JP7624819B2 - Transport System - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 129
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 104
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 89
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 30
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 20
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 6
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Description
本発明は、ワークを搬送するための搬送システムに関する。 The present invention relates to a transport system for transporting workpieces.
小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれ、表示パネルを搬送する搬送システムは、特許文献1に開示されている。同文献の搬送システムは、第1載置部と、第1載置部と検査装置の第2載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える移動機構と、検査前の表示パネルを第1載置部に搬入するとともに第1載置部に載置された検査済みの表示パネルを排出する搬送機構とを備える。
A transport system that is incorporated into a manufacturing line for small liquid crystal displays and transports display panels is disclosed in
移動機構は、保持部材と、保持部材の両端に設けられ表示パネルを保持する2つの保持機構と、2つの保持機構の中心位置を回転軸として保持部材を回転させる回転機構とを備える。検査装置で表示パネルの検査が終了すると、検査装置のシャッタが開くので、移動機構は、保持部材を180°回転させることにより、第1載置部と検査装置の第2載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える。表示パネルの入れ替えが終了した後、移動機構は、保持部材を90°回転させて、保持部材を待機位置に移動させる。保持部材が待機位置に移動した後、検査装置は、シャッタと閉じて、表示パネルの検査を実行する。 The moving mechanism includes a holding member, two holding mechanisms provided at both ends of the holding member for holding the display panel, and a rotation mechanism for rotating the holding member around the central position of the two holding mechanisms as the rotation axis. When the inspection of the display panel is completed by the inspection device, the shutter of the inspection device opens, and the moving mechanism rotates the holding member by 180° to simultaneously swap the display panels between the first mounting section and the second mounting section of the inspection device. After the swapping of the display panels is completed, the moving mechanism rotates the holding member by 90° to move it to a standby position. After the holding member has moved to the standby position, the inspection device closes the shutter and performs inspection of the display panel.
特許文献1の搬送システムでは、搬送機構のタクトタイムの短縮が要求される。しかしながら、特許文献1の搬送システムでは、表示パネルが検査装置で検査されている場合には、移動機構は、第1載置部に載置された表示パネルを保持することができないので、搬送機構のタクトタイムを短縮することが難しいという問題がある。
In the conveying system of
そこで、本発明の課題は、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することにある。 The objective of the present invention is to provide a transport system that can hold or place a display panel even when the display panel is being processed in the processing section.
上記の課題を解決するために、本発明の搬送システムは、ワークを保持する第1ロボットと、前記第1ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、前記第1ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、前記移動機構は、第1アームおよび第2アームがL字状に連結した保持アームと、前記第1アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第1吸着部と、前記第2アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第2吸着部と、前記第1アームおよび前記第2アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記第1吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第1位置と、前記第1位置から一方方向に90°回転して前記第2吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第2位置と、前記第2位置から前記一方方向に90°回転して前記第1吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第3位置と、前記第3位置から他方方向に270°回転して前記第2吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第4位置と、に前記保持アームを回転させ、前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、前記ステージの移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向
、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とすると、前記第1ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してX軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする。
In order to solve the above problems, a transport system of the present invention includes a first robot that holds a workpiece, an alignment camera that detects the position of the workpiece held by the first robot, a transport mechanism including a stage on which the workpiece held by the first robot is placed, and a moving mechanism that moves the workpiece placed on the stage to a processing section that processes the workpiece, and moves the processed workpiece that has been processed in the processing section to the stage, wherein the moving mechanism includes a holding arm in which a first arm and a second arm are connected in an L-shape, a first suction section that is provided at the tip of the first arm and holds the workpiece, a second suction section that is provided at the tip of the second arm and holds the workpiece, and a rotation axis that is a connection position of the first arm and the second arm. and a drive unit which rotates the holding arm, and the drive unit rotates the holding arm to a first position where the first suction unit holds an unprocessed workpiece placed on the stage, a second position rotated 90° in one direction from the first position and where the second suction unit holds the processed workpiece placed on the processing unit, a third position rotated 90° in the one direction from the second position and where the first suction unit places the unprocessed workpiece on the processing unit, and a fourth position rotated 270° in the other direction from the third position and where the second suction unit places the processed workpiece on the stage , and the transport mechanism moves the stage to an unloading position after the processed workpiece is placed on the stage, and the moving direction of the stage is set to the X-axis direction and the up and down direction is set to the Z-axis direction.
, the direction perpendicular to the X-axis and Z-axis directions is the Y-axis direction, and the first robot aligns the workpiece relative to the stage in the Y-axis direction and in a rotational direction about the Z-axis as the rotation axis based on the detection results of the alignment camera, and the transport mechanism moves the stage to align the stage in the X-axis direction relative to the workpiece based on the detection results of the alignment camera .
本発明の搬送システムによれば、駆動部が第1位置に保持アームを回転させた場合、第1吸着部は、ステージに載置された処理前のワークを保持することはできるが、第2吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第2吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークが検査されていた場合でも、移動機構はステージに載置された検査前のワークを保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部が第4位置に保持アームを回転させた場合、第1吸着部は、ステージに処理済みのワークを載置することはできるが、第2吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第2吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークの検査が行われている場合でも、移動機構はステージに処理済みのワークを載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。このように構成すれば、搬送機構がステージを移動させることにより、ワークに対してX軸方向におけるステージの位置合わせを行うので、第1ロボットはワークをX軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第1ロボットの構成を簡素にすることが可能となる。
According to the transport system of the present invention, when the drive unit rotates the holding arm to the first position, the first suction unit can hold the unprocessed workpiece placed on the stage, but the second suction unit cannot hold the processed workpiece placed on the processing unit. That is, the second suction unit does not overlap with the processing unit in the vertical direction. Therefore, even if the workpiece is inspected in the processing unit, the moving mechanism can hold the uninspected workpiece placed on the stage, so that the tact time of the transport mechanism can be shortened. Furthermore, when the drive unit rotates the holding arm to the fourth position, the first suction unit can place the processed workpiece on the stage, but the second suction unit cannot hold the processed workpiece placed on the processing unit. That is, the second suction unit does not overlap with the processing unit in the vertical direction. Therefore, even if the workpiece is inspected in the processing unit, the moving mechanism can place the processed workpiece on the stage, so that the tact time of the transport mechanism can be shortened. With this configuration, the transport mechanism aligns the stage in the X-axis direction with the workpiece by moving the stage, so that the first robot can omit a mechanism for moving the workpiece in the X-axis direction. This makes it possible to simplify the configuration of the first robot.
本発明において、前記ステージは、前記第1ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることが好ましい。このように構成すれば、ステージが1つの場合と比べて、搬入用ステージおよび排出用ステージが、各々、ワークを搬送するので、搬入用ステージおよび排出用ステージの移動距離が短くなる。これにより、搬送機構がワークを搬送するタクトタイムを短縮することができる。 In the present invention, it is preferable that the stage includes an input stage that moves the unprocessed workpiece placed by the first robot to the moving mechanism, and an output stage that moves the processed workpiece placed by the moving mechanism to the output position. With this configuration, the input stage and output stage each transport a workpiece, and the travel distance of the input stage and output stage is shorter than when there is only one stage. This makes it possible to shorten the tact time for the transport mechanism to transport the workpiece.
本発明において、前記移動機構は、前記X軸方向に複数配置されている構成を採用することができる。また、本発明において、前記移動機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1移動機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2移動機構とを備え、前記搬送機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1搬送機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2搬送機構とを備える構成を採用することができる。 In the present invention, the moving mechanism may be configured to have a plurality of mechanisms arranged in the X-axis direction. Also, in the present invention, the moving mechanism may include a first moving mechanism arranged on one side in the Y-axis direction and a second moving mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction, and the transport mechanism may include a first transport mechanism arranged on one side in the Y-axis direction and a second transport mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction.
本発明において、前記第1ロボットは、上下方向から見た場合、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第1搬送機構のステージおよび前記搬送機構のステージに移動することが好ましい。このように構成すれば、第1ロボットの第1搬送機構への移動範囲と、第1ロボットの第2搬送機構への移動範囲とを同じにすることができる。 In the present invention, it is preferable that the first robot, when viewed from above and below, moves the workpiece arranged between the first transport mechanism and the second transport mechanism to the stage of the first transport mechanism and the stage of the transport mechanism. With this configuration, the movement range of the first robot to the first transport mechanism and the movement range of the first robot to the second transport mechanism can be made the same.
本発明において、前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第1搬送機構の前記ステージおよび前記第2搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第2ロボットを備えるこ
とが好ましい。このように構成することで、第1搬送機構のステージおよび第2搬送機構のステージにより、各々搬送されるワークを、1つの第2ロボットで次工程に移動させることができる。
In the present invention, it is preferable to include a second robot that moves the processed workpiece from the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism to a next process after the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism have moved to the discharge position. With this configuration, the workpieces transported by the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism can be moved to the next process by a single second robot.
本発明において、前記第1ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能である構成を採用することができる。 In the present invention, the first robot may be configured to hold multiple workpieces at the same time.
本発明では、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することができる。 The present invention provides a transport system that can hold or place a display panel even when the display panel is being processed in the processing section.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが表示パネル100である場合を中心に説明する。また、以下の説明では、ワークに対する処理としてワークに対応する検査を行う場合を中心に説明する。従って、ワークに対する処理部は、ワークに対する検査部である。図1は本発明の実施形態に係る搬送システムの平面図である。図2は、図1のA-A方向から見た搬送システムの正面図である。図3は、図1のB-B方向から見た搬送システムの側面である。
Below, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The following description will focus on the case where the work is a
(搬送システム1の構成)
図1から図3において、本形態の搬送システム1は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム1は、ワークである表示パネル100を搬送して、表示パネル100に対して所定の検査を行う検査部6に表示パネル100を供給する。
(Configuration of Transport System 1)
1 to 3, a
表示パネル100は、液晶パネルや有機ELパネル等である。表示パネル100は、矩形状に形成されており、本形態ではフレキシブル配線101を有する。表示パネル100は、表示パネル100の表示領域から外れた箇所に、表示パネル100の検査データ等のデータが記録された記録部を有する。具体的には、表示パネル100の表示領域から外れた箇所には、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。また、図1に示すように、本形態においては、表示パネル100として、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bからなる2つの表示パネル100が同時に搬送される。
The
図1~図3に示すように、搬送システム1は、表示パネル100を保持する第1ロボット3と、第1ロボット3により保持された表示パネル100の位置を検知するアライメントカメラ10と、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置されるステージ41を備える搬送機構4とを備える。本形態では、搬送機構4は、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置される第1ステージ41Aを備える第1搬送機構4Aと、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置される第2ステージ41
Bを備える第2搬送機構4Bとを備える。
1 to 3, the
and a
また、搬送システム1は、ステージ41に載置された表示パネル100を表示パネル100に対して検査を行う検査部6に移動させるとともに、検査部6で検査された検査済みの表示パネル100をステージ41に移動させる移動機構5を備える。本形態では、移動機構5は、第1ステージ41Aに載置された表示パネル100を表示パネル100に対して検査を行う第1検査部6Aに移動させるとともに、第1検査部6Aで検査された検査済みの表示パネル100を第1ステージ41Aに移動させる第1移動機構5Aと、第2ステージ41Bに載置された表示パネル100を第1検査部6Aと同じ検査を行う第2検査部6Bに移動させるとともに、第2検査部6Bで検査された検査済みの表示パネル100を第2ステージ41Bに移動させる第2移動機構5Bとを備える。
The
搬送システム1は、表示パネル100の表示領域から外れた箇所に記録されたデータを読み取るIDリーダ11を備える。搬送システム1は、ステージ41によって搬送された検査済みの表示パネル100を次工程に移動させる第2ロボット7を備える。第2ロボット7は、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bでの検査結果に基づいて、検査済みの表示パネル100を、次工程の搬送機構8または排出用載置部9に移動させる。また、搬送システム1は、搬入機構2によって搬入された検査前の表示パネル100を第1ロボット3により移動させる。
The
以下の説明では、ステージ41の移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とする。ステージ41において、表示パネル100が搬送される方向をX1方向とし、その反対方向をX2方向とする。上下方向において、上方向をZ1方向とし、下方向をZ2方向とする。Y軸方向において、一方をY1方向、他方をY2方向とする。
In the following description, the movement direction of the
図1および図2に示すように、搬入機構2は、表示パネル100を搬送システム1まで搬送する。搬入機構2は、電動シリンダなどで構成されている。搬入機構2は、表示パネル100が載置されるステージ21を備える。搬入機構2は、ステージ21をX方向に往復移動させる。搬入機構2は、X2方向の端部でステージ21に載置された表示パネル100を、X1方向の端部に搬送する。ステージ21は、X方向に長い長方形である。ステージ21は、X方向に表示パネル100を2枚載置できる大きさである。本形態では、搬入機構2は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。すなわち、ステージ21に載置された表示パネル100は、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。
1 and 2, the carry-in
図1~図3に示すように、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。第1ロボット3は、搬入機構2のステージ21に載置された表示パネル100を保持する吸着部31と、吸着部31を上下方向に移動させるとともにZ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部32と、位置調整部32をY軸方向に往復移動させる駆動部33とを備える。駆動部33は、電動シリンダなどで構成される。駆動部33は、位置調整部32を介して、吸着部31をY軸方向に往復移動させる。吸着部31をY軸方向に往復移動させる際、吸着部31は、搬入機構2のX1方向の端部に位置するステージ21と上下方向で重なる。すなわち、第1ロボット3は、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間において、吸着部31をY軸方向およびZ軸方向に移動させることが可能である。よって、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置された表示パネル100を、第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aおよび第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに移動する。本形態では、第1ロボット3は、フレキシブル配線101の先端がY2方向の側になるように、表示パネル100を第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aに載置し
、フレキシブル配線101の先端がY1方向の側になるように、表示パネル100を第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに載置する。
As shown in FIGS. 1 to 3, the
図1~図3に示すように、第1搬送機構4Aは、搬入機構2に対して、Y1方向の側に位置する。また、第1搬送機構4Aは、搬入機構2に対して、Z1方向の側に位置する。第1搬送機構4Aは、第1ステージ41AをX軸方向に往復移動させる。第1ステージ41Aは、X方向に2つの表示パネル100が載置される大きさである本体部411と、フレキシブル配線101が載置されるFPC保持部412とを備える。ここで、第1ステージ41AがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。
As shown in Figures 1 to 3, the
図1および図3にように、第2搬送機構4Bは、搬入機構2に対して、Y2方向の側に位置する。また、第2搬送機構4Bは、搬入機構2に対して、Z1方向の側に位置する。第2搬送機構4Bは、第2ステージ41BをX軸方向に往復移動させる。第2ステージ41Bは、X方向に2つの表示パネル100が載置される大きさである本体部411と、フレキシブル配線101が載置されるFPC保持部412とを備える。ここで、第2ステージ41BがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。ここで、第2ステージ41BがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。
As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the
図2に示すように、アライメントカメラ10は、第1ロボット3の上方に位置する。第1ロボット3が搬入機構2のステージ21に載置された表示パネル100を保持すると、アライメントカメラ10は、表示パネル100を上方から撮影し、表示パネルの位置を検知する。
As shown in FIG. 2, the
図1および図2に示すように、IDリーダ11は、表示パネル100の記録部に記録されたデータを、光学的に読み取る。IDリーダ11は、例えば、撮像素子などである。IDリーダ11が読み取った表示パネル100のデータに基づいて、検査部6で表示パネル100が検査される。図1に示すように、IDリーダ11は、第1IDリーダ11Aと、第2IDリーダ11Bとを備える。第1IDリーダ11Aは、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間であって、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの上方に位置する。第1IDリーダ11Aは、上部駆動部111によりY軸方向に移動する。第1IDリーダ11Aは、上方から表示パネル100の記録部に記録されたデータを読み取る。第2IDリーダ11Bは、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間であって、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの下方に位置する。第2IDリーダ11Bは、下部駆動部112によりY軸方向に移動する。第2IDリーダ11Bは、下方から表示パネル100の記録部に記録されたデータを読み取る。
1 and 2, the
図1~図3に示すように、第1移動機構5Aは、第1搬送機構4AのY1方向の側に位置する。第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を移動させるとともに、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を移動させる。第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52AがL字状に連結した保持アーム53Aと、第1アーム51Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Aと、第2アーム52Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Aとを備える。第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aは、表示パネル100とともに、フレキシブル配線101を保持する。
As shown in Figs. 1 to 3, the first moving
また、第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52Aの連結位置を回転軸として、保持アーム53Aを回転させる駆動部56Aと、駆動部56Aを上下に移動する位置調整部57Aとを備える。駆動部56Aにより、保持アーム53Aを回転させることで、第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aを移動させることができる。本形態では、第1移動機構5Aは、X軸方向に2つ並んで設けられている。
The
図1、図3に示すように、第2移動機構5Bは、第2搬送機構4BのY2方向の側に位置する。第2移動機構5Bは、第2ステージ41Bに載置された検査前の表示パネル100を移動させるとともに、第2検査部6Bに載置された検査済みの表示パネル100を移動させる。第2移動機構5Bは、第1アーム51Bおよび第2アーム52BがL字状に連結した保持アーム53Bと、第1アーム51Bの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Bと、第2アーム52Bの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Bとを備える。第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bは、表示パネル100とともに、フレキシブル配線101を保持する。本形態では、第1アーム51B、第2アーム52B、第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bは、X軸に対して、第1アーム51A、第2アーム52A、第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aと線対称となるように配置されている。
As shown in Figures 1 and 3, the
また、第2移動機構5Bは、第1アーム51Bおよび第2アーム52Bの連結位置を回転軸として、保持アーム53Bを回転させる駆動部56Bと、駆動部56Bを上下に移動する位置調整部57Bとを備える。駆動部56Bにより、保持アーム53Bを回転させることで、第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bを移動させることができる。本形態では、第2移動機構5Bは、X軸方向に2つ並んで設けられている。
The
図1~図3に示すように、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、表示パネル100の点灯検査を行う装置である。本形態では、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、各々、X軸方向に2つ並んで設けられている。第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、表示パネル100が載置される載置部12と、載置部12の上方に配置されたカメラ13と、点灯検査時に表示パネル100の下面から光を照射するバックライト14と、載置部12、カメラ13およびバックライト14を収容する筐体15とを備える。筐体15には、筐体15に形成された開口部18を塞ぐためのシャッタ17が設けられている。シャッタ17には、シャッタ17を上下動させるエアシリンダ19が連結されている。点灯検査時に、シャッタ17によって開口部18を塞いで筐体15の内部を暗室にすることが可能になる。また、シャッタ17によって開口部18を開くことにより、第1移動機構5Aおよび第2移動機構5Bは、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bに対して、表示パネル100の移動が可能になる。
As shown in Figs. 1 to 3, the
図1、図2に示すように、第2ロボット7は、検査済みの表示パネル100を保持する吸着部71と、吸着部71を上下方向に移動させるとともにZ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部72と、位置調整部72をX軸方向に往復移動させる第1駆動部73と、第1駆動部73をX方向に往復移動させる第2駆動部74を備える。第1駆動部73および第2駆動部74は、電動シリンダなどで構成される。第1駆動部73は、位置調整部72を介して、吸着部71をX軸方に往復移動させる。第2駆動部74は、第1駆動部73および位置調整部72を介して、吸着部71をY軸方に往復移動させる。本形態では、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。
1 and 2, the
図1、図2に示すように、搬送機構8は、検査済みの表示パネル100を次工程に搬送する機構である。本形態では、搬送機構8は、ベルトコンベアで構成される。
As shown in Figures 1 and 2, the
図1に示すように、排出用載置部9には、不良品用パレット200が載置されている。第2ロボット7は、排出用載置部9に載置された不良品用パレット200に、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を載置する。
As shown in FIG. 1, a
(搬送システム1の動作)
次に搬送システム1の動作について説明する。本形態では、搬送システム1は、2つの表示パネル100を搬送する場合について説明する。図4および図5は、第1移動機構の動きを説明する模式図である。図6および図7は、第2移動機構の動きを説明する模式図である。なお、図4~図7において、表示パネル100は、フレキシブル配線101が省略されている。
(Operation of the transport system 1)
Next, the operation of the conveying
(第1ロボット3の動作)
搬入機構2は、ステージ21に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、搬入機構2のX1方向の端部まで搬送する。第1ロボット3は、吸着部31をステージ21まで移動させ、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが吸着部31により保持された後、搬入機構2は、ステージ21を搬入機構2のX2方向の端部まで移動させる。ステージ21が搬入機構2のX2方向の端部まで移動した後、ステージ21には次の表示パネル100が載置される。
(Operation of First Robot 3)
The carry-in
また、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが吸着部31により保持された後、アライメントカメラ10は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を検知する。アライメントカメラ10によって第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが検知されると、第1ロボット3は、吸着部31に対する第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を認識する。
After the
次に、第1ロボット3は、第1ステージ41Aの上方まで吸着部31を移動させる。第1ロボット3は、第1ステージ41Aの上方まで吸着部31を移動させた後、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1ステージ41Aに対して第1表示パネル100AのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1表示パネル100Aに対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行う。第1表示パネル100Aの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第1表示パネル100Aのみを載置する。
Next, the
第1表示パネル100Aが第1ステージ41Aに載置された後、第1ロボット3は、吸着部31をZ1方向に移動させる。次に、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1ステージ41Aに対して第2表示パネル100BのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10で検知された第2表示パネル100Bの位置に基づいて、第2表示パネル100Bに対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行う。第2表示パネル100Bの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第2表示パネル100Bを載置する。
After the
第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置した後、吸着部31を搬入機構2へ移動させる。吸着部31が搬入機構2へ移動した後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、IDリーダ11に位置に移動させる。第1IDリーダ11Aおよび第2IDリーダ11Bのうち何れか一方は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを読み取り、検査データ等を取得する。
The
IDリーダ11により第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが読み取られた後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第1検査部6Aに移動させる。
After the
第1ロボット3は、再び、ステージ21に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、先に述べたように、アライメントカメラ10は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を検知する。アライメントカメラ10によって第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが検知されると、第1ロボット3は、吸着部31に対する第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を認識する。
The
次に、第1ロボット3は、第2ステージ41Bの上方まで吸着部31を移動させる。第1ロボット3は、第2ステージ41Bの上方まで吸着部31を移動させた後、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第2ステージ41Bに対して第1表示パネル100AのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1表示パネル100Aに対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行う。第1表示パネル100Aの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第1表示パネル100Aのみを載置する。
Next, the
第1表示パネル100Aが第2ステージ41Bに載置された後、第1ロボット3は、吸着部31をZ1方向に移動させる。次に、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第2ステージ41Bに対して第2表示パネル100BのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10で検知された第2表示パネル100Bの位置に基づいて、第2表示パネル100Bに対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行う。第2表示パネル100Bの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第2表示パネル100Bを載置する。
After the
第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置した後、吸着部31を搬入機構2へ移動させる。吸着部31が搬入機構2へ移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、IDリーダ11に位置に移動させる。第1IDリーダ11Aおよび第2IDリーダ11Bのうち何れか一方は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを読み取り、検査データ等を取得する。
The
IDリーダ11により第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが読み取られた後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第2検査部6Bに移動させる。
After the
第1ロボット3は、上記の動作を繰り返す。すなわち、第1ロボット3は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bに、交互に移動させる。
The
(第1移動機構5Aおよび第2移動機構5Bの動作)
第1移動機構5Aの動作について説明する。図4(a)に示すように、先ず、第1ステージ41Aにより第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送されると、駆動部56Aは、第1吸着部54Aが第1ステージ41Aの上方に位置するように保持アーム53Aを移動させる。その後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
(Operations of the
The operation of the first moving
次に、図4(b)に示すように、第1検査部6Aのシャッタ17が開いた後、保持アーム53Aは、駆動部56Aにより、左回りに180°回転する。保持アーム53Aが180°回転することにより、第1吸着部54Aに吸着された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第1検査部6Aに移動する。その後、位置調整部57Aによって第1吸着部54AをZ2方向に移動させることにより、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第1検査部6Aの載置部12に載置される。
Next, as shown in FIG. 4(b), after the
次に、図4(c)に示すように、駆動部56Aは、保持アーム53Aを右回りに180°回転させることにより、保持アーム53Aを第1位置P1に移動させる。保持アーム53Aが第1位置P1に移動すると、第1吸着部54Aは第1ステージ41Aと重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第1位置P1に移動した後、第1検査部6Aは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。この際、第1ステージ41Aにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送される。第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 4(c), the driving
次に、図4(d)に示すように、第1検査部6Aでの点灯検査が終了すると、シャッタ17が開く。シャッタ17が開いた後、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させることにより、保持アーム53Aを第2位置P2に移動させる。保持アーム53Aが第2位置P2に移動すると、第2吸着部55Aは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第2位置P2に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、載置部12に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第2吸着部55Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 4(d), when the lighting inspection by the
次に、図5(e)に示すように、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させることにより、保持アーム53Aを第3位置P3に移動させる。保持アーム53Aが第3位置P3に移動すると、第1吸着部54Aは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第3位置P3に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、載置部12に、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが載置部12に載置された後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 5(e), the
次に、駆動部56Aは、保持アーム53Aを右回りに270°回転させることにより、保持アーム53Aを第4位置P4に移動させる。保持アーム53Aが第4位置P4に移動すると、第2吸着部55Aは、第1ステージ41Aと重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第4位置P4に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
Next, the
次に、図5(g)に示すように、第1検査部6Aは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。第1移動機構5Aによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。排出位置において、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aから取り出された後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aを、X2方向の端部まで移動させる。また、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させる。
Next, as shown in FIG. 5(g), the
次に、図5(h)に示すように、第1ステージ41Aにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送される。第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。第1移動機構5Aは、図4(d)から図5(e)、(g)、(h)までの動作を繰り返す。
Next, as shown in Fig. 5(h), the
上記で説明したように、第1移動機構5Aは、第1検査部6Aにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第1位置P1において、表示パネル100を第1ステージ41Aから保持することができる。また、第1移動機構5Aは、第1検査部6Aにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第4位置P4において、表示パネル100を第1ステージ41Aに載置することができる。なお、第1移動機構5Aにおいて、左回りは「一方方向」であり、右回りは「他方方向」である。
As described above, the first moving
次に、第2移動機構5Bの動作について説明する。図6(a)に示すように、先ず、第2ステージ41Bにより第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送されると、駆動部56Bは、第1吸着部54Bが第2ステージ41Bの上方に位置するように保持アーム53Bを移動させる。その後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, the operation of the
次に、図6(b)に示すように、第1検査部6Aのシャッタ17が開いた後、保持アーム53Bは、駆動部56Bにより、右回りに180°回転する。保持アーム53Bが180°回転することにより、第1吸着部54Bに吸着された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第2検査部6Bに移動する。その後、位置調整部57Bによって第1吸着部54BをZ2方向に移動させることにより、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第2検査部6Bの載置部12に載置される。
Next, as shown in FIG. 6(b), after the
次に、図6(c)に示すように、駆動部56Bは、保持アーム53Bを左回りに180°回転させることにより、保持アーム53Bを第1位置P1に移動させる。保持アーム53Bが第1位置P1に移動すると、第1吸着部54Bは第2ステージ41Bと重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第1位置P1に移動した後、第2検査部6Bは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。この際、第2ステージ41Bにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送される。第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 6(c), the driving
次に、図6(d)に示すように、第2検査部6Bでの点灯検査が終了すると、シャッタ17が開く。シャッタ17が開いた後、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに9
0°回転させることにより、保持アーム53Bを第2位置P2に移動させる。保持アーム53Bが第2位置P2に移動すると、第2吸着部55Bは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第2位置P2に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、載置部12に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第2吸着部55Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 6D, when the
By rotating the holding
次に、図7(e)に示すように、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに90°回転させることにより、保持アーム53Bを第3位置P3に移動させる。保持アーム53Bが第3位置P3に移動すると、第1吸着部54Bは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第3位置P3に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、載置部12に、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが載置部12に載置された後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 7(e), the
次に、駆動部56Bは、保持アーム53Bを左回りに270°回転させることにより、保持アーム53Bを第4位置P4に移動させる。保持アーム53Bが第4位置P4に移動すると、第2吸着部55Bは、第2ステージ41Bと重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第4位置P4に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ41Bに載置された後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, the
次に、図7(g)に示すように、第2検査部6Bは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。第2移動機構5Bによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ
41Bに載置された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第2ロボット7により、第2ステージ41Bから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが排出された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向の端部まで移動させる。排出位置において、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ41Bから取り出された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向の端部まで移動させる。また、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに90°回転させる。
Next, as shown in FIG. 7(g), the
次に、図7(h)に示すように、第2ステージ41Bにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送される。第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。第2移動機構5Bは、図6(d)から図7(e)、(g)、(h)までの動作を繰り返す。
Next, as shown in Fig. 7(h), the
上記で説明したように、第2移動機構5Bは、第2検査部6Bにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第1位置P1において、表示パネル100を第1ステージ41Aから保持することができる。また、第2移動機構5Bは、第2検査部6Bにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第4位置P4において、表示パネル100を第1ステージ41Aに載置することができる。なお、第2移動機構5
Bにおいて、右回りは「一方方向」であり、左回りは「他方方向」である。
As described above, the
In B, clockwise is "one way" and counterclockwise is "the other way".
(第2ロボット7の動作)
第2ロボット7の動きについて説明する。第2ロボット7は、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bによって搬送された検査済みの表示パネル100を、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bから搬送機構8に交互に移動させる。具体的には、第1移動機構5Aによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第1ステージ41Aが排出位置まで移動した後、第2ロボット7は、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの上方まで吸着部71を移動させる。吸着部71は、位置調整部72により、Z2方向に移動して、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。
(Movement of the second robot 7)
The movement of the
搬送機構8は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100BをX1方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを移動させる。
The
第1ステージ41Aから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ロボット7によって移動した後、第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aを、X2方向に移動させる。
After the inspected
第1ステージ41AがX2方向に移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第2ステージ41BがX1方向の端部の排出位置まで移動した後、第2ロボット7は、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの上方まで吸着部71を移動させる。吸着部71は、位置調整部72により、Z2方向に移動し、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。
After the
搬送機構8は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100BをX1方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを移動させる。
The
第2ステージ41Bから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ロボット7によって移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向に移動させる。
After the inspected
(本形態の作用効果)
本形態の搬送システム1において、第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52AがL字状に連結した保持アーム53Aと、第1アーム51Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Aと、第2アーム52Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Aと、第1アーム51Aおよび第2アーム52Aの連結位置を回転軸として、保持アーム53Aを回転させる駆動部56Aとを備える。本形態では、駆動部56Aは、第1吸着部54Aが第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持する第1位置P1と、第1位置P1から左回りに90
°回転して第2吸着部55Aが第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持する第2位置P2と、第2位置P2から左回りに90°回転して第1吸着部54Aが第1検査部6Aに検査前の表示パネル100を載置する第3位置P3と、第3位置P3から右回りに180°回転して第2吸着部55Aが第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置する第4位置P4と、に保持アーム53Aを回転させる。
(Effects of this embodiment)
In the
The holding
本形態によれば、駆動部56Aが第1位置P1に保持アーム53Aを回転させた場合、第1吸着部54Aは、第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持することはできるが、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持することはできない。すなわち、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aとは上下方向で重ならない。よって、第1検査部6Aで表示パネル100が検査されていた場合でも、第1移動機構5Aは第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部56Aが第4位置P4に保持アーム53Aを回転させた場合、第1吸着部54Aは、第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置することはできるが、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持することはできない。すなわち、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aとは上下方向で重ならない。よって、第1検査部6Aで表示パネル100の検査が行われている場合でも、第1移動機構5Aは第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。
According to this embodiment, when the
本形態の搬送システム1において、第2移動機構5Bは、第1移動機構5Aと同様に構成されている。よって、第2検査部6Bで表示パネル100が検査されていた場合でも、第2移動機構5Bは第2ステージ41Bに載置された検査前の表示パネル100を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、第2検査部6Bで表示パネル100の検査が行われている場合でも、第2移動機構5Bは第2ステージ41Bに検査済みの表示パネル100を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。
In the
本形態の搬送システム1において、第1ロボットは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、第1ステージ41Aに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル100の位置合わせを行い、第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行うために第1ステージ41Aを移動させる。同様に、第1ロボットは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、第2ステージ41Bに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル100の位置合わせを行い、第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行うために第2ステージ41Bを移動させる。このように構成すれば、搬送機構4がステージ41を移動させることにより、表示パネル100に対してX軸方向におけるステージ41の位置合わせを行うので、第1ロボット3は表示パネル100をX軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第1ロボット3の構成を簡素にすることが可能となる。
In the
本形態の搬送システム1において、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置された表示パネル100を、第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aおよび第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに移動する。このように構成すれば、第1ロボット3の第1搬送機構4Aへの移動範囲と、第1ロボット3の第2搬送機構4Bへの移動範囲とを同じにすることができる。
In the
(他の実施の形態)
他の実施形態に係る搬送機構4について説明する。図8は、他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。図8に示すように、本形態では、ステージ41は、第1ロボット3により載置された検査前の表示パネル100を移動機構5まで移動させる搬入用ステージ42と、移動機構5により載置された検査済みの表示パネル100を排出位置まで移動させる排出用ステージ43とを備える。この場合、移動機構5は、アライメントカメラ10で検知された表示パネル100の位置に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における搬入用ステージ42の位置合わせを行う。
Other Embodiments
A
このように構成すれば、ステージ41が1つの場合と比べて、搬入用ステージ42および排出用ステージ43が、各々、表示パネル100を搬送するので、搬入用ステージ42および排出用ステージ43の移動距離が短くなる。これにより、搬送機構4が表示パネル100を搬送するタクトタイムを短縮することができる。なお、上記形態と同様に、本形態の搬送機構4は、第1搬送機構と、第2搬送機構とを備えてもよい。
In this configuration, compared to when there is only one
上記形態では、処理部としての検査部6は、点灯検査であったが、これに限定されない。例えば、表示パネルにおけるガラス基板の表面検査でもよい。また、処理部は、表示パネルに接着剤を塗布する処理を行ってもよい。
In the above embodiment, the
1…搬送システム、2…搬入機構、3…第1ロボット、4…搬送機構、4A…第1搬送機構、4B…第2搬送機構、5…移動機構、5A…第1移動機構、5B…第2移動機構、6…検査部、6A…第1検査部、6B…第2検査部、7…第2ロボット、8…搬送機構、9…排出用載置部、10…アライメントカメラ、11…IDリーダ、11A…第1IDリーダ、11B…第2IDリーダ、12…載置部、13…カメラ、14…バックライト、15…筐体、17…シャッタ、18…開口部、19…エアシリンダ、21…ステージ、31…吸着部、32…位置調整部、33…駆動部、41…ステージ、41A…第1ステージ、41B…第2ステージ、42…搬入用ステージ、43…排出用ステージ、51A…第1アーム、51B…第1アーム、52A…第2アーム、52B…第2アーム、53A…保持アーム、53B…保持アーム、54A…第1吸着部、54B…第1吸着部、55A…第2吸着部、55B…第2吸着部、56A…駆動部、56B…駆動部、57A…位置調整部、57B…位置調整部、71…吸着部、72…位置調整部、73…第1駆動部、74…第2駆動部、100…表示パネル、100A…第1表示パネル、100B…第2表示パネル、101…フレキシブル配線、111…上部駆動部、112…下部駆動部、200…不良品用パレット、411…本体部、412…FPC保持部、P1…位置、P2…位置、P3…位置、P4…位置 1...Transport system, 2...Loading mechanism, 3...First robot, 4...Transport mechanism, 4A...First transport mechanism, 4B...Second transport mechanism, 5...Moving mechanism, 5A...First moving mechanism, 5B...Second moving mechanism, 6...Inspection unit, 6A...First inspection unit, 6B...Second inspection unit, 7...Second robot, 8...Transport mechanism, 9...Discharge placement unit, 10...Alignment camera, 11...ID reader, 11A...First ID reader, 11B...Second ID reader, 12...Placement unit, 13...Camera, 14...Backlight, 15...Housing, 17...Shutter, 18...Opening, 19...Air cylinder, 21...Stage, 31...Suction unit, 32...Position adjustment unit, 33...Drive unit, 41...Stage, 41A...First stage, 41B...Second stage, 42...Loading stage, 43 ...Discharge stage, 51A...first arm, 51B...first arm, 52A...second arm, 52B...second arm, 53A...holding arm, 53B...holding arm, 54A...first suction part, 54B...first suction part, 55A...second suction part, 55B...second suction part, 56A...driving part, 56B...driving part, 57A...position adjustment part, 57B...position adjustment part, 71...suction part, 72...position adjustment part, 73...first driving part, 74...second driving part, 100...display panel, 100A...first display panel, 100B...second display panel, 101...flexible wiring, 111...upper driving part, 112...lower driving part, 200...defective product pallet, 411...main body, 412...FPC holding part, P1...position, P2...position, P3...position, P4...position
Claims (7)
前記第1ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第1ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、
前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、
前記移動機構は、第1アームおよび第2アームがL字状に連結した保持アームと、前記第1アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第1吸着部と、前記第2アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第2吸着部と、前記第1アームおよび前記第2アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記第1吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第1位置と、前記第1位置から一方方向に90°回転して前記第2吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第2位置と、前記第2位置から前記一方方向に90°回転して前記第1吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第3位置と、前記第3位置から他方方向に270°回転して前記第2吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第4位置と、に前記保持アームを回転させ、
前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、
前記ステージの移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とすると、
前記第1ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、
前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してX軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする搬送システム。 A first robot that holds a workpiece;
an alignment camera that detects the position of a workpiece held by the first robot;
a transport mechanism including a stage on which a workpiece held by the first robot is placed;
a moving mechanism for moving the workpiece placed on the stage to a processing section that performs processing on the workpiece, and moving the processed workpiece that has been processed in the processing section to the stage;
the moving mechanism includes a holding arm in which a first arm and a second arm are connected in an L-shape, a first suction unit provided at a tip of the first arm and configured to hold the workpiece, a second suction unit provided at a tip of the second arm and configured to hold the workpiece, and a drive unit that rotates the holding arm around a connection position of the first arm and the second arm as a rotation axis;
the drive unit rotates the holding arm to a first position where the first suction unit holds an unprocessed workpiece placed on the stage, a second position rotated 90° in one direction from the first position where the second suction unit holds the processed workpiece placed on the processing unit, a third position rotated 90° in the one direction from the second position where the first suction unit places the unprocessed workpiece on the processing unit, and a fourth position rotated 270° in the other direction from the third position where the second suction unit places the processed workpiece on the stage ,
The transport mechanism moves the stage to a discharge position after the processed workpiece is placed on the stage,
If the moving direction of the stage is the X-axis direction, the up-down direction is the Z-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction and the Z-axis direction is the Y-axis direction,
The first robot aligns the workpiece relative to the stage in a Y-axis direction and a rotation direction about a Z-axis based on a detection result of the alignment camera;
A conveying system characterized in that the conveying mechanism moves the stage to align the stage in the X-axis direction relative to the workpiece based on the detection results of the alignment camera .
前記ステージは、前記第1ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの
前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることを特徴とする搬送システム。 2. The transport system according to claim 1 ,
A conveying system characterized in that the stage includes an input stage that moves the unprocessed workpiece placed by the first robot to the moving mechanism, and an output stage that moves the processed workpiece placed by the moving mechanism to the output position.
前記移動機構は、前記X軸方向に複数配置されていることを特徴とする搬送システム。 3. The transport system according to claim 1 ,
A conveying system characterized in that the moving mechanism is arranged in plurality in the X-axis direction.
前記移動機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1移動機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2移動機構とを備え、
前記搬送機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1搬送機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2搬送機構とを備えることを特徴とする搬送システム。 The conveying system according to any one of claims 1 to 3 ,
the moving mechanism includes a first moving mechanism disposed on one side in the Y-axis direction and a second moving mechanism disposed on the other side in the Y-axis direction,
The transport system is characterized in that the transport mechanism includes a first transport mechanism arranged on one side in the Y-axis direction, and a second transport mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction.
前記第1ロボットは、上下方向から見た場合、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージに移動することを特徴とする搬送システム。 The transport system according to claim 4 ,
A conveying system characterized in that, when viewed from above, the first robot moves the workpiece arranged between the first conveying mechanism and the second conveying mechanism to a stage of the first conveying mechanism and a stage of the second conveying mechanism.
前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第1搬送機構の前記ステージおよび前記第2搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第2ロボットを備えることを特徴とする搬送システム。 The transport system according to claim 4 ,
A conveying system characterized by comprising a second robot that moves the processed work from the stage of the first conveying mechanism and the stage of the second conveying mechanism to a next process after the stage of the first conveying mechanism and the stage of the second conveying mechanism have moved to the discharge position.
前記第1ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であることを特徴とする搬送システム。
The conveying system according to any one of claims 1 to 6 ,
A conveying system, wherein the first robot is capable of holding a plurality of the workpieces at the same time.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020166807A JP7624819B2 (en) | 2020-10-01 | 2020-10-01 | Transport System |
CN202111170179.1A CN114275539B (en) | 2020-10-01 | 2021-10-08 | Conveying system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020166807A JP7624819B2 (en) | 2020-10-01 | 2020-10-01 | Transport System |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022059214A JP2022059214A (en) | 2022-04-13 |
JP7624819B2 true JP7624819B2 (en) | 2025-01-31 |
Family
ID=80868672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020166807A Active JP7624819B2 (en) | 2020-10-01 | 2020-10-01 | Transport System |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7624819B2 (en) |
CN (1) | CN114275539B (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2023150222A (en) | 2022-03-31 | 2023-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric element, head chip, liquid injection device, and sensor |
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-
2020
- 2020-10-01 JP JP2020166807A patent/JP7624819B2/en active Active
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2021
- 2021-10-08 CN CN202111170179.1A patent/CN114275539B/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2022059214A (en) | 2022-04-13 |
CN114275539B (en) | 2023-12-19 |
CN114275539A (en) | 2022-04-05 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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