JPH0470314A - トランスファー成形機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、熱硬化性樹脂を使用して半導体素子の樹脂封
止を行うことなどに使用されるトランスファー成形機に
関する。

［従来の技術］ 従来、被成形品としてのＩＣリードフレームの封止部位
を、封止材料としての樹脂にて封止するためのトランス
ファー成形機は上部フレーム、下部フレームが４木のタ
イロッドにより固定支持されるとともに、このタイロッ
ドにはスライドテーブルが設けられており、さらにこの
スライドテーブルは型締装置たるブースターを設けた油
圧シリンダ装置にて昇降自在となっている。前記上部フ
レームに上金型が設けられ、前記スライドテーブルに下
金型が取付けられ、前記スライドテーブルを上昇させる
ことによりＩＣリードフレームを上、下金型にて抑圧状
態とすることができるようになっている。前記金型には
キャビティが形成されており、上金型の中心部にはポッ
トが形成されており、ここにタブレット形状の熱硬化性
樹脂を充填できるようになっている。このキャピテイに
は上部フレームに取付けられているトランスファー装置
たるトランスファーシリンダ装置により昇降自在とした
プランジャが前記樹脂を押圧し、キャビティ内へ注入し
、この後下金型を下降させて、ＩＣリードフレームの樹
脂による封止を完了させるとともに前記加工に伴ってエ
ジェクタビンがキャビティ内に突出されて取出せるよう
になっている。

［発明が解決しようとする課題］ 前述した従来技術においては、金型の型締めを行う型締
装置は大型の油圧シリンダ装置が用いられているため、
比較的多量の作動油の漏れなどが懸念される。特に前記
トランスファー成形機がクリーンルームに設置されたよ
うな場合には、油漏れに起因して製品の劣化などが懸念
される。

さらに、従来技術においては、作動油の温度変化によっ
て離型の際プランジャーとエジェクタビンとの同期調節
や位置決めが難かしいというｍＵもあった。

本発明は前記従来の問題点を解決するもので、油漏れに
よる弊害をなくすことができるとともに、プランジャー
とエジェクタビンとの同期調節などが容易なトランスフ
ァー成形機を提供することを目的とする。

し課題を解決するだめの手段］ この目的を達成するなめに本発明のトランスファー成形
機は、金型の型締装置をトグル装置と、該トグル装置に
直列的に設けられる油圧シリンタ装置により構成したも
のである。

また金型の型締装置をトグル装置と、該トグル装置に並
列的に設けられる空気圧式シリンダ装置と、これらトグ
ル装置および空気圧式シリンダ装置と直列的に設けられ
る曲用式シリンダ装置により構成したものである。

［作　用］ 本発明のトランスファー成形機は、予めトグル装置によ
り金型の型締めを行った後、油圧式シリンダ装置により
さらに型締めを行うものである。また空気Ｈ式シリンダ
装置により支持されなからトグル装置により金型の型締
めを行った後、油圧式シリンダ装置によりさらに型締め
を行うものである。

［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図面を用いて具体的に説明す
る。

これらの図において、上部フレーム１及び下部フレーム
２は４本のタイロッド３により固定支持されている。

下部スライドテーブル４は型締装置たるトグル装置６と
空気圧式シリンダ装置７により昇降自在に設けられてい
る。また上部スライドテーブル５は型締装置たる油圧式
シリンダ装置８により前記下部スライドデープル４に対
して昇降自在に設けられている。前記上部フレーム１に
は上金型９が取ｆｌけられ、また前記上部スライドテー
ブル５には下金型１０が各々取付けられ、該上部スライ
ドテーブル５を上昇させることによりＩＣリードフレー
ム（図示せず）をキャビティ１１内にて押圧することが
できる。前記トグル装置６は、前記下部フレーム２に第
１トグルビン１２を介して一端を連結する第１リンク１
３と、この第１リンク１３の他端に第２トグルピン１４
を介して一端を連結するとともに他端を第３トグルビン
１５を介して下部スライドテーブル４の下面に連結する
第２リンク１６と、前記第１トグルピン１２に継手１７
を介して接続したサーボモータ１８とから構成される。

また前記空気圧式シリンダ装置７は前記下部フレーム２
に固定したシリンダー１９と前記上部スライドテーブル
５の下面に接続したピストンロッド２０とからなる。

また前記油圧式シリンダ装置１１ｆ８は、下部スライド
テーブル４の四方に配設され、これらは下部スライドテ
ーブル４に固定したシリンダ２１とスペーサ２２を介し
て前記上部スライドテーブル５に接続するピストンロッ
ド２３と、前記シリンダ２１に接続した空気圧ブースタ
２４から構成される。

前記上部スライドテーブル５の下部２５には取付部材２
６を介してナツト体２７が回転自在に設けられており、
このナツト体２７にはボールネジ軸２８が螺合されてい
る。前記ボールネジ軸２８の上端は前記上部スライドテ
ーブル５を貫通して下金型１０に形成されたボット２９
内を昇降するプランジャ３０に接続されている。前記ボ
ールネジ軸２８の下端には、該ボールネジ軸２８の回り
止め用ブツシュ３１が装着されている。前記ナツト体２
７の外周にはタイミングベルト３２を介在してサーボモ
ータ３３を操作することにより、ボールネジ軸２８を上
昇させボット２９内の樹脂が前記プランジャ３０によっ
てキャビティ１１内に供給されるように構成されており
、これらによって樹脂（図示せず）をプランジャ３０に
よりキャビティ１１へ移送動作するトランスファー装置
３４が構成される。前記下部および上部スライドテーブ
ル４．５を貫通するエジェクタビン３５が型開き状態に
おいて前記下金型のキャピテイより突出するように設け
られている。

前記のように構成されたトランスファー成形機を用いて
ＩＣチップに樹脂パッケージを被覆するなどのトランス
ファー成形を行う場合には、まず型開き状態において、
下金型１０に樹脂とリードフレームをセットした後、サ
ーボモータ１８を操作して第１リンク１３を反時計方向
廻りに回転すると、該回転に件って第２リンク１６が時
計方向廻りに回転することにより下部スライドテーブル
４が上昇する。該下部スライドデープル４の上昇に伴な
って空気圧式シリンダ装ｒｔ７に圧縮空気を供給し、該
下部スライドテーブル４を前記トグル装置６とともに支
持するようになっている。このようにして上金型９を下
金型１０にタッチした後、空気圧ブースタ２４を操作し
て油圧式シリンダ装ｆ、８により上部スライドテーブル
５を介して一定圧力を加え上金型９と下金型１０の型締
め状態を保持するとともに、サーボモータ３３を回転さ
せてタイミングベルト３２を介してナツト体２７を回転
させることにより、ボールネジ軸２８を上昇させて下金
型１０内の１ランジヤ３０を操作し、ボット２９内で溶
融した樹脂をキャビティ１１内で注入する。このように
してトランスファー成形が行われた後、まず油圧式シリ
ンダ装置８を減圧させて加Ｅ状態が解除され、さらにサ
ーボモータ１８により第１リンク１３を時Ｊ１方向廻り
に回転することにより下部スライドテーブル４、ひいて
は上部スライドテーブル５を降下させると同時に空気圧
式シリンダ装置７のピストン１７ツド２０を下降させて
型開き状態とする。また前記スライドテーブル５の降下
に「トなってエジェクタビン３５が下金型１０のＡへビ
ティ１１に突出し、成形された製品が突き出される。

このようにトタル装置６と油圧式シリンダ装置８によっ
て型締装置を構成することにより、前記油圧式シリンダ
装置８の小型化を図ることができ、作動油の比較的多量
な漏れの虞れはなく、また作動油が歩容量で済むため該
作動油の温攻変化にｆＴう位置決めなどの弊害も−ｔｉ
できるとともに油丸ボングなとの付帯設備も小型化でき
る。また前記トグル装置６により下金型１０の型締め時
の位置決めを容易に行うことかできるとともにプランジ
ャー３０とエジェクタビン３５との同期関節も容易に行
え、製品取出し時のゲート破損などの懸念を解消できる
。

しかも前記トグル装置６と並列的に空気圧式シリンダ装
置７を設けて該空気圧式シリンダ装置７および前記トグ
ル装置６によって下部スライドテーブル４を昇降するよ
うにしたことにより、前記トグル装ＴＬ６を操作するた
めのサーボモータ１８の・小型化を図れるとともに、前
記下部スライドデープル４の昇降を短時間で行うことが
でき、またメンテナンスを簡単にすませることができる
。

尚、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、例
えばトランスファ・−装置を上金型に設けるなど種々の
変形が可能である。

し発明の効果］ 本発明は、金型σ）型開き，型開め動作を行うようにし
た型締装置がトグル装置と、このトグル装置に直列的に
設けられる油圧式シリンダ装置により構成されるため、
該油圧式シリンダ装置の小型化を図ｉｔ、比較的多量の
油漏れなどの虞れはなく、金型の位置決めなどを簡単に
行うことができる。

また本発明は、型締装置がトグル装置と、該トグル装置
に並列的に設けられる空気圧式シリンダ装置と、これら
トグル装置および空気圧式シリンダ装置と直列的に設け
られる油圧式シリンダ装置により構成されることにより
、前記油圧式シリンタ装ｆ７　ｔ）よびトグル装置の小
型化を図れるとともに、型開き，型開めなどをスピード
アンプすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明の一実施例を示しており、第
１図は型開き状態を示す一部切欠き正面図、第２図は型
締め状態を示す一部切欠き側面図、第３図は平断面図で
ある。 ６・・・トグル装置 ７・・・空気圧シリンタ装置 ８・・・油圧シリンダ装置 ９・・・上金型 １０・・・下金型 １１・・・キャビティ ３０・・・プランジャ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）上金型と下金型とからなる金型の前記下金型を上
   下方向へ移動せしめることにより、該金型の型開き，型
   開め動作を行うようにした型締装置と、前記金型内を昇
   降するプランジャによつて前記金型のキャビティ内へ樹
   脂を移送する移送動作を行うトランスファー装置とを具
   備するトランスファー成形機において、前記型締装置が
   トグル装置と、このトグル装置に直列的に設けられる油
   圧式シリンダ装置により構成されることを特徴とするト
   ランスファー成形機。
2. （２）前記型締装置が、トグル装置と、該トグル装置に
   並列的に設けられる空気圧式シリンダ装置と、これらト
   グル機構および空気圧式シリンダ装置と直列的に設けら
   れる油圧式シリンダ装置により構成されることを特徴と
   する請求項１記載のトランスファー成形機。