JPH0442837A - 熱線遮蔽ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野〕 本発明は、高い可視光線透過率を有し、単板で使用でき
る耐久性をそなえた熱線遮蔽ガラス、とりわけ透過光及
び反射光による色調がニュートラルで、自動車の窓ガラ
スとして好適に使用され得る熱線遮蔽ガラスに関する。

［従来の技術］ 近年、自動車の窓ガラスの面積は増大してきており、そ
れにともなって窓ガラスを通して多くの太陽輻射エネル
ギが室内に流入するようになってきている。このため自
動車の車内の温度上昇をおさえるために、熱線遮蔽性の
被膜が被覆されたガラスが用いられてきている。また、
自動車の安全性を確保する上でフロントガラスやリアガ
ラスは、可視光線透過率が７０％以上であることが法律
で義務づけられている。これらの要求を満足するととも
に、さらに自動車の重量を増加させないためには、熱線
遮蔽膜としては、複層ガラスや合わせガラスにする必要
がなく、単板で使用し得る耐久性を有することが、熱線
遮蔽膜に要求される。このような要求を満たす目的でつ
くられた熱線遮蔽ガラスとしては、特開平１−３１４１
６３号や特開平２−９０１号に開示されているような、
透明基体の上に金属の窒化物からなる熱線吸収膜を被覆
し、その上にチタンあるいはジルコニウムなどの金属と
ホウ素またはシリコンのうち少なくとも１種と酸素とか
らなる保護膜を被覆した熱線遮蔽ガラスが知られている
。

［発明が解決しようとする課題］ しかしながら上記した従来の技術では、ガラスとりわけ
ソーダライムシリカ組成のような酸化物系のガラスの表
面に被覆された熱線遮蔽膜は、金属の窒化物からなって
いるのでガラスに対する密着性が良好でなく、被覆され
た膜の密着力が必ずしも十分でないという欠点がある。

さらに、ＡＭ。

ＦＭなどの受信用アンテナをガラスに設けて自動車の窓
ガラスとして使用するときには、金属の窒化物からなる
導電性の熱線吸収膜が、電波を減衰させ受信感度を低下
させるという問題が生じる。

本発明の目的は、高い可視光線透過率を有し、かつ、単
板で使用できる耐久性をもつとともに、上記した問題点
が改善された熱線遮蔽ガラスを提供することである。

［課題を解決するための手段］ 本発明の第１は、透明ガラス基体の上に第１層として、
ＴＩ、Ｚｒ、Ｈｆ、　　Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれ
た１種の金属と窒素と酸素とからなる熱線吸収膜が被覆
され、前記第１層の上に第２層として、Ｔａ、Ｚｒ、Ｓ
ｎの金属群から選ばれた１種と酸素と窒素とからなる透
明保護膜が被覆された熱線遮蔽ガラスである。

本発明にかかる熱線吸収膜はＴＩ、　　Ｚｒ、　　Ｈｆ
。

Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれた１種の金属と窒素と酸
素とからなる。そして膜中の窒素と酸素の割合は、熱線
遮蔽性能を大きく低下させることなく、かつ、ガラス基
体との密着性が向上するように定められる。すなわち膜
中の窒素と酸素との割合は、熱線遮蔽性能をより太き（
するには窒素を多（含むように定められ、ガラス基体と
の密着性を大きくするためには酸素を多く含むように定
められる。被膜中の窒素と酸素の割合は、化学分析によ
っては正確に定めにくいので被膜の電気特性により定め
ることができる。被膜中の窒素が多いと、すなわち金属
の窒化物に近（なると被膜はより導電性になり、被膜中
の酸素が多く、すなわち金属の酸化物に近くなるとより
電気絶縁性になる。

すなわち被膜の電気絶縁性は、膜中の酸素／窒素の比率
が増加すると、単調に増加する。

本発明の熱線遮蔽膜は、第１層の熱線吸収膜および第２
層の透明保護膜の厚みを適当に遺ふことにより、可視光
線透過率を高（し、熱線遮蔽性を良好に保ち、かつ外観
の色調をニュートラル色調にすることができる。熱線遮
幣性を良好に保つためには、第１層の熱線吸収膜の厚み
は、上記した電気的特性を考慮して定められるが、２ｎ
ｍ以上が好ましく、可視光線透過率を低下させないため
には２０ｎｍ以下が好ましく、とりわけ５〜１５ｎｍが
最も好ましい。また第２層の透明保護膜の厚みは、第１
層の熱線吸収膜を保護するためには５ｎｍ以上であるこ
とが好ましく、また光の干渉により反射色が濃くならな
いようにするためには５０ｎｍを越えないことが好まし
く、とりわけ８〜３０ｎｍが最も好ましい。

本発明にかかる透明保護膜は、　　Ｔａ、　　Ｚｒ、　
　Ｓｎの金属群から選ばれた１種と酸素と窒素とからな
る。そして透明保護膜は、可視光線のほぼ全域にわたっ
て実質上透明になるように、かつ、第１層の熱線吸収膜
との密着性が太き（なるように膜中に酸素が含有される
。このとき透明保護膜の電気絶縁性については、アンテ
ナの受信感度が低下しない程度の大きさが確保される。

また透明保護膜の屈折率は２．２以下であることが好ま
しい。

本発明においては、第１層の熱線吸収膜の面積抵抗を１
００にΩ／平方以上になるように膜中の酸素を含有させ
ることは、ガラスとの密着性を確保する上で好ましく、
ＩＭΩ／平方以上にするこは、さらに好ましい。また、
アンテナ線条をガラスの外表面または内表面に設けてア
ンテナ付き窓ガラスとするに際しては、アンテナの受信
感度を低下させないためには、熱線吸収膜の面積抵抗は
、１００にΩ／平方以上にすることが好ましく、ＩＭΩ
／平方以上にすることは、さらに好ましい。

本発明の第１層および第２層の被覆方法は、スパッタリ
ング法、真空蒸着法、イオンブレーティング法、アーク
蒸着法などの方法を用いることができる。とりわけ大き
な面積のガラス基体に被膜を被覆するには、スパッタリ
ング法が好ましく用いられる。スパッタリング法を用い
る場合、熱線吸収膜を被覆する具体的な方法としては、
たとえばＴＩ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｒ、Ｔａをそれぞれター
ゲットとして窒素と酸素とを含む雰囲気で行う反応性ス
パッタリングの方法を用いることができる。

また透明保護膜の被覆についても前記した熱線吸収膜と
同様に窒素と酸素とを含む雰囲気で行う反応性スパッタ
リングの方法を用いることができる。

熱線吸収膜および透明保護膜とも、膜中の窒素と酸素の
含有比率は、膜を被覆するときの雰囲気のガスの組成を
適当に選ぶことにより定められる。

雰囲気ガスの組成は、上記した被膜の被覆方法や被覆速
度などにより異なり、一義的に定まらない。

また本発明の熱線遮蔽膜を上記した方法で被覆するにあ
たっては、ひとつの減圧された真空槽に熱線吸収膜およ
び透明保護膜を被覆するための蒸発源を設置すれば雰囲
気ガスの組成を変更するだけで２層を真空を破ることな
くが連続して被覆できる。

本発明の第２は、透明ガラス基体の上に第１層として、
ＴＩ、Ｚｒ、Ｈｆ、　　Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれ
た１種の金属と窒素と酸素とからなる熱線吸収膜が被覆
され、前記第１層の上に第２層として、Ｔａ、Ｚｒ、Ｓ
ｎの元素の群から選ばれた１種とンリコンと酸素と窒素
とからなる透明保護膜が被覆された熱線遮蔽ガラスであ
る。

本発明にかかる熱線吸収膜はＴＩ、　　Ｚｒ、　　Ｈｆ
。

Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれた１種の金属と窒素と酸
素とからなる。そして膜中の窒素と酸素の割合は、熱線
遮蔽性能を大きく低下させることなく、かつ、ガラス基
体との密着性が向上するように定められる。すなわち膜
中の窒素と酸素との割合は、熱線遮蔽性能を大きくする
には窒素を多（含むように定められ、ガラス基体との密
着性を大きくするには酸素を多く含むように定めること
ができる。被膜中の窒素と酸素の割合は、化学分析によ
っては正確に定めにくいので被膜の電気特性により定め
ることができる。被膜中の窒素が多いと、すなわち金属
の窒化物に近くなると被膜は導電性になり、被膜中の酸
素が多く、すなわち金属の酸化物に近くなると電気絶縁
性になる。被膜の電気絶縁性は、膜中の酸素／窒素の比
率が増加すると、単調に増加する。

本発明の熱線遮蔽ガラスは、本発明の第１と同様に、第
１層の熱線吸収膜および第２層の透明保護膜の厚みを適
当に選ぶことにより、可視光線透過率を高くし熱線遮蔽
性を良好に保ち、かつ、外観の色調をニュートラルな色
調にすることができる。熱線遮蔽性を良好に保つために
は、第１層の熱線吸収膜の厚みは、上記した電気的特性
を考慮して定められ、２層ｍ以上が好ましく、可視光線
透過率を低下させないためには２０ｎｍ以下が好ましく
、とりわけ５〜１５ｎｍが最も好ましい。

また第２層の透明保護膜の厚みは、第１層の熱線吸収膜
を保護するためにはＳｎｍ以上であることが好ましく、
また光の干渉により反射色が濃くならないようにするた
めには５０ｎｍを越えないことが好ましく、とりわけ８
〜３０ｎｍが最も好ましい。

本発明においても、第１層の熱線吸収膜の面積抵抗は、
ガラス基板との密着性を確保する上で１００にΩ／平方
以上になるように膜中の酸素を含有させるのが好ましく
、１ＭΩ／平方以上にするのが、さらに好ましい。また
、アンテナ線条をガラスの外表面または内表面に設けて
アンテナ付き窓ガラスとするに際しては、アンテナの利
得を低下させないためには、熱線吸収膜の面積抵抗は、
１００にΩ／平方以上にすることが好ましく、１ＭΩ／
平方以上にするのが、さらに好ましい。

本発明の第２の、透明保護膜は、Ｔａ、Ｚｒ。

Ｓｎの金属群から選ばれた１種とシリコンと酸素と窒素
とからなる。そして透明保護膜は、可視光線のほぼ全域
にわたって実質上透明になるように、かつ、第１層との
密着性が確保されるように膜中に酸素が含有される。ま
た透明保護膜の屈折率は２．２以下になるようにするの
が好ましい。

本発明の熱線吸収膜および透明保護膜は、スパッタリン
グ法、真空蒸着法、イオンブレーティング法、アーク蒸
着法などの方法を用いることができる。とりわけ大きな
面積のガラス基体に被膜を被覆するには、スパッタリン
グ法が好ましく用いられる。スパッタリング法を用いる
場合、熱線吸収膜を被覆する具体的な方法としては、本
発明の第１と同じようにＴＩ、　　Ｚｒ、　　Ｈｆ、　
　Ｃｒ、　　Ｔａをそれぞれターゲットとして窒素と酸
素とを含む雰囲気で行う反応性スパッタリングの方法を
用いることができる。

また透明保護膜の被覆は、たとえばチタニウムシリサイ
ド、ジルコニウムシリサイド、ハフニウムシリサイド、
クロムシリサイド、タンタルシリサイドをそれぞれター
ゲットとして、酸素と窒素を含む雰囲気内でおこなう反
応性スパッタリング法を用いることができる。熱線吸収
膜の窒素と酸素の含有比率および透明保護膜の窒素と酸
素の含有比率は、膜を被覆するときの雰囲気のガスの組
成を適当に選ぶことにより定められる。ガスの組成は、
上記した被膜の被覆方法や被覆速度などにより異なり一
義的には定まらない。また本発明の熱線遮蔽膜を上記し
た方法で被覆するにあたっては、ひとつの減圧された真
空槽に熱線吸収膜および透明保護膜を被覆するための蒸
発源を設置すれば、雰囲気ガスの組成を変更するだけで
２層を真空を破ることなく連続して被覆できる。

本発明の第３は、透明ガラス基体の上に第１層として、
ＴＩ、Ｚｒ、Ｈｆ、Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれたひ
とつの金属と窒素と酸素とからなる熱線吸収膜が被覆さ
れ、前記第１層の上に第２層として、Ｔａ、　　Ｚｒ、
Ｓｎの元素の群から選ばれた１種とホウ素と酸素と窒素
とからなる透明保護膜が被覆された熱線遮蔽ガラスであ
る。

本発明にかかる熱線吸収膜は、ＴＩ、Ｚｒ。

Ｈｆ、　　Ｃｒ、Ｔａの金属群から選ばれた１種の金属
と窒素と酸素とからなる。そして膜中の窒素と酸素の割
合は、本発明の第１と同じように熱線遮蔽性能を大きく
低下させることなく、かつ、ガラス基体との密着性が向
上するように定められる。

すなわち膜中の窒素と酸素との割合は、熱線遮蔽性能を
大きくするには窒素を多く含むように定められ、ガラス
基体との密着性を大きくするには酸素を多く含むように
定めることができる。被膜中の窒素と酸素の割合は、化
学分析によっては正確に定めにくいので被膜の電気特性
により定めることができる。被膜中の窒素が多いと、す
なわち金属の窒化物に近くなると被膜は導電性になり、
被膜中の酸素が多く、すなわち金属の酸化物に近くなる
と電気絶縁性になる。すなわち被膜の電気絶縁性は、膜
中の酸素／窒素の比率が増加すると、単調に増加する。

本発明の熱線遮蔽ガラスは、第１層の熱線吸収膜および
第２層の透明保護膜の厚みを適当に選ぶことにより、可
視光線透過率を高くし、熱線遮蔽性を良好に保ち、かつ
、外観の色調をニュートラルな色調にすることができる
。熱線遮蔽性を良好に保つためには、第１層の熱線吸収
膜の厚みは、上記した電気的特性を考慮して定められ、
２ｎｍ以上が好ましく、可視光線透過率を低下させない
ためには２０ｎｍ以下が好ましい。とりわけ５〜１Ｓｎ
ｍが最も好ましい。また第２層の透明保護膜の厚みは、
第１層の熱線吸収膜を保護するためにはＳｎｍ以上であ
ることが好ましく、また光の干渉により反射色が濃くな
らないようにするためには５０ｎｍを越えないことが好
ましく、とりわけ８〜３０ｎｍが最も好ましい。

本発明の透明保護膜は、Ｔａ、Ｚｒ、Ｓｎの元素の群か
ら選ばれた１種とホウ素と酸素と窒素とからなる。そし
て透明保護膜は、可視光線のほぼ全域にわたって実質上
透明になるように酸素が含有される。そして屈折率が２
．２以下になるようにするのが好ましい。

本発明においては、第１層の熱線吸収膜の面積抵抗は、
ガラスとの密着性を確保する上で１００にΩ／平方以上
とするのが好ましく、ＩＭΩ／平方以上にすることが、
さらに好ましい。また、アンテナ線条をガラスの外表面
または内表面に設けたアンテナ付き窓ガラスとするに際
しては、アンテナの利得を低下させないためには、熱線
吸収膜の面積抵抗は１００にΩ／平方以上にすることが
好ましく、ＩＭΩ／平方以上にするのが、さらに好まし
い。

本発明の熱線吸収膜および透明保護膜は、本発明の第１
と同じようにスパッタリング法、真空蒸着法、イオンブ
レーティング法、アーク蒸着法などの方法を用いること
ができる。とりわけ大きな面積のガラス基体に被膜を被
覆するには、スパッタリング法が好ましく用いられる。

スパッタリング法を用いる場合、熱線吸収膜を被覆する
具体的な方法としては、たとえばＴｉ、　　Ｚｒ、Ｈｆ
、　　Ｃｒ、Ｔａをそれぞれターゲットとして窒素と酸
素とを含む雰囲気でおこなう反応性スパッタリングの方
法を用いることができる。また透明保護膜の被覆をスパ
ッタリングでおこなう場合は、たとえばホウ化タンタル
、ホウ化ジルコニウム、ホウ化銀をターゲットとして酸
素と窒素とを含む雰囲気で行う反応性スパッタリング法
を用いることができる。

本発明の第１、第２、第３のいずれについても、第１層
および第２層の厚みを上記した範囲内で適当に選ぶこと
により、可視光線透過率が７０％以上の窓ガラスとして
明るい熱線遮蔽ガラスとすることができる。

本発明の第１、第２、第３は、いずれの透明保護膜も非
晶質であるため耐摩耗性が良好で、かつ、酸やアルカリ
に対して強いので、膜が直接外気に触れる状態で用いる
のに適している。これらの膜は必ずしも完全に透明であ
る必要はなく、透明性が大きく低下しない範囲で酸素欠
陥に基づく光の吸収があってもよい。

また、本発明の第１、第２、第３に用いられるガラス基
体としてはとくに限定されるものではなく、無機ガラス
やアクリル樹脂、ポリカーボネイト樹脂などの有機ガラ
スを用いることができるが、熱線吸収膜とガラス基体と
の密着力を十分確保する上では無機ガラスがより好まし
い。その中でも大きな面積のガラス基体を安価に得られ
、また熱線遮蔽ガラスとして耐久性が確保できる観点か
ら、ソーダライムシリカ組成のフロートガラスが好んで
用いられる。

本発明の第１、第２、第３において、色調がニュートラ
ルであるとは、色調をＣＩＨの色表示系で表わし、ガラ
ス基体表面に熱線吸収膜と透明保護膜を被覆した前と後
のＸ座標、Ｘ座標の変化屋を△Ｘ、△ｙとするとき、透
過光で△Ｘ、△ｙがともに０．０１０以下であり、反射
光で△ｘ１　　△ｙがともに０．０２５以下であること
をいう。

さらに本発明の熱線遮蔽ガラスは、透明ガラス基体と熱
線吸収膜との間に、あるいは透明保護膜の上に、あるい
は膜が被覆されないガラスの表面にアンテナ線条を設け
たアンテナ付き熱線遮蔽ガラスとし、車両用の窓ガラス
とする場合は、熱線遮蔽膜を構成する被膜の電気抵抗が
大きいので、熱線遮蔽膜がアンテナの受信特性を低下さ
せないという特徴を有する。

［作用］ 本発明の第１層の、金属と窒素と酸素とからなる熱線吸
収膜は、可視光線を透過し、かつ太陽輻射エネルギを遮
蔽する。そしてこの熱線吸収膜には酸素が含まれている
ので、ガラス基体との密着性がよい。

第２層の非晶質の透明保護膜は、酸やアルカリに対して
劣化しにくく、かつ、耐摩耗性が大きいので、第１層の
熱線吸収膜を外部からの化学的な侵食や機械的なスクラ
ッチおよび摩耗から保護する。第１層の熱線吸収膜と第
２層の透明保護膜は、膜の厚みが調整されることにより
、光の干渉作用により高い可視光線透過率を呈するとと
もに、反射光や透過光による色調を二１−トラルにする
。

また、第１層の熱線吸収膜と同様に、膜中に窒素と酸素
とが含まれているので、第１層との密着性がよい。

さらに本発明にかかる熱線吸収膜は、膜中に酸素が含ま
れることにより電気抵抗が大きくなっているので、アン
テナ線条をガラス基体と熱線吸収膜との間、あるいは透
明保護膜の上、あるいは膜を被覆しない側のガラス基体
表面に設けたアンテナ付き熱線遮蔽ガラスとして用いる
ときには、アンテナの受信感度は熱線遮蔽膜により低下
しない。

［実施例］ 本発明を実施例に基づいて以下に説明する。第１図は、
本発明の熱線遮蔽ガラスの一部断面図て、透明ガラス基
体ｌの上に、熱線吸収膜２および透明保護膜３が順次形
成されている。第２図は、本発明のアンテナ線条付きガ
ラスの一実施例の説明図で、第２図（ａ）は、アンテナ
線条４が透明ガラス基体１と熱線吸収膜２との間に設け
られ、アンテナ線条の露出部分からリード線が引き出さ
れる。第２図（ｂ）は、アンテナ線条４が自動車用窓ガ
ラス５の下部に設けられている状態を示している。

実施例１ ２つのカソードをそなえた直流マグネトロンスパッタ装
置にターゲットとしてジルコニウムと錫をセットした。

表面を清浄にした３、５　ｍｍ厚のブロンズ系着色ガラ
ス（日本板硝子製商品名セーフティーブロンズ、日射透
過率７１．９％）からなる、熱線遮蔽膜評価用のガラス
板およびＡＭ及びＦＭ用のプリントアンテナ付き自動車
用リアウィンドウカラスを真空槽内の基板ホルダにセッ
トした。

プリントアンテナは公知の方法により銀を主成分とする
ペーストをスクリーン印刷によってガラス面に形成した
。真空ポンプで６．６５Ｘ１０−牛Ｐａ（パスカル）以
下の圧力とし、その後体積比でアルゴン：酸素：窒素＋
１００：　　５：　　１６０の混合ガスを真空槽内に導
入して０．４Ｐａの圧力とした。

ジルコニウムターゲットに５０Ａのカソード電流を流し
、所定時間スパッタリングをおこなって８ｎｍのジルコ
ニウムと窒素と酸素とからなる熱線吸収膜を被覆した。

次に、混合ガスの組成をアルゴン：酸素：窒素＝ｌＯ：
　　５０：　　５にして真空槽内の圧力を０．４Ｐａに
した。錫のターゲットに１５Ａのカソード電流を所定時
間流し、１０ｎｍの厚みの錫と酸素と窒素とからなる透
明保護膜を熱線吸収膜の上に被覆した。得られたガラス
板サンプルｌおよびリアウィンドウサンプル１を装置か
ら取り出した。サンプル１の光学特性および電気特性を
測定した。その結果を第１表に示す。

また、このガラス板サンプル１のテーパー摩耗試験によ
る熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる耐薬
品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。その
結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウサンプル１について、ＡＭ及びＦ
Ｍ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その結果
を第３表に示す。

実施例２ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してクロムとジルコニウムをセットした。

表面を清浄にした３、５ｍｍ厚のブロンズ系着色ガラス
（日本板硝子株式会社製商品名セーフティーブロンズ）
からなる、熱線遮蔽膜評価用のガラス板およびＡＭ及び
ＦＭ用のプリントアンテナ付き自動車用リアウィンドウ
ガラスを真空槽内の基板ホルダにセットした。プリント
アンテナは公知の方法により銀を主成分とするペースト
をスクリーン印刷によってガラス面に形成した。真空ポ
ンプで６．６５ｘｌＯ−牛Ｐａ（パスカル）以下の圧力
とし、その後体積比でアルゴン：酸素：窒素＝１０：３
：２０の混合ガスを真空槽内に導入して０．４Ｐａの圧
力とした。クロムターゲットにＩＯＡのカソード電流を
流し、所定時間スパッタリングをおこなって、５ｎｍの
クロムと窒素と酸素とからなる熱線吸収膜を被覆した。

次に、混合ガスの組成を体積比でアルゴン：酸素：窒素
＝１０：４０；５にして真空槽内の圧力を０．４Ｐａに
した。ジルコニウムターゲットに７ＯＡのカソード電流
を所定時間流し、１０ｎｍの厚みのジルコニウムと酸素
と窒素とからなる透明保護膜を熱線吸収膜の上に被覆し
た。得られたガラス板サンプル２およびリアウィンドウ
サンプル２を装置から取り出した。サンプル２の光学特
性および電気特性を測定した。その結果を第１表に示す
。

また、このガラス板サンプル２のテーパー摩耗試験によ
る熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる耐薬
品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。その
結果を第２表に示す。

第 ２）数値は試験前後の光学特性の差で、表 （試験後の値） （試験前の値）で表わす。

さらにリアウィンドウサンプル２について、ＡＭ及びＦ
Ｍ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その結果
を第３表に示す。

実施例３ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してジルコニウムとタンタルをセットした。表面を清浄
にした３、５ｍｍ厚のブロンズ系着色ガラス（日本板硝
子株式会社製商品名セーフティーブロンズ）からなる、
熱線遮蔽膜評価用のガラス板およびＡＭ及びＦＭ用のプ
リントアンテナ付き自動車用リアウィンドウガラスを真
空槽内の基板ホルダにセットした。プリントアンテナは
公知の方法により銀を主成分とするペーストをスクリー
ン印刷によってガラス面に形成した。真空ポンプで６．
６５Ｘ１０−牛Ｐａ（パスカル）以下の圧力とし、その
後体積比でアルゴン：酸素：窒素＝１００：　　５：　
　１６０の混合ガスを真空槽内に導入して０．４Ｐａの
圧力とした。ジルコニウムターケ・ノドに５ＯＡのカソ
ード電流を流し、所定時間スパッタリングをおこなって
８ｎｍのジルコニウムと窒素と酸素とからなる熱線吸収
膜を被覆した。

次に、混合ガスの組成をアルゴン：酸素：窒素＝ＩＱ：
　　４０：　　５にして真空槽内の圧力を０．４Ｐａに
した。タンタルターゲットに７ＯＡのカソード電流を所
定時間流し、８ｎｍの厚みのタンタルと酸素と窒素とか
らなる透明保護膜を熱線吸収膜の上に被覆した。得られ
たガラス板サンプル３およびリアウィンドウサンプル３
を装置から取り出した。サンプル３の光学特性および電
気特性を測定した。その結果を第１表に示す。

また、このガラス板サンプル３のテーパー摩耗試験によ
る熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる耐薬
品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。その
結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウサンプル３について、ＡＭ及びＦ
Ｍ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その結果
を第３表に示す。

実施例４ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してチタニウムとタンタルシリサイド第 表 （ＴａＳＩ）をセットした。表面を清浄にした３、５ｍ
ｍ厚のブロンズ系着色ガラス（日本板硝子株式会社製商
品名セーフティーブロンズ）からなる、熱線遮蔽膜評価
用のガラス板およびＡＭ及びＦＭ用のプリントアンテナ
付き自動車用リアウィンドウガラスを真空槽内の基板ホ
ルダにセットした。

プリントアンテナは公知の方法により銀を主成分とする
ペーストをスクリーン印刷によってガラス面に形成した
。真空ポンプで６．６５ｘｌＯ−’Ｐａ（パスカル）以
下の圧力とし、その後体積比でアルゴン：酸素二窒素＝
１０：　　１：　　２１の混合ガスを真空槽内に導入し
て０．４　Ｐ　ａの圧力とした。チタニウムターゲット
に６ＯＡのカソード電流を流し、所定時間スパッタリン
グをおこなって６ｎｍのチタニウムと窒素と酸素とから
なる熱線吸収膜を被覆した。次に、混合ガスの組成をア
ルゴン：酸素二窒素＝１０：　　５０：　　３にして真
空槽内の圧力を０．４Ｐａにした。タンタルシリサイド
ターゲットニ３　ＯＡのカソード電流を所定時間流し、
２０ｎｍの厚みのタンタルとシリコンと酸素と窒素とか
らなる透明保護膜を熱線吸収膜の上に被覆した。得られ
たガラス板サンプル４およびリアウィンドウサンプル４
を装置から取り出した。サンプル４の光学特性および電
気特性を測定した。その結果を第１表に示す。

また、このガラス板サンプル４のテーパー摩耗試験によ
る熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる耐薬
品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。その
結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウサンプル４について、ＡＭ及びＦ
Ｍ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その結果
を第３表に示す。

実施例５ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してジルコニウムとホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ２）を
セットした。表面を清浄にした３゜５ｍｍ厚のブロンズ
系着色ガラス（日本板硝子株式会社製商品名セーフティ
ーブロンズ）からなる、熱線遮蔽膜評価用のガラス板お
よびＡＭ及びＦＭ用のプリントアンテナ付き自動車用リ
アウィンドウガラスを真空槽内の基板ホルダにセットし
た。

プリントアンテナは公知の方法により銀を主成分とする
ペーストをスクリーン印刷によってガラス面に形成した
。真空ポンプで６．６５Ｘ１０−’Ｐａ（パスカル）以
下の圧力とし、その後体積比でアルゴン：酸素：窒素−
１００：　　５：　　１６０の混合ガスを真空槽内に導
入して０．４Ｐａの圧力とした。

ジルコニウムターゲットに５ＯＡのカソード電流を流し
、所定時間スパッタリングをおこなって８ｎｍのジルコ
ニウムと窒素と酸素とからなる熱線吸収膜を被覆した。

次に、混合ガスの組成をアルゴン：酸素；窒素＝１０：
　　２５：　　５にして真空槽内の圧力を０．４Ｐａに
した。ホウ化ジルコニウムターゲットに１５Ａのカソー
ド電流を所定時間流し、２０ｎｍの厚みのジルコニウム
とホウ素と酸素と窒素とからなる透明保護膜を熱線吸収
膜の上に被覆した。得られたガラス板サンプル５および
リアウィンドウサンプル５を装置から取り出した。

サンプル５の光学特性および電気特性を測定した。

その結果を第１表に示す。

また、このガラス板サンプル５のテーパー摩耗試験によ
る熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる耐薬
品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。その
結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウサンプル５について、ＡＭ及びＦ
Ｍ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その結果
を第３表に示す。

比較例１ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してジルコニウムとホウ化ジルコニウム（ＺｒＢ２）を
セットした。表面を清浄にした３５ｍｍ厚のブロンズ系
着色ガラス（日本板硝子株式会社製商品名セーフティー
ブロンズ）からなる、熱線遮蔽膜評価用のガラス板およ
びＡＭ及びＦＭ用のプリントアンテナ付き自動車用リア
ウィンドウガラスを真空槽内の基板ホルダにセットした
。

プリントアンテナは公知の方法により銀を主成分とする
ペーストをスクリーン印刷によってガラス面に形成した
。真空ポンプで６．６５Ｘ　１０−’Ｐａ（パスカル）
以下の圧力とし、その後体積比でアルゴン：窒素＝１０
：１６の混合ガスを真空槽内に導入して０．４Ｐａの圧
力とした。ジルコニウムターゲットに５ＯＡのカソード
電流を流し、所定時間スパッタリングをおこなって４ｎ
ｍのジルコニウムと窒素とからなる熱線吸収膜を被覆し
た。

次に、混合ガスの組成をアルゴン：酸素＝１０：２５に
して真空槽内の圧力を０４Ｐ８にした。ホウ化ジルコニ
ウムターゲットに１５Ａのカソード電流を所定時間流し
、２０ｎｍの厚みのジルコニウムとホウ素と酸素とから
なる透明保護膜を熱線吸収膜の上に被覆した。得られた
ガラス板比較サンプル１およびリアウィンドウ比較サン
プル１を装置から取り出した。ガラス板比較サンプル１
の光学特性および電気特性を測定した。その結果を第１
表に示す。

また、このガラス板比較サンプル１のテーパー摩耗試験
による熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる
耐薬品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。

その結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウ比較サンプルｌについて、ＡＭ及
びＦＭ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その
結果を第３表に示す。

比較例２ 実施例１で用いたのと同じスパッタ装置にターゲットと
してジルコニウムとタンタルをセットした。表面を清浄
にした３、５ｍｍ厚のブロンズ系着色ガラス（日本板硝
子株式会社製商品名セーフティーブロンズ）からなる、
熱線遮蔽膜評価用のガラス板およびＡＭ及びＦＭ用のプ
リントアンテナ付き自動車用リアウィンドウガラスを真
空槽内の基板ホルダにセットした。プリントアンテナは
公知の方法により銀を主成分とするペーストをスクリー
ン印刷によってガラス面に形成した。真空ポンプで６．
６５ｘｌＯ−’Ｐａ　（パスカル）以下の圧力とし、そ
の後体積比でアルゴン：窒素−１０：２１の混合ガスを
真空槽内に導入して０．４Ｐａの圧力とした。ジルコニ
ウムターゲットに６０Ａのカソード電流を流し、所定時
間スパッタリングをおこなって４ｎｍのジルコニウムと
窒素とからなる熱線吸収膜を被覆した。次に、混合ガス
の組成を体積比でアルゴン：酸素＝１：　４にして真空
槽内の圧力を０．４　Ｐ　ａにした。タンタルターゲッ
トに７０Ａのカソード電流を所定時間流し、８ｎｍの厚
みの二酸化タンタルからなる透明保護膜を熱線吸収膜の
上に被覆した。得られたガラス板比較サンプル２および
リアウィンドウ比較サンプル２を装置から取り出した。

ガラス板比較サンプル２の光学特性および電気特性を測
定した。その結果を第１表に示す。

また、このガラス板比較サンプル２のテーパー摩耗試験
による熱線遮蔽膜の耐摩耗性、酸およびアルカリによる
耐薬品性、煮沸試験による耐久性をそれぞれ評価した。

その結果を第２表に示す。

さらにリアウィンドウ比較サンプル２について、ＡＭ及
びＦＭ周波数帯での電波のゲインの低下を調べた。その
結果を第３表に示す。

第１表、第２表、第３表から、実施例１〜５で得られた
本発明の熱線遮蔽ガラスは、外気に直接触れる状態で使
用されるときに重要な耐摩耗性が、比較例よりも改善さ
れていることがわかる。

また、本発明の熱線遮蔽ガラスは、自動車の窓ガラスと
して必要な可視光線透過率７０％以上より大きく、日射
透過率はガラス基板のみの日射透過率よりも低い熱線遮
蔽性が良好なガラスであることがわかる。また、ガラス
基板との色差が小さいことがわかる。

さらに、本発明のアンテナ付き熱線遮蔽ガラスは、受信
電波のゲインが比較例のように低下することがない。

［発明の効果］ 本発明の熱線遮蔽ガラスの被膜はガラス基体との密着性
がよく、かつ、耐久性が優れているので、合わせガラス
や複層ガラスにする必要がなく、被膜が直接外気に触れ
る建築物や自動車などの車両の窓ガラスとして用いるこ
とができる。また光学的には、高い可視光線透過率を有
し、反射光および透過光による色調はニュートラルな色
調であるので、とりわけ自動車の窓ガラスに用いる場合
、自動車の色彩上の外観を損なうことがない。また、可
視光線反射率が小さいので、膜に万−傷がついても、傷
が目だっことがない。

また本発明の熱線遮蔽ガラスは、第１層の熱線吸収膜、
第２層の透明保護膜とも酸素と窒素とを含む膜であるた
め、ガラス基板と第１層の熱線吸収膜との密着性がよく
、かつ、第１層の熱線吸収膜と第２層の透明保護膜との
密着性が密着性がよいため、熱線遮蔽膜の耐久性が大き
い。

また、本発明のアンテナ線条付き熱線遮蔽ガラスは、受
信電波の利得が、熱線遮蔽膜により低下することがない
。

さらに、熱線遮蔽膜を減圧された雰囲気中で被覆するに
際しては、第１層と第２層の膜は、導入する酸素と窒素
のガス組成を変えるだけで連続して被覆することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の熱線遮蔽ガラスの一部断面図で、第
２図は本発明のアンテナ線条付き熱線遮蔽ガラスの一実
施例の説明図である。 １・・・透明ガラス基体、２・・・熱線吸収膜、３・・
・透明保護膜、４・・・アンテナ線条、５第 図 ・車両用窓ガラス （ａ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）透明ガラス基体の上に第１層として、Ｔｉ，Ｚｒ，
   Ｈｆ，Ｃｒ，Ｔａの金属群から選ばれた１種と窒素と酸
   素とからなる熱線吸収膜が被覆され、前記第１層の上に
   第２層として、Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｎの金属群から選ばれた
   １種と酸素と窒素とからなる透明保護膜が被覆された熱
   線遮蔽ガラス。 ２）透明ガラス基体の上に第１層として、Ｔｉ，Ｚｒ，
   Ｈｆ，Ｃｒ，Ｔａの金属群から選ばれた１種と窒素と酸
   素とからなる熱線吸収膜が被覆され、前記第１層の上に
   第２層として、Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｎの金属群から選ばれた
   １種とシリコンと酸素と窒素とからなる透明保護膜が被
   覆された熱線遮蔽ガラス。 ３）透明ガラス基体の上に第１層として、Ｔｉ，Ｚｒ，
   Ｈｆ，Ｃｒ，Ｔａの金属群から選ばれた１種と窒素と酸
   素とからなる熱線吸収膜が被覆され、前記第１層の上に
   第２層として、Ｔａ，Ｚｒ，Ｓｎの金属群から選ばれた
   １種とホウ素と酸素と窒素とからなる透明保護膜が被覆
   された熱線遮蔽ガラス。 ４）前記第１層の厚みが２〜２０ｎｍ、前記第２層の厚
   みが５〜５０ｎｍとしたことを特徴とする特許請求範囲
   第１項ないし第３項のいずれかの項に記載の熱線遮蔽ガ
   ラス。 ５）可視光線透過率が７０％以上になるように、前記第
   １層および前記第２層の厚みが調整されたことを特徴と
   する特許請求範囲第１項ないし第４項のいずれかの項に
   記載の熱線遮蔽ガラス。 ６）前記熱線吸収膜の電気抵抗が１００ｋΩ／平方以上
   であることを特徴とする特許請求範囲第１項ないし第５
   項のいずれかの項に記載の熱線遮蔽ガラス。 ７）前記透明ガラス基体と前記熱線吸収膜との間にアン
   テナ線条が設けられた特許請求範囲第６項記載の熱線遮
   蔽ガラス。