JPH0527115A - カラーフイルタおよびその製造方法 - Google Patents
カラーフイルタおよびその製造方法Info
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- JPH0527115A JPH0527115A JP3204591A JP20459191A JPH0527115A JP H0527115 A JPH0527115 A JP H0527115A JP 3204591 A JP3204591 A JP 3204591A JP 20459191 A JP20459191 A JP 20459191A JP H0527115 A JPH0527115 A JP H0527115A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】セルギャップの狭い液晶カラーパネルに用いる
場合にもパネルの表示品位を低下させないカラーフィル
タを提供する。 【構成】感光性樹脂中に着色材料を分散させた着色樹脂
を用いてフォトリソ工程によりパターニングしてカラー
フィルタ層を形成したカラーフィルタにおいて、該カラ
ーフィルタ層上に透明樹脂からなる被研磨層を形成し、
該被研磨層表面を研磨する。また、必要に応じて研磨さ
れた被研磨層の上に透明樹脂からなる修復層を設ける。
場合にもパネルの表示品位を低下させないカラーフィル
タを提供する。 【構成】感光性樹脂中に着色材料を分散させた着色樹脂
を用いてフォトリソ工程によりパターニングしてカラー
フィルタ層を形成したカラーフィルタにおいて、該カラ
ーフィルタ層上に透明樹脂からなる被研磨層を形成し、
該被研磨層表面を研磨する。また、必要に応じて研磨さ
れた被研磨層の上に透明樹脂からなる修復層を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラーフィルタおよび
その製造方法に関し、特に表示デバイスの１つである液
晶カラーディスプレイ用として好適なカラーフィルタお
よびその製造方法に関する。
その製造方法に関し、特に表示デバイスの１つである液
晶カラーディスプレイ用として好適なカラーフィルタお
よびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルタとしては、基板上
にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルア
ルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設
け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色
カラーフィルタが知られている。
にゼラチン、カゼイン、グリューあるいはポリビニルア
ルコールなどの親水性高分子物質からなる媒染層を設
け、その媒染層を色素で染色して着色層を形成する染色
カラーフィルタが知られている。
【０００３】このような染色法では、使用可能な染料が
多く、カラーフィルタとして要求される分光特性への対
応が比較的容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を
溶解させた染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロ
ールの難しい湿式工程を採用しており、また各色毎に防
染用の中間層を設けるという複雑な工程を有するため歩
留りが悪くなる欠点を有している。また、染色可能な色
素の耐熱性が１５０℃程度以下と比較的低く、該フィル
タに熱的処理を必要とする場合には、使用が困難である
上、染色膜自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るとい
う欠点も有している。
多く、カラーフィルタとして要求される分光特性への対
応が比較的容易であるが、媒染層の染色工程に、染料を
溶解させた染色浴中に媒染層を浸漬するというコントロ
ールの難しい湿式工程を採用しており、また各色毎に防
染用の中間層を設けるという複雑な工程を有するため歩
留りが悪くなる欠点を有している。また、染色可能な色
素の耐熱性が１５０℃程度以下と比較的低く、該フィル
タに熱的処理を必要とする場合には、使用が困難である
上、染色膜自体の耐熱性、耐光性等の信頼性が劣るとい
う欠点も有している。
【０００４】これに対し、従来、ある種の着色材料が透
明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィ
ルタが知られている。
明樹脂中に分散されてなる着色樹脂を用いたカラーフィ
ルタが知られている。
【０００５】このようなカラーフィルタは、例えば、特
開昭５８−４６３２５号公報、特開昭６０ー７８４０１
号公報、特開昭６０ー１８４２０２号公報、特開昭６０
ー１８４２０３号公報、特開昭６０ー１８４２０４号公
報、および特に特開昭６０ー１８４２０５号公報等に示
されているように、ポリアミド系樹脂に着色材料を混合
した着色樹脂材料を用いて印刷による方法、あるいは着
色樹脂膜上にレジストによるマスクを設けた後に該着色
樹脂膜をエッチングする方法によりカラーフィルタ層を
形成することができる。
開昭５８−４６３２５号公報、特開昭６０ー７８４０１
号公報、特開昭６０ー１８４２０２号公報、特開昭６０
ー１８４２０３号公報、特開昭６０ー１８４２０４号公
報、および特に特開昭６０ー１８４２０５号公報等に示
されているように、ポリアミド系樹脂に着色材料を混合
した着色樹脂材料を用いて印刷による方法、あるいは着
色樹脂膜上にレジストによるマスクを設けた後に該着色
樹脂膜をエッチングする方法によりカラーフィルタ層を
形成することができる。
【０００６】また、特開昭５７ー１６４０７号公報、特
開昭５７ー７４７０７号公報、および特開昭６０ー１２
９７０７号公報等に示されているように、感光性樹脂に
着色材料を混合した感光性着色樹脂膜を用いてフォトリ
ソ工程による方法によりカラーフィルタ層を形成するこ
とができる。カラーフィルタにおいては、従来より、こ
うして形成されたカラーフィルタ層上にパッシベーショ
ン（保護層）が設けられている。
開昭５７ー７４７０７号公報、および特開昭６０ー１２
９７０７号公報等に示されているように、感光性樹脂に
着色材料を混合した感光性着色樹脂膜を用いてフォトリ
ソ工程による方法によりカラーフィルタ層を形成するこ
とができる。カラーフィルタにおいては、従来より、こ
うして形成されたカラーフィルタ層上にパッシベーショ
ン（保護層）が設けられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、印刷に
よりカラーフィルタ層、あるいはエッチングもしくはフ
ォトリソのための着色樹脂膜を基板上に形成するときの
印刷等による膜厚制御が難しく、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）お
よびＢ（青）の３色または必要に応じて他の色（例えば
透明、白または灰色などの無彩色）を加えた４色以上を
形成した場合に、各色ごとに膜厚が若干異なり、各色間
で段差が生じてしまうという問題があった。また、カラ
ーフィルタ材料は樹脂中に有機顔料を分散させたもので
あるため、表面粗さが大きいという問題もあった。それ
らの問題に対処するために従来のカラーフィルタにおい
てもカラーフィルタ層上にパッシベーションを設けてい
るが、各色間の段差および表面の粗さを低減しているだ
けで、これらを充分に小さくするには至っていない。し
たがって、このようなカラーフィルタを用いて特にセル
ギャップ（セル厚）が狭い（例えば数μｍ以下）液晶カ
ラーパネルを形成した場合、セル厚むらによる色づき、
液晶の配向不良、駆動マージンの減少などの問題が生
じ、表示品位を著しく低下させるという不都合があっ
た。
よりカラーフィルタ層、あるいはエッチングもしくはフ
ォトリソのための着色樹脂膜を基板上に形成するときの
印刷等による膜厚制御が難しく、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）お
よびＢ（青）の３色または必要に応じて他の色（例えば
透明、白または灰色などの無彩色）を加えた４色以上を
形成した場合に、各色ごとに膜厚が若干異なり、各色間
で段差が生じてしまうという問題があった。また、カラ
ーフィルタ材料は樹脂中に有機顔料を分散させたもので
あるため、表面粗さが大きいという問題もあった。それ
らの問題に対処するために従来のカラーフィルタにおい
てもカラーフィルタ層上にパッシベーションを設けてい
るが、各色間の段差および表面の粗さを低減しているだ
けで、これらを充分に小さくするには至っていない。し
たがって、このようなカラーフィルタを用いて特にセル
ギャップ（セル厚）が狭い（例えば数μｍ以下）液晶カ
ラーパネルを形成した場合、セル厚むらによる色づき、
液晶の配向不良、駆動マージンの減少などの問題が生
じ、表示品位を著しく低下させるという不都合があっ
た。
【０００８】本発明は、このような従来例における問題
点に鑑みてなされたもので、感光性樹脂中に着色材料を
分散させた着色樹脂を用い、フォトリソ工程によりパタ
ーニングしてなるカラーフィルタであって、セルギャッ
プの狭い液晶カラーパネルに用いる場合にもパネルの表
示品位を低下させないカラーフィルタおよびそのカラー
フィルタを製造する方法を提供することを目的とする。
点に鑑みてなされたもので、感光性樹脂中に着色材料を
分散させた着色樹脂を用い、フォトリソ工程によりパタ
ーニングしてなるカラーフィルタであって、セルギャッ
プの狭い液晶カラーパネルに用いる場合にもパネルの表
示品位を低下させないカラーフィルタおよびそのカラー
フィルタを製造する方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明のカラーフィルタは、感光性樹脂中に着色材
料を分散させた着色樹脂を用いてフォトリソ工程により
パターニングしてなるカラーフィルタ層と、該カラーフ
ィルタ層上に透明樹脂からなる被研磨層が形成されてお
り、かつ該被研磨層が研磨されていることを特徴とす
る。また、必要に応じて前記被研磨層表面を研磨した
後、さらにその上に透明樹脂からなる修復層を設けるこ
とを特徴とする。
め、本発明のカラーフィルタは、感光性樹脂中に着色材
料を分散させた着色樹脂を用いてフォトリソ工程により
パターニングしてなるカラーフィルタ層と、該カラーフ
ィルタ層上に透明樹脂からなる被研磨層が形成されてお
り、かつ該被研磨層が研磨されていることを特徴とす
る。また、必要に応じて前記被研磨層表面を研磨した
後、さらにその上に透明樹脂からなる修復層を設けるこ
とを特徴とする。
【００１０】
【作用】本発明のカラーフィルタは、感光性樹脂中に着
色材料を分散させた着色樹脂を用いてフォトリソ工程に
よりパターニングしてカラーフィルタ層を形成した後、
カラーフィルタ層上に透明樹脂で被研磨層を設けて研磨
し、各色間の段差および各色フィルタ表面の粗さを除去
して平坦化することにより製造される。したがって、こ
のカラーフィルタを用いて液晶カラーパネルを形成する
と、セル厚が狭い場合にもセル厚むらが極めて少なく、
色づき、液晶の配向不良、駆動マージンの減少などの極
めて少ない高品位の表示が可能となる。
色材料を分散させた着色樹脂を用いてフォトリソ工程に
よりパターニングしてカラーフィルタ層を形成した後、
カラーフィルタ層上に透明樹脂で被研磨層を設けて研磨
し、各色間の段差および各色フィルタ表面の粗さを除去
して平坦化することにより製造される。したがって、こ
のカラーフィルタを用いて液晶カラーパネルを形成する
と、セル厚が狭い場合にもセル厚むらが極めて少なく、
色づき、液晶の配向不良、駆動マージンの減少などの極
めて少ない高品位の表示が可能となる。
【００１１】なお、上記研磨により細かい傷が生じる。
修復層を設けてこの傷を修復することにより、さらにハ
イレベルな平坦化を実現することができる。
修復層を設けてこの傷を修復することにより、さらにハ
イレベルな平坦化を実現することができる。
【００１２】本発明者等の知見したところによれば、被
研磨層の材料としては、耐熱性、透明性、研磨特性等に
優れたポリアミド樹脂を用いることが好ましい。
研磨層の材料としては、耐熱性、透明性、研磨特性等に
優れたポリアミド樹脂を用いることが好ましい。
【００１３】すなわち、カラーフィルタ層の段差および
表面粗さを除去するためにカラーフィルタ層上に被研磨
層をアクリル系樹脂やポリイミド系樹脂で設けて研磨す
ると、アクリル系樹脂では軟らか過ぎて研磨による深い
傷（深さ約１μｍ位）が生じがちであった。また、ポリ
イミド系樹脂の場合には、硬度が高く、研磨レートが低
かった。そのため、研磨レートをアップさせるために研
磨材や研磨条件を変更したところ、膜にクラックなどが
入り、破壊されてしまうという欠点が生じた。そして、
これらの樹脂の場合、表面粗さの平滑化はそれなりにで
きるが、各色間の段差は完全には修復できないという問
題も有していた。
表面粗さを除去するためにカラーフィルタ層上に被研磨
層をアクリル系樹脂やポリイミド系樹脂で設けて研磨す
ると、アクリル系樹脂では軟らか過ぎて研磨による深い
傷（深さ約１μｍ位）が生じがちであった。また、ポリ
イミド系樹脂の場合には、硬度が高く、研磨レートが低
かった。そのため、研磨レートをアップさせるために研
磨材や研磨条件を変更したところ、膜にクラックなどが
入り、破壊されてしまうという欠点が生じた。そして、
これらの樹脂の場合、表面粗さの平滑化はそれなりにで
きるが、各色間の段差は完全には修復できないという問
題も有していた。
【００１４】以下、本発明を詳細に説明する。
【００１５】本発明のカラーフィルタの製造に使用する
着色樹脂のベース材料としては感光性樹脂が用いられ
る。感光性樹脂は特に制限する必要はないが、好ましく
は耐熱性および透明性に優れた感光性ポリアミド樹脂が
用いられる。
着色樹脂のベース材料としては感光性樹脂が用いられ
る。感光性樹脂は特に制限する必要はないが、好ましく
は耐熱性および透明性に優れた感光性ポリアミド樹脂が
用いられる。
【００１６】そして、この感光性樹脂中に着色材料、例
えば有機顔料を分散して感光性着色樹脂として用いる。
使用される有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ
系および縮合アゾ系等のアゾ着色材料、フタロシアニン
系着色材料、ならびにインジゴ系、アントラキノン系、
ペリレン系、ペリノン系、ジオキサジン系、キナクリト
ン系、その他金属錯体系を含む縮合多環系着色材料が用
いられる。
えば有機顔料を分散して感光性着色樹脂として用いる。
使用される有機顔料としては、溶性アゾ系、不溶性アゾ
系および縮合アゾ系等のアゾ着色材料、フタロシアニン
系着色材料、ならびにインジゴ系、アントラキノン系、
ペリレン系、ペリノン系、ジオキサジン系、キナクリト
ン系、その他金属錯体系を含む縮合多環系着色材料が用
いられる。
【００１７】次に、以上説明した感光性着色樹脂材を用
いてパターンを形成する具体的なプロセスを説明する。
いてパターンを形成する具体的なプロセスを説明する。
【００１８】図１（ａ）〜（ｈ）は、本発明に係るカラ
ーフィルタの製造方法の一例を示す説明図である。先
ず、図１（ａ）に示すように、基板１上に第１色目の感
光性着色樹脂膜２を形成する。成膜方法としては、スピ
ンコーティング法および印刷法などを例示することがで
きる。次に、プリベーク乾燥した後に、フォトマスク３
を用いてＵＶ光で露光する（図１（ｂ）参照）。この露
光により露光部は現像液に不溶な光硬化部分２ａとなる
（図１（ｃ）参照）。その後、現像液により未露光部を
溶解除去し、リンス処理を行ない、ポストベークして第
１色目のパターンを形成する（図１（ｄ）参照）。
ーフィルタの製造方法の一例を示す説明図である。先
ず、図１（ａ）に示すように、基板１上に第１色目の感
光性着色樹脂膜２を形成する。成膜方法としては、スピ
ンコーティング法および印刷法などを例示することがで
きる。次に、プリベーク乾燥した後に、フォトマスク３
を用いてＵＶ光で露光する（図１（ｂ）参照）。この露
光により露光部は現像液に不溶な光硬化部分２ａとなる
（図１（ｃ）参照）。その後、現像液により未露光部を
溶解除去し、リンス処理を行ない、ポストベークして第
１色目のパターンを形成する（図１（ｄ）参照）。
【００１９】同様にして第２色目および第３色目を形成
する（図１（ｅ）参照）。その後、被研磨層７をポリア
ミド樹脂で形成する（図１（ｆ）参照）。この被研磨層
は、比較的高い研磨レートが可能で、かつ傷が入りにく
いという研磨特性を有することが好ましい。このポリア
ミド樹脂は、他のアクリル系やポリイミド系の樹脂と比
較して、前記の研磨特性に優れている。この研磨特性の
ひとつの要因である膜の硬度においては、ヌープ硬さ
で、アクリルが２０、ポリイミドが４５であるのに対し
てポリアミドは３５である。
する（図１（ｅ）参照）。その後、被研磨層７をポリア
ミド樹脂で形成する（図１（ｆ）参照）。この被研磨層
は、比較的高い研磨レートが可能で、かつ傷が入りにく
いという研磨特性を有することが好ましい。このポリア
ミド樹脂は、他のアクリル系やポリイミド系の樹脂と比
較して、前記の研磨特性に優れている。この研磨特性の
ひとつの要因である膜の硬度においては、ヌープ硬さ
で、アクリルが２０、ポリイミドが４５であるのに対し
てポリアミドは３５である。
【００２０】次に、被研磨層７を研磨機により研磨す
る。研磨材料としては、酸化アルミニウムおよび酸化セ
リウムを例示することができる。この研磨によりカラー
フィルタ層の各色間の段差およびカラーフィルタ層の表
面粗さは除去される（図１（ｇ）参照）。しかし、この
研磨により深さ１０００Å位の浅い傷８（図１（ｇ）参
照）が研磨面に生じる。したがって、必要に応じて、さ
らにこの傷を無くする目的で、カラーフィルタ層の保護
層としての被研磨層７上に第２の保護層である修復層９
を設ける（図１（ｈ）参照）。これにより、傷８の影響
で修復層９の表面に現れる凹みの深さは５００Å位まで
小さくなり、よりハイレベルな平坦化が図られる。
る。研磨材料としては、酸化アルミニウムおよび酸化セ
リウムを例示することができる。この研磨によりカラー
フィルタ層の各色間の段差およびカラーフィルタ層の表
面粗さは除去される（図１（ｇ）参照）。しかし、この
研磨により深さ１０００Å位の浅い傷８（図１（ｇ）参
照）が研磨面に生じる。したがって、必要に応じて、さ
らにこの傷を無くする目的で、カラーフィルタ層の保護
層としての被研磨層７上に第２の保護層である修復層９
を設ける（図１（ｈ）参照）。これにより、傷８の影響
で修復層９の表面に現れる凹みの深さは５００Å位まで
小さくなり、よりハイレベルな平坦化が図られる。
【００２１】
【効果】本発明によれば、カラーフィルタ層上にポリア
ミド樹脂等の透明樹脂による研磨層を設けて研磨するこ
とにより、カラーフィルタ層の各色間の段差およびカラ
ーフィルタ層表面の粗さを平坦化することができる。そ
して、さらに修復層を設けることにより、約５００Åの
深さまで傷を修復することができる。よって、このカラ
ーフィルタを用いて液晶カラーパネルを形成した場合に
セルギャップむらや配向不良が防止でき、さらに駆動マ
ージンも大きくとれ、表示品位に優れたカラー液晶パネ
ルが得られる。
ミド樹脂等の透明樹脂による研磨層を設けて研磨するこ
とにより、カラーフィルタ層の各色間の段差およびカラ
ーフィルタ層表面の粗さを平坦化することができる。そ
して、さらに修復層を設けることにより、約５００Åの
深さまで傷を修復することができる。よって、このカラ
ーフィルタを用いて液晶カラーパネルを形成した場合に
セルギャップむらや配向不良が防止でき、さらに駆動マ
ージンも大きくとれ、表示品位に優れたカラー液晶パネ
ルが得られる。
【００２２】
【実施例】以下、実施例および比較例を示し本発明をさ
らに具体的に説明する。
らに具体的に説明する。
【００２３】実施例
図１（ａ）〜（ｈ）に示す方法によりカラーフィルタを
製造した。
製造した。
【００２４】先ず、図１（ａ）に示すように、ガラス基
板（厚さ１．１ｍｍ）１上に、オングストローマ印刷機
（大日本印刷社製品）を用いて、感光性赤色着色樹脂
（宇部興産社製ＰＡ１０１２Ｒ）を１．６μｍの厚さに
印刷し着色樹脂膜２を形成した。そして、ホットプレー
ト上で６５℃、９０℃および４０℃でそれぞれ９９秒ず
つ、計２９７秒間プリベークを行なった。その後、フォ
トマスク３とアライナ（タマラック社製品）を用いて、
ＵＶ光４００ｍＪ／ｃｍ2 で露光した（図１（ｂ）参
照）、この露光により、感光性赤色着色樹脂の露光部は
光硬化し、現像液に不溶となる（図１（ｃ）参照）。さ
らに、専用現像液（宇部興産社製ＰＡ−ＡＤ）に１２０
秒間浸漬した後、現像液中でＵＳ（超音波）を３０秒間
かけて未露光部分を溶解除去した。
板（厚さ１．１ｍｍ）１上に、オングストローマ印刷機
（大日本印刷社製品）を用いて、感光性赤色着色樹脂
（宇部興産社製ＰＡ１０１２Ｒ）を１．６μｍの厚さに
印刷し着色樹脂膜２を形成した。そして、ホットプレー
ト上で６５℃、９０℃および４０℃でそれぞれ９９秒ず
つ、計２９７秒間プリベークを行なった。その後、フォ
トマスク３とアライナ（タマラック社製品）を用いて、
ＵＶ光４００ｍＪ／ｃｍ2 で露光した（図１（ｂ）参
照）、この露光により、感光性赤色着色樹脂の露光部は
光硬化し、現像液に不溶となる（図１（ｃ）参照）。さ
らに、専用現像液（宇部興産社製ＰＡ−ＡＤ）に１２０
秒間浸漬した後、現像液中でＵＳ（超音波）を３０秒間
かけて未露光部分を溶解除去した。
【００２５】次に、専用リンス液（宇部興産社製ＲＰＡ
２）中に３０秒間浸漬して溶解残液を除去した後に、Ｉ
ＰＡ（イソプロピルアルコール）槽中に３０秒間浸漬し
てリンス液を置換した。そして、温水引上げ乾燥を行な
った後、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間ポス
トベークすることにより赤色パターンを得た（図１
（ｄ）参照）。以後同様にして、緑色着色樹脂（宇部興
産社製ＰＡ１０１２Ｇ）および青色着色樹脂（宇部興産
社製ＰＡ１０１２Ｂ）のパターンを順次形成した（図１
（ｅ）参照）。現像は、緑色着色樹脂を浸漬時間２４０
秒、ＵＳ処理時間２０秒の条件で行ない、青色着色樹脂
を浸漬時間１８０秒、ＵＳ処理時間３０秒の条件で行な
った。
２）中に３０秒間浸漬して溶解残液を除去した後に、Ｉ
ＰＡ（イソプロピルアルコール）槽中に３０秒間浸漬し
てリンス液を置換した。そして、温水引上げ乾燥を行な
った後、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間ポス
トベークすることにより赤色パターンを得た（図１
（ｄ）参照）。以後同様にして、緑色着色樹脂（宇部興
産社製ＰＡ１０１２Ｇ）および青色着色樹脂（宇部興産
社製ＰＡ１０１２Ｂ）のパターンを順次形成した（図１
（ｅ）参照）。現像は、緑色着色樹脂を浸漬時間２４０
秒、ＵＳ処理時間２０秒の条件で行ない、青色着色樹脂
を浸漬時間１８０秒、ＵＳ処理時間３０秒の条件で行な
った。
【００２６】以上３色を形成した後に、オングストロー
マ印刷機（大日本印刷社製品）を用いて、感光性ポリア
ミド樹脂（宇部興産社製ＰＡ−１０００Ｃ）を膜厚３．
０μｍに設け、ホットプレートにより９０℃で１８０秒
間プリベークし、ＵＶ光により１０００ｍＪ／ｃｍ2 の
エネルギーで全面露光した。そして、クリーンオーブン
中で２５０℃、３０分ポストベークして被研磨層（また
は第１の保護層）７を形成した（図１（ｆ）参照）。形
成された被研磨層７を粒径０．１μｍの研磨材（酸化ア
ルミニウム）と研磨用の布（クロスＳ４）を用い、研磨
機（ラップマスター社製の大型オスカー）により１５分
間研磨した（図１（ｇ）参照）。その後洗浄し、オング
ストローマ印刷機（大日本印刷社製品）により感光性ポ
リアミド樹脂（宇部興産社製ＰＡ−１０００Ｃ）を１．
５μｍの膜厚に設け、ホットプレートにより９０℃で１
８０秒間プリベークし、ＵＶ光により８００ｍＪ／ｃｍ
2のエネルギーで全面露光することによって、パッシベ
ーション（第２の保護層または修復層）９を形成した。
そして、最後にクリーンオーブン中で２５０℃、３０分
ポストベークし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色カラーフィルタを
得た（図１（ｈ）。こうして得られたカラーフィルタ
は、傷（凹み１０）の深さが約５００Åと非常に小さく
平坦性に優れていた。
マ印刷機（大日本印刷社製品）を用いて、感光性ポリア
ミド樹脂（宇部興産社製ＰＡ−１０００Ｃ）を膜厚３．
０μｍに設け、ホットプレートにより９０℃で１８０秒
間プリベークし、ＵＶ光により１０００ｍＪ／ｃｍ2 の
エネルギーで全面露光した。そして、クリーンオーブン
中で２５０℃、３０分ポストベークして被研磨層（また
は第１の保護層）７を形成した（図１（ｆ）参照）。形
成された被研磨層７を粒径０．１μｍの研磨材（酸化ア
ルミニウム）と研磨用の布（クロスＳ４）を用い、研磨
機（ラップマスター社製の大型オスカー）により１５分
間研磨した（図１（ｇ）参照）。その後洗浄し、オング
ストローマ印刷機（大日本印刷社製品）により感光性ポ
リアミド樹脂（宇部興産社製ＰＡ−１０００Ｃ）を１．
５μｍの膜厚に設け、ホットプレートにより９０℃で１
８０秒間プリベークし、ＵＶ光により８００ｍＪ／ｃｍ
2のエネルギーで全面露光することによって、パッシベ
ーション（第２の保護層または修復層）９を形成した。
そして、最後にクリーンオーブン中で２５０℃、３０分
ポストベークし、Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色カラーフィルタを
得た（図１（ｈ）。こうして得られたカラーフィルタ
は、傷（凹み１０）の深さが約５００Åと非常に小さく
平坦性に優れていた。
【００２７】比較例
被研磨層７および修復層８がアクリル系樹脂製である他
は、前記実施例と同様の構造のカラーフィルタを作成し
た。
は、前記実施例と同様の構造のカラーフィルタを作成し
た。
【００２８】すなわち、前記実施例と同様の方法で３色
カラーフィルタ層を形成した（図２（ａ））。その後、
アクリル系樹脂（富士ハント社製カラーモザイクシステ
ム）を３μｍの膜厚に、スピンコートにより塗布し、ホ
ットプレートにより１２０℃、１０分間ポストベークし
て被研磨層７を形成した（図２（ｂ））。形成した研磨
層７を粒径０．１μｍの研磨材（酸化アルミニウム）と
研磨用の布（クロスＳ４）を用い、研磨機（ラップマス
ター社製大型オスカー）により３分間研磨した（図２
（ｃ））。この研磨により、研磨層７に深さ１μｍ位の
傷および破損が生じた。次に、破損が生じなかったもの
について研磨層７と同一材料を１μｍの膜厚にスピンコ
ートで塗布しホットプレートにより９０℃で１８０秒間
プリベークして保護層９を形成した（図２（ｄ））。研
磨層７の傷８は、この保護層９を設けても充分には修復
されず、約５０００Åの凹み１０が残った。
カラーフィルタ層を形成した（図２（ａ））。その後、
アクリル系樹脂（富士ハント社製カラーモザイクシステ
ム）を３μｍの膜厚に、スピンコートにより塗布し、ホ
ットプレートにより１２０℃、１０分間ポストベークし
て被研磨層７を形成した（図２（ｂ））。形成した研磨
層７を粒径０．１μｍの研磨材（酸化アルミニウム）と
研磨用の布（クロスＳ４）を用い、研磨機（ラップマス
ター社製大型オスカー）により３分間研磨した（図２
（ｃ））。この研磨により、研磨層７に深さ１μｍ位の
傷および破損が生じた。次に、破損が生じなかったもの
について研磨層７と同一材料を１μｍの膜厚にスピンコ
ートで塗布しホットプレートにより９０℃で１８０秒間
プリベークして保護層９を形成した（図２（ｄ））。研
磨層７の傷８は、この保護層９を設けても充分には修復
されず、約５０００Åの凹み１０が残った。
【００２９】以上説明したように、カラーフィルタ層上
にポリアミド樹脂による研磨層を設けて研磨することに
より、カラーフィルタ層の各色間の段差およびカラーフ
ィルタ層表面の粗さを平坦化することができる。そし
て、さらに修復層を設けることにより、約５００Åの深
さまで傷を修復することができる。よって、このカラー
フィルタを用いて液晶カラーパネルを形成した場合にセ
ルギャップむらや配向不良が防止でき、さらに駆動マー
ジンも大きくとれ、表示品位に優れたカラー液晶パネル
が得られる。
にポリアミド樹脂による研磨層を設けて研磨することに
より、カラーフィルタ層の各色間の段差およびカラーフ
ィルタ層表面の粗さを平坦化することができる。そし
て、さらに修復層を設けることにより、約５００Åの深
さまで傷を修復することができる。よって、このカラー
フィルタを用いて液晶カラーパネルを形成した場合にセ
ルギャップむらや配向不良が防止でき、さらに駆動マー
ジンも大きくとれ、表示品位に優れたカラー液晶パネル
が得られる。
【図１】 本発明の一実施例に係るカラーフィルタの製
造方法を示す説明図である。
造方法を示す説明図である。
【図２】 研磨層にアクリル系樹脂を用いた場合の製造
方法の一例を示す説明図である。
方法の一例を示す説明図である。
１：基板、２：感光性着色樹脂膜、２ａ：光硬化部分、
３：フォトマスク、４：赤色着色樹脂層、５：緑色着色
樹脂層、６：青色着色樹脂層、７：研磨層、８：研磨に
より生じた傷、９：修復層、１０：修復後の凹み。
３：フォトマスク、４：赤色着色樹脂層、５：緑色着色
樹脂層、６：青色着色樹脂層、７：研磨層、８：研磨に
より生じた傷、９：修復層、１０：修復後の凹み。
Claims (5)
- 【請求項１】 着色材料を分散された複数色の着色樹脂
が１層に配列されたカラーフィルタ層と、該カラーフィ
ルタ層上に設けられ表面が研磨された透明樹脂層とを有
することを特徴とするカラーフィルタ。 - 【請求項２】 前記研磨された透明樹脂層上に、さら
に、研磨されていない第２の透明樹脂層を有することを
特徴とする請求項１記載のカラーフィルタ。 - 【請求項３】 基板上に、感光性樹脂中に着色材料を分
散させた複数色の着色樹脂をフォトリソ工程によりそれ
ぞれパターニングし、該着色樹脂層上に透明樹脂からな
る被研磨層を設け、かつ該被研磨層を研磨することを特
徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 【請求項４】 前記被研磨層がポリアミド樹脂からなる
ことを特徴とする請求項３記載の製造方法。 - 【請求項５】 前記被研磨層表面を研磨した後、さらに
その上に透明樹脂からなる修復層を設けることを特徴と
する請求項４記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20459191A JP2873753B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20459191A JP2873753B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527115A true JPH0527115A (ja) | 1993-02-05 |
| JP2873753B2 JP2873753B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=16493006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20459191A Expired - Fee Related JP2873753B2 (ja) | 1991-07-22 | 1991-07-22 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2873753B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014142630A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Fujifilm Corp | 偏光板保護フィルム、偏光板、並びに液晶表示装置 |
-
1991
- 1991-07-22 JP JP20459191A patent/JP2873753B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014142630A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-08-07 | Fujifilm Corp | 偏光板保護フィルム、偏光板、並びに液晶表示装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2873753B2 (ja) | 1999-03-24 |
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