JPH04370707A - トラックピッチ測定装置 - Google Patents
トラックピッチ測定装置Info
- Publication number
- JPH04370707A JPH04370707A JP17604791A JP17604791A JPH04370707A JP H04370707 A JPH04370707 A JP H04370707A JP 17604791 A JP17604791 A JP 17604791A JP 17604791 A JP17604791 A JP 17604791A JP H04370707 A JPH04370707 A JP H04370707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- track pitch
- light
- psd
- disk
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 4
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、同心円、スパイラル状
に溝、ピットが一定周期で記録された光ディスクのトラ
ックピッチを測定する装置に関するものである。
に溝、ピットが一定周期で記録された光ディスクのトラ
ックピッチを測定する装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より大容量の記録媒体として光ディ
スクの開発、商品化が活発に行われ更に再生レーザ光の
短波長化により、記録時の低線速化、及びトラックピッ
チの縮少化等、記録容量の増大、高密度化が進められて
いる。ところでこの様な高密度光ディスクに対し、トラ
ッキングエラー，トラッキングジャンプ等を発生させな
い為にトラックピッチ精度が重視される。即ちトラック
ピッチ精度の要因である記録装置の減速機、送りネジ、
回転サーボ特性等の送り機構の精度、あるいはレプリカ
作成時の成形歪みが重要となる。
スクの開発、商品化が活発に行われ更に再生レーザ光の
短波長化により、記録時の低線速化、及びトラックピッ
チの縮少化等、記録容量の増大、高密度化が進められて
いる。ところでこの様な高密度光ディスクに対し、トラ
ッキングエラー，トラッキングジャンプ等を発生させな
い為にトラックピッチ精度が重視される。即ちトラック
ピッチ精度の要因である記録装置の減速機、送りネジ、
回転サーボ特性等の送り機構の精度、あるいはレプリカ
作成時の成形歪みが重要となる。
【０００３】光ディスクのトラックピッチを測定する手
段として、光ピックアップを用いる方法がある。これは
トラッキング時の対物レンズの半径方向移動量を変位セ
ンサにより測定、換算するものである。この場合、ディ
スク全体を測定するには長時間を要する。従って一般に
は光ディスク表面に単一波長のレーザを照射及び走査を
行い、その１次回折角よりピッチを測定する方法が採ら
れている。トラックピッチＰ＝λ／Ｓｉｎθ（λ：レー
ザ波長，θ：１次光の回折角）で求めることが出来る。 又１次光回折角は、１次回折光のビーム位置より求める
ことが出来る。
段として、光ピックアップを用いる方法がある。これは
トラッキング時の対物レンズの半径方向移動量を変位セ
ンサにより測定、換算するものである。この場合、ディ
スク全体を測定するには長時間を要する。従って一般に
は光ディスク表面に単一波長のレーザを照射及び走査を
行い、その１次回折角よりピッチを測定する方法が採ら
れている。トラックピッチＰ＝λ／Ｓｉｎθ（λ：レー
ザ波長，θ：１次光の回折角）で求めることが出来る。 又１次光回折角は、１次回折光のビーム位置より求める
ことが出来る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このようなピッチ測定
において、（１）光ディスクのサイズが大きい場合、内
外周でのＰＳＤ及び光ディスク表面間の距離に差異が生
じ、平均ピッチデータが見かけ上図５に示すようにシフ
トする。（２）逆に２．５”，３．５”等の小径ディス
クの場合、照射ビームに対し内外周でのトラック列の方
向性が異る為、回折ビームの形状に差異が生じる。即ち
、曲率半径の小さい内周部では、回折ビーム形状が太く
なり、検出感度が低下する。
において、（１）光ディスクのサイズが大きい場合、内
外周でのＰＳＤ及び光ディスク表面間の距離に差異が生
じ、平均ピッチデータが見かけ上図５に示すようにシフ
トする。（２）逆に２．５”，３．５”等の小径ディス
クの場合、照射ビームに対し内外周でのトラック列の方
向性が異る為、回折ビームの形状に差異が生じる。即ち
、曲率半径の小さい内周部では、回折ビーム形状が太く
なり、検出感度が低下する。
【０００５】（３）一般に、この種の装置は反射膜が付
着された光ディスクを目的としており、現像あるいは成
形直後の反射膜を有しないディスクに対しては透過光を
用いることから、第２の光源あるいは第２の光路系を配
置する必要があり、装置の大型化等種々の欠点を有して
いた。
着された光ディスクを目的としており、現像あるいは成
形直後の反射膜を有しないディスクに対しては透過光を
用いることから、第２の光源あるいは第２の光路系を配
置する必要があり、装置の大型化等種々の欠点を有して
いた。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、１次回折光ビ
ーム位置を検出するＰＳＤとディスク表面間の距離を測
定する第２のＰＳＤ及び補正回路、ディスクの内外周で
生じる回折ビーム形状を一定にする手段、及び照射光源
に対向する位置に反射鏡を配置し、多種の光ディスクに
対し、安定かつ精度良くピッチ測定を可能としたもので
以下の実施例に詳述する。
ーム位置を検出するＰＳＤとディスク表面間の距離を測
定する第２のＰＳＤ及び補正回路、ディスクの内外周で
生じる回折ビーム形状を一定にする手段、及び照射光源
に対向する位置に反射鏡を配置し、多種の光ディスクに
対し、安定かつ精度良くピッチ測定を可能としたもので
以下の実施例に詳述する。
【０００７】
【実施例】図１に本発明の光学系構成の一実施例を示す
。レーザ１から出射されたレーザビーム２ａはビームス
プリッタ３及び波長板４を通し、直径約１ｍｍ程度で光
ディスク５に約５〜６°垂直から傾斜した状態で照射す
る。光ディスク５からの反射光（０次光）は波長板４及
びビームスプリッタ３を介し、光検出素子（ＰＳＤ）６
に入射する。ディスクの位置変化はＰＳＤ６の出力変化
として割算器７の出力として取り出す。
。レーザ１から出射されたレーザビーム２ａはビームス
プリッタ３及び波長板４を通し、直径約１ｍｍ程度で光
ディスク５に約５〜６°垂直から傾斜した状態で照射す
る。光ディスク５からの反射光（０次光）は波長板４及
びビームスプリッタ３を介し、光検出素子（ＰＳＤ）６
に入射する。ディスクの位置変化はＰＳＤ６の出力変化
として割算器７の出力として取り出す。
【０００８】一方、光ディスク５のトラックピツチに対
応した角度で１次回折光がＰＳＤ８に入射され割算器９
を介し出力として取り出し１次回折角を求め、ＰＳＤ６
及び割算器７の出力よりデイスク面との距離を補正する
ことにより演算回路１０によってトラックピッチデータ
１１として出力される。図２は、小径ディスクにおける
照射ビームとトラック列（ａ）と１次回折光ビームのパ
ターン（ｂ）及び測定結果（ｃ）を示したものである。 内周部での回折ビームは太くＤとなり検出感度が低下ｅ
している。これは、ＰＳＤ８上のビーム強度分布が外周
部の太さｄに比べブロードになる為である。図３は本発
明の実施例を拡大して示したもので、ディスク５の上部
にスリット板１２を内周方向に向かってスリット幅が狭
くなるように配置し照射ビーム２ｂを斜断する開口部１
３を配置し、ディスク５の表面に入射するビーム径を小
さくするものである。
応した角度で１次回折光がＰＳＤ８に入射され割算器９
を介し出力として取り出し１次回折角を求め、ＰＳＤ６
及び割算器７の出力よりデイスク面との距離を補正する
ことにより演算回路１０によってトラックピッチデータ
１１として出力される。図２は、小径ディスクにおける
照射ビームとトラック列（ａ）と１次回折光ビームのパ
ターン（ｂ）及び測定結果（ｃ）を示したものである。 内周部での回折ビームは太くＤとなり検出感度が低下ｅ
している。これは、ＰＳＤ８上のビーム強度分布が外周
部の太さｄに比べブロードになる為である。図３は本発
明の実施例を拡大して示したもので、ディスク５の上部
にスリット板１２を内周方向に向かってスリット幅が狭
くなるように配置し照射ビーム２ｂを斜断する開口部１
３を配置し、ディスク５の表面に入射するビーム径を小
さくするものである。
【０００９】図４は反射膜の付着していない透明な光デ
ィスク５’を測定する場合の一実施例である。一般のＰ
ＭＭＡ，Ｐ．Ｃ基板の場合、屈折率は１．５０〜１．６
程度であり、ディスク表面からの反射率は４％程度であ
るが、１次光回折効率は２〜３％である為、ＰＳＤ６，
８上での光量は微少となり、位置検出は不可能である。 そこで図４の様に光ディスク下部に反射鏡１４を配置し
、透過光（０次光）２ｃを反射させ、ディスク５’の下
部よりレーザビームを照射した状態と等価にしたもので
ある。本手法では表面反射による１次回折光ビーム光量
２ｄが、非常に小さい為、ＰＳＤ８上では反射ビームで
の１次回折光ビーム位置によってのみ出力値が決定され
る。
ィスク５’を測定する場合の一実施例である。一般のＰ
ＭＭＡ，Ｐ．Ｃ基板の場合、屈折率は１．５０〜１．６
程度であり、ディスク表面からの反射率は４％程度であ
るが、１次光回折効率は２〜３％である為、ＰＳＤ６，
８上での光量は微少となり、位置検出は不可能である。 そこで図４の様に光ディスク下部に反射鏡１４を配置し
、透過光（０次光）２ｃを反射させ、ディスク５’の下
部よりレーザビームを照射した状態と等価にしたもので
ある。本手法では表面反射による１次回折光ビーム光量
２ｄが、非常に小さい為、ＰＳＤ８上では反射ビームで
の１次回折光ビーム位置によってのみ出力値が決定され
る。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、光ディスクの内外周で
の測定誤差及び小径ディスクにおける検出感度の差異を
スリット板により解消出来、小径の光ディスクに対し、
安定で精度の高いピッチ測定が実現出来る。
の測定誤差及び小径ディスクにおける検出感度の差異を
スリット板により解消出来、小径の光ディスクに対し、
安定で精度の高いピッチ測定が実現出来る。
【図１】本発明の一実施例を示す図。
【図２】本発明のデイスクにおける照射ビームとトラッ
ク列の関係を説明する図で（ａ）はトラック列とビーム
（ｂ）は１次回折光ビームのパターン（ｃ）はトラック
ピッチデータを示す図。
ク列の関係を説明する図で（ａ）はトラック列とビーム
（ｂ）は１次回折光ビームのパターン（ｃ）はトラック
ピッチデータを示す図。
【図３】本発明の一実施例のスリットを示す斜視図。
【図４】本発明の透明デイスクの場合を説明する図。
【図５】ピッチデータのシフトを示す図。
１ レーザ
２ａ〜ｄ ビーム
３ ビームスプリッタ４
波長板 ５，５’ 光ディスク ６，８ 光検出素子（ＰＳＤ）７，９
割算器 １０ 演算回路 １１ トラックピッチデータ１２
スリット板 １３ 開口部 １４ 反射鏡
波長板 ５，５’ 光ディスク ６，８ 光検出素子（ＰＳＤ）７，９
割算器 １０ 演算回路 １１ トラックピッチデータ１２
スリット板 １３ 開口部 １４ 反射鏡
Claims (3)
- 【請求項１】 同心円あるいはスパイラル状に記録さ
れた光ディスクに単一波長のレーザ光を照射し、ディス
クから反射される１次光回折角よりトラックピッチを測
定する装置において、１次回折光ビーム位置を検出する
位置検出素子（ＰＳＤ）及びディスク表面間との距離を
測定する第２のＰＳＤを有し、このＰＳＤの値から補正
を行うことにより測定精度を向上することを特徴とした
トラックピッチ測定装置。 - 【請求項２】 光ディスクの記録位置の曲率半径に対
応し、照射ビーム径を変化するスリット手段を有し、デ
ィスク全面域での検出感度を一定にしたことを特徴とす
る請求項１のトラックピッチ測定装置。 - 【請求項３】 照射光源に対向する位置に反射鏡を配
置し、反射膜の付着されていない光ディスクにおいても
同装置、同条件で測定を可能としたことを特徴とする請
求項１のトラックピッチ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17604791A JPH04370707A (ja) | 1991-06-20 | 1991-06-20 | トラックピッチ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17604791A JPH04370707A (ja) | 1991-06-20 | 1991-06-20 | トラックピッチ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04370707A true JPH04370707A (ja) | 1992-12-24 |
Family
ID=16006791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17604791A Withdrawn JPH04370707A (ja) | 1991-06-20 | 1991-06-20 | トラックピッチ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04370707A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100136468A1 (en) * | 2007-03-02 | 2010-06-03 | Josephus Marinus Wijn | Diffraction order measurement |
-
1991
- 1991-06-20 JP JP17604791A patent/JPH04370707A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100136468A1 (en) * | 2007-03-02 | 2010-06-03 | Josephus Marinus Wijn | Diffraction order measurement |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4800547A (en) | Optical record carrier scanning apparatus with scanning beam focus error detection | |
| EP0318095A1 (en) | Apparatus for optically scanning an object | |
| US4746792A (en) | Optical transducer element and displacement meter comprising such an element | |
| NL8801960A (nl) | Inrichting voor het met een sensor-array detecteren van een optische scherpstelling. | |
| FR2601173A1 (fr) | Tete de lecture optique pour disques numeriques. | |
| JPH04315820A (ja) | 記録再生方法、装置、並びにシステム | |
| US7313072B2 (en) | Method for recording and reproducing holographic data and holographic recording medium | |
| JPS58220248A (ja) | 光学式ピツクアツプ | |
| US4983002A (en) | Optical head device | |
| US6584065B1 (en) | Information recording medium apparatus for forming the same and information recording and reproducing systems | |
| JP2001273661A (ja) | 傾き検出装置 | |
| JP3918006B2 (ja) | サーボ機能を有するホログラフィックｒｏｍ再生機 | |
| JPH04370707A (ja) | トラックピッチ測定装置 | |
| JPH0320911Y2 (ja) | ||
| JP2009500776A (ja) | 光学式ピックアップおよび／または記録装置 | |
| JPH09115177A (ja) | 光ピックアップシステム | |
| KR20010041003A (ko) | 레코딩 헤드의 부양 높이를 결정하는 방법 및 장치 | |
| US6184512B1 (en) | Semiconductor laser apparatus and optical pickup apparatus | |
| TWI300925B (en) | Optical pickup and optical disk drive | |
| JP2001208517A (ja) | 光ディスク検査装置 | |
| US20090109825A1 (en) | Optical scanning device | |
| JP2650267B2 (ja) | 光ディスク | |
| KR100314089B1 (ko) | 광디스크제조용글래스원반감광제의현상상태검사시스템 | |
| JPS58147824A (ja) | デイスク検査装置 | |
| JPH10312566A (ja) | 反射型光電センサ及び光ディスク検知装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |