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JPH04163406A - Waveguide type optical coupler - Google Patents

Waveguide type optical coupler

Info

Publication number
JPH04163406A
JPH04163406A JP28938090A JP28938090A JPH04163406A JP H04163406 A JPH04163406 A JP H04163406A JP 28938090 A JP28938090 A JP 28938090A JP 28938090 A JP28938090 A JP 28938090A JP H04163406 A JPH04163406 A JP H04163406A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
waveguide
input
polarization
light
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28938090A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Takahashi
浩 高橋
Norio Nishi
功雄 西
Masayuki Okuno
将之 奥野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Telegraph and Telephone Corp filed Critical Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority to JP28938090A priority Critical patent/JPH04163406A/en
Publication of JPH04163406A publication Critical patent/JPH04163406A/en
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    • G02OPTICS
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Abstract

PURPOSE:To eliminate the polarization dependence without necessity of eliminating double refraction of respective channel waveguides by arranging a polarization separation circuit and two input waveguides for horizontal polarized light and for vertical polarized light. CONSTITUTION:The wavelength multiple signal light from a transmission line 9 are separated into a horizontal polarization (TE) light component and a vertical polarization (TM) light component by means of a polarization separation circuit 10, and through polarization holding fibers 11, 12 the TE polarization light component and the TM polarization light component pass through the first input waveguide 2 and the second input waveguide 3 respectively, leading to incidence on an input side slab waveguide 4. The light diffuses because no horizontal confinement exists within the slab waveguide, and waves are guided into a plurality of channel waveguide 6. After receiving the required phase difference at an array waveguide, the light is emitted to the output side slab waveguide, and converges in the vicinity of the center of curvature. The converging position is obtained from a different output waveguide 8 based on the wavelength according to the phase difference received at the array waveguide.

Description

【発明の詳細な説明】 ニー産業上の利用分野ヨ 光通信の分野においては、複数の信号を別々の波長の光
に載せ、1本の光ファイバで伝送し通信容量を拡大する
方法(波長分割多重伝送方法)か検討されている。この
方式においては、異なる波長の光を合波あるいは分波す
る光合分波器か重要な役割を果たしているか、本発明は
、この光合分波器における偏波依存性の解消に関するも
のである。
Detailed Description of the Invention: In the field of optical communications, a method for increasing communication capacity by loading multiple signals onto light of different wavelengths and transmitting them through a single optical fiber (wavelength division). (multiplex transmission method) is being considered. In this system, an optical multiplexer/demultiplexer that multiplexes or demultiplexes lights of different wavelengths plays an important role.The present invention relates to eliminating polarization dependence in this optical multiplexer/demultiplexer.

膳従来の技術」 近年、波長分割多重伝送システムにおいて、多重度を増
やし伝送量を飛躍的に増大させようとする試みがなされ
ている。その現実には、波長#3隔が1ナノメートル程
度、あるいはそれ以下の複数の信号光を合波・分波でき
る合分波器か必要である。しかしなから、従来の回折格
子を用いた光合分波器では、利用できる回折次数に制限
かあり十分な分散か得られないことから、波長間隔を1
す7メートル以下にすることかできなかった。
BACKGROUND ART In recent years, attempts have been made to dramatically increase the amount of transmission by increasing the degree of multiplexing in wavelength division multiplexing transmission systems. In reality, a multiplexer/demultiplexer that can multiplex and demultiplex multiple signal lights with a wavelength #3 interval of about 1 nanometer or less is required. However, with conventional optical multiplexers and demultiplexers using diffraction gratings, the usable diffraction orders are limited and sufficient dispersion cannot be obtained.
It was impossible to keep the distance below 7 meters.

上記の問題を解決する有力な方法として、アレー導波路
型回折格子を用いる方法か知られている( ’Arry
ed −waveguide grating for
 wavelengthdivision multi
/ demultiplexer with nano
meterresolution’ ; Electr
onics Letters、vol、26.pp81
−88.1990  および特罪平1−65588を参
照のこと)。
One known effective method to solve the above problem is to use an arrayed waveguide diffraction grating ('Arry
ed-waveguide grating for
wavelength division multi
/ demultiplexer with nano
meterresolution'; Electr
onics Letters, vol, 26. pp81
-88.1990 and special crime Hei 1-65588).

第6図は上記のアレー導波路型回折格子を用いた光合分
波器の先導波回路の構成を示した平面図である。基板5
6の上に入力導波路57、入力側スラブ導波路58、ア
レー導波路59、アレー導波路を構成するチャンネル導
波路60、出力側スラブ導波路61、複数の出力導波路
62−i(i=]、2,3.  ・・)か順次接続、配
置されている。
FIG. 6 is a plan view showing the configuration of a leading wave circuit of an optical multiplexer/demultiplexer using the above-mentioned arrayed waveguide type diffraction grating. Board 5
6, an input waveguide 57, an input slab waveguide 58, an array waveguide 59, a channel waveguide 60 forming the array waveguide, an output slab waveguide 61, and a plurality of output waveguides 62-i (i= ], 2, 3...) are connected and arranged sequentially.

入力側スラブ導波路は入力導波路との接続点付近を曲率
中心とする扇型であり、出力側スラブ導波路は呂力導/
I回路との接続点付近を曲率中心とする扇型である。
The input slab waveguide is fan-shaped with its center of curvature near the connection point with the input waveguide, and the output slab waveguide is
It is fan-shaped with its center of curvature near the connection point with the I circuit.

入力導波路から導入された波長多重信号光は、入力側ス
ラブgi、波路で広かりアレー導波路を構成する複数の
チャンネル導波路60に同位相で入射する。各々のチャ
ンネル導波路60は隣接するチャンネル導波路と一定量
△したけ長さか異なっている。アレー導波路59からの
出射光は曲率中心である圧力導波路付近に集光する。ア
レー導波路を伝搬する時に△I、に相当する位相差を受
けるので、集光位置は波長により変化する。出力導波路
は波長多重間隔に対応した間隔て配置されており、波長
毎に別々の出力導波路62−i(i=]、2゜3、・・
)から取出される。
The wavelength-multiplexed signal light introduced from the input waveguide enters the input side slab gi and a plurality of channel waveguides 60 which are wide waveguides and constitute an array waveguide in the same phase. Each channel waveguide 60 differs from adjacent channel waveguides by a certain amount Δ. The light emitted from the array waveguide 59 is focused near the pressure waveguide, which is the center of curvature. When propagating through the array waveguide, the light is subjected to a phase difference corresponding to ΔI, so the focusing position changes depending on the wavelength. The output waveguides are arranged at intervals corresponding to the wavelength multiplexing interval, and there are separate output waveguides 62-i (i=], 2°3, . . . for each wavelength.
).

アレー導波路回折格子においては、 n 、d s1nθ半ne△L=mλ   (])なる
式か満足される。ここで、n、はスラブ導波路におrす
る実効屈折率、n、はアレー導波路を構成する叩々のチ
ャンネル導波路60の実効屈折率、dは出力側スラブ導
波路との接続部分におけるアレー導波路の導波路間隔の
周期、θは出力(1117スラブ導波路内における回折
光の回折角、△Lはアレー導波路を構成するチャンネル
導波路間の光路長差、m(整数)は回折次数、λは波長
である。中心波長λ。付近では、回折次数mは、 m=ne△L/λ。   (2) となる。また、この時sinθ仕θ、 COSθ;1が
成立する範囲においては、(1)式より、分散はで与え
られる。アレー導波路回折格子、こおいては、分散は光
路長差△Lに比例する。従って、△Lを大きく取ること
により従来の回折格子とは比較にならないはと大きな分
散を得ることできる特徴かある。
In the arrayed waveguide diffraction grating, the following equation is satisfied: n, ds1nθhalfneΔL=mλ (]). Here, n is the effective refractive index of the slab waveguide, n is the effective refractive index of the channel waveguide 60 constituting the array waveguide, and d is the effective refractive index of the channel waveguide 60 at the connection with the output slab waveguide. The period of the waveguide spacing of the array waveguide, θ is the diffraction angle of the diffracted light in the output (1117 slab waveguide), △L is the optical path length difference between the channel waveguides constituting the array waveguide, m (integer) is the diffraction The order, λ, is the wavelength. Near the center wavelength λ, the diffraction order m is m = ne△L/λ. (2) At this time, in the range where sin θ, COS θ; From equation (1), the dispersion is given by: In the arrayed waveguide grating, the dispersion is proportional to the optical path length difference ΔL. Therefore, by setting ΔL large, it can be compared with the conventional diffraction grating. There is a feature that allows you to obtain an incomparably large variance.

しかも、すへての先導波回路を一括して3インチ程度の
基板上に作製できるので、レンズや回折格子を組み立て
て作製するバルク型と比較して、量産性、特性の安定性
、低価格なとの点でも有利である。
Furthermore, all leading wave circuits can be fabricated all at once on a 3-inch substrate, making it easier to mass produce, with stable characteristics, and at a lower cost than the bulk type, which is fabricated by assembling lenses and diffraction gratings. It is also advantageous in that respect.

このようにアレー導波路型回折格子は、波長間隔の狭い
波長分割多重伝送用光合分波器を作製する上て、従来の
回折格子よりも優れた特徴を有している。
As described above, the arrayed waveguide type diffraction grating has features superior to conventional diffraction gratings in producing an optical multiplexer/demultiplexer for wavelength division multiplexing transmission with a narrow wavelength interval.

「発明か解決しようとする課題」 ところか、第6図の光合分波器は大きな偏波依存性を持
つという欠点があった。これは、アレー導波路を構成す
るチャンネル導波路が複屈折性を有することに起因する
。すなわち、第2式において、水平偏波(TE)光に対
するチャンネル導波路の実効屈折率ne、T):lと、
垂直偏波(TM)光に対するneaT□か異なるためT
EとTMで中心波長か一致しないのである。
``Invention or problem to be solved'' However, the optical multiplexer/demultiplexer shown in Figure 6 has a drawback of having a large polarization dependence. This is due to the fact that the channel waveguides constituting the array waveguide have birefringence. That is, in the second equation, the effective refractive index of the channel waveguide for horizontally polarized (TE) light ne,T):l,
Since neaT□ for vertically polarized (TM) light is different, T
The center wavelengths of E and TM do not match.

例えば、火炎堆積法により作製した石英系導波路の場合
、複屈折値B−l n e(rt+  n cfTMl
 l =4X10−’である。このとき(2)式より中
心波長のずれは043nm である。波長間隔1nmで
多重された光を分波するのに、0.43nmの波長ずれ
は致命的である。
For example, in the case of a silica-based waveguide fabricated by the flame deposition method, the birefringence value B−l n e(rt+ n cfTMl
l =4X10-'. At this time, the shift in the center wavelength is 043 nm from equation (2). A wavelength shift of 0.43 nm is fatal for demultiplexing light multiplexed with a wavelength interval of 1 nm.

チャンネル導波路の複屈折性は用いる材料および作製方
法により様々である。異方性結晶は当然であるが、本来
等方法であるはずのガラス系の導波路においても複屈折
性を有することがある。最も実用的な方法である火炎堆
積法でンリコン基板上に作製した石英系導波路の場合、
ンリコンと石英カラスの熱膨張係数の値か1桁も異なる
ことが複屈折性の原因となっている。
The birefringence of channel waveguides varies depending on the materials used and the manufacturing method. Of course, anisotropic crystals may have birefringence, but even glass-based waveguides that are originally supposed to be isotropic may have birefringence. In the case of a silica-based waveguide fabricated on a silicon substrate using the flame deposition method, which is the most practical method,
The reason for the birefringence is that the thermal expansion coefficients of silicon and quartz glass differ by one order of magnitude.

作製中、1000度を越える高温iff程かあり、そこ
から室温に下がるときに熱応力か発生し複屈折性か生じ
てしまう。そのため、作製後に導波路の複屈折性を除去
するため、導波路の近傍の石英ガラスを除去し応力解放
溝を形成して、カラスにかかる圧縮応力を取り去る方法
か開発された。
During manufacture, there is a high temperature of over 1000 degrees, and when the temperature drops from there to room temperature, thermal stress occurs and birefringence occurs. Therefore, in order to remove the birefringence of the waveguide after fabrication, a method was developed in which the quartz glass near the waveguide was removed to form a stress release groove to remove the compressive stress applied to the glass.

しかしながら、この方法では、工程が複雑な上、溝の寸
法を微妙に調整する必要かあり、応力を完全に除去する
ことは困難である。】本の導波路を対象とするならとも
かく、アレー導波路を構成する数百本のチャンネル導波
路すへてに対してこの方法を適用して複屈折性を除去す
るのは不可能に近い。
However, with this method, the process is complicated and the dimensions of the grooves need to be delicately adjusted, making it difficult to completely eliminate stress. ]It is almost impossible to remove birefringence by applying this method to all of the hundreds of channel waveguides that make up an array waveguide, even if we are targeting a book waveguide.

石英系導波路に限らず、一般に、チャンネル導波路の複
屈折性を除去するのは困難であり、それにより生じる偏
波依存性か光合分波器の特性劣化の原因となっていた。
It is difficult to eliminate birefringence not only in silica-based waveguides but also in channel waveguides in general, and the resulting polarization dependence has been a cause of deterioration in the characteristics of optical multiplexers and demultiplexers.

そこで本発明は、アレー導波路型口折格子における偏波
依存性の解消を解決課題とし、より実用的な波長分割多
重伝送用の光合分波器を実現することを目的とする。
Therefore, the present invention aims to solve the problem of eliminating polarization dependence in an arrayed waveguide type opening grating, and to realize a more practical optical multiplexer/demultiplexer for wavelength division multiplex transmission.

「課題を解決するための手段− 先に述べたようにチャンネル導波路の複屈折性を除去す
ることは困難であるため、本発明においては、複屈折性
を除去することなく、アレー導波路型回折格子光合分波
器の偏波依存性を解消するための新しい光回路構成を提
案する。
"Means for Solving the Problems - As mentioned above, it is difficult to remove the birefringence of a channel waveguide. Therefore, in the present invention, without removing the birefringence, an array waveguide type We propose a new optical circuit configuration to eliminate the polarization dependence of a diffraction grating optical multiplexer/demultiplexer.

本発明の光合分波器は、従来のアレー導波路型回折格子
を用いた光合分波器と比較して、入力導波路がTE偏波
用とTM偏波用の2本の入力導波路て構成されていて、
それぞれの偏波成分か異なる位置から入力側スラブ導波
路に入射することを特徴とする。
The optical multiplexer/demultiplexer of the present invention has two input waveguides, one for TE polarization and one for TM polarization, compared to an optical multiplexer/demultiplexer using a conventional arrayed waveguide type diffraction grating. It is configured,
It is characterized in that each polarized wave component enters the input slab waveguide from different positions.

一作用」 先述のように、従来型においては、アレー導波路を構成
するチャンネル導波路の複屈折性のため集光位置がTE
光とTM光で異なるという欠点かあった。そこで、本発
明の光合分波器においては、この位置ずれを逆手にとり
、入力信号光をあらかしめ偏波分離回路てTE偏波成分
とTM偏波成分を分離し、それぞれを異なる位置(先の
位置ずれに相当)から入力側スラブ導波路へ入射するよ
うにする。すると、光の相反性によりTE偏彼とTM偏
波は同し位置に集光する。すなわち、偏波依存性は解消
される。
As mentioned earlier, in the conventional type, due to the birefringence of the channel waveguide that constitutes the array waveguide, the light focusing position is
There was a drawback that the light and TM light were different. Therefore, in the optical multiplexer/demultiplexer of the present invention, this positional shift is taken advantage of, the input signal light is rounded up, the polarization separation circuit separates the TE polarization component and the TM polarization component, and each is placed at a different position (first (equivalent to positional deviation) from which it enters the input slab waveguide. Then, due to the reciprocity of the light, the TE polarized light and the TM polarized light are focused at the same position. In other words, polarization dependence is eliminated.

E実施例d 第1図(A)及び第1図(B)に本発明の第1の実施例
としての、アレー導波路型回折格子を用いた導波型光自
分波器の構成図を示す。偏波分離回路1052本の偏波
保持ファイバ11と12.2つの入力導波路を有する導
波回路から構成されている。導波回路は基板上1に、T
E偏波用入力導波路2、TM偏波用入力導波路3、入力
側スラブ導波路4、アレー導波路5、出力側スラブ導波
路7、出力導波路8を順次接続、配置したものである。
E Example d FIGS. 1(A) and 1(B) show a configuration diagram of a waveguide type optical self-wavelength device using an arrayed waveguide type diffraction grating as a first example of the present invention. . Polarization separation circuit 105 consists of a waveguide circuit having two polarization maintaining fibers 11 and 12.2 input waveguides. The waveguide circuit is on the board 1, T
An input waveguide 2 for E polarization, an input waveguide 3 for TM polarization, an input slab waveguide 4, an array waveguide 5, an output slab waveguide 7, and an output waveguide 8 are connected and arranged in sequence. .

アレー導波路5は長さの異なるチャンネル導波路6から
構成されている。スラブ導波路4および7とアレー導波
路5の接続部分においては個々のチャンネル導波路6の
幅を広げ、隙間なくスラブ導波路と接続し接続損失を低
減しである。広かり部分のテーパは放射損失を防ぐため
てきるたけ緩やかであることか好ましく、例えば、石英
系導波路の場合、l / 250程度か良い。入力側ス
ラブ導波路は入力導波路2.3との接続片付近を曲率中
心とする扇型である。出力側スラブ導波路は出力導波路
8−i  (i =1. 2. 3)との接続片付近を
曲率中心とする扇型である。
The array waveguide 5 is composed of channel waveguides 6 having different lengths. At the connecting portions between the slab waveguides 4 and 7 and the array waveguide 5, the width of each channel waveguide 6 is widened to connect the slab waveguides without gaps and reduce connection loss. The taper of the wide portion is preferably as gentle as possible to prevent radiation loss; for example, in the case of a quartz waveguide, the taper may be about 1/250. The input slab waveguide is fan-shaped with its center of curvature near the connection piece with the input waveguide 2.3. The output slab waveguide is fan-shaped with the center of curvature near the connection piece with the output waveguide 8-i (i = 1. 2. 3).

はしめに、本実施例における信号光の流れを順をおって
説明する。伝送路9からの波長多重信号光は、偏波分離
回路10によりTE偏波成分とT〜1偏波成分に分離さ
れ、偏波保持ファイバ]l、12を通じて、TEW波は
第1の入力導波路2を、TM成分は第2の入力導波路3
を通り、入力側スラブ導波路4に入射する。スラブ導波
路内では水平方向の閉じ込みかないため光は広がり、複
数のチャンネル導波路6に導波される。アレー導波路て
所望の位相差を受けた後、出力側スラブ導l皮路に出射
し曲率中心付近に集光する。正確には、集光位置はアレ
ー導波路で受けた位相差に応じて定まり、波長により異
なる出力導波路8から取り出される。
First, the flow of signal light in this embodiment will be explained in order. The wavelength-multiplexed signal light from the transmission line 9 is separated into a TE polarization component and a T~1 polarization component by a polarization separation circuit 10, and the TEW wave is sent to the first input guide through polarization-maintaining fibers 1 and 12. The waveguide 2 is connected to the second input waveguide 3, and the TM component is connected to the second input waveguide 3.
and enters the input slab waveguide 4. Since there is no horizontal confinement within the slab waveguide, the light spreads and is guided into the plurality of channel waveguides 6. After receiving the desired phase difference through the array waveguide, the light is emitted to the output slab skin and focused near the center of curvature. To be precise, the focusing position is determined according to the phase difference received by the array waveguide, and the light is extracted from different output waveguides 8 depending on the wavelength.

次に、本実施例による複屈折性を除去する必要なく偏波
依存性を解消する機構について数式を用いて詳細に説明
するにあたり、入射位置か異なることを考慮し、先の(
1)式を次のように変更する。
Next, when explaining in detail using mathematical formulas the mechanism for eliminating polarization dependence without the need to eliminate birefringence according to this example, we will take into consideration the fact that the incident position is different, and we will use the above ((
1) Change the formula as follows.

n 、d sinθ、+ n 、d sinθa + 
n c△L=mλ(4)ここで、先はどまての回折角θ
をθ。とし、新たに入射角度を01とする。
n, d sinθ, + n, d sinθa +
n c△L=mλ (4) Here, the diffraction angle θ at the end is
θ. Then, the incident angle is newly set to 01.

また、第3図および第4図を用いて、従来型と比較しな
がら説明する。第3図は従来型の光合分波器の偏波依存
性を説明するための図である。第4図は本発明による光
合分波器の偏波依存性解消方法を説明するための図であ
る。
Further, the explanation will be made while comparing the conventional type with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a diagram for explaining the polarization dependence of a conventional optical multiplexer/demultiplexer. FIG. 4 is a diagram for explaining a method for eliminating polarization dependence of an optical multiplexer/demultiplexer according to the present invention.

ここで従来型および本発明による光合分波器において、
偏波依存性解消方法以外の基本的構成は同一であり−,
n si丁E+−1、4530−、n efTEl−1
,4510の石英系導波路において、波長1550μm
のTE光か、入射角θ、=00、回折角θ = Q O
となるように、d=25μm、△L=106.8 μm
、m= ] 00、焦点距離f=18.162mmに設
計しである。また、チャンネル導波路の複屈折性値は4
X10−’でn eiTMl= 1 、4 v +4と
仮定している。
Here, in the conventional type and the optical multiplexer/demultiplexer according to the present invention,
The basic configuration is the same except for the polarization dependence cancellation method.
nsiDingE+-1, 4530-, nefTEl-1
, 4510 silica-based waveguide, wavelength 1550 μm
TE light, incident angle θ, = 00, diffraction angle θ = Q O
So that d=25 μm, △L=106.8 μm
, m= ] 00, and the focal length f=18.162 mm. Also, the birefringence value of the channel waveguide is 4
It is assumed that n eiTMl=1, 4 v +4 at X10-'.

第3図の従来型において、入力導波路30は入射角θ1
=00の位置で入力側スラブ導波路31と接続されてい
る。入力導波路より入射した光のうち、TE酸成分出射
角θ。−〇°の方向36に集光し出力導波路35−2か
ら取り出される。
In the conventional type shown in FIG. 3, the input waveguide 30 has an incident angle θ1
It is connected to the input side slab waveguide 31 at the position =00. Output angle θ of the TE acid component of the light incident from the input waveguide. The light is focused in the direction 36 of −〇° and taken out from the output waveguide 35-2.

一方、TM酸成分、(4)式よりθ。−一0.0674
°となり、21.4μmのずれた位置37に集光してし
まい、出力導波路36−2から取り出すことかできず、
過剰損失の原因となる。
On the other hand, the TM acid component, θ from equation (4). -10.0674
°, the light is focused at a position 37 shifted by 21.4 μm, and cannot be extracted from the output waveguide 36-2.
This will cause excessive losses.

そこで、第4図に示すように、TE光をθニー0°の入
力導波路38より、7M光を01−−00674°の入
力導波路39から入射させると、(4)式より、TE光
およびTM先の両者に対して、θ。−〇〇となる。従っ
て、TE光と7M光を同一の出力導波路45−2から取
り出すことか可能となり、偏波依存性は解消される。こ
のときもちろん、波長分散性は従来のアレー導波路型回
折格子となんら変わることなく、波長1.550μmの
光は出力導波路45−2から、波長1551μmの光は
出力導波路45−3より取り出される。
Therefore, as shown in FIG. 4, if the TE light is input from the input waveguide 38 at the θ knee of 0° and the 7M light is input from the input waveguide 39 at 01--00674°, then from equation (4), the TE light and θ for both the TM destination and the TM destination. −〇〇. Therefore, it becomes possible to extract the TE light and the 7M light from the same output waveguide 45-2, and polarization dependence is eliminated. At this time, of course, the wavelength dispersion is no different from that of the conventional arrayed waveguide type diffraction grating, and the light with a wavelength of 1.550 μm is extracted from the output waveguide 45-2, and the light with a wavelength of 1551 μm is extracted from the output waveguide 45-3. It can be done.

なお、本実施例においては、スラブ導波路における複屈
折性については考慮しなかったか、それは次の理由によ
る。光路長差△Lの大きいアレー導波路型回折格子では
、位相差の大半はアレー導波路において生じるので、n
、の複屈折性は、n。
In this example, birefringence in the slab waveguide was not taken into account for the following reason. In an array waveguide type diffraction grating with a large optical path length difference ΔL, most of the phase difference occurs in the array waveguide, so n
The birefringence of , n.

の複屈折性と比較して十分無視てきる値である。This is a value that can be ignored compared to the birefringence of .

基板からの応力で生じた石英系スラブ導波路のn、複屈
折性がn、と同程度であっても、中心波長ずれは、およ
そ数pm(1pm−○、OO1nm)で、neの場合の
100分の1程度であり、1nmの分波にはほとにど影
響しない。もちろん、波長間隔かpmオーターの光合分
波器を設計する場合には、この点を考慮に入れなければ
ならないことは明白である。
Even if n and birefringence of the quartz slab waveguide caused by the stress from the substrate are on the same level as n, the center wavelength shift is approximately several pm (1 pm-○, OO1 nm), which is similar to that in the case of ne. It is about 1/100th, and has almost no effect on the wavelength of 1 nm. Of course, it is obvious that this point must be taken into consideration when designing an optical multiplexer/demultiplexer with wavelength spacing or pm order.

いずれの場合にせよ、チャンネル導波路とスラブ導波路
の両者における複屈折性の影響の和か、出力側スラブ導
波路での集光位置のすれとなって現れるか、その分あら
かしめ入力導波路の位置で補正し、偏波依存性を解消で
きるのか本発明の特徴である。
In either case, whether it is the sum of the effects of birefringence in both the channel waveguide and the slab waveguide, or whether it appears as a misalignment of the focusing position in the output slab waveguide, the input waveguide should be adjusted accordingly. The feature of the present invention is that it is possible to correct the polarization dependence at the position of .

また、モート分散を抑制するため、アレー導波路を構成
しているチャンネル導波路は単一モート条件を満たして
いることか望ましい。複数の伝搬モートか存在する場合
には、モート間の実効屈折率の違いにより、複屈折の場
合と同様に集光位置ずれか生してしまうためである。し
かしなから、導波路側壁の加工あれによる散乱損失、曲
線部分における放射損失なとの低減を図るために、単一
モード導波路よりも幅の広い多モード導波路か必要とさ
れることも多い。この場合、直線部と曲線部の接続点や
、曲率の向きか異なる2つの曲線の接続点などて、主要
な伝搬モード(通常は0次モード)以外の伝搬モードが
発生しないような処置を施せば、多モード導波路を用い
ることも可能である。曲線部分ては導波光の重心か導波
路の幾何的重心(導波路の中央)よりも外側にずれてい
る。
Furthermore, in order to suppress moat dispersion, it is desirable that the channel waveguides constituting the array waveguide satisfy a single moat condition. This is because when a plurality of propagation motes exist, the difference in effective refractive index between the motes causes a shift in the focusing position, as in the case of birefringence. However, in order to reduce scattering loss due to processing of waveguide side walls and radiation loss in curved sections, a multimode waveguide that is wider than a single mode waveguide is often required. . In this case, take measures to prevent propagation modes other than the main propagation mode (usually the zero-order mode) from occurring, such as at the connection point between a straight section and a curved section, or at the connection point between two curves with different directions of curvature. For example, it is also possible to use a multimode waveguide. The curved portion is shifted outward from the center of gravity of the guided light or the geometric center of gravity of the waveguide (the center of the waveguide).

曲線導波路の接続においては、幾何的重心でなく導波光
の重心か一致するように接続すれば、不要なモートの発
生を抑制できことか知られており、この様な方法が適当
である。
When connecting curved waveguides, it is known that the generation of unnecessary motes can be suppressed by connecting the curved waveguides so that the center of gravity of the guided light coincides with the center of gravity rather than the geometric center of gravity, and such a method is appropriate.

第2図(A)及び第2図(B)に、本発明による第2の
実施例としての、アレー導波路型回折格子を用いた導波
型光合分波器の構成例を示す。基板上に、偏波分離回路
22、第1の入力導波路23、第2の入力導波路24、
入力側スラブ導波路25、アレー導波路26、アレー導
波路を構成するチャンネル導波路27、出力側スラブ導
波路28、出力導波路29−i(i=1.2.3 ・)
を順次配置し、接続しである。
FIG. 2(A) and FIG. 2(B) show a configuration example of a waveguide type optical multiplexer/demultiplexer using an arrayed waveguide type diffraction grating as a second embodiment of the present invention. On the substrate, a polarization separation circuit 22, a first input waveguide 23, a second input waveguide 24,
Input side slab waveguide 25, array waveguide 26, channel waveguide 27 forming the array waveguide, output side slab waveguide 28, output waveguide 29-i (i=1.2.3 ・)
Arrange them in sequence and connect them.

偏波分離回路22は、第1のチャンネル導波路14、第
2のチャンネル導波路15、第1および第2の3dBカ
ブラ(方向性結合器)16と19から成り、途中、複屈
折性を有する第1の光路17と第2の光路18か含まれ
ている。また、第2の光路18にはアモルファスンリコ
ン応力付与膜を用いた複屈折調整器26、第1の光路1
7にはアモルファスンυコン応力付与膜を用いた移相器
21か設置しである。光路17.18の長さ、および複
屈折調整器2o、移相器21は、TE光か第1の入力導
波路23へTM光か第2の入力導波路24へ伝達するよ
うに設定しである。
The polarization separation circuit 22 consists of a first channel waveguide 14, a second channel waveguide 15, and first and second 3 dB couplers (directional couplers) 16 and 19, and has birefringence in the middle. A first optical path 17 and a second optical path 18 are included. Further, the second optical path 18 includes a birefringence adjuster 26 using an amorphous silicon stress imparting film, and the first optical path 1
At 7, a phase shifter 21 using an amorphous υcon stress imparting film is installed. The lengths of the optical paths 17 and 18, the birefringence adjuster 2o, and the phase shifter 21 are set so that the TE light is transmitted to the first input waveguide 23 and the TM light is transmitted to the second input waveguide 24. be.

本実施例においては、偏波分離回路はマツハツエンター
干渉計により構成されているか、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、その他の偏波分離回路を用いても、
同様の効果か得られることは明白である。
In this embodiment, the polarization separation circuit is configured by a Matsuhatsu Enter interferometer, but the present invention is not limited to this, and even if other polarization separation circuits are used,
It is clear that a similar effect can be obtained.

本実施例の特徴は、偏波分離回路とアレー導波路回折格
子を同一基板13上に配置することにより、生産性や動
作の安定性などか向上されていることにある。本実施例
における偏波依存性解消の効果は第1の実施例と同様で
ある。
The feature of this embodiment is that productivity and stability of operation are improved by arranging the polarization separation circuit and the array waveguide diffraction grating on the same substrate 13. The effect of eliminating polarization dependence in this embodiment is similar to that in the first embodiment.

第5図(A)は本発明における、偏波別入力方法の第3
の実施例であって、第1および第2のチャンネル導波路
47.48、第1の方向性結合器49、第2の方向性結
合器52、第1の光路50、第2の光路51、複屈折調
整器53、移相器54から構成されている。偏波分離回
路の構成および動作は第1の実施例と同様である。本実
施例の特徴は、第2の方向性結合器52か直接入力側ス
ラブ導波路55に接続されていることにある。
FIG. 5(A) shows the third input method for each polarization according to the present invention.
An embodiment of the present invention, which includes first and second channel waveguides 47, 48, a first directional coupler 49, a second directional coupler 52, a first optical path 50, a second optical path 51, It is composed of a birefringence adjuster 53 and a phase shifter 54. The configuration and operation of the polarization separation circuit are similar to those in the first embodiment. A feature of this embodiment is that the second directional coupler 52 is directly connected to the input slab waveguide 55.

導波路の作製プロセスによっては、アレー導波路を構成
するチャンネル導波路の複屈折値か先の実施例よりも、
小さい場合かある。先の実施例では、TE光とTM先の
入力位置ずれか214μmであったか、例えば、複屈折
値か半分の場合、必要とされるTE偏波用とTM偏波用
の入力導波路の間隔は約10μmとなる。また、後述す
る焦点距離の比により2つの入力導波路間隔が狭くなる
場合もある。
Depending on the waveguide fabrication process, the birefringence value of the channel waveguides constituting the array waveguide may be larger than that of the previous example.
Sometimes it's small. In the previous example, if the input position shift between the TE light and the TM destination was 214 μm, for example, if the birefringence value was half, the required spacing between the input waveguides for TE polarization and TM polarization is It is approximately 10 μm. Furthermore, the distance between the two input waveguides may become narrower depending on the ratio of focal lengths, which will be described later.

入力導波路間隔が狭くなり結合か生じるようになった場
合、独立してTE偏波とTM偏彼を入射させることは困
難である。そこで、第5図(A)に示すように方向性結
合器52を直接入力側スラブ導波路55に接続した方か
良い。第5図(B)中のグラフは第2の方向性結合器5
2と入力側スラブ導波路55の接続部分における、TE
光とT M光の強度分布を示したものである。方向性結
合器の結合度、長さ、間隔は、グラフに示すように、丁
E光とTM先の強度の中心か所望の入力位置すれ間隔た
け離れるように設計されている必要かある。
When the input waveguide spacing becomes narrower and coupling occurs, it is difficult to independently input TE polarized waves and TM polarized waves. Therefore, it is better to connect the directional coupler 52 directly to the input slab waveguide 55 as shown in FIG. 5(A). The graph in FIG. 5(B) shows the second directional coupler 5.
2 and the input side slab waveguide 55, the TE
It shows the intensity distribution of light and TM light. The degree of coupling, length, and spacing of the directional coupler need to be designed so that the center of the intensity of the E light and the TM tip is separated by the desired input position distance, as shown in the graph.

本実施例における偏波依存性解消の効果は第1および第
2の実施例と同様である。
The effect of eliminating polarization dependence in this embodiment is the same as in the first and second embodiments.

なお、各実施例においては、入力側スラブ導波路と出力
側スラブ導波路の大きさを等しく設計しであるか、必す
しもその必要はない。入力側と出力側のスラブ導波路の
焦、屯距離(曲率半径)が1対1てない場合には、出力
側スラブ導波路端(出力導波路側)における回折光の像
か入力側スラブ導波路端(入力導波路側)に焦点距離の
比に応じて拡大あるいは縮小されるので、それに応じた
設計を施せば、偏波依存性解消の効果は先の実施例と同
様である。例えば、入力側スラブ導波路の焦点距離か2
0mm、出力側スラブ導波路の焦点距離が10mmの場
合、出力側の像の寸法は入力側の半分になる。従って、
偏波別の入力位置間隔は出力側のTE−TMの集光位置
すれの2倍に設計すればよい。もちろん、この時集光の
幅も変イヒするので入力および出力導波路の開口幅を焦
点距離比に応して設計するl・要かあることを付記する
In each embodiment, the input slab waveguide and the output slab waveguide are designed to have the same size, but it is not necessary. If the focal distance (curvature radius) of the input and output slab waveguides is not 1:1, the image of the diffracted light at the end of the output slab waveguide (output waveguide side) or the input slab waveguide Since the waveguide end (input waveguide side) is expanded or contracted according to the ratio of focal lengths, if a design is applied accordingly, the effect of eliminating polarization dependence will be the same as in the previous embodiment. For example, if the focal length of the input slab waveguide is 2
0 mm and the focal length of the output slab waveguide is 10 mm, the size of the image on the output side is half that of the input side. Therefore,
The input position interval for each polarized wave may be designed to be twice the focal position deviation of the TE-TM on the output side. Of course, at this time, the width of the condensing light also changes, so it is necessary to design the aperture widths of the input and output waveguides according to the focal length ratio.

また、各実施例においては、火炎堆積法に従い作製した
石英系導波路を用いているか、本発明はこの材料系に限
定されるものではなく、多成分カラス系導波路、プラス
チック系導波路、さらには、ニオブ酸リチウム系導波路
、化合物半導体系導波路等の様々な導波路系においても
、本発明の先導波路構成を適用できることを付記する。
Furthermore, in each of the examples, a quartz-based waveguide fabricated according to a flame deposition method is used; however, the present invention is not limited to this material system, and may include multi-component glass-based waveguides, plastic-based waveguides, and It is noted that the guide waveguide configuration of the present invention can be applied to various waveguide systems such as lithium niobate waveguides and compound semiconductor waveguides.

璽発明の効果」 通常、波長分散を利用する先導波回路においては、導波
路の複屈折性は偏波依存性の原因となる。
Effects of the Invention Normally, in a leading wave circuit that utilizes wavelength dispersion, the birefringence of the waveguide causes polarization dependence.

その除去には多大の労力を必要とし、生産性の低下や高
価格の要因となり、実用に適する導波型光合分波器を実
現することかできなかった。
Removal of this requires a great deal of effort, leading to decreased productivity and high costs, making it impossible to realize a waveguide type optical multiplexer/demultiplexer suitable for practical use.

いままでの説明のように、本発明の導波型光合分波器に
おいては、偏波分離回路とTE光とT Ni充用の2本
の入力導波路を巧みに配置することにより、アレー導波
路を構成する個々のチャンネル導波路の複屈折性を除去
する必要なく、偏波依存性を解消することかできる。す
なわち、本発明は、複屈折性除去という複雑な工程を増
やすことなく、先導波回路の設計段階て偏波依存性を解
消できるという特徴を有しており、従来作業か困難であ
った偏波無依存の導波型光合分波器を提供するものであ
る。
As explained above, in the waveguide type optical multiplexer/demultiplexer of the present invention, the array waveguide is It is possible to eliminate polarization dependence without having to remove the birefringence of the individual channel waveguides that make up the waveguide. In other words, the present invention has the feature that it is possible to eliminate polarization dependence at the design stage of the leading wave circuit without increasing the complicated process of removing birefringence. This provides an independent waveguide type optical multiplexer/demultiplexer.

本発明により、偏波無依存の光合分波器か大量生産に適
した導波型で、しかも狭波長間隔のものか実用化されれ
ば、波長間隔か1ナノメートル以下の高密度波長分割多
重伝送ンステムの実現か可能となり、光通信ンステムの
大容量化において計り知れないはと大きな効果が期待さ
れる。
According to the present invention, if a polarization-independent optical multiplexer/demultiplexer or a waveguide type suitable for mass production and one with a narrow wavelength spacing is put into practical use, high-density wavelength division multiplexing with a wavelength spacing of 1 nanometer or less will be possible. This makes it possible to realize transmission systems, and is expected to have an immeasurable effect in increasing the capacity of optical communication systems.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図(A)及び(B)は本発明による導波型光合分波
器の第1の実施例の構成図、第2図(A)及び(B)は
本発明による導波型光合分波器の第2の実施例の構成図
、第3図は従来のアレー導波路型回折格子における偏波
依存性説明図、第4図は本発明による導波型光合分波器
にお1する偏波依存性前〆肖方法説明図、第5図(A)
は本発明による導波型光合分波器における偏波副入力方
法の第3の実施例の構成V、第5図(B)は第2の方向
性結合器と入力側スラブ導波路の接続部分におけるTE
光とTM先の強度分布を示したグラフ、第6図は従来の
アレー導波路型回折格子を用いた導波型光合分波器の構
成図である。 1  /リコン基板 2  第1の入力導波路 3  第2の入力導波路 4  入力端スラブ導波路 5  アレー導波路 6  アレー導波路を構成する チャンネル導波路 7  出力側スラブ導波路 8 ・出力導波路 9  伝送路 10・・・偏波分離回路 11・・・偏波保持ファイバ 12  偏波保持ファイバ 13・・・基板 14− 第1のチャンネル導波路 15  第2のチャンネル導波路 16  第1の方向性結合器 17  第1の光路 18  第2の光路 19・ 第2の方向性結合器 20〜 複屈折調整器 21  移相器 22・・・偏波分離器 23  第1の入力導波路 24  第2の入力導波路 25  入力端スラブ導波路 26 ・アレー導波路 27・ ・アレー導波路を構成する チャンネル導波路 28・・出力側スラブ導波路 29・・・出力導?皮路 30 ・入力導波路 31・ 入力側スラブ導波路 32  ・入力側スラブ導波路内を 伝搬する信号光 33 ・・アレー導波路 34・・・出力側スラブ導波路 35  出力導メ皮路 36 ・TE偏波の回折光 37   TM偏波の回折光 38 ・第1の人力導波路 39 ・・−第2の入力導波路 40 ・入力側スラブ導波路 41・ ・・TE偏彼の入力光 42−・TM偏波の入力光 43 ・・アレー導波路 44・・・・・出力側スラブ導波路 45− 出力導波路 46・・・・回折光 47 ・・第1のチャンネル導波路 48 ・ 第2のチャンネル導波路 49  第]の方向性結合器 50  第1の光路 51− 第2の光路 52  第2の方向性結合器 53 ・ 複屈折調整器 54・・・・・移相器 55 ・入力側スラブ導波路 56  基板 57 ・入力導l皮路 58・・・・入力端スラブ導波路 59− ・アレー導波路 60 ・アレー導波路を構成する チャンネル導波路 61・・出力側スラブ導波路 62  出力導波路 出願人  E本電信電話株式会社 図 \
FIGS. 1(A) and (B) are block diagrams of a first embodiment of the waveguide type optical multiplexer/demultiplexer according to the present invention, and FIGS. 2(A) and (B) are the waveguide type optical multiplexer/demultiplexer according to the present invention. A configuration diagram of a second embodiment of the waveguide, FIG. 3 is an explanatory diagram of polarization dependence in a conventional arrayed waveguide type diffraction grating, and FIG. Diagram for explaining polarization dependence pre-determination method, Figure 5 (A)
5 shows the configuration V of the third embodiment of the polarization sub-input method in the waveguide optical multiplexer/demultiplexer according to the present invention, and FIG. 5(B) shows the connecting portion between the second directional coupler and the input slab waveguide. TE in
FIG. 6, a graph showing the intensity distribution of light and the TM destination, is a configuration diagram of a waveguide type optical multiplexer/demultiplexer using a conventional arrayed waveguide type diffraction grating. 1/Recon board 2 First input waveguide 3 Second input waveguide 4 Input end slab waveguide 5 Array waveguide 6 Channel waveguide 7 forming the array waveguide Output side slab waveguide 8 ・Output waveguide 9 Transmission line 10 Polarization separation circuit 11 Polarization maintaining fiber 12 Polarization maintaining fiber 13 Substrate 14 - First channel waveguide 15 Second channel waveguide 16 First directional coupling device 17, first optical path 18, second optical path 19, second directional coupler 20 - birefringence adjuster 21, phase shifter 22...polarization separator 23, first input waveguide 24, second input Waveguide 25 Input end slab waveguide 26 ・Array waveguide 27 ・Channel waveguide 28 configuring the array waveguide ・Output side slab waveguide 29 ・Output guide? Skin path 30 ・Input waveguide 31 ・Input side slab waveguide 32 ・Signal light 33 propagating in the input side slab waveguide ・・Array waveguide 34 ・・Output side slab waveguide 35 ・Output side slab waveguide 36 ・TE polarized diffracted light 37 TM polarized diffracted light 38 ・First manual waveguide 39 ・・Second input waveguide 40 ・Input side slab waveguide 41 ・・TE polarized input light 42− - TM polarized input light 43 - Array waveguide 44 - Output slab waveguide 45 - Output waveguide 46 - Diffracted light 47 - First channel waveguide 48 - Second channel waveguide Channel waveguide 49 ] Directional coupler 50 First optical path 51 - Second optical path 52 Second directional coupler 53 ・Birefringence adjuster 54 ... Phase shifter 55 ・Input side slab Waveguide 56 Substrate 57 Input skin guide 58 Input slab waveguide 59 - Array waveguide 60 Channel waveguide 61 forming the array waveguide Output slab waveguide 62 Output waveguide Applicant: Ehon Telegraph and Telephone Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板と、該基板上に配置された、入力導波路、入
力側スラブ導波路、アレー導波路、出力側スラブ導波路
、複数の出力導波路から構成される、アレー導波路型回
折格子を用いた導波型光合分波器において、 該入力導波路が水平偏波光用入力導波路と垂直偏波光用
入力導波路の2本の導波路から構成され、更に、これら
水平偏波光用入力導波路と垂直偏波光用入力導波路とは
、スラブ導波路とアレー導波路との複屈曲性に応じて互
いに異なる位置に設られていることを特徴とする導波型
光合分波器。
(1) An arrayed waveguide type diffraction grating consisting of a substrate, an input waveguide, an input slab waveguide, an array waveguide, an output slab waveguide, and a plurality of output waveguides arranged on the substrate. In a waveguide type optical multiplexer/demultiplexer using A waveguide type optical multiplexer/demultiplexer characterized in that the waveguide and the input waveguide for vertically polarized light are provided at different positions depending on the birefringence of the slab waveguide and the array waveguide.
(2)第1請求項に記載の導波型光合分波器において、
同一基板上に偏波分離回路が配置され、偏波分離回路か
らの水平偏波出力が該水平偏波光用入力導波路に、垂直
偏波出力が該垂直偏波光用入力導波路に接続されている
ことを特徴とする導波型光合分波器。
(2) In the waveguide optical multiplexer/demultiplexer according to the first claim,
A polarization separation circuit is arranged on the same substrate, and the horizontal polarization output from the polarization separation circuit is connected to the input waveguide for horizontally polarized light, and the vertical polarization output is connected to the input waveguide for vertically polarized light. A waveguide type optical multiplexer/demultiplexer characterized by:
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