JPH0534679A - Liquid crystal display device - Google Patents
Liquid crystal display deviceInfo
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- JPH0534679A JPH0534679A JP18876691A JP18876691A JPH0534679A JP H0534679 A JPH0534679 A JP H0534679A JP 18876691 A JP18876691 A JP 18876691A JP 18876691 A JP18876691 A JP 18876691A JP H0534679 A JPH0534679 A JP H0534679A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は液晶表示装置、特にアク
ティブマトリクス液晶表示装置に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to an active matrix liquid crystal display device.
【0002】[0002]
【従来の技術】アクティブマトリクス液晶表示装置は、
図4にその一部の等価回路図を示すように、マトリクス
状に配列されたスイッチング素子61によってそれぞれ
の液晶画素62を駆動するようになされる。2. Description of the Related Art Active matrix liquid crystal display devices are
As shown in the equivalent circuit diagram of a part thereof in FIG. 4, each liquid crystal pixel 62 is driven by the switching elements 61 arranged in a matrix.
【0003】図4において、63はその垂直走査回路、
64は映像信号サンプルホールド回路を示す。In FIG. 4, 63 is the vertical scanning circuit,
Reference numeral 64 represents a video signal sample hold circuit.
【0004】この構成において、順次スイッチング素子
61をオンして、液晶画素62に電位を書き込んだ後
は、その電位を所定期間保持する必要があるが、実際上
スイッチング素子61としてのトランジスタはオフ時に
もリーク電流が存在することから、これを補償する付加
容量Csが各画素毎に設けられる。In this structure, after the switching element 61 is sequentially turned on and the potential is written in the liquid crystal pixel 62, it is necessary to maintain the potential for a predetermined period. In reality, however, the transistor as the switching element 61 is turned off. Since a leak current also exists, an additional capacitance Cs that compensates for the leak current is provided for each pixel.
【0005】このようなアクティブマトリクス液晶表示
装置は、各画素間のクロストークの問題が改善され、精
細な画像表示を行うことができることからその普及が目
ざましい。Such an active matrix liquid crystal display device is remarkably popular because the problem of crosstalk between pixels is improved and a fine image can be displayed.
【0006】この種の液晶表示装置は、一般に透過型を
採る場合は透明の第1及び第2の基板間に液晶層が充填
されて構成される。そして一方の例えば第1の基板に上
述のスイッチング素子61が構成されて、他方の第2の
基板上に三原色フィルタ部を設けると共に、各液晶画素
62を区画するブラックマスク部を設ける構成を採る。This type of liquid crystal display device is generally constructed by filling a liquid crystal layer between transparent first and second substrates when a transmissive type is adopted. Then, the above-described switching element 61 is formed on one of the first substrates, for example, and the three primary color filter portions are provided on the other second substrate, and a black mask portion that partitions each liquid crystal pixel 62 is provided.
【0007】このような液晶表示装置の一例の要部の略
線的拡大平面図を図5に示す。図5において12はAl
等より成る配線層で、図4における映像信号サンプルホ
ールド回路からの信号線となり、4は図4におけるスイ
ッチング素子61としての薄膜トランジスタTFTを構
成する半導体層で、この半導体層4に所要の不純物注入
等により低抵抗化がなされてソース/ドレイン(S/
D)領域5及び6、チャネル形成領域7が形成される。
そしてこれらS/D領域5及び6、チャネル形成領域7
上に絶縁層を介してゲート電極9が例えば配線層12と
直交する方向に延長して被着形成される。このゲート電
極9は、図4において垂直走査回路63からのスイッチ
ング素子61への配線となる。FIG. 5 is a schematic enlarged plan view of a main part of an example of such a liquid crystal display device. In FIG. 5, 12 is Al
4 is a signal line from the video signal sample and hold circuit in FIG. 4, and 4 is a semiconductor layer forming a thin film transistor TFT as the switching element 61 in FIG. The resistance is reduced by the source / drain (S /
D) Regions 5 and 6 and channel forming region 7 are formed.
Then, these S / D regions 5 and 6, and the channel formation region 7
The gate electrode 9 is formed on the upper surface of the wiring layer 12 so as to extend in a direction orthogonal to the wiring layer 12 with an insulating layer interposed therebetween. This gate electrode 9 becomes a wiring from the vertical scanning circuit 63 to the switching element 61 in FIG.
【0008】一方この半導体層4の延長部には付加容量
Csが形成され、例えばこの半導体層4の一部が低抵抗
化されて第1の電極21が形成され、図示しないが誘電
体層を介してこれの上に上述のゲート電極9と同一の構
成層によって第2の電極23が被着される。この第2の
電極23は、例えばゲート電極9と同様に配線層12と
直交する方向に延長されて例えば接地線とされる。On the other hand, an additional capacitance Cs is formed in the extension of the semiconductor layer 4, and, for example, a part of the semiconductor layer 4 is made low in resistance to form a first electrode 21, and a dielectric layer (not shown) is formed. A second electrode 23 is deposited thereover by the same constituent layer as the above-mentioned gate electrode 9. The second electrode 23 extends in a direction orthogonal to the wiring layer 12 and serves as, for example, a ground line similarly to the gate electrode 9, for example.
【0009】そして、これら薄膜トランジスタTFTの
ゲート電極9、付加容量Cs上の配線層12、第2の電
極23とにより囲まれた領域に画像を表示するように、
破線Iでその輪郭を示すITO(In,Snの混合酸化
物)等の透明導電層より成る画素電極51が被着形成さ
れる。Then, an image is displayed in a region surrounded by the gate electrode 9 of these thin film transistors TFT, the wiring layer 12 on the additional capacitance Cs, and the second electrode 23.
A pixel electrode 51 made of a transparent conductive layer such as ITO (mixed oxide of In and Sn) whose outline is indicated by a broken line I is deposited.
【0010】上述の各素子は一方の基板例えば第1の基
板(図示せず)上に構成されるが、これと相対向する他
方の例えば第2の基板(図示せず)上には、ブラックマ
スク部41が上述の各素子等の不要部分を遮光するため
に設けられる。Each of the above-described elements is formed on one substrate, for example, a first substrate (not shown), while black is provided on the other, for example, a second substrate (not shown). A mask portion 41 is provided to shield unnecessary portions such as the above-mentioned elements from light.
【0011】即ち、液晶層はこれに印加される電位差に
よって反応するため、例えば無電圧で透明ないわゆるノ
ーマリホワイトの状態では、第1の基板側の画素電極5
1が設けられない部分は光抜けが生じてコントラストが
とれなくなる。また画素電極51を設ける部分において
も、例えば付加容量Cs等によって光が部分的に遮断さ
れ、むらが生じてしまう。このため上述したように、こ
れに対向する第2の基板2側にブラックマスク部41を
設けて、この部分の光を遮断して、上述の図4における
液晶画素62が明確な輪郭をもって構成されるようにな
す。That is, since the liquid crystal layer responds to the potential difference applied to it, for example, in the so-called normally white state in which there is no voltage and is transparent, the pixel electrode 5 on the first substrate side is formed.
In the portion where 1 is not provided, light leakage occurs and the contrast cannot be obtained. In addition, also in the portion where the pixel electrode 51 is provided, light is partially blocked by, for example, the additional capacitance Cs, and unevenness occurs. Therefore, as described above, the black mask portion 41 is provided on the side of the second substrate 2 that faces the black mask portion 41 to block light from this portion, and the liquid crystal pixel 62 in FIG. 4 described above is configured with a clear contour. To do so.
【0012】41Cはこのブラックマスク部の開口部
で、位置合せ裕度を考慮して、画素電極51の外縁部よ
り内側にその開口内縁が位置するように設けられる。こ
の場合、付加容量Cs上においては、第2の電極23と
画素電極51との平面上の距離d1 を2μm程度とし、
また配線層12と画素電極51との平面上の距離d2 を
後述する理由により5μm程度としている。Reference numeral 41C denotes an opening of the black mask portion, which is provided so that the inner edge of the opening is located inside the outer edge of the pixel electrode 51 in consideration of the alignment margin. In this case, on the additional capacitance Cs, the distance d 1 on the plane between the second electrode 23 and the pixel electrode 51 is about 2 μm,
The distance d 2 on the plane between the wiring layer 12 and the pixel electrode 51 is about 5 μm for the reason described later.
【0013】図5におけるA−A線上の、即ち薄膜トラ
ンジスタTFT及び付加容量Csを構成する部分の略線
的拡大断面図を図6に示す。FIG. 6 shows a schematic enlarged cross-sectional view of the portion on the line AA in FIG. 5, that is, the portion forming the thin film transistor TFT and the additional capacitor Cs.
【0014】図6において1は一方の基板例えば第1の
基板で、その内面には半導体層4が形成され、この半導
体層4には、各画素のスイッチング素子61となる薄膜
トランジスタTFTを構成するS/D領域5及び6と、
これら間にチャネル形成領域7が形成される。また半導
体層4のチャネル形成領域7上には、SiO2 ,Si 3
N4 等より成るゲート絶縁層8が形成され、これの上に
例えば半導体層より成るゲート電極9が被着形成され
る。In FIG. 6, 1 is one of the substrates, for example, the first substrate.
The semiconductor layer 4 is formed on the inner surface of the substrate,
The body layer 4 has a thin film that becomes the switching element 61 of each pixel.
S / D regions 5 and 6 forming a transistor TFT,
The channel forming region 7 is formed between them. See also
SiO is formed on the channel forming region 7 of the body layer 4.2, Si 3
NFourA gate insulating layer 8 made of
For example, a gate electrode 9 made of a semiconductor layer is deposited and formed.
It
【0015】一方基板1上の他部にはTFT薄膜トラン
ジスタの製造と同時にこれと同一工程をもって付加容量
Csが形成される。すなわち、この付加容量Csは基板
1上に形成した半導体層4の一部に低比抵抗領域を形成
し、これを付加容量Csを構成する一方の第1電極21
とし、薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁層8を付加
容量Csを構成する誘電体層23として構成し、この誘
電体層23の上に、付加容量Csを構成する第2の電極
22をゲート電極9と同一の工程で形成される。On the other hand, an additional capacitor Cs is formed on the other portion of the substrate 1 at the same time as the manufacturing of the TFT thin film transistor in the same step. That is, the additional capacitance Cs forms a low specific resistance region in a part of the semiconductor layer 4 formed on the substrate 1, and one of the first electrodes 21 constituting the additional capacitance Cs forms the low specific resistance region.
Then, the gate insulating layer 8 of the thin film transistor TFT is configured as a dielectric layer 23 forming the additional capacitance Cs, and the second electrode 22 forming the additional capacitance Cs on the dielectric layer 23 is the same as the gate electrode 9. Is formed in the process of.
【0016】そしてこれら薄膜トランジスタTFTと、
付加容量Csの上を覆うように例えばPSG(リンシリ
ケートガラス)より成る層間絶縁層11が被着され、所
要部分に開口部12Cが薄膜トランジスタTFTの一方
のS/D領域5に達するように穿設され、この開口部1
2C内を埋込むようにAl等より成る配線層12が図4
において説明した映像信号サンプルホールド回路からの
信号線として被着形成される。And these thin film transistors TFT,
An interlayer insulating layer 11 made of, for example, PSG (phosphosilicate glass) is deposited so as to cover the additional capacitance Cs, and an opening 12C is formed in a required portion so as to reach one S / D region 5 of the thin film transistor TFT. This opening 1
The wiring layer 12 made of Al or the like is embedded in the 2C layer as shown in FIG.
The signal line is formed as a signal line from the video signal sample hold circuit described in the above.
【0017】そしてこの上に全面的にPSG等より成る
層間絶縁層13が被着され、この絶縁層13及び11に
わたって薄膜トランジスタTFTの他方のS/D領域6
に達するように開口部51Cが穿設される。そしてこの
開口部51C内を埋込むようにITO等の透明導電層よ
り成る画素電極51が被着されてパターニングされる。An interlayer insulating layer 13 made of PSG or the like is entirely deposited on this, and the other S / D region 6 of the thin film transistor TFT is spread over the insulating layers 13 and 11.
The opening 51C is formed so as to reach. Then, a pixel electrode 51 made of a transparent conductive layer such as ITO is deposited and patterned so as to fill the opening 51C.
【0018】そして例えば薄膜トランジスタTFTの上
部を覆うように、半導体層4の膜質を向上するためのS
iN等より成る絶縁層15を被着し、この絶縁層15、
画素電極51上を覆って全面的にポリイミド等よりなる
配向層16が被着されて第1の基板1が構成される。Then, S for improving the film quality of the semiconductor layer 4 so as to cover the upper portion of the thin film transistor TFT, for example.
An insulating layer 15 made of iN or the like is deposited, and the insulating layer 15,
An alignment layer 16 made of polyimide or the like is deposited over the entire surface of the pixel electrode 51 to form the first substrate 1.
【0019】一方第2の基板2上には、ブラックマスク
部41が所要のパターンに被着形成され、このブラック
マスク部41上に三原色フィルタ部42がパターニング
されてカラーフィルタ層40が構成され、これらの上を
覆うように全面的にPSG等より成る絶縁層43、IT
O等よりなる透明電極52、ポリイミド等より成る配向
層44が被着されて第2の基板2が構成される。41C
はブラックマスク部41の開口部、3は第1及び第2の
基板1及び2間に充填される液晶層である。On the other hand, a black mask portion 41 is formed on the second substrate 2 in a desired pattern, and three primary color filter portions 42 are patterned on the black mask portion 41 to form a color filter layer 40. Insulating layer 43 made of PSG or the like, IT entirely covering them
The transparent substrate 52 made of O or the like and the alignment layer 44 made of polyimide or the like are applied to form the second substrate 2. 41C
Is an opening of the black mask portion 41, and 3 is a liquid crystal layer filled between the first and second substrates 1 and 2.
【0020】また図5においてB−B線上の略線的拡大
断面図を図7に示す。図7において、図6に対応する部
分には同一符号を付して説明する。この場合第1の基板
1上にはAl等より成る配線層12が形成され、これを
覆うようにPSG等の層間絶縁層13を介してITO等
より成る画素電極51がパターニングされて成り、更に
この上にポリイミド等より成る配向層16が被着され
る。Further, FIG. 7 shows an enlarged schematic sectional view taken along the line BB in FIG. In FIG. 7, parts corresponding to those in FIG. In this case, a wiring layer 12 made of Al or the like is formed on the first substrate 1, and a pixel electrode 51 made of ITO or the like is patterned so as to cover the wiring layer 12 via an interlayer insulating layer 13 such as PSG. An alignment layer 16 made of polyimide or the like is deposited on this.
【0021】他方の第2の基板2上には、ブラックマス
ク部41が所要のパターンに被着され、これに一部重ね
合わせるように三原色フィルタ部42が設けられてカラ
ーフィルタ層40が構成されて成る。そしてこのカラー
フィルタ層40上を覆って全面的にPSG等より成る絶
縁層43が被着され、ITO等より成る透明電極52が
被着され、ポリイミド等より成る配向層44が被着され
て第2の基板2が構成される。On the other second substrate 2, a black mask portion 41 is applied in a desired pattern, and three primary color filter portions 42 are provided so as to partially overlap the black mask portion 41 to form a color filter layer 40. Consists of Then, an insulating layer 43 made of PSG or the like is applied over the entire surface of the color filter layer 40, a transparent electrode 52 made of ITO or the like is applied, and an alignment layer 44 made of polyimide or the like is applied. Two substrates 2 are constructed.
【0022】この場合、画素電極51と配線層12とを
確実に電気的に分離するために距離dAIを2μm以上と
する必要があり、更に上述したように、ブラックマスク
部41によって確実に漏れ光を遮断するために、第1の
基板1上の画素電極51とブラックマスク部41との合
せ裕度を考慮して、ブラックマスク部41の開口41C
を設定する必要がある。即ちこの場合、各基板1及び2
の合せ裕度として1.5μm、ブラックマスク部41自
体の位置合せ裕度として1μm、更に第1の基板1側で
の配線層12と画素電極51との位置合せ裕度として
0.5μmの間隔がそれぞれ必要となり、これらを合わ
せて画素電極51の端部とブラックマスク部41の開口
端との平面上の距離dIBは3μm程度となる。即ち上述
の電気的分離のための間隔と合わせて、結果的にこの配
線層12と画素電極51との間隔d 2 は、前述したよう
に5μm程度をとることが必要となる。In this case, the pixel electrode 51 and the wiring layer 12 are
Distance d to ensure electrical isolationAIIs 2 μm or more
Must be, as mentioned further above, black mask
In order to surely block the leaked light by the portion 41, the first
The combination of the pixel electrode 51 on the substrate 1 and the black mask portion 41
Considering the margin, the opening 41C of the black mask portion 41
Need to be set. That is, in this case, each substrate 1 and 2
The alignment margin is 1.5 μm, and the black mask portion 41 itself
The body alignment tolerance is 1 μm, and on the side of the first substrate 1
As the alignment margin between the wiring layer 12 and the pixel electrode 51 of
0.5 μm spacing is required for each, and these must be combined.
Therefore, the end of the pixel electrode 51 and the opening of the black mask portion 41 are formed.
Distance d on the plane with the edgeIBIs about 3 μm. That is, the above
This spacing, together with the spacing for electrical isolation of
Distance d between the line layer 12 and the pixel electrode 51 2As mentioned above
It is necessary to take about 5 μm.
【0023】このため現在のブラックマスク部41の全
面積に対する開口率は35%以下程度となっており、こ
の開口率の増大化が望まれている。特に高精細即ち小画
素のディスプレイを作製する場合には、一画素あたりの
面積が小であるため、画面の明るさが損なわれるので、
より開口率の増大化が望まれている。Therefore, the current aperture ratio of the entire black mask portion 41 is about 35% or less, and it is desired to increase the aperture ratio. Especially when producing a high-definition display, that is, a small-pixel display, the area per pixel is small, so the screen brightness is impaired.
It is desired to increase the aperture ratio.
【0024】またこのようなアクティブマトリクス型の
液晶表示装置においては、信号線となる配線層12から
の電界による画像の乱れ、即ちこの部分における信号電
界が、画素電極51の保持する電界に影響を及ぼして、
開口部41C内即ち画像領域内の液晶層3の配向に乱れ
を生じさせ、画質を低下させるという問題があった。Further, in such an active matrix type liquid crystal display device, image disturbance due to an electric field from the wiring layer 12 serving as a signal line, that is, a signal electric field in this portion affects the electric field held by the pixel electrode 51. Exert
There is a problem in that the alignment of the liquid crystal layer 3 in the opening 41C, that is, in the image region is disturbed and the image quality is deteriorated.
【0025】一方上述したような開口率の増加をはかる
ために、「月刊Semiconductor World(セミコンダクター
・ワールド) 」1991年 7月号第 179頁〜第 182頁におい
て、遮光層を薄膜トランジスタTFTを設ける基板側に
形成する構造が提案されている。この例においては、基
板上に直接的に遮光層を設け、これの上に薄膜トランジ
スタを形成した後画素電極を被着形成する構成を採って
いる。しかしながらこの場合は、上述したような配線層
12の信号電界による液晶層3の配向の乱れによる画質
の低下については考慮されていない。On the other hand, in order to increase the aperture ratio as described above, in the "Monthly Semiconductor World", July 1991 issue, pages 179 to 182, the light shielding layer is provided on the substrate side where the thin film transistor TFT is provided. A structure to be formed in is proposed. In this example, a light-shielding layer is directly provided on a substrate, a thin film transistor is formed on the light-shielding layer, and then a pixel electrode is formed by deposition. However, in this case, the deterioration of the image quality due to the disorder of the alignment of the liquid crystal layer 3 due to the signal electric field of the wiring layer 12 as described above is not considered.
【0026】[0026]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うに液晶表示装置のブラックマスク部の開口率を大とし
て一画素当たりの面積の増大化をはかると共に、配線層
の電界による液晶層の配向の乱れを抑制して、画質の向
上をはかる。As described above, the present invention increases the aperture ratio of the black mask portion of the liquid crystal display device to increase the area per pixel and, at the same time, increases the area of one pixel of the liquid crystal layer by the electric field of the wiring layer. Distortion of orientation is suppressed to improve image quality.
【0027】[0027]
【課題を解決するための手段】本発明による液晶表示装
置の一例の要部の略線的拡大平面図を図1に示す。本発
明は図1に示すように、相対向する第1の基板および第
2の基板と、これら基板間に充填された液晶層と、第1
の基板上にマトリクス状に配列されてなる画素電極51
と、この画素電極51に接続された薄膜トランジスタT
FTとからなる液晶表示装置であって、画素電極51の
周囲部にこの画素電極51と電気的に接続されてかつ光
を透過させない金属層14と、第2の基板の液晶層を充
填する側に三原色フィルタ部及びこれらフィルタ部の境
界に設けられたブラックマスク部とを有するカラーフィ
ルタ層を設ける。FIG. 1 is a schematic enlarged plan view of a main part of an example of a liquid crystal display device according to the present invention. The present invention, as shown in FIG. 1, includes a first substrate and a second substrate facing each other, a liquid crystal layer filled between the substrates, and a first substrate and a second substrate.
Pixel electrodes 51 arranged in a matrix on the substrate
And a thin film transistor T connected to the pixel electrode 51.
A liquid crystal display device comprising an FT, wherein a metal layer 14 electrically connected to the pixel electrode 51 and impermeable to light is provided around the pixel electrode 51, and a side for filling the liquid crystal layer of the second substrate. And a color filter layer having a three-primary-color filter section and a black mask section provided at the boundary of these filter sections.
【0028】[0028]
【作用】上述したように、本発明液晶表示装置において
は、この第1の基板1上の画素電極51の周囲部に光を
透過させない金属層14を設けるものであるが、このよ
うに第1の基板1側に光をマスクする金属層14を設け
ることによって、画素電極51が設けられない領域、即
ち光を遮断すべき部分に対して、同一基板上においてマ
スク層の位置合せを行うことができるため、その位置合
せ裕度を低減化することができる。As described above, in the liquid crystal display device of the present invention, the metal layer 14 which does not transmit light is provided in the peripheral portion of the pixel electrode 51 on the first substrate 1. By providing the metal layer 14 for masking light on the substrate 1 side of the substrate, the mask layer can be aligned on the same substrate with respect to a region where the pixel electrode 51 is not provided, that is, a portion where light should be blocked. Therefore, the alignment margin can be reduced.
【0029】従って、このブラックマスク部41の開口
率を大とすることができて、液晶表示装置の明るさの向
上をはかることができる。Therefore, the aperture ratio of the black mask portion 41 can be increased and the brightness of the liquid crystal display device can be improved.
【0030】また本発明においてはこの金属層14を画
素電極51に電気的に接続する構成を採るものである
が、このような構成とすることによって、画素領域全体
の画質を向上することができた。このことについて説明
する。In the present invention, the metal layer 14 is electrically connected to the pixel electrode 51. With this structure, the image quality of the entire pixel region can be improved. It was This will be explained.
【0031】即ち画素電極51が設けられない部分にお
いては、従来の装置においては信号線となる配線層12
に印加される信号電界によって、この配線層12近傍の
液晶層3が影響を受けて、画素領域に乱れを生じる場合
がある。しかしながら、本発明構成によれば、この配線
層12の電界をこの画素電極51と電気的に接続された
金属層14の電界によって弱められることと、この金属
層14自体によって周辺の液晶層3を配向させることが
できるという利点を有する。That is, in the portion where the pixel electrode 51 is not provided, the wiring layer 12 which becomes the signal line in the conventional device.
The liquid crystal layer 3 in the vicinity of the wiring layer 12 may be affected by the signal electric field applied to the liquid crystal layer 12 and disturb the pixel region. However, according to the configuration of the present invention, the electric field of the wiring layer 12 is weakened by the electric field of the metal layer 14 electrically connected to the pixel electrode 51, and the metal layer 14 itself prevents the liquid crystal layer 3 in the periphery from being weakened. It has the advantage that it can be oriented.
【0032】従ってこの金属層14を設けることによっ
て、この画素電極51が設けられない部分を遮光すると
共に、配線層12による電界による液晶層3の乱れを抑
制し、更に画素領域周縁部の液晶層3を確実に画素電極
51の電位をもって配向させることができ、この周縁部
の乱れを回避することができる。これにより、画質の向
上をはかることができる。Therefore, by providing the metal layer 14, the portion where the pixel electrode 51 is not provided is shielded from light, the disturbance of the liquid crystal layer 3 due to the electric field due to the wiring layer 12 is suppressed, and the liquid crystal layer at the peripheral portion of the pixel region is further suppressed. 3 can be reliably oriented with the potential of the pixel electrode 51, and the disturbance of the peripheral portion can be avoided. As a result, the image quality can be improved.
【0033】[0033]
【実施例】以下図1の平面図と、図2及び図3の略線的
拡大断面図を参照して本発明を詳細に説明する。図1〜
図3において、図5〜図7に対応する部分には同一符号
を付して示す。この例においても、図4の回路図におい
て説明したアクティブマトリクス型の液晶表示装置の例
で透過型構成を採る場合を示し、相対向する透明の第1
及び第2の基板1及び2が設けられ、これらの間に液晶
層3が充填されて構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail below with reference to the plan view of FIG. 1 and the schematic enlarged sectional views of FIGS. Figure 1
3, parts corresponding to those in FIGS. 5 to 7 are designated by the same reference numerals. Also in this example, a case where a transmissive structure is adopted in the example of the active matrix type liquid crystal display device described in the circuit diagram of FIG.
And the second substrates 1 and 2 are provided, and the liquid crystal layer 3 is filled between them.
【0034】即ちこの場合においても、図1に示すよう
に、Al等より成る配線層12が、図4における映像信
号サンプルホールド回路からの信号線として形成され
る。4は図4におけるスイッチング素子61としての薄
膜トランジスタTFTを構成する半導体層で、この半導
体層4の一部に不純物注入等により低抵抗化がなされて
S/D領域5及び6、チャネル形成領域7が形成され
る。そしてこれらS/D領域5及び6、チャネル形成領
域7上にゲート絶縁層(図示せず)を介してゲート電極
9が例えば配線層12と直交する方向に延長して被着形
成される。このゲート電極9は、図4において垂直走査
回路63からのスイッチング素子61への配線となる。That is, also in this case, as shown in FIG. 1, the wiring layer 12 made of Al or the like is formed as a signal line from the video signal sample hold circuit in FIG. Reference numeral 4 denotes a semiconductor layer that constitutes the thin film transistor TFT as the switching element 61 in FIG. 4, and the resistance is reduced to a part of the semiconductor layer 4 by impurity implantation or the like so that the S / D regions 5 and 6 and the channel formation region 7 are formed. It is formed. Then, a gate electrode 9 is formed on the S / D regions 5 and 6 and the channel formation region 7 with a gate insulating layer (not shown) interposed therebetween so as to extend in a direction orthogonal to the wiring layer 12, for example. This gate electrode 9 becomes a wiring from the vertical scanning circuit 63 to the switching element 61 in FIG.
【0035】一方この半導体層4の延長部には付加容量
Csが形成され、例えばこの半導体層4の一部が低抵抗
化されて第1の電極21が形成され、図示しないがゲー
ト絶縁層の少なくとも一部と同一の構成層より成る誘電
体層を介してこれの上に上述のゲート電極9と同一の構
成層によって第2の電極23が被着される。この第2の
電極23は、例えばゲート電極9と同様に配線層12と
直交する方向に延長されて例えば接地線とされる。On the other hand, an additional capacitance Cs is formed in the extension of the semiconductor layer 4, and for example, a part of the semiconductor layer 4 is made low in resistance to form the first electrode 21. The second electrode 23 is deposited on the dielectric layer formed of at least a part of the same constituent layer as the above-mentioned constituent layer of the gate electrode 9. The second electrode 23 extends in a direction orthogonal to the wiring layer 12 and serves as, for example, a ground line similarly to the gate electrode 9, for example.
【0036】そして、これら薄膜トランジスタTFTの
ゲート電極9、付加容量Cs上の配線層12、第2の電
極23とにより囲まれた領域に、薄膜トランジスタTF
Tの一部と付加容量Csとの上を覆って、図1において
斜線を付して示すように枠状に、光を透過しないTi等
より成る金属層14が被着され、更にこの金属層14に
よって囲まれた領域上に破線Iでその輪郭を示すよう
に、ITO等の透明導電層より成る画素電極51が被着
形成される。このとき金属層14の一部に画素電極51
を直接的に接触させて、この金属層14と画素電極51
とが電気的に接続されるようになす。Then, in a region surrounded by the gate electrode 9 of the thin film transistor TFT, the wiring layer 12 on the additional capacitance Cs, and the second electrode 23, the thin film transistor TF is formed.
A metal layer 14 made of Ti or the like which does not transmit light is applied in a frame shape as shown by hatching in FIG. 1 so as to cover a part of T and the additional capacitance Cs, and further this metal layer. A pixel electrode 51 made of a transparent conductive layer such as ITO is adhered and formed on the region surrounded by 14 as indicated by a broken line I. At this time, the pixel electrode 51 is partially formed on the metal layer 14.
To directly contact the metal layer 14 and the pixel electrode 51.
And to be electrically connected.
【0037】そしてこれら各素子が形成される一方の基
板(図示せず)に相対向して設けられる他方の基板(図
示せず)上に、ブラックマスク部41が上述の各素子等
の不要部分を遮光するために設けられる。Then, on the other substrate (not shown) provided so as to face one substrate (not shown) on which each of these elements is formed, the black mask portion 41 has unnecessary portions such as the above-mentioned elements and the like. It is provided to block light.
【0038】41Cはこのブラックマスク部の開口部
で、位置合せ裕度を考慮して、画素電極51の外縁部よ
り内側にその開口内縁が位置するように設けられる。こ
の場合、付加容量Cs上においては、第2の電極23と
画素電極51との平面上の距離d1 を2μm程度とし、
また配線層12と画素電極51との平面上の距離d2 を
後述する理由により3.5μm程度とすることができ
る。Reference numeral 41C denotes an opening of the black mask portion, which is provided so that the inner edge of the opening is located inside the outer edge of the pixel electrode 51 in consideration of the alignment margin. In this case, on the additional capacitance Cs, the distance d 1 on the plane between the second electrode 23 and the pixel electrode 51 is about 2 μm,
Further, the distance d 2 on the plane between the wiring layer 12 and the pixel electrode 51 can be set to about 3.5 μm for the reason described later.
【0039】図1におけるC−C線上の、即ち薄膜トラ
ンジスタTFT及び付加容量Csを構成する部分の略線
的拡大断面図を図2に示す。FIG. 2 shows an enlarged schematic cross-sectional view of a portion on the line CC in FIG. 1, that is, a portion forming the thin film transistor TFT and the additional capacitor Cs.
【0040】図2において1は一方の例えば第1の基板
1で、その内面には半導体層4が形成され、この半導体
層4には、各画素のスイッチング素子61となる薄膜ト
ランジスタTFTを構成するS/D領域5及び6と、こ
れら間にチャネル形成領域7が形成される。また半導体
層4のチャネル形成領域7上には、SiO2 、Si3 N
4 等より成るゲート絶縁層8が形成され、これの上に例
えば半導体層より成るゲート電極9が被着形成される。In FIG. 2, reference numeral 1 is one of, for example, the first substrate 1 on which a semiconductor layer 4 is formed, and in this semiconductor layer 4, a thin film transistor TFT which becomes a switching element 61 of each pixel is formed. The / D regions 5 and 6 and the channel forming region 7 are formed therebetween. On the channel formation region 7 of the semiconductor layer 4, SiO 2 , Si 3 N
A gate insulating layer 8 made of 4 or the like is formed, and a gate electrode 9 made of, for example, a semiconductor layer is deposited on the gate insulating layer 8.
【0041】一方基板1上の他部にはTFT薄膜トラン
ジスタの製造と同時にこれと同一工程をもって付加容量
Csが形成される。すなわち、基板1上に形成した半導
体層4の一部に低比抵抗領域を形成してこれを一方の第
1電極21とし、この上に薄膜トランジスタTFTのゲ
ート絶縁層8と同一の工程によって誘電体層23を形成
し、この誘電体層23の上に第2の電極22をゲート電
極9と同一の工程で形成して付加容量Csが構成され
る。On the other hand, an additional capacitor Cs is formed in the other part of the substrate 1 at the same time as the manufacturing of the TFT thin film transistor in the same process. That is, a low resistivity region is formed in a part of the semiconductor layer 4 formed on the substrate 1 to form the first electrode 21 on one side, and a dielectric layer is formed on the low resistivity region by the same step as the gate insulating layer 8 of the thin film transistor TFT. The layer 23 is formed, and the second electrode 22 is formed on the dielectric layer 23 in the same step as the gate electrode 9 to form the additional capacitance Cs.
【0042】そしてこれら薄膜トランジスタTFTと、
付加容量Csの上を覆うように例えばPSGより成る層
間絶縁層11が被着され、所要部分に開口部12Cが薄
膜トランジスタTFTの一方のS/D領域5に達するよ
うに穿設され、この開口部12C内を埋込むようにAl
等より成る配線層12が図3において説明した映像信号
サンプルホールド回路からの信号線として被着形成され
る。Then, with these thin film transistors TFT,
An interlayer insulating layer 11 made of, for example, PSG is deposited so as to cover the additional capacitance Cs, and an opening 12C is formed in a required portion so as to reach one S / D region 5 of the thin film transistor TFT. Al so as to fill the inside of 12C
A wiring layer 12 made of the same material is deposited and formed as a signal line from the video signal sample hold circuit described in FIG.
【0043】そしてこの上に全面的にPSG等より成る
層間絶縁層13が被着され、この絶縁層13及び11に
わたって薄膜トランジスタTFTの他方のS/D領域6
に達するように開口部51Cが穿設される。そしてこの
開口部51C内を埋込むようにTi等よりなる光を透過
しない金属層14が被着されて所要のパターンにパター
ニングされる。この場合、開口部51C内から付加容量
Cs上を覆って、第1の電極21の端部から距離d1 =
2μm程度をもってオーバーラップさせるパターンとし
て形成する。そしてこの金属層14上に直接的にITO
等の透明導電層より成る画素電極51が被着されてパタ
ーニングされる。An interlayer insulating layer 13 made of PSG or the like is entirely deposited on this, and the other S / D region 6 of the thin film transistor TFT is spread over the insulating layers 13 and 11.
The opening 51C is formed so as to reach. Then, a metal layer 14 made of Ti or the like which does not transmit light is deposited so as to fill the inside of the opening 51C and patterned into a desired pattern. In this case, the distance d 1 = from the end of the first electrode 21 by covering the additional capacitance Cs from inside the opening 51C.
It is formed as an overlapping pattern with a thickness of about 2 μm. Then, ITO is directly formed on the metal layer 14.
A pixel electrode 51 made of a transparent conductive layer such as is deposited and patterned.
【0044】そして例えば薄膜トランジスタTFTの上
部を覆うように、半導体層4の膜質を向上するためのS
iN等より成る絶縁層15を被着し、この絶縁層15、
画素電極51上を覆って全面的にポリイミド等よりなる
配向層16が被着されて第1の基板1が構成される。Then, for example, S for improving the film quality of the semiconductor layer 4 so as to cover the upper portion of the thin film transistor TFT.
An insulating layer 15 made of iN or the like is deposited, and the insulating layer 15,
An alignment layer 16 made of polyimide or the like is deposited over the entire surface of the pixel electrode 51 to form the first substrate 1.
【0045】一方第2の基板2上には、ブラックマスク
部41が所要のパターンに被着形成され、このブラック
マスク部41上に三原色フィルタ部42がパターニング
されてカラーフィルタ層40が構成され、これらの上を
覆うように全面的にPSG等より成る絶縁層43、IT
O等よりなる透明電極52、ポリイミド等より成る配向
層44が被着されて第2の基板2が構成される。41C
はブラックマスク部41の開口部、また3は第1及び第
2の基板1及び2間に充填される液晶層である。On the other hand, a black mask portion 41 is formed on the second substrate 2 in a desired pattern, and three primary color filter portions 42 are patterned on the black mask portion 41 to form a color filter layer 40. Insulating layer 43 made of PSG or the like, IT entirely covering them
The transparent substrate 52 made of O or the like and the alignment layer 44 made of polyimide or the like are applied to form the second substrate 2. 41C
Is an opening of the black mask portion 41, and 3 is a liquid crystal layer filled between the first and second substrates 1 and 2.
【0046】また図1においてD−D線上の略線的拡大
断面図を図3に示す。図3において、図2に対応する部
分には同一符号を付して説明する。この場合第1の基板
1上にはAl等より成る配線層12が形成され、これを
覆うようにPSG等より成る層間絶縁層13が被着さ
れ、この上に所要の幅例えば2μmの幅wT をもって、
また他部との間に後述する所要の間隔を保持するように
Ti等より成る金属層14が被着され、更にこの上にI
TO等より成る画素電極51がパターニングされて成
り、更にこの上にポリイミド等より成る配向層16が被
着される。Further, FIG. 3 shows a schematic enlarged cross-sectional view taken along the line DD in FIG. In FIG. 3, the portions corresponding to those in FIG. In this case, a wiring layer 12 made of Al or the like is formed on the first substrate 1, and an interlayer insulating layer 13 made of PSG or the like is deposited so as to cover the wiring layer 12, and a required width, for example, a width w of 2 μm is formed thereon. With T
Further, a metal layer 14 made of Ti or the like is deposited so as to maintain a required space described later between the metal layer 14 and another portion, and I is further deposited on the metal layer 14.
A pixel electrode 51 made of TO or the like is patterned, and an alignment layer 16 made of polyimide or the like is further deposited thereon.
【0047】他方の第2の基板2上には、ブラックマス
ク部41が所要のパターンに被着され、これに一部重ね
合わせるように三原色フィルタ部42が設けられてカラ
ーフィルタ層40が構成されて成る。そしてこのカラー
フィルタ層40上を覆って全面的にPSG等より成る絶
縁層43を介してITO等より成る透明電極52が被着
され、ポリイミド等より成る配向層44が被着されて第
2の基板2が構成される。On the other second substrate 2, a black mask portion 41 is applied in a desired pattern, and three primary color filter portions 42 are provided so as to partially overlap with the black mask portion 41 to form a color filter layer 40. Consists of Then, a transparent electrode 52 made of ITO or the like is deposited over the entire surface of the color filter layer 40 through an insulating layer 43 made of PSG or the like, and an alignment layer 44 made of polyimide or the like is deposited so as to form a second layer. The substrate 2 is constructed.
【0048】この場合、上述したように、光マスクとな
る金属層14を第1の基板1上に設ける構成を採るた
め、合わせ裕度を低減化することができて、配線層12
とブラックマスク部41の開口部41Cとの間隔を従来
に比し小とすることができる。即ちこの場合、配線層1
2と金属層14との平面上の距離dATを例えば1μm、
金属層14の幅wT を上述したように例えば2μm、金
属層14とブラックマスク部41の開口部41Cの端部
との平面上の距離dTBを例えば0.5μmとして、配線
層12とこの開口部41C端部との間隔d2 を3.5μ
m程度とすることができる。In this case, since the metal layer 14 serving as the photomask is provided on the first substrate 1 as described above, the alignment margin can be reduced and the wiring layer 12 can be reduced.
The distance between the black mask portion 41 and the opening 41C of the black mask portion 41 can be made smaller than in the conventional case. That is, in this case, the wiring layer 1
The distance d AT on the plane between 2 and the metal layer 14 is, for example, 1 μm,
As described above, the width w T of the metal layer 14 is, for example, 2 μm, and the plane distance d TB between the metal layer 14 and the end of the opening 41C of the black mask portion 41 is, for example, 0.5 μm. The distance d 2 from the end of the opening 41C is 3.5 μ.
It can be about m.
【0049】即ち画素電極51と配線層12とを確実に
電気的に分離するために2μmの間隔を保持しつつ、配
線層12とブラックマスク部41の開口部41Cとの間
隔を低減化することができる。That is, the distance between the wiring layer 12 and the opening 41C of the black mask portion 41 is reduced while maintaining the distance of 2 μm in order to reliably electrically separate the pixel electrode 51 and the wiring layer 12. You can
【0050】このように、本発明によれば従来の液晶表
示装置に比して、開口部41Cの配線層12からの距離
を、従来の5μmに比し、1.5μm小とすることがで
き、その開口率を8〜10%程度増大化することができ
た。As described above, according to the present invention, the distance of the opening 41C from the wiring layer 12 can be reduced by 1.5 μm as compared with the conventional liquid crystal display device as compared with the conventional 5 μm. The aperture ratio could be increased by about 8 to 10%.
【0051】また特に本発明においては、この不要部分
を遮光する金属層14を画素電極51に電気的に接続し
て設けるものであり、このためこの金属層14上によっ
て配線層12の電界により液晶層3が配向された部分を
遮蔽することができると共に、この金属層14自体によ
って配線層12からの信号線電界を弱めることができ、
液晶層3の乱れを抑制することができる。Further, particularly in the present invention, the metal layer 14 which shields this unnecessary portion is provided to be electrically connected to the pixel electrode 51. Therefore, due to the electric field of the wiring layer 12 on the metal layer 14, the liquid crystal is formed. The oriented portion of the layer 3 can be shielded, and the signal line electric field from the wiring layer 12 can be weakened by the metal layer 14 itself.
Disturbance of the liquid crystal layer 3 can be suppressed.
【0052】しかも画素電極51と同電位とされた金属
層14の電界によって、液晶層3を配向させることがで
きるため、画素電極51によって配向させる領域を実質
的に広げることができることとなる。従って本発明構成
においては、従来画素領域の周縁部において発生してい
た配線層12による乱れを確実に抑制し、周縁部を含め
て画質の均一な画素を得ることができて、液晶表示装置
全体の画質を向上させることができる。Moreover, since the liquid crystal layer 3 can be oriented by the electric field of the metal layer 14 which has the same potential as that of the pixel electrode 51, the region to be oriented by the pixel electrode 51 can be substantially expanded. Therefore, in the configuration of the present invention, the disturbance due to the wiring layer 12 which has been generated in the peripheral portion of the pixel region in the related art can be surely suppressed, and pixels having uniform image quality including the peripheral portion can be obtained, and the entire liquid crystal display device can be obtained. The image quality of can be improved.
【0053】また、上述の例においては、金属層14を
ITO等より成る画素電極51と薄膜トランジスタTF
Tの多結晶Si半導体層等より成るS/D領域6との接
続部分に介在させる構成とした。従来このように特にI
TOにより画素電極51を構成する場合、その開口部5
1C内のカバレージが充分でなく、接触不良の原因とな
る恐れがあったが、上述の実施例によれば、Ti等より
成る金属層14と画素電極51との両層によってカバレ
ージを補償することができて不良品の発生を低減化する
ことができると共に、特に上述したように多結晶Si等
より成るS/D領域6とITO等より成る画素電極51
とに上述の構成を適用する場合は、その電気抵抗を格段
に低減化させることができて、この部分におけるコンタ
クトを改善することができる。Further, in the above example, the metal layer 14 is formed of the pixel electrode 51 made of ITO or the like and the thin film transistor TF.
It is arranged to intervene in the connecting portion with the S / D region 6 made of T polycrystal Si semiconductor layer or the like. Conventionally like this
When the pixel electrode 51 is composed of TO, the opening 5
Although the coverage in 1C was not sufficient, which could cause poor contact, according to the above-described embodiment, the coverage is compensated by both the metal layer 14 made of Ti or the like and the pixel electrode 51. As a result, it is possible to reduce the occurrence of defective products, and in particular, as described above, the S / D region 6 made of polycrystalline Si or the like and the pixel electrode 51 made of ITO or the like.
When the above-mentioned configuration is applied to and, the electric resistance thereof can be remarkably reduced, and the contact in this portion can be improved.
【0054】また本発明は上述の実施例に限らず、その
他種々の液晶表示装置に適用することができる。The present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be applied to various other liquid crystal display devices.
【0055】[0055]
【発明の効果】上述したように本発明液晶表示装置によ
れば、第1の基板1上の画素電極51の周囲部に光を透
過しない金属層14を設ける構成を採るため、第1の基
板1上の画素電極51の形成されない領域や光むらの原
因となる付加電極Csの第1の電極21等の、光をマス
クすべき部分に対し、この同一基板1上に設ける金属層
14によって位置合せを行うことができるため、合せ裕
度を低減化することができる。As described above, according to the liquid crystal display device of the present invention, since the metal layer 14 which does not transmit light is provided around the pixel electrode 51 on the first substrate 1, the first substrate is provided. Positioned by the metal layer 14 provided on the same substrate 1 with respect to a portion where light is to be masked, such as a region on which the pixel electrode 51 is not formed and the first electrode 21 of the additional electrode Cs that causes light unevenness. Since the alignment can be performed, the alignment margin can be reduced.
【0056】従って、これと対向する第2の基板2側に
設けるブラックマスク部41の開口部41Cと配線層1
2との間隔を3.5μm程度に低減化することができ、
ブラックマスク部41の開口率を大とすることができ
る。Therefore, the opening portion 41C of the black mask portion 41 and the wiring layer 1 provided on the side of the second substrate 2 facing the wiring substrate 1
It is possible to reduce the distance from 2 to 3.5 μm,
The aperture ratio of the black mask portion 41 can be increased.
【0057】特に例えば高精細即ち小画素の液晶表示装
置に本発明を適用することによって、開口部の増大化に
より画面の明るさの向上をはかることができる。In particular, by applying the present invention to a high-definition or small-pixel liquid crystal display device, the brightness of the screen can be improved by enlarging the opening.
【0058】また、配線層12の電界をこの画素電極5
1と電気的に接続された金属層14の電界によって弱め
ることができて、この部分における液晶層3への信号線
電界の影響を低減化することができ、更にこの金属層1
4自体によって周辺の液晶層3を配向させることができ
る。即ちこの金属層14によって画素電極51が設けら
れない部分を遮光すると共に、配線層12による電界に
よる液晶層3の乱れを抑制し、更に画素領域周縁部の液
晶層3を確実に画素電極51の電位をもって配向させる
ことができて、この周縁部の乱れを回避することができ
る。これにより、画質の向上をはかることができる。Further, the electric field of the wiring layer 12 is applied to the pixel electrode 5
1 can be weakened by the electric field of the metal layer 14 electrically connected to the liquid crystal layer 1, and the influence of the signal line electric field on the liquid crystal layer 3 in this portion can be reduced.
The peripheral liquid crystal layer 3 can be aligned by 4 itself. That is, the metal layer 14 shields the portion where the pixel electrode 51 is not provided from light, suppresses the disturbance of the liquid crystal layer 3 due to the electric field due to the wiring layer 12, and further ensures that the liquid crystal layer 3 at the peripheral portion of the pixel region is covered with the pixel electrode 51. The orientation can be performed with an electric potential, and the disturbance of the peripheral portion can be avoided. As a result, the image quality can be improved.
【0059】更に、上述したように画素電極51とS/
D領域6との開口部51C内に金属層14を介在させる
構成を採る場合は、金属層14と画素電極51との両層
によってカバレージを補償することができて不良品の発
生を低減化することができると共に、特に上述したよう
に多結晶Si等より成るS/D領域6とITO等より成
る画素電極51との電気抵抗を格段に低減化させること
ができて、この部分におけるコンタクトを改善すること
ができる。Further, as described above, the pixel electrode 51 and the S /
When the structure in which the metal layer 14 is interposed in the opening 51C with the D region 6 is adopted, the coverage can be compensated by both the metal layer 14 and the pixel electrode 51, and the generation of defective products can be reduced. In addition, the electrical resistance between the S / D region 6 made of polycrystalline Si or the like and the pixel electrode 51 made of ITO or the like can be significantly reduced, and the contact in this portion can be improved. can do.
【図1】本発明液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
平面図である。FIG. 1 is an enlarged schematic plan view of a main part of an example of a liquid crystal display device of the present invention.
【図2】本発明液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
断面図である。FIG. 2 is an enlarged schematic cross-sectional view of a main part of an example of the liquid crystal display device of the present invention.
【図3】本発明液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
断面図である。FIG. 3 is a schematic linear enlarged cross-sectional view of a main part of an example of the liquid crystal display device of the present invention.
【図4】液晶表示装置の一例の要部の等価回路図であ
る。FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of a main part of an example of a liquid crystal display device.
【図5】従来の液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
平面図である。FIG. 5 is a schematic enlarged plan view of a main part of an example of a conventional liquid crystal display device.
【図6】従来の液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
断面図である。FIG. 6 is an enlarged schematic cross-sectional view of a main part of an example of a conventional liquid crystal display device.
【図7】従来の液晶表示装置の一例の要部の略線的拡大
断面図である。FIG. 7 is a schematic linear enlarged cross-sectional view of a main part of an example of a conventional liquid crystal display device.
1 第1の基板 2 第2の基板 3 液晶層 4 半導体層 5 S/D領域 6 S/D領域 7 チャネル形成層 8 ゲート絶縁層 9 ゲート電極 11 絶縁層 12 配線層 13 絶縁層 14 金属層 15 絶縁層 16 保護層 21 第1の電極 22 誘電体層 23 第2の電極 40 カラーフィルタ層 41 ブラックマスク部 42 三原色フィルタ部 43 絶縁層 44 保護層 51 画素電極 52 透明電極 1 First Substrate 2 Second Substrate 3 Liquid Crystal Layer 4 Semiconductor Layer 5 S / D Region 6 S / D Region 7 Channel Forming Layer 8 Gate Insulating Layer 9 Gate Electrode 11 Insulating Layer 12 Wiring Layer 13 Insulating Layer 14 Metal Layer 15 Insulating layer 16 Protective layer 21 First electrode 22 Dielectric layer 23 Second electrode 40 Color filter layer 41 Black mask part 42 Three primary color filter part 43 Insulating layer 44 Protective layer 51 Pixel electrode 52 Transparent electrode
Claims (1)
と、これら基板間に充填された液晶層と、前記第1の基
板上にマトリクス状に配列されてなる画素電極と、この
画素電極に接続された薄膜トランジスタとからなる液晶
表示装置であって、前記画素電極の周囲部に前記画素電
極と電気的に接続されてかつ光を透過させない金属層
と、前記第2の基板の液晶層を充填する側に三原色フィ
ルタ部およびこれらフィルタ部の境界に設けられたブラ
ックマスク部とを有するカラーフィルタ層を設けたこと
ことを特徴とする液晶表示装置。1. A first substrate and a second substrate facing each other, a liquid crystal layer filled between these substrates, and a matrix arrayed on the first substrate. A liquid crystal display device comprising a pixel electrode and a thin film transistor connected to the pixel electrode, wherein a metal layer electrically connected to the pixel electrode and impermeable to light is provided around the pixel electrode, 2. A liquid crystal display device, wherein a color filter layer having three primary color filter portions and a black mask portion provided at a boundary between these filter portions is provided on a side of the second substrate which is filled with the liquid crystal layer.
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JP18876691A JPH0534679A (en) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | Liquid crystal display device |
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JPH0534679A true JPH0534679A (en) | 1993-02-12 |
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