[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH0538668A - 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法 - Google Patents

無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法

Info

Publication number
JPH0538668A
JPH0538668A JP2417798A JP41779890A JPH0538668A JP H0538668 A JPH0538668 A JP H0538668A JP 2417798 A JP2417798 A JP 2417798A JP 41779890 A JP41779890 A JP 41779890A JP H0538668 A JPH0538668 A JP H0538668A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
belt
polishing
endless
polished
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2417798A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadakatsu Kamiya
定勝 紙谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KAMIYA SEIKI KK
Original Assignee
KAMIYA SEIKI KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KAMIYA SEIKI KK filed Critical KAMIYA SEIKI KK
Priority to JP2417798A priority Critical patent/JPH0538668A/ja
Publication of JPH0538668A publication Critical patent/JPH0538668A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨の際に、加熱による無端研磨ベルト2の
劣化を抑えて耐久性を向上させ、被研磨材料Wの加工さ
れる断面形状通りに表面研磨を行う。 【構成】 外側に無端研磨ベルト2、内側に無端の加熱
抑制成形ベルト4の二重構造のベルトにより、被研磨材
料Wを 2枚重ねとして無端研磨ベルト2の研磨面に押し
付けることにより被研磨材料Wを研磨する。また、被研
磨材料Wによって加熱抑制成形ベルト4の断面形状を被
研磨材料Wの断面形状に対して接触する雌型状に成形す
る。 【効果】 発生する摩擦熱は無端研磨ベルト2と加熱抑
制成形ベルト4とに分散されると共に、凹凸面を有する
被研磨材料Wであっても全体を研磨することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は無端研磨ベルトを有す
る研磨装置及びその装置による研磨方法に係り、研磨の
際に、加熱による無端研磨ベルトの劣化を抑えて耐久性
を向上させると共に、簡単な操作で被研磨材料の加工さ
れる断面形状通りに表面研磨する無端研磨ベルトを有す
る研磨装置及びその装置による研磨方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の無端研磨ベルトを有する研磨装置
は、表面を研磨面として掛巡され回転する無端研磨ベル
トを有し、この無端研磨ベルトの内側には近接して研磨
基台を配し、被研磨材料をその研磨基台の部分で無端研
磨ベルトに押し付けるか、或いは、研磨基台を無端研磨
ベルトの内側から被研磨材料に押し付けるように押圧す
るかして研磨を行うものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この装置の
場合、無端研磨ベルトは、研磨基台と被研磨材料との間
を両方に接触しながら高速にて移動しているので、摩擦
熱により高熱が発生し、その高熱が無端研磨ベルトを劣
化せさ、寿命が短くなってしまい頻繁な交換を余儀なく
され、研磨作業の能率を著しく低下させてしまう問題点
があった。
【0004】また、一方では、この装置の場合には、単
に無端研磨ベルトを掛巡され回転している状態のところ
へ被研磨材料を押し付けるようにして研磨しているの
で、その被研磨材料の表面が平面であれば問題ないが、
断面形状において曲線、或いは、その他複雑な凹凸を有
したものであると、最も突出している部分のみが研磨さ
れるだけで、後は全く研磨されないという問題点もあっ
た。
【0005】そこで、この発明は、上述した問題点等に
鑑み、研磨の際に、加熱による無端研磨ベルトの劣化を
抑えて耐久性を向上させると共に、簡単な操作で被研磨
材料の加工される断面形状通りに表面研磨を行える無端
研磨ベルトを有する研磨装置の提供を課題として創出さ
れたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、表面を研磨
面として掛巡され回転する無端研磨ベルトと、この無端
研磨ベルトの内側に掛巡されて無端研磨ベルトの回転速
度と同じか、或いは、それよりも遅く回転すべく配され
た無端の加熱抑制成形ベルトと、この加熱抑制成形ベル
トの内側から外側に向って押圧して加熱抑制成形ベルト
と共に被研磨材料に無端研磨ベルトを押し付けるか、或
いは、被研磨材料が無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベ
ルトを介して押し付けられる押圧基体とから構成した無
端研磨ベルトを有する研磨装置により、上述した課題を
解決する。
【0007】また、被研磨材料の研磨すべき部位にシー
ト状の研磨材料を貼付しておき、この研磨材料の貼付し
てある面を、掛巡され回転する適宜厚さの無端の加熱抑
制成形ベルト表面に押し付けて研磨することで、加熱抑
制成形ベルト表面の断面形状を被研磨材料の加工される
断面形状に対して接触する雌型状に形成し、その後、被
研磨材料に貼付した研磨材料を剥離させ、一方では、前
記掛巡された加熱抑制成形ベルトを囲むように表面を研
磨面とした無端研磨ベルトを掛巡して回転させるように
配し、前記被研磨材料、或いは、この材料と断面形状が
同じ材料を、無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベルトの
2枚重ねとして無端研磨ベルトの研磨面に押し付け、加
熱抑制成形ベルトを、無端研磨ベルトの回転速度と同じ
か、或いは、それよりも遅く回転させて研磨する研磨方
法により、上述した課題を解決するものである。
【0008】
【作用】この発明に係る無端研磨ベルトを有する研磨装
置は、外側に無端研磨ベルト、内側に無端の加熱抑制成
形ベルトをそれぞれ配した二重構造のベルトにより、押
圧基体を加熱抑制成形ベルトの内側から外側に向って押
圧すべく移動させて加熱抑制成形ベルトと共に被研磨材
料に無端研磨ベルトを押し付けるか、或いは、押圧基体
を固定して被研磨材料を無端研磨ベルト及び加熱抑制成
形ベルトの上から押圧基体に向って押し付けることによ
り被研磨材料の研磨を行う。
【0009】その時に、加熱抑制成形ベルトの回転速度
を、無端研磨ベルトの回転速度と同じ速度、或いは、そ
れよりも遅くすることで、同じ速度の場合には、無端研
磨ベルトと加熱抑制成形ベルトとの間では摩擦熱の発生
はなく、無端研磨ベルトと被研磨材料との間の摩擦熱
と、加熱抑制成形ベルトと押圧基体との間の摩擦熱との
二つになり、加熱抑制成形ベルトと押圧基体との間の摩
擦熱は、無端研磨ベルトと被研磨材料とが接触してはい
るものの別体であるから無端研磨ベルト側には伝導され
にくくなり、無端研磨ベルトに加わる摩擦熱は、ほぼ無
端研磨ベルトと被研磨材料との間の摩擦熱のみになる。
従って、従来の無端研磨ベルトに加わる摩擦熱のほぼ半
分に近い摩擦熱が加わるにすぎないこととなる。
【0010】また、加熱抑制成形ベルトの回転速度を、
無端研磨ベルトの回転速度よりも遅くした場合には、無
端研磨ベルトと被研磨材料との間の摩擦熱は、その速度
差の分発生するものの、その分、加熱抑制成形ベルトと
押圧基体との間の摩擦熱の発生も少なくなり、やはり、
無端研磨ベルトに加わる摩擦熱は、ほぼ、無端研磨ベル
トと加熱抑制成形ベルトとの間の速度差の分発生する摩
擦熱と、無端研磨ベルトと被研磨材料との間の摩擦熱と
になる。従って、従来の無端研磨ベルトに加わる摩擦熱
は、従来の無端研磨ベルトに加わる摩擦熱よりも少ない
摩擦熱が加わるにすぎないこととなる。
【0011】一方、被研磨材料の表面が、断面形状にお
いて曲線、或いは、その他複雑な凹凸を有したものの場
合には、被研磨材料の研磨すべき部位にシート状の研磨
材料を貼付しておき、この研磨材料の貼付してある面
を、掛巡され回転する適宜厚さの無端の加熱抑制成形ベ
ルト表面に押し付けて研磨することで、加熱抑制成形ベ
ルト表面の断面形状を被研磨材料の加工される断面形状
に対して接触する雌型状に形成し、その後、被研磨材料
に貼付した研磨材料を剥離させ、一方では、前記掛巡さ
れた加熱抑制成形ベルトを囲むように表面を研磨面とし
た無端研磨ベルトを掛巡して回転させるように配し、前
記被研磨材料、或いは、この材料と断面形状が同じ材料
を、無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベルトの 2枚重ね
として無端研磨ベルトの研磨面に押し付け、加熱抑制成
形ベルトを、無端研磨ベルトの回転速度と同じか、或い
は、それよりも遅く回転させて研磨する。
【0012】そうすれば、押し付けた時に無端研磨ベル
トが加熱抑制成形ベルトの断面形状に倣って曲げられ、
被研磨材料の表面全面が研磨される。
【0013】
【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例を説
明すると次の通りである。
【0014】すなわち、図に示す符号1は研磨装置であ
り、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベルト4と押圧基
体8とから形成されている。
【0015】無端研磨ベルト2は、表面を研磨面とし
て、例えば、図1に示すように、 4個の掛巡ローラー3
により方形に掛巡され、 4個の掛巡ローラー3のうちの
どれか1個を図示はしないモーターの如き駆動装置によ
って駆動回転せさ、それによって回転するように形成さ
れている。
【0016】加熱抑制成形ベルト4は、無端で、前記無
端研磨ベルト2の内側に、例えば、図1に示すように、
3個の掛巡ローラー5により三角形に掛巡され、 3個の
掛巡ローラー5のうちのどれか 1個を、前記無端研磨ベ
ルト2と同様に、図示はしないモーターの如き駆動装置
によって駆動回転せさ、それによって回転するように形
成されている。
【0017】そして、この加熱抑制成形ベルト4の回転
速度は、無端研磨ベルト2の回転速度と同じか、或い
は、それよりも遅く回転すべく形成されている。
【0018】また、押圧基体8は、加熱抑制成形ベルト
4の内側に配されてから押圧装置9により外側に向って
押圧するように形成され、加熱抑制成形ベルト4と共に
被研磨材料Wに無端研磨ベルト2を押し付けるように形
成されている。
【0019】この場合に、押圧基体8を固定して、被研
磨材料Wを無端研磨ベルト2及び加熱抑制成形補助4を
介して押圧基体8に押し付けるようにして研磨する構造
にしても良い。
【0020】そして、図1に示すように、掛巡されてい
る加熱抑制成形ベルト4の内側には、加熱抑制成形ベル
ト4に張りを与えるように、張り調節機6によって押引
される張り調節ローラー7が 2個配されていて、張り調
節ローラー7により加熱抑制成形ベルト4を外側に押す
ことで弛みを無くすように形成されている。
【0021】一方、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベ
ルト4との掛巡形態は、図3に示すようなものがある。
【0022】例えば、図3(A)は、前述した実施例と
同じ形態であり、図3(B)は、無端研磨ベルト2と加
熱抑制成形ベルト4とを共に方形に掛巡したものであ
り、図3(C)は無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベル
ト4とを共に三角形に掛巡したものである。そして、図
3(D)は、押圧基体8が押動する部分を挟む両側のみ
を共通の掛巡ローラー3で掛巡し、あとはそれぞれ別の
掛巡ローラー3,5によって掛巡したものである。
【0023】このように形成した研磨装置1は、図2に
示すように、外側に無端研磨ベルト2、内側に無端の加
熱抑制成形ベルト4をそれぞれ配した二重構造のベルト
により、押圧基体8を加熱抑制成形ベルト4の内側から
外側に向って押圧すべく移動させて加熱抑制成形ベルト
4と共に被研磨材料Wに無端研磨ベルト2を押し付ける
か、或いは、図示はしないが、押圧基体8を固定して被
研磨材料Wを無端研磨ベルト2及び加熱抑制成形ベルト
4の上から押圧基体8に向って押し付けることにより被
研磨材料Wの研磨を行う。
【0024】そうすると、加熱抑制成形ベルト4の回転
速度を無端研磨ベルト2の回転速度と同じ速度にした時
には、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベルト4との間
では摩擦熱の発生はなく、無端研磨ベルト2と被研磨材
料Wとの間の摩擦熱と、加熱抑制成形ベルト4と押圧基
体8との間の摩擦熱との二つになり、加熱抑制成形ベル
ト4と押圧基体8との間の摩擦熱は、無端研磨ベルト2
と被研磨材料Wとが接触してはいるものの別体であるか
ら無端研磨ベルト2側には伝導されにくくなり、無端研
磨ベルト2に加わる摩擦熱は、ほぼ無端研磨ベルト2と
被研磨材料Wとの間の摩擦熱のみになる。従って、従来
の無端研磨ベルト2に加わる摩擦熱のほぼ半分に近い摩
擦熱が加わるにすぎないこととなる。
【0025】また、加熱抑制成形ベルト4の回転速度を
無端研磨ベルト2の回転速度よりも遅くした場合には、
無端研磨ベルト2と被研磨材料Wとの間の摩擦熱は、そ
の速度差の分発生するものの、その分、加熱抑制成形ベ
ルト4と押圧基体8との間の摩擦熱の発生も少なくな
り、やはり、無端研磨ベルト2に加わる摩擦熱は、ほ
ぼ、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベルト4との間の
速度差の分発生する摩擦熱と、無端研磨ベルト2と被研
磨材料Wとの間の摩擦熱とになる。従って、従来の無端
研磨ベルトに加わる摩擦熱は、従来の無端研磨ベルトに
加わる摩擦熱よりも少ない摩擦熱が加わるにすぎないこ
ととなる。
【0026】一方、被研磨材料Wの表面が、断面形状に
おいて曲線、或いは、その他複雑な凹凸を有したものの
場合には、まず、図4(A)に示すように、被研磨材料
Wの研磨すべき部位にシート状の研磨材料10を貼付し
ておき、この研磨材料10の貼付してある面を、掛巡さ
れ回転する適宜厚さの無端の加熱抑制成形ベルト4表面
に押し付けて研磨することで、加熱抑制成形ベルト4表
面の断面形状を被研磨材料Wの加工される断面形状に対
して接触する雌型状に形成し、その後、被研磨材料Wに
貼付した研磨材料10を剥離させ、一方では、前記掛巡
された加熱抑制成形ベルト4を囲むように表面を研磨面
とした無端研磨ベルト2を掛巡して回転させるように配
し、図4(B)に示すように、前記被研磨材料W、或い
は、この材料と断面形状が同じ材料Wを、無端研磨ベル
ト2及び加熱抑制成形ベルト4の2枚重ねとして無端研
磨ベルト2の研磨面に押し付け、加熱抑制成形ベルト4
を、無端研磨ベルト2の回転速度と同じか、或いは、そ
れよりも遅く回転させて研磨する。
【0027】そうすれば、被研磨材料Wを押し付けた時
に無端研磨ベルト2が加熱抑制成形ベルト4の断面形状
に倣って曲げられ、被研磨材料Wの表面全面を研磨する
ことができものである。
【0028】この時に、加熱抑制成形ベルト4の形状
を、図5(A)、(B)に示すように、表面を凹凸に形
成し、その凸部4aを前記研磨材料10によって研磨成
形するようにすれば、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形
ベルト4の凹部4bとは接触していないので、無端研磨
ベルト2と加熱抑制成形ベルト4との間に発生する摩擦
熱と、被研磨材料Wと無端研磨ベルト2との摩擦熱と
は、摩擦熱による接触していない凹部4bの部分で放散
するので無端研磨ベルト2の劣化は防止されるものであ
る。
【0029】尚、この発明は、前述した実施例に限定さ
れることがないことは言うまでもない。
【0030】
【発明の効果】上述の如く構成したこの発明は、表面を
研磨面として掛巡され回転する無端研磨ベルト2と、こ
の無端研磨ベルト2の内側に掛巡されて無端研磨ベルト
2の回転速度と同じか、或いは、それよりも遅く回転す
べく配された無端の加熱抑制成形ベルト4と、この加熱
抑制成形ベルト4の内側から外側に向って押圧して加熱
抑制成形ベルト4と共に被研磨材料Wに無端研磨ベルト
2を押し付けるか、或いは、被研磨材料Wが無端研磨ベ
ルト2及び加熱抑制成形ベルト4を介して押し付けられ
る押圧基体8とから構成してあるから、前述した実施例
に示したように、被研磨材料Wの研磨の際に、加熱抑制
成形ベルト4の回転速度を無端研磨ベルト2の回転速度
と同じ速度にした時には、無端研磨ベルト2と加熱抑制
成形ベルト4との間では摩擦熱の発生はなく、無端研磨
ベルト2と被研磨材料Wとの間の摩擦熱と、加熱抑制成
形ベルト4と押圧基体8との間の摩擦熱との二つにな
り、加熱抑制成形ベルト4と押圧基体8との間の摩擦熱
は、無端研磨ベルト2と被研磨材料Wとが接触してはい
るものの別体であるから無端研磨ベルト2側には伝導さ
れにくくなり、無端研磨ベルト2に加わる摩擦熱は、ほ
ぼ無端研磨ベルト2と被研磨材料Wとの間の摩擦熱のみ
になる。従って、従来の無端研磨ベルト2に加わる摩擦
熱のほぼ半分に近い摩擦熱が加わるにすぎないこととな
る。
【0031】また、加熱抑制成形ベルト4の回転速度を
無端研磨ベルト2の回転速度よりも遅くした場合には、
無端研磨ベルト2と被研磨材料Wとの間の摩擦熱は、そ
の速度差の分発生するものの、その分、加熱抑制成形ベ
ルト4と押圧基体8との間の摩擦熱の発生も少なくな
り、やはり、無端研磨ベルト2に加わる摩擦熱は、ほ
ぼ、無端研磨ベルト2と加熱抑制成形ベルト4との間の
速度差の分発生する摩擦熱と、無端研磨ベルト2と被研
磨材料Wとの間の摩擦熱とになる。従って、従来の無端
研磨ベルトに加わる摩擦熱は、従来の無端研磨ベルトに
加わる摩擦熱よりも少ない摩擦熱が加わるにすぎないこ
ととなる。
【0032】その結果、従来の無端研磨ベルトを有する
研磨装置に比べて、無端研磨ベルト2へ加わる摩擦熱は
極端に少なくなり、無端研磨ベルト2の寿命を大きく延
ばすことができ、それにより、無端研磨ベルト2の取換
え回数が少なくなって作業能率は向上し、しかも、無端
研磨ベルト2の使用量も少なくなるからコストダウンを
図ることができる。
【0033】一方、被研磨材料Wの表面が、断面形状に
おいて曲線、或いは、その他複雑な凹凸を有したものの
場合には、被研磨材料Wの研磨すべき部位にシート状の
研磨材料10を貼付しておき、この研磨材料10の貼付
してある面を、掛巡され回転する適宜厚さの無端の加熱
抑制成形ベルト4表面に押し付けて研磨することで、加
熱抑制成形ベルト4表面の断面形状を被研磨材料Wの加
工される断面形状に対して接触する雌型状に形成し、そ
の後、被研磨材料Wに貼付した研磨材料10を剥離さ
せ、一方では、前記掛巡された加熱抑制成形ベルト4を
囲むように表面を研磨面とした無端研磨ベルト2を掛巡
して回転させるように配し、前記被研磨材料W、或い
は、この材料と断面形状が同じ材料Wを、無端研磨ベル
ト2及び加熱抑制成形ベルト4の 2枚重ねとして無端研
磨ベルト2の研磨面に押し付け、加熱抑制成形ベルト4
を、無端研磨ベルト2の回転速度と同じか、或いは、そ
れよりも遅く回転させて研磨することで、被研磨材料W
を押し付けた時に無端研磨ベルト2が加熱抑制成形ベル
ト4の断面形状に倣って曲げられ、被研磨材料Wの表面
全面を研磨することができものである。従って、従来の
ように、最も突出している面のみが研磨されるものと違
って、断面形状において曲線、或いは、その他複雑な凹
凸を有した被研磨材料Wであっても全体を研磨でき、そ
の用途を大きく拡げることができるものである。
【0034】このように、この発明によれば、研磨の際
に、加熱による無端研磨ベルトの劣化を抑えて耐久性を
向上させると共に、簡単な操作で被研磨材料の加工され
る断面形状通りに表面研磨を行うことができ、しかも、
構造も簡単であるから、安価にて提供できる等の種々の
優れた効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例の概略平面図である。
【図2】この発明の実施例の研磨状態を示す概略平面図
である。
【図3】この発明におけるそれぞれの無端研磨ベルトと
加熱抑制成形ベルトとの掛巡構造の実施例を示す概略図
である。
【図4】この発明の曲面研磨の状態研磨方法の工程を示
す側断面図である。
【図5】加熱抑制成形ベルトの要部拡大斜視図である。
【符号の説明】
1 研磨装置 2 無端研磨ベルト 3 掛巡ローラー 4 加熱抑制成形ベルト 4a 凸部 4b 凹部 5 掛巡ローラー 6 張り調節機 7 張り調節ローラー 8 押圧基体 9 押圧装置 10 研磨材料 W 被研磨材料

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 表面を研磨面として掛巡され回転する無
    端研磨ベルトと、この無端研磨ベルトの内側に掛巡され
    て無端研磨ベルトの回転速度と同じか、或いは、それよ
    りも遅く回転すべく配された適宜厚さで無端の加熱抑制
    成形ベルトと、この加熱抑制成形ベルトの内側から外側
    に向って押圧して加熱抑制成形ベルトと共に被研磨材料
    に無端研磨ベルトを押し付けるか、或いは、被研磨材料
    が無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベルトを介して押し
    付けられる押圧基体とから構成したことを特徴とする無
    端研磨ベルトを有する研磨装置。
  2. 【請求項2】 被研磨材料の研磨すべき部位にシート状
    の研磨材料を貼付しておき、この研磨材料の貼付してあ
    る面を、掛巡され回転する適宜厚さの無端の加熱抑制成
    形ベルト表面に押し付けて研磨することで、加熱抑制成
    形ベルト表面の断面形状を被研磨材料の加工される断面
    形状に対して接触する雌型状に形成し、その後、被研磨
    材料に貼付した研磨材料を剥離させ、一方では、前記掛
    巡された加熱抑制成形ベルトを囲むように表面を研磨面
    とした無端研磨ベルトを掛巡して回転させるように配
    し、前記被研磨材料、或いは、この材料と断面形状が同
    じ材料を、無端研磨ベルト及び加熱抑制成形ベルトの 2
    枚重ねとして無端研磨ベルトの研磨面に押し付け、加熱
    抑制成形ベルトを、無端研磨ベルトの回転速度と同じ
    か、或いは、それよりも遅く回転させて研磨することを
    特徴とした無端研磨ベルトを有する研磨装置による研磨
    方法。
JP2417798A 1990-12-21 1990-12-21 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法 Pending JPH0538668A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2417798A JPH0538668A (ja) 1990-12-21 1990-12-21 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2417798A JPH0538668A (ja) 1990-12-21 1990-12-21 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0538668A true JPH0538668A (ja) 1993-02-19

Family

ID=18525837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2417798A Pending JPH0538668A (ja) 1990-12-21 1990-12-21 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0538668A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009507664A (ja) * 2005-09-12 2009-02-26 リスマック マシーネンバウ ウント ディアマントヴェルクツォイゲ ゲーエムベーハー 帯状、または、板状の金属ワークピースのための、研磨、または、バリ取り用機械加工装置
JP2013035086A (ja) * 2011-08-05 2013-02-21 Tochio Yanagisawa 研削ベルト受け多数突部付きベルトを備えたベルト研削機
JP2013512113A (ja) * 2009-11-27 2013-04-11 リスマック マシーネンバウ ゲーエムベーハー ワークピースを加工するための加工ステーションおよび加工装置
CN103042456A (zh) * 2012-12-26 2013-04-17 浙江黄岩江鑫锻造有限公司 汽车门铰链专用抛光工艺及其专用设备

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58165958A (ja) * 1982-03-20 1983-10-01 Takegawa Tekko Kk 曲面サンダ−機

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58165958A (ja) * 1982-03-20 1983-10-01 Takegawa Tekko Kk 曲面サンダ−機

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009507664A (ja) * 2005-09-12 2009-02-26 リスマック マシーネンバウ ウント ディアマントヴェルクツォイゲ ゲーエムベーハー 帯状、または、板状の金属ワークピースのための、研磨、または、バリ取り用機械加工装置
JP2013512113A (ja) * 2009-11-27 2013-04-11 リスマック マシーネンバウ ゲーエムベーハー ワークピースを加工するための加工ステーションおよび加工装置
JP2013035086A (ja) * 2011-08-05 2013-02-21 Tochio Yanagisawa 研削ベルト受け多数突部付きベルトを備えたベルト研削機
CN103042456A (zh) * 2012-12-26 2013-04-17 浙江黄岩江鑫锻造有限公司 汽车门铰链专用抛光工艺及其专用设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008288599A (ja) 研磨パッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置
JP2003163188A5 (ja)
JP2005019669A (ja) 研磨パッド、研磨装置、及びウェハの研磨方法
JP2008284682A (ja) 効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置
JP2008284683A (ja) 基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置
US6419559B1 (en) Using a purge gas in a chemical mechanical polishing apparatus with an incrementally advanceable polishing sheet
JPH0538668A (ja) 無端研磨ベルトを有する研磨装置及びその装置による研磨方法
JP2004172296A (ja) 半導体ウェーハの研磨方法及びその研磨パッド
TW201829122A (zh) 研磨裝置、及按壓研磨具之按壓墊
JPH04201066A (ja) エンドレスベルトの偏倚防止装置及び該装置を用いたベルト加工装置
JPH07276218A (ja) ワイヤ式切断装置
JP2596794Y2 (ja) 表面研磨ロール
JP2001198781A (ja) 基板エッジ部の研磨方法およびその装置
JPH0722775B2 (ja) 金属帯板の張力付与装置
JPH0542468A (ja) Vリブドベルトの製造方法および同製造方法に用いるグラインダーホイール
JPS632656A (ja) ウエハ研磨方法及びそれに用いるウエハ研磨基板
JP2001054849A (ja) 研磨装置
JP2000033434A (ja) バリ取り機
KR20210042990A (ko) 그라인딩 장치
JPH11276709A (ja) パチンコ玉の揚送研磨装置
JPH09123050A (ja) 半導体ウェ−ハの面取り面の鏡面研磨方法およびその装置
JP4011254B2 (ja) Cmp装置
JPH0319792B2 (ja)
JPH0621662Y2 (ja) スチールコード研磨用治具
JPS6315012Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19990209