JPH04265875A - 平面型グラジオメータ - Google Patents
平面型グラジオメータInfo
- Publication number
- JPH04265875A JPH04265875A JP3027508A JP2750891A JPH04265875A JP H04265875 A JPH04265875 A JP H04265875A JP 3027508 A JP3027508 A JP 3027508A JP 2750891 A JP2750891 A JP 2750891A JP H04265875 A JPH04265875 A JP H04265875A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- detection coils
- planar gradiometer
- sets
- bonding wire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000427 thin-film deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 description 2
- 229910020174 Pb-In Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N azanylidyneniobium Chemical compound [Nb]#N CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- GPYPVKIFOKLUGD-UHFFFAOYSA-N gold indium Chemical compound [In].[Au] GPYPVKIFOKLUGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高感度磁気センサ、電
流計、変位計、または高周波信号増幅器などに応用する
超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ
Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）に関するものである
。
流計、変位計、または高周波信号増幅器などに応用する
超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ
Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）に関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】ＳＱＵＩＤ磁束計は高感度な磁場検出器
として利用されている。例えば１次微分型平面型グラジ
オメータは２個の検出コイルを逆方向に直列に接続して
構成され、地磁気などの一様磁場を消去し、１次磁場勾
配を検出することができる。図２は従来例を示す直交型
平面型グラジオメータの平面図である。２組の平面型グ
ラジオメータをベースライン（検出コイルの中心間距離
）の中心軸で互いに直交させて配置した構造である。 平面型グラジオメータによる磁場測定は、同一点で直交
する２方向の磁場勾配を測定することが必要であり、図
２に示した平面型グラジオメータの構造は同一点で直交
する２方向の磁場勾配を正確に検出することができる。 従来、２組の検出コイルの交差部６はすべて薄膜で形成
されていた。
として利用されている。例えば１次微分型平面型グラジ
オメータは２個の検出コイルを逆方向に直列に接続して
構成され、地磁気などの一様磁場を消去し、１次磁場勾
配を検出することができる。図２は従来例を示す直交型
平面型グラジオメータの平面図である。２組の平面型グ
ラジオメータをベースライン（検出コイルの中心間距離
）の中心軸で互いに直交させて配置した構造である。 平面型グラジオメータによる磁場測定は、同一点で直交
する２方向の磁場勾配を測定することが必要であり、図
２に示した平面型グラジオメータの構造は同一点で直交
する２方向の磁場勾配を正確に検出することができる。 従来、２組の検出コイルの交差部６はすべて薄膜で形成
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の２組の検出コイ
ルの交差部６を薄膜プロセスによって形成するためには
、半導体などの製造プロセスなどで公知の通り多くの工
程が必要である。少なくとも下部配線堆積、下部配線パ
ターニング、層間絶縁膜堆積、コンタクトホール形成、
上部配線堆積、上部配線パターニングの工程が必要であ
り、工程が複雑で製造時間がかかり、歩留まりが低下す
る問題があった。
ルの交差部６を薄膜プロセスによって形成するためには
、半導体などの製造プロセスなどで公知の通り多くの工
程が必要である。少なくとも下部配線堆積、下部配線パ
ターニング、層間絶縁膜堆積、コンタクトホール形成、
上部配線堆積、上部配線パターニングの工程が必要であ
り、工程が複雑で製造時間がかかり、歩留まりが低下す
る問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、同一平面上に構成され、ベースラインの
中心軸で互いに直交する２組の検出コイルを有する直交
型の平面型グラジオメータにおいて、前記２組の検出コ
イルの交差部をボンディングワイヤーにより構成した。
解決するため、同一平面上に構成され、ベースラインの
中心軸で互いに直交する２組の検出コイルを有する直交
型の平面型グラジオメータにおいて、前記２組の検出コ
イルの交差部をボンディングワイヤーにより構成した。
【０００５】
【作用】上記のような構造によれば、平面型グラジオメ
ータを製造するための薄膜プロセスはコイルパターンを
形成するための１層の工程のみであり、２組の検出コイ
ルの交差部はワイヤーボンディングという簡単な工程で
形成することができ、製造工程を少なくして簡単に直交
型の平面型グラジオメータを形成することができる。
ータを製造するための薄膜プロセスはコイルパターンを
形成するための１層の工程のみであり、２組の検出コイ
ルの交差部はワイヤーボンディングという簡単な工程で
形成することができ、製造工程を少なくして簡単に直交
型の平面型グラジオメータを形成することができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。 図１は本発明の実施例を示す平面型グ
ラジオメータの平面図である。１はボンディングワイヤ
ー、２はボンディングパッド、３は検出コイル部、４は
配線用パッド、５の点線で囲んだ部分はコイル交差部で
ある。ボンディングワイヤー１の材料としては、例えば
鉛インジウム金（Ｐｂ−Ｉｎ−Ａｕ）合金（Ｐｂ８０％
、Ｉｎ１６％、Ａｕ４％）、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ
）合金（Ｐｂ８０％、Ｉｎ２０％）などが用いられるが
、ボンディング可能な超伝導線材であれば他の材料でも
良い。検出コイル部３、ボンディングパッド２、配線用
パッド４の材料としては、例えばニオブ（Ｎｂ）、窒化
ニオブ（ＮｂＮ）、鉛（Ｐｂ）、Ｐｂ−Ｉｎなどの超伝
導材料が用いられるが、他の超伝導材料を用いても良い
。また、ボンディングパッド２の表面にはバッファー層
として金（Ａｕ）薄膜が付加されることもある。ボンデ
ィングパッド２及びボンディングワイヤー１は超伝導材
料で構成されるので、ボンディングワイヤー１の両端の
コンタクト部は超伝導コンタクトとすることができる。
て説明する。 図１は本発明の実施例を示す平面型グ
ラジオメータの平面図である。１はボンディングワイヤ
ー、２はボンディングパッド、３は検出コイル部、４は
配線用パッド、５の点線で囲んだ部分はコイル交差部で
ある。ボンディングワイヤー１の材料としては、例えば
鉛インジウム金（Ｐｂ−Ｉｎ−Ａｕ）合金（Ｐｂ８０％
、Ｉｎ１６％、Ａｕ４％）、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ
）合金（Ｐｂ８０％、Ｉｎ２０％）などが用いられるが
、ボンディング可能な超伝導線材であれば他の材料でも
良い。検出コイル部３、ボンディングパッド２、配線用
パッド４の材料としては、例えばニオブ（Ｎｂ）、窒化
ニオブ（ＮｂＮ）、鉛（Ｐｂ）、Ｐｂ−Ｉｎなどの超伝
導材料が用いられるが、他の超伝導材料を用いても良い
。また、ボンディングパッド２の表面にはバッファー層
として金（Ａｕ）薄膜が付加されることもある。ボンデ
ィングパッド２及びボンディングワイヤー１は超伝導材
料で構成されるので、ボンディングワイヤー１の両端の
コンタクト部は超伝導コンタクトとすることができる。
【０００７】上記のような平面型グラジオメータの構造
によれば、検出コイル部３、ボンディングパッド２、配
線用パッド４は薄膜プロセスにおいて同一層の薄膜堆積
、パターニングの工程で同時に形成することができ、コ
イル交差部５はボンディングワイヤー１をボンディング
パッド２にワイヤーボンディングする工程のみで形成す
ることができる。従って、平面型グラジオメータの製造
工程数が少なくなり、製造時間の短縮及び歩留まりの向
上が可能となる。
によれば、検出コイル部３、ボンディングパッド２、配
線用パッド４は薄膜プロセスにおいて同一層の薄膜堆積
、パターニングの工程で同時に形成することができ、コ
イル交差部５はボンディングワイヤー１をボンディング
パッド２にワイヤーボンディングする工程のみで形成す
ることができる。従って、平面型グラジオメータの製造
工程数が少なくなり、製造時間の短縮及び歩留まりの向
上が可能となる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、直
交型の平面型グラジオメータにおいて２組の検出コイル
の交差部をボンディングワイヤーにより構成することに
よってその製造工程数を簡単にすることができ、製造時
間の短縮及び歩留まりの向上が可能となる。
交型の平面型グラジオメータにおいて２組の検出コイル
の交差部をボンディングワイヤーにより構成することに
よってその製造工程数を簡単にすることができ、製造時
間の短縮及び歩留まりの向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す平面型グラジオメータの
平面図である。 【図２】従来例を示す平面型グラジオメータの平面図で
ある。 【符号の説明】 １・・・ボンディングワイヤー ２・・・ボンディングパッド ３・・・検出コイル部 ４・・・配線用パッド ５・・・本発明の実施例によるコイル交差部６・・・従
来例によるコイル交差部
平面図である。 【図２】従来例を示す平面型グラジオメータの平面図で
ある。 【符号の説明】 １・・・ボンディングワイヤー ２・・・ボンディングパッド ３・・・検出コイル部 ４・・・配線用パッド ５・・・本発明の実施例によるコイル交差部６・・・従
来例によるコイル交差部
Claims (4)
- 【請求項１】同一平面上に構成され、ベースライン（検
出コイルの中心間距離）の中心軸で互いに直交する２組
の検出コイルを有する平面型グラジオメータにおいて、
前記２組の検出コイルの交差部をボンディングワイヤー
により構成したことを特徴とする平面型グラジオメータ
。 - 【請求項２】前記ボンディングワイヤーは超伝導体で構
成されていることを特徴とする請求項１記載の平面型グ
ラジオメータ。 - 【請求項３】前記ボンディングワイヤーの両端のコンタ
クト部は超伝導コンタクトで形成されていることを特徴
とする請求項１記載の平面型グラジオメータ。 - 【請求項４】前記２組の検出コイルは超伝導薄膜で形成
されていることを特徴とする請求項１記載の平面型グラ
ジオメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027508A JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027508A JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265875A true JPH04265875A (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=12223078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3027508A Pending JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04265875A (ja) |
Cited By (70)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013036947A3 (en) * | 2011-09-09 | 2013-05-02 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US8692412B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-04-08 | Witricity Corporation | Temperature compensation in a wireless transfer system |
| US8847548B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-09-30 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for implantable devices |
| US8901779B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-02 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with resonator arrays for medical applications |
| US8901778B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-02 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with variable size resonators for implanted medical devices |
| US8907531B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-09 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with variable size resonators for medical applications |
| US8912687B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-16 | Witricity Corporation | Secure wireless energy transfer for vehicle applications |
| US8922066B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-30 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with multi resonator arrays for vehicle applications |
| US8928276B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-06 | Witricity Corporation | Integrated repeaters for cell phone applications |
| US8933594B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-13 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for vehicles |
| US8937408B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-20 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for medical applications |
| US8946938B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-03 | Witricity Corporation | Safety systems for wireless energy transfer in vehicle applications |
| US8947186B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-03 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer resonator thermal management |
| US8957549B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-17 | Witricity Corporation | Tunable wireless energy transfer for in-vehicle applications |
| US8963488B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-24 | Witricity Corporation | Position insensitive wireless charging |
| US9035499B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-05-19 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for photovoltaic panels |
| US9065286B2 (en) | 2005-07-12 | 2015-06-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US9065423B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-06-23 | Witricity Corporation | Wireless energy distribution system |
| US9093853B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-07-28 | Witricity Corporation | Flexible resonator attachment |
| US9095729B2 (en) | 2007-06-01 | 2015-08-04 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US9106203B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-08-11 | Witricity Corporation | Secure wireless energy transfer in medical applications |
| US9105959B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-08-11 | Witricity Corporation | Resonator enclosure |
| US9160203B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-10-13 | Witricity Corporation | Wireless powered television |
| US9184595B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-11-10 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer in lossy environments |
| US9246336B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-01-26 | Witricity Corporation | Resonator optimizations for wireless energy transfer |
| US9287607B2 (en) | 2012-07-31 | 2016-03-15 | Witricity Corporation | Resonator fine tuning |
| US9306635B2 (en) | 2012-01-26 | 2016-04-05 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with reduced fields |
| US9318922B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-04-19 | Witricity Corporation | Mechanically removable wireless power vehicle seat assembly |
| US9318257B2 (en) | 2011-10-18 | 2016-04-19 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for packaging |
| US9343922B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-05-17 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for rechargeable batteries |
| US9369182B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-06-14 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer using variable size resonators and system monitoring |
| US9384885B2 (en) | 2011-08-04 | 2016-07-05 | Witricity Corporation | Tunable wireless power architectures |
| US9396867B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-07-19 | Witricity Corporation | Integrated resonator-shield structures |
| US9404954B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-08-02 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US9421388B2 (en) | 2007-06-01 | 2016-08-23 | Witricity Corporation | Power generation for implantable devices |
| US9444265B2 (en) | 2005-07-12 | 2016-09-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless energy transfer |
| US9444520B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-09-13 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer converters |
| US9449757B2 (en) | 2012-11-16 | 2016-09-20 | Witricity Corporation | Systems and methods for wireless power system with improved performance and/or ease of use |
| US9515494B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-12-06 | Witricity Corporation | Wireless power system including impedance matching network |
| US9544683B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-01-10 | Witricity Corporation | Wirelessly powered audio devices |
| US9595378B2 (en) | 2012-09-19 | 2017-03-14 | Witricity Corporation | Resonator enclosure |
| US9602168B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Communication in wireless energy transfer systems |
| US9601266B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Multiple connected resonators with a single electronic circuit |
| US9601270B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Low AC resistance conductor designs |
| US9744858B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-08-29 | Witricity Corporation | System for wireless energy distribution in a vehicle |
| US9754718B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-09-05 | Witricity Corporation | Resonator arrays for wireless energy transfer |
| US9780573B2 (en) | 2014-02-03 | 2017-10-03 | Witricity Corporation | Wirelessly charged battery system |
| US9831682B2 (en) | 2008-10-01 | 2017-11-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Efficient near-field wireless energy transfer using adiabatic system variations |
| US9837860B2 (en) | 2014-05-05 | 2017-12-05 | Witricity Corporation | Wireless power transmission systems for elevators |
| US9842688B2 (en) | 2014-07-08 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Resonator balancing in wireless power transfer systems |
| US9842687B2 (en) | 2014-04-17 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems with shaped magnetic components |
| US9843217B2 (en) | 2015-01-05 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for wearables |
| US9857821B2 (en) | 2013-08-14 | 2018-01-02 | Witricity Corporation | Wireless power transfer frequency adjustment |
| US9892849B2 (en) | 2014-04-17 | 2018-02-13 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems with shield openings |
| US9929721B2 (en) | 2015-10-14 | 2018-03-27 | Witricity Corporation | Phase and amplitude detection in wireless energy transfer systems |
| US9948145B2 (en) | 2011-07-08 | 2018-04-17 | Witricity Corporation | Wireless power transfer for a seat-vest-helmet system |
| US9954375B2 (en) | 2014-06-20 | 2018-04-24 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems for surfaces |
| US9952266B2 (en) | 2014-02-14 | 2018-04-24 | Witricity Corporation | Object detection for wireless energy transfer systems |
| US10018744B2 (en) | 2014-05-07 | 2018-07-10 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10063104B2 (en) | 2016-02-08 | 2018-08-28 | Witricity Corporation | PWM capacitor control |
| US10063110B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-08-28 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10075019B2 (en) | 2015-11-20 | 2018-09-11 | Witricity Corporation | Voltage source isolation in wireless power transfer systems |
| US10141788B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-11-27 | Witricity Corporation | Dynamic tuning in wireless energy transfer systems |
| US10218224B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-02-26 | Witricity Corporation | Tunable wireless energy transfer systems |
| US10248899B2 (en) | 2015-10-06 | 2019-04-02 | Witricity Corporation | RFID tag and transponder detection in wireless energy transfer systems |
| US10263473B2 (en) | 2016-02-02 | 2019-04-16 | Witricity Corporation | Controlling wireless power transfer systems |
| US10410789B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-09-10 | Witricity Corporation | Integrated resonator-shield structures |
| US10424976B2 (en) | 2011-09-12 | 2019-09-24 | Witricity Corporation | Reconfigurable control architectures and algorithms for electric vehicle wireless energy transfer systems |
| US10574091B2 (en) | 2014-07-08 | 2020-02-25 | Witricity Corporation | Enclosures for high power wireless power transfer systems |
| US11031818B2 (en) | 2017-06-29 | 2021-06-08 | Witricity Corporation | Protection and control of wireless power systems |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP3027508A patent/JPH04265875A/ja active Pending
Cited By (139)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9065286B2 (en) | 2005-07-12 | 2015-06-23 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US10097044B2 (en) | 2005-07-12 | 2018-10-09 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless energy transfer |
| US10141790B2 (en) | 2005-07-12 | 2018-11-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US9831722B2 (en) | 2005-07-12 | 2017-11-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US9509147B2 (en) | 2005-07-12 | 2016-11-29 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless energy transfer |
| US9450421B2 (en) | 2005-07-12 | 2016-09-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US9450422B2 (en) | 2005-07-12 | 2016-09-20 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless energy transfer |
| US10666091B2 (en) | 2005-07-12 | 2020-05-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US9444265B2 (en) | 2005-07-12 | 2016-09-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless energy transfer |
| US11685271B2 (en) | 2005-07-12 | 2023-06-27 | Massachusetts Institute Of Technology | Wireless non-radiative energy transfer |
| US11685270B2 (en) | 2005-07-12 | 2023-06-27 | Mit | Wireless energy transfer |
| US9101777B2 (en) | 2007-06-01 | 2015-08-11 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US9095729B2 (en) | 2007-06-01 | 2015-08-04 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US9943697B2 (en) | 2007-06-01 | 2018-04-17 | Witricity Corporation | Power generation for implantable devices |
| US9843230B2 (en) | 2007-06-01 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US10348136B2 (en) | 2007-06-01 | 2019-07-09 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US10420951B2 (en) | 2007-06-01 | 2019-09-24 | Witricity Corporation | Power generation for implantable devices |
| US9421388B2 (en) | 2007-06-01 | 2016-08-23 | Witricity Corporation | Power generation for implantable devices |
| US9318898B2 (en) | 2007-06-01 | 2016-04-19 | Witricity Corporation | Wireless power harvesting and transmission with heterogeneous signals |
| US9515495B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-12-06 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer in lossy environments |
| US10097011B2 (en) | 2008-09-27 | 2018-10-09 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for photovoltaic panels |
| US9106203B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-08-11 | Witricity Corporation | Secure wireless energy transfer in medical applications |
| US9105959B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-08-11 | Witricity Corporation | Resonator enclosure |
| US9160203B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-10-13 | Witricity Corporation | Wireless powered television |
| US9184595B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-11-10 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer in lossy environments |
| US9246336B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-01-26 | Witricity Corporation | Resonator optimizations for wireless energy transfer |
| US9577436B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-02-21 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for implantable devices |
| US8937408B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-20 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for medical applications |
| US9318922B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-04-19 | Witricity Corporation | Mechanically removable wireless power vehicle seat assembly |
| US8933594B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-13 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for vehicles |
| US9093853B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-07-28 | Witricity Corporation | Flexible resonator attachment |
| US11479132B2 (en) | 2008-09-27 | 2022-10-25 | Witricity Corporation | Wireless power transmission system enabling bidirectional energy flow |
| US9369182B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-06-14 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer using variable size resonators and system monitoring |
| US11114897B2 (en) | 2008-09-27 | 2021-09-07 | Witricity Corporation | Wireless power transmission system enabling bidirectional energy flow |
| US9396867B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-07-19 | Witricity Corporation | Integrated resonator-shield structures |
| US11114896B2 (en) | 2008-09-27 | 2021-09-07 | Witricity Corporation | Wireless power system modules |
| US9065423B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-06-23 | Witricity Corporation | Wireless energy distribution system |
| US8928276B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-01-06 | Witricity Corporation | Integrated repeaters for cell phone applications |
| US9444520B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-09-13 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer converters |
| US10673282B2 (en) | 2008-09-27 | 2020-06-02 | Witricity Corporation | Tunable wireless energy transfer systems |
| US8922066B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-30 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with multi resonator arrays for vehicle applications |
| US8912687B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-16 | Witricity Corporation | Secure wireless energy transfer for vehicle applications |
| US8907531B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-09 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with variable size resonators for medical applications |
| US10559980B2 (en) | 2008-09-27 | 2020-02-11 | Witricity Corporation | Signaling in wireless power systems |
| US9496719B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-11-15 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for implantable devices |
| US8901778B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-02 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with variable size resonators for implanted medical devices |
| US8947186B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-03 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer resonator thermal management |
| US9515494B2 (en) | 2008-09-27 | 2016-12-06 | Witricity Corporation | Wireless power system including impedance matching network |
| US9544683B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-01-10 | Witricity Corporation | Wirelessly powered audio devices |
| US10536034B2 (en) | 2008-09-27 | 2020-01-14 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer resonator thermal management |
| US10084348B2 (en) | 2008-09-27 | 2018-09-25 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for implantable devices |
| US11958370B2 (en) | 2008-09-27 | 2024-04-16 | Witricity Corporation | Wireless power system modules |
| US9596005B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-03-14 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer using variable size resonators and systems monitoring |
| US10446317B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-10-15 | Witricity Corporation | Object and motion detection in wireless power transfer systems |
| US9601266B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Multiple connected resonators with a single electronic circuit |
| US9601270B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Low AC resistance conductor designs |
| US9662161B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-05-30 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for medical applications |
| US9698607B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-07-04 | Witricity Corporation | Secure wireless energy transfer |
| US9711991B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-07-18 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer converters |
| US9742204B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-08-22 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer in lossy environments |
| US9744858B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-08-29 | Witricity Corporation | System for wireless energy distribution in a vehicle |
| US9748039B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-08-29 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer resonator thermal management |
| US9754718B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-09-05 | Witricity Corporation | Resonator arrays for wireless energy transfer |
| US8946938B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-03 | Witricity Corporation | Safety systems for wireless energy transfer in vehicle applications |
| US9780605B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-10-03 | Witricity Corporation | Wireless power system with associated impedance matching network |
| US10410789B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-09-10 | Witricity Corporation | Integrated resonator-shield structures |
| US9806541B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-10-31 | Witricity Corporation | Flexible resonator attachment |
| US8901779B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-12-02 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with resonator arrays for medical applications |
| US9035499B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-05-19 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for photovoltaic panels |
| US10340745B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-07-02 | Witricity Corporation | Wireless power sources and devices |
| US10300800B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-05-28 | Witricity Corporation | Shielding in vehicle wireless power systems |
| US10264352B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-04-16 | Witricity Corporation | Wirelessly powered audio devices |
| US8963488B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-24 | Witricity Corporation | Position insensitive wireless charging |
| US10230243B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-03-12 | Witricity Corporation | Flexible resonator attachment |
| US9843228B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Impedance matching in wireless power systems |
| US10218224B2 (en) | 2008-09-27 | 2019-02-26 | Witricity Corporation | Tunable wireless energy transfer systems |
| US8847548B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-09-30 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for implantable devices |
| US9584189B2 (en) | 2008-09-27 | 2017-02-28 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer using variable size resonators and system monitoring |
| US8692412B2 (en) | 2008-09-27 | 2014-04-08 | Witricity Corporation | Temperature compensation in a wireless transfer system |
| US8957549B2 (en) | 2008-09-27 | 2015-02-17 | Witricity Corporation | Tunable wireless energy transfer for in-vehicle applications |
| US9831682B2 (en) | 2008-10-01 | 2017-11-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Efficient near-field wireless energy transfer using adiabatic system variations |
| US9602168B2 (en) | 2010-08-31 | 2017-03-21 | Witricity Corporation | Communication in wireless energy transfer systems |
| US9948145B2 (en) | 2011-07-08 | 2018-04-17 | Witricity Corporation | Wireless power transfer for a seat-vest-helmet system |
| US9787141B2 (en) | 2011-08-04 | 2017-10-10 | Witricity Corporation | Tunable wireless power architectures |
| US11621585B2 (en) | 2011-08-04 | 2023-04-04 | Witricity Corporation | Tunable wireless power architectures |
| US10734842B2 (en) | 2011-08-04 | 2020-08-04 | Witricity Corporation | Tunable wireless power architectures |
| US9384885B2 (en) | 2011-08-04 | 2016-07-05 | Witricity Corporation | Tunable wireless power architectures |
| WO2013036947A3 (en) * | 2011-09-09 | 2013-05-02 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10027184B2 (en) | 2011-09-09 | 2018-07-17 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US9442172B2 (en) | 2011-09-09 | 2016-09-13 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10778047B2 (en) | 2011-09-09 | 2020-09-15 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US11097618B2 (en) | 2011-09-12 | 2021-08-24 | Witricity Corporation | Reconfigurable control architectures and algorithms for electric vehicle wireless energy transfer systems |
| US10424976B2 (en) | 2011-09-12 | 2019-09-24 | Witricity Corporation | Reconfigurable control architectures and algorithms for electric vehicle wireless energy transfer systems |
| US9318257B2 (en) | 2011-10-18 | 2016-04-19 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for packaging |
| US9306635B2 (en) | 2012-01-26 | 2016-04-05 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer with reduced fields |
| US10158251B2 (en) | 2012-06-27 | 2018-12-18 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for rechargeable batteries |
| US9343922B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-05-17 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for rechargeable batteries |
| US9287607B2 (en) | 2012-07-31 | 2016-03-15 | Witricity Corporation | Resonator fine tuning |
| US9595378B2 (en) | 2012-09-19 | 2017-03-14 | Witricity Corporation | Resonator enclosure |
| US9404954B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-08-02 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10686337B2 (en) | 2012-10-19 | 2020-06-16 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10211681B2 (en) | 2012-10-19 | 2019-02-19 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US9465064B2 (en) | 2012-10-19 | 2016-10-11 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10186372B2 (en) | 2012-11-16 | 2019-01-22 | Witricity Corporation | Systems and methods for wireless power system with improved performance and/or ease of use |
| US9842684B2 (en) | 2012-11-16 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Systems and methods for wireless power system with improved performance and/or ease of use |
| US9449757B2 (en) | 2012-11-16 | 2016-09-20 | Witricity Corporation | Systems and methods for wireless power system with improved performance and/or ease of use |
| US11112814B2 (en) | 2013-08-14 | 2021-09-07 | Witricity Corporation | Impedance adjustment in wireless power transmission systems and methods |
| US9857821B2 (en) | 2013-08-14 | 2018-01-02 | Witricity Corporation | Wireless power transfer frequency adjustment |
| US11720133B2 (en) | 2013-08-14 | 2023-08-08 | Witricity Corporation | Impedance adjustment in wireless power transmission systems and methods |
| US9780573B2 (en) | 2014-02-03 | 2017-10-03 | Witricity Corporation | Wirelessly charged battery system |
| US9952266B2 (en) | 2014-02-14 | 2018-04-24 | Witricity Corporation | Object detection for wireless energy transfer systems |
| US9842687B2 (en) | 2014-04-17 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems with shaped magnetic components |
| US10186373B2 (en) | 2014-04-17 | 2019-01-22 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems with shield openings |
| US9892849B2 (en) | 2014-04-17 | 2018-02-13 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems with shield openings |
| US9837860B2 (en) | 2014-05-05 | 2017-12-05 | Witricity Corporation | Wireless power transmission systems for elevators |
| US10018744B2 (en) | 2014-05-07 | 2018-07-10 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10371848B2 (en) | 2014-05-07 | 2019-08-06 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10923921B2 (en) | 2014-06-20 | 2021-02-16 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems for surfaces |
| US11637458B2 (en) | 2014-06-20 | 2023-04-25 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems for surfaces |
| US9954375B2 (en) | 2014-06-20 | 2018-04-24 | Witricity Corporation | Wireless power transfer systems for surfaces |
| US10574091B2 (en) | 2014-07-08 | 2020-02-25 | Witricity Corporation | Enclosures for high power wireless power transfer systems |
| US9842688B2 (en) | 2014-07-08 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Resonator balancing in wireless power transfer systems |
| US9843217B2 (en) | 2015-01-05 | 2017-12-12 | Witricity Corporation | Wireless energy transfer for wearables |
| US10248899B2 (en) | 2015-10-06 | 2019-04-02 | Witricity Corporation | RFID tag and transponder detection in wireless energy transfer systems |
| US9929721B2 (en) | 2015-10-14 | 2018-03-27 | Witricity Corporation | Phase and amplitude detection in wireless energy transfer systems |
| US10063110B2 (en) | 2015-10-19 | 2018-08-28 | Witricity Corporation | Foreign object detection in wireless energy transfer systems |
| US10651689B2 (en) | 2015-10-22 | 2020-05-12 | Witricity Corporation | Dynamic tuning in wireless energy transfer systems |
| US10141788B2 (en) | 2015-10-22 | 2018-11-27 | Witricity Corporation | Dynamic tuning in wireless energy transfer systems |
| US10651688B2 (en) | 2015-10-22 | 2020-05-12 | Witricity Corporation | Dynamic tuning in wireless energy transfer systems |
| US10075019B2 (en) | 2015-11-20 | 2018-09-11 | Witricity Corporation | Voltage source isolation in wireless power transfer systems |
| US10637292B2 (en) | 2016-02-02 | 2020-04-28 | Witricity Corporation | Controlling wireless power transfer systems |
| US10263473B2 (en) | 2016-02-02 | 2019-04-16 | Witricity Corporation | Controlling wireless power transfer systems |
| US10913368B2 (en) | 2016-02-08 | 2021-02-09 | Witricity Corporation | PWM capacitor control |
| US10063104B2 (en) | 2016-02-08 | 2018-08-28 | Witricity Corporation | PWM capacitor control |
| US11807115B2 (en) | 2016-02-08 | 2023-11-07 | Witricity Corporation | PWM capacitor control |
| US11588351B2 (en) | 2017-06-29 | 2023-02-21 | Witricity Corporation | Protection and control of wireless power systems |
| US11637452B2 (en) | 2017-06-29 | 2023-04-25 | Witricity Corporation | Protection and control of wireless power systems |
| US11043848B2 (en) | 2017-06-29 | 2021-06-22 | Witricity Corporation | Protection and control of wireless power systems |
| US11031818B2 (en) | 2017-06-29 | 2021-06-08 | Witricity Corporation | Protection and control of wireless power systems |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH04265875A (ja) | 平面型グラジオメータ | |
| US5053834A (en) | High symmetry dc SQUID system | |
| EP3124989B1 (en) | A monolithic three-axis magnetic field sensor and manufacturing method therefor | |
| US5049809A (en) | Sensing device utilizing magneto electric transducers | |
| US9341684B2 (en) | Magnetic field sensing apparatus and methods | |
| US9470764B2 (en) | Magnetic field sensing apparatus and methods | |
| JP3093135B2 (ja) | 平面ソレノイド及び平面ソレノイドを用いたｓｑｕｉｄ磁力計 | |
| US5767043A (en) | Multiple squid direct signal injection device formed on a single layer substrate | |
| EP0147655A2 (en) | Miniature squid susceptometer | |
| EP1547167B1 (en) | Superconducting quantum interference device | |
| CN203811786U (zh) | 一种单芯片三轴磁场传感器 | |
| JPH11507436A (ja) | 複合超電導量子干渉素子および回路 | |
| JPH10242537A (ja) | 超伝導量子干渉素子 | |
| JPH07113664B2 (ja) | 超電導磁界分布測定装置 | |
| JP3018540B2 (ja) | ３軸型グラジオメータ | |
| Seidel et al. | Development and investigation of novel single-layer gradiometers using highly balanced gradiometric SQUIDs | |
| JPH04125981A (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| CN104880678B (zh) | 一种磁传感装置及其制备工艺 | |
| JPH0499979A (ja) | Ｓｑｕｉｄ磁束計 | |
| JPH02205784A (ja) | 超電導磁気抵抗素子 | |
| JP3062959B2 (ja) | 高感度磁場検出器 | |
| JP2909790B2 (ja) | 超伝導検出コイル | |
| JP2592965Y2 (ja) | 超伝導検出コイル | |
| JPH03115874A (ja) | 高感度磁束計 | |
| JPH0743441A (ja) | 超電導磁気センサ |