JPH05197141A - 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 - Google Patents
感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法Info
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- JPH05197141A JPH05197141A JP4009802A JP980292A JPH05197141A JP H05197141 A JPH05197141 A JP H05197141A JP 4009802 A JP4009802 A JP 4009802A JP 980292 A JP980292 A JP 980292A JP H05197141 A JPH05197141 A JP H05197141A
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン酸，
アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビ
ニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸，ビ
ニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸，ビ
ニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸，
ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸
及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単
位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマと
して、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いる感
光性組成物。 【効果】感度を増すことができる。
アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビ
ニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸，ビ
ニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸，ビ
ニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホン酸，
ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカルボン酸
及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモノマ単
位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポリマと
して、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用いる感
光性組成物。 【効果】感度を増すことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性組成物及びそれ
を用いたパターン形成方法並びにカラーブラウン管等の
表示装置の蛍光面形成方法に関する。
を用いたパターン形成方法並びにカラーブラウン管等の
表示装置の蛍光面形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】水溶性ポリマと重クロム酸アルカリ塩か
らなる光硬化型ホトレジストは古くから知られており、
写真平版，写真凸版，ホトエッチング，スクリーン印刷
製版表示装置の蛍光面の製作等に使用されている。この
ホトレジストについては、例えば、永松、乾著；「感光
性高分子」第８９頁〜第９６（１９７７）講談社等に記
載されている。
らなる光硬化型ホトレジストは古くから知られており、
写真平版，写真凸版，ホトエッチング，スクリーン印刷
製版表示装置の蛍光面の製作等に使用されている。この
ホトレジストについては、例えば、永松、乾著；「感光
性高分子」第８９頁〜第９６（１９７７）講談社等に記
載されている。
【０００３】このホトレジストを用いてカラーブラウン
管の蛍光面を製造する例を示す。ポリビニルアルコール
と界面活性剤と重クロム酸アンモニウムと青色発光蛍光
体を水に混合してスラリとする。一方カラーブラウン管
フェースプレート内面にブラックマトリックスを形成す
る。この上に前記スラリを回転塗布して塗膜を形成す
る。シャドウマスクを介して紫外光を照射し、水で現像
すると、露光した部分は不溶化しているため、青色発光
蛍光体ドットが形成される。ついで、赤色発光蛍光体及
び緑色発光蛍光体について、順次、同様の方法でそれぞ
れの蛍光体ドットを形成する。ついで、フイルミング，
アルミナイジング，パネルベーキングの後、フェースプ
レート部とファンネル部をフリットベーキングで接合
し、電子銃を装着してブラウン管を製造する。
管の蛍光面を製造する例を示す。ポリビニルアルコール
と界面活性剤と重クロム酸アンモニウムと青色発光蛍光
体を水に混合してスラリとする。一方カラーブラウン管
フェースプレート内面にブラックマトリックスを形成す
る。この上に前記スラリを回転塗布して塗膜を形成す
る。シャドウマスクを介して紫外光を照射し、水で現像
すると、露光した部分は不溶化しているため、青色発光
蛍光体ドットが形成される。ついで、赤色発光蛍光体及
び緑色発光蛍光体について、順次、同様の方法でそれぞ
れの蛍光体ドットを形成する。ついで、フイルミング，
アルミナイジング，パネルベーキングの後、フェースプ
レート部とファンネル部をフリットベーキングで接合
し、電子銃を装着してブラウン管を製造する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、例え
ば、カラーブラウン管の大型化又は高精細化について十
分考慮がされていなかった。カラーブラウン管が大型化
すると、蛍光体ドットを製造する場合、露光面(塗膜面)
が光源から離れるため露光面における照度が下がり、露
光に長時間を要するという問題があった。又、カラーブ
ラウン管を高精細化するためには、蛍光体ドット径をよ
り小さくする必要がある。このためには、回転光源の径
の大きさを小さくすることが必要となる。この結果、露
光面（塗膜面）の照度が下がり、露光に長時間を要する
という問題があった。
ば、カラーブラウン管の大型化又は高精細化について十
分考慮がされていなかった。カラーブラウン管が大型化
すると、蛍光体ドットを製造する場合、露光面(塗膜面)
が光源から離れるため露光面における照度が下がり、露
光に長時間を要するという問題があった。又、カラーブ
ラウン管を高精細化するためには、蛍光体ドット径をよ
り小さくする必要がある。このためには、回転光源の径
の大きさを小さくすることが必要となる。この結果、露
光面（塗膜面）の照度が下がり、露光に長時間を要する
という問題があった。
【０００５】本発明の目的は、高感度な感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに露光時間を短縮
した蛍光面形成方法を提供することにある。本発明の他
の目的は、高精度なパターン形成し得る感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに蛍光面形成方法
を提供することにある。
びそれを用いたパターン形成方法並びに露光時間を短縮
した蛍光面形成方法を提供することにある。本発明の他
の目的は、高精度なパターン形成し得る感光性組成物及
びそれを用いたパターン形成方法並びに蛍光面形成方法
を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的は、(1）水溶性
非感光性モノマ単位としてマレイン酸アルカリ塩を、ア
ジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニ
ルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸アルカ
リ塩，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボ
ン酸アルカリ塩，ビニルアジドシンナミリデンアセトフ
ェノンスルホン酸アルカリ塩，ビニルアジドシンナミリ
デンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩から選ばれた
少なくとも一種のモノマ単位とを少なくても含む感光性
高分子を光架橋剤とし、これとベースポリマとして、水
溶性高分子のポリビニルアルコールからなることを特徴
とする感光性組成物、(2）上記(1）の感光性組成物を基
板上に塗布し、塗膜を形成する工程、その感光性組成物
の塗膜に、所望のパターンの露光を行う工程、前記塗膜
を現像してパターンを形成する工程をもつことを特徴と
するパターン形成方法、(3）上記(1）に記載の感光性組
成物と蛍光体粉体との水性けん濁液塗料をカラーブラウ
ン管のフェースプレートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を
形成する工程、その塗膜に所望のパターンの露光を行う
工程及び現像によりパターンを形成する工程を有するこ
とを特徴とするカラーブラウン管蛍光面形成方法によっ
て達成される。
非感光性モノマ単位としてマレイン酸アルカリ塩を、ア
ジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位として、ビニ
ルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン酸アルカ
リ塩，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボ
ン酸アルカリ塩，ビニルアジドシンナミリデンアセトフ
ェノンスルホン酸アルカリ塩，ビニルアジドシンナミリ
デンアセトフェノンカルボン酸アルカリ塩から選ばれた
少なくとも一種のモノマ単位とを少なくても含む感光性
高分子を光架橋剤とし、これとベースポリマとして、水
溶性高分子のポリビニルアルコールからなることを特徴
とする感光性組成物、(2）上記(1）の感光性組成物を基
板上に塗布し、塗膜を形成する工程、その感光性組成物
の塗膜に、所望のパターンの露光を行う工程、前記塗膜
を現像してパターンを形成する工程をもつことを特徴と
するパターン形成方法、(3）上記(1）に記載の感光性組
成物と蛍光体粉体との水性けん濁液塗料をカラーブラウ
ン管のフェースプレートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を
形成する工程、その塗膜に所望のパターンの露光を行う
工程及び現像によりパターンを形成する工程を有するこ
とを特徴とするカラーブラウン管蛍光面形成方法によっ
て達成される。
【０００７】本発明において、前記光架橋剤としての共
重合体は、水溶性非感光性の第一のモノマ単位のマレイ
ン酸アルカリ塩(化１)，アジド基及び電解性官能基をも
つ第二のモノマ単位のビニルアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸アルカリ塩(化２、ｘ＝ＳＯ3Ｈ），
ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸ア
ルカリ塩（化２、ｘ＝ＣＯＯＨ），ビニルアジドシンナ
ミリデンアセトフェノンスルホン酸アルカリ塩(化３、
ｘ＝ＳＯ3Ｈ），ビニルアジドシンナミリデンアセトフ
ェノンカルボン酸アルカリ塩（化３、ｘ＝ＣＯＯＨ）か
ら選ばれた少なくとも一種のモノマ単位とを少なくとも
含む水溶性ポリマである。モノマ単位とは、モノマが重
合したときの構造を示し、前記置換基をもつモノマが重
合した構造と同じ構造を意味する。上記置換基を有する
モノマを重合させても、あるいは他のモノマを重合させ
てから化学反応によって前記置換基を結合させてもこの
ようなモノマ単位とすることができる。
重合体は、水溶性非感光性の第一のモノマ単位のマレイ
ン酸アルカリ塩(化１)，アジド基及び電解性官能基をも
つ第二のモノマ単位のビニルアジドベンジリデンアセト
フェノンスルホン酸アルカリ塩(化２、ｘ＝ＳＯ3Ｈ），
ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン酸ア
ルカリ塩（化２、ｘ＝ＣＯＯＨ），ビニルアジドシンナ
ミリデンアセトフェノンスルホン酸アルカリ塩(化３、
ｘ＝ＳＯ3Ｈ），ビニルアジドシンナミリデンアセトフ
ェノンカルボン酸アルカリ塩（化３、ｘ＝ＣＯＯＨ）か
ら選ばれた少なくとも一種のモノマ単位とを少なくとも
含む水溶性ポリマである。モノマ単位とは、モノマが重
合したときの構造を示し、前記置換基をもつモノマが重
合した構造と同じ構造を意味する。上記置換基を有する
モノマを重合させても、あるいは他のモノマを重合させ
てから化学反応によって前記置換基を結合させてもこの
ようなモノマ単位とすることができる。
【０００８】
【化１】
【０００９】
【化２】
【００１０】
【化３】
【００１１】本発明の光架橋剤としての共重合体は、上
記第一及び第二のモノマ単位以外に第三のモノマ単位を
含んでいてもよい。またこの第三のモノマ単位も一種類
であっても二種以上であってもよい。
記第一及び第二のモノマ単位以外に第三のモノマ単位を
含んでいてもよい。またこの第三のモノマ単位も一種類
であっても二種以上であってもよい。
【００１２】本発明の感光性組成物は、前述のように、
前記光架橋剤と、この光架橋剤と反応して光不溶化ポリ
マのパターンを形成するポリビニルアルコールからな
る。両者の比率は、光架橋剤の量がポリビニルアルコー
ルに対し１〜５０ｗｔ％の範囲であることが好ましく、
５〜３０ｗｔ％の範囲であることがより好ましい。ま
た、塗料としたときの特性の改良等のために、感光性組
成物にポリオキシエチレンアルキルエーテル等の界面活
性剤又はエチレングリコール等を加えること、基板との
接着性改良のためにビニルトリス(β−メトキシエトキ
シ)シラン等のカップリング剤を感光性組成物に加える
こともできる。
前記光架橋剤と、この光架橋剤と反応して光不溶化ポリ
マのパターンを形成するポリビニルアルコールからな
る。両者の比率は、光架橋剤の量がポリビニルアルコー
ルに対し１〜５０ｗｔ％の範囲であることが好ましく、
５〜３０ｗｔ％の範囲であることがより好ましい。ま
た、塗料としたときの特性の改良等のために、感光性組
成物にポリオキシエチレンアルキルエーテル等の界面活
性剤又はエチレングリコール等を加えること、基板との
接着性改良のためにビニルトリス(β−メトキシエトキ
シ)シラン等のカップリング剤を感光性組成物に加える
こともできる。
【００１３】
【作用】本発明の光架橋剤は、超高圧水銀灯から発する
励起光の内、特に３４０ｎｍ又は３６５ｎｍの波長の光
をよく吸収する。またこの光架橋剤は、従来の光架橋剤
の重クロム酸アルカリ塩化合物に比べて高分子であり一
分子中に多くの光架橋基をもつ、そして光架橋剤が高分
子であることからベースポリマのポリビニルアルコール
との高分子間で、“からまり”現象が起り、光分解した
光架橋基のポリビニルアルコールへの架橋効率が上がる
ので感光性組成物として高感度となる。
励起光の内、特に３４０ｎｍ又は３６５ｎｍの波長の光
をよく吸収する。またこの光架橋剤は、従来の光架橋剤
の重クロム酸アルカリ塩化合物に比べて高分子であり一
分子中に多くの光架橋基をもつ、そして光架橋剤が高分
子であることからベースポリマのポリビニルアルコール
との高分子間で、“からまり”現象が起り、光分解した
光架橋基のポリビニルアルコールへの架橋効率が上がる
ので感光性組成物として高感度となる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。
る。
【００１５】〈実施例１〉光架橋剤のマレイン酸ナトリ
ウム−４−ビニルモノアジドベンジリデンアセトフェノ
ンスルホン酸ナトリウム共重合体（化４）は以下のよう
にして合成した。
ウム−４−ビニルモノアジドベンジリデンアセトフェノ
ンスルホン酸ナトリウム共重合体（化４）は以下のよう
にして合成した。
【００１６】ポリ（スチレン−無水マレイン酸コポリ
マ：７５％スチレン，分子量：1900，ポリサイエンス，
インク社製）１６ｇをクロロホルム５０ｍｌ，二硫化炭
素５０ｍｌの混合溶媒に溶解した。この溶液を、塩化ア
セチル２５ｇと無水塩化アルミニウム４３ｇとをクロロ
ホルム１００ｍｌ，二硫化炭素１００ｍｌの混合溶媒に
溶解した溶液に室温で撹拌しながら適下した。その後加
熱して二時間撹拌しながら還流させた。放冷した後、ろ
別し、不溶化物を乾燥した。これを粉末化した後、多量
の水で処理してよく水洗した後た乾燥した。得られたポ
リマはマレイン酸−４−ビニルアセトフェノン共重合体
（化５）である。ただし、スチレン単位が約１０％、す
なわち、共重合体全体の７.５％未反応のまま残ってい
る。
マ：７５％スチレン，分子量：1900，ポリサイエンス，
インク社製）１６ｇをクロロホルム５０ｍｌ，二硫化炭
素５０ｍｌの混合溶媒に溶解した。この溶液を、塩化ア
セチル２５ｇと無水塩化アルミニウム４３ｇとをクロロ
ホルム１００ｍｌ，二硫化炭素１００ｍｌの混合溶媒に
溶解した溶液に室温で撹拌しながら適下した。その後加
熱して二時間撹拌しながら還流させた。放冷した後、ろ
別し、不溶化物を乾燥した。これを粉末化した後、多量
の水で処理してよく水洗した後た乾燥した。得られたポ
リマはマレイン酸−４−ビニルアセトフェノン共重合体
（化５）である。ただし、スチレン単位が約１０％、す
なわち、共重合体全体の７.５％未反応のまま残ってい
る。
【００１７】つぎに、この共重合体（化５）１ｇ，４−
アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２
ｇ，カセイソ−ダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌ
と水４０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日
間放置した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別
し、マレイン酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドベン
ジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体
（化４）を得た。この共重合体は、マレイン酸ナトリウ
ム単位２５モル％，スチレン単位７.５ モル％，ビニル
アセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニルモノアジド
ベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム単位
１７モル％からなる。
アジドベンズアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２
ｇ，カセイソ−ダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌ
と水４０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日
間放置した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別
し、マレイン酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドベン
ジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体
（化４）を得た。この共重合体は、マレイン酸ナトリウ
ム単位２５モル％，スチレン単位７.５ モル％，ビニル
アセトフェノン単位５０.５ モル％，ビニルモノアジド
ベンジリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム単位
１７モル％からなる。
【００１８】
【化４】
【００１９】
【化５】
【００２０】〈実施例２〉マレイン酸ナトリウム−４−
ビニルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホ
ン酸ナトリウム共重合体（化６）は以下のようにして合
成した。
ビニルモノアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホ
ン酸ナトリウム共重合体（化６）は以下のようにして合
成した。
【００２１】実施例１で合成したマレイン酸−４−ビニ
ルアセトフェノン共重合体（化５）１ｇ，４−アジドシ
ンナムアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２ｇ，カ
セイソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌと水４
０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日間放置
した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別し、マ
レイン酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドシンナミリ
デンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体（化
６）を得た。この共重合体は、マレイン酸ナトリウム単
位２５モル％，スチレン単位７.５モル％ ，ビニルアセ
トフェノン単位５０.５モル％ ，ビニルモノアジドシン
ナミリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム単位１
７モル％からなる。
ルアセトフェノン共重合体（化５）１ｇ，４−アジドシ
ンナムアルデヒド−２−スルホン酸ナトリウム２ｇ，カ
セイソーダ０.３ｇ をエチルアルコール４０ｍｌと水４
０ｍｌの混合溶媒に溶解する。そして室温で二日間放置
した後、酢酸で酸性にし、析出した沈殿物をろ別し、マ
レイン酸ナトリウム−４−ビニルモノアジドシンナミリ
デンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム共重合体（化
６）を得た。この共重合体は、マレイン酸ナトリウム単
位２５モル％，スチレン単位７.５モル％ ，ビニルアセ
トフェノン単位５０.５モル％ ，ビニルモノアジドシン
ナミリデンアセトフェノンスルホン酸ナトリウム単位１
７モル％からなる。
【００２２】
【化６】
【００２３】〈実施例３〉実施例１〜２で得た光架橋剤
の共重合体を用い、下記の組成の溶液を調製した。これ
をガラス板に０.５〜０.７μｍの厚さに回転塗布し、乾
燥して塗膜とした。 組成： ポリビニルアルコール ２.０ｗｔ％ アジド基を有する共重合体 ０.２ シランカップリング剤 ０.００２ 水 残余 アジド基をもつ共重合体を変化させた場合の感度の比較
を表１に示す。比較例としてアジド基をもつ共重合体に
代えて重クロム酸ナトリウム塩化合物を用いた例を同じ
表１に示す。感度の評価は超高圧水銀灯からの照度一定
の光を一定時間露光した後、所定のドット径のパターン
得るためにどれだけの露光時間を要するかで行った。比
較例の場合の露光時間を１とした場合、実施例１，２の
光架橋剤を用いた場合は１／２の露光時間で同じドット
径のパターンが得られる。
の共重合体を用い、下記の組成の溶液を調製した。これ
をガラス板に０.５〜０.７μｍの厚さに回転塗布し、乾
燥して塗膜とした。 組成： ポリビニルアルコール ２.０ｗｔ％ アジド基を有する共重合体 ０.２ シランカップリング剤 ０.００２ 水 残余 アジド基をもつ共重合体を変化させた場合の感度の比較
を表１に示す。比較例としてアジド基をもつ共重合体に
代えて重クロム酸ナトリウム塩化合物を用いた例を同じ
表１に示す。感度の評価は超高圧水銀灯からの照度一定
の光を一定時間露光した後、所定のドット径のパターン
得るためにどれだけの露光時間を要するかで行った。比
較例の場合の露光時間を１とした場合、実施例１，２の
光架橋剤を用いた場合は１／２の露光時間で同じドット
径のパターンが得られる。
【００２４】
【表１】
【００２５】〈実施例４〉実施例１で得た光架橋剤の共
重合体を用い、下記の組成のスラリ溶液を調製した。 スラリ組成： 蛍光体粉体 １２.５ｗｔ％ ポリビニルアルコール １.２５ 界面活性剤 ０.０１２５ 光架橋剤の共重合体 ０.１２５ シランカップリング剤 ０.００１２５ 水 残余 このスラリ組成をカラーブラウン管のパネルの内面に回
転塗布し、乾燥後、シャドウマスクを装着し、超高圧水
銀灯を光源とし、蛍光体の被着する位置に、露光した。
温水で二分スプレー現像し、蛍光体ドットを形成した。
このプロセスを赤，青，緑色各蛍光体粉体において行い
パネル内面に蛍光面を製造した。以下、従来方法と同様
にして、フイルミング，アルミナイジング，パネルベー
キングの後、フェースプレート部ファンネル部を合わせ
フリットベーキングし、電子銃装着してカラーブラウン
管を製造した。
重合体を用い、下記の組成のスラリ溶液を調製した。 スラリ組成： 蛍光体粉体 １２.５ｗｔ％ ポリビニルアルコール １.２５ 界面活性剤 ０.０１２５ 光架橋剤の共重合体 ０.１２５ シランカップリング剤 ０.００１２５ 水 残余 このスラリ組成をカラーブラウン管のパネルの内面に回
転塗布し、乾燥後、シャドウマスクを装着し、超高圧水
銀灯を光源とし、蛍光体の被着する位置に、露光した。
温水で二分スプレー現像し、蛍光体ドットを形成した。
このプロセスを赤，青，緑色各蛍光体粉体において行い
パネル内面に蛍光面を製造した。以下、従来方法と同様
にして、フイルミング，アルミナイジング，パネルベー
キングの後、フェースプレート部ファンネル部を合わせ
フリットベーキングし、電子銃装着してカラーブラウン
管を製造した。
【００２６】フイルミング，アルミナイジング，パネル
ベーキングの後、フェースプレート部ファンネル部を合
わせフリットベーキングし、電子銃装着してブラウン管
を製造する。このプロセスで露光時間は従来の組成物を
用いた場合より短時間であった。
ベーキングの後、フェースプレート部ファンネル部を合
わせフリットベーキングし、電子銃装着してブラウン管
を製造する。このプロセスで露光時間は従来の組成物を
用いた場合より短時間であった。
【００２７】
【発明の効果】本発明の感光性組成物は高感度を示す。
それ故、例えば、大型のカラーブラウン管の製造等に用
いて短時間で露光できるという効果がある。また高精細
カラーブラウン管の製造に用いてもシャドウマスクのホ
ール径が小さくなることによる露光面での照度低下を補
うことができる。
それ故、例えば、大型のカラーブラウン管の製造等に用
いて短時間で露光できるという効果がある。また高精細
カラーブラウン管の製造に用いてもシャドウマスクのホ
ール径が小さくなることによる露光面での照度低下を補
うことができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 (72)発明者 林 伸明 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 伊藤 雅人 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 西澤 昌紘 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所茂原工場内 (72)発明者 野々垣 三郎 東京都国分寺市東恋ケ窪１丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】水溶性非感光性モノマ単位としてマレイン
酸，アジド基及び電解性官能基をもつモノマ単位とし
て、ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンスルホン
酸，ビニルアジドベンジリデンアセトフェノンカルボン
酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンスルホ
ン酸，ビニルアジドシンナミリデンアセトフェノンカル
ボン酸及びこれらの塩から選ばれた少なくとも一種のモ
ノマ単位を含む感光性高分子を光架橋剤とし、ベースポ
リマとして、水溶性高分子のポリビニルアルコールを用
いることを特徴とする感光性組成物。 - 【請求項２】所望のパターンを形成しようとする面上
に、請求項１記載の感光性組成物の塗膜を形成する工
程、その感光性組成物の塗膜に、所望のパターンの露光
を行う工程、前記塗膜を現像してパターンを形成する工
程を含むパターン形成方法。 - 【請求項３】請求項１記載感光性組成物と蛍光体粉体と
の水性けん濁液塗料をカラーブラウン管のフェースプレ
ートの内面に塗布し、蛍光体塗膜を形成する工程、その
塗膜に所望のパターンの露光を行う工程及び現像により
パターンを形成する工程を含むカラーブラウン管蛍光面
形成方法。 - 【請求項４】請求項１において、光架橋剤のアジド基を
有する共重合体の塩がアンモニウム塩，アルカリ金属
塩，アルカリ土類金属塩である感光性組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4009802A JPH05197141A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4009802A JPH05197141A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05197141A true JPH05197141A (ja) | 1993-08-06 |
Family
ID=11730325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4009802A Pending JPH05197141A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 感光性組成物及びそれを用いたパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05197141A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09230587A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性ペースト組成物及び絶縁パターン層の形成方法 |
| US5866296A (en) * | 1996-01-25 | 1999-02-02 | Toyo Gosei Co., Ltd. | Photosensitive resin composition |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP4009802A patent/JPH05197141A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5866296A (en) * | 1996-01-25 | 1999-02-02 | Toyo Gosei Co., Ltd. | Photosensitive resin composition |
| JPH09230587A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-09-05 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 感光性ペースト組成物及び絶縁パターン層の形成方法 |
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