[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JPH05190397A - Method of manufacturing solid electrolytic capacitor - Google Patents

Method of manufacturing solid electrolytic capacitor

Info

Publication number
JPH05190397A
JPH05190397A JP2602292A JP2602292A JPH05190397A JP H05190397 A JPH05190397 A JP H05190397A JP 2602292 A JP2602292 A JP 2602292A JP 2602292 A JP2602292 A JP 2602292A JP H05190397 A JPH05190397 A JP H05190397A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
anode lead
masking tape
polymerization
solid electrolytic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2602292A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Satoru Okubo
哲 大久保
Wataru Tashiro
亘 田代
Manabu Kazuhara
学 数原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Elna Co Ltd
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Elna Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Glass Co Ltd, Elna Co Ltd filed Critical Asahi Glass Co Ltd
Priority to JP2602292A priority Critical patent/JPH05190397A/en
Publication of JPH05190397A publication Critical patent/JPH05190397A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Polyoxymethylene Polymers And Polymers With Carbon-To-Carbon Bonds (AREA)

Abstract

PURPOSE:To precisely mask a positive pole leader part when forming a solid electrolyte comprising a conductive high molecule matter. CONSTITUTION:After sealing parts 14, 14 comprising adhesive resin are provided in a positive pole leader part 11, a masking tape 15 is adhered to the sealing parts 14, 14 to mask the positive pole leader part 11. This masking tape 15 is separated in any process after forming a chemical oxide polymerized film.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は固体電解コンデンサの製
造方法に関し、さらに詳しく言えば、導電性高分子物質
からなる固体電解質を備えた固体電解コンデンサの製造
方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor, and more particularly to a method for manufacturing a solid electrolytic capacitor provided with a solid electrolyte made of a conductive polymer material.

【0002】[0002]

【従来の技術】固体電解コンデンサにおいては、その固
体電解質として導電性高分子物質(例えばポリピロー
ル)を用いることにより、二酸化マンガンなどを固体電
解質とする固体電解コンデンサに比べて等価直列抵抗お
よび漏れ電流をより小さくすることができる。
2. Description of the Related Art In a solid electrolytic capacitor, by using a conductive polymer substance (for example, polypyrrole) as its solid electrolyte, the equivalent series resistance and leakage current can be reduced as compared with a solid electrolytic capacitor using manganese dioxide as a solid electrolyte. Can be smaller.

【0003】この種の固体電解コンデンサを製造するに
際しては、図10および図11に例示されているよう
に、まず、誘電体酸化皮膜を形成できる金属板、例えば
帯状をなすアルミニウム箔1を用意し、同アルミニウム
箔1を櫛歯状に形成してその片側にコンデンサ素子箔と
なる複数の突起部2…を連設する。
When manufacturing a solid electrolytic capacitor of this type, as shown in FIGS. 10 and 11, first, a metal plate capable of forming a dielectric oxide film, for example, a strip-shaped aluminum foil 1 is prepared. , The same aluminum foil 1 is formed in a comb shape, and a plurality of protrusions 2, which will be the capacitor element foil, are continuously provided on one side thereof.

【0004】そして、この各突起部2の基部側に撥水性
でかつ電気絶縁性を有する樹脂コートもしくは樹脂テー
プよりなるマスキング層3を設けて、同突起部2と陽極
引出し部1aとを区分し、各突起部2に化学重合法によ
り化学酸化重合膜4を形成する。
A masking layer 3 made of a resin coat or resin tape having water repellency and electrical insulation is provided on the base side of each protrusion 2 to separate the protrusion 2 from the anode lead-out portion 1a. A chemical oxidation polymerization film 4 is formed on each protrusion 2 by a chemical polymerization method.

【0005】次ぎに、電解重合液中に浸漬して電解重合
法により同化学酸化重合膜4上に導電性高分子物質より
なる電解重合膜5を形成する。この場合、電解重合槽6
側が陰極とされ、化学酸化重合膜4には陽極側給電端子
7を接触させて重合電圧を印加する。
Next, by dipping in an electrolytic polymerization solution, an electrolytic polymerization film 5 made of a conductive polymer substance is formed on the chemically oxidized polymerization film 4 by an electrolytic polymerization method. In this case, electrolytic polymerization tank 6
The side serves as a cathode, and an anode side power supply terminal 7 is brought into contact with the chemically oxidized polymer film 4 to apply a polymerization voltage.

【0006】しかる後、図示されていないが、電解重合
膜5上に陰極引出し層としてのカーボン層および銀層を
順次形成する。このように、実際の製造工程において
は、1枚のアルミニウム箔から突起部2の数に相当す
る、例えば50個のコンデンサ素子を得るようにしてい
る。
Thereafter, although not shown, a carbon layer and a silver layer as a cathode extraction layer are sequentially formed on the electropolymerized film 5. Thus, in the actual manufacturing process, for example, 50 capacitor elements corresponding to the number of the protrusions 2 are obtained from one aluminum foil.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記従来例では、突起
部2の基部側にマスキング層3を設けて同突起部2と陽
極引出し部1aとを区分し、化学重合時にその化学重合
液が陽極引出し部1a側に這い上がらないようにしてい
るが、そのためには液面管理を厳しくするか、マスキン
グ層3の幅を広くする必要がある。
In the above-mentioned conventional example, a masking layer 3 is provided on the base side of the protrusion 2 to separate the protrusion 2 from the anode lead-out portion 1a, and the chemical polymerization liquid is used as an anode during chemical polymerization. Although it is arranged so as not to crawl up to the drawer portion 1a side, it is necessary to strictly control the liquid surface or to widen the width of the masking layer 3 for that purpose.

【0008】しかしながら、液面管理を厳しくすれば歩
留りが低下してしまう。これに対して、マスキング層3
の幅を広くすると、その分素子箔の有効面積が縮小さ
れ、静電容量が低下する。もっとも、所望とする静電容
量を維持するには突起部2自体を大きくすれば良いので
あるが、それに伴って製品サイズが大型となってしまう
という問題が生ずる。
However, if the liquid level is strictly controlled, the yield will be reduced. On the other hand, the masking layer 3
If the width of the element foil is widened, the effective area of the element foil is reduced accordingly, and the electrostatic capacitance is reduced. Of course, in order to maintain the desired electrostatic capacity, it is sufficient to make the projection 2 itself large, but this causes a problem that the product size becomes large.

【0009】また、図11に示されているように、電解
重合を行なうにあたって、陽極側給電端子7を化学酸化
重合膜4に接触させているが、その接触圧が強すぎる
と、陽極酸化皮膜に損傷を与えることになり、ショート
不良が多発する。
Further, as shown in FIG. 11, in carrying out electrolytic polymerization, the anode side power supply terminal 7 is brought into contact with the chemically-oxidized polymerized film 4, but if the contact pressure is too strong, the anodized film is formed. Will be damaged and short defects will occur frequently.

【0010】さらには、マスキング層3として樹脂テー
プを用いる場合には、密着性が十分でなく、その樹脂テ
ープの粘着剤と箔の間のわずかな隙間より、化学重合液
や電解重合液、あるいはカーボン、銀ペーストなどの陰
極引出し材が浸み込み、ショート不良が発生する。
Furthermore, when a resin tape is used as the masking layer 3, the adhesiveness is not sufficient, and a chemical polymerization liquid, an electrolytic polymerization liquid, or A cathode lead-out material such as carbon or silver paste will soak in, causing a short circuit defect.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の事情
に鑑みなされたもので、その構成上の特徴は、予めエッ
チング処理された所定幅の弁作用金属箔に誘電体酸化被
膜を形成し、同弁作用金属箔に帯状の陽極引出し部を残
して少なくともその片側にコンデンサ素子箔として用い
られる複数の突起部を櫛歯状に連設した後、上記陽極引
出し部にその長さ方向に沿って粘着性樹脂よりなる少な
くとも2本のシール部を所定の間隔をもって畝状に塗布
するとともに、上記陽極引出し部を覆うように同シール
部を介してマスキングテープを取り付け、しかる後化学
重合法により化学酸化重合膜を形成し、次いで電解重合
液中に浸漬して電解重合法により同化学酸化重合膜上に
導電性高分子物質よりなる電解重合膜を形成するように
したことにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional circumstances, and its structural feature is that a dielectric oxide film is formed on a valve-action metal foil of a predetermined width that has been etched in advance. After the strip-shaped anode lead-out portion is left on the valve action metal foil and a plurality of projections used as capacitor element foils are continuously provided on at least one side thereof in a comb-tooth shape, the anode lead-out portion is provided along the length direction thereof. At least two sealing parts made of adhesive resin are applied in a ridge shape at a predetermined interval, and a masking tape is attached through the sealing parts so as to cover the anode extraction part. The purpose is to form an oxidative polymerization film, and then immerse it in an electrolytic polymerization solution to form an electrolytic polymerization film made of a conductive polymer substance on the chemically oxidized polymerization film by the electrolytic polymerization method.

【0012】上記マスキングテープは最終的に除去され
るのであるが、その除去は化学酸化重合膜の形成後、電
解重合膜の形成後もしくは電解重合膜上に陰極引出し層
としてのカーボン層および銀層を形成した後のいずれで
あっても良い。
The masking tape is finally removed. The removal is carried out after the formation of the chemically-oxidized polymerized film, the formation of the electrolytically polymerized film, or the carbon layer and the silver layer as the cathode extraction layer on the electrolytically polymerized film. It may be after the formation.

【0013】また、本発明の製造方法においては、予め
エッチング処理された所定幅の弁作用金属箔に誘電体酸
化被膜を形成し、同弁作用金属箔に帯状の陽極引出し部
を残してその両側にコンデンサ素子箔として用いられる
複数の突起部を櫛歯状に連設した後、上記陽極引出し部
にその長さ方向に沿って粘着性樹脂よりなる少なくとも
2本のシール部を所定の間隔をもって畝状に塗布すると
ともに、上記陽極引出し部を覆うように同シール部を介
してマスキングテープを取り付け、しかる後化学重合法
により化学酸化重合膜を形成し、次いで電解重合液中に
浸漬して電解重合法により同化学酸化重合膜上に導電性
高分子物質よりなる電解重合膜を形成し、さらに同電解
重合膜上に陰極引出し層としてのカーボン層および銀層
を形成し、上記化学酸化重合膜形成後のいずれかの工程
において上記マスキングテープを除去し、上記陽極引出
し部の両側に形成されたコンデンサ素子同士を同陽極引
出し部を折り曲げることにより積層するようにしたこと
を特徴としている。
Further, in the manufacturing method of the present invention, a dielectric oxide film is formed on a valve-action metal foil having a predetermined width that has been etched in advance, and a strip-shaped anode lead-out portion is left on the valve-action metal foil on both sides thereof. After a plurality of protrusions used as capacitor element foils are continuously formed in a comb shape, at least two seal portions made of an adhesive resin are provided along the length direction of the anode lead portion at predetermined intervals. And apply a masking tape through the seal to cover the anode extraction part, and then form a chemically oxidized polymer film by a chemical polymerization method, and then dip it in an electrolytic polymerization solution to form an electrolytic polymer. An electrolytically polymerized film made of a conductive polymer material is formed on the chemically oxidized polymerized film by a conventional method, and a carbon layer and a silver layer as a cathode extraction layer are further formed on the electrolytically polymerized film. The masking tape is removed in any step after the formation of the oxide polymer film, and the capacitor elements formed on both sides of the anode lead portion are laminated by bending the anode lead portion. ..

【0014】化学重合は、弁作用金属箔、例えばアルミ
ニウムエッチド箔をまずモノマーと溶媒を含む水溶液に
浸漬し、同アルミニウムエッチド箔の細孔内にモノマー
を導入する。モノマー濃度は5〜50wt%、好ましく
は20〜40wt%で、溶媒の濃度は5〜50wt%、
好ましくは20〜40wt%が良い。
In the chemical polymerization, a valve metal foil such as an aluminum etched foil is first immersed in an aqueous solution containing a monomer and a solvent, and the monomer is introduced into the pores of the aluminum etched foil. The monomer concentration is 5 to 50 wt%, preferably 20 to 40 wt%, and the solvent concentration is 5 to 50 wt%,
20 to 40 wt% is preferable.

【0015】次いで、酸化剤と支持電解質を含む水溶液
に浸漬し、同アルミニウムエッチド箔表面および細孔内
のモノマーを導電性高分子に重合する。なお、モノマ
ー、酸化剤は浸漬以外に均一に付着可能な塗布または噴
霧などの方法でも良い。
Then, it is immersed in an aqueous solution containing an oxidizing agent and a supporting electrolyte to polymerize the monomers on the surface of the aluminum etched foil and in the pores into a conductive polymer. Incidentally, the monomer and the oxidant may be applied by a method such as coating or spraying, which allows the monomer and the oxidant to be uniformly attached, instead of dipping.

【0016】また、電解重合液はモノマーと支持電解質
と溶媒からなる。モノマーの濃度は0.01〜5.0m
ol/l、好ましくは0.05〜3.0mol/lが良
い。支持電解質の濃度は0.01〜5.0mol/l、
好ましくは0.05〜3.0mol/lが良い。
The electrolytic polymerization solution comprises a monomer, a supporting electrolyte and a solvent. Monomer concentration is 0.01-5.0m
ol / l, preferably 0.05 to 3.0 mol / l. The concentration of the supporting electrolyte is 0.01 to 5.0 mol / l,
It is preferably 0.05 to 3.0 mol / l.

【0017】モノマーとしては、ピロール、チォフェ
ン、フラン、アニリンなどの複素環式化合物が用いられ
る。
Heterocyclic compounds such as pyrrole, thiophen, furan and aniline are used as the monomer.

【0018】酸化剤としては、ヨウ素、臭素、ヨウ化臭
素などのハロゲン、五フッ化ヒ素、五フッ化アンチモ
ン、四フッ化ケイ素、五塩化リン、五フッ化リン、塩化
アルミニウム、塩化モリブデンなどの金属ハロゲン化
物、硫酸、硝酸、フルオロ硫酸、トリフルオロメタン硫
酸、クロロ硫酸などのプロトン酸、三酸化イオウ、二酸
化窒素などの含酸素化合物、過硫酸アンモニウムなどの
過硫酸塩、過酸化水素、過酢酸、ジフルオロスルホニル
パーオキサイドなどの過酸化物、硝酸第2鉄、硫酸第2
鉄などの鉄化合物、硝酸第2銅、硫酸銅などの銅化合物
などが用いられる。
Examples of the oxidizing agent include halogen such as iodine, bromine and bromine iodide, arsenic pentafluoride, antimony pentafluoride, silicon tetrafluoride, phosphorus pentachloride, phosphorus pentafluoride, aluminum chloride and molybdenum chloride. Proton acids such as metal halides, sulfuric acid, nitric acid, fluorosulfuric acid, trifluoromethane sulfuric acid and chlorosulfuric acid, sulfur trioxide, oxygen-containing compounds such as nitrogen dioxide, persulfates such as ammonium persulfate, hydrogen peroxide, peracetic acid, difluoro Peroxides such as sulfonyl peroxide, ferric nitrate, ferric sulfate
An iron compound such as iron, a cupric nitrate, a copper compound such as copper sulfate, or the like is used.

【0019】支持電解質には、P−トルエンスルホン
酸、ナフタレンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸などの
スルホン酸、安息香酸、アジピン酸、シュウ酸、フタル
酸などのカルボン酸、フェニルリン酸、ナフチルリン酸
などのリン酸、フェニルホウ酸などのホウ酸が単独でも
しくは混合して用いられる。
Examples of the supporting electrolyte include sulfonic acids such as P-toluenesulfonic acid, naphthalenesulfonic acid and benzenesulfonic acid, carboxylic acids such as benzoic acid, adipic acid, oxalic acid and phthalic acid, phenylphosphoric acid and naphthylphosphoric acid. Boric acid such as phosphoric acid or phenylboric acid may be used alone or in combination.

【0020】溶媒としては、水のほかエタノール、メタ
ノールなどのプロトン性溶媒と、アセトニトリル、プロ
ピレンカーボネイト、N,N−ジメチルホルムアミドな
どの非プロトン性溶媒が単独でもしくは混合して用いら
れる。溶媒の種類は支持電解質により適宜選択される。
As the solvent, in addition to water, a protic solvent such as ethanol or methanol and an aprotic solvent such as acetonitrile, propylene carbonate or N, N-dimethylformamide may be used alone or in combination. The type of solvent is appropriately selected depending on the supporting electrolyte.

【0021】用いられる弁作用金属箔としては、アルミ
ニウム、タンタル、チタンもしくはニオブなどの20〜
300μmの薄箔が好ましい。
The valve-action metal foil used is made of aluminum, tantalum, titanium, niobium, etc.
A thin foil of 300 μm is preferred.

【0022】シール部に用いられる粘着性樹脂として
は、硬化温度が100〜150℃程度のエポキシ系樹脂
やシリコン系樹脂が好ましい。
The adhesive resin used for the seal portion is preferably an epoxy resin or a silicone resin having a curing temperature of about 100 to 150 ° C.

【0023】マスキングテープは、基材としてポリエチ
レンテレフタレート、ポリプロピレン、シリコン系樹
脂、フッソ系樹脂、ポリエステル、ポリイミドなどの樹
脂フィルムに、発泡性粘着剤として、例えばゴム系、ア
クリル系、シリコン系の粘着剤に発泡剤を含有させたも
のを塗布したものが好ましい。
The masking tape is a resin film of polyethylene terephthalate, polypropylene, silicone resin, fluorine resin, polyester, polyimide or the like as a base material, and a foaming adhesive agent such as a rubber-based, acrylic-based or silicon-based adhesive agent. It is preferable to apply a product containing a foaming agent.

【0024】この発泡性粘着剤においては、加熱により
粘着剤中の発泡剤が発泡し、その粘着剤面に凹凸が生ず
る。このため、被着体との接着面積が著しく減少し、接
着力が殆ど消失する。
In this foamable pressure-sensitive adhesive, the foaming agent in the pressure-sensitive adhesive is foamed by heating, resulting in unevenness on the pressure-sensitive adhesive surface. Therefore, the adhesive area with the adherend is significantly reduced, and the adhesive force is almost lost.

【0025】その発泡剤としては、有機系のものとして
2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、アゾヘキサヒ
ドロベンゾニトリルなどのアゾ化合物、ベンゼンスルホ
ヒドラジド、ベンゼン−1,3−ジスルホヒドラジドな
どのスルホヒドラジド化合物、N,N’−ジニトロソペ
ンタメチレンテトラミン、N,N’−ジニトロソ−N,
N’−ジメチルテレフタルアミドなどのニトロソ化合
物、テレフタルアジド、P−tert−ブチルベンズア
ジドなどのアジド化合物を例示でき、また、無機系のも
のは炭酸アンモニウム、重炭酸ソードなどを例示でき
る。
As the foaming agent, azo compounds such as 2,2'-azobisisobutyronitrile and azohexahydrobenzonitrile, benzenesulfohydrazide, benzene-1,3-disulfohydrazide, etc. are used as the foaming agent. Sulfohydrazide compound, N, N'-dinitrosopentamethylenetetramine, N, N'-dinitroso-N,
Examples thereof include nitroso compounds such as N′-dimethyl terephthalamide, azide compounds such as terephthal azide and P-tert-butylbenzazide, and examples of inorganic compounds include ammonium carbonate and sodium bicarbonate.

【0026】また、マスキングテープは重合液に不溶
で、かつ、撥水性を有するのが好ましい。
The masking tape is preferably insoluble in the polymerization liquid and has water repellency.

【0027】シール部の幅としては、狭すぎると後工程
の重合液の侵入を防げず、また広すぎると素子寸法が大
きくなるため、0.2〜2mm、好ましくは0.5〜
1.5mmが良い。
If the width of the seal portion is too narrow, the invasion of the polymerization solution in the subsequent step cannot be prevented, and if it is too wide, the element size becomes large. Therefore, the width is 0.2 to 2 mm, preferably 0.5 to
1.5mm is good.

【0028】また、シール部の間隔については、狭すぎ
ると後工程でマスキングテープを除去して残る最終陽極
引出し部が小さくなり作業性が悪くなるため、1.5〜
25mm、好ましくは1.0〜10mmが良い。
If the gap between the seal portions is too small, the final anode lead-out portion remaining after removing the masking tape in the subsequent step becomes small and the workability deteriorates.
25 mm, preferably 1.0 to 10 mm.

【0029】なお電解重合を行なう場合、本発明におい
ては、給電端子をマスキングテープ上に形成されている
化学酸化重合膜に接触させるようにしている。
When electrolytic polymerization is carried out, in the present invention, the power supply terminal is brought into contact with the chemically oxidized polymer film formed on the masking tape.

【0030】[0030]

【作用】上記のように、陽極引出し部に粘着性樹脂より
なる少なくとも2本のシール部を形成するとともに、同
シール部を介してマスキングテープを貼着することによ
り、陽極引出し部が確実にマスクされる。
As described above, by forming at least two seal portions made of an adhesive resin in the anode lead-out portion and attaching the masking tape through the seal portions, the anode lead-out portion can be reliably masked. To be done.

【0031】したがって、化学重合時の液面管理が不要
となる。しかも、櫛歯状とした各突起部の全体が素子箔
として活用されるため、同サイズでありながらより高い
静電容量が得られる。このことは、製品サイズの小形化
にも寄与し得ることを意味している。
Therefore, it is not necessary to manage the liquid surface during the chemical polymerization. Moreover, since the entire comb tooth-shaped protrusions are used as the element foil, a higher electrostatic capacitance can be obtained even though they have the same size. This means that the product size can be reduced.

【0032】また、電解重合時、給電端子をマスキング
テープ上に形成されている化学酸化重合膜に接触させる
ことにより、陽極酸化皮膜などの損傷が防止され、ショ
ート不良が大幅に減少する。
Further, during the electrolytic polymerization, by bringing the power supply terminal into contact with the chemically-oxidized polymerized film formed on the masking tape, damage of the anodized film and the like is prevented, and short-circuit defects are greatly reduced.

【0033】さらには、陽極引出し部の両側に突起部を
櫛歯状に形成することにより、生産能力が倍になるばか
りか、合理的にコンデンサ素子を積層することができ
る。
Further, by forming the protrusions in the shape of comb teeth on both sides of the anode lead portion, not only the productivity is doubled, but also capacitor elements can be rationally stacked.

【0034】[0034]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照しなが
ら説明する。まず、アルミニウムエッチド箔(厚さ90
〜100μm)を33Vにて陽極酸化し、その表面に誘
電体酸化皮膜を形成した。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, aluminum etched foil (thickness 90
˜100 μm) was anodized at 33 V to form a dielectric oxide film on the surface.

【0035】そして、図1に示されているように、金型
などにてこのアルミニウムエッチド箔10のほぼ中央部
に所定幅の帯状をなす陽極引出し部11を残してその両
側にコンデンサ素子箔として用いられる複数の突起部1
2…、13…を櫛歯状に打抜いた。
Then, as shown in FIG. 1, a strip of the anode lead-out portion 11 having a predetermined width is left at a substantially central portion of the aluminum etched foil 10 by a mold or the like, and a capacitor element foil is provided on both sides thereof. Projections 1 used as
2 ..., 13 ... were punched out in a comb shape.

【0036】次ぎに、アルミニウムエッチド箔10全体
を化成液中に浸漬し、33Vにて再度陽極酸化を行な
い、その切り口部分を含めて誘電体酸化皮膜を形成し
た。この実施例において、各突起部12,13の大きさ
は、縦寸法H,横寸法Wともに3mmとした。
Next, the entire aluminum etched foil 10 was dipped in a chemical conversion solution and anodized again at 33 V to form a dielectric oxide film including the cut portion. In this embodiment, the size of each of the protrusions 12 and 13 is 3 mm in both the vertical dimension H and the horizontal dimension W.

【0037】しかる後、図2および図3に示されている
ように、陽極引出し部11の両面にスクリーン印刷によ
り粘着性樹脂(信越化学社製シリコン樹脂、硬化温度1
00℃)を同陽極引出し部11の長さ方向に沿って幅
0.6mm、間隔3mmで塗布し、2本のシール部1
4,14をそれぞれ形成した。
Thereafter, as shown in FIGS. 2 and 3, an adhesive resin (silicon resin manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., curing temperature 1) was applied to both surfaces of the anode extraction portion 11 by screen printing.
(00 ° C.) along the lengthwise direction of the anode lead-out portion 11 with a width of 0.6 mm and an interval of 3 mm, and two seal portions 1 are applied.
4 and 14 were formed respectively.

【0038】そして、陽極引出し部11をマスクするた
め、ポリエチレンテレフタレートよりなる幅5mmのマ
スキングテープ15をシール部14,14に跨がるよう
に貼着し、100℃,10分間加熱して同シール部14
を硬化させた。
Then, in order to mask the anode lead-out portion 11, a masking tape 15 made of polyethylene terephthalate and having a width of 5 mm is attached so as to straddle the seal portions 14 and 14 and heated at 100 ° C. for 10 minutes to seal the same. Part 14
Was cured.

【0039】このようにして、陽極引出し部11をマス
クした後、アルミニウムエッチド箔10全体を導電性高
分子単量体(ピロールモノマー)を含む溶液中に浸漬
し、細孔内に導電性高分子単量体を導入した。この実施
例では、重量比でピロールモノマー:エタノール:水=
3:3:1とした溶液中に5分間浸漬した。
After masking the anode lead-out portion 11 in this way, the entire aluminum etched foil 10 is dipped in a solution containing a conductive polymer monomer (pyrrole monomer), and the conductive high-pores are introduced into the pores. The molecular monomer was introduced. In this example, the weight ratio of pyrrole monomer: ethanol: water =
It was immersed for 5 minutes in a 3: 3: 1 solution.

【0040】次いで、酸化剤として過硫酸アンモニウム
を0.3mol/l、支持電解質としてテトラエチルア
ンモニウムパラトルエンスルホン酸を0.1mol/l
を含む溶液中に5分間浸漬して化学重合を行ない、図4
に示されているように、各突起部12,13およびマス
キングテープ15上に化学酸化重合膜16を形成した。
Then, 0.3 mol / l of ammonium persulfate as an oxidizing agent and 0.1 mol / l of tetraethylammonium paratoluenesulfonic acid as a supporting electrolyte.
4) It is immersed in a solution containing P for 5 minutes to carry out chemical polymerization,
As shown in FIG. 5, a chemical oxidation polymerization film 16 was formed on each of the protrusions 12 and 13 and the masking tape 15.

【0041】なお、化学酸化重合膜16の付着量が少な
い場合には、上記処理を数回繰り返せば良い。酸化剤、
支持電解質をともに上記以外のものを使用しても、同様
な導電性高分子物質からなる化学酸化重合膜16が得ら
れる。また、このようにして化学酸化重合膜16を形成
した後、全体を化成液中に浸漬して再化成を行なっても
良い。
When the adhered amount of the chemically oxidized polymer film 16 is small, the above process may be repeated several times. Oxidant,
Even if a supporting electrolyte other than those mentioned above is used, a chemically oxidized polymer film 16 made of a similar conductive polymer substance can be obtained. Further, after the chemical oxidation polymerization film 16 is formed in this way, the whole may be immersed in a chemical conversion solution for re-chemical conversion.

【0042】しかる後、導電性高分子単量体としてピロ
ールモノマーを0.2mol/l、支持電解質としてア
ルキルナフタレンスルホン酸を0.04mol/lを含
む水溶液中にアルミニウムエッチド箔10全体を浸漬
し、図5に示されているように、化学酸化重合膜16上
に電解重合膜17を形成した。
Thereafter, the entire aluminum etched foil 10 was immersed in an aqueous solution containing 0.2 mol / l of a pyrrole monomer as a conductive polymer monomer and 0.04 mol / l of an alkylnaphthalenesulfonic acid as a supporting electrolyte. As shown in FIG. 5, an electrolytic polymerization film 17 was formed on the chemically oxidized polymerization film 16.

【0043】すなわち、図6に示されているように、電
解重合槽18内にアルミニウムエッチド箔10をその全
体が電解重合液中に沈むように浸漬し、マスキングテー
プ15上に形成されている化学酸化重合膜16にステン
レスワイヤなどからなるプラス側の給電端子19を接触
させ、一方電解重合槽18側をマイナス側として、0.
1mA/平方ミリメートルの電流密度で電解重合を行な
い化学酸化重合膜16上に電解重合膜17を形成した。
なお、導電性高分子単量体および支持電解質を上記以外
のものとしても、同様の導電性高分子物質よりなる電解
重合膜17が得られる。
That is, as shown in FIG. 6, the aluminum etched foil 10 is soaked in the electrolytic polymerization tank 18 so that the whole is immersed in the electrolytic polymerization solution, and the chemicals formed on the masking tape 15 are formed. The positive side power supply terminal 19 made of a stainless wire or the like is brought into contact with the oxidation polymerization film 16, while the electrolytic polymerization tank 18 side is set to the negative side.
Electrolytic polymerization was performed at a current density of 1 mA / square millimeter to form an electrolytic polymerized film 17 on the chemically oxidized polymerized film 16.
An electropolymerized film 17 made of the same conductive polymer substance can be obtained even if the conductive polymer monomer and the supporting electrolyte are other than those mentioned above.

【0044】次ぎに、図7に示されているように、マス
キングテープ15をカッターなどにより剥離し、陽極引
出し部11を露出させた。なお、マスキングテープ15
を剥離するにあたっては、シール部14に直接付着して
いる部分はそのまま残した。
Next, as shown in FIG. 7, the masking tape 15 was peeled off by a cutter or the like to expose the anode lead-out portion 11. The masking tape 15
In peeling, the portion directly attached to the seal portion 14 was left as it was.

【0045】上記のようにマスキングテープ15を剥離
することにより、化学酸化重合膜16と電解重合膜17
は、突起部12側と突起部13側とに分離され、その各
電解重合膜17上に陰極引き出し層としてのカーボン層
20および銀層21をそれぞれ焼き付けた。
By peeling off the masking tape 15 as described above, the chemically oxidized polymer film 16 and the electrolytic polymer film 17 are removed.
Was separated into a protrusion 12 side and a protrusion 13 side, and a carbon layer 20 and a silver layer 21 as a cathode extraction layer were baked on each electropolymerized film 17 thereof.

【0046】このようにして、陽極引出し部11の両側
にコンデンサ素子C1とC2とがそれぞれ突起部の数だ
け形成される。
In this way, the capacitor elements C1 and C2 are formed on both sides of the anode lead-out portion 11 by the number of protrusions.

【0047】この時点で、各コンデンサ素子C1,C2
をそれに必要とする陽極リードを取り付けた状態で陽極
引出し部11から切り離しても良いが、この実施例で
は、図8に示されているように、陽極引出し部11を折
り曲げることにより、各コンデンサ素子C1,C2を積
層し、それらの銀層21,21間にリードフレームの陰
極端子板22を配置して導電性接着剤にて取り付けた。
At this point, each capacitor element C1, C2
May be separated from the anode lead-out portion 11 with the required anode lead attached, but in this embodiment, by bending the anode lead-out portion 11 as shown in FIG. C1 and C2 were laminated, and the cathode terminal plate 22 of the lead frame was placed between the silver layers 21 and 21 and attached with a conductive adhesive.

【0048】また、陽極引出し部11には同リードフレ
ームの陽極端子板23を溶接した。この場合、陽極引出
し部11にはその一部を切起してなる溶接代11aを設
け、この溶接代11aにリードフレームの陽極端子板2
3を溶接するようにした。
The anode lead-out portion 11 was welded to the anode terminal plate 23 of the same lead frame. In this case, the anode lead-out portion 11 is provided with a welding margin 11a formed by cutting and raising a part thereof, and the anode margin 2a of the lead frame is provided on the welding margin 11a.
3 was welded.

【0049】なお、この実施例では陰極端子板22をコ
ンデンサ素子C1,C2の間に挿入しているが、両素子
C1,C2を積層し、そのいずれか一方の銀層21の外
面側に陰極端子板22を添着させるようにしても良い。
In this embodiment, the cathode terminal plate 22 is inserted between the capacitor elements C1 and C2, but both elements C1 and C2 are laminated, and the cathode is provided on the outer surface side of either one of the silver layers 21. The terminal board 22 may be attached.

【0050】そして、各コンデンサ素子C1,C2の周
囲に樹脂モールド法にて樹脂外装体を形成し、エージン
グを行なって最終製品としての固体電解コンデンサを得
た。
Then, a resin exterior body was formed around each of the capacitor elements C1 and C2 by a resin molding method and aged to obtain a solid electrolytic capacitor as a final product.

【0051】これを実施例1とした場合、その歩留は9
6%、積層時の組立て不良は3%であった。ちなみに、
先に説明の従来例の歩留は71%で、積層時の組立て不
良は10%に達していた。その原因は、個々に切り離さ
れたコンデンサ素子を積層する際の位置ずれにある。ま
た、同従来例の生産能力を100とすると、この実施例
1の生産能力は200という数値を示す。
When this is set as Example 1, the yield is 9
6%, and assembly failure during lamination was 3%. By the way,
The yield of the conventional example described above was 71%, and assembly failure at the time of stacking reached 10%. The cause is the positional deviation when stacking the individually separated capacitor elements. Further, assuming that the production capacity of the conventional example is 100, the production capacity of the first embodiment shows a numerical value of 200.

【0052】上記実施例1では陽極引出し部11の両側
に突起部を櫛歯状に設けているが、本発明は図9に例示
されているように、陽極引出し部11の片側に突起部1
2を櫛歯状に形成する場合についても適用可能である。
In the first embodiment described above, the protrusions are provided on both sides of the anode lead-out portion 11 in a comb-like shape, but in the present invention, as shown in FIG. 9, the protrusion 1 is provided on one side of the anode lead-out portion 11.
It is also applicable to the case where 2 is formed in a comb shape.

【0053】これを実施例2とすると、この場合におい
ても陽極引出し部11の両面に粘着性樹脂よりなるシー
ル部14,14を設け、そのシール部14,14に跨が
るようにマスキングテープ15を貼着して、陽極引出し
部11をマスクする。
In the case of Example 2, also in this case, the sealing portions 14 and 14 made of the adhesive resin are provided on both surfaces of the anode lead-out portion 11, and the masking tape 15 is provided so as to extend over the sealing portions 14 and 14. And the anode lead-out portion 11 is masked.

【0054】他の工程は上記実施例1と同様であり、こ
の実施例2の歩留りも96%であった。参考までに、実
施例1,2と従来例の比較結果を表1に示す。
The other steps were the same as in Example 1 above, and the yield of Example 2 was 96%. For reference, Table 1 shows the results of comparison between Examples 1 and 2 and the conventional example.

【0055】[0055]

【表1】 なお、上記実施例1では電解重合膜17を形成した後、
マスキングテープ15を剥がしているが、化学酸化重合
膜16の形成後、あるいは電解重合膜17上に陰極引出
し層としてのカーボン層20および銀層21を形成した
後にマスキングテープ15を剥がしても良い。
[Table 1] In Example 1, after forming the electrolytic polymerized film 17,
Although the masking tape 15 is peeled off, the masking tape 15 may be peeled off after the chemical oxidation polymerization film 16 is formed or after the carbon layer 20 and the silver layer 21 as the cathode extraction layer are formed on the electrolytic polymerization film 17.

【0056】もっとも、化学酸化重合膜16を形成した
後にマスキングテープ15を剥離する場合には、電解重
合は各片側の突起部12,13について別々に行なうこ
とになり、またその際、給電端子19はシール部14上
に残されたマスキングテープ15上の化学酸化重合膜1
6に接触させることになる。
However, when the masking tape 15 is peeled off after the chemically oxidized polymer film 16 is formed, electrolytic polymerization is carried out separately for the protrusions 12 and 13 on each side, and at that time, the power supply terminal 19 is also used. Is the chemically oxidized polymer film 1 on the masking tape 15 left on the seal portion 14.
6 will be contacted.

【0057】また、シール部14を2本設けた例につい
て説明されているが、それは例えば3本でも良く、要す
るに任意の複数本であっても良いことを理解されたい。
Further, although the example in which the two seal portions 14 are provided has been described, it should be understood that the number may be, for example, three, that is, any plurality of seal portions may be provided.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
陽極引出し部に粘着性樹脂よりなる少なくとも2本のシ
ール部を形成するとともに、同シール部を介してマスキ
ングテープを貼着して、陽極引出し部を確実にマスクす
るようにしたことにより、化学重合時の液面管理が不要
となり、製品歩留が大幅に向上する。
As described above, according to the present invention,
At least two seal parts made of an adhesive resin are formed on the anode lead-out part, and a masking tape is attached through the seal parts so that the anode lead-out part can be reliably masked. Liquid level management at the time becomes unnecessary, and the product yield is greatly improved.

【0059】しかも、櫛歯状とした各突起部の全体が素
子箔として活用されるため、同サイズでありながらより
高い静電容量が得られる。
Moreover, since the entire comb-teeth-shaped protrusions are utilized as the element foil, a higher electrostatic capacitance can be obtained even with the same size.

【0060】また、電解重合時、給電端子をマスキング
テープ上に形成されている化学酸化重合膜に接触させる
ようにしたことにより、陽極酸化皮膜などに直接的に外
力が加わることがなく、したがってショート不良の発生
をも防止することができる、という効果が奏される。
In addition, since the power supply terminal is brought into contact with the chemically oxidized polymerized film formed on the masking tape during electrolytic polymerization, external force is not directly applied to the anodic oxide film and the like, and therefore short circuit occurs. There is an effect that it is possible to prevent the occurrence of defects.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に関するもので、予めエッ
チング処理された所定幅の帯状をなす弁作用金属箔に誘
電体酸化被膜を形成した後、陽極引出し部の両側にコン
デンサ素子箔として用いられる複数の突起部を櫛歯状に
形成した状態を示す正面図。
FIG. 1 relates to a first embodiment of the present invention, in which a dielectric oxide film is formed on a belt-shaped valve action metal foil which is pre-etched and has a predetermined width, and then a capacitor element foil is formed on both sides of an anode lead portion. FIG. 3 is a front view showing a state in which a plurality of projections used are formed in a comb shape.

【図2】図1の陽極引出し部にマスキングテープを取り
付けた状態を示す断面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which a masking tape is attached to the anode extraction portion of FIG.

【図3】図1の陽極引出し部にマスキングテープを取り
付けた状態を示す斜視図。
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a masking tape is attached to the anode extraction portion of FIG.

【図4】化学酸化重合膜を形成した状態を示す断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a chemically oxidized polymer film is formed.

【図5】電解重合膜を形成した状態を示す断面図。FIG. 5 is a sectional view showing a state in which an electrolytically polymerized film is formed.

【図6】電解重合膜の形成工程を説明するための説明
図。
FIG. 6 is an explanatory view for explaining a process of forming an electrolytic polymerization film.

【図7】マスキングテープを剥離するとともに陰極引出
し層を形成し、陽極引出し部の両側にコンデンサ素子を
形成状態を示した断面図。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a state in which a masking tape is peeled off, a cathode extraction layer is formed, and capacitor elements are formed on both sides of an anode extraction part.

【図8】陽極引出し部を折曲げて、各コンデンサ素子を
積層した状態を示した側面図。
FIG. 8 is a side view showing a state in which each capacitor element is laminated by bending an anode lead portion.

【図9】本発明の第2実施例を説明するための説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a second embodiment of the present invention.

【図10】従来例を説明するための説明図。FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining a conventional example.

【図11】従来例において、電解重合膜を形成する工程
を説明する説明図。
FIG. 11 is an explanatory diagram illustrating a process of forming an electrolytically polymerized film in a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 アルミニウムエッチド箔 11 陽極引出し部 12,13 突起部 14 シール部 15 マスキングテープ 16 化学酸化重合膜 17 電解重合膜 20 カーボン層 21 銀層 22 陰極端子板 23 陽極端子板 10 Aluminum Etched Foil 11 Anode Extraction Part 12, 13 Projection Part 14 Seal Part 15 Masking Tape 16 Chemical Oxidation Polymerization Film 17 Electrolytic Polymerization Film 20 Carbon Layer 21 Silver Layer 22 Cathode Terminal Plate 23 Anode Terminal Plate

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 数原 学 神奈川県藤沢市辻堂新町2丁目2番1号 エルナー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Manabu Kanahara 2-2-1 Tsujido Shinmachi, Fujisawa City, Kanagawa Elner Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 予めエッチング処理された所定幅の弁作
用金属箔に誘電体酸化被膜を形成し、同弁作用金属箔に
帯状の陽極引出し部を残して少なくともその片側にコン
デンサ素子箔として用いられる複数の突起部を櫛歯状に
連設した後、上記陽極引出し部にその長さ方向に沿って
粘着性樹脂よりなる少なくとも2本のシール部を所定の
間隔をもって畝状に塗布するとともに、上記陽極引出し
部を覆うように同シール部を介してマスキングテープを
取り付け、しかる後化学重合法により化学酸化重合膜を
形成し、次いで電解重合液中に浸漬して電解重合法によ
り同化学酸化重合膜上に導電性高分子物質よりなる電解
重合膜を形成するようにしたことを特徴とする固体電解
コンデンサの製造方法。
1. A dielectric oxide film is formed on a valve-action metal foil having a predetermined width, which has been etched in advance, and is used as a capacitor element foil on at least one side of the valve-action metal foil, leaving a strip-shaped anode lead-out portion. After arranging a plurality of protrusions in a comb-teeth shape, at least two seal portions made of an adhesive resin are applied to the anode lead-out portion along its length in a ridge-like shape at a predetermined interval. A masking tape is attached so as to cover the anode lead-out part through the same seal part, and then a chemically oxidized polymer film is formed by the chemical polymerization method, then immersed in an electrolytic polymerization solution and then the same chemically oxidized polymer film is formed by the electrolytic polymerization method. A method for producing a solid electrolytic capacitor, characterized in that an electrolytically polymerized film made of a conductive polymer substance is formed on the upper surface.
【請求項2】 上記化学酸化重合膜を形成した後、上記
マスキングテープを除去することを特徴とする請求項1
に記載の固体電解コンデンサの製造方法。
2. The masking tape is removed after the chemically oxidized polymer film is formed.
A method for manufacturing the solid electrolytic capacitor as described in.
【請求項3】 上記電解重合膜を形成した後、上記マス
キングテープを除去することを特徴とする請求項1に記
載の固体電解コンデンサの製造方法。
3. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the masking tape is removed after forming the electrolytic polymerized film.
【請求項4】上記電解重合膜上にカーボン層および銀層
を形成した後、上記マスキングテープを除去することを
特徴とする請求項1に記載の固体電解コンデンサの製造
方法。
4. The method for producing a solid electrolytic capacitor according to claim 1, wherein the masking tape is removed after forming a carbon layer and a silver layer on the electrolytic polymerized film.
【請求項5】 予めエッチング処理された所定幅の弁作
用金属箔に誘電体酸化被膜を形成し、同弁作用金属箔に
帯状の陽極引出し部を残してその両側にコンデンサ素子
箔として用いられる複数の突起部を櫛歯状に連設した
後、上記陽極引出し部にその長さ方向に沿って粘着性樹
脂よりなる少なくとも2本のシール部を所定の間隔をも
って畝状に塗布するとともに、上記陽極引出し部を覆う
ように同シール部を介してマスキングテープを取り付
け、しかる後化学重合法により化学酸化重合膜を形成
し、次いで電解重合液中に浸漬して電解重合法により同
化学酸化重合膜上に導電性高分子物質よりなる電解重合
膜を形成し、さらに同電解重合膜上に陰極引出し層とし
てのカーボン層および銀層を形成し、上記化学酸化重合
膜形成後のいずれかの工程において上記マスキングテー
プを除去し、上記陽極引出し部の両側に形成されたコン
デンサ素子同士を同陽極引出し部を折り曲げることによ
り積層するようにしたことを特徴とする固体電解コンデ
ンサの製造方法。
5. A plurality of pieces which are used as capacitor element foils on both sides of which a dielectric oxide film is formed on a valve-action metal foil having a predetermined width that has been etched in advance, and strip-shaped anode lead-out portions are left on the valve-action metal foil. After the protrusions are continuously formed in a comb shape, at least two seal portions made of an adhesive resin are applied in a ridge shape along the length direction of the anode lead portion at a predetermined interval, and the anode lead portion A masking tape is attached to cover the drawer through the seal, and then a chemically oxidized polymer film is formed by the chemical polymerization method, and then immersed in an electrolytic polymerization solution and then electropolymerized on the chemically oxidized polymer film. To form an electropolymerized film made of a conductive polymer substance, further forming a carbon layer and a silver layer as a cathode extraction layer on the electropolymerized film, any of the steps after the chemical oxidation polymerized film formation 2. The method for producing a solid electrolytic capacitor, wherein the masking tape is removed, and the capacitor elements formed on both sides of the anode lead-out portion are laminated by bending the anode lead-out portion.
【請求項6】 上記電解重合時においては、上記マスキ
ングテープ上に形成されている化学酸化重合膜に給電端
子を接触させて、電解重合を行なうことを特徴とする請
求項1または5に記載の固体電解コンデンサの製造方
法。
6. The electrolytic polymerization is carried out by bringing the power supply terminal into contact with the chemical oxidation polymerization film formed on the masking tape during the electrolytic polymerization. Manufacturing method of solid electrolytic capacitor.
JP2602292A 1992-01-17 1992-01-17 Method of manufacturing solid electrolytic capacitor Withdrawn JPH05190397A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2602292A JPH05190397A (en) 1992-01-17 1992-01-17 Method of manufacturing solid electrolytic capacitor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2602292A JPH05190397A (en) 1992-01-17 1992-01-17 Method of manufacturing solid electrolytic capacitor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05190397A true JPH05190397A (en) 1993-07-30

Family

ID=12182082

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2602292A Withdrawn JPH05190397A (en) 1992-01-17 1992-01-17 Method of manufacturing solid electrolytic capacitor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05190397A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007184554A (en) * 2005-12-06 2007-07-19 Canon Inc Capacitor and circuit device employing it
US7906803B2 (en) 2005-12-06 2011-03-15 Canon Kabushiki Kaisha Nano-wire capacitor and circuit device therewith

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007184554A (en) * 2005-12-06 2007-07-19 Canon Inc Capacitor and circuit device employing it
US7906803B2 (en) 2005-12-06 2011-03-15 Canon Kabushiki Kaisha Nano-wire capacitor and circuit device therewith

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4943892A (en) Solid electrolytic capacitor and method for manufacturing the same
US6999303B2 (en) Solid electrolytic capacitor and process for its fabrication
JPH0474853B2 (en)
JPH0458165B2 (en)
JPH05166681A (en) Manufacture of solid electrolytic capacitor
JP3245567B2 (en) Method for manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH05190397A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH05190398A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH0645206A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JP3314480B2 (en) Solid electrolytic capacitors
JPH0362298B2 (en)
JPH05190395A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH05283304A (en) Manufacture of solid-state electrolytic capacitor
JPH05190396A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH05190394A (en) Method of manufacturing solid electrolytic capacitor
JP4802640B2 (en) Manufacturing method of solid electrolytic capacitor
JPH02238613A (en) Solid electrolytic capacitor
JPH06112094A (en) Manufacture of solid-state electrolytic capacitor
JPH05304058A (en) Manufacture of solid-state electrolytic capacitor
JPH0276211A (en) Solid electrolytic capacitor and manufacture thereof
JP4204533B2 (en) Electrolytic capacitor manufacturing method
JP3454436B2 (en) Method for manufacturing solid electrolytic capacitor
JPH05283289A (en) Manufacture of solid electrolytic capacitor
JP2870805B2 (en) Solid electrolytic capacitor and method of manufacturing the same
JPH0423411B2 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990408