JPH05289118A - 集光点位置調整方法 - Google Patents
集光点位置調整方法Info
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- JPH05289118A JPH05289118A JP9102392A JP9102392A JPH05289118A JP H05289118 A JPH05289118 A JP H05289118A JP 9102392 A JP9102392 A JP 9102392A JP 9102392 A JP9102392 A JP 9102392A JP H05289118 A JPH05289118 A JP H05289118A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】導光路内で平面的に集光点の位置調整ができ、
又空間的な位置決めが不要になる集光点位置調整方法を
提供することにある。 【構成】光束を導波層2に通して薄膜レンズ5により集
光し、これを所望の集光点位置に照射する場合、導波層
2に複数の液晶充填溝21〜29を、該溝相互の間隔が
中央部側に比べて端部側を狭くなるように形成し、この
各溝21〜29に液晶を充填し、この液晶の充填された
導波層2を、それぞれ複数の電極を有する上下クラッド
層1,6でを挟むと共に、電極対のうちの少なくとも1
対の電極対に電圧を印加して該電極対間の液晶の屈折率
を所定の値とし、かつ電極対のうちの残りの電極対に電
圧を印加し該電極間の液晶の屈折率が前記導波層の屈折
率と等しくなるようにするグレーティングレンズを用い
て、電極対の電圧の印加を交互に切換えることにより、
集光点位置を所望の位置に移動調整する方法。
又空間的な位置決めが不要になる集光点位置調整方法を
提供することにある。 【構成】光束を導波層2に通して薄膜レンズ5により集
光し、これを所望の集光点位置に照射する場合、導波層
2に複数の液晶充填溝21〜29を、該溝相互の間隔が
中央部側に比べて端部側を狭くなるように形成し、この
各溝21〜29に液晶を充填し、この液晶の充填された
導波層2を、それぞれ複数の電極を有する上下クラッド
層1,6でを挟むと共に、電極対のうちの少なくとも1
対の電極対に電圧を印加して該電極対間の液晶の屈折率
を所定の値とし、かつ電極対のうちの残りの電極対に電
圧を印加し該電極間の液晶の屈折率が前記導波層の屈折
率と等しくなるようにするグレーティングレンズを用い
て、電極対の電圧の印加を交互に切換えることにより、
集光点位置を所望の位置に移動調整する方法。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、集積光学構造体の集光
点位置を調整するための集光点位置調整方法に関する。
点位置を調整するための集光点位置調整方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の集積光学構造体の集光点位
置調整装置の一例として、図4に示すものが、特開昭5
8ー21214号公報で公知である。これは、レーザダ
イオード21より出射したレーザ光L0は、コリメート
レンズ22により平行光L1とされた後、レンズ23に
至る。そして、該レンズ23から出射した光L2は、レ
ンズ24へ入射し、ここで再び平行光L3に変換され、
これがプリズムカップラ25により集積光学構造体30
の導波路内に導かれる。この導波光L4は、櫛の歯状電
極31により励起された超音波により回折された後、L
5となり、薄膜レンズ32により収束された光L6が導
波層33の射出端面34に集光される。この場合、集光
点Sの位置は、導波層33の射出端面Sに正確に集光す
るのが望ましいが、集光点の端面の外側にきてしまった
り、又、逆に端面の内側にきてしまったりすることがあ
る。
置調整装置の一例として、図4に示すものが、特開昭5
8ー21214号公報で公知である。これは、レーザダ
イオード21より出射したレーザ光L0は、コリメート
レンズ22により平行光L1とされた後、レンズ23に
至る。そして、該レンズ23から出射した光L2は、レ
ンズ24へ入射し、ここで再び平行光L3に変換され、
これがプリズムカップラ25により集積光学構造体30
の導波路内に導かれる。この導波光L4は、櫛の歯状電
極31により励起された超音波により回折された後、L
5となり、薄膜レンズ32により収束された光L6が導
波層33の射出端面34に集光される。この場合、集光
点Sの位置は、導波層33の射出端面Sに正確に集光す
るのが望ましいが、集光点の端面の外側にきてしまった
り、又、逆に端面の内側にきてしまったりすることがあ
る。
【0003】このようなことから、従来この問題を解決
するため、レンズ24を光の進行方向に沿って前後に移
動調整できるように構成されている。この場合、光線L
0がレンズを出射した後、P点において、1度集光され
る。もし、P点がレンズ24の焦点となるような位置に
あるときには、レンズ24から出射した光線は平行光線
となる。また仮に、レンズ24が前述のP点に近いとき
は、レンズ24より出射した光線は、発散光になる。逆
に、レンズ24が前述した位置よりP点に対して遠いと
きには、レンズ24からの出射角は収束光となる。集光
点Sはレンズ24よりの出射光が発散しているときは、
集光点Sは前述の位置より遠くになり、収束していると
きは、前述の位置より近くなる。これにより、集光点の
位置調整を行うことができるものである。
するため、レンズ24を光の進行方向に沿って前後に移
動調整できるように構成されている。この場合、光線L
0がレンズを出射した後、P点において、1度集光され
る。もし、P点がレンズ24の焦点となるような位置に
あるときには、レンズ24から出射した光線は平行光線
となる。また仮に、レンズ24が前述のP点に近いとき
は、レンズ24より出射した光線は、発散光になる。逆
に、レンズ24が前述した位置よりP点に対して遠いと
きには、レンズ24からの出射角は収束光となる。集光
点Sはレンズ24よりの出射光が発散しているときは、
集光点Sは前述の位置より遠くになり、収束していると
きは、前述の位置より近くなる。これにより、集光点の
位置調整を行うことができるものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】以上述べた従来例で
は、集光点の位置合わせが空間的に配置されたレンズ2
4によって行われており、正確な集光点の位置合わせを
行うのが困難なところがあり、レンズ24は空間的配置
であるため、全体を小形化する上で支障がある。本発明
は、正確な集光点の位置合わせが可能となり、空間的位
置決めが不要となる集光点位置調整方法を提供すること
を目的とする。
は、集光点の位置合わせが空間的に配置されたレンズ2
4によって行われており、正確な集光点の位置合わせを
行うのが困難なところがあり、レンズ24は空間的配置
であるため、全体を小形化する上で支障がある。本発明
は、正確な集光点の位置合わせが可能となり、空間的位
置決めが不要となる集光点位置調整方法を提供すること
を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項1に対応する発明は、光束を導波層に通して
薄膜レンズにより集光し、これを所望の集光点位置に照
射する場合、前記導波層に複数の液晶充填溝を、該溝相
互の間隔が中央部側に比べて端部側を狭くなるように形
成し、この各溝に液晶を充填し、この液晶の充填された
導波層を、それぞれ複数の電極を有する第1および第2
のクラッド層により挟むと共に、前記電極対のうちの少
なくとも1対の電極対に電圧を印加して該電極対間の液
晶の屈折率を所定の値とし、かつ前記電極対のうちの残
りの電極対に電圧を印加し該電極間の液晶の屈折率が前
記導波層の屈折率と等しくなるようにするグレーティン
グレンズを用いて、前記電極対の電圧の印加を切換える
ことにより、前記集光点位置を所望の位置に移動調整す
るようにした集光点位置調整方法である。
め、請求項1に対応する発明は、光束を導波層に通して
薄膜レンズにより集光し、これを所望の集光点位置に照
射する場合、前記導波層に複数の液晶充填溝を、該溝相
互の間隔が中央部側に比べて端部側を狭くなるように形
成し、この各溝に液晶を充填し、この液晶の充填された
導波層を、それぞれ複数の電極を有する第1および第2
のクラッド層により挟むと共に、前記電極対のうちの少
なくとも1対の電極対に電圧を印加して該電極対間の液
晶の屈折率を所定の値とし、かつ前記電極対のうちの残
りの電極対に電圧を印加し該電極間の液晶の屈折率が前
記導波層の屈折率と等しくなるようにするグレーティン
グレンズを用いて、前記電極対の電圧の印加を切換える
ことにより、前記集光点位置を所望の位置に移動調整す
るようにした集光点位置調整方法である。
【0006】本発明方法を実施する装置は、光束を導く
ことが可能であって、表面に複数の液晶充填溝が同一方
向で、かつ該溝相互の間隔を端部側が中央部側に比べて
狭く形成した導波層と、この導波層の各液晶充填溝に充
填され、電圧の印加により屈折率が変わる液晶と、前記
導波層を挟むようにそれぞれ配設され、該表面に前記導
波層の溝の配列方向とは直角に複数の電極が形成された
第1および第2のクラッド層と、この第1および第2の
クラッド層の少なくとも1対の電極間に電圧を印加し、
該電極間の前記液晶の屈折率を所定の値にするための第
1の電源と、この第1の電源により電圧が印加される少
なくとも1対の電極対以外の電極対に電圧が印加され、
前記電極間の液晶の屈折率が前記導波層の屈折率と等し
くなるようにする第2の電源と、この第2の電源と前記
第1の電源により前記電極対に印加される電圧を切換え
る電源切換え手段と、前記導波層の端面から所定の角度
の広がりの光が入射される光源と、前記導波層から出射
される平行光を所望の集光点位置にする集光する薄膜レ
ンズを具備した集光点位置調整装置である。
ことが可能であって、表面に複数の液晶充填溝が同一方
向で、かつ該溝相互の間隔を端部側が中央部側に比べて
狭く形成した導波層と、この導波層の各液晶充填溝に充
填され、電圧の印加により屈折率が変わる液晶と、前記
導波層を挟むようにそれぞれ配設され、該表面に前記導
波層の溝の配列方向とは直角に複数の電極が形成された
第1および第2のクラッド層と、この第1および第2の
クラッド層の少なくとも1対の電極間に電圧を印加し、
該電極間の前記液晶の屈折率を所定の値にするための第
1の電源と、この第1の電源により電圧が印加される少
なくとも1対の電極対以外の電極対に電圧が印加され、
前記電極間の液晶の屈折率が前記導波層の屈折率と等し
くなるようにする第2の電源と、この第2の電源と前記
第1の電源により前記電極対に印加される電圧を切換え
る電源切換え手段と、前記導波層の端面から所定の角度
の広がりの光が入射される光源と、前記導波層から出射
される平行光を所望の集光点位置にする集光する薄膜レ
ンズを具備した集光点位置調整装置である。
【0007】
【作用】本発明によれば、導波層に形成されている複数
の液晶充填溝に液晶を充填し、導波層に印加する電圧を
制御することにより、必要なグレーティング長さが得ら
れ、これにより平面的に集光点の微調整ができ、また、
空間的な位置決めが不要になる。
の液晶充填溝に液晶を充填し、導波層に印加する電圧を
制御することにより、必要なグレーティング長さが得ら
れ、これにより平面的に集光点の微調整ができ、また、
空間的な位置決めが不要になる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1および図2は本発明の第1の実施例の
概要を示す平面図および斜視図であり、いずれも後述す
る上部クラッド層6を省略した図であり、これ以外の構
成は、下部クラッド層1、導波層2、レーザダイオード
3、櫛形電極4、薄膜レンズ5からなっている。
て説明する。図1および図2は本発明の第1の実施例の
概要を示す平面図および斜視図であり、いずれも後述す
る上部クラッド層6を省略した図であり、これ以外の構
成は、下部クラッド層1、導波層2、レーザダイオード
3、櫛形電極4、薄膜レンズ5からなっている。
【0009】図3は図2のBーB線およびCーC線間を
切断し、この部分すなわちグレーティングレンズの分解
斜視図である。グレーティングレンズは、下部クラッド
層1、導波層2および上部クラッド層6からなってい
る。下部クラッド層1は、例えばSiO2 ガラス板の一
方の面(外側)に、複数個(ここでは6個)の帯状の電
極11〜16が互いに間隔を存して形成されている。上
部クラッド層6は、下部クラッド層1と同様に、例えば
SiO2 ガラス板の一方の面(外側)に、複数個(ここ
では6個)の帯状の電極61〜66が互いに間隔を存し
て形成されている。下部クラッド層1の電極11〜16
と上部クラッド層6の電極61〜66は、互いに上下で
1対1に対応するように形成されている。
切断し、この部分すなわちグレーティングレンズの分解
斜視図である。グレーティングレンズは、下部クラッド
層1、導波層2および上部クラッド層6からなってい
る。下部クラッド層1は、例えばSiO2 ガラス板の一
方の面(外側)に、複数個(ここでは6個)の帯状の電
極11〜16が互いに間隔を存して形成されている。上
部クラッド層6は、下部クラッド層1と同様に、例えば
SiO2 ガラス板の一方の面(外側)に、複数個(ここ
では6個)の帯状の電極61〜66が互いに間隔を存し
て形成されている。下部クラッド層1の電極11〜16
と上部クラッド層6の電極61〜66は、互いに上下で
1対1に対応するように形成されている。
【0010】導波層2は、板ガラス(例えばコーニング
社製7059ガラス)の一方の板面に、複数の断面矩形
状の液晶充填溝21〜29が互いに間隔を存して形成さ
れている。この各液晶充填溝21〜29は、下部クラッ
ド層1および上部クラッド層6で形成されている電極1
1〜16および61〜66の方向とは、直角であって、
液晶充填溝21〜29の相互間隔は、中央部側(中心線
AーA側)が最も広く、端部側が最も狭く、しかも中央
部側と端部側の間は徐々に間隔が狭くなるように形成さ
れている。
社製7059ガラス)の一方の板面に、複数の断面矩形
状の液晶充填溝21〜29が互いに間隔を存して形成さ
れている。この各液晶充填溝21〜29は、下部クラッ
ド層1および上部クラッド層6で形成されている電極1
1〜16および61〜66の方向とは、直角であって、
液晶充填溝21〜29の相互間隔は、中央部側(中心線
AーA側)が最も広く、端部側が最も狭く、しかも中央
部側と端部側の間は徐々に間隔が狭くなるように形成さ
れている。
【0011】そして、導波層2の液晶充填溝21〜29
に、液晶(例えばメルク社PCH1132ネマチック液
晶)が充填されている。この場合のネマチック液晶の屈
折率は、1.48〜1.6となっており、しかもネマチ
ック液晶はラビング法など液晶分子を図1に示す伝播光
L11の方向に配列させる平行配列処理を予め施してお
く。これにより、伝播光L11は、液晶内では液晶分子の
短軸方向の屈折率n0=1.48を感じるようになってい
る。
に、液晶(例えばメルク社PCH1132ネマチック液
晶)が充填されている。この場合のネマチック液晶の屈
折率は、1.48〜1.6となっており、しかもネマチ
ック液晶はラビング法など液晶分子を図1に示す伝播光
L11の方向に配列させる平行配列処理を予め施してお
く。これにより、伝播光L11は、液晶内では液晶分子の
短軸方向の屈折率n0=1.48を感じるようになってい
る。
【0012】レーザダイオード3は、TE(Transverse
Electric )モード光を出射するように、導波層2の端
面に設置され、これによりレーザダイオード3からの出
射光は、導波層2の導波路に導かれるようになってい
る。
Electric )モード光を出射するように、導波層2の端
面に設置され、これによりレーザダイオード3からの出
射光は、導波層2の導波路に導かれるようになってい
る。
【0013】また、櫛形電極4により超音波が励起さ
れ、この超音波の波長を変えることによって、集光点
(輝点)Sを走査することができるようになっている。
そして、該導波層2内に導かれた導波光は、薄膜レンズ
5によって導波層2の端面に集光されるようになってい
る。
れ、この超音波の波長を変えることによって、集光点
(輝点)Sを走査することができるようになっている。
そして、該導波層2内に導かれた導波光は、薄膜レンズ
5によって導波層2の端面に集光されるようになってい
る。
【0014】このような構成のものにおいて、いま、電
極11および61間に、第1の電源により電圧を印加
し、この間に充填されている液晶の屈折率が1.6とな
るようにし、また残り電極12および62、電極13お
よび63、電極14および64、電極15および65、
電極16および66には、それぞれ電極間の液晶の屈折
率が導波層2の屈折率と等しくなるように、第2の電源
により電圧を印加する。
極11および61間に、第1の電源により電圧を印加
し、この間に充填されている液晶の屈折率が1.6とな
るようにし、また残り電極12および62、電極13お
よび63、電極14および64、電極15および65、
電極16および66には、それぞれ電極間の液晶の屈折
率が導波層2の屈折率と等しくなるように、第2の電源
により電圧を印加する。
【0015】この状態で、電極11および61の位置
が、例えば図2に示すレーザダイオード3に最も近い位
置にあるならば、レーザダイオード3からの出射光はグ
レーティングレンズを出射した後、発散する。
が、例えば図2に示すレーザダイオード3に最も近い位
置にあるならば、レーザダイオード3からの出射光はグ
レーティングレンズを出射した後、発散する。
【0016】また、以上述べた状態を変更して電極16
および66の間にその間の液晶の屈折率が1.6となる
ように第1の電源により電圧を印加し、また残りの電極
11および61、電極12および62、電極13および
63、電極14および64、電極15および65には、
それぞれ電極間の液晶の屈折率が導波層2の屈折率と等
しくなるように、第2の電源により電圧を印加する。こ
の状態では、グレーティングレンズからの出射光は収束
する。このような動作を、切換えスイッチ回路を用いて
行うことができる。
および66の間にその間の液晶の屈折率が1.6となる
ように第1の電源により電圧を印加し、また残りの電極
11および61、電極12および62、電極13および
63、電極14および64、電極15および65には、
それぞれ電極間の液晶の屈折率が導波層2の屈折率と等
しくなるように、第2の電源により電圧を印加する。こ
の状態では、グレーティングレンズからの出射光は収束
する。このような動作を、切換えスイッチ回路を用いて
行うことができる。
【0017】このようにすることにより、あたかもグレ
ーティングレンズの位置が動いているような作用を起
し、出射光の収束、分散、平行を制御することができ
る。従って、導波路内で平面的に集光点Sの微調整がで
き、また、従来のように空間的な位置決めが必要ないの
で、全体を小形化することが可能となる。
ーティングレンズの位置が動いているような作用を起
し、出射光の収束、分散、平行を制御することができ
る。従って、導波路内で平面的に集光点Sの微調整がで
き、また、従来のように空間的な位置決めが必要ないの
で、全体を小形化することが可能となる。
【0018】以上述べた実施例のグレーティング長さを
変えるには、以下のようにすればよい。例えば、電極1
1および61の間、ならびに、電極12および62の間
に、これらの電極間の液晶の屈折率が1.6となるよう
に、第1の電源により電圧を印加し、残りの電極13お
よび63の間、電極14および64の間、電極15およ
び65の間、電極16および66の間に、それぞれその
電極間の液晶の屈折率が導波層2の屈折率と等しくなる
ように、第2の電源により電圧を印加すれば、前述した
実施例のグレーティング長の2倍にすることができる。
このようにすることにより、x方向位置のグレーティン
グ長を可変にできるグレーティングレンズとなる。
変えるには、以下のようにすればよい。例えば、電極1
1および61の間、ならびに、電極12および62の間
に、これらの電極間の液晶の屈折率が1.6となるよう
に、第1の電源により電圧を印加し、残りの電極13お
よび63の間、電極14および64の間、電極15およ
び65の間、電極16および66の間に、それぞれその
電極間の液晶の屈折率が導波層2の屈折率と等しくなる
ように、第2の電源により電圧を印加すれば、前述した
実施例のグレーティング長の2倍にすることができる。
このようにすることにより、x方向位置のグレーティン
グ長を可変にできるグレーティングレンズとなる。
【0019】レーザダイオード3より出射した光は、あ
る角度の広がりをもってグレーティングレンズに入射す
る。もし、グレーティングレンズの位置が、適当な位置
にあり、グレーティングレンズより出射した光が平行光
となるならば、光はグレーティングレンズに対してあた
かも焦点より出射しているように見える。
る角度の広がりをもってグレーティングレンズに入射す
る。もし、グレーティングレンズの位置が、適当な位置
にあり、グレーティングレンズより出射した光が平行光
となるならば、光はグレーティングレンズに対してあた
かも焦点より出射しているように見える。
【0020】また、グレーティングレンズが、よりレー
ザダイオード3に近い位置にあるならば、グレーティン
グレンズよりの出射光は発散する。さらに、グレーティ
ングレンズが、よりレーザダイオード3より遠い位置に
あるならば、グレーティングレンズよりの出射光は収束
する。そして、グレーティングレンズよりの光は、櫛形
状電極4により励起された超音波によって回折され偏向
する。また、超音波の波長を操作することにより、偏向
角が変化し、端面上で輝点Sの走査を行うことができ
る。
ザダイオード3に近い位置にあるならば、グレーティン
グレンズよりの出射光は発散する。さらに、グレーティ
ングレンズが、よりレーザダイオード3より遠い位置に
あるならば、グレーティングレンズよりの出射光は収束
する。そして、グレーティングレンズよりの光は、櫛形
状電極4により励起された超音波によって回折され偏向
する。また、超音波の波長を操作することにより、偏向
角が変化し、端面上で輝点Sの走査を行うことができ
る。
【0021】前述した実施例では、説明を分り易くする
ため、下部クラッド層1と上部クラッド層6の電極の対
数を6の場合ついて説明したが、実際には、グレーティ
ングレンズを連続可変を達成するため、電極対数をもっ
と多くすればよい。液晶充填溝21〜29内に充填する
液晶としてネマチック液晶を使用したが、これに限らず
他の液晶であっても同様な機能が得られればなんでもよ
い。
ため、下部クラッド層1と上部クラッド層6の電極の対
数を6の場合ついて説明したが、実際には、グレーティ
ングレンズを連続可変を達成するため、電極対数をもっ
と多くすればよい。液晶充填溝21〜29内に充填する
液晶としてネマチック液晶を使用したが、これに限らず
他の液晶であっても同様な機能が得られればなんでもよ
い。
【0022】
【発明の効果】本発明によれば、導光路内で平面的に集
光点の位置調整ができ、又空間的な位置決めが不要にな
る集光点位置調整方法を提供することができる。
光点の位置調整ができ、又空間的な位置決めが不要にな
る集光点位置調整方法を提供することができる。
【図1】本発明による集光点位置調整方法を説明するた
めの全体装置の概略構成を示す図。
めの全体装置の概略構成を示す図。
【図2】図1のグレーティングレンズの構成を示す斜視
図。
図。
【図3】図1のグレーティングレンズの構成を示す分解
斜視図。
斜視図。
【図4】従来の集光点位置調整方法を説明するための全
体装置の概略構成を示す斜視図。
体装置の概略構成を示す斜視図。
1…下部クラッド層、2…導波層、3…レーザダイオー
ド、4…櫛形電極、5…薄膜レンズ、6…上部クラッ
ド、11〜16,61〜66…電極、21〜29…液晶
充填溝。
ド、4…櫛形電極、5…薄膜レンズ、6…上部クラッ
ド、11〜16,61〜66…電極、21〜29…液晶
充填溝。
Claims (1)
- 【請求項1】 光束を導波層に通して薄膜レンズにより
集光し、これを所望の集光点位置に照射する場合、 前記導波層に複数の液晶充填溝を、該溝相互の間隔が中
央部側に比べて端部側を狭くなるように形成し、この各
溝に液晶を充填し、この液晶の充填された導波層を、そ
れぞれ複数の電極を有する第1および第2のクラッド層
により挟むと共に、前記電極対のうちの少なくとも1対
の電極対に電圧を印加して該電極対間の液晶の屈折率を
所定の値とし、かつ前記電極対のうちの残りの電極対に
電圧を印加し該電極間の液晶の屈折率が前記導波層の屈
折率と等しくなるようにするグレーティングレンズを用
いて、前記電極対の電圧の印加を切換えることにより、
前記集光点位置を所望の位置に移動調整するようにした
集光点位置調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9102392A JPH05289118A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 集光点位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9102392A JPH05289118A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 集光点位置調整方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05289118A true JPH05289118A (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=14014946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9102392A Withdrawn JPH05289118A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 集光点位置調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05289118A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000188418A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-07-04 | Sony Corp | 光電子集積回路装置 |
JP2018163214A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | スタンレー電気株式会社 | 光走査装置 |
-
1992
- 1992-04-10 JP JP9102392A patent/JPH05289118A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000188418A (ja) * | 1998-10-13 | 2000-07-04 | Sony Corp | 光電子集積回路装置 |
JP4529194B2 (ja) * | 1998-10-13 | 2010-08-25 | ソニー株式会社 | 光電子集積回路装置 |
JP2018163214A (ja) * | 2017-03-24 | 2018-10-18 | スタンレー電気株式会社 | 光走査装置 |
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Legal Events
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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