JPH05215633A - 真空装置の監視装置及び監視方法 - Google Patents
真空装置の監視装置及び監視方法Info
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- JPH05215633A JPH05215633A JP2038092A JP2038092A JPH05215633A JP H05215633 A JPH05215633 A JP H05215633A JP 2038092 A JP2038092 A JP 2038092A JP 2038092 A JP2038092 A JP 2038092A JP H05215633 A JPH05215633 A JP H05215633A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空装置の監視装置及び監視方法に関し,真
空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時間と真空
圧力の関係をグラフ表示できる監視装置の提供を目的と
する。 【構成】 真空装置の真空計3に接続し真空圧力のデー
タを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを記憶装
置に保存する手段と,記憶装置からデータを読み出して
時間と真空圧力の関係をグラフ表示する手段とを有する
真空装置の監視装置により構成する。また,その真空装
置の監視装置を使用し,真空装置の排気動作の開始から
定期的に真空圧力のデータを採取し,所定時間後の真空
圧力が予め定めた真空圧力の値より低い時は真空装置の
使用を合と判定し,予め定めた真空圧力より高い時は真
空装置の使用を否と判定する真空装置の監視方法により
構成する。
空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時間と真空
圧力の関係をグラフ表示できる監視装置の提供を目的と
する。 【構成】 真空装置の真空計3に接続し真空圧力のデー
タを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを記憶装
置に保存する手段と,記憶装置からデータを読み出して
時間と真空圧力の関係をグラフ表示する手段とを有する
真空装置の監視装置により構成する。また,その真空装
置の監視装置を使用し,真空装置の排気動作の開始から
定期的に真空圧力のデータを採取し,所定時間後の真空
圧力が予め定めた真空圧力の値より低い時は真空装置の
使用を合と判定し,予め定めた真空圧力より高い時は真
空装置の使用を否と判定する真空装置の監視方法により
構成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は真空装置の監視装置及び
監視方法に関する。真空装置は半導体装置製造に関わる
成膜装置,エッチング装置,イオン注入装置等に不可欠
のものである。真空チャンバ内の脱ガスを防止するた
め,定期的に治具の交換や更新を行い,クリーニングを
実施する。また,真空装置に故障が発生すると修理を行
う。この時,真空装置は大気に開放される。
監視方法に関する。真空装置は半導体装置製造に関わる
成膜装置,エッチング装置,イオン注入装置等に不可欠
のものである。真空チャンバ内の脱ガスを防止するた
め,定期的に治具の交換や更新を行い,クリーニングを
実施する。また,真空装置に故障が発生すると修理を行
う。この時,真空装置は大気に開放される。
【0002】この後の真空装置の立ち上げには,真空排
気特性及びリーク(及び脱ガス)特性を確認して真空チ
ャンバの品質を保証することが必要である。また,プロ
セスガスを流して半導体を処理した後,真空に引き戻す
時も真空排気特性及びリーク(及び脱ガス)特性の確認
は必要である。
気特性及びリーク(及び脱ガス)特性を確認して真空チ
ャンバの品質を保証することが必要である。また,プロ
セスガスを流して半導体を処理した後,真空に引き戻す
時も真空排気特性及びリーク(及び脱ガス)特性の確認
は必要である。
【0003】
【従来の技術】図5は真空装置の概念図であり,1は真
空チャンバ,2aは熱電対, 2bはイオンゲージ,3はイオ
ンゲージコントローラ,7aは低真空ポンプ, 7bは高真空
ポンプ, 8aはメインバルブ, 8bはフォアラインバルブ,
8cはラフバルブを表す。
空チャンバ,2aは熱電対, 2bはイオンゲージ,3はイオ
ンゲージコントローラ,7aは低真空ポンプ, 7bは高真空
ポンプ, 8aはメインバルブ, 8bはフォアラインバルブ,
8cはラフバルブを表す。
【0004】熱電対2aは真空計である。熱電対の替わり
にピラニゲージを用いることもできる。イオンゲージ2b
とイオンゲージコントローラ3は真空計で,真空測定機
器として一つのユニットになっている。
にピラニゲージを用いることもできる。イオンゲージ2b
とイオンゲージコントローラ3は真空計で,真空測定機
器として一つのユニットになっている。
【0005】真空チャンバ1の排気の初期においてはメ
インバルブ8a, ラフバルブ8cを開いて, 10-3Torr程度
まで排気する。この時は真空計2a(熱電対またはピラニ
ゲージ)で測定する。
インバルブ8a, ラフバルブ8cを開いて, 10-3Torr程度
まで排気する。この時は真空計2a(熱電対またはピラニ
ゲージ)で測定する。
【0006】次いで,ラフバルブ8cを閉じ,フォアライ
ンバルブ8bを開き, 高真空ポンプ7bを起動して高真空排
気を行う。10-3Torrより低い真空圧力はイオンゲージ
2bで測定する。イオンゲージコントローラ3は真空圧力
に対してアナログ表示,ディジタル表示どちらにでも出
力信号も出すことができる。
ンバルブ8bを開き, 高真空ポンプ7bを起動して高真空排
気を行う。10-3Torrより低い真空圧力はイオンゲージ
2bで測定する。イオンゲージコントローラ3は真空圧力
に対してアナログ表示,ディジタル表示どちらにでも出
力信号も出すことができる。
【0007】真空チャンバの真空性能を保証するため
に,通常,使用する前に次の二つの確認は必ず行う。 真空排気特性を見る。即ち,メインバルブ8aを開いて
排気してから, 目標とする真空圧力に到達するまでの時
間を調べる。または,排気時間を設定して,その間に目
標とする真空圧力に到達するか否かを調べる。
に,通常,使用する前に次の二つの確認は必ず行う。 真空排気特性を見る。即ち,メインバルブ8aを開いて
排気してから, 目標とする真空圧力に到達するまでの時
間を調べる。または,排気時間を設定して,その間に目
標とする真空圧力に到達するか否かを調べる。
【0008】真空チャンバのリーク特性及び真空チャ
ンバ内の脱ガスの有無を調べる。即ち,目標とする真空
圧力に到達した後メインバルブ8aを閉じて真空チャンバ
をクランプ状態にし,時間とともに真空圧力の上昇する
のを調べ,所定時間後真空圧力が所定の値より低く保た
れているか否かを調べる。
ンバ内の脱ガスの有無を調べる。即ち,目標とする真空
圧力に到達した後メインバルブ8aを閉じて真空チャンバ
をクランプ状態にし,時間とともに真空圧力の上昇する
のを調べ,所定時間後真空圧力が所定の値より低く保た
れているか否かを調べる。
【0009】図6は真空装置の排気特性及びリーク特性
を示す図である。リーク特性は脱ガスによる変動分も含
んでいる。時間の対数を横軸(X軸)とし,真空圧力の
対数を縦軸(Y軸)で表示する。この表示にすると,カ
ーブの傾斜から真空装置の排気及びリークの傾向(トレ
ンド)が把握しやすい。排気特性は最大24時間まで測
定すればカーブの傾斜が把握でき,リーク特性は10分
程度の測定でカーブの傾斜が把握できることが多い。
を示す図である。リーク特性は脱ガスによる変動分も含
んでいる。時間の対数を横軸(X軸)とし,真空圧力の
対数を縦軸(Y軸)で表示する。この表示にすると,カ
ーブの傾斜から真空装置の排気及びリークの傾向(トレ
ンド)が把握しやすい。排気特性は最大24時間まで測
定すればカーブの傾斜が把握でき,リーク特性は10分
程度の測定でカーブの傾斜が把握できることが多い。
【0010】データの採取にあたっては,作業者が定期
的にイオンゲージコントローラに表示される真空圧力を
記録し,その結果から図6に示すような両対数グラフを
作成する。そして,例えば20時間排気後の真空圧力及
び10分間リーク後の真空圧力を予め定めた規格値(真
空装置の最初の立ち上げ時得られた値を参考にして設定
する)と比較し,さらにカーブの傾斜から真空装置の使
用の合否を判定する。
的にイオンゲージコントローラに表示される真空圧力を
記録し,その結果から図6に示すような両対数グラフを
作成する。そして,例えば20時間排気後の真空圧力及
び10分間リーク後の真空圧力を予め定めた規格値(真
空装置の最初の立ち上げ時得られた値を参考にして設定
する)と比較し,さらにカーブの傾斜から真空装置の使
用の合否を判定する。
【0011】通常,測定には排気特性では15時間以
上,リーク特性では10分程度を要するが,両対数グラ
フを作成して,規格値と比較しなければならないわずら
わしさがあり,さらに,経験的な判定力を必要とする。
上,リーク特性では10分程度を要するが,両対数グラ
フを作成して,規格値と比較しなければならないわずら
わしさがあり,さらに,経験的な判定力を必要とする。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の問題に
鑑み,真空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時
間と真空圧力の関係をグラフ表示できる監視装置の提供
を目的とする。
鑑み,真空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時
間と真空圧力の関係をグラフ表示できる監視装置の提供
を目的とする。
【0013】また,その監視装置を用いて,真空装置の
使用の合否を判定する方法の提供を目的とする。また,
真空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時間に対
する真空圧力の到達値を予め定めた値と比較して,真空
装置使用の合否を判定できる監視装置の提供を目的とす
る。
使用の合否を判定する方法の提供を目的とする。また,
真空チャンバ内の真空圧力を自動的に測定し,時間に対
する真空圧力の到達値を予め定めた値と比較して,真空
装置使用の合否を判定できる監視装置の提供を目的とす
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の監視装置
を説明するための図,図2は監視装置の画面表示構成を
示す図である。
を説明するための図,図2は監視装置の画面表示構成を
示す図である。
【0015】上記課題は,真空装置の真空計3に接続し
真空圧力のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力の
データを記憶装置に保存する手段と,該記憶装置から該
データを読み出して時間と真空圧力の関係をグラフに表
示する手段とを有する真空装置の監視装置によって解決
される。
真空圧力のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力の
データを記憶装置に保存する手段と,該記憶装置から該
データを読み出して時間と真空圧力の関係をグラフに表
示する手段とを有する真空装置の監視装置によって解決
される。
【0016】また,この真空装置の監視装置を使用し,
真空装置の排気の開始から定期的に真空圧力のデータを
採取し,所定時間後の真空圧力が予め定めた真空圧力よ
り低い時は該真空装置の使用を合と判定し,該予め定め
た真空圧力より高い時は該真空装置の使用を否と判定す
る真空装置の監視方法によって解決される。
真空装置の排気の開始から定期的に真空圧力のデータを
採取し,所定時間後の真空圧力が予め定めた真空圧力よ
り低い時は該真空装置の使用を合と判定し,該予め定め
た真空圧力より高い時は該真空装置の使用を否と判定す
る真空装置の監視方法によって解決される。
【0017】また,この真空装置の監視装置を使用し,
真空装置を真空圧力が予め定めた第1の真空圧力以下に
なるまで排気した後排気を止め,その後定期的に真空圧
力のデータを採取し,所定時間後の真空圧力が予め定め
た第2の真空圧力より低い時は該真空装置の使用を合と
判定し,該予め定めた第2の真空圧力より高い時は該真
空装置の使用を否と判定する真空装置の監視方法によっ
て解決される。
真空装置を真空圧力が予め定めた第1の真空圧力以下に
なるまで排気した後排気を止め,その後定期的に真空圧
力のデータを採取し,所定時間後の真空圧力が予め定め
た第2の真空圧力より低い時は該真空装置の使用を合と
判定し,該予め定めた第2の真空圧力より高い時は該真
空装置の使用を否と判定する真空装置の監視方法によっ
て解決される。
【0018】また,真空装置の真空計3に接続し真空圧
力のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータ
を記憶装置に保存する手段と,所定時間後の真空圧力を
予め定めた真空圧力と比較する手段と,比較した結果に
基づいて該真空装置の使用の合否を判定する手段とを有
する真空装置の監視装置によって解決される。
力のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータ
を記憶装置に保存する手段と,所定時間後の真空圧力を
予め定めた真空圧力と比較する手段と,比較した結果に
基づいて該真空装置の使用の合否を判定する手段とを有
する真空装置の監視装置によって解決される。
【0019】
【作用】本発明の真空装置の監視装置は,真空圧力のデ
ータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを記憶
装置に保存する手段と,時間と真空圧力の関係をグラフ
に表示する手段とを有しているから,この監視装置を用
いれば人手を介さずに自動的に真空装置の真空圧力の監
視が可能となる。
ータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを記憶
装置に保存する手段と,時間と真空圧力の関係をグラフ
に表示する手段とを有しているから,この監視装置を用
いれば人手を介さずに自動的に真空装置の真空圧力の監
視が可能となる。
【0020】また,この真空装置の監視装置を使用する
ことにより,真空装置の使用の合否を容易に判定するこ
とができる。また,本発明の真空装置の監視装置は,所
定時間後の真空圧力の値を予め定めた真空圧力の値と比
較する手段と,比較した結果に基づいて真空装置の使用
の合否を判定する手段とを有しているから,真空装置の
使用の合否を自動的に判定することができ,個人の経験
を必要とせず個人の測定誤差も避けることができる。
ことにより,真空装置の使用の合否を容易に判定するこ
とができる。また,本発明の真空装置の監視装置は,所
定時間後の真空圧力の値を予め定めた真空圧力の値と比
較する手段と,比較した結果に基づいて真空装置の使用
の合否を判定する手段とを有しているから,真空装置の
使用の合否を自動的に判定することができ,個人の経験
を必要とせず個人の測定誤差も避けることができる。
【0021】
【実施例】図1は本発明の監視装置を説明するための図
である。この監視装置は,真空装置の真空計(イオンゲ
ージコントローラ)3の真空圧力データを収集,保存,
解析するものであり,イオンゲージコントローラ3から
インターフェースとして例えばRS232Cボード(6a)
及びRS232Cケーブル(6b)を通じてパーソナルコン
ピュータ4に真空圧力データを収集し,さらに収集した
データを保存し,データ解析も行う。
である。この監視装置は,真空装置の真空計(イオンゲ
ージコントローラ)3の真空圧力データを収集,保存,
解析するものであり,イオンゲージコントローラ3から
インターフェースとして例えばRS232Cボード(6a)
及びRS232Cケーブル(6b)を通じてパーソナルコン
ピュータ4に真空圧力データを収集し,さらに収集した
データを保存し,データ解析も行う。
【0022】パーソナルコンピュータ4は例えばラップ
トップパソコンで,ディスプレイ4a, キーボード4b, 内
蔵ハードディスク(85Mb)4c, 内蔵フロッピーディ
スク(1.2 Mb)4d, さらに外部フロッピーディスク4e
を有している。このラップトップパソコンはプリンタケ
ーブル5aによりプリンタ5に接続される。
トップパソコンで,ディスプレイ4a, キーボード4b, 内
蔵ハードディスク(85Mb)4c, 内蔵フロッピーディ
スク(1.2 Mb)4d, さらに外部フロッピーディスク4e
を有している。このラップトップパソコンはプリンタケ
ーブル5aによりプリンタ5に接続される。
【0023】RS232Cの通信回線を拡張して,例え
ば50箇のイオンゲージコントローラに接続することに
より,50台の真空装置をマルチ監視できる。図2は監
視装置の画面表示構成を示す図である。
ば50箇のイオンゲージコントローラに接続することに
より,50台の真空装置をマルチ監視できる。図2は監
視装置の画面表示構成を示す図である。
【0024】ラップトップパソコンの電源をONにする
と,メニュー画面が現れる。メニューには,例えば,
「到達真空」,「圧力上昇」,「読出しグラフ」,「到
達真空グラフ」,「到達時間グラフ」,「データバック
アップ」がある。
と,メニュー画面が現れる。メニューには,例えば,
「到達真空」,「圧力上昇」,「読出しグラフ」,「到
達真空グラフ」,「到達時間グラフ」,「データバック
アップ」がある。
【0025】「到達真空」と「圧力上昇」は,真空装置
の真空圧力の時間的変化を測定する時使用するメニュー
である。「到達真空」は真空装置の排気特性を知るため
のデータを採取してそれを保存する時使用するもので,
「パラメータ入力」「測定」「データ保存」の指示にし
たがって操作を行う。
の真空圧力の時間的変化を測定する時使用するメニュー
である。「到達真空」は真空装置の排気特性を知るため
のデータを採取してそれを保存する時使用するもので,
「パラメータ入力」「測定」「データ保存」の指示にし
たがって操作を行う。
【0026】「圧力上昇」は真空装置のリーク特性(及
び脱ガス)を知るためのデータを採取してそれを保存す
る時使用するもので,「パラメータ入力」「測定」「デ
ータ保存」の指示にしたがって操作を行う。
び脱ガス)を知るためのデータを採取してそれを保存す
る時使用するもので,「パラメータ入力」「測定」「デ
ータ保存」の指示にしたがって操作を行う。
【0027】「到達真空グラフ」,「到達時間グラ
フ」,「読出グラフ」は,測定結果を解析する時使用す
るメニューである。「到達真空グラフ」は「到達真空」
あるいは「圧力上昇」のデータに基づいて特定の時間ま
での真空圧力の推移をグラフ表示しそれを保存する時使
用するもので,「ファイル番号入力」「グラフ表示」
「グラフの保存」の指示にしたがって操作を行う。
フ」,「読出グラフ」は,測定結果を解析する時使用す
るメニューである。「到達真空グラフ」は「到達真空」
あるいは「圧力上昇」のデータに基づいて特定の時間ま
での真空圧力の推移をグラフ表示しそれを保存する時使
用するもので,「ファイル番号入力」「グラフ表示」
「グラフの保存」の指示にしたがって操作を行う。
【0028】「到達時間グラフ」は「到達真空」あるい
は「圧力上昇」のデータに基づいて特定の真空圧力に達
するまでの真空圧力の時間的推移をグラフ表示しそれを
保存する時使用するもので,「ファイル番号入力」「グ
ラフ表示」「グラフの保存」の指示にしたがって操作を
行う。
は「圧力上昇」のデータに基づいて特定の真空圧力に達
するまでの真空圧力の時間的推移をグラフ表示しそれを
保存する時使用するもので,「ファイル番号入力」「グ
ラフ表示」「グラフの保存」の指示にしたがって操作を
行う。
【0029】「読出グラフ」は二つの「到達真空グラ
フ」あるいは「到達時間グラフ」を重ね合わせて,真空
装置の性能の時間的推移を見る時使用するもので,「フ
ァイル番号入力」「グラフ表示」「グラフの保存」の指
示にしたがって操作を行う。
フ」あるいは「到達時間グラフ」を重ね合わせて,真空
装置の性能の時間的推移を見る時使用するもので,「フ
ァイル番号入力」「グラフ表示」「グラフの保存」の指
示にしたがって操作を行う。
【0030】「データバックアップ」は記憶装置のデー
タを他の記憶装置に移す時使用するもので,「ファイル
番号入力」「フロッピーバックアップ」の指示にしたが
って操作を行う。
タを他の記憶装置に移す時使用するもので,「ファイル
番号入力」「フロッピーバックアップ」の指示にしたが
って操作を行う。
【0031】図3は測定のフローチャートの例で,「到
達真空」を例として示している。メニュー画面で「到達
真空」を選択し,次いで,「ゲージ番号入力」で測定し
ようとする真空装置のイオンゲージコントローラの番号
を入力する。次いで,ファイル名を定めて「ファイル名
入力」を行う。
達真空」を例として示している。メニュー画面で「到達
真空」を選択し,次いで,「ゲージ番号入力」で測定し
ようとする真空装置のイオンゲージコントローラの番号
を入力する。次いで,ファイル名を定めて「ファイル名
入力」を行う。
【0032】次いで,「測定時間入力」を行い,「時間
間隔入力」を行う。真空排気特性を見る場合,測定時間
は例えば24時間とし,時間間隔は例えば1分を単位と
して,1分,3分,5分という具合に設定する。
間隔入力」を行う。真空排気特性を見る場合,測定時間
は例えば24時間とし,時間間隔は例えば1分を単位と
して,1分,3分,5分という具合に設定する。
【0033】「スタートスイッチ?」YESとして測定
を開始する。スタートスイッチは真空装置のメインバル
ブ8aの開放と連動するようにする。24時間以上経過し
た時点で「時間終了?」YESとし,次いで,「データ
保存」を行う。
を開始する。スタートスイッチは真空装置のメインバル
ブ8aの開放と連動するようにする。24時間以上経過し
た時点で「時間終了?」YESとし,次いで,「データ
保存」を行う。
【0034】また,「時間終了?」NO,「ストップキ
ー?」YESとして「到達真空」に戻り,次の真空装置
のイオンゲージコントローラの番号をに入力し,上と同
様の操作を行うようにする。このようにして,次々に真
空装置を作動するようにすれば,複数の真空装置のマル
チ監視が可能となる。マルチ監視可能な真空装置の台数
は,例えば50台である。
ー?」YESとして「到達真空」に戻り,次の真空装置
のイオンゲージコントローラの番号をに入力し,上と同
様の操作を行うようにする。このようにして,次々に真
空装置を作動するようにすれば,複数の真空装置のマル
チ監視が可能となる。マルチ監視可能な真空装置の台数
は,例えば50台である。
【0035】真空装置のリーク特性(及び脱ガス特性)
を見る場合は「圧力上昇」を選択し,上述の「到達真
空」と同様のフローチャートにしたがって測定を行うこ
とができる。ただし,「測定時間入力」は20分程度に
指定し,スタートスイッチは真空装置のメインバルブ8a
の閉止と連動するようにする。
を見る場合は「圧力上昇」を選択し,上述の「到達真
空」と同様のフローチャートにしたがって測定を行うこ
とができる。ただし,「測定時間入力」は20分程度に
指定し,スタートスイッチは真空装置のメインバルブ8a
の閉止と連動するようにする。
【0036】図4は解析のフローチャートの例で,「到
達真空グラフ」を例として示している。メニュー画面で
「到達真空グラフ」を選択し,次いで,「ファイル読込
?」YESとして「ファイル画面」を出し,既に「到達
真空」の測定を終了している「ファイル番号入力」を行
う。「グラフ表示」では図6に示すように時間の対数を
横軸(X軸),真空圧力の対数を縦軸(Y軸)として排
気特性が表示される。
達真空グラフ」を例として示している。メニュー画面で
「到達真空グラフ」を選択し,次いで,「ファイル読込
?」YESとして「ファイル画面」を出し,既に「到達
真空」の測定を終了している「ファイル番号入力」を行
う。「グラフ表示」では図6に示すように時間の対数を
横軸(X軸),真空圧力の対数を縦軸(Y軸)として排
気特性が表示される。
【0037】「グラフ消去」NO,「ファイル保存」Y
ESとして「ファイル保存」を行い,「到達真空グラ
フ」に戻る。時間と真空圧力の値は一覧表に表示するこ
ともできる。しかし,両対数によるグラフ表示はひと目
でカーブの傾斜がわかる。さらに,真空装置の性能の経
年変化を検討する時有用で,メニュー「読出グラフ」を
選んで二つの排気特性を重ねて表示すれば,トレンド
(傾向)を把握しやすい。
ESとして「ファイル保存」を行い,「到達真空グラ
フ」に戻る。時間と真空圧力の値は一覧表に表示するこ
ともできる。しかし,両対数によるグラフ表示はひと目
でカーブの傾斜がわかる。さらに,真空装置の性能の経
年変化を検討する時有用で,メニュー「読出グラフ」を
選んで二つの排気特性を重ねて表示すれば,トレンド
(傾向)を把握しやすい。
【0038】また,メニュー画面で「到達真空グラフ」
を選択し,次いで,「ファイル読込?」で「圧力上昇」
のファイル番号を入力し,上と同様にして図6のリーク
特性に示したようなグラフを表示することもできる。
を選択し,次いで,「ファイル読込?」で「圧力上昇」
のファイル番号を入力し,上と同様にして図6のリーク
特性に示したようなグラフを表示することもできる。
【0039】排気特性を示す「到達真空」のデータを解
析して,例えば20時間後の真空圧力が予め定めた規格
値,例えば5×10-7Torr以下であれば,この真空装置
の使用は合と判定し,それ以外の時は否と判定する。
析して,例えば20時間後の真空圧力が予め定めた規格
値,例えば5×10-7Torr以下であれば,この真空装置
の使用は合と判定し,それ以外の時は否と判定する。
【0040】また,リーク特性(及び脱ガス特性)を示
す「圧力上昇」のデータを解析して,例えば10分後の
真空圧力が予め定めた規格値,例えば5×10-5Torr以
下であれば,この真空装置の使用は合と判定し,それ以
外の時は否と判定する。
す「圧力上昇」のデータを解析して,例えば10分後の
真空圧力が予め定めた規格値,例えば5×10-5Torr以
下であれば,この真空装置の使用は合と判定し,それ以
外の時は否と判定する。
【0041】排気特性とリーク特性(及び脱ガス特性)
の両者が合である時のみ真空装置の使用を合と認めるよ
うにする。排気特性を保証するための20時間後の真空
圧力の規格値あるいはリーク特性(及び脱ガス特性)を
保証するための10分後の真空圧力の規格値を,予めパ
ーソナルコンピュータ4に記憶させておき,実際の真空
装置の排気特性あるいはリーク特性(及び脱ガス特性)
を測定した後,パーソナルコンピュータ4で測定値と規
格値を比較し,真空装置の使用の合否を判定するように
してもよい。
の両者が合である時のみ真空装置の使用を合と認めるよ
うにする。排気特性を保証するための20時間後の真空
圧力の規格値あるいはリーク特性(及び脱ガス特性)を
保証するための10分後の真空圧力の規格値を,予めパ
ーソナルコンピュータ4に記憶させておき,実際の真空
装置の排気特性あるいはリーク特性(及び脱ガス特性)
を測定した後,パーソナルコンピュータ4で測定値と規
格値を比較し,真空装置の使用の合否を判定するように
してもよい。
【0042】さらに,否の場合はアラームを発生する
か,真空装置にインターロックをかけるようにしてもよ
い。
か,真空装置にインターロックをかけるようにしてもよ
い。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように,本発明によれば,
真空装置の排気特性やリーク特性の自動測定が可能とな
り,作業者の工数を削減することができる。また,作業
者による誤認や作業者間の測定誤差を避けることができ
る。
真空装置の排気特性やリーク特性の自動測定が可能とな
り,作業者の工数を削減することができる。また,作業
者による誤認や作業者間の測定誤差を避けることができ
る。
【0044】本発明によれば,規格値を基準として真空
装置を確実に監視することができ,真空装置の信頼性を
確保することができる。また,過去のデータと比較する
ことが簡単にできて,真空装置の経年変化のトレンドを
知ることができ,確実な管理が可能となる。
装置を確実に監視することができ,真空装置の信頼性を
確保することができる。また,過去のデータと比較する
ことが簡単にできて,真空装置の経年変化のトレンドを
知ることができ,確実な管理が可能となる。
【図1】本発明の監視装置を説明するための図である。
【図2】監視装置の画面表示構成を示す図である。
【図3】測定のフローチャートの例である。
【図4】解析のフローチャートの例である。
【図5】真空装置の概念図である。
【図6】真空装置の排気特性及びリーク特性を示す図で
ある。
ある。
1は真空チャンバ 2aは真空計であって熱電対 2bは真空計であってイオンゲージ 3は真空計であってイオンゲージコントローラ 4はパーソナルコンピュータ 4aはディスプレイ 4bはキーボード 4cは内蔵ハードディスク 4dは内蔵フロッピーディスク 4eは外部フロッピーディスク 5はプリンタ 5aはプリンタケーブル 6は通信ケーブルであってRS232Cケーブル 6aはインターェースであってRS232Cボード 7aは低真空ポンプ 7bは高真空ポンプ 8aはメインバルブ 8bはフォアラインバルブ 8cはラフバルブ
Claims (4)
- 【請求項1】 真空装置の真空計(3) に接続し真空圧力
のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを
記憶装置に保存する手段と,該記憶装置から該データを
読み出して時間と真空圧力の関係をグラフに表示する手
段とを有することを特徴とする真空装置の監視装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の真空装置の監視装置を使
用し,真空装置の排気の開始から定期的に真空圧力のデ
ータを採取し,所定時間後の真空圧力が予め定めた真空
圧力より低い時は該真空装置の使用を合と判定し,該予
め定めた真空圧力より高い時は該真空装置の使用を否と
判定することを特徴とする真空装置の監視方法。 - 【請求項3】 請求項1記載の真空装置の監視装置を使
用し,真空装置を真空圧力が予め定めた第1の真空圧力
以下になるまで排気した後排気を止め,その後定期的に
真空圧力のデータを採取し,所定時間後の真空圧力が予
め定めた第2の真空圧力より低い時は該真空装置の使用
を合と判定し,該予め定めた第2の真空圧力より高い時
は該真空装置の使用を否と判定することを特徴とする真
空装置の監視方法。 - 【請求項4】 真空装置の真空計(3) に接続し真空圧力
のデータを定期的に採取し,時間と真空圧力のデータを
記憶装置に保存する手段と,所定時間後の真空圧力を予
め定めた真空圧力と比較する手段と,比較した結果に基
づいて該真空装置の使用の合否を判定する手段とを有す
ることを特徴とする真空装置の監視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2038092A JPH05215633A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2038092A JPH05215633A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05215633A true JPH05215633A (ja) | 1993-08-24 |
Family
ID=12025439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2038092A Pending JPH05215633A (ja) | 1992-02-06 | 1992-02-06 | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05215633A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1992
- 1992-02-06 JP JP2038092A patent/JPH05215633A/ja active Pending
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