JPH04144811A - Base plate inserting device - Google Patents
Base plate inserting deviceInfo
- Publication number
- JPH04144811A JPH04144811A JP26580590A JP26580590A JPH04144811A JP H04144811 A JPH04144811 A JP H04144811A JP 26580590 A JP26580590 A JP 26580590A JP 26580590 A JP26580590 A JP 26580590A JP H04144811 A JPH04144811 A JP H04144811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- substrate
- base plate
- lateral direction
- board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 20
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 68
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 18
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 12
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 5
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 4
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
(産業上の利用分野)
本発明は、たとえば、液晶表示パネルの製造に際して、
ガラス基板を入れて工程間を運搬する基板カセットの収
納部に対して、工程内の装置から送出されたガラス基板
を1枚ずつ挿入するために用いる基板挿入装置に関する
ものである。[Detailed Description of the Invention] [Object of the Invention] (Industrial Application Field)
The present invention relates to a substrate insertion device used to insert glass substrates sent out from an in-process device one by one into a storage portion of a substrate cassette into which the glass substrates are placed and transported between processes.
(従来の技術) 従来のこの種の基板挿入装置を第6図に示す。(Conventional technology) A conventional board insertion device of this type is shown in FIG.
■は水平に設けられたベースで、このベース1上に基板
コンベア2が設けられている。この基板コンベア2(以
下コンベア2と呼ぶ)は、ベース1上に左右一対のT字
状のブラケット3を垂直に立設し、この一対のブラケッ
ト3の上部間に複数のシャフト4を互いに平行で水平に
かつ回動可能に横架し、上記一対のブラケット3の内側
面に近接して、上記複数のシャフト4にそれぞれ一対の
鍔付きのローラ5を固定するとともに、この−方のブラ
ケット3の外側部に位置して、上記複数のシャフト4の
一端部にそれぞれタイミングプーリ6を固定し、この複
数のタイミングプーリ6を上記ベース1上に設けられた
モータ7により、タイミングプーリ8及び無端状のタイ
ミングベルト9を介して図示反時計方向に回動するもの
である。(2) is a horizontally provided base, on which a substrate conveyor 2 is provided. This board conveyor 2 (hereinafter referred to as conveyor 2) has a pair of left and right T-shaped brackets 3 vertically erected on a base 1, and a plurality of shafts 4 are arranged parallel to each other between the upper parts of the pair of brackets 3. A pair of flanged rollers 5 are fixed to each of the plurality of shafts 4, horizontally and rotatably suspended, close to the inner surfaces of the pair of brackets 3, and A timing pulley 6 is fixed to one end of each of the plurality of shafts 4 located on the outer side, and the plurality of timing pulleys 6 are connected to a timing pulley 8 and an endless shaft by a motor 7 provided on the base 1. It rotates counterclockwise in the drawing via a timing belt 9.
そして、このコンベア2は、液晶表示パネルの製造工程
中の装置から1枚ずつ送出されるガラス基板W(以下、
基板Wと呼ぶ)を、ローラ5の鍔により両側から位置決
めした状態で、ローラ5上に支持して、前方の基板カセ
ット11に搬送し、基板カセット11の収納部12に挿
入するようになっている。This conveyor 2 is used to transport glass substrates W (hereinafter referred to as
A substrate (referred to as a substrate W) is positioned from both sides by the collar of the roller 5, supported on the roller 5, conveyed to the front substrate cassette 11, and inserted into the storage section 12 of the substrate cassette 11. There is.
この基板カセット11(以下、カセット11と呼ぶ)は
、把持用のハンドル13を取付けた矩形の上板14の四
隅と左右一対の位置決め孔15を設けた矩形の下板16
の四隅とをそれぞれ断面円形のガイドポスト17で連結
し、この4本のガイドポスト17の外周にそれぞれ基板
Wの両側縁部を係合する多数の環状溝18を上下方向等
間隔に形成することにより、多数の収納部12を上下方
向多段に等ピッチで形成したものである。This board cassette 11 (hereinafter referred to as cassette 11) consists of the four corners of a rectangular upper plate 14 to which gripping handles 13 are attached, and a rectangular lower plate 16 provided with a pair of left and right positioning holes 15.
are connected to each of the four corners by guide posts 17 having a circular cross section, and a large number of annular grooves 18 are formed at equal intervals in the vertical direction on the outer periphery of the four guide posts 17, each engaging with both side edges of the substrate W. Accordingly, a large number of storage portions 12 are formed in multiple stages in the vertical direction at equal pitches.
そして、このカセット11は、カセットエレベータ21
により、収納部12のピッチと笠しい距離ずつ間欠的に
上昇(または下降)するようになっている。Then, this cassette 11 is transferred to a cassette elevator 21.
As a result, it is intermittently raised (or lowered) by a distance equal to the pitch of the storage section 12.
このカセットエレベータ21(以下、エレベータ21と
呼ぶ)は、上記ベース1に、リニア駆動モータ22を設
けるとともに、前後一対の筒状のスライドガイド23を
垂直に設け、上記リニア駆動モータ22によって垂直に
移動する駆動シャフト24の上端部と上記一対のスライ
ドガイド23に摺動可能に挿通した一対のスライドシャ
フト25の上端部とに支持板26を水平に取付け、この
支持板26の上面に左右一対の位置決めピン27を突設
したものである。This cassette elevator 21 (hereinafter referred to as elevator 21) is provided with a linear drive motor 22 on the base 1, and vertically provided with a pair of front and rear cylindrical slide guides 23, and is moved vertically by the linear drive motor 22. A support plate 26 is horizontally attached to the upper end of the drive shaft 24 and the upper end of the pair of slide shafts 25 slidably inserted into the pair of slide guides 23, and a pair of left and right positions are mounted on the upper surface of the support plate 26. A pin 27 is provided protrudingly.
そして、このエレベータ21は、リニア駆動モータ22
により駆動シャフト24を介して支持板26が垂直に昇
降するようになっており、この支持板26の一対の位置
決めピン27に上記カセット11の下板16の一対の位
置決め孔I5を嵌合して、カセット11の下板16を支
持板26の上に支持するようになっている。This elevator 21 is operated by a linear drive motor 22.
The support plate 26 is vertically moved up and down via the drive shaft 24, and the pair of positioning holes I5 of the lower plate 16 of the cassette 11 are fitted into the pair of positioning pins 27 of the support plate 26. , the lower plate 16 of the cassette 11 is supported on the support plate 26.
そうして、この従来の基板挿入装置は、液晶表示パネル
の製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wをコ
ンベア2により受取ってエレベ〜り21上のカセット1
1に搬送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイド
ポスト17の環状′IIt18に係合して、カセット1
1の収納部12に挿入するようになっている。In this way, this conventional substrate insertion device receives the substrates W delivered one by one from the device during the manufacturing process of the liquid crystal display panel by the conveyor 2 and inserts them into the cassettes on the elevator 21.
1, the both sides of the substrate W are engaged with the annular 'IIt18 of each guide post 17 of the cassette 11, and the substrate W is transferred to the cassette 1.
It is designed to be inserted into the storage section 12 of No. 1.
そして、1枚の基板Wをカセット11の収納部12に挿
入し終ると、カセット11はエレベータ21により1ピ
ツチだけ上昇(または下降)し、っぎの基板Wを上段(
または下段)の収納部12に挿入し、カセット11の各
収納部12に基板Wを1枚ずつ収納するようになってい
る。When one substrate W has been inserted into the storage section 12 of the cassette 11, the cassette 11 is raised (or lowered) by one pitch by the elevator 21, and the next substrate W is placed in the upper stage (
or lower), and one substrate W is stored in each storage section 12 of the cassette 11.
ところで、この従来の基板挿入装置では、装置の製作時
に、コンヘア2とエレベータ21とカセット11との位
置関係は予め決められているが、カセット11は、長期
間使用すると、その構造上から、捩れや倒れ等の変形が
発生するため、コンベア2とカセット11の収納部12
の位置がずれ、基板Wが、カセット11のガイドポスト
17に当たって、円滑に入らないことがある。By the way, in this conventional board insertion device, the positional relationship between the converter 2, the elevator 21, and the cassette 11 is determined in advance when the device is manufactured, but when the cassette 11 is used for a long period of time, due to its structure, Conveyor 2 and storage section 12 of cassette 11 may
may be misaligned, and the substrate W may hit the guide post 17 of the cassette 11 and not enter smoothly.
(発明が解決しようとする課題)
上述したように、従来の基板挿入装置では、基板Wがカ
セット1)に円滑に入らなくなることがあり、この基板
Wにつぎに送出された基板Wが衝突すると、基板Wの破
損が起きる。(Problem to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional substrate insertion device, the substrate W may not enter the cassette 1) smoothly, and if the next substrate W sent out collides with this substrate W, , damage to the substrate W occurs.
これを防止するために、センサ等で基板Wの挿入状況を
チエツクし、基板Wの挿入不良が起きた場合に、装置を
停止させることもできるが、このような場合には、液晶
表示パネルの製造工程中の前工程の製造装置も停止させ
る必要があるため、製造装置の稼働率が低下したり、製
造装置の停止による基板不良が発生して歩留まりが悪く
なったりする。To prevent this, it is possible to check the insertion status of the substrate W using a sensor or the like, and to stop the apparatus if the insertion of the substrate W is incorrect. Since it is also necessary to stop the manufacturing equipment in the previous process during the manufacturing process, the operating rate of the manufacturing equipment decreases, and substrate defects occur due to the stoppage of the manufacturing equipment, resulting in poor yield.
また、カセット11の変形にそなえて、予め、基板Wが
係合するガイドポスト17の環状溝18を大きくしてお
くことも考えられるが、あまり大きくすると、カセット
11の運搬中のカセット11内での基板Wの動きが大き
くなるため、基板Wの周辺部に欠けやクラックが発生す
る。In addition, in preparation for the deformation of the cassette 11, it is possible to make the annular groove 18 of the guide post 17 with which the substrate W engages larger in advance, but if it is made too large, the cassette 11 will not be able to move inside the cassette 11 while it is being transported. Since the movement of the substrate W becomes large, chips and cracks occur in the periphery of the substrate W.
本発明は、このような点に鑑みなされたもので、液晶表
示パネルのガラス基板W等の基板をカセットに確実に挿
入することを目的とするものである。The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to reliably insert a substrate such as a glass substrate W of a liquid crystal display panel into a cassette.
(課題を解決するための手段)
本発明は、基板をこの基板の両側縁部に対する係合部を
備えたカセットの収納部に挿入する基板挿入装置であっ
て、カセットに向かって前後方向に進退可能に設けられ
た搬送体と、この搬送体に昇降可能に設けられた昇降体
と、この昇降体に左右方向に移動可能に設けられた調整
体と、この調整体に設けられて上記基板を吸着する吸着
体と、この吸着体を左右方向の所定位置に調心するとと
もにこの位置からの左右方向の移動を許容すべく上記調
整体を左右方向の所定位置に付勢する調心機構とを具備
したものである。(Means for Solving the Problems) The present invention is a board insertion device for inserting a board into a storage portion of a cassette, which is provided with engaging portions for both side edges of the board, and which moves forward and backward toward the cassette. a conveying body that is movable, an elevating body that is movable up and down on the conveying body, an adjustment body that is movable in the left and right directions on this elevating body, and an adjustment body that is installed on this adjustment body that allows the substrate to be moved up and down. A suction body that attracts the suction body, and an alignment mechanism that aligns the suction body to a predetermined position in the left-right direction and biases the adjusting body to a predetermined position in the left-right direction to allow movement in the left-right direction from this position. It is equipped with
(作用)
本発明の基板挿入装置は、所定位置に供給された基板に
対して、昇降体により吸着体を上昇し、この吸着体で基
板を吸着し、搬送体により吸着体をカセットに前進して
、基板をカセットの収納部に挿入する。(Function) The substrate insertion device of the present invention raises the suction body using the elevating body with respect to the substrate supplied to a predetermined position, adsorbs the substrate with the suction body, and advances the suction body to the cassette using the conveying body. and insert the board into the cassette compartment.
そして、この際に、基板とカセットの収納部のセンター
がずれている場合、基板の一側縁部がカセットの係合部
に当接し、基板はカセットの一側の係合部から他側方向
の反力を受け、この反力の方向に調整体が移動して基板
のセンターがカセットの収納部のセンターに向かって移
動し、カセットの収納部に対する基板の挿入が可能とな
る。At this time, if the centers of the board and the cassette compartment are misaligned, one side edge of the board will come into contact with the engaging part of the cassette, and the board will move from the engaging part on one side of the cassette to the other side. In response to the reaction force, the adjusting body moves in the direction of this reaction force, and the center of the substrate moves toward the center of the cassette storage section, making it possible to insert the substrate into the cassette storage section.
そして、挿入後に基板の吸着を解除すると、吸着体が調
心機構により調整体とともに元の位置に戻る。Then, when the adsorption of the substrate is released after insertion, the adsorption body returns to its original position together with the adjustment body by the alignment mechanism.
(実施例)
本発明の基板挿入装置の一実施例を第1図ないし第5図
を参照して説明する。(Embodiment) An embodiment of the board insertion device of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 5.
第1図において、31はガラス基板W(以下、基板Wと
呼ぶ)を前方の基板カセット11(以下、カセット11
と呼ぶ)に搬送する搬送機構で、この搬送機構31は、
断面り字状のフレーム32を図示しないベース上に水平
に取付け、このフレーム32の一側部に、ガイドレール
33を水平に取付けるとともに、前後一対のタイミング
プーリ34を回動自在に軸支し、上記ガイトレール33
に搬送体としてのスライダ35を移動可能に係合すると
ともに、上記前後一対のタイミングプーリ34に無端状
のタイミングベルト36を掛は回し、このタイミングベ
ルト36の一部に上記スライダ35を固定し、後側のタ
イミングプーリ34をフレーム32の他側部に設けたモ
タ37によって正逆両方向に駆動するものてあり、モー
タ37によってスライダ35がガイドレール33に沿っ
て前後方向(Y方向)に移動するようになっている。In FIG. 1, reference numeral 31 holds a glass substrate W (hereinafter referred to as a substrate W) in a front substrate cassette 11 (hereinafter referred to as a cassette 11).
This transport mechanism 31 is a transport mechanism that transports
A frame 32 having a rectangular cross-section is horizontally mounted on a base (not shown), a guide rail 33 is horizontally mounted on one side of the frame 32, and a pair of front and rear timing pulleys 34 are rotatably supported. Above guide rail 33
A slider 35 as a conveying body is movably engaged with the belt, an endless timing belt 36 is hooked and rotated around the pair of front and rear timing pulleys 34, and the slider 35 is fixed to a part of the timing belt 36. The rear timing pulley 34 is driven in both forward and reverse directions by a motor 37 provided on the other side of the frame 32, and the motor 37 moves the slider 35 in the front-rear direction (Y direction) along the guide rail 33. It looks like this.
41は基板Wを昇降する昇降機構で、この昇降機構41
は、第2図に示すように、上記スライダ35に、シリン
ダ42を垂直に設けるとともに、前後−対の筒状のスラ
イドガイド43を垂直に設け、この一対のスライドガイ
ド43に摺動可能に挿通した一対のスライドシャフト4
4の上端部に昇降体としてのブラケット45を水平に取
付けたもので、シリンダ42によってブラケット45が
垂直方向(Z方向)に昇降するようになっている。41 is a lifting mechanism for lifting and lowering the substrate W; this lifting mechanism 41
As shown in FIG. 2, a cylinder 42 is vertically provided on the slider 35, and a pair of cylindrical slide guides 43 is vertically provided on the slider 35, and the slider 35 is slidably inserted into the pair of slide guides 43. A pair of slide shafts 4
A bracket 45 serving as an elevating body is horizontally attached to the upper end of the cylinder 42, and the bracket 45 is moved up and down in the vertical direction (Z direction) by a cylinder 42.
そして、上記ブラケット45の上部に前後一対のスライ
ダ48を介して調整体としての微動ステージ49が左右
方向(X方向)に水平移動可能に設けられ、この微動ス
テージ49の前側上部に逆り字状のステー50を介して
吸着体としてのT字状の吸着ステージ51が水平に取付
けられ、この吸着ステージ51の上面には吸着溝52が
形成され、この吸着溝52により基板Wを吸着するよう
になっている。A fine movement stage 49 as an adjustment body is provided on the upper part of the bracket 45 so as to be horizontally movable in the left-right direction (X direction) via a pair of front and rear sliders 48. A T-shaped suction stage 51 as a suction body is installed horizontally via a stay 50, and a suction groove 52 is formed on the upper surface of this suction stage 51, and the suction groove 52 is configured to suction the substrate W. It has become.
なお、微動ステージ49は極めて小さい力で左右方向に
移動するようになっている。Note that the fine movement stage 49 is configured to move in the left-right direction with extremely small force.
また、上記吸着ステージ51の両側部には複数の鍔付き
のローラ55が配設され、この複数のローラ55は、液
晶表示パネルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出され
る基板Wを、その鍔により両側から位置決めした状態で
、支持するようになっている。Further, a plurality of flanged rollers 55 are arranged on both sides of the suction stage 51, and these rollers 55 pick up the substrates W that are sent out one by one from the device during the manufacturing process of the liquid crystal display panel. The collar allows it to be positioned and supported from both sides.
61は上記吸着ステージ51を左右方向の所定位置に調
心(センタリング)する調心機構で、この調心機構61
は、第2図及び第3図に示すように、上記微動ステージ
49に形成した開口部62を介して軸63を上記ブラケ
ット45に回動可能に支持し、この軸63の上端部に板
カム64を水平に取付けて微動ステージ49の上面に対
向させ、この板カム64をスプリング65により第3図
時計方向に付勢するとともに、この板カム64に対する
前後一対の係合ピン66、67を微動ステージ49の上
面に突設したもので、板カム64は円板の外周の2箇所
を切欠して係合面68、69を形成した形状で、この係
合面68.69に上記係合ピン66、67が当接するよ
うになっている。Reference numeral 61 denotes an alignment mechanism for centering the suction stage 51 at a predetermined position in the left and right direction;
As shown in FIGS. 2 and 3, a shaft 63 is rotatably supported by the bracket 45 through an opening 62 formed in the fine movement stage 49, and a plate cam is attached to the upper end of the shaft 63. 64 is mounted horizontally to face the upper surface of the fine movement stage 49, this plate cam 64 is urged clockwise in FIG. The plate cam 64 protrudes from the upper surface of the stage 49, and the plate cam 64 has a shape in which engaging surfaces 68 and 69 are formed by cutting out two places on the outer periphery of a disc, and the engaging pins are attached to the engaging surfaces 68 and 69. 66 and 67 are brought into contact with each other.
そして、この調心機構61の軸63及び板カム64は極
めて小さい力で回転することができ、スプリング65は
これに見合う程度の小さい力で板カム64を付勢し、こ
の付勢力により、板カム64が第3図時計方向に回動し
、板カム64の2つの係合面68゜69のそれぞれに上
記係合ピン66、67が当接した状態で、板カム64が
停止するようになっている。The shaft 63 and plate cam 64 of this alignment mechanism 61 can be rotated with an extremely small force, and the spring 65 urges the plate cam 64 with a commensurately small force. The cam 64 rotates clockwise in FIG. 3, and the plate cam 64 stops with the engagement pins 66 and 67 in contact with the two engagement surfaces 68 and 69 of the plate cam 64, respectively. It has become.
なお、第1図に示すように、上記搬送機構31のフレー
ム32前方には第6図に示したカセットエレベータ21
が設けられ、このカセットエレベータ21の支持板26
の一対の位置決めピン27に基板カセット11の下板1
6の一対の位置決め孔15を嵌合して、カセット11の
下板IGを支持板26の上に支持し、゛この状態で、カ
セットエレベータ21の支持板26が昇降するようにな
っている。As shown in FIG. 1, the cassette elevator 21 shown in FIG. 6 is located in front of the frame 32 of the transport mechanism 31.
A support plate 26 of this cassette elevator 21 is provided.
The lower plate 1 of the board cassette 11 is attached to a pair of positioning pins 27.
The lower plate IG of the cassette 11 is supported on the support plate 26 by fitting the pair of positioning holes 15 of the cassette elevator 21. In this state, the support plate 26 of the cassette elevator 21 is raised and lowered.
そうして、この実施例の基板挿入装置は、液晶表示パネ
ルの製造工程中の装置から1枚ずつ送出される基板Wが
複数のローラ55上に支持されて所定の位置に位置決め
されると、昇降機構41のブラケット45が上昇し、こ
れによって、吸着ステージ51が基板Wの下面に上昇し
て基板Wを支持し、吸着溝52で基板Wを吸着して保持
する。Then, in the substrate insertion apparatus of this embodiment, when the substrates W sent out one by one from the apparatus during the manufacturing process of a liquid crystal display panel are supported on the plurality of rollers 55 and positioned at a predetermined position, The bracket 45 of the elevating mechanism 41 rises, and thereby the suction stage 51 rises to the lower surface of the substrate W to support the substrate W, and the suction groove 52 suctions and holds the substrate W.
ついで、搬送機構31のスライダ35が前進し、これに
よって、吸着ステージ51がカセットIIに移動して、
基板Wをカセットエレベータ21上のカセット11に搬
送し、基板Wの両側部をカセット11の各ガイドボスト
17の環状溝18に係合して、カセット11の収納部1
2に挿入する。Next, the slider 35 of the transport mechanism 31 moves forward, thereby moving the suction stage 51 to the cassette II.
The substrate W is transferred to the cassette 11 on the cassette elevator 21, and both sides of the substrate W are engaged with the annular grooves 18 of each guide post 17 of the cassette 11, and the storage section 1 of the cassette 11 is moved.
Insert into 2.
なお、このときの搬送速度は、基板Wがカセッl−11
に入る数mm手前までは高速で、基板Wがカセット11
に入るときには低速となる。Note that the transport speed at this time is such that the substrate W is in the cassette l-11.
At high speed until a few mm before the board W enters the cassette 11
When entering, the speed is low.
そして、この際に、基板Wの左右方向(X方向)のセン
ターとカセット11の収納部12の左右方向のセンター
が一致していれば、基板Wはスムーズに収納部12に入
るが、第4図に示すように、基板Wのセンターaとカセ
ット11の収納部12のセンターbがずれている場合、
基板Wの一側縁部がカセット11の係合部としてのガイ
ドボスト17の環状溝18の底部に当接し、基板Wには
F方向の力が働く 。At this time, if the center of the substrate W in the left-right direction (X direction) and the center of the storage section 12 of the cassette 11 in the left-right direction match, the substrate W will smoothly enter the storage section 12; As shown in the figure, if the center a of the substrate W and the center b of the storage section 12 of the cassette 11 are misaligned,
One side edge of the substrate W comes into contact with the bottom of the annular groove 18 of the guide post 17 serving as the engaging portion of the cassette 11, and a force in the F direction is applied to the substrate W.
そして、このF方向の力の分力はFXとFYとなるため
、基板WをそのままFY力方向搬入しようとすると、F
X方向の力が、基板Wから吸着ステージ51及びステー
50を介して微動ステージ49に伝わり、さらに、微動
ステージ49上の一方の係合ピン67から板カム64の
係合面69に伝わり、板カム64をスプリング65に抗
して反時計方向に回動しようとする。Then, the component forces of this force in the F direction are FX and FY, so if you try to carry the substrate W as it is in the FY force direction, F
The force in the X direction is transmitted from the substrate W to the fine movement stage 49 via the suction stage 51 and the stay 50, and is further transmitted from one engagement pin 67 on the fine movement stage 49 to the engagement surface 69 of the plate cam 64, causing the plate The cam 64 attempts to rotate counterclockwise against the spring 65.
そして、このFX方向の力が、搬送機構31により次第
に強くなり、調心機構61の板カム64がスプリング6
5により図示の状態を維持しようとする力よりも強くな
って、第5図に示すように、微動ステージ49がガイド
ボスト17の円形の外周面に沿ってFX方向に移動し、
これによって、基板Wがカセット11の収納部12に入
り、これにともなって、微動ステージ49上の一方の係
合ピン67が板カム64をスプリング65に抗して反時
計方向に回動させ、この状態で、微動ステージ49上の
他方の係合ピン66と板カム64の係合面68が離れる
。Then, this force in the FX direction gradually becomes stronger due to the conveyance mechanism 31, and the plate cam 64 of the alignment mechanism 61 moves against the spring 6.
5, the fine movement stage 49 is moved in the FX direction along the circular outer peripheral surface of the guide post 17, as shown in FIG.
As a result, the substrate W enters the storage section 12 of the cassette 11, and accordingly, one engagement pin 67 on the fine movement stage 49 rotates the plate cam 64 counterclockwise against the spring 65. In this state, the other engagement pin 66 on the fine movement stage 49 and the engagement surface 68 of the plate cam 64 are separated.
なお、このときに、基板Wの側縁部に割れや欠けを発生
させないためには、スプリング65の付勢力を小さくす
る必要があり、このためには、板カム64の回動抵抗及
び微動ステージ49の摺動抵抗を十分に小さくする必要
がある。At this time, in order to prevent cracks or chips from occurring on the side edges of the substrate W, it is necessary to reduce the biasing force of the spring 65, and for this purpose, it is necessary to reduce the rotational resistance of the plate cam 64 and the fine movement stage. It is necessary to make the sliding resistance of 49 sufficiently small.
そして、基板Wをカセット11に挿入し終わったら、吸
着ステージ51による基板Wの吸着を解除し、昇降機構
41により吸着ステージ51を下降し、搬送機構31に
より吸着ステージ51を後退して、元の状態に戻し、カ
セット11はカセットエレベータ21により1ピツチだ
け上昇し、次の基板Wを待つ。After inserting the substrate W into the cassette 11, the suction stage 51 releases the suction of the substrate W, the elevating mechanism 41 lowers the suction stage 51, the transport mechanism 31 moves the suction stage 51 backwards, and the suction stage 51 is returned to its original state. After returning to the original state, the cassette 11 is raised by one pitch by the cassette elevator 21 and waits for the next substrate W.
また、このとき、吸着ステージ51が基板Wの吸着を解
除すると、吸着ステージ51がフリーとなるため、スプ
リング65が板カム64を時計方向に回動し、これによ
って、板カム64の係合面69が微動ステージ49の係
合ピン67を押し、微動ステージ49が元の位置に戻る
。Moreover, at this time, when the suction stage 51 releases the suction of the substrate W, the suction stage 51 becomes free, so the spring 65 rotates the plate cam 64 clockwise, thereby causing the engagement surface of the plate cam 64 to rotate. 69 pushes the engagement pin 67 of the fine movement stage 49, and the fine movement stage 49 returns to its original position.
なお、この調心機構61の作用は、微動ステージ49が
左右どちらの方向に移動した場合も同様で、微動ステー
ジ49がその安定位置から移動すると、係合ピン66、
67の一方が板カム64の係合面6g、 69の一方を
押して、板カム64をスプリング65に抗して反時計方
向に回動させるとともに、係合ピン66゜67の他方が
板カム64の係合面68.69の他方から離れ、この状
態で、微動ステージ49を移動させていた力がなくなる
と、板カム64がスプリング65により時計方向に回動
して、微動ステージ49を元の位置に戻し、板カム64
の2つの係合面68.69のそれぞれに係合ピン66、
67が当接した状態で、板カム64が回転できなくなっ
て停止し、微動ステージ49が安定位置に戻るようにな
っている。Note that the action of this alignment mechanism 61 is the same when the fine movement stage 49 moves in either the left or right direction, and when the fine movement stage 49 moves from its stable position, the engagement pin 66,
67 pushes one of the engagement surfaces 6g and 69 of the plate cam 64 to rotate the plate cam 64 counterclockwise against the spring 65, and the other of the engagement pins 66 and 67 When the force that was moving the fine movement stage 49 is released, the plate cam 64 is rotated clockwise by the spring 65, and the fine movement stage 49 is returned to its original position. Return to position, plate cam 64
An engagement pin 66 on each of the two engagement surfaces 68 and 69,
When the plate cam 67 is in contact with the plate cam 64, the plate cam 64 cannot rotate and stops, and the fine movement stage 49 returns to the stable position.
上述したように、本発明によれば、基板を無理なくカセ
ットに挿入することができるので、基板の挿入ミスによ
る基板の破損を防止することができ、また、基板の挿入
ミスによって基板に対する加工等を行なう製造装置を停
止させることがないので、この製造装置の稼働率が向上
し、製造装置の停止による基板不良の発生もなくなるの
で、歩留まりが向上する。As described above, according to the present invention, the board can be inserted into the cassette without any force, so damage to the board due to incorrect insertion of the board can be prevented, and damage to the board due to incorrect insertion of the board can be prevented. Since there is no need to stop the manufacturing equipment that performs this, the operating rate of the manufacturing equipment is improved, and the occurrence of substrate defects due to the stoppage of the manufacturing equipment is eliminated, so that the yield is improved.
第1図は本発明の基板挿入装置の一実施例の斜視図、第
2図はその要部の縦断面図、第3図はその要部の平面図
、第4図及び第5図はその調心機構の作用説明図であり
、第6図は従来の基板挿入装置の斜視図である。
W・・基板、11・・カセット、12・・収納部、17
・・係合部としてのガイドポスト、35・・搬送体とし
てのスライダ、45・・昇降体としてのブラケット、4
9・・調整体としての微動ステージ、51・吸着体とし
ての吸着ステージ、61・・調心機構。FIG. 1 is a perspective view of an embodiment of the board insertion device of the present invention, FIG. 2 is a vertical cross-sectional view of its main parts, FIG. 3 is a plan view of its main parts, and FIGS. 4 and 5 are its main parts. FIG. 6 is a diagram illustrating the operation of the alignment mechanism, and FIG. 6 is a perspective view of a conventional board insertion device. W... Board, 11... Cassette, 12... Storage section, 17
...Guide post as an engaging part, 35..Slider as a conveying body, 45..Bracket as an elevating body, 4
9. Fine movement stage as an adjustment body, 51. Adsorption stage as an adsorption body, 61. Alignment mechanism.
Claims (1)
たカセットの収納部に挿入する基板挿入装置であって、 カセットに向かって前後方向に進退可能に設けられた搬
送体と、この搬送体に昇降可能に設けられた昇降体と、
この昇降体に左右方向に移動可能に設けられた調整体と
、この調整体に設けられて上記基板を吸着する吸着体と
、この吸着体を左右方向の所定位置に調心するとともに
この位置からの左右方向の移動を許容すべく上記調整体
を左右方向の所定位置に付勢する調心機構とを具備した
ことを特徴とする基板挿入装置。(1) A board insertion device for inserting a board into a storage section of a cassette, which is provided with engagement parts for both side edges of the board, and includes a carrier provided so as to be movable forward and backward toward the cassette; an elevating body that is movable up and down on the conveying body;
An adjustment body provided on the elevating body so as to be movable in the left-right direction; an adsorption body provided on the adjustment body for adsorbing the substrate; A board insertion device comprising: an alignment mechanism that urges the adjustment body to a predetermined position in the left and right direction to allow movement in the left and right direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26580590A JPH04144811A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Base plate inserting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26580590A JPH04144811A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Base plate inserting device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04144811A true JPH04144811A (en) | 1992-05-19 |
Family
ID=17422294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26580590A Pending JPH04144811A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Base plate inserting device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04144811A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264630A (en) * | 1995-03-10 | 1996-10-11 | Fujita Seisakusho:Kk | Carrier rack |
EP0957510A1 (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-17 | Shibaura Mechatronics Corporation | Processor and processing method, and robot device |
JP2008098318A (en) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | Facility for processing plate-like article |
JP2008098317A (en) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | Facility for processing plate-like article |
JP2013149703A (en) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | Wafer transfer device |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP26580590A patent/JPH04144811A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08264630A (en) * | 1995-03-10 | 1996-10-11 | Fujita Seisakusho:Kk | Carrier rack |
EP0957510A1 (en) * | 1996-10-30 | 1999-11-17 | Shibaura Mechatronics Corporation | Processor and processing method, and robot device |
EP0957510A4 (en) * | 1996-10-30 | 2004-09-15 | Shibaura Mechatronics Corp | Processor and processing method, and robot device |
JP2008098318A (en) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | Facility for processing plate-like article |
JP2008098317A (en) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Daifuku Co Ltd | Facility for processing plate-like article |
JP4586790B2 (en) * | 2006-10-11 | 2010-11-24 | 株式会社ダイフク | Plate processing equipment |
JP2013149703A (en) * | 2012-01-18 | 2013-08-01 | Nippon Steel & Sumikin Fine Technology Co Ltd | Wafer transfer device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100244688B1 (en) | Wafer transfer apparatus | |
US20140081443A1 (en) | Plate member reversing system and reversing/transfer method thereof | |
JP2002532915A (en) | In / out type load port transfer mechanism | |
KR100273837B1 (en) | A providing device for wafer ring | |
JPH04144811A (en) | Base plate inserting device | |
JP3391584B2 (en) | Processing equipment | |
JPH06348025A (en) | Carrying device for exposure system | |
JPS62149152A (en) | Wafer transfer apparatus | |
JP3822725B2 (en) | Substrate holding device | |
JP2804498B2 (en) | Electronic component automatic mounting device | |
KR100209240B1 (en) | Welding apparatus for masks of flat braun tube and methods thereof | |
JP2503732Y2 (en) | Semiconductor manufacturing equipment | |
JP2552197B2 (en) | Automatic exposure device and loading stage | |
JPH0710267A (en) | Transfer device for use in clean room | |
JPH0714699U (en) | Parts mounting device | |
JPH01294135A (en) | Substrate conveyor | |
JPH0643026Y2 (en) | A jig for transporting thin plate objects | |
JP2581085B2 (en) | Wafer alignment device | |
JPH0770876B2 (en) | Printed circuit board positioning device | |
KR910000257Y1 (en) | Automatic array equipment for lead frame | |
JPH01291431A (en) | Pellet bonding apparatus | |
JP2538311B2 (en) | Pellet bonding machine | |
JPH04361551A (en) | Semiconductor wafer transfer device | |
JPH0751797Y2 (en) | Wafer transfer device for vertical plasma processing machine | |
JP2632001B2 (en) | Electronic component mounting device |