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JPH04192512A - 半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置 - Google Patents

半導体装置の生産システムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置

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Publication number
JPH04192512A
JPH04192512A JP2324331A JP32433190A JPH04192512A JP H04192512 A JPH04192512 A JP H04192512A JP 2324331 A JP2324331 A JP 2324331A JP 32433190 A JP32433190 A JP 32433190A JP H04192512 A JPH04192512 A JP H04192512A
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JP
Japan
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product
processing
production
manufacturing
products
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Application number
JP2324331A
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English (en)
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JP2753142B2 (ja
Inventor
Kenjiro Hara
健二朗 原
Atsunori Kajio
篤紀 梶尾
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
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Priority to KR1019910021005A priority patent/KR950000506B1/ko
Priority to US07/799,181 priority patent/US5375061A/en
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31429—Predict end of job execution, schedule new job beforehand
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45026—Circuit board, pcb
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は計算機管理による半導体装置の生産システム、
生産管理装置および製造装置に関する。
（従来の技術） 半導体装置の生産システムには、それぞれ複数種の半導
体製品を処理可能な複数の製造装置を並列的に備え、複
数の次投入待製品群を次投入待製品特機部に待機させて
おき、次製品を処理可能な状態の製造装置か生じるごと
に計算機からなる生産管理装置が次処理製品の投入スケ
ジューリングを行って、次製品を処理可能な製造装置に
上記複数の次投入待製品の中から一の次投入待製品群を
投入するようになっているものかある。
この種の生産システムにあっては一般にその投入スケジ
ューリングを各製造装置からの生産完了報告に応答して
リアルタイムスケジューリングとして行われるようにな
っている。
第７図は半導体装置の組立て装置のシステムによる処理
状況を時系列的に示したものである。
この図において、まず、Ｔは時間軸を示し、図中、下方
はど未来、逆に上方はど過去の時点であることを表す。
装置１，２．・・・、ｎは生産システムに組み込まれて
各々一つの生産ラインを構成する半導体装置の組立て装
置で、治工具切替え等、段取替えによって上記した通り
複数種の半導体製品を処理可能で、互いに同一の処理を
行う能力を有しているものである。さらに、これら装置
１，２．・・・２　ｎは第８図にフローチャートとして
示すような生産完了報告機能を有している。つまり、装
置１．２゜・・・、ｎは、ステップ５８０１において投
入されたー群の製品の全てについて生産完了か否かをチ
エツクし、生産か完了すると、ステップ５８０２で示す
ように生産完了報告を上位計算機、つまり生産管理装置
に向けて送信するものである。
ｐｌ〜ｐ６は製品群を示しており、Ａ−Ｄは対応する各
製品群ｐ１〜ｐ６の種類を示している。
したかって、製品群ｐ１の品種はＡ２製品群ｐ２゜ｐ３
の品種はＢ、製品群ｐ４．ｐ５の品種はＣ１製品群ｐ６
の品種はＤとなる。
実線１１１は装置１が製品群ｐ１を処理している時、破
線１１２は装置１が製品群ｐ２を処理している時、実線
１２１は装置２か製品群ｐ３を処理している時、破線１
２２は装置２が製品群ｐ４を処理している時、実線１３
１は装置３が製品群ｐ５を処理している時、破線１３２
は装置３が製品群ｐ６を処理している時、をそれぞれ示
している。
装置１，２．・・・、ｎは１つの製品群の処理が終了す
ると図示しない生産管理装置へ終了報告を出すようにな
っており、ｆｌ、ｆ２．・・・、ｆｎは各装置１，２．
・・・、ｎか出す生産完了報告である。
Ｓは複数の次投入待製品群（いわゆるバッファ）を待機
させておく仕掛品槽である。一つの製品群は複数の同種
製品がまとめられているものであり、収納箱に収められ
た状態で棚Ｓより各装置１，２゜・・・、ｎに投入され
る。
以上において当該生産システムの生産管理装置によるス
ケジューリングについて説明する。
まず、時点ｔ７１より前の時点では、装置１は製品群ｐ
１、装置２は製品群ｐ３、装置ｎは製品群ｐ５、のそれ
ぞれについて組立て処理を行っている。
やがて、装置１が、製品群ｐ１についての処理を終了し
、時点ｔ７１において生産完了報告ｆ１を生産管理装置
に上げる。
すると、これを受けた生産管理装置は、棚Ｓに待機して
いる次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製品
（次投入製品）を予め定められている優先規則に従って
決定する。この優先規則は、Ｆ　Ｉ　Ｆ　Ｏ（Ｆｉｒｓ
ｔ　ｉｎ　Ｆｉｒｓｔ　ｏｕｔ）を前提とし、生産完了
報告を出した装置が処理していた製品群と同種の製品群
が棚Ｓに存在しないときには最古の次投入待製品群を次
投入製品として決定し、生産完了報告を出した装置が処
理していた製品群と同種の製品群が棚Ｓに存在するとき
には、この方を優先して同種の投入特製品群を次投入製
品群として決定するようになっている。ここで、棚Ｓに
は図に示すように３つの製品群ｐ２．ｐ４．ｐ８　Ｌか
存在せず、そのＦＩＦＯ規則に従うとき製品群ｐ２．ｐ
４．ｐＢの順に優先度が高いとする。よって、この場合
、装置１は、時点ｔ７１までは品種Ａの製品群ｐ１につ
いて処理していたのに対し、棚Ｓには同種の製品群が存
在しないため、製品群ｐ２が次投入製品群として決定さ
れる。
生産管理装置は、この次投入製品を決定すると、装置１
に向けてその製品ｐ２を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
これにより、製品ｐ２が装置１に投入される。
同様に、時点ｔ７２においては装置２から品種Ｂの製品
ｐ３についての生産完了報告ｆ２か管理装置に上げられ
るか、この時においても品種Ｂの製品は既に装置１へ投
入されてしまっているために同種製品は存在せず、よっ
てＦＩＦＯ規則に従い製品Ｃが装置２へ投入されること
となる。
さらに、時点ｔ７３においては装置Ｎから品種Ｃの製品
ｐ５についての生産完了報告ｆｎが管理装置に上げられ
るが、この時においても品種Ｃの製品は既に装置２へ投
入されてしまっているために同種製品は存在せず、よっ
てＦＩＦＯ規則に従い製品りが装置ｎへ投入されること
となる。
このようにして、仕掛品ｍｓに待機している製品群は、
製品管理装置によるスケジューリングの下で、順次、空
いた装置へ投入され、処理が施されて行くこととなる。
しかし、同一装置で処理品種が切替る場合、上述したよ
うに製品群投入の際に段取替えを伴うが、上記従来の生
産方式では、少しの時間待てば処理製品の切替えが不要
となっていたにもかかわらず製品の切替えを行っている
ケースを生じ、段取り替えの回数を多くすることとなっ
ている。
つまり、上記時点ｔ７１における製品群ｐ２の装置１へ
の投入、時点ｔ７２ｔｉおける製品群ｐ４の装置２への
投入かそれに当たる。
生産システムの中には特に段取り替えに手間と時間を要
するものがあり、このようなもの程、段取替えが必要以
上に多いと工期を長くし、作業者の負担を増大させると
いう問題がある。
（発明が解決しようとする課題） 上記した通り、従来の生産システムにあっては、不要に
処理製品の切替え頻度を増大させるという問題があった
。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、処理製品切替えの頻度を減少
させ、生産能率の向上を図った半導体装置の生産システ
ムにおける生産管理方法、生産管理装置および製造装置
を提供することを目的とする。
〔発明の構成〕
（課題を解決するための手段） 本発明の生産管理方法は、それぞれ複数種の半導体製品
を処理可能であって且つ互いに同等処理を行う能力を持
つ複数の製造装置のいずれかに投入されるべき複数の次
投入待製品群を次投入待製品特機部に待機させ、上記複
数の製造装置の中に複数の次投入待製品群の中のいずれ
かと同種の製品を処理中の装置があるとき、上記複数の
製造装置各々の処理進捗情報に基づいて、異種製品処理
中の製造装置が同種製品処理中の製造装置より先に上記
複数の次投入待製品群の中の当該同種製品を投入可能な
状態になった場合であっても、かかる異種製品処理中の
製造装置に対しては投入せず同種製品処理中の製造装置
に対しての投入を優先させるように上記複数の製造装置
に対する上記複数の次投入待製品群の投入割付けを行う
ことを特徴とする。
本発明の生産管理装置は、それぞれ複数種の半導体製品
を処理可能であって且つ互いに同等処理を行う能力を持
つ複数の製造装置のいずれかによって処理されるべき複
数の次投入待製品群を次投入待製品特機部に待機させて
おき、複数の製造装置の中に次製品を処理可能な状態の
装置が生じるごとに次製品を処理可能な製造装置か上記
複数の次投入待製品群の中から一の次投入待製品群を選
択処理するようになっている半導体装置の生産システム
において、上記複数の製造装置各々から生産完了予告を
受けると、その生産完了予告を出した製造装置か処理中
の製品と同種の製品が上記次投入待製品群の中に在ると
き、その同種の製品を、上記生産完了予告を出した製造
装置より先に他の製造装置が次製品の処理可能な状態に
なっても、かかる他の製造装置には投入せず上記生産完
了予告を出した製造装置の方に投入するという同種優先
割付けの対象として決定する手段と、上記複数の製造装
置各々から生産完了報告を受けると、その生産完了報告
受信時においてその生産完了報告を出した製造装置か処
理していた製品と同種の製品が上記複数の次投入待製品
の中に在るときにはその同種の製品を次投入製品として
決定し、生産完了報告受信時においてその生産完了報告
を出した製造装置が処理していた製品と同種の製品か上
記複数の次投入待製品群の中に無いときには優先割付け
の対象となっている製品以外の製品を上記次投入製品と
して決定して上記生産完了報告を出した製造装置に次製
品投入指示を与える手段とを備えている。
本発明の製造装置は、複数の次投入待製品群を次投入待
製品特機部に待機させておき、処理中の製品に関する処
理進捗情報に基づいて次処理製品のスケジューリングを
行う生産管理装置を備えた半導体装置の生産システムに
おいて、処理中の製品残数が設定値に達したときに生産
完了予告を上記生産管理装置に与える手段を備えている
ものである。
（作　用） 本発明によれば、次投入製品群をスケジューリングする
際の情報として各製造装置における処理進捗情報を採用
し、その進捗具合がかなり進み、終りに近付いているも
のがあるとき、投入特製品群の中にその製造装置が処理
しているものと同種の製品群があるときにはその製品群
を同種優先割付けの対象として決定することにより、前
もって、その処理か終わりそうな製造装置とその製品群
との係わりを付けておき、異種製品を処理していた製造
装置か同種製品を処理していた製造装置より先に処理か
終わってもその異種製品を処理していた製造装置に同種
優先割付けの対象としての製品群が投入されないように
して同種割付は規則を優先させることとなる。
これにより、処理製品の切替え頻度か低下し、上記従来
技術のように、少しの時間待てば処理製品の切替えか不
要となっていたにもかかわらす製品の切替えを行ってい
るケースを生じて段取り替えの回数を多くするという問
題を生ずることかなく、工期の短縮、作業者の負担軽減
を達成することかできる。
（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しつつ説明す
る。
ます、第７図に示す装置１，２．・・、ｎの場合、上位
計算機への報告機能としては生産完了報告機能のみ持っ
ていたのに対し、本実施例の装置１゜２、、、、、　　
ｎ（第１図および第２図参照）の場合にはその生産完了
報告機能に加えて、生産完了予告機能をも有しているも
のである。
第２図に示すように装置１，２．・・、ｎは生産管理装
置としての上位計算機Ｈに生産完了報告信号■と生産管
理予告信号■とを出力するようになっており、生産完了
予告信号■は処理が予め設定されている程度まで進んだ
時に発生されるもので、つまり生産完了報告信号■に先
立って発生される。
第３図および第４図はかかる各組立装置１，２゜・、ｎ
の持つスケジューリング用の機能を示すフローチャート
である。
第３図において、ます、ステップ５３０１においては第
５図に示すようなバーコードリーダＲによる読込み或い
は上位計算機Ｈからの信号による読込みによって投入す
る製品群の製品数、つまり生産予定製品数を取入れる。
バーコードによる場合にはバーコードリーダＲを各組立
装置１，２．・・・、ｎに設置しておき、バーコードを
例えば第５図に示すようなシールＣとして収納ケースに
張付けたり、あるいは収納ケース自体に印刷するなどし
て設け、製品群の投入前にこれを読込ませるようにする
。
上位計算機Ｈからの信号による場合、上位計算機Ｈに各
製品群の製品数を予め知らせておき、投入指示に伴わせ
て第６図に示すように上位計算機Ｈから各組立装置１，
２．・・・、ｎへ生産予定数データ■を送信させるよう
にする。
次に、ステップ５３０２においては生産残数を計算する
。これは−製品の処理終了毎に行うものであり、サブル
ーチンＭｌの実行により求める。
このサブルーチンＭｌは第６図に示すようにステップ５
３０１において読込んた生産予定製品数から厳正算数を
差し引いたものとして求められる。
その終了後、ステップ８３０３においてはステップ５３
０３で求めた生産残数が設定値に等しいかとうかを判断
する。これは、つまり、生産完了予告信号■を出すタイ
ミングになったか占かを確認しているものである。
このステップ８３０３における判断かＮ　（Ｎｏ）であ
る場合にはステップＳ　３０２に戻る。このため、生産
完了予告信号■を出すタイミングになるまでこのステッ
プ５３０２．　８３０３を繰返し実行する二ととなる。
ステップ８３０３における判断がＹ（ＹＥＳ）である場
合にはステップ５３０４に進む。
このステップ５３０４では上位計算機Ｈへ生産完了予告
信号■を上位計算機Ｈに与えるものである。
次にステップ５３０５においてはステップ５３０２と同
じ処理を行うものであり、ここで求められた値はステッ
プ５３０６で“０゛と比較判断される。つまり、ここで
は、製品群の全ての製品について生産が完了したか否か
をチエツクしている。
このステップ５３０６の判断かＮである場合、ステップ
５３０５に戻る。よって、生産完了報告ｆ工号■を出す
タイミンクになるまで、このステップ５３０５．５３０
６を繰返し実行する。
ステップ８３０６の判断かＹになると、ステップ５３０
７において、上位計算機Ｈへ生産完了報告信号■を上げ
ることとなる。
上位計算機Ｈは、上述したような組立装置〕。
２、・・、ｎからの生産完了予告信号■を受けると、そ
の受信時、投入特製品群の中にその製造装置が処理して
いるものと同種の製品群があるときにはその製品群を同
種優先割付けの対象として決定する。これは、前もって
、その処理が終わりそうな組立装置とその製品群との係
わりを付けておき、異種製品を処理していた組立装置が
同種製品を処理していた組立装置より先に処理が終わっ
てもその異種製品を処理していた組立装置に同種優先割
付けの対象としての製品群が投入されないようにするた
めのものである。
すなわち、この上位計算機Ｈにおいては、各組立装置１
．　２．・・、ｎから生産完了報告を受信する毎に、次
のような規則に従って投入スケジューリングを行うよう
になっている。
まず、その生産完了報告受信時においてその生産完了報
告を出した製造装置が処理していた製品と同種の製品が
次投入待製品群の中に存在するか否かを判断する。
この判断の結果、同種製品が存在する場合には、その製
品群を次投入製品群として決定する。
また、その判断の結果、同種製品が存在しない場合、上
記優先割付けの対象となっている製品以外の製品の中か
らＦＩＦＯ規則に従い最古の製品群を次投入製品として
決定するものである。
第１図は本発明の上記のように構成された半導体装置の
組立てシステムによる処理状況を時系列的に示したもの
である。ここでは、第７図に示す要素と同一の要素につ
いては同一符号を付してあり、以下においては第７図と
異なる部分に重点を置いて説明する。
この図において、実線１１１は装置１が製品群ｐ１を処
理している時、破線１１２は装置ｌが製品群ｐ２を処理
している時、実線１２１は装置２か製品群ｐ３を処理し
ている時、破線１２２は装置２か製品群ｐ４を処理して
いる時、実線１３１は装置３が製品群ｐ５を処理してい
る時、破線１３２は装置３が製品群ｐ６を処理している
時、をそれぞれ示している。
ｍｌ、ｍ２．・・・、ｍｎは各組立装置１，２．・・・
。
ｎからの上記生産完了予告信号■による生産完了予告で
ある。　　− 以上において当該生産システムの生産管理装置によるス
ケジューリングについて説明する。
まず、時点ｔｌｌより前の時点では、装置１は製品群ｐ
ｔ、装置２は製品群ｐ３、装置ｎは製品群ｐ５、のそれ
ぞれについて組立て処理を行っている。
やがて、装置１が、製品群ｐ１についての処理の終了が
近付き、時点ｔｌｌにおいて生産完了予告ｍｌを上位計
算機Ｈに上げる。
すると、計算機Ｈは投入特製品群ｐ２．ｐ４゜ｐ６の中
にその組立装置１か処理しているものと同種の製品群か
あるか否かを判断する。この場合には、装置１は品種Ａ
の製品群ｐ１を処理しているため、これと同種の製品は
無く、同種優先割り付は対象の決定は無い。
次に、装置２か、製品群ｐ３についての処理の終了が近
付き、時点ｔ１２において生産完了予告ｍ２を上位計算
機Ｈに上げる。
すると、計算機Ｈは、予告ｍｌを受取ったときと同様の
判断を組立装置２が処理している製品群ｐ３について行
う。この場合、製品群ｐ３の品種はＢであるため、これ
と同種の製品である製品群ｐ２を同種優先割り付けの対
象として決定する。
時点１３における装置ｎからの予告ｍｎを受けたときも
同様の処理が行われ、製品群ｐ５と同種の製品群ｐ４が
同種優先割り付けの対象として決定される。
そして、まず、装置１が製品群ｐ１についての処理を完
了し、時点ｔ１４において生産完了報告ｆｌを上記計算
機Ｈに上げる。
すると、これを受けた上位計算機Ｈは、棚Ｓに待機して
いる次投入待製品群の中から次に装置１に投入する製品
（次投入製品）を予め定められている上記した優先規則
に従って決定する。ここで、棚Ｓには図に示すように３
つの製品群ｐ２．ｐ４゜ｐ６Ｌか存在せず、そのＦＩＦ
Ｏ規則に従うとき製品群ｐ４．ｐ２．ｐ６の順に優先度
か高いとする。この場合、装置１は、時点ｔ１４までは
品種Ａの製品群ｐｌについて処理していたのに対し、棚
Ｓには同種の製品群か存在しない。そのため、同種優先
割り付けの対象となっていない製品群ｐ６か次投入製品
群として決定され、ＦＩＦＯ規則では先に投入されるべ
き製品群ｐ２は装置１へ投入されない。
上位計算機Ｈは、この次投入製品を決定すると、装置１
に向けてその製品ｐ６を引張るように投入指示を出す。
この場合、品種替えに伴う段取替えの指示を伴う。
同様に、時点ｔ１５においては装置２から品種Ｂの製品
ｐ３についての生産完了報告ｆ２が計算機Ｈに上げられ
る。この時には、既に同種優先対象として決定されてい
た品種Ｂの製品群ｐ２が装置２へ投入されることとなり
、段取り替えの指示は伴わない。
さらに、時点ｔｌＢにおいては装置ｎから品種Ｃの製品
ｐ５についての生産完了報告ｆｎが管理装置に上げられ
る。この時にも同種優先対象として決定されていた同種
の製品群ｐ４が装置ｎに投入され、段取り替えの指示は
伴わない。
このようにして、仕掛品槽Ｓに待機している製品群は、
製品管理装置によるスケジューリングの下で、順次、空
いた装置へ投入され、処理が施されて行くこととなる。
以上のようにして、本実施例によれば、従来のように、
少しの時間待てば処理製品の切替えか不要となっていた
にもかかわらず製品の切替えを行っているケースを排除
するようにしたため、処理製品の切替え頻度か低下し、
段取り替えの回数が減少する。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、次投入製品群をス
ケジューリングする際の情報として各製造装置における
処理進捗情報を採用し、その進捗具合かかなり進み、終
りに近付いているものがあるとき、投入特製品群の中に
その製造装置が処理しているものと同種の製品群がある
ときにはその製品群を同種優先割付けの対象として決定
することにより、前もって、その処理が終わりそうな製
造装置とその製品群との係わりを付けておき、異種製品
を処理していた製造装置が同種製品を処理していた製造
装置より先に処理が終わってもその異種製品を処理して
いた製造装置に同種優先割付けの対象としての製品群が
投入されないようにして同種割付は規則を優先させるよ
うにしたから、少しの時間待てば処理製品の切替えが不
要となっていたにもかかわらず製品の切替えを行ってい
たケースを排除するようにしたため、処理製品の切替え
頻度が低下し、段取り替えの回数が減少して、工期短縮
ならびに作業者の負担軽減を図ることかできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例に係る組立システムによるス
ケジューリングを時系列的に示す説明図、第２図はその
組立システムのブロック図、第３図はその組立装置の上
位計算機に対する報告処理内容を示すフローチャート、
第４図はその生産残数計算処理の処理内容を示すフロー
チャート、第５図は組立装置における生産予定製品数デ
ータの取込みに用いる一手段としてのバーコードリーダ
ならびにバーコードラベルの説明図、第６図は他の手段
としての上位計算機から組立装置へのデータ供給状態の
説明図、第７図は従来の組立システムによるスケジュー
リングを時系列的に示す説明図、第８図はその組立装置
の上位計算機に対する報告機能の処理内容を示すフロー
チャートである。 １〜ｎ・・・組立装置、Ｈ・・・上位計算機、ｐｔ。 ｐ３．ｐ５・・・処理中の製品群、ｐ２．ｐ４．ｐ５・
・・次投入待製品群、Ｓ・・・仕掛品槽、ｆ１〜ｆｎ・
・・生産完了報告、ｍ１〜ｍｎ・・・生産完了予告、Ａ
〜Ｄ・・・品種。 す／　　　　　頒１２　　　　　　超１η莞１図 男２図 蝉３図 充５図 ％８図 表ＭＩ　　　　　表８２　　　　　　蜘Ｉ郵７図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、それぞれ複数種の半導体製品を処理可能であって且
    つ互いに同等処理を行う能力を持つ複数の製造装置のい
    ずれかに投入されるべき複数の次投入待製品群を次投入
    待製品待機部に待機させ、前記複数の製造装置の中に前
    記複数の次投入待製品群の中のいずれかと同種の製品を
    処理中の装置があるとき、前記複数の製造装置各々の処
    理進捗情報に基づいて、異種製品処理中の製造装置か該
    同種製品処理中の製造装置より先に前記複数の次投入待
    製品群の中の当該同種製品を投入可能な状態になった場
    合であっても該異種製品処理中の製造装置に対しては投
    入せず該同種製品処理中の製造装置に対しての投入を優
    先させるように前記複数の製造装置に対する前記複数の
    次投入待製品群の投入割付けを行う、 ことを特徴とする半導体装置の生産システムにおける生
    産管理方法。 ２、それぞれ複数種の半導体製品を処理可能であって且
    つ互いに同等処理を行う能力を持つ複数の製造装置のい
    ずれかによって処理されるべき複数の次投入待製品群を
    次投入待製品待機部に待機させておき、前記複数の製造
    装置の中に次製品を処理可能な状態の装置が生じるごと
    に該次製品を処理可能な製造装置が前記複数の次投入待
    製品群の中から一の次投入待製品群を選択処理するよう
    になっている半導体装置の生産システムにおいて、 前記複数の製造装置各々から生産完了予告を受けると、
    その生産完了予告を出した製造装置が処理中の製品と同
    種の製品が前記次投入待製品群の中に在るとき該同種の
    製品を、該生産完了予告を出した製造装置より先に他の
    製造装置が次製品の処理可能な状態になっても該他の製
    造装置には投入せず前記生産完了予告を出した製造装置
    の方に投入するという優先割付けの対象として決定する
    手段と、 前記複数の製造装置各々から生産完了報告を受けると、
    その生産完了報告受信時においてその生産完了報告を出
    した製造装置が処理していた製品と同種の製品が前記複
    数の次投入待製品の中に在るときにはその同種の製品を
    次投入製品として決定し、該生産完了報告受信時におい
    てその生産完了報告を出した製造装置が処理していた製
    品と同種の製品が前記複数の次投入待製品群の中に無い
    ときには前記優先割付けの対象となっている製品以外の
    製品を前記次投入製品として決定し前記生産完了報告を
    出した製造装置に次製品投入指示を与える手段と、 を備えている半導体装置の生産システムにおける生産管
    理装置。 ３、複数の次投入待製品群を次投入待製品待機部に待機
    させておき、処理中の製品に関する処理進捗情報に基づ
    いて次処理製品のスケジューリングを行う生産管理装置
    を備えた半導体装置の生産システムにおいて、 前記処理中の製品残数が設定値に達したときに生産完了
    予告を前記生産管理装置に与える手段を備えている半導
    体装置の生産システムにおける製造装置。
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