[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH05291005A - 接触型サーミスタ - Google Patents

接触型サーミスタ

Info

Publication number
JPH05291005A
JPH05291005A JP9251392A JP9251392A JPH05291005A JP H05291005 A JPH05291005 A JP H05291005A JP 9251392 A JP9251392 A JP 9251392A JP 9251392 A JP9251392 A JP 9251392A JP H05291005 A JPH05291005 A JP H05291005A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heat
thermistor
substrate
contact type
thermistor element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9251392A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nagai
彪 長井
Katsumi Sasada
勝視 佐々田
Sadao Nakagawa
貞雄 中川
Shuji Ito
修治 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP9251392A priority Critical patent/JPH05291005A/ja
Publication of JPH05291005A publication Critical patent/JPH05291005A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 高耐熱性で高速熱応答性を有する接触型サー
ミスタを提供する。 【構成】 耐熱性基板4上に板状のサーミスタ素子10
を焼成硝子12で固定して接触型のサーミスタとする。
サーミスタ素子10を耐熱性基板4上に面接触で固定す
るために熱応答性の優れたものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、対象物表面と機械的に
接触して、その表面温度を400〜500℃の高温度ま
で検出できる接触型サーミスタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の接触型サーミスタは、図
4に示すように、円柱状の硝子封止型サーミスタ1を金
属板2上に樹脂3で接着して構成し、金属板2を対象物
の表面にビス止めなどにより機械的に接触させて、その
表面温度を検出していた(例えば、特開昭60−125
535号公報)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では、樹脂3の耐熱温度は約200℃以下で
あるので、最高使用温度も約200℃に制限されるとい
う問題があった。
【0004】また、硝子封止型サーミスタ1は円筒状の
形状を有するので、金属板2との間の熱伝達が悪く、こ
のため熱応答性が遅い(90%熱応答時間は20sec
以上)という問題もあった。
【0005】本発明は上記従来の問題点を解消し、従来
よりも高耐熱性で、高速応答性にすることを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明の接触型サーミスタは、耐熱性基板上に板状
のサーミスタ素子を焼成ガラスで固定した構成とする。
【0007】
【作用】上記した構成によって、耐熱性の低い有機物材
料を全く使用せず、板状のサーミスタ素子が耐熱性基板
と面接触で固定される。
【0008】
【実施例】
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例を添付図面に
もとづいて説明する。
【0009】図1は板状のサーミスタ素子を用いた本発
明の接触型サーミスタの一実施例を示す断面図である。
耐熱性基板4としては絶縁性のアルミナ基板5上に導電
性膜6を形成したものを用いた。アルミナ基板5の形状
は、直径8mm、厚さ0.5mmの円板状である。そして導電
膜6の上に、アルミナ基板7の一方の表面に一対の電極
膜8aおよび8bと感温抵抗体膜9とからなる板状のサ
ーミスタ素子10を設けた。アルミナ基板7の形状は、
幅2mm、長さ4mm、厚さ0.5mmである。この板状のサー
ミスタ素子10の一対の電極膜8aおよび8bに一対の
リード線11aおよび11bを設け、板状のサーミスタ
素子10は焼成硝子12により耐熱性基板4に固定され
ている。
【0010】上記構成において導電性膜6は、厚膜用導
電性ペースト、例えば、Agペースト、Ag−Pdペー
スト、Au−Ptペーストなどを印刷した後、800℃
以上の高温で焼成して形成される。また、焼成硝子12
は、板状のサーミスタ素子10の周囲を厚膜用硝子ペー
ストで被覆した後、700℃以上の高温で焼成して形成
される。焼成硝子12の厚さは1〜2mmである。
【0011】このようにして構成された本実施例の接触
型サーミスタは従来例に比べ、樹脂などの有機物が全く
使用されていないので、最高使用温度を200℃以上に
できる。すなわち、板状のサーミスタ素子10、アルミ
ナ基板5および7、導電性膜6、焼成硝子12などは、
すべて無機物であり、しかも700℃以上で焼成される
ので、500℃以上の耐熱性が容易に得られる。従っ
て、本実施例の耐熱性は、結局、感温抵抗体膜9の耐熱
性に依存する。この耐熱性は感温抵抗体膜9の材質、形
成条件により決まる。感温抵抗体膜9として、複合金属
酸化物、Ge,Si,SiCなどの蒸着膜、スパッタ
膜、印刷・焼成厚膜など種々あるが、なかでもSiCの
スパッタ法による感温抵抗体膜は500℃の耐熱性を有
すると共に0〜500℃の広い温度範囲を検出するのに
適した抵抗温度特性を有する点で優れている。従って本
実施例ではSiCのスパッタ法による感温抵抗体膜を用
いた。本実施例の接触型サーミスタを対象物の表面に密
着させて、90%熱応答時間を測定した結果、7〜8s
ecの高速熱応答性が得られた。
【0012】なお、本実施例では耐熱性基板としてアル
ミナ基板上に導電性膜を設けたものについて説明した
が、これに代えてTi、ステンレスなどの耐熱性基板を
用いてもよい。
【0013】また、耐熱性基板4とサーミスタ素子10
の接着強度を増すためには両者の間にも焼成硝子12を
設けるとよい。
【0014】(実施例2)次に本発明の第2の実施例に
ついて図2にもとづいて説明する。
【0015】接触型サーミスタを実際に対象物に取り付
けることを考慮すると、耐熱性基板4の外周部に金属板
13が固定されることが好ましい。そして両者の固定方
法としてはかしめなどの機械的方法もよいが、ろう付け
法が好ましい。それはアルミナ基板のような薄い平板状
のものはかしめ時に割れ易いからである。アルミナ基板
5と金属板13とのろう材14によるろう付けには、導
電性膜6にタングステン膜やモリブデン膜を用いると容
易にできる。
【0016】実施例1および2の接触型サーミスタは、
例えば、電子レンジ庫内などの高周波電波の満たされた
空間での使用に有効である。すなわち、これらの接触型
サーミスタは、サーミスタ素子10が導電性膜6により
電波輻射に対して保護される。と同時に電波強度の検出
にも利用できる。それは絶縁基板5および7は電波吸収
体のために電波強度に応じて加熱される。その結果、そ
の温度上昇をサーミスタ素子10で検出できるので、電
波強度の検出にも利用できる。
【0017】(実施例3)次に本発明の第3の実施例に
ついて図3にもとづいて説明する。
【0018】本実施例が図1の実施例1と相違する点
は、耐熱性基板4として導電性膜6を設けないアルミナ
基板を用いた点である。これにより、本実施例の接触型
サーミスタは耐熱性の低い有機材料を全く使用せず、板
状のサーミスタ素子10を焼成硝子12で耐熱性基板4
に固定されているために従来例より耐熱性および熱応答
時間の優れたものである。
【0019】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の接触型サーミスタによれば次の効果が得られる。
【0020】(1)耐熱性材料のみから構成されるため
に従来例より耐熱性に優れ、耐熱性基板上に板状のサー
ミスタ素子が面接触で固定されるために従来例より熱応
答性の優れたものとなる。
【0021】(2)絶縁基板上に導電性膜を設け、その
導電性膜上に板状サーミスタと金属板をろう付けした構
成のために従来例より耐熱性、熱応答性に優れるととも
にサーミスタ素子が電波輻射に対して保護され、対象物
への取り付けが容易である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例における接触型サーミス
タの断面図
【図2】同じく第2の実施例における接触型サーミスタ
の断面図
【図3】同じく第3の実施例における接触型サーミスタ
の断面図
【図4】従来の接触型サーミスタの斜視図
【符号の説明】
4 耐熱性基板 5 アルミナ基板(絶縁基板) 6 導電性膜 10 板状のサーミスタ素子 12 焼成硝子 13 金属板 14 ろう材
フロントページの続き (72)発明者 伊藤 修治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】耐熱性基板上に板状のサーミスタ素子が焼
    成硝子で固定された接触型サーミスタ。
  2. 【請求項2】絶縁基板上に導電性膜を設けた耐熱性基板
    上に板状のサーミスタ素子が焼成硝子で固定され、上記
    耐熱性基板上の外周部に金属板がろう付けされた接触型
    サーミスタ。
JP9251392A 1992-04-13 1992-04-13 接触型サーミスタ Pending JPH05291005A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9251392A JPH05291005A (ja) 1992-04-13 1992-04-13 接触型サーミスタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9251392A JPH05291005A (ja) 1992-04-13 1992-04-13 接触型サーミスタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05291005A true JPH05291005A (ja) 1993-11-05

Family

ID=14056404

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9251392A Pending JPH05291005A (ja) 1992-04-13 1992-04-13 接触型サーミスタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05291005A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014199911A (ja) * 2013-03-12 2014-10-23 日本特殊陶業株式会社 サーミスタ素子、温度センサ及びサーミスタ素子の製造方法
US20220163406A1 (en) * 2018-01-18 2022-05-26 In-Situ, Inc. Fast Response Temperature Sensors

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014199911A (ja) * 2013-03-12 2014-10-23 日本特殊陶業株式会社 サーミスタ素子、温度センサ及びサーミスタ素子の製造方法
US20220163406A1 (en) * 2018-01-18 2022-05-26 In-Situ, Inc. Fast Response Temperature Sensors
US11920987B2 (en) * 2018-01-18 2024-03-05 In-Situ, Inc. Fast response temperature sensors

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4527050A (en) Hotplate
US5216404A (en) Sic thin-film thermistor
US6072165A (en) Thin film metal/metal oxide thermocouple
KR910006223B1 (ko) 가스센서 및 그 제조방법
JPH09145489A (ja) 抵抗温度計
US4079349A (en) Low TCR resistor
KR970705012A (ko) 온도센서 소자와 그것을 가지는 온도센서 및 온도센서 소자의 제조방법
CA1157166A (en) Composite thermistor component
US4424507A (en) Thin film thermistor
KR100324098B1 (ko) Ntc 써미스터 및 칩형의 ntc 써미스터
JPH05291005A (ja) 接触型サーミスタ
JP2701565B2 (ja) 薄膜サーミスタおよびその製造方法
JP2734840B2 (ja) 接触型薄膜サーミスタ
JP2734218B2 (ja) 薄膜サーミスタ
JP2727541B2 (ja) 薄膜サーミスタの製造法
JPH04293202A (ja) 接触型薄膜サーミスタ
JPH05135908A (ja) 接触型薄膜サーミスタ
JPH0749271A (ja) 接触型温度センサ及びその製造方法
JPH05135912A (ja) 薄膜サーミスタ及びその製造方法
JPH0653013A (ja) 薄膜サーミスタ及びその製造方法
JPH065404A (ja) 薄膜サーミスタ
JPS5923082B2 (ja) サ−ミスタおよびその製造方法
JPH06137961A (ja) 接触型サーミスタ
JPS5951502A (ja) サ−ミスタ
JPH0491401A (ja) 薄膜サーミスタおよびその製造方法