JPH05110179A - 短波長短パルス光源 - Google Patents
短波長短パルス光源Info
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- JPH05110179A JPH05110179A JP26474991A JP26474991A JPH05110179A JP H05110179 A JPH05110179 A JP H05110179A JP 26474991 A JP26474991 A JP 26474991A JP 26474991 A JP26474991 A JP 26474991A JP H05110179 A JPH05110179 A JP H05110179A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 短波長短パルス光を出力する短波長短パルス
光源を改良する。 【構成】 励起パルス光を発生させる第１の光源（エネ
ルギー注入光源）と、励起パルス光より短パルス幅の短
パルス光を発生させる第２の光源（短パルス光源）と、
第１および第２の光源の発光タイミングを同期させる同
期手段と、励起パルス光と前記短パルス光を入射するこ
とにより和周波光を発生させる和周波発生手段とを備
え、和周波光を短波長短パルス光として出力する。
光源を改良する。 【構成】 励起パルス光を発生させる第１の光源（エネ
ルギー注入光源）と、励起パルス光より短パルス幅の短
パルス光を発生させる第２の光源（短パルス光源）と、
第１および第２の光源の発光タイミングを同期させる同
期手段と、励起パルス光と前記短パルス光を入射するこ
とにより和周波光を発生させる和周波発生手段とを備
え、和周波光を短波長短パルス光として出力する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は短波長短パルス光源に関
し、特に詳細には、和周波光を利用するものに関する。
し、特に詳細には、和周波光を利用するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】波長が５００ｎｍ以下でピコ秒域の短波
長短パルス光の発生技術として、高調波を利用するもの
と和周波光を利用するものが知られている。高調波を発
生させるには、色素レーザなどの大型レーザ装置を使う
方法や、高出力レーザ共振器内で発生させる方法（ＡＰ
Ｌ．５４（１７）ＰＰ．１６２５〜１６２７）、あるい
は半導体レーザ（ＬＤ）光を非線形媒質からなる導波路
に導く方法が用いられる。また、和周波光を発生させる
には、高出力レーザ共振器内に非線形素子をセットし、
高速変調したＬＤの出力光をミキシングする方法（信学
技報、ＯＱＥ９０−３７、ＡＰＬ．５４（９）ＰＰ．７
８９〜７９１など）が用いられる。
長短パルス光の発生技術として、高調波を利用するもの
と和周波光を利用するものが知られている。高調波を発
生させるには、色素レーザなどの大型レーザ装置を使う
方法や、高出力レーザ共振器内で発生させる方法（ＡＰ
Ｌ．５４（１７）ＰＰ．１６２５〜１６２７）、あるい
は半導体レーザ（ＬＤ）光を非線形媒質からなる導波路
に導く方法が用いられる。また、和周波光を発生させる
には、高出力レーザ共振器内に非線形素子をセットし、
高速変調したＬＤの出力光をミキシングする方法（信学
技報、ＯＱＥ９０−３７、ＡＰＬ．５４（９）ＰＰ．７
８９〜７９１など）が用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高調波
発生による技術では、出力を大きくするためには色素レ
ーザの如き大型の装置が必要になり、他方、導波路とＬ
Ｄを用いて小形化すると低出力になってしまう。また、
ＬＤ励起固体レーザの共振器内部に非線形素子をセット
し、励起用ＬＤを変調する方法によると、レーザ媒質の
蛍光寿命により速いスイッチングができず、短パルス光
とならない。
発生による技術では、出力を大きくするためには色素レ
ーザの如き大型の装置が必要になり、他方、導波路とＬ
Ｄを用いて小形化すると低出力になってしまう。また、
ＬＤ励起固体レーザの共振器内部に非線形素子をセット
し、励起用ＬＤを変調する方法によると、レーザ媒質の
蛍光寿命により速いスイッチングができず、短パルス光
とならない。
【０００４】これに対し、和周波光を利用するものとし
て、例えば特開平１−２１４０８２号のように、ＣＷ発
振のＬＤ励起固体レーザの共振器内部に非線形素子をセ
ットし、高速変調したＬＤの出力光をミキシングする方
法がある。しかし、これによると、ＬＤ励起固体レーザ
がＣＷ発振ゆえにパワー密度を高くできず、変換効率は
１％程度に止まる。また、パルス幅も５ｎｓ程度にしか
ならない。さらに、ＬＤ励起固体レーザの励起用ＬＤに
変調をかけた場合には、ＬＤ出力があまり大きくないの
で、非線形効果が小さく、また、ＬＤの出力光を非線形
媒質かレーザ媒質の一方にしか集光できないため両媒質
中でパワー密度が上がらず、高出力が得られない。 そ
こで本発明は、小型かつ大出力であって、短波長短パル
ス光を出力することが可能な短波長短パルス光源を提供
することを目的とする。
て、例えば特開平１−２１４０８２号のように、ＣＷ発
振のＬＤ励起固体レーザの共振器内部に非線形素子をセ
ットし、高速変調したＬＤの出力光をミキシングする方
法がある。しかし、これによると、ＬＤ励起固体レーザ
がＣＷ発振ゆえにパワー密度を高くできず、変換効率は
１％程度に止まる。また、パルス幅も５ｎｓ程度にしか
ならない。さらに、ＬＤ励起固体レーザの励起用ＬＤに
変調をかけた場合には、ＬＤ出力があまり大きくないの
で、非線形効果が小さく、また、ＬＤの出力光を非線形
媒質かレーザ媒質の一方にしか集光できないため両媒質
中でパワー密度が上がらず、高出力が得られない。 そ
こで本発明は、小型かつ大出力であって、短波長短パル
ス光を出力することが可能な短波長短パルス光源を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に関わる短波長短
パルス光源は、励起パルス光を発生させる第１の光源
と、この励起パルス光より短パルス幅の短パルス光を発
生させる第２の光源と、第１および第２の光源の発光タ
イミングを同期させる同期手段と、励起パルス光と短パ
ルス光を入射することにより和周波光を発生させる和周
波発生手段と、を備え、和周波光を短波長短パルス光と
して出力するようにしたことを特徴とする。
パルス光源は、励起パルス光を発生させる第１の光源
と、この励起パルス光より短パルス幅の短パルス光を発
生させる第２の光源と、第１および第２の光源の発光タ
イミングを同期させる同期手段と、励起パルス光と短パ
ルス光を入射することにより和周波光を発生させる和周
波発生手段と、を備え、和周波光を短波長短パルス光と
して出力するようにしたことを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の構成によれば、励起パルス光と短パル
ス光が同期して和周波発生手段に入射され、これによっ
て和周波光が発生される。ここで、和周波光の波長は励
起パルス光と短パルス光の波長に対応して十分に短波長
となり、また、そのパルス幅は短パルス光のパルス幅に
応じて十分に短くなる。また、励起パルス光と短パルス
光のタイミングが一致すると和周波光の出力は最大とな
り、タイミングをずらすことで出力を可変にできる。
ス光が同期して和周波発生手段に入射され、これによっ
て和周波光が発生される。ここで、和周波光の波長は励
起パルス光と短パルス光の波長に対応して十分に短波長
となり、また、そのパルス幅は短パルス光のパルス幅に
応じて十分に短くなる。また、励起パルス光と短パルス
光のタイミングが一致すると和周波光の出力は最大とな
り、タイミングをずらすことで出力を可変にできる。
【０００７】
【実施例】以下、添付図面を参照して、本発明の実施例
を詳細に説明する。
を詳細に説明する。
【０００８】図１は本発明に係わる短波長短パルス光源
の基本構成を示すブロック図である。この装置は、短パ
ルス光源１とエネルギー注入光源２との２個のパルス光
源を有し、その発光タイミングはタイミング同期手段３
によって同期するようコントロールされている。短パル
ス光源１からの短パルス光とエネルギー注入光源２から
の励起パルス光は光結合手段４によって結合され、和周
波発生手段５に入射される。
の基本構成を示すブロック図である。この装置は、短パ
ルス光源１とエネルギー注入光源２との２個のパルス光
源を有し、その発光タイミングはタイミング同期手段３
によって同期するようコントロールされている。短パル
ス光源１からの短パルス光とエネルギー注入光源２から
の励起パルス光は光結合手段４によって結合され、和周
波発生手段５に入射される。
【０００９】ここで短パルス光の波長をλS 、励起パル
ス光の波長をλP とすると、和周波発生手段５からの和
周波光の波長λO は、 １／λO ＝１／λS ＋１／λP となる。この波長λO の和周波光のみが光分岐手段６に
よって取り出され、出力パルスすなわち短波長短パルス
光として外部に出力される。なお、この短波長短パルス
光のパワーは、短パルス光のパワーＰS および励起パル
ス光のパワーＰP に比例している。
ス光の波長をλP とすると、和周波発生手段５からの和
周波光の波長λO は、 １／λO ＝１／λS ＋１／λP となる。この波長λO の和周波光のみが光分岐手段６に
よって取り出され、出力パルスすなわち短波長短パルス
光として外部に出力される。なお、この短波長短パルス
光のパワーは、短パルス光のパワーＰS および励起パル
ス光のパワーＰP に比例している。
【００１０】図２は上記構成の具体的実施例を示してい
る。図１と対比すれば明らかなように、短パルス光源１
は高出力短パルスＬＤ光源１０で構成され、エネルギー
注入光源２はＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレーザ光源２０
で構成され、タイミング同期手段３はタイミング同期信
号発生回路３０で構成されている。また、光結合手段４
は全反射ミラー４１とダイクロイックミラー４２で構成
され、和周波発生手段５はＢＢＯ（β−ＢａＢ2 Ｏ4 ）
やＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）などの非線形素子５０で構
成され、光分岐手段６は分光器６０で構成されている。
なお、Ｌ1 ，Ｌ2 は集光レンズである。
る。図１と対比すれば明らかなように、短パルス光源１
は高出力短パルスＬＤ光源１０で構成され、エネルギー
注入光源２はＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレーザ光源２０
で構成され、タイミング同期手段３はタイミング同期信
号発生回路３０で構成されている。また、光結合手段４
は全反射ミラー４１とダイクロイックミラー４２で構成
され、和周波発生手段５はＢＢＯ（β−ＢａＢ2 Ｏ4 ）
やＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ4 ）などの非線形素子５０で構
成され、光分岐手段６は分光器６０で構成されている。
なお、Ｌ1 ，Ｌ2 は集光レンズである。
【００１１】このような構成では、励起パルス光の波長
はλP ＝１０４７ｎｍであり、例えば短パルス光の波長
をλS ＝９００ｎｍとすると、短波長短パルス光の波長
はλO ＝４８４ｎｍとなる。そして例えばＬＤ励起Ｑス
イッチＹＬＦレーザ光源２０の出力を１０μＪとし、高
出力短パルスＬＤ光源１０の出力ピークパワーを１０
Ｗ、非線形素子５０の変換効率を４〜５％とすると、短
波長短パルス光のピーク強度は４００〜５００ｍＷとな
る。
はλP ＝１０４７ｎｍであり、例えば短パルス光の波長
をλS ＝９００ｎｍとすると、短波長短パルス光の波長
はλO ＝４８４ｎｍとなる。そして例えばＬＤ励起Ｑス
イッチＹＬＦレーザ光源２０の出力を１０μＪとし、高
出力短パルスＬＤ光源１０の出力ピークパワーを１０
Ｗ、非線形素子５０の変換効率を４〜５％とすると、短
波長短パルス光のピーク強度は４００〜５００ｍＷとな
る。
【００１２】このような最大出力の短波長短パルス光
は、図３のように励起パルス光と短パルス光のピークの
タイミングが一致するｔ0 のときに得られ、ｔ1 ，ｔ2
では出力が小さくなる。また、ＰO はＰP とＰS の積に
比例するので、短波長短パルス光の強度をＬＤ励起Ｑス
イッチＹＬＦレーザ光源２０の出力でコントロールする
ことができる。ここで、ＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレー
ザ光源２０はパルス光源であり、したがってＣＷ光源に
比べてパワー密度を大きくできるので、大出力の短波長
短パルス光が得られる。
は、図３のように励起パルス光と短パルス光のピークの
タイミングが一致するｔ0 のときに得られ、ｔ1 ，ｔ2
では出力が小さくなる。また、ＰO はＰP とＰS の積に
比例するので、短波長短パルス光の強度をＬＤ励起Ｑス
イッチＹＬＦレーザ光源２０の出力でコントロールする
ことができる。ここで、ＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレー
ザ光源２０はパルス光源であり、したがってＣＷ光源に
比べてパワー密度を大きくできるので、大出力の短波長
短パルス光が得られる。
【００１３】なお、図４（ａ）のように、励起パルス光
ビームと短パルス光ビームを非線形素子５０中でクロス
させるようにすれば、光結合手段４を設けることが不要
になる。このとき、短波長短パルス光はスリット６１を
用いて取り出せばよい。なお、非線形素子５０の出射端
面に多層膜などでダイクロイックミラーを形成してもよ
い。非線形素子５０には、チェレンコフ放射型の素子を
用いてもよく、この場合には、図４（ｂ）のように波長
によって出射角が異なるので、アパーチャやスリット６
１で分光できる。
ビームと短パルス光ビームを非線形素子５０中でクロス
させるようにすれば、光結合手段４を設けることが不要
になる。このとき、短波長短パルス光はスリット６１を
用いて取り出せばよい。なお、非線形素子５０の出射端
面に多層膜などでダイクロイックミラーを形成してもよ
い。非線形素子５０には、チェレンコフ放射型の素子を
用いてもよく、この場合には、図４（ｂ）のように波長
によって出射角が異なるので、アパーチャやスリット６
１で分光できる。
【００１４】次に、タイミング同期手段３の具体的な構
成をいくつかの例について説明する。図５では、タイミ
ング同期手段３はタイミング同期信号発生回路３０と光
検出器３１により構成される。ここでは、励起パルス光
と短パルス光が検出され、この検出出力にもとずき、タ
イミング同期信号発生回路３０によるコントロールがさ
れる。図５（ａ）では、光結合手段であるダイクロイッ
クミラー４２からの励起光と短パルス光のもれ光を利用
している。図５（ｂ）では、非線形素子５０から出射さ
れた光から、ダイクロイックミラー４４によって取り出
された励起光と短パルス光を光検出器３１に入射してい
る。
成をいくつかの例について説明する。図５では、タイミ
ング同期手段３はタイミング同期信号発生回路３０と光
検出器３１により構成される。ここでは、励起パルス光
と短パルス光が検出され、この検出出力にもとずき、タ
イミング同期信号発生回路３０によるコントロールがさ
れる。図５（ａ）では、光結合手段であるダイクロイッ
クミラー４２からの励起光と短パルス光のもれ光を利用
している。図５（ｂ）では、非線形素子５０から出射さ
れた光から、ダイクロイックミラー４４によって取り出
された励起光と短パルス光を光検出器３１に入射してい
る。
【００１５】次に、上記の光検出器３１と同期コントロ
ールの手法について説明する。図６では、高速光検出器
４６で、励起パルス光と短パルス光のパワーの和のピー
クを検出し、このピーク値が最大となるよう、発光タイ
ミングをコントロールしている。なお、図５（ｂ）の構
成では励起パルス光と短パルス光の他に和周波光も同時
に高速光検出器４６で検出し、そのピークが最大となる
よう発光タイミングをコントロールしてもよい。
ールの手法について説明する。図６では、高速光検出器
４６で、励起パルス光と短パルス光のパワーの和のピー
クを検出し、このピーク値が最大となるよう、発光タイ
ミングをコントロールしている。なお、図５（ｂ）の構
成では励起パルス光と短パルス光の他に和周波光も同時
に高速光検出器４６で検出し、そのピークが最大となる
よう発光タイミングをコントロールしてもよい。
【００１６】図７では、高速光検出器４６P で励起パル
ス光を検出し、高速光検出器４６S で短パルス光を検出
し、このピークの時間差△ｔがゼロになるようコントロ
ールしている。この場合には、ダイクロイックミラー４
４は波長λP を反射し、波長λS を透過する。なお、こ
の時間差△ｔの調整によって、短波長短パルス光のパワ
ーを任意に調整できることは言うまでもない。
ス光を検出し、高速光検出器４６S で短パルス光を検出
し、このピークの時間差△ｔがゼロになるようコントロ
ールしている。この場合には、ダイクロイックミラー４
４は波長λP を反射し、波長λS を透過する。なお、こ
の時間差△ｔの調整によって、短波長短パルス光のパワ
ーを任意に調整できることは言うまでもない。
【００１７】図８は、非線形素子５０からの光の一部
（数％）を分岐し、これから和周波光をフィルタ４５で
抽出し、高速光検出器４６に入射して検出し、タイミン
グコントロールを行なう場合を示している。このように
すると、高速光検出器４６の検出出力は、短パルス光と
励起パルス光のピークの時間差△ｔに依存して変化する
ので、出力パワーのコントロールができる。この場合、
検出器には低速のものを用いてもよい。
（数％）を分岐し、これから和周波光をフィルタ４５で
抽出し、高速光検出器４６に入射して検出し、タイミン
グコントロールを行なう場合を示している。このように
すると、高速光検出器４６の検出出力は、短パルス光と
励起パルス光のピークの時間差△ｔに依存して変化する
ので、出力パワーのコントロールができる。この場合、
検出器には低速のものを用いてもよい。
【００１８】上記のようなタイミングコントロールを行
なうことで、温度によって高出力短パルスＬＤ光源１０
やＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレーザ光源２０の発光タイ
ミングがずれた場合でも、これを所望に補正でき、安定
な動作をさせることができる。また、任意強度の出力を
得ることもでき、例えば励起パルス光の出力が５０％に
なるタイミングに短パルス光を合わせれば、短波長短パ
ルス光を５０％の出力にできる。そして、最大パワーか
らゼロパワーまでの間で、連続的に出力を変更できる。
なうことで、温度によって高出力短パルスＬＤ光源１０
やＬＤ励起ＱスイッチＹＬＦレーザ光源２０の発光タイ
ミングがずれた場合でも、これを所望に補正でき、安定
な動作をさせることができる。また、任意強度の出力を
得ることもでき、例えば励起パルス光の出力が５０％に
なるタイミングに短パルス光を合わせれば、短波長短パ
ルス光を５０％の出力にできる。そして、最大パワーか
らゼロパワーまでの間で、連続的に出力を変更できる。
【００１９】このとき、短パルス光のピークのタイミン
グを、励起パルス光のピークの前に合わせるか後に合わ
せるかによって励起パルス光のエンベロープにもとづ
き、短波長短パルス光の立上がりをシャープにしたり、
立ち下がりシャープにしたりすることが可能になる。励
起パルス光と短パルス光のタイミングをずらせることな
く、短波長短パルス光のパワーを可変とするためには、
２つの光の空間的な重なり具合を変化させればよく、こ
の場合には、立上がりと立ち下がりのシャープさは変化
しない。なお、これらを併用してもよく、このようにす
れば短波長短パルス光の強度可変時の強度比を大きくで
きる。
グを、励起パルス光のピークの前に合わせるか後に合わ
せるかによって励起パルス光のエンベロープにもとづ
き、短波長短パルス光の立上がりをシャープにしたり、
立ち下がりシャープにしたりすることが可能になる。励
起パルス光と短パルス光のタイミングをずらせることな
く、短波長短パルス光のパワーを可変とするためには、
２つの光の空間的な重なり具合を変化させればよく、こ
の場合には、立上がりと立ち下がりのシャープさは変化
しない。なお、これらを併用してもよく、このようにす
れば短波長短パルス光の強度可変時の強度比を大きくで
きる。
【００２０】上記のような強度の調整は、ＮＤフィルタ
などを用いる場合よりも有用である。なぜなら、ＮＤフ
ィルタを用いると分散によってパルス幅が拡がってしま
うが、本発明によれば、このような不利益は生じないか
らである。
などを用いる場合よりも有用である。なぜなら、ＮＤフ
ィルタを用いると分散によってパルス幅が拡がってしま
うが、本発明によれば、このような不利益は生じないか
らである。
【００２１】さらに、本発明によれば、ＳＨＧ（高調
波）を用いる場合に比べて、多種の変換波長を得られ
る。すなわち、ＳＨＧ法によれば、ＬＤ光が９００ｎｍ
なら出力光は４５０ｎｍ、ＬＤ光が８３０ｎｍなら出力
光は４１５ｎｍにしかならないが、本発明によれば、Ｌ
Ｄはそのままでエネルギー注入光源２を別の波長のもの
に変えるか、またはその逆を行なうかして、光源の組み
合わせを変えることで多様な出力波長が得られる。これ
を、図９に示す。ただし、この場合非線形素子５０や光
入射角度を適正にする必要がある。
波）を用いる場合に比べて、多種の変換波長を得られ
る。すなわち、ＳＨＧ法によれば、ＬＤ光が９００ｎｍ
なら出力光は４５０ｎｍ、ＬＤ光が８３０ｎｍなら出力
光は４１５ｎｍにしかならないが、本発明によれば、Ｌ
Ｄはそのままでエネルギー注入光源２を別の波長のもの
に変えるか、またはその逆を行なうかして、光源の組み
合わせを変えることで多様な出力波長が得られる。これ
を、図９に示す。ただし、この場合非線形素子５０や光
入射角度を適正にする必要がある。
【００２２】
【発明の効果】以上の通り、本発明では、励起パルス光
と短パルス光が同期して和周波発生手段に入射され、こ
れによって和周波が発生される。ここで、励起パルス光
と短パルス光のタイミングが一致すると和周波光の出力
は最大となり、タイミングをずらすことで出力を可変に
できる。このため、高効率で強度可変の短波長短パルス
光を得ることのできる小型の短波長短パルス光源が提供
できる。
と短パルス光が同期して和周波発生手段に入射され、こ
れによって和周波が発生される。ここで、励起パルス光
と短パルス光のタイミングが一致すると和周波光の出力
は最大となり、タイミングをずらすことで出力を可変に
できる。このため、高効率で強度可変の短波長短パルス
光を得ることのできる小型の短波長短パルス光源が提供
できる。
【図１】本発明の基本構成を示す図である。
【図２】実施例の基本構成を示す図である。
【図３】実施例の短波長短パルス光の生成原理を示す図
である。
である。
【図４】非線形素子５０への励起パルス光と短パルス光
の入射をしめす図である。
の入射をしめす図である。
【図５】和周波発生手段５の構成を具体的に示した図で
ある。
ある。
【図６】和周波発生手段５の構成の一例と作用を示す図
である。
である。
【図７】和周波発生手段５の構成の一例と作用を示す図
である。
である。
【図８】和周波発生手段５の構成の一例と作用を示す図
である。
である。
【図９】短パルス光源１とエネルギー注入光源２の組み
合わせを示す図表である。
合わせを示す図表である。
１…短パルス光源、１０…高出力短パルスＬＤ光源、２
…エネルギー注入光源、２０…ＬＤ励起ＱスイッチＹＬ
Ｆレーザ光源、３…タイミング同期手段、３０…タイミ
ング同期信号発生回路、３１…高速光検出器、４…光結
合手段、４２…ダイクロイックミラー、５…和周波発生
手段、５０…非線形素子、６…光分岐手段、６０…分光
器
…エネルギー注入光源、２０…ＬＤ励起ＱスイッチＹＬ
Ｆレーザ光源、３…タイミング同期手段、３０…タイミ
ング同期信号発生回路、３１…高速光検出器、４…光結
合手段、４２…ダイクロイックミラー、５…和周波発生
手段、５０…非線形素子、６…光分岐手段、６０…分光
器
Claims (12)
- 【請求項１】 励起パルス光を発生させる第１の光源
と、 前記励起パルス光より短パルス幅の短パルス光を発生さ
せる第２の光源と、 前記第１および第２の光源の発光タイミングを同期させ
る同期手段と、 前記励起パルス光と前記短パルス光を入射することによ
り和周波光を発生させる和周波発生手段と、 を備え、前記和周波光を短波長短パルス光として出力す
るようにした短波長短パルス光源。 - 【請求項２】 前記同期手段が、前記第１もしくは第２
の光源の少なくとも一方の発光タイミングを調整するこ
とにより、前記和周波光の出力を最大とするよう構成さ
れている請求項１記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項３】 前記第１および第２の光源の出力光を結
合させて前記和周波発生手段に入射する光結合手段を更
に備える請求項１記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項４】 前記和周波発生手段の出射光から和周波
光のみを分離して出力する光分岐手段を更に備える請求
項１記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項５】 前記同期手段が、前記和周波発生手段に
入射される前記励起パルス光および前記短パルス光の一
部を受光する検出手段を含み、この検出手段の検出出力
にもとづいて前記第１および第２の光源の少なくとも一
方の発光タイミングを調整するよう構成されている請求
項２記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項６】 前記同期手段が、前記和周波発生手段の
出力光の一部を受光する検出手段を含み、この検出手段
の検出出力にもとづいて前記第１および第２の光源の少
なくとも一方の発光タイミングを調整するよう構成され
ている請求項２記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項７】 前記同期手段が、前記第１もしくは第２
の光源の少なくとも一方の発光タイミングを可変に設定
する手段を含み、前記和周波光の出力を所望のレベルと
するよう構成されている請求項１記載の短波長短パルス
光源。 - 【請求項８】 前記光結合手段が、前記和周波発生手段
における前記励起パルス光と前記短パルス光の空間的な
重なりを可変とするよう構成されている請求項３記載の
短波長短パルス光源。 - 【請求項９】 前記第１の光源が、半導体レーザ励起Ｑ
スイッチ固体レーザからなる請求項１記載の短波長短パ
ルス光源。 - 【請求項１０】 前記第２の光源が、ピコ秒域の短パル
ス光を発生させる半導体レーザからなる請求項１記載の
短波長短パルス光源。 - 【請求項１１】 前記光結合手段がダイクロイックミラ
ーである請求項３記載の短波長短パルス光源。 - 【請求項１２】 前記光分岐手段がダイクロイックミラ
ーである請求項４記載の短波長短パルス光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26474991A JPH05110179A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 短波長短パルス光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26474991A JPH05110179A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 短波長短パルス光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05110179A true JPH05110179A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17407654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26474991A Pending JPH05110179A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 短波長短パルス光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05110179A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1991
- 1991-10-14 JP JP26474991A patent/JPH05110179A/ja active Pending
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