る。
半導体露光装置用のシヨートアーク型の高圧水
銀灯の陽極の体積については、点灯条件その他を
考慮して、特開昭54−108478の中でも検討されて
いる。ここでは、陽極損傷を小さくすることが対
象となつているが、放電灯としては用途との関係
から出来るだけ早く水銀が所定の蒸気圧になるこ
とが求められている。
銀灯の陽極の体積については、点灯条件その他を
考慮して、特開昭54−108478の中でも検討されて
いる。ここでは、陽極損傷を小さくすることが対
象となつているが、放電灯としては用途との関係
から出来るだけ早く水銀が所定の蒸気圧になるこ
とが求められている。
他方、陽極の方は、電子放射性の良悪はさほど
考慮する必要はないから、単に損傷防止という観
点から言えば、体積を大きくして全体の温度が昇
温しにくいようにすれば良いが、この場合は、放
電灯の製作が困難になるばかりでなく、陽極後方
の空所が大きくなつたり、陽極後方のバルブ部分
が昇温しにくくなり水銀蒸気を所定の圧力にする
のに時間を要する。この傾向は、陽極を下方に位
置して点灯使用する場合、特に大きな欠点とな
る。
考慮する必要はないから、単に損傷防止という観
点から言えば、体積を大きくして全体の温度が昇
温しにくいようにすれば良いが、この場合は、放
電灯の製作が困難になるばかりでなく、陽極後方
の空所が大きくなつたり、陽極後方のバルブ部分
が昇温しにくくなり水銀蒸気を所定の圧力にする
のに時間を要する。この傾向は、陽極を下方に位
置して点灯使用する場合、特に大きな欠点とな
る。
ところで陽極を下方に位置して点灯使用するシ
ヨートアーク型の水銀灯について、陽極後方のバ
ルブ部分を保温する技術は、例えば特公昭50−
32955にも見られる金属反射膜もしくはセラミツ
クスの保護膜による手段が利用されているが、陽
極が大きい場合は他にも良い技術があることが分
つた。
ヨートアーク型の水銀灯について、陽極後方のバ
ルブ部分を保温する技術は、例えば特公昭50−
32955にも見られる金属反射膜もしくはセラミツ
クスの保護膜による手段が利用されているが、陽
極が大きい場合は他にも良い技術があることが分
つた。
〔考案の目的」
本考案は以上の事情を考慮してなされたもので
あつて、陽極が大きくて、かつ陽極を下方に位置
して点灯使用されるシヨートアーク型の高圧水銀
灯において、陽極の後方の空所を小さくするとと
もに陽極後方のバルブ部分の内壁が早く昇温され
るように構成した新規な放電灯を提供することを
目的とする。
あつて、陽極が大きくて、かつ陽極を下方に位置
して点灯使用されるシヨートアーク型の高圧水銀
灯において、陽極の後方の空所を小さくするとと
もに陽極後方のバルブ部分の内壁が早く昇温され
るように構成した新規な放電灯を提供することを
目的とする。
本考案において、シヨートアーク型高圧水銀灯
を、 放電空間を取り囲む発光バルブとその先端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒とを備えてなり、 該陽極は、内部リード棒とは別体であつて、ア
ーク支持部とそれに続く胴体部を有し、該胴体部
の後端が円錐状に切り落され、切断面が前記発光
バルブ内壁に近接させて構成する。
を、 放電空間を取り囲む発光バルブとその先端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒とを備えてなり、 該陽極は、内部リード棒とは別体であつて、ア
ーク支持部とそれに続く胴体部を有し、該胴体部
の後端が円錐状に切り落され、切断面が前記発光
バルブ内壁に近接させて構成する。
バルブ内の始動用ガスを介して伝熱、及び、陽
極後方からの放射伝熱が効率良く行なわれるの
で、陽極後方に位置するバルブ部分が暖まりやす
く、また、陽極後方にある水銀の気化も早い。
極後方からの放射伝熱が効率良く行なわれるの
で、陽極後方に位置するバルブ部分が暖まりやす
く、また、陽極後方にある水銀の気化も早い。
尚、上記構成で、さらに従来技術の保温膜の利
用を併用すると著しく水銀の気化は早い。
用を併用すると著しく水銀の気化は早い。
第１図は本考案に係るシヨートアーク型高圧水
銀灯の実施例の説明図である。
銀灯の実施例の説明図である。
図において、１は、発光空間２を取り囲む発光
バルブ、３は陰極であつて、その胴体部は延長さ
れて陰極内部リード棒３ａを兼務している。４は
陽極であつて、陽極内部リード棒５と別体で作ら
れる。そのアーク支持部４ａに続く胴体部４ｂの
後部は、円錐状に切り落され、切断面４ｃが形成
される。６は内部リード棒に接続された金属箔、
９は外部リード棒である。１０は枝管部であつ
て、金属箔と協働して気密構造を形成するととも
に内部リード棒を保持する。１１は必要に応じて
挿入されるガラスパイプである。
バルブ、３は陰極であつて、その胴体部は延長さ
れて陰極内部リード棒３ａを兼務している。４は
陽極であつて、陽極内部リード棒５と別体で作ら
れる。そのアーク支持部４ａに続く胴体部４ｂの
後部は、円錐状に切り落され、切断面４ｃが形成
される。６は内部リード棒に接続された金属箔、
９は外部リード棒である。１０は枝管部であつ
て、金属箔と協働して気密構造を形成するととも
に内部リード棒を保持する。１１は必要に応じて
挿入されるガラスパイプである。
ここにおいて、陽極の切断面４ｃは次のように
設計する。すなわち、胴体部の後方への延長線と
バルブ内壁との交点Ａと、胴体部の後端面を側方
へ延長した線の交点Ｂとによつて作られるＡ−Ｂ
線と略平行になるように切り落とし角度θを定め
る。つまり、切断面４ｃは、Ａ−Ｂ線が回転して
作る仮想の円錐台の斜面と略平行になる。勿論、
平行性が満たされなくても良いが、このようにす
ることによつて、陽極をバルブ近傍に接近させ、
陽極後方に位置するバルブ部分を比較的広く均一
に温める効果がある。当然、水銀が陽極後方へ凝
縮する量を減らす効果もある。したがつて、陽極
を下方に位置して点灯使用するシヨートアーク型
高圧水銀灯にとつて、要求電気特性は発揮しやす
い。
設計する。すなわち、胴体部の後方への延長線と
バルブ内壁との交点Ａと、胴体部の後端面を側方
へ延長した線の交点Ｂとによつて作られるＡ−Ｂ
線と略平行になるように切り落とし角度θを定め
る。つまり、切断面４ｃは、Ａ−Ｂ線が回転して
作る仮想の円錐台の斜面と略平行になる。勿論、
平行性が満たされなくても良いが、このようにす
ることによつて、陽極をバルブ近傍に接近させ、
陽極後方に位置するバルブ部分を比較的広く均一
に温める効果がある。当然、水銀が陽極後方へ凝
縮する量を減らす効果もある。したがつて、陽極
を下方に位置して点灯使用するシヨートアーク型
高圧水銀灯にとつて、要求電気特性は発揮しやす
い。
電気定格と陽極寸法を例示すと、消費電力
2KWで電流54A、電圧37V、始導用封入ガスはキ
セノン0.3気圧〜１気圧（25℃）、水銀は点灯使用
時で約11気圧になる量を入れる。ここで、陽極
は、全長24mm、太さ12mmのタングステンで作り、
アークを支持する球状凸出距離が６mm、切断面４
ｃの巾は約３mmである。
2KWで電流54A、電圧37V、始導用封入ガスはキ
セノン0.3気圧〜１気圧（25℃）、水銀は点灯使用
時で約11気圧になる量を入れる。ここで、陽極
は、全長24mm、太さ12mmのタングステンで作り、
アークを支持する球状凸出距離が６mm、切断面４
ｃの巾は約３mmである。
上記実施例の説明からも理解できるように、陽
極を下方に位置せしめて点灯使用するシヨートア
ーク型の高圧水銀灯において、消費電力の大電力
化が進み、陽極が大きくなつて、陽極後方へ逃げ
る水銀も多くなることによつて生ずる欠点、およ
び、ますます陽極後方のバルブが昇温しにくくな
つたり、水銀の気化が遅れたりする欠点等が解消
されるので、半導体露光用光源装置に適した大電
力のシヨートアーク型高圧水銀灯が提供できる。
極を下方に位置せしめて点灯使用するシヨートア
ーク型の高圧水銀灯において、消費電力の大電力
化が進み、陽極が大きくなつて、陽極後方へ逃げ
る水銀も多くなることによつて生ずる欠点、およ
び、ますます陽極後方のバルブが昇温しにくくな
つたり、水銀の気化が遅れたりする欠点等が解消
されるので、半導体露光用光源装置に適した大電
力のシヨートアーク型高圧水銀灯が提供できる。
第１図は本考案シヨートアーク型高圧水銀灯の
実施例の説明図である。 図において、１は発光バルブ、２は放電空間、
３は陰極、４は陽極、５は陽極内部リード棒、６
は金属箔、９は外部リード棒、１０は枝管部、１
１はガラスパイプを示す。
実施例の説明図である。 図において、１は発光バルブ、２は放電空間、
３は陰極、４は陽極、５は陽極内部リード棒、６
は金属箔、９は外部リード棒、１０は枝管部、１
１はガラスパイプを示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 放電空間を取り囲む発光バルブとその先端に続
く枝管部と、 発光バルブ内に対設された陰極と陽極と、 該陰極と該陽極とを支持し、該枝管部に保持さ
れる内部リード棒とを備えてなり、 該陽極は、内部リード棒とは別体であつて、ア
ーク支持部とそれに続く胴体部を有し、該胴体部
の後端が円錐状に切り落され、切断面が前記発光
バルブ内壁に近接して、陽極を下方に位置して点
灯使用されることを特徴とするシヨートアーク型
高圧水銀灯。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16768988U JPH0539564Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16768988U JPH0539564Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0289761U JPH0289761U (ja) | 1990-07-17 |
| JPH0539564Y2 true JPH0539564Y2 (ja) | 1993-10-07 |
Family
ID=31456210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16768988U Expired - Lifetime JPH0539564Y2 (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0539564Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5050816B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2012-10-17 | ウシオ電機株式会社 | 超高圧放電ランプ |
| JP2021034195A (ja) * | 2019-08-22 | 2021-03-01 | フェニックス電機株式会社 | 放電灯、光源ユニット、光源装置、および放電灯の点灯方法 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP16768988U patent/JPH0539564Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0289761U (ja) | 1990-07-17 |
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