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JPH05164913A - Electrodeposition substrate, production of electrodeposition substrate and production of color filter by using electrodeposition substrate - Google Patents

Electrodeposition substrate, production of electrodeposition substrate and production of color filter by using electrodeposition substrate

Info

Publication number
JPH05164913A
JPH05164913A JP32891391A JP32891391A JPH05164913A JP H05164913 A JPH05164913 A JP H05164913A JP 32891391 A JP32891391 A JP 32891391A JP 32891391 A JP32891391 A JP 32891391A JP H05164913 A JPH05164913 A JP H05164913A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrodeposition
substrate
electrodeposited
conductive
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP32891391A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Koji Kitamura
孝司 北村
Satoshi Takeuchi
敏 武内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP32891391A priority Critical patent/JPH05164913A/en
Publication of JPH05164913A publication Critical patent/JPH05164913A/en
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

PURPOSE:To produce a color filter by using the electrodeposition substrate which enables the production of colored picture elements with arbitrary disposition. CONSTITUTION:A circuit for electrodeposition which energizes electrodeposition parts 22 of colored layers of the same display color and is not electrically connected to the electrodeposition parts of the colored layers of the other display colors is provided on an electrical insulating substrate 11 surface. An optical semiconductor layer 16 formed by dispersing a photoconductive material into a resin is provided on the circuit for electrodeposition. A light shieldable insulating film 17 exclusive of a conductive juncture 18 between the circuit for electrodeposition and the electrodeposition part of the colored layer is formed on the optical semiconductor layer 16. The optical semiconductor layer 16 is exposed (20) with the light shieldable insulating film 17 as a mask to conduct the conductive juncture 18, thereafter the colored substrate formed with the colored layer on the conductive film formed on the light shieldable insulating film 17 is subjected to the repetition of the operation to electrochemically electrodeposit the colored layer in the electrodeposition bath of the coloring material dispersed with pigments and high-polymer materials for each of the respective colors and thereafter the colored layers are simultaneously transferred to the color filter substrate surface, by which the color filters are produced. The high-quality color filters which are arbitrarily disposed without being restricted to the stripe shape alone are produced.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は液晶用カラーフィルター
の製造方法に係わり、とくにカラーフィルター製造用電
着用基板及び該電着用基板を用いてカラーフィルターを
製造する方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing a color filter for liquid crystal, and more particularly to an electrodeposition substrate for producing a color filter and a method for producing a color filter using the electrodeposition substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーテレビやコンピュータ用の液晶表
示装置のカラー表示方法には多種の方法があるが、一般
には透明基板上に赤(R)、緑(G)、青(B)などの
多色の画素を規則正しく配列したカラーフィルターを用
いることが行われている。
2. Description of the Related Art There are various color display methods for liquid crystal display devices for color televisions and computers, but generally, there are many methods such as red (R), green (G) and blue (B) on a transparent substrate. Color filters in which color pixels are regularly arranged are used.

【0003】カラーフィルターの製造方法としては、透
明樹脂を染料を用いて染色する染色法、透明樹脂または
透明感光性樹脂中に着色用の顔料を分散させて露光現像
する顔料分散法、印刷インキで各色の画素を印刷する印
刷法等がある。
As a method for producing a color filter, a dyeing method in which a transparent resin is dyed with a dye, a pigment dispersion method in which a coloring pigment is dispersed in a transparent resin or a transparent photosensitive resin and exposed and developed, and a printing ink is used. There is a printing method for printing pixels of each color.

【0004】染色法は色相に優れた高品質なものが得ら
れるが、染料を用いているために耐熱性や耐光性が劣
り、製造にはフォトリソグラフィー技術と染色技術を利
用しているため、製造工程が複雑であり、高価であると
いう問題点がある。そこで、現在では、耐熱性、耐光性
が優れた顔料分散法が主に液晶表示装置用のカラーフィ
ルターの製造に利用されているが、フォトリソグラフィ
ー技術を多用して製造しているため、製品の歩留まりが
低く製造価格が高いという問題点がある。一方、印刷法
では工程が簡便で最も廉価に製造可能と期待されていた
が、充分な精度のものが得られずコンピュータ用の液晶
表示装置の主流となっている薄膜トランジスタ(TF
T)型液晶表示装置に対しては不満足であるとともに、
製品の歩留まりが低いという問題がある。
The dyeing method can obtain a high quality product excellent in hue, but since the dye is used, the heat resistance and the light resistance are inferior, and the photolithography technique and the dyeing technique are used for the production, There is a problem that the manufacturing process is complicated and expensive. Therefore, at present, the pigment dispersion method, which is excellent in heat resistance and light resistance, is mainly used in the production of color filters for liquid crystal display devices. There is a problem that the yield is low and the manufacturing price is high. On the other hand, although the printing method was expected to be simple in process and can be manufactured at the lowest cost, a thin film transistor (TF), which is the mainstream of liquid crystal display devices for computers, cannot be obtained with sufficient accuracy.
In addition to being unsatisfactory for the T) type liquid crystal display device,
There is a problem of low product yield.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】一方、これらの問題点
を解決するために、通電する電気量によって膜厚を容易
に調整することができ、膜の精度が高い着色画素が比較
的簡単な工程によって得られる電着法が提案されてい
る。電着法は透明電極を有するガラス基板上にカラーフ
ィルターの着色画素の成分の顔料をイオン性高分子物質
とともに分散させて電気化学的に電着する方法や、カラ
ーフィルターの基板とは別の基板上に着色層を電着した
後、カラーフィルター用のガラス基板上に転写する電着
転写法など多くの方法が提案されている。
On the other hand, in order to solve these problems, the film thickness can be easily adjusted by the amount of electricity to be applied, and the process of forming a colored pixel having a high film precision is relatively simple. The electrodeposition method obtained by is proposed. The electrodeposition method is a method in which a pigment, which is a component of a colored pixel of a color filter, is dispersed together with an ionic polymer substance on a glass substrate having a transparent electrode and electrochemically electrodeposited, or a substrate different from the substrate for the color filter. Many methods have been proposed, such as an electrodeposition transfer method in which a colored layer is electrodeposited thereon and then transferred onto a glass substrate for a color filter.

【0006】電着転写法は、電着基板面にあらかじめカ
ラーフィルターの各色の成分を電着する回路を設け、図
4に示すように該回路を色別に選択的に外部電源と接続
し、電着用の顔料と高分子物質を分散した電着槽中にお
いて、不溶性電極を対極として電気化学的に着色材を目
的の領域のみに電着し、次いで他の回路と外部電源を接
続して対応する着色層を電着する工程を繰り返すことに
よって、カラーフィルターの全色の着色層を電着した後
ガラス基板に一括転写してカラーフィルターを製造する
方法が製造工程からみて最も好ましいと考えられてい
る。
In the electrodeposition transfer method, a circuit for electrodepositing each color component of the color filter is previously provided on the surface of the electrodeposition substrate, and the circuit is selectively connected to an external power source for each color as shown in FIG. Corresponding by electrochemically electrodepositing the coloring material only in the target area using the insoluble electrode as the counter electrode in the electrodeposition tank in which the wearing pigment and the polymer substance are dispersed, and then connecting other circuits to the external power source. It is considered that the method of manufacturing the color filter by electrodepositing the colored layers of all colors of the color filter and then collectively transferring to the glass substrate to manufacture the color filter by repeating the process of electrodepositing the colored layer is most preferable from the manufacturing process. ..

【0007】しかし、この方法で作成できるカラーフィ
ルターは各色の着色画素が並列的に線状に配置されてい
るいわゆるストライプ型カラーフィルターのみである。
ストライプ型フィルターでは線状に画素を配列するため
に電着用の電気回路の配線は平面的に形成するのみで実
現することができるので、比較的容易であるが他の形態
のフィルターでは電着用の電気回路の配線は困難であ
る。
However, the color filter that can be produced by this method is only a so-called stripe type color filter in which colored pixels of each color are arranged in parallel in a line.
In the stripe type filter, since the pixels are arranged linearly, the wiring of the electric circuit for electrodeposition can be realized only by forming it on a plane. Wiring an electric circuit is difficult.

【0008】すなわち、TFT型やその他のアクティブ
マトリクス構造がひろく採用されるようになり、カラー
フィルターの着色画素の配列として千鳥状や複雑なモザ
イク状等が要求されるようになった。この場合には目的
のカラーフィルターの着色画素を電着すべき領域へ電流
を供給するための回路配線は、平面的な配線では実現す
ることができず、TFT型などに必要なさまざまな配列
の着色画素の形成は実現されていない。
That is, a TFT type or other active matrix structure has been widely adopted, and a staggered pattern or a complicated mosaic pattern has been required as an array of colored pixels of a color filter. In this case, the circuit wiring for supplying the current to the area where the colored pixel of the target color filter should be electrodeposited cannot be realized by a flat wiring, and various arrangements necessary for the TFT type or the like are required. The formation of colored pixels has not been realized.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の電着基板および
それを用いたカラーフィルターの製造方法は、モザイク
状やその他の複雑な着色画素の配列を実現するために立
体的な配線を形成した新規な基板とその基板を用いてカ
ラーフィルターを製造する方法を提案するものである。
In the electrodeposition substrate of the present invention and the method of manufacturing a color filter using the same, a three-dimensional wiring is formed in order to realize a mosaic pattern or other complicated arrangement of colored pixels. It proposes a novel substrate and a method for manufacturing a color filter using the substrate.

【0010】すなわち、本発明の電着基板は、電気絶縁
性基板面上に、同一の表示色の着色層の電着部に通電し
他の表示色の着色層の電着部分とは電気的に接続しない
電着用回路を有し、電着用回路を形成した基板面には酸
化亜鉛などの光導電性物質と樹脂からなる光半導体層を
有し、光半導体層上に所定のパターンを形成した電気絶
縁性遮光層をマスクとして露光した後に露光部の酸化亜
鉛を還元して金属化することによって得られた電着用回
路と着色層の電着部を導電接続する導電接続部を有し、
着色層の電着部には導電性の被膜を形成したことを特徴
とする電着基板である。
That is, in the electrodeposited substrate of the present invention, the electrodeposited portion of the colored layer of the same display color is energized on the surface of the electrically insulating substrate, and the electrodeposited portion of the colored layer of another display color is electrically connected. Has an electro-deposition circuit which is not connected to the substrate, has a photo-semiconductor layer made of a resin and a photo-conductive substance such as zinc oxide on the surface of the substrate on which the electro-deposition circuit is formed, and forms a predetermined pattern on the photo-semiconductor layer Having a conductive connection portion for conductively connecting the electrodeposition circuit of the colored layer and the electrodeposition portion of the colored layer obtained by metalizing by reducing the zinc oxide in the exposed portion after exposure using the electrically insulating light-shielding layer as a mask,
The electrodeposited substrate is characterized in that a conductive film is formed on the electrodeposited portion of the colored layer.

【0011】また、本発明のカラーフィルターの製造方
法は、電着基板の着色層の電着部の導電性被膜に電着用
回路から通電して一方の電極とし、不溶性の電極を対極
として着色材を分散した電着浴中において各着色画素に
応じた導電性被膜上に着色層を電着し、この操作を各色
毎について繰り返し行った後に、各着色画素をカラーフ
ィルター用透明基板面に転写することによってカラーフ
ィルターを製造する方法である。
Further, in the method for producing a color filter of the present invention, the conductive coating of the electrodeposition portion of the colored layer of the electrodeposition substrate is energized from the electrodeposition circuit to form one electrode, and the insoluble electrode is used as a counter electrode for the coloring material. A colored layer is electrodeposited on a conductive film corresponding to each colored pixel in a dispersed electrodeposition bath, and this operation is repeated for each color, and then each colored pixel is transferred to the transparent substrate surface for the color filter. This is a method of manufacturing a color filter.

【0012】本発明の方法は、酸化亜鉛等を主成分とす
る光半導体を露光し形成された導電性メモリーを利用
し、その露光部の電子の挙動を利用して立体構造の配線
を形成した電着用基板を得るものである。本発明の基板
は光半導体特性を利用することによって極めて簡単な構
造となり、立体構造の電着用回路を迅速、容易に製造す
ることができる。
In the method of the present invention, a conductive memory formed by exposing an optical semiconductor containing zinc oxide or the like as a main component is used, and the behavior of electrons in the exposed portion is used to form a wiring having a three-dimensional structure. This is to obtain an electrodeposition substrate. The substrate of the present invention has an extremely simple structure by utilizing the optical semiconductor characteristics, and a three-dimensional electrodeposition circuit can be manufactured quickly and easily.

【0013】以下に本発明の電着基板とそれを用いたカ
ラーフィルターの製造方法を図を参照して説明する。図
1は本発明のモザイク型フィルター用のカラーフィルタ
ー製造用電着基板を説明する図である。
The electrodeposited substrate of the present invention and the method of manufacturing a color filter using the same will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram illustrating an electrodeposited substrate for producing a color filter for a mosaic type filter of the present invention.

【0014】カラーフィルターの各着色画素は遮光性の
ブラックマトリクスで区画されているが、これに対応し
てカラーフィルター製造用電着基板は各画素に対応した
着色単位1に区画されている。電着基板面にR、G、B
のそれぞれが独立して電着されるよう赤用配線2、緑用
配線3、青用配線4が形成されている。各配線と着色単
位の間に導電性接続を形成するために、導電接続部5、
6、7が形成されている。図1の例では、1個の着色単
位には赤用配線、緑用配線、青用配線の3本が配置され
ており、形成すべき表示色に対応した配線に着色層接続
部5が設けられている。また、複数の同一色用の配線は
外部電源から各色毎に一括して通電できるように、それ
ぞれの母線8、9、10と接続されている。このよう
に、本発明の方法では着色単位の下層部を利用して配線
を行うとともに、立体的配線によって任意の配置の着色
画素に通電することを可能としている。
Each colored pixel of the color filter is partitioned by a black matrix having a light-shielding property. Correspondingly, the electrodeposited substrate for manufacturing a color filter is partitioned into colored units 1 corresponding to each pixel. R, G, B on the surface of electrodeposited substrate
The red wiring 2, the green wiring 3, and the blue wiring 4 are formed so that each of them can be electrodeposited independently. In order to form a conductive connection between each wiring and the coloring unit, a conductive connection portion 5,
6 and 7 are formed. In the example of FIG. 1, three wirings for red, green, and blue are arranged in one coloring unit, and the coloring layer connecting portion 5 is provided on the wiring corresponding to the display color to be formed. Has been. Further, a plurality of wirings for the same color are connected to the respective bus bars 8, 9 and 10 so that they can be energized collectively from an external power source for each color. As described above, in the method of the present invention, wiring is performed using the lower layer portion of the coloring unit, and it is possible to energize the colored pixels in an arbitrary arrangement by the three-dimensional wiring.

【0015】図2は本発明のカラーフィルター製造用電
着基板の製造工程と着色層の電着までの工程を示した断
面図である。電気絶縁性基板11面に通常の導電性材料
による配線加工を行う。絶縁性基板にはエポキシ樹脂系
の通常のプリント配線用基板、ポリエステルフィルム、
ポリカーボネートフィルム、ポリアミドフイルム等のフ
ィルム基板、ガラス、セラミックス等が使用することが
できるが、遮光性であり、かつ熱的又は機械的に伸縮性
の小さいものがよい。また最後の転写操作を考慮すれば
柔軟性を保持し且つ機械的に強度の高い部材が望まし
く、例えば線膨張係数の低いステンレス、アンバー等の
金属板を使用し、電着浴中において影響を受けない絶縁
性被膜で被覆し、その上に配線用の導電性部材を形成さ
せた基板でもよい。導電性部材として銅、ニッケル、ク
ロム、鉄、アルミニウム等の金属またはそれらの合金、
導電性酸化膜等が用いられ、蒸着膜やラミネート膜が用
いられる。導電性部材の配線加工は通常のフォトリソグ
ラフィーや印刷などによって配線パターンを形成した後
にエッチングして形成する。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a process for producing an electrodeposited substrate for producing a color filter of the present invention and a process up to electrodeposition of a colored layer. Wiring is performed on the surface of the electrically insulating substrate 11 with a normal conductive material. Epoxy resin-based printed circuit board, polyester film,
A film substrate such as a polycarbonate film or a polyamide film, glass, ceramics, or the like can be used, but a material having a light-shielding property and having a small thermal or mechanical stretchability is preferable. In consideration of the final transfer operation, a member that retains flexibility and has high mechanical strength is desirable. For example, a metal plate such as stainless steel or amber having a low coefficient of linear expansion is used, and the member is not affected by the electrodeposition bath. It may be a substrate which is covered with a non-insulating film and on which a conductive member for wiring is formed. Copper, nickel, chromium, iron, aluminum and other metals or their alloys as conductive members,
A conductive oxide film or the like is used, and a vapor deposition film or a laminated film is used. The wiring of the conductive member is formed by forming a wiring pattern by ordinary photolithography or printing and then etching.

【0016】配線加工は図2(A)のように赤用配線1
2、緑用配線13、青用配線14の3本の配線が各着色
単位15内を通過するように行う。次いでこの面に酸化
亜鉛と合成樹脂からなる光半導体層16を厚さ3〜30
μmに塗布乾燥して形成する(図2(B))。
Wiring is processed by the red wiring 1 as shown in FIG.
Two wirings for the green wiring 13, the green wiring 13, and the blue wiring 14 are formed so as to pass through each coloring unit 15. Next, an optical semiconductor layer 16 made of zinc oxide and synthetic resin is formed on this surface with a thickness of 3 to 30.
It is formed by coating and drying to a thickness of μm (FIG. 2 (B)).

【0017】光半導体層16は、電子写真等の分野で用
いられているN型光半導体である酸化亜鉛を電気絶縁性
樹脂とを適当な有機溶媒を添加して混練し、ローラーコ
ート、バーコート、スクリーン印刷等により塗布、乾燥
したものである。電気絶縁性樹脂としては酸化亜鉛を用
いた電子写真記録材料に用いられる樹脂が使用でき、例
えばアルキッド樹脂、スチレン−ブタジエン共重合樹
脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等で
あり、、スチレン−ブタジエン共重合樹脂、アクリル樹
脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等が好ましい。
The photo-semiconductor layer 16 is roller-coated or bar-coated by kneading zinc oxide, which is an N-type photo-semiconductor used in the field of electrophotography, with an electrically insulating resin by adding a suitable organic solvent. It was applied by screen printing, etc. and dried. As the electrically insulating resin, a resin used for an electrophotographic recording material using zinc oxide can be used, and examples thereof include alkyd resin, styrene-butadiene copolymer resin, acrylic resin, epoxy resin, polyimide resin, and styrene-butadiene. Copolymer resin, acrylic resin, epoxy resin, polyimide resin and the like are preferable.

【0018】更に酸化亜鉛の光感度を上げるために増感
剤としてローズベンガル、ブロムフェノールブルー、パ
テントブルー等を添加してもよい。
Further, in order to increase the photosensitivity of zinc oxide, rose bengal, bromphenol blue, patent blue or the like may be added as a sensitizer.

【0019】次いで、光半導体層16に感光性樹脂から
なる遮光性絶縁膜17を形成し、導電接続部18を形成
したフォトマスク19を介して露光20する(図2
(C))。フォトマスクのパターンは透明ガラス、合成
樹脂フィルムなどに写真乳剤によって白黒画像を形成し
たものや、半導体装置の製造に使用するクロム等の薄膜
によって形成したものを用いることができる。また、遮
光性絶縁膜にパターンを形成するためには、遮光性絶縁
膜上にフォトレジストを塗布してパターンを描いたフォ
トマスクによって露光した後に現像して得られたフォト
レジストのパターンを使用してエッチングを行った後に
フォトレジストを除去してもよい。 また、フォトリソ
グラフィーによらずに印刷法によってパターンを有する
遮光性絶縁膜を形成したもよい。次に、パターンを形成
した遮光性絶縁膜17をマスクとして、光半導体層16
の導電接続部18を露光20する(図2(D))。
Next, a light-shielding insulating film 17 made of a photosensitive resin is formed on the optical semiconductor layer 16 and exposed 20 through a photomask 19 having a conductive connecting portion 18 (FIG. 2).
(C)). The pattern of the photomask may be a transparent glass, a synthetic resin film or the like on which a black and white image is formed with a photographic emulsion, or a thin film of chromium or the like used for manufacturing a semiconductor device. Further, in order to form a pattern on the light-shielding insulating film, a photoresist pattern obtained by applying a photoresist on the light-shielding insulating film, exposing it with a photomask on which a pattern is drawn, and then developing it is used. The photoresist may be removed after etching is performed. Further, the light-shielding insulating film having a pattern may be formed by a printing method instead of photolithography. Next, using the light-shielding insulating film 17 having the pattern as a mask, the optical semiconductor layer 16 is formed.
The conductive connection portion 18 is exposed 20 (FIG. 2D).

【0020】導電接続部は着色画素内の配線の対応する
位置に正確に形成するために通常のフォトリソグラフィ
ー工程で行われているような位置合わせの方法等によっ
て正確に形成する必要がある。
In order to accurately form the conductive connection portion at a corresponding position of the wiring in the colored pixel, it is necessary to accurately form the conductive connection portion by a positioning method or the like which is performed in a normal photolithography process.

【0021】導電性基板上の光半導体層の非露光部は電
気絶縁性であるが、露光された部分は電気抵抗が低下し
導電性となり、光半導体は露光を停止しても導電性が保
持され導電性メモリーが形成される。そして、導電性メ
モリーを形成する電子の作用によって化学的に還元性を
示すが、更に光半導体層を陰極として易還元性物質を含
む水溶液中で通電すると易還元性物質を還元析出させる
ことができる。一方、易還元性物質が存在しない溶液中
においては、通電により光半導体の露光部の酸化亜鉛自
身が還元されて金属亜鉛を遊離して黒化することが知ら
れている。電子写真法での電解現像法は、露光によって
光が到達する表層部のみで光電子が発生し、表層部の光
半導体層の金属亜鉛が遊離する現象を利用した画像形成
方法である。
The non-exposed portion of the photosemiconductor layer on the conductive substrate is electrically insulating, but the exposed portion becomes conductive due to a decrease in electrical resistance, and the photosemiconductor retains conductivity even after the exposure is stopped. The conductive memory is formed. Then, it exhibits a chemical reducing property by the action of the electrons forming the conductive memory, and when the photosemiconductor layer is further used as a cathode in the aqueous solution containing the easily reducing substance, the easily reducing substance can be reduced and deposited. .. On the other hand, it is known that in a solution containing no easily reducing substance, the zinc oxide itself in the exposed portion of the optical semiconductor is reduced by energization to release metallic zinc and turn black. The electro-developing method in electrophotography is an image forming method utilizing a phenomenon in which photoelectrons are generated only in the surface layer portion to which light reaches upon exposure, and metallic zinc in the photo semiconductor layer in the surface layer portion is released.

【0022】導電性メモリーが形成された酸化亜鉛の光
半導体層を、例えばドデシル硫酸ナトリウムのアルカリ
水溶液、炭酸ナトリウム水溶液等の電解液中において陰
極とし、不溶性陽極を陽極として電解すると、本来金属
亜鉛が遊離しないと思われる深さまで酸化亜鉛の還元が
行われ、亜鉛金属となって黒化し、充分な現像により導
電性基板面に還元亜鉛が到達することが見いだされた。
このため現像された露光部の電気抵抗は著しく低下し、
金属亜鉛の形成の結果低い電気抵抗は永久に保持させる
ことができる。この場合は、既にN型半導体ではなく金
属層であるから電流はいずれの方向にも通電することが
できる。
When the zinc oxide photosemiconductor layer on which the conductive memory is formed is used as a cathode in an electrolytic solution such as an aqueous solution of sodium dodecylsulfate or an aqueous solution of sodium carbonate, and an insoluble anode is used as an anode to perform electrolysis, metallic zinc is originally formed. It was found that the zinc oxide was reduced to a depth where it would not be liberated and turned into zinc metal to become black, and the reduced zinc reached the conductive substrate surface by sufficient development.
For this reason, the electrical resistance of the developed exposed area is significantly reduced,
The low electrical resistance as a result of the formation of metallic zinc can be retained permanently. In this case, the current can be passed in either direction because it is not the N-type semiconductor but the metal layer.

【0023】このようにして酸化亜鉛の還元によって金
属亜鉛層を部分的に形成して、図2(E)のように着色
層との導電接続部21を形成した。次いで、光半導体層
面に金属、合金あるいは導電性酸化物からなる導電性薄
膜を蒸着、無電解めっきによって形成し、着色画素のパ
ターンを用いてエッチングによって着色画素に対応した
電着部22を形成し、顔料と高分子物質とを分散した電
着槽中において、得られた電着面を陰極とし不溶性電極
を陽極として通電し、各色毎に着色層23、24、25
を形成する(図2(F))。電着には、カチオン型の電
着材が一般には好ましいが、アニオン型の電着材を用い
て陽極として電着することもできる。
In this way, the zinc metal layer was partially formed by reduction of zinc oxide to form the conductive connection portion 21 with the colored layer as shown in FIG. 2 (E). Next, a conductive thin film made of a metal, an alloy or a conductive oxide is formed on the surface of the optical semiconductor layer by vapor deposition and electroless plating, and an electrodeposition portion 22 corresponding to the colored pixel is formed by etching using the pattern of the colored pixel. In the electrodeposition tank in which the pigment and the polymer substance are dispersed, the obtained electrodeposition surface is used as a cathode and the insoluble electrode is used as an anode, and current is applied to each colored layer 23, 24, 25.
Are formed (FIG. 2 (F)). For electrodeposition, a cation type electrodeposition material is generally preferable, but an anion type electrodeposition material may be used to perform electrodeposition as an anode.

【0024】電着された着色画素を透明ガラス基板など
のカラーフィルターの基板面に転写することによってカ
ラーフィルターが得られる。
A color filter is obtained by transferring the electrodeposited colored pixels onto the substrate surface of a color filter such as a transparent glass substrate.

【0025】図3が得られたカラーフィルターの断面図
である。電着した着色層をガラス基板31に転写する場
合には、ガラス基板31面にあらかじめブラックマトリ
クス32が形成されており、電着基板から転写した着色
画素33、34、35が形成されている。ブラックマト
リックスにはクロム、タングステン等の遮光性の金属、
カーボンブラック、四三酸化鉄などの遮光性の顔料を分
散したポリアミドなどの合成樹脂等で形成したものを使
用することができ、フォトリソグラフィー技術、印刷技
術等のいずれの方法によって製造しても良い。
FIG. 3 is a sectional view of the obtained color filter. When the electrodeposited colored layer is transferred to the glass substrate 31, a black matrix 32 is previously formed on the surface of the glass substrate 31, and colored pixels 33, 34 and 35 transferred from the electrodeposited substrate are formed. Black matrix has light-shielding metal such as chromium and tungsten,
It is possible to use a material formed of a synthetic resin such as polyamide in which a light-shielding pigment such as carbon black or ferrosoferric oxide is dispersed, and it may be produced by any method such as photolithography technology and printing technology. ..

【0026】ブラックマトリックスを形成したカラーフ
ィルターの基板に着色層を転写する場合には、基板面の
着色層が粘着性を有していればそのまま転写できるが、
粘着性が弱いか又は粘着性がなければガラス基板の転写
面に粘着剤又は接着剤を塗布して接着してもよい。カラ
ーフィルター基板と着色層との間の接着に使用する接着
剤には、光硬化性あるいは熱硬化性の接着剤を使用し
て、速やかに硬化させることが好ましい。
When the colored layer is transferred to the color filter substrate on which the black matrix is formed, it can be transferred as it is if the colored layer on the substrate surface has adhesiveness.
If the adhesiveness is weak or not adhesive, an adhesive or an adhesive may be applied to the transfer surface of the glass substrate for adhesion. As the adhesive used for adhesion between the color filter substrate and the colored layer, it is preferable to use a photo-curable or thermosetting adhesive for quick curing.

【0027】また、着色層と電着面との接着力が強くて
剥離困難な場合には、電着前に電着面を剥離剤処理をす
ることが好ましい。剥離剤には、シリコーン剥離剤その
他の市販品が使用できる。又クロム酸塩等の無機剥離液
処理も可能である。
When the colored layer and the electrodeposited surface have a strong adhesive force and are difficult to peel off, it is preferable to treat the electrodeposition surface with a release agent before electrodeposition. As the release agent, a silicone release agent and other commercially available products can be used. It is also possible to treat with an inorganic stripping solution such as chromate.

【0028】さらに剥離性を向上させるために電着面に
剥離性が良好な金属層を形成させた後に表面を研磨して
平滑な面とすることも効果がある。また、導電接続部と
遮光性絶縁膜との間に形成される段差によって生じる電
着面の凹凸を除くために、亜鉛の導電接続部を形成の後
に、該導電接続部に銅等金属の電着を行った後に電着面
を形成し、さらに研磨等によって十分に平滑な面を得る
こともできる。
In order to further improve the peelability, it is also effective to form a metal layer having good peelability on the electrodeposited surface and then polish the surface to form a smooth surface. Further, in order to remove the unevenness of the electrodeposition surface caused by the step formed between the conductive connection portion and the light-shielding insulating film, after the conductive connection portion of zinc is formed, the conductive connection portion is made of a metal such as copper. It is also possible to form an electrodeposited surface after deposition and then to obtain a sufficiently smooth surface by polishing or the like.

【0029】カラーフィルター基板上に転写した着色層
上には、透明な合成樹脂組成物からなる保護層を形成
し、保護層の表面を研磨などによって平滑とした後に液
晶駆動用のITO膜などの透明電極膜を形成してカラー
フィルターを完成させる。
A protective layer made of a transparent synthetic resin composition is formed on the colored layer transferred onto the color filter substrate, and the surface of the protective layer is smoothed by polishing or the like, and then an ITO film for driving a liquid crystal or the like is formed. A color filter is completed by forming a transparent electrode film.

【0030】電着した着色層をカラーフィルター基板に
転写したカラーフィルター製造用電着基板は、再び同種
のカラーフィルターの製造に使用できるので多数回の反
復使用が可能である。したがって、カラーフィルター製
造用電着基板の作成後は着色層の電着と転写のみを繰り
返せばよいので、カラーフィルターの量産に好適であ
る。
The electrodeposited substrate for producing a color filter, in which the electrodeposited colored layer is transferred to the color filter substrate, can be used again for producing the same kind of color filter, and thus can be used repeatedly a number of times. Therefore, after the production of the electrodeposition substrate for producing a color filter, only the electrodeposition and transfer of the colored layer need be repeated, which is suitable for mass production of color filters.

【0031】[0031]

【作用】本発明の電着基板は、立体的な配線を形成した
ので、カラーフィルターの製造に用いるならば、ストラ
イプ状の着色画素に限らずモザイク状等に配置された着
色画素も形成することが可能であり、大面積のカラーフ
ィルター製造用のものも容易に製造することができる。
また、電着基板が反復使用できるので、フォトリソグラ
フィー技術を多用する従来の方法に比べて高品質なカラ
ーフィルターを安価に製造することができ、カラーフィ
ルターに限らず異なる種類の金属パターンの形成や微細
な配線を有する多層基板等の製造にも利用することがで
きる。
Since the electrodeposited substrate of the present invention has a three-dimensional wiring formed therein, if it is used for manufacturing a color filter, not only stripe-shaped colored pixels but also colored pixels arranged in a mosaic pattern should be formed. It is also possible to easily manufacture a large area color filter.
In addition, since the electrodeposited substrate can be used repeatedly, it is possible to manufacture a high-quality color filter at a low cost as compared with the conventional method that makes heavy use of photolithography technology. It can also be used to manufacture a multi-layer substrate having fine wiring.

【0032】[0032]

【実施例】【Example】

実施例1 大きさ300×300mm、厚さ0.1mmの平滑なス
テンレス板面に、厚さ0.25mmのポリエステルフィ
ルムの一方の面に銅の薄膜を形成した片面導電性フィル
ムを接着剤を用いて接着した。次いで通常のフォトリソ
グラフィー法で図1に示すようなR、G、Bの3色の着
色画素用の電気配線用のレジストのパターンを設けて塩
化第2鉄水溶液を使用してエッチング加工した。
Example 1 An adhesive was used as a single-sided conductive film in which a thin copper film was formed on one surface of a polyester film having a thickness of 0.25 mm on a smooth stainless plate surface having a size of 300 × 300 mm and a thickness of 0.1 mm. Glued together. Next, a resist pattern for electric wiring for colored pixels of three colors of R, G, and B as shown in FIG. 1 was provided by a normal photolithography method, and etching processing was performed using a ferric chloride aqueous solution.

【0033】配線仕様は次の通りである。The wiring specifications are as follows.

【0034】 電着有効面積(10.4インチパネル用:158.4×211.2mm) 画素数 :640×480 R、G、B各画素の大きさ :330μm×110μm ブラックマトリックスの線幅 :30μm 画素内配線幅 :70μm(330μm方向を分割) 配線の線間距離 :22.5μm 着色画素の配線と母線が他の着色画素あるいは母線と交
差する部分では、平面配線では相互に接触し導電接続が
形成されるので、交差する部分には下層の配線を形成し
た後に、スクリーン印刷で絶縁性物質を塗布した後にそ
の上部に導電性インキ(銅ペースト)を印刷して他方の
配線を形成し、相互の電気的な接続が形成されないよう
にした。
Electrodeposition effective area (for 10.4 inch panel: 158.4 × 211.2 mm) Number of pixels: 640 × 480 R, G, B size of each pixel: 330 μm × 110 μm Line width of black matrix: 30 μm In-pixel wiring width: 70 μm (divided in the direction of 330 μm) Distance between wiring lines: 22.5 μm In the portion where the wiring of the colored pixel and the busbar intersect with other colored pixels or busbars, the planar wiring lines are in contact with each other and conductive connection is made. Since it is formed, after forming the wiring of the lower layer at the intersecting part, the insulating material is applied by screen printing and then the conductive ink (copper paste) is printed on the upper part of the wiring to form the other wiring. So that no electrical connection is made.

【0035】基板面の非電着領域の配線上に電着が行わ
れるのを防止するため、全面にネガ型感光性樹脂(OM
R:東京応化工業(株)商品名)を1μmの厚さに塗布
し、上記仕様の有効面積部と電極引き出し部が黒色であ
るパターンをマスクとして密着露光し、指定処方にした
がって現像、乾燥、ベーキングし、次いで下記組成の酸
化亜鉛光半導体層を約15μmの厚さにワイヤーバーで
塗布して乾燥した。
In order to prevent electrodeposition on the wiring in the non-electrodeposition area of the substrate surface, a negative photosensitive resin (OM
R: Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. (trade name) is applied to a thickness of 1 μm, and contact exposure is carried out by using the pattern in which the effective area portion and the electrode lead portion of the above specifications are black as a mask, and development, drying according to the specified prescription, After baking, a zinc oxide photosemiconductor layer having the following composition was applied with a wire bar to a thickness of about 15 μm and dried.

【0036】(光半導体塗布液組成) 電子写真用酸化亜鉛微粉末 80g エポキシ樹脂(一液硬化型) 20g 増感剤(ローズベンガル) 微量 溶剤(キシレン) 100ml これらを混合後、超音波によって分散してペースト状と
する。
(Photosemiconductor coating liquid composition) Zinc oxide fine powder for electrophotography 80 g Epoxy resin (one-component curing type) 20 g Sensitizer (rose bengal) Trace amount solvent (xylene) 100 ml These are mixed and dispersed by ultrasonic waves. And make a paste.

【0037】次に黒色系顔料を添加して遮光性を与えた
感光性樹脂(OMR)を約2mmの厚さに均一に塗布し
て乾燥し、各着色画素と赤用配線、緑用配線あるいは青
用配線との着色画素接続部(導電接続部)を形成するた
めに、直径40μmの着色画素接続部を描いたフォトマ
スクを用いて、正確に位置合わせした状態で密着し、水
銀灯を用いて露光し、現像乾燥後120〜160℃で3
0分間ポストベークして導電接続部のみレジストが存在
しない遮光性絶縁膜を形成させた。次いで、得られた遮
光性絶縁膜をマスクとして100Wのタングステン電球
によって10秒間露光したのち、下記電解液中において
電解現像を行った。
Next, a photosensitive resin (OMR) to which a black pigment is added to provide light-shielding properties is uniformly applied to a thickness of about 2 mm and dried, and each colored pixel and red wiring, green wiring or In order to form a colored pixel connection portion (conductive connection portion) with the blue wiring, a photomask in which a colored pixel connection portion having a diameter of 40 μm is drawn is used, and they are brought into close contact in an accurately aligned state and a mercury lamp is used. After exposure, development and drying, 3 at 120-160 ℃
Post-baking was performed for 0 minutes to form a light-shielding insulating film in which the resist was not present only in the conductive connection portion. Then, the obtained light-shielding insulating film was used as a mask and exposed with a 100 W tungsten light bulb for 10 seconds, and then electrolytic development was performed in the following electrolytic solution.

【0038】(電解液) 炭酸ナトリウム 150g ドデシル硫酸ナトリウム 16g 水 10,000ml (電解条件) 対極 白金板 電極間距離 3cm 電解電圧 5V 電解温度 20℃ 電解時間 10秒 以上の電解現像により酸化亜鉛層の露光部が黒化しその
部分は導電性を示した。
(Electrolyte solution) Sodium carbonate 150 g Sodium dodecyl sulfate 16 g Water 10,000 ml (electrolysis conditions) Counter electrode platinum plate Electrode distance 3 cm Electrolysis voltage 5 V Electrolysis temperature 20 ° C. Electrolysis time Exposure of zinc oxide layer by 10 seconds or more The part was blackened and the part was conductive.

【0039】次いで、十分に水洗乾燥後導電接続部およ
び遮光性絶縁膜上にニッケルを200nmの厚さで真空
蒸着した後、各画素のパターンを描いたフォトマスクを
用いてレジストパターンを形成した後にエッチングをお
こない、赤、緑、青の着色画素の電着部を形成し、カラ
ーフィルター電着基板を完成させた。この電着用基板に
よる着色画素の電着にはステンレス面を絶縁性塗膜で覆
った後、下記の浴を用いた。ニッケルの電着部には電着
後の転写操作を容易にするために市販のシリコーン系剥
離液(信越化学工業(株)製 KF410)を、ニッケ
ルの導電性を阻害しない程度に希釈して薄く塗布して乾
燥する処理を行った。 (電着浴組成) アクリル樹脂 50部 エチルセロソルブ 25部 イソプロピルアルコール 3部 硫酸 1.5部 顔料 15部 (赤用電着液にはピグメントレッド、緑用電着液にはフ
タロシアニングリーン、青用電着液にはフタロシアニン
ブルー)水 800部 アクリル樹脂とエチルセロソルブ及び顔料を混合し、顔
料粒子が0.2μm以下に微細化するまでボールミルで
混練りし、次いで上記組成に攪拌調製した。
Then, after sufficiently washing with water and drying, nickel is vacuum-deposited to a thickness of 200 nm on the conductive connection portion and the light-shielding insulating film, and then a resist pattern is formed using a photomask on which a pattern of each pixel is drawn. Etching was performed to form electrodeposition portions of red, green, and blue colored pixels, and a color filter electrodeposition substrate was completed. For electrodeposition of colored pixels by this electrodeposition substrate, the stainless steel surface was covered with an insulating coating film, and then the following bath was used. In order to facilitate the transfer operation after electrodeposition, a commercially available silicone-based stripping solution (KF410, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is diluted on the electrodeposited portion of nickel to such an extent that the conductivity of nickel is not diminished. A treatment of coating and drying was performed. (Electrodeposition bath composition) Acrylic resin 50 parts Ethyl cellosolve 25 parts Isopropyl alcohol 3 parts Sulfuric acid 1.5 parts Pigment 15 parts (Pigment red for red electrodeposition solution, phthalocyanine green for green electrodeposition solution, blue electrodeposition) For the landing liquid, 800 parts of phthalocyanine blue) water, an acrylic resin, ethyl cellosolve and a pigment were mixed and kneaded with a ball mill until the pigment particles became finer to 0.2 μm or less, and then the above composition was stirred and prepared.

【0040】次いで、カラーフィルター製造用電着基板
の裏面に絶縁塗装を施し、赤用の母線を電着用電源と接
続し、電着用基板を陰極として、対極には白金板を用い
て赤用の電着浴中において電着した。初期電圧20Vか
ら電着が開始され、電着膜厚増加に伴い電気抵抗が増大
し、電流が流れなくなるので徐々に電圧を上げて電着を
続行し、80Vまで昇圧した時点で厚さ2μmの赤の着
色層が電着された。水洗、乾燥後150℃で30分間熱
処理して赤の着色画素を得た。
Next, an insulating coating is applied to the back surface of the electrodeposition substrate for producing the color filter, the bus bar for red is connected to the power supply for electrodeposition, the electrodeposition substrate is used as the cathode, and the platinum electrode is used as the counter electrode for the red electrode. It was electrodeposited in the electrodeposition bath. The electrodeposition starts from the initial voltage of 20V, and the electric resistance increases with the increase of the electrodeposition film thickness, and the current stops flowing. Therefore, the voltage is gradually increased to continue the electrodeposition, and when the voltage is increased to 80V, the thickness of 2 μm The red colored layer was electrodeposited. After washing with water and drying, heat treatment was performed at 150 ° C. for 30 minutes to obtain red colored pixels.

【0041】次いで、赤の着色層の電着と同様にして、
厚さ2μmの緑および青の着色層の電着を行った。
Then, similarly to the electrodeposition of the red colored layer,
A 2 μm thick green and blue colored layer was electrodeposited.

【0042】次に厚さ150nmの金属クロムからなる
ブラックマトリスクを有するガラス基板に光硬化性接着
剤(アクリル樹脂系接着剤 東邦化成工業(株)製 H
I−LOLK UV500L)を2μmの厚さに均一に
スピンコーティングし、次いで着色層を電着した基板を
密着し、ガラス板面から紫外線を照射して接着剤を硬化
させた後、電着基板を注意して引き剥がすと、着色層は
ガラス基板側に転写し、カラーフィルターを形成する。
得られたカラーフィルターの着色画素はガラス面上のブ
ラックマトリックスにわずかに重なり、各着色画素間の
隙間はブラックマトリックスによって完全に遮蔽されて
いる。
Next, a photocurable adhesive (acrylic resin-based adhesive Toho Kasei Co., Ltd. H on a glass substrate having a black matrisk made of chromium metal having a thickness of 150 nm)
(I-LOLK UV500L) is evenly spin-coated to a thickness of 2 μm, and the substrate on which the colored layer is electrodeposited is then adhered, and the glass plate surface is irradiated with ultraviolet rays to cure the adhesive, and then the electrodeposited substrate is applied. When peeled off carefully, the colored layer is transferred to the glass substrate side to form a color filter.
The colored pixels of the obtained color filter slightly overlap the black matrix on the glass surface, and the gaps between the colored pixels are completely covered by the black matrix.

【0043】ガラス板面の各色の着色画素上には保護層
用の光硬化性樹脂の組成物(感光性ポリイミド樹脂)を
均一な厚さに塗布して紫外線硬化させる。最後に、保護
層上にITO膜をスパッタリングによって成膜して液晶
用カラーフィルターを完成させた。一方、電着層を剥離
した後の電着基板は再び次の電着に供することができ、
前記操作を繰り返して多数回反復使用することができ
た。
A photocurable resin composition (photosensitive polyimide resin) for the protective layer is applied to the colored pixels of each color on the surface of the glass plate in a uniform thickness and UV-cured. Finally, an ITO film was formed on the protective layer by sputtering to complete a liquid crystal color filter. On the other hand, the electrodeposited substrate after peeling off the electrodeposition layer can be used again for the next electrodeposition,
The above operation was repeated and could be used many times.

【0044】実施例2 実施例1の電着基板作成工程において、導電接続部を形
成した酸化亜鉛層および遮光性絶縁膜の積層状態が完成
した後、導電接続部と遮光性絶縁膜との間の段差を取り
除くために導電接続部のみに約2μmの厚さに銅めっき
を行った。銅めっきは下記の条件で行った。
Example 2 In the process for producing an electrodeposited substrate of Example 1, after the stacked state of the zinc oxide layer having the conductive connection portion and the light-shielding insulating film was completed, the gap between the conductive connection portion and the light-shielding insulating film was completed. In order to remove the level difference, copper plating was performed only on the conductive connection portion to a thickness of about 2 μm. Copper plating was performed under the following conditions.

【0045】 (銅めっき浴) 硫酸銅(CuSO4 ・5H2 O) 240g/l 硫酸(H2 SO4 比重1.83) 35g/l 液温 20℃ 電流密度 5A/dm2 銅めっきによって、遮光性絶縁膜面と導電接続部とを同
一面とした後に下記の条件で無電解銅めっき膜を形成し
た。
(Copper Plating Bath) Copper Sulfate (CuSO 4 .5H 2 O) 240 g / l Sulfuric Acid (H 2 SO 4 Specific Gravity 1.83) 35 g / l Liquid Temperature 20 ° C. Current Density 5 A / dm 2 Shielded by Copper After the conductive insulating film surface and the conductive connection portion were made to be the same surface, an electroless copper plating film was formed under the following conditions.

【0046】 (センシタイザー) 塩化第1錫(SnCl2 ・2H2 O) 20g/l 塩酸(HCl・35%) 15m/l 液温 30℃ (アクチベータ) 塩化パラジウム(PdCl2) 0.2g/l 塩酸(HCl・35%) 2m/l 液温 30℃ (無電解銅めっき浴) 硫酸銅(CuSO4 ・5H2 O) 5g/l ロシェル塩(KNaC446 ) 25g/l ホルマリン(HCHO) 10g/l 水酸化ナトリウム(NaOH) 7g/l 液温 20℃ 。(Sensitizer) Stannous chloride (SnCl 2 · 2H 2 O) 20 g / l Hydrochloric acid (HCl · 35%) 15 m / l Liquid temperature 30 ° C. (activator) Palladium chloride (PdCl 2 ) 0.2 g / l Hydrochloric acid (HCl / 35%) 2m / l Liquid temperature 30 ° C (electroless copper plating bath) Copper sulfate (CuSO 4 / 5H 2 O) 5g / l Rochelle salt (KNaC 4 H 4 O 6 ) 25g / l Formalin (HCHO) ) 10 g / l Sodium hydroxide (NaOH) 7 g / l Liquid temperature 20 ° C.

【0047】次いで上記の銅めっき浴を用いて銅の全厚
が約10μmとなるようにめっきを行った後に、粗研磨
およびバフ研磨によって鏡面化して平滑性を0.1〜
0.2μmに仕上げ、さらに下記の条件でニッケルめっ
きを行って厚さ2μmのニッケルめっきを行った。
Next, the copper is plated using the above copper plating bath so that the total thickness of the copper is about 10 μm, and is then mirror-finished by rough polishing and buff polishing to obtain a smoothness of 0.1 to 0.1 μm.
After finishing to 0.2 μm, nickel plating was performed under the following conditions to perform nickel plating with a thickness of 2 μm.

【0048】 (ニッケルめっき浴組成) 硫酸ニッケル(NiSO4 ・6H2 O) 250g/l 塩化ニッケル(NiCl2 ・6H2 O) 45g/l ほう酸(H3 BO3 ) 35g/l 液温 30℃ 電流密度 5A/dm2 次いで感光性樹脂(OMR:東京応化工業(株)商品
名)を用いて各画素のパターンを描いたフォトマスクを
用いてレジストパターンを形成した後にエッチングをお
こない、電着面を形成した。電着面を分離する絶縁部で
ある非電着面と電着面との間には約12μmの高さの違
いが形成されているので、エポキシ樹脂中に白色顔料を
混合した絶縁塗料を充填し、ドクターブレードでスキー
ジした後に硬化させ、さらに表面をバフ研磨して両者の
高低差を除くと共に電着面を清浄化した。
[0048] (nickel plating bath composition) nickel sulfate (NiSO 4 · 6H 2 O) 250g / l nickel chloride (NiCl 2 · 6H 2 O) 45g / l boric acid (H 3 BO 3) 35g / l liquid temperature 30 ° C. Current Density 5 A / dm 2 Then, a photosensitive resin (OMR: trade name of Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) is used to form a resist pattern using a photomask in which a pattern of each pixel is drawn, and then etching is performed to form an electrodeposited surface. Formed. Since a height difference of about 12 μm is formed between the non-electrodeposition surface, which is an insulating part that separates the electrodeposition surface, and the electrodeposition surface, an insulating paint mixed with a white pigment in epoxy resin is filled. Then, it was squeegeeed with a doctor blade and then cured, and the surface was buffed to remove the height difference between the two and to clean the electrodeposited surface.

【0049】以上の操作によって表面が平滑なカラーフ
ィルター電着用基板を完成させた。この電着基板を用い
て実施例1に記載の方法に従いR、G、B各色の電着浴
から順次R、GBのカラーフィルターの着色画素を同一
の方法で電着し、ブラックマトリックスを形成したガラ
ス基板に光硬化性アクリル系接着剤を用いて転写接着さ
せてカラーフィルターを作成した。転写されたカラーフ
ィルター面は非常に平滑な面となっており、実施例1よ
りも良質の製品が得られた。また、転写後の電着基板は
反復して使用したが反復性がはるかに向上した。
By the above operation, a color filter electrodeposition substrate having a smooth surface was completed. Using this electrodeposited substrate, colored pixels of R, GB color filters were sequentially electrodeposited in the same manner from the electrodeposition baths of R, G, B colors according to the method described in Example 1 to form a black matrix. A color filter was prepared by transferring and adhering to a glass substrate using a photocurable acrylic adhesive. The transferred color filter surface was a very smooth surface, and a product of better quality than that of Example 1 was obtained. The electrodeposited substrate after transfer was used repeatedly, but the repeatability was much improved.

【0050】[0050]

【発明の効果】本発明は、電着基板への電着用の電気配
線を酸化亜鉛からなる光半導体層内に形成した導電部に
よって立体的に形成したので、この電着基板を使用する
ことによりストライプ状のカラーフィルターに限らず、
モザイク状をはじめとする任意の配置のカラーフィルタ
ーを電着によって製造することが可能となり、高品質の
カラーフィルターを安価に製造することができる。
According to the present invention, since the electric wiring for electrodeposition to the electrodeposition substrate is three-dimensionally formed by the conductive portion formed in the optical semiconductor layer made of zinc oxide, it is possible to use the electrodeposition substrate. Not limited to striped color filters,
It is possible to manufacture a color filter having an arbitrary arrangement such as a mosaic shape by electrodeposition, and a high quality color filter can be manufactured at low cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明のカラーフィルター製造用電着基板を説
明する図。
FIG. 1 is a diagram illustrating an electrodeposited substrate for producing a color filter of the present invention.

【図2】本発明のカラーフィルター製造用電着基板の製
造工程と着色層の電着までの工程を示した断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a process for producing an electrodeposited substrate for producing a color filter of the present invention and a process up to electrodeposition of a colored layer.

【図3】カラーフィルターの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a color filter.

【図4】電着方法を説明する図である。FIG. 4 is a diagram illustrating an electrodeposition method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…着色単位、2…赤用配線、3…緑用配線、4…青用
配線、5、6、7…導電接続部、8、9、10…母線、
11…電気絶縁性基板、12…赤用配線、13…緑用配
線、14…青用配線、15…着色単位、16…光半導体
層、17…遮光性絶縁膜、18…導電接続部、19…フ
ォトマスク、20…露光、21…導電接続部、22…電
着部、23、24、25…着色層、31…ガラス基板、
32…ブラックマトリックス、33、34、35…着色
画素
1 ... Coloring unit, 2 ... Red wiring, 3 ... Green wiring, 4 ... Blue wiring, 5, 6, 7 ... Conductive connection part, 8, 9, 10 ... Busbar,
11 ... Electrically insulating substrate, 12 ... Red wiring, 13 ... Green wiring, 14 ... Blue wiring, 15 ... Coloring unit, 16 ... Optical semiconductor layer, 17 ... Light-shielding insulating film, 18 ... Conductive connection part, 19 ... Photomask, 20 ... Exposure, 21 ... Conductive connection part, 22 ... Electrodeposition part, 23, 24, 25 ... Colored layer, 31 ... Glass substrate,
32 ... Black matrix, 33, 34, 35 ... Colored pixels

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電気絶縁性基板面上に形成した電着基板
において、基板面上には複数の相互に電気的に接続しな
い電着用回路を有し、電着用回路上には光導電性物質と
樹脂との光半導体層を有し、光半導体層には露光および
現像により導電化した電着用回路と電着部との導電接続
部を有し、光半導体層上には電着用回路との導電接続部
を除いて形成した遮光性絶縁膜を有し、遮光性絶縁膜上
には電着用回路とを電気的に接続した電着部を有するこ
とを特徴とする電着基板。
1. An electrodeposited substrate formed on the surface of an electrically insulating substrate, wherein a plurality of electrodeposition circuits that are not electrically connected to each other are provided on the substrate surface, and a photoconductive material is provided on the electrodeposition circuit. And an optical semiconductor layer with a resin, the optical semiconductor layer has a conductive connection portion between the electrodeposition circuit and the electrodeposition portion made conductive by exposure and development, on the optical semiconductor layer with the electrodeposition circuit An electrodeposition substrate having a light-shielding insulating film formed excluding the conductive connection portion, and having an electrodeposition portion electrically connected to an electrodeposition circuit on the light-shielding insulating film.
【請求項2】 光導電性物質が酸化亜鉛であり、導電接
続部が金属化した亜鉛であることを特徴とする請求項1
記載の電着基板。
2. The photoconductive material is zinc oxide, and the conductive connection portion is metallized zinc.
The electrodeposited substrate described.
【請求項3】 電着部を非電着部で複数の部分に分割
し、電着部と非電着部の表面が同一の平面上にあること
を特徴とする請求項1記載の電着基板。
3. The electrodeposition according to claim 1, wherein the electrodeposition part is divided into a plurality of parts by the non-electrodeposition part, and the surfaces of the electrodeposition part and the non-electrodeposition part are on the same plane. substrate.
【請求項4】 電気絶縁性基板面上に形成した電着基板
の製造方法において、基板面上には複数の相互に電気的
に接続しない電着用回路を形成した後に、光導電性物質
を樹脂に分散した光半導体層を形成し、該光導電体層上
には電着用回路との導電接続部を除いて遮光性絶縁層を
形成し、遮光性絶縁層をマスクとして光半導体層を露光
および現像により、光半導体層の導電接続部を導電化し
た後に、遮光性絶縁膜上に導電性被膜を形成し、次いで
導電性被膜を複数の部分に分割し、かつ電着部の間には
非電着部を形成することを特徴とする電着基板の製造方
法。
4. A method of manufacturing an electrodeposited substrate formed on the surface of an electrically insulating substrate, wherein a plurality of electrodeposition circuits that are not electrically connected to each other are formed on the surface of the substrate, and then a photoconductive substance is applied to the resin. A photo-semiconductor layer dispersed on the photo-conductor layer, a light-shielding insulating layer is formed on the photo-conductor layer except for a conductive connection portion with an electrodeposition circuit, and the photo-semiconductor layer is exposed using the light-shielding insulating layer as a mask After the conductive connection part of the optical semiconductor layer is made conductive by development, a conductive film is formed on the light-shielding insulating film, the conductive film is then divided into a plurality of parts, and a non-contact part is formed between the electrodeposition parts. A method for manufacturing an electrodeposited substrate, which comprises forming an electrodeposited portion.
【請求項5】 電着部および非電着部の表面を研磨によ
って同一平面とすることを特徴とする請求項4記載の電
着基板の製造方法。
5. The method for producing an electrodeposited substrate according to claim 4, wherein the surfaces of the electrodeposited portion and the non-electrodeposited portion are made flush with each other.
【請求項6】 カラーフィルターの電着による製造方法
において、電気絶縁性基板面上に、同一の表示色の着色
層の電着部に通電し他の表示色の着色層の電着部分とは
電気的に接続しない電着用回路を形成した後に、光導電
性物質を樹脂に分散した光半導体層を形成し、該光導電
体層上には電着用回路との導電接続部を除いて遮光性絶
縁層を形成し、遮光性絶縁層をマスクとして露光および
現像し、光半導体層の導電接続部を導電化した後に、遮
光性絶縁膜上に導電性被膜を形成し、次いで導電性被膜
を複数の部分に分割することによって得られた電着基板
の電着面に、顔料と高分子物質を分散した着色材の電着
浴において電気化学的に、着色層を電着する操作を複数
の色毎に繰り返し行った後に、透明基板面に着色層を一
括して転写することを特徴とするカラーフィルター製造
方法。
6. A method for producing a color filter by electrodeposition, wherein the electrodeposited portion of the colored layer of the same display color is energized on the surface of the electrically insulating substrate to define the electrodeposited portion of the colored layer of another display color. After forming an electro-deposition circuit that is not electrically connected, a photo-semiconductor layer in which a photo-conductive substance is dispersed in a resin is formed, and a light-shielding property is provided on the photo-conductor layer except for a conductive connection portion with the electro-deposition circuit. After forming an insulating layer, exposing and developing using the light-shielding insulating layer as a mask to make the conductive connection portion of the optical semiconductor layer conductive, forming a conductive film on the light-shielding insulating film, and then forming a plurality of conductive films. The electrodeposited surface of the electrodeposited substrate obtained by dividing into parts is electrochemically electrodeposited in a bath of a coloring material in which a pigment and a polymer substance are dispersed. After repeating each time, transfer the colored layer to the transparent substrate surface all at once. And a method for manufacturing a color filter.
【請求項7】 電着面が非電着部によって複数の部分に
分割され、電着部および非電着部を研磨によって同一平
面とした後に、着色層を電着することを特徴とする請求
項6記載のカラーフィルター製造方法。
7. The electrodeposition surface is divided into a plurality of parts by the non-electrodeposition part, and the colored layer is electrodeposited after the electrodeposition part and the non-electrodeposition part are made flush with each other. Item 7. A method for producing a color filter according to item 6.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100532261B1 (en) * 2001-06-18 2005-11-29 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. Method for fabricating a liquid crystal display device
KR100643560B1 (en) * 2000-12-01 2006-11-10 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Array substrate for liquid crystal display device and manufacturing method thereof

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KR100532261B1 (en) * 2001-06-18 2005-11-29 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. Method for fabricating a liquid crystal display device

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