JPH04141834A - Optical head type position detection device - Google Patents
Optical head type position detection deviceInfo
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Landscapes
- Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
Description
この発明は、移動部と固定部より成り、光ディスクなど
の光学式情報記録媒体の記録・再生を行う光学式ヘッド
における、前記移動部の位置検出を行う光学式ヘッド位
置検出装置に関するものである。The present invention relates to an optical head position detection device that detects the position of the moving part in an optical head that is composed of a moving part and a fixed part and performs recording and reproduction on an optical information recording medium such as an optical disk.
第4図は従来の光学式ヘッド位置検出装置を示す構成図
である。図において、1は光学式ヘッドの移動部であり
、2は同じく固定部である。3はその光学式ヘッドにて
情報の記録・再生が行われる光学式情報記録媒体として
の光ディスクであり、4はこの光ディスク3を回転させ
るスピンドルモータである。
5は前記固定部1内に配置され、発散光束を出射する光
源としての半導体レーザであり、6はこの半導体レーザ
5から出射された発散光束を平行光束に変換するコリメ
ータレンズである。7はこのコリメータレンズ6で変換
された光束と光ディスク3で反射された光束とを分離す
る偏光ビームスプリッタであり、8は前記両光束が透過
する1/4波長板である。9は1/4波長板8を透過し
た光束を集光して光ディスク3に照射し、光ディスク3
の情報トラックで反射された光束を平行光束に変換する
第1の集光光学系としての対物レンズであり、10はこ
の対物レンズ9の焦点制御およびトラッキング制御を行
う対物レンズアクチュエータである。
11は前記偏光ビームスプリンタにて分岐された光束に
基づいて、記録情報の再生信号、焦点誤差信号およびト
ラッキング誤差信号を検出する信号検出系であり、12
はこの光学式ヘッドの移動部1の筐体、13はその支柱
である。14は移動部1移動方向に直交して所定のスケ
ールピッチを持ったスリット群を有し、前記支柱13に
よって筺体12に支持された光メインスケールである。
15は固定部2内に光メインスケール14に平行に配置
され、この光メインスケール14のそれと平行で同一の
スケールピッチを持つスリット群を備えた光インデック
ススケールである。16は前記光メインスケール14と
光インデックススケール15とに照射する発散光束を出
射する発光ダイオード(以下、LEDという)であり、
17は光メインスケール14と光インデックススケール
15を挟んでこのLED16と対向配置された光検知器
である。18はそれらが収容されている検出器筐体であ
る。
次に動作について説明する。光学式へ・ンドの移動部1
内に配置された半導体レーザ5より出射された発散光束
は、コリメータレンズ6で平行光束に変換され、偏光ビ
ームスプリンタ7および174波長板8を透過して対物
レンズ9に送られる。対物レンズ9は送られてきた平行
光束を集光して光ディスク3の情報トラック上に照射し
、これによって情報の記録あるいは再生が行われる。一
方、再生時に光ディスク3にて反射された光束は、対物
レンズ9にて平行光束に変換されて1/4波長板8を透
過し、偏光ビームスブリ1.タフで反射されて信号検出
系11に送られる。信号検出系11では送られてきた光
束より再生信号、焦点誤差信号およびトラッキング誤差
信号の検出が行われる。
ここで、このような光学式ヘッドではその移動部1の位
置を正確に検出することが必要となる。
今、移動部1が第4図に実線で示される位置から一点鎖
線で示される位置まで移動した場合、固定部2LED1
6から出射された発散光束は、光メインスケール14と
光インデックススケール15のスリット群を通過して光
検知器17にて受けられる。この時、光メインスケール
14は移動部1の移動に伴って、光インデックススケー
ル15との間でスリット群の平行状態を保ったまま移動
するため、光検知器17での受光光量はその移動に伴っ
て変化する。
第5図はその光メインスケール14と光インデックスス
ケール15とのスリット群の相対的な位置関係を示す模
式図であり、第6図は光検知器17による受光光量の時
間変化を示す特性図である。
第5図(a)に示すように光メインスケール14と光イ
ンデックススケール15のスリット群が完全に重なった
場合、光検知器17での受光光量は最大となり、その後
、第5図(b)に示すようにスリット群がずれてゆくに
従って光検知器17の受光光量は減少してゆき、第5図
(C)に示すように完全にずれた場合に光検知器17で
の受光光量は最小となる。なお、図中のPは光メインス
ケール14および光インデックススケール15のスリ・
メト群のスケールピッチを示している。
このようにして光検知器17によって検出された受光光
量の変化の1周期は光メインスケール14および光イン
デックススケール15のスリット群のスケールピッチP
に相当する。従って、光検知器17の検出信号の周期を
計数することで光学式ヘッドの移動部1の位置検出を行
うことができる。FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional optical head position detection device. In the figure, 1 is a moving part of the optical head, and 2 is a fixed part. 3 is an optical disk as an optical information recording medium on which information is recorded and reproduced by an optical head, and 4 is a spindle motor that rotates this optical disk 3. Reference numeral 5 denotes a semiconductor laser disposed within the fixed portion 1 and serves as a light source that emits a diverging light beam. Reference numeral 6 denotes a collimator lens that converts the diverging light beam emitted from the semiconductor laser 5 into a parallel light beam. 7 is a polarizing beam splitter that separates the light beam converted by the collimator lens 6 and the light beam reflected by the optical disk 3, and 8 is a quarter-wave plate through which both the light beams are transmitted. 9 condenses the light beam that has passed through the quarter-wave plate 8 and irradiates it onto the optical disc 3;
An objective lens serves as a first condensing optical system that converts the light beam reflected by the information track 9 into a parallel light beam, and 10 is an objective lens actuator that performs focus control and tracking control of this objective lens 9. 11 is a signal detection system that detects a reproduction signal of recorded information, a focus error signal, and a tracking error signal based on the light beam split by the polarization beam splinter;
is a housing of the moving unit 1 of this optical head, and 13 is its support. Reference numeral 14 denotes an optical main scale having a group of slits having a predetermined scale pitch perpendicular to the direction of movement of the moving unit 1 and supported by the housing 12 by the pillars 13 . Reference numeral 15 denotes an optical index scale that is arranged in the fixed part 2 in parallel to the optical main scale 14 and includes a group of slits that are parallel to that of the optical main scale 14 and have the same scale pitch. 16 is a light emitting diode (hereinafter referred to as LED) that emits a diverging light beam that irradiates the optical main scale 14 and the optical index scale 15;
17 is a photodetector placed opposite to this LED 16 with the optical main scale 14 and optical index scale 15 in between. 18 is a detector housing in which they are housed. Next, the operation will be explained. Optical transfer unit 1
A diverging light beam emitted from a semiconductor laser 5 disposed inside is converted into a parallel light beam by a collimator lens 6, transmitted through a polarizing beam splinter 7 and a 174-wave plate 8, and sent to an objective lens 9. The objective lens 9 condenses the sent parallel light beam and irradiates it onto the information track of the optical disk 3, thereby recording or reproducing information. On the other hand, the light beam reflected by the optical disk 3 during reproduction is converted into a parallel light beam by the objective lens 9 and transmitted through the 1/4 wavelength plate 8, and the polarized beam 1. The signal is reflected by the tough signal and sent to the signal detection system 11. The signal detection system 11 detects a reproduction signal, a focus error signal, and a tracking error signal from the transmitted light beam. Here, in such an optical head, it is necessary to accurately detect the position of the moving section 1. Now, when the moving part 1 moves from the position shown by the solid line in FIG. 4 to the position shown by the dashed-dotted line, the fixed part 2 LED1
The diverging light beam emitted from the optical main scale 14 and the optical index scale 15 pass through a group of slits and are received by a photodetector 17 . At this time, the optical main scale 14 moves with the movement of the moving part 1 while maintaining the parallel state of the slit group between it and the optical index scale 15, so the amount of light received by the photodetector 17 changes depending on the movement. It changes accordingly. FIG. 5 is a schematic diagram showing the relative positional relationship between the slit groups of the optical main scale 14 and the optical index scale 15, and FIG. 6 is a characteristic diagram showing the temporal change in the amount of light received by the photodetector 17. be. When the slit groups of the optical main scale 14 and the optical index scale 15 completely overlap as shown in FIG. 5(a), the amount of light received by the photodetector 17 becomes maximum, and then as shown in FIG. 5(b). As shown in FIG. 5(C), as the slit group shifts, the amount of light received by the photodetector 17 decreases, and as shown in FIG. Become. In addition, P in the figure indicates the pick-up of the optical main scale 14 and the optical index scale 15.
The scale pitch of the Met group is shown. One cycle of the change in the amount of received light detected by the photodetector 17 in this way is the scale pitch P of the slit group of the optical main scale 14 and the optical index scale 15.
corresponds to Therefore, by counting the period of the detection signal of the photodetector 17, the position of the moving section 1 of the optical head can be detected.
【発明が解決しようとする課題】
従来の光学式ヘッド位置検出装置を以上のように構成さ
れているので、光学式ヘッドの移動部1の位置検出には
、光検知器17の検出信号の周期を計数しなければなら
ず、また、その検出精度も光メインスケール14と光イ
ンデックススケール15のスリット群のスケールピッチ
Pによって決まり、実際には200μm程度であって検
出精度としては充分なものではないなどの課題があった
。
この発明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、簡素な構造によって高い精度の位置検出信号が
得られる光学式ヘッド位置検出装置を得ることを目的と
する。[Problems to be Solved by the Invention] Since the conventional optical head position detection device is configured as described above, the period of the detection signal of the photodetector 17 is must be counted, and the detection accuracy is also determined by the scale pitch P of the slit groups of the optical main scale 14 and the optical index scale 15, which is actually about 200 μm, which is not sufficient for detection accuracy. There were issues such as: The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to obtain an optical head position detection device that can obtain a highly accurate position detection signal with a simple structure.
この発明に係る光学式ヘッド位置検出装置は、光源と第
1の集光光学系との間に挿入されて、光源より出射され
た光束の一部を分岐させる分岐光学系と、分岐された光
束を集光する第2の集光光学系を移動部に持たせ、第2
の集光光学系で集光された光束を受光して移動部の位置
を検出する半導体装置素子を用いた位置検出手段を固定
部に持たせたものである。The optical head position detection device according to the present invention includes a branching optical system that is inserted between a light source and a first condensing optical system and branches a part of a light beam emitted from the light source; The movable part is provided with a second condensing optical system that condenses the second condensing optical system.
The fixed part is provided with a position detection means using a semiconductor device element for detecting the position of the moving part by receiving the light beam collected by the condensing optical system.
この発明における第2の集光光学系は、光源と第1の集
光光学系との間に挿入された分岐光学系にて分岐された
光源からの光束の一部を集光して、固定部に配置された
半導体装置検出素子上に照射し、位置検出手段はその照
射位置に基づいて光学式ヘッドの移動部の位置検出信号
を出力することにより、構造が簡単で高精度の位置検出
が可能な光学式ヘッド位置検出装置を実現する。The second condensing optical system in the present invention condenses a part of the light beam from the light source branched by the branching optical system inserted between the light source and the first condensing optical system, and fixes it. The position detecting means outputs a position detection signal for the moving part of the optical head based on the irradiation position, which enables highly accurate position detection with a simple structure. A possible optical head position detection device is realized.
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図において、1は光学式ヘッドの移動部、2は固定部、
3は光学式情報記録媒体としての光ディスク、4はスピ
ンドルモータ、5は光源としての半導体レーザ、6はコ
リメータレンズ、7は偏光ビームスプリッタ、8は1/
4波長板、9は第1の集光光学系としての対物レンズ、
10は対物レンズアクチュエータ、11は信号検出系、
12は筐体であり、第4図に同一符号を付した従来のそ
れらと同一、あるいは相当部分であるため詳細な説明は
省略する。
20はコリメータレンズ6と偏光ビームスプリッタ7と
の間に挿入され、半導体レーザ5より出射されてコリメ
ータレンズ6にて平行光束に変換された光束の一部を分
岐させる分岐光学系とじてのビームスプリンタである。
21はこのビームスプリンタ20にて分岐された平行光
束を集光する第2の集光光学系としての集光レンズであ
り、22はこの集光レンズ21にて集光された光スポッ
トである。23は前記1/4波長板8と対物レンズ9と
の間に配置されて、光束を90°曲げる偏向用のミラー
である。
24は前記集光レンズ21にて集光された光スポット2
2を受光してその照射位置を検出する半導体装置検出素
子(以下、PSDという)で、光スポット22が照射さ
れると当該照射位置から両端の電極まで光電流を流し、
両端の電極までの距離に応じた抵抗値に基づく電位をそ
れぞれの電極に発生させる。25はPSD24の両端の
電極に発生した電位の差分をとる減算器であり、26は
これらにPSD24および減算器25にて形成され、前
記減算器25の演算結果を光学式ヘッドの移動部1の位
置検出信号として出力する位置検出手段である。
次に動作について説明する。ここで、第2図はPSD2
4における光スポット22の照射位置と位置検出手段2
6から構成される装置検出信号との関係を示す説明図で
ある。半導体レーザ5から出射され、コリメータレンズ
6にて平行光束に変換された光束は、その一部がビーム
スプリッタ20で分岐され、集光レンズ21に送られて
集光され、光スポット22としてPSD24上に照射さ
れる。
この光スポット22は光学式ヘッドの移動部2の光ディ
スク3の情報トラックを横切る方向の動きに応じてPS
D24上を移動する。
今、光学式ヘッドの移動部1が第1図に示されているよ
うに光ディスク3の外周部の情報トラックをアクセスし
ている場合、PSD24上の光スポット22の照射位置
は第2図に(a)で示す位置となる。この光スポット2
2によってPSD24内に発生した光電流はその両端の
電極へ向けて流れ、光スポット22の照射位置から各電
極までの距離に基づく抵抗値に応じた電位がそれぞれの
電極に生起する。減算器25はPSD24の画電極に生
起した電位の差分をとって、それを位置検出信号として
出力する。従って、この場合にはこの位置検出信号は第
2図に示すように負の電位となる。
移動部1によるアクセスが光ディスク3の中央部に移動
すると、その移動に従ってPSD24上の光スポット2
2の照射位置も第2図に(b)で示す位置に移動する。
この場合、光スポット22の照射位置から各電極までの
距離が等しくなってそれぞれの電極に生起する電位も等
しくなり、位置検出手段26から構成される装置検出信
号の電位は“0”となる。移動部1によるアクセスが光
ディスク3の内周部まで移動すると、PSD24上の光
スポット22の照射位置も第2図に(C)で示す位置ま
で移動して、位置検出手段26から構成される装置検出
信号は正の電位となる。
この位置検出信号の電位は光スポット22の照射位置に
対応して直線的に変化し、従って、その電位によって光
学式ヘッドの移動部1の位置を高い精度で検出すること
ができる。
なお、上記実施例では、光学式へ・ノドの移動部1とし
て、半導体レーザ5から対物レンズ9まで、および信号
検出系11を一体に構成したものを示シタが、半導体レ
ーザ5や信号検出系11を分離して固定部2内に配置す
るようにしてもよい。
第3図はそのような実施例を示す構成図1、相当部分に
は第1図のそれらと同一の符号を付している。この実施
例では、対物レンズ9、対物レンズアクチュエータ10
、ビームスプリッタ20、集光レンズ21およびミラー
23のみが移動部1内に残されて、半導体レーザ5、コ
リメータレンズ6、偏光ビームスプリッタ7.1/4波
長板8および信号検出系11は固定部2上に移されてい
る。
この実施例においても、集光レンズ21によって集光さ
れた光スポット22のPSD24上の照射位置が移動部
1の移動に応じて移動するものであり、減算器25にて
、その光スポ・ノド22の照射位置からPSD24の両
端までの距離に対応した画電極の電位の差分をとり、そ
れを位置検出手段26の位置検出信号として出力する。
この場合、移動部1は部品点数が削減されて軽量化され
るため、アクセスの高速化をはかることができる。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
In the figure, 1 is a moving part of the optical head, 2 is a fixed part,
3 is an optical disk as an optical information recording medium, 4 is a spindle motor, 5 is a semiconductor laser as a light source, 6 is a collimator lens, 7 is a polarizing beam splitter, and 8 is a 1/1
4 wavelength plate, 9 an objective lens as a first condensing optical system,
10 is an objective lens actuator, 11 is a signal detection system,
Reference numeral 12 denotes a casing, which is the same as, or corresponds to, those of the conventional case denoted by the same reference numerals in FIG. 4, so a detailed description thereof will be omitted. A beam splinter 20 is inserted between the collimator lens 6 and the polarizing beam splitter 7, and serves as a branching optical system that splits a part of the light beam emitted from the semiconductor laser 5 and converted into a parallel light beam by the collimator lens 6. It is. 21 is a condensing lens as a second condensing optical system that condenses the parallel light beam branched by this beam splinter 20, and 22 is a light spot condensed by this condensing lens 21. Reference numeral 23 denotes a deflecting mirror that is disposed between the quarter-wave plate 8 and the objective lens 9 and bends the light beam by 90 degrees. 24 is a light spot 2 condensed by the condenser lens 21;
When a light spot 22 is irradiated, a semiconductor device detection element (hereinafter referred to as PSD) that receives light 2 and detects the irradiation position causes a photocurrent to flow from the irradiation position to the electrodes at both ends.
A potential is generated in each electrode based on the resistance value depending on the distance to the electrodes at both ends. 25 is a subtracter that takes the difference between the potentials generated at the electrodes at both ends of the PSD 24; 26 is formed by the PSD 24 and the subtracter 25; This is a position detection means that outputs a position detection signal. Next, the operation will be explained. Here, Figure 2 is PSD2
The irradiation position of the light spot 22 in 4 and the position detection means 2
FIG. 6 is an explanatory diagram showing the relationship with the device detection signal composed of 6. A part of the light beam emitted from the semiconductor laser 5 and converted into a parallel light beam by the collimator lens 6 is split by the beam splitter 20, sent to the condensing lens 21 and condensed, and is focused as a light spot 22 on the PSD 24. is irradiated. This light spot 22 is generated in accordance with the movement of the moving unit 2 of the optical head in the direction across the information track of the optical disk 3.
Move on D24. Now, when the moving unit 1 of the optical head is accessing the information track on the outer circumference of the optical disk 3 as shown in FIG. 1, the irradiation position of the light spot 22 on the PSD 24 is as shown in FIG. The position is shown in a). This light spot 2
2, the photocurrent generated in the PSD 24 flows toward the electrodes at both ends thereof, and a potential is generated in each electrode according to the resistance value based on the distance from the irradiation position of the light spot 22 to each electrode. The subtracter 25 takes the difference between the potentials generated on the picture electrodes of the PSD 24 and outputs it as a position detection signal. Therefore, in this case, this position detection signal has a negative potential as shown in FIG. When access by the moving section 1 moves to the center of the optical disk 3, the optical spot 2 on the PSD 24 moves according to the movement.
The irradiation position No. 2 also moves to the position shown in FIG. 2 (b). In this case, the distances from the irradiation position of the light spot 22 to each electrode become equal, and the potentials generated at the respective electrodes also become equal, so that the potential of the device detection signal constituted by the position detection means 26 becomes "0". When the access by the moving unit 1 moves to the inner peripheral part of the optical disc 3, the irradiation position of the light spot 22 on the PSD 24 also moves to the position shown in (C) in FIG. The detection signal has a positive potential. The potential of this position detection signal varies linearly in accordance with the irradiation position of the light spot 22, and therefore, the position of the moving part 1 of the optical head can be detected with high accuracy based on the potential. Note that in the above embodiment, the optical type moving unit 1 is one in which the semiconductor laser 5 to the objective lens 9 and the signal detection system 11 are integrated, but the semiconductor laser 5 and the signal detection system are 11 may be separated and placed within the fixing part 2. FIG. 3 shows the configuration of such an embodiment in FIG. 1, and corresponding parts are given the same reference numerals as those in FIG. 1. In this embodiment, an objective lens 9, an objective lens actuator 10
, only the beam splitter 20, condensing lens 21 and mirror 23 are left in the moving part 1, and the semiconductor laser 5, collimator lens 6, polarizing beam splitter 7, quarter wavelength plate 8 and signal detection system 11 are left in the fixed part. 2 has been moved above. In this embodiment as well, the irradiation position of the light spot 22 condensed by the condenser lens 21 on the PSD 24 moves in accordance with the movement of the moving unit 1, and the subtractor 25 The difference between the potentials of the picture electrodes corresponding to the distance from the irradiation position of PSD 22 to both ends of PSD 24 is calculated and outputted as a position detection signal of position detection means 26 . In this case, the number of parts of the moving unit 1 is reduced and the weight is reduced, so that access can be made faster.
以上のように、この発明によれば、光源からの光束の一
部を分岐させ、固定部に配置された半導体装置検出素子
上に集光して照射し、その照射位置に基づいて光学式ヘ
ッドの移動部の位置検出を行うように構成したので、光
強度の安定性に優れ、高精度の位置検出が可能となるば
かりか、別光源を用いず、構造が簡単で低コストの光学
式ヘッド位置検出装置が得られる効果がある。As described above, according to the present invention, a part of the luminous flux from the light source is branched, focused and irradiated onto the semiconductor device detection element disposed in the fixed part, and based on the irradiation position, the optical head Since the structure is configured to detect the position of the moving part, it not only has excellent stability of light intensity and enables highly accurate position detection, but also uses an optical head with a simple structure and low cost without using a separate light source. This has the effect of providing a position detection device.
第1図はこの発明の一実施例による光学式ヘッド位置検
出装置を示す構成図、第2図はそのPSDにおける光ス
ポットの照射位置と位置検出信号との関係を示す説明図
、第3図はこの発明の他の実施例を示す構成図、第4図
は従来の光学式ヘッド位置検出装置を示す構成図、第5
図はその動作を説明するための模式図、第6図はその光
検知器による受光光量の時間変化を示す特性図である。
1は移動部、2は固定部、3は光学式情報記録媒体(光
ディスク)、5は光源(半導体レーザ)、9は第1の集
光光学系(対物レンズ)、20は分岐光学系(ビームス
プリンタ)、21は第2の集光光学系(集光レンズ)、
24はPSD、26は位置検出手段。
なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。FIG. 1 is a configuration diagram showing an optical head position detection device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the irradiation position of a light spot in the PSD and a position detection signal, and FIG. FIG. 4 is a configuration diagram showing another embodiment of the present invention, FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional optical head position detection device, and FIG.
The figure is a schematic diagram for explaining the operation, and FIG. 6 is a characteristic diagram showing the temporal change in the amount of light received by the photodetector. 1 is a moving part, 2 is a fixed part, 3 is an optical information recording medium (optical disk), 5 is a light source (semiconductor laser), 9 is a first condensing optical system (objective lens), 20 is a branching optical system (beam beam). printer), 21 is a second condensing optical system (condensing lens),
24 is a PSD, and 26 is a position detection means. In addition, in the figures, the same reference numerals indicate the same or equivalent parts.
Claims (1)
動する移動部と固定部とから成り、前記固定部が、光源
より出射された光束を前記光学式情報記録媒体上に集光
して情報の記録あるいは再生を行う第1の集光光学系を
有する光学式ヘッドの、前記移動部の位置を検出する光
学式ヘッド位置検出装置において、前記移動部に、前記
光源と前記第1の集光光学系との間に挿入されて、前記
光源より出射された光束の一部を分岐させる分岐光学系
と、前記分岐光学系にて分岐された光束を集光する第2
の集光光学系を設け、前記固定部に、前記第2の集光光
学系で集光された光束を受光して前記移動部の位置を検
出する半導体装置検出素子を用いた位置検出手段を設け
たことを特徴とする光学式ヘッド位置検出装置。It consists of a moving part that moves in a direction across the information track of the optical information recording medium and a fixed part, and the fixed part focuses the light beam emitted from the light source onto the optical information recording medium to record information. Alternatively, in an optical head position detection device that detects the position of the moving part of an optical head having a first light-condensing optical system for performing reproduction, the moving part includes the light source and the first light-condensing optical system. a branching optical system that is inserted between the branching optical system and branches a part of the luminous flux emitted from the light source, and a second branching optical system that condenses the luminous flux branched by the branching optical system.
A condensing optical system is provided, and the fixed part includes a position detection means using a semiconductor device detection element for detecting the position of the moving part by receiving the light beam condensed by the second condensing optical system. An optical head position detection device characterized by being provided.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26360390A JPH04141834A (en) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | Optical head type position detection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26360390A JPH04141834A (en) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | Optical head type position detection device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04141834A true JPH04141834A (en) | 1992-05-15 |
Family
ID=17391838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26360390A Pending JPH04141834A (en) | 1990-10-01 | 1990-10-01 | Optical head type position detection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04141834A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0620297A (en) * | 1992-07-06 | 1994-01-28 | Sharp Corp | Optical pickup |
KR20170013362A (en) | 2017-01-13 | 2017-02-06 | 서강대학교산학협력단 | Quantitative Analysis for Oligomers in Polymer using MALDI-TOF Mass analysis |
KR20170013073A (en) | 2015-07-27 | 2017-02-06 | 서강대학교산학협력단 | Quantitative Analysis for Oligomers in Polymer using MALDI-TOF Mass analysis |
-
1990
- 1990-10-01 JP JP26360390A patent/JPH04141834A/en active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0620297A (en) * | 1992-07-06 | 1994-01-28 | Sharp Corp | Optical pickup |
KR20170013073A (en) | 2015-07-27 | 2017-02-06 | 서강대학교산학협력단 | Quantitative Analysis for Oligomers in Polymer using MALDI-TOF Mass analysis |
KR20170013362A (en) | 2017-01-13 | 2017-02-06 | 서강대학교산학협력단 | Quantitative Analysis for Oligomers in Polymer using MALDI-TOF Mass analysis |
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