JPH0462951A - ウエハ移し換え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はウェハ移し換え装置に係わり、特に、ウェハキ
ャリア内に収納されている半導体ウェハを一枚ずつ取り
出して他の場所に移し換える装置に用いて好適なもので
ある。

〈従来の技術〉 周知の通り、半導体装置を製造する場合には、半導体ウ
ェハ（以下単にウェハとする）をウェハキャリア内に入
れて各製造装置間や各製造ライン間を搬送するようにし
ている。そして、上記ウェハキャリアを所定の位置まで
搬送したら、上記ウェハをウェハキャリア内から一枚ず
つ取り出して他の場所に移し換えて次の処理を行うよう
にしている。

第４図は、従来のウェハ移し換え装置における搬送アー
ムの構成を示す斜視図である。

第４図から明らかなように、この搬送アーム１は略十字
形状に形成され、ウェハ（図示せず）と当接してこれを
支持する支持部２がそれぞれのアーム片１ａの先端部に
設けられている。また、搬送アーム１の中心位置にバキ
ューム用開口部３が設けられていて、図示しない真空装
置が動作して上記バキューム用開口部３がら空気が吸引
されるように構成されている。したがって、上記搬送ア
ーム１がウェハキャリア内に差し込まれ、上記バキュー
ム用開口部３がウェハに対向している状態で上記真空装
置が動作すると、上記バキューム用開口部３にウェハが
吸着される。このようにして、ウェハを搬送アーム１上
に吸着したら、上記搬送アーム１をウェハキャリアから
引き出し、そこに吸着しているウェハを所定の位置に移
し換える。

そして、−枚目のウェハの移し換えが終わったら、第５
図の移送状態を説明するための斜視図において矢印で示
すように、ウェハキャリア５が載置されているキャリア
エレベータ４をウェハ６が収納されているピッチに対応
する距離だけ上動または下動させる。これにより、上記
搬送アーム１が二枚口のウェハ６のすぐ真下に移動して
上記真空装置による吸着が可能になるので、上記二枚口
のウェハ６を上記搬送アーム１上に真空吸着させてウェ
ハキャリア５から引き出し、所定の位置に移し換える。

このような動作を繰り返し行うことにより上記ウェハキ
ャリア５内に収納されているウェハ６を所定の位置に移
し換えるようにしている。

〈発明が解決しようとする課題〉 しかしながら、上記の従来の装置の場合には、上記キャ
リアエレベータ４を予め設定しである一定のピッチで上
下動させているので、上記ウェハ６を上記搬送アーム１
に必ずしも真空吸着させることが出来ないことがある。

すなわち、例えば上記ウェハキャリア５が歪んでいると
、上記ウェハキャリア５内に収納されている各ウェハ６
は上記キャリアエレベータ４に対して平行に載置されな
くなる。このため、この場合には当然のことながら、上
記ウェハ６と上記搬送アーム１とは所定の間隔で平行に
対向しなくなるので、上記真空吸引によって上記エバ６
を上記搬送アーム１上に吸着することが出来なくなる不
都合が生じる。この結果、従来はウェハキャリア５が歪
んでいると、ウェハ６を搬送アームｌによりウェハキャ
リア５から引き出して所定の位置に移し換えることが出
来なかった。

本発明は上述の問題点に鑑み、ウェハキャリアが歪んで
いるためにその内部に収納されているウェハがキャリア
エレベータの上面に対して平行に載置されていなくても
、上記ウェハと搬送アームとを所定の間隔を存して平行
に対向させることが出来るようにすることを目的とする
。

〈課題を解決するための手段〉 本発明のウェハ移し換え装置は、ウェハキャリア内に収
納されているウェハを一枚ずつ取り出して他の場所に移
し換えるウェハ移し換え装置において、上記ウェハを取
り出すために上記ウェハキャリア内に進入する搬送アー
ムと、上記ウェハと上記搬送アームとの平行状態を検出
するために、少なくとも上記搬送アーム上の三箇所に取
り付けられた平行検出用センサと、上記ウェハキャリア
を下方から三点支持するために上記ウェハキャリアが載
置される移し換え装置本体内の三箇所に設けられ、上記
ウェハキャリアを支持する高さを各点において調整する
平行調整機構とを具備している。

〈作用〉 ウェハキャリア内に収納されている各ウェハに搬送アー
ムを接近させる際には、上記搬送アーム上に設けられた
センサの出力に基づいて平行調整機構を動作させ、上記
ウェハと上記搬送アームとを所定間隔で平行に対向させ
る。これにより、上記ウェハキャリアが歪んでいること
等により、上記ウェハがキャリアエレベータ上に平行に
載置されていない場合でも、上記搬送アームに設けられ
ているバキューム用開口部と上記ウェハとを、予め設定
した所定の相対位置にして対向させることが可能となる
。

〈実施例〉 第１図は、本発明のウェハ移し換え装置の一実施例を示
す搬送アーム１の斜視図、第２図はキャリアエレベータ
４の斜視図である。

第１図から明らかなように、実施例のウェハ移し換え装
置は、搬送アーム１に設けられている三箇所の支持部２
のそれぞれに、第１〜第３のセンサ８ａ、８ｂ、８ｃが
それぞれ配設されている。

これらのセンサ８ａ〜８ｃは、ウェハキャリア５内に収
納されているウェハ６に搬送アーム１を接近させたとき
に、各支持部２とウェハ６との間隔を検出するために配
設されているもので、搬送アーム１とウェハ６とを所定
の間隔で平行に対向させることを可能にするものである
。このような目的で用いられる平行度センサ８ａ〜８ｃ
としては、例えば赤外線を検出光として使用する反射型
光センサを用いることが出来る。

一方、第２図に示すように、キャリアエレベータ４の上
面４ａの三箇所に設けられているガイド９のすぐ内側に
支持ピン１０を突出させている。

これらの支持ピン１０はキャリアエレベータ４を支持す
るために設けられているもので、各支持ピン１０はキャ
リアエレベータ４の内部を説明するための第３図に示す
ように、第１〜第３の微調整用モータｌｌａ、ｌｌｂ、
ｌｌｃの動作により図中上下方向に移動するようになさ
れている。

そして、本実施例では、第１のセンサ８ａの検出出力で
第１の微調整用モータｌｌａの動作を制御するとともに
、第２のセンサ８ｂの出力で第２の微調整用モータｌｌ
ｂの動作を制御する。また、第３のセンサ８ｃの検出出
力で第３の微調整用モータｌｌｃの動作を制御し、ウェ
ハキャリア５内に収納されているウェハ６の平行状態を
微調整するようにしている。

次に、このように構成された実施例のウェハ移し換え装
置の動作を説明する。

ウェハ６が収納されたウェハキャリア５がキャリアエレ
ベータ４上に載置されると粗調整用モータ１２が動作し
、例えばキャリアエレベータ４を下動させる。この下動
は、ウェハキャリア５内に挿入されている搬送アーム１
上に設けられているセンサ８ａ〜８ｃのいずれか一つが
、ウェハ６に対して所定の距離に接近するまで行われる
。

そして、成るセンサ、すなわち成る支持部２とウェハ６
とが所定の距離まで接近すると、そのセンサから接近検
出出力が導出される。この接近検出出力が図示しないコ
ントローラに与えられと、コントローラの制御により粗
調整用モータ１２の動作が停止される。

粗調整用モータ１２の動作が停止されると、次に、微調
整用モータｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｌｃの内、未だウェハ６
に対して所定の位置まで接近していないセンサに対応す
る微調整用モータが動作する。

すなわち、例えば第１のセンサ８ａがウェハ６に対して
所定の距離まで接近していて、第２および第３のセンサ
８ｂ、８ｃが未だウェハ６に対して所定の距離まで接近
していないとする。この場合、第２および第３のセンサ
８ｂ、８ｃに対応する第２の微調整用モータｌｌｂおよ
び第３の微調整用モータｌｌｃが動作し、これらのモー
タ８ｂ。

８ｃに対応する支持ピン１ｏを下方に下げる。これによ
り、ウェハキャリア５の支持状態が変わり、第２および
第３のセンサ８ｂ、８ｃとウェハ６とが近づく。そして
、これらの間隔が所定の距離まで接近すると、各センサ
８ｂ、８ｃがら接近検出出力が導出され、それに対応す
る微調整用モータ１１ｂ、ｌｌｃの動作が停止する。

このようにして微調整が行われることにより、搬送アー
ム１上の三点がウェハ６に対して所定の距離になると、
ウェハ６と搬送アーム１とが予め設定されている距離を
開けて平行に対向する。次に、真空装置を動作させてバ
キューム用開口部３から吸引を開始し、ウェハ６を搬送
アーム１上に吸着する。この場合、搬送アームｌをウェ
ハ６に対して所定の間隔で平行に対向させているので、
ウェハ６を容易にかつ確実に搬送アーム１上に吸着させ
ることができる。したがって、実施例のウェハ移し換え
装置によれば、例えばウェハキャリア５が歪んでいるた
めにウェハ６がキャリアエレベータ４上に平行に載置さ
れていない場合でも、ウェハ６と搬送アーム１とを所定
の距離で平行に対向させることが出来る。このため、移
し換えするウェハ６が収納されているウェハキャリア５
が歪んでいても安定した真空吸着を行うことが出来、ウ
ェハキャリア５の歪みによる不都合を確実に防止するこ
とが出来る。

〈発明の効果〉 本発明は上述したように、搬送アーム上の三箇所に接近
検出センサを設け、上記搬送アームをウェハキャリア内
に収納されている各ウェハに接近させる際には、上記セ
ンサの出力に基づいて平行調整機構を動作させ、上記ウ
ェハと上記搬送アームとを所定間隔で平行に対向させる
ようにしたので、上記ウェハキャリアが歪んでいること
等により、その内部に収納されているウェハがキャリア
エレベータ上に平行に載置されない場合でも、上記搬送
アームに設けられているバキューム用開口部と上記ウェ
ハとの相対位置が、予め設定したある所定の相対位置と
なるようにすることが出来る。

したがって、ウェハキャリアが歪んでいる場合でも、そ
の内部に収納されているウェハを上記搬送アーム上に確
実に吸着させることが出来、ウェハの移し換え動作を安
定化させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の装置実施例を示す搬送アームの斜視
図、 第２図は、キャリアエレベータの斜視図、第３図は、キ
ャリアエレベータの内部説明図、第４図は、従来技術を
示す搬送アームの斜視図、第５図は、従来のウェハ移し
換え装置の主要部の構成を示す斜視図である。 １・・・搬送アーム、　　２・・・支持部。 ３・・・バキューム用開口部。 ４・・・キャリアエレベータ。 ５・・・ウェハキャリア。 ６・・・ウェハ。 ８ａ〜８ｃ・・・平行度検出用センサ １０・・・支持ビン。 １１ａ〜ｌｌｃ・・・微調整用モータ。 特許出願人　　沖電気工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　ウェハキャリア内に収納されているウェハを一枚ずつ
   取り出して他の場所に移し換えるウェハ移し換え装置に
   おいて、 上記ウェハを取り出すために上記ウェハキャリア内に進
   入する搬送アームと、 上記ウェハと上記搬送アームとの平行状態を検出するた
   めに、少なくとも上記搬送アーム上の三箇所に取り付け
   られた平行検出用センサと、上記ウェハキャリアを下方
   から三点支持するために上記ウェハキャリアが載置され
   る移し換え装置本体内の三箇所に設けられ、上記ウェハ
   キャリアを支持する高さを各点において調整する平行度
   調整機構とを具備することを特徴とするウェハ移し換え
   装置。