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JP7624819B2 - Transport System - Google Patents

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JP7624819B2
JP7624819B2 JP2020166807A JP2020166807A JP7624819B2 JP 7624819 B2 JP7624819 B2 JP 7624819B2 JP 2020166807 A JP2020166807 A JP 2020166807A JP 2020166807 A JP2020166807 A JP 2020166807A JP 7624819 B2 JP7624819 B2 JP 7624819B2
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Description

本発明は、ワークを搬送するための搬送システムに関する。 The present invention relates to a transport system for transporting workpieces.

小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれ、表示パネルを搬送する搬送システムは、特許文献1に開示されている。同文献の搬送システムは、第1載置部と、第1載置部と検査装置の第2載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える移動機構と、検査前の表示パネルを第1載置部に搬入するとともに第1載置部に載置された検査済みの表示パネルを排出する搬送機構とを備える。 A transport system that is incorporated into a manufacturing line for small liquid crystal displays and transports display panels is disclosed in Patent Document 1. The transport system in this document includes a first placement section, a moving mechanism that simultaneously switches display panels between the first placement section and the second placement section of the inspection device, and a transport mechanism that brings in uninspected display panels to the first placement section and ejects inspected display panels placed on the first placement section.

移動機構は、保持部材と、保持部材の両端に設けられ表示パネルを保持する2つの保持機構と、2つの保持機構の中心位置を回転軸として保持部材を回転させる回転機構とを備える。検査装置で表示パネルの検査が終了すると、検査装置のシャッタが開くので、移動機構は、保持部材を180°回転させることにより、第1載置部と検査装置の第2載置部との間で表示パネルを同時に入れ替える。表示パネルの入れ替えが終了した後、移動機構は、保持部材を90°回転させて、保持部材を待機位置に移動させる。保持部材が待機位置に移動した後、検査装置は、シャッタと閉じて、表示パネルの検査を実行する。 The moving mechanism includes a holding member, two holding mechanisms provided at both ends of the holding member for holding the display panel, and a rotation mechanism for rotating the holding member around the central position of the two holding mechanisms as the rotation axis. When the inspection of the display panel is completed by the inspection device, the shutter of the inspection device opens, and the moving mechanism rotates the holding member by 180° to simultaneously swap the display panels between the first mounting section and the second mounting section of the inspection device. After the swapping of the display panels is completed, the moving mechanism rotates the holding member by 90° to move it to a standby position. After the holding member has moved to the standby position, the inspection device closes the shutter and performs inspection of the display panel.

特開2019-52914号公報JP 2019-52914 A

特許文献1の搬送システムでは、搬送機構のタクトタイムの短縮が要求される。しかしながら、特許文献1の搬送システムでは、表示パネルが検査装置で検査されている場合には、移動機構は、第1載置部に載置された表示パネルを保持することができないので、搬送機構のタクトタイムを短縮することが難しいという問題がある。 In the conveying system of Patent Document 1, there is a demand for shortening the takt time of the conveying mechanism. However, in the conveying system of Patent Document 1, when the display panel is being inspected by the inspection device, the moving mechanism cannot hold the display panel placed on the first placement section, so there is a problem in that it is difficult to shorten the takt time of the conveying mechanism.

そこで、本発明の課題は、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することにある。 The objective of the present invention is to provide a transport system that can hold or place a display panel even when the display panel is being processed in the processing section.

上記の課題を解決するために、本発明の搬送システムは、ワークを保持する第1ロボットと、前記第1ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、前記第1ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、前記移動機構は、第1アームおよび第2アームがL字状に連結した保持アームと、前記第1アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第1吸着部と、前記第2アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第2吸着部と、前記第1アームおよび前記第2アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記第1吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第1位置と、前記第1位置から一方方向に90°回転して前記第2吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第2位置と、前記第2位置から前記一方方向に90°回転して前記第1吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第3位置と、前記第3位置から他方方向に270°回転して前記第2吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第4位置と、に前記保持アームを回転させ、前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、前記ステージの移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向
、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とすると、前記第1ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してX軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする。
In order to solve the above problems, a transport system of the present invention includes a first robot that holds a workpiece, an alignment camera that detects the position of the workpiece held by the first robot, a transport mechanism including a stage on which the workpiece held by the first robot is placed, and a moving mechanism that moves the workpiece placed on the stage to a processing section that processes the workpiece, and moves the processed workpiece that has been processed in the processing section to the stage, wherein the moving mechanism includes a holding arm in which a first arm and a second arm are connected in an L-shape, a first suction section that is provided at the tip of the first arm and holds the workpiece, a second suction section that is provided at the tip of the second arm and holds the workpiece, and a rotation axis that is a connection position of the first arm and the second arm. and a drive unit which rotates the holding arm, and the drive unit rotates the holding arm to a first position where the first suction unit holds an unprocessed workpiece placed on the stage, a second position rotated 90° in one direction from the first position and where the second suction unit holds the processed workpiece placed on the processing unit, a third position rotated 90° in the one direction from the second position and where the first suction unit places the unprocessed workpiece on the processing unit, and a fourth position rotated 270° in the other direction from the third position and where the second suction unit places the processed workpiece on the stage , and the transport mechanism moves the stage to an unloading position after the processed workpiece is placed on the stage, and the moving direction of the stage is set to the X-axis direction and the up and down direction is set to the Z-axis direction.
, the direction perpendicular to the X-axis and Z-axis directions is the Y-axis direction, and the first robot aligns the workpiece relative to the stage in the Y-axis direction and in a rotational direction about the Z-axis as the rotation axis based on the detection results of the alignment camera, and the transport mechanism moves the stage to align the stage in the X-axis direction relative to the workpiece based on the detection results of the alignment camera .

本発明の搬送システムによれば、駆動部が第1位置に保持アームを回転させた場合、第1吸着部は、ステージに載置された処理前のワークを保持することはできるが、第2吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第2吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークが検査されていた場合でも、移動機構はステージに載置された検査前のワークを保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部が第4位置に保持アームを回転させた場合、第1吸着部は、ステージに処理済みのワークを載置することはできるが、第2吸着部は、処理部に載置された処理済みのワークを保持することはできない。すなわち、第2吸着部は、処理部とは上下方向で重ならない。よって、処理部でワークの検査が行われている場合でも、移動機構はステージに処理済みのワークを載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。このように構成すれば、搬送機構がステージを移動させることにより、ワークに対してX軸方向におけるステージの位置合わせを行うので、第1ロボットはワークをX軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第1ロボットの構成を簡素にすることが可能となる。
According to the transport system of the present invention, when the drive unit rotates the holding arm to the first position, the first suction unit can hold the unprocessed workpiece placed on the stage, but the second suction unit cannot hold the processed workpiece placed on the processing unit. That is, the second suction unit does not overlap with the processing unit in the vertical direction. Therefore, even if the workpiece is inspected in the processing unit, the moving mechanism can hold the uninspected workpiece placed on the stage, so that the tact time of the transport mechanism can be shortened. Furthermore, when the drive unit rotates the holding arm to the fourth position, the first suction unit can place the processed workpiece on the stage, but the second suction unit cannot hold the processed workpiece placed on the processing unit. That is, the second suction unit does not overlap with the processing unit in the vertical direction. Therefore, even if the workpiece is inspected in the processing unit, the moving mechanism can place the processed workpiece on the stage, so that the tact time of the transport mechanism can be shortened. With this configuration, the transport mechanism aligns the stage in the X-axis direction with the workpiece by moving the stage, so that the first robot can omit a mechanism for moving the workpiece in the X-axis direction. This makes it possible to simplify the configuration of the first robot.

本発明において、前記ステージは、前記第1ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることが好ましい。このように構成すれば、ステージが1つの場合と比べて、搬入用ステージおよび排出用ステージが、各々、ワークを搬送するので、搬入用ステージおよび排出用ステージの移動距離が短くなる。これにより、搬送機構がワークを搬送するタクトタイムを短縮することができる。 In the present invention, it is preferable that the stage includes an input stage that moves the unprocessed workpiece placed by the first robot to the moving mechanism, and an output stage that moves the processed workpiece placed by the moving mechanism to the output position. With this configuration, the input stage and output stage each transport a workpiece, and the travel distance of the input stage and output stage is shorter than when there is only one stage. This makes it possible to shorten the tact time for the transport mechanism to transport the workpiece.

本発明において、前記移動機構は、前記X軸方向に複数配置されている構成を採用することができる。また、本発明において、前記移動機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1移動機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2移動機構とを備え、前記搬送機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1搬送機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2搬送機構とを備える構成を採用することができる。 In the present invention, the moving mechanism may be configured to have a plurality of mechanisms arranged in the X-axis direction. Also, in the present invention, the moving mechanism may include a first moving mechanism arranged on one side in the Y-axis direction and a second moving mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction, and the transport mechanism may include a first transport mechanism arranged on one side in the Y-axis direction and a second transport mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction.

本発明において、前記第1ロボットは、上下方向から見た場合、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第1搬送機構のステージおよび前記搬送機構のステージに移動することが好ましい。このように構成すれば、第1ロボットの第1搬送機構への移動範囲と、第1ロボットの第2搬送機構への移動範囲とを同じにすることができる。 In the present invention, it is preferable that the first robot, when viewed from above and below, moves the workpiece arranged between the first transport mechanism and the second transport mechanism to the stage of the first transport mechanism and the stage of the transport mechanism. With this configuration, the movement range of the first robot to the first transport mechanism and the movement range of the first robot to the second transport mechanism can be made the same.

本発明において、前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第1搬送機構の前記ステージおよび前記第2搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第2ロボットを備えるこ
とが好ましい。このように構成することで、第1搬送機構のステージおよび第2搬送機構のステージにより、各々搬送されるワークを、1つの第2ロボットで次工程に移動させることができる。
In the present invention, it is preferable to include a second robot that moves the processed workpiece from the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism to a next process after the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism have moved to the discharge position. With this configuration, the workpieces transported by the stage of the first transport mechanism and the stage of the second transport mechanism can be moved to the next process by a single second robot.

本発明において、前記第1ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能である構成を採用することができる。 In the present invention, the first robot may be configured to hold multiple workpieces at the same time.

本発明では、処理部で表示パネルの処理が実施されている場合であっても、表示パネルを保持または載置することが可能な搬送システムを提供することができる。 The present invention provides a transport system that can hold or place a display panel even when the display panel is being processed in the processing section.

本発明の実施形態に係る搬送システムの平面図である。FIG. 1 is a plan view of a transport system according to an embodiment of the present invention. 図1のA-A方向から見た搬送システムの正面図である。FIG. 2 is a front view of the conveying system as seen from the AA direction in FIG. 図1のB-B方向から見た搬送システムの側面である。This is a side view of the transport system as seen from the BB direction in FIG. 第1移動機構の動きを説明する図である。11A to 11C are diagrams illustrating the movement of a first moving mechanism. 第1移動機構の動きを説明する図である。11A to 11C are diagrams illustrating the movement of a first moving mechanism. 第2移動機構の動きを説明する図である。11A to 11C are diagrams illustrating the movement of a second moving mechanism. 第2移動機構の動きを説明する図である。11A to 11C are diagrams illustrating the movement of a second moving mechanism. 他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。FIG. 13 is a schematic diagram of a transport mechanism according to another embodiment.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。以下の説明では、ワークが表示パネル100である場合を中心に説明する。また、以下の説明では、ワークに対する処理としてワークに対応する検査を行う場合を中心に説明する。従って、ワークに対する処理部は、ワークに対する検査部である。図1は本発明の実施形態に係る搬送システムの平面図である。図2は、図1のA-A方向から見た搬送システムの正面図である。図3は、図1のB-B方向から見た搬送システムの側面である。 Below, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. The following description will focus on the case where the work is a display panel 100. The following description will also focus on the case where inspection corresponding to the work is performed as processing for the work. Therefore, the processing unit for the work is an inspection unit for the work. Figure 1 is a plan view of a conveying system according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a front view of the conveying system as seen from the A-A direction in Figure 1. Figure 3 is a side view of the conveying system as seen from the B-B direction in Figure 1.

(搬送システム1の構成)
図1から図3において、本形態の搬送システム1は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれて使用される。搬送システム1は、ワークである表示パネル100を搬送して、表示パネル100に対して所定の検査を行う検査部6に表示パネル100を供給する。
(Configuration of Transport System 1)
1 to 3, a conveying system 1 of this embodiment is incorporated into a manufacturing line for small liquid crystal displays used in portable devices, etc. The conveying system 1 conveys a display panel 100, which is a workpiece, and supplies the display panel 100 to an inspection unit 6 that performs a predetermined inspection on the display panel 100.

表示パネル100は、液晶パネルや有機ELパネル等である。表示パネル100は、矩形状に形成されており、本形態ではフレキシブル配線101を有する。表示パネル100は、表示パネル100の表示領域から外れた箇所に、表示パネル100の検査データ等のデータが記録された記録部を有する。具体的には、表示パネル100の表示領域から外れた箇所には、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。また、図1に示すように、本形態においては、表示パネル100として、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bからなる2つの表示パネル100が同時に搬送される。 The display panel 100 is a liquid crystal panel, an organic EL panel, or the like. The display panel 100 is formed in a rectangular shape, and in this embodiment has flexible wiring 101. The display panel 100 has a recording section in which data such as inspection data of the display panel 100 is recorded in a location outside the display area of the display panel 100. Specifically, the data such as inspection data is recorded as a two-dimensional code or a one-dimensional code in a location outside the display area of the display panel 100. Also, as shown in FIG. 1, in this embodiment, two display panels 100 consisting of a first display panel 100A and a second display panel 100B are transported simultaneously as the display panel 100.

図1~図3に示すように、搬送システム1は、表示パネル100を保持する第1ロボット3と、第1ロボット3により保持された表示パネル100の位置を検知するアライメントカメラ10と、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置されるステージ41を備える搬送機構4とを備える。本形態では、搬送機構4は、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置される第1ステージ41Aを備える第1搬送機構4Aと、第1ロボット3により保持された表示パネル100が載置される第2ステージ41
Bを備える第2搬送機構4Bとを備える。
1 to 3, the transport system 1 includes a first robot 3 that holds a display panel 100, an alignment camera 10 that detects the position of the display panel 100 held by the first robot 3, and a transport mechanism 4 that includes a stage 41 on which the display panel 100 held by the first robot 3 is placed. In this embodiment, the transport mechanism 4 includes a first transport mechanism 4A that includes a first stage 41A on which the display panel 100 held by the first robot 3 is placed, and a second stage 41 on which the display panel 100 held by the first robot 3 is placed.
and a second transport mechanism 4B equipped with a transfer mechanism 4B.

また、搬送システム1は、ステージ41に載置された表示パネル100を表示パネル100に対して検査を行う検査部6に移動させるとともに、検査部6で検査された検査済みの表示パネル100をステージ41に移動させる移動機構5を備える。本形態では、移動機構5は、第1ステージ41Aに載置された表示パネル100を表示パネル100に対して検査を行う第1検査部6Aに移動させるとともに、第1検査部6Aで検査された検査済みの表示パネル100を第1ステージ41Aに移動させる第1移動機構5Aと、第2ステージ41Bに載置された表示パネル100を第1検査部6Aと同じ検査を行う第2検査部6Bに移動させるとともに、第2検査部6Bで検査された検査済みの表示パネル100を第2ステージ41Bに移動させる第2移動機構5Bとを備える。 The conveying system 1 also includes a moving mechanism 5 that moves the display panel 100 placed on the stage 41 to the inspection section 6 that inspects the display panel 100, and moves the inspected display panel 100 inspected by the inspection section 6 to the stage 41. In this embodiment, the moving mechanism 5 includes a first moving mechanism 5A that moves the display panel 100 placed on the first stage 41A to the first inspection section 6A that inspects the display panel 100, and moves the inspected display panel 100 inspected by the first inspection section 6A to the first stage 41A, and a second moving mechanism 5B that moves the display panel 100 placed on the second stage 41B to the second inspection section 6B that inspects the same as the first inspection section 6A, and moves the inspected display panel 100 inspected by the second inspection section 6B to the second stage 41B.

搬送システム1は、表示パネル100の表示領域から外れた箇所に記録されたデータを読み取るIDリーダ11を備える。搬送システム1は、ステージ41によって搬送された検査済みの表示パネル100を次工程に移動させる第2ロボット7を備える。第2ロボット7は、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bでの検査結果に基づいて、検査済みの表示パネル100を、次工程の搬送機構8または排出用載置部9に移動させる。また、搬送システム1は、搬入機構2によって搬入された検査前の表示パネル100を第1ロボット3により移動させる。 The transport system 1 includes an ID reader 11 that reads data recorded outside the display area of the display panel 100. The transport system 1 includes a second robot 7 that moves the inspected display panel 100 transported by the stage 41 to the next process. The second robot 7 moves the inspected display panel 100 to the transport mechanism 8 or discharge placement section 9 for the next process based on the inspection results in the first inspection section 6A and the second inspection section 6B. The transport system 1 also moves the uninspected display panel 100 that has been brought in by the carry-in mechanism 2 using the first robot 3.

以下の説明では、ステージ41の移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とする。ステージ41において、表示パネル100が搬送される方向をX1方向とし、その反対方向をX2方向とする。上下方向において、上方向をZ1方向とし、下方向をZ2方向とする。Y軸方向において、一方をY1方向、他方をY2方向とする。 In the following description, the movement direction of the stage 41 is the X-axis direction, the up-down direction is the Z-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis and Z-axis directions is the Y-axis direction. On the stage 41, the direction in which the display panel 100 is transported is the X1 direction, and the opposite direction is the X2 direction. In the up-down direction, the upward direction is the Z1 direction, and the downward direction is the Z2 direction. In the Y-axis direction, one side is the Y1 direction, and the other is the Y2 direction.

図1および図2に示すように、搬入機構2は、表示パネル100を搬送システム1まで搬送する。搬入機構2は、電動シリンダなどで構成されている。搬入機構2は、表示パネル100が載置されるステージ21を備える。搬入機構2は、ステージ21をX方向に往復移動させる。搬入機構2は、X2方向の端部でステージ21に載置された表示パネル100を、X1方向の端部に搬送する。ステージ21は、X方向に長い長方形である。ステージ21は、X方向に表示パネル100を2枚載置できる大きさである。本形態では、搬入機構2は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。すなわち、ステージ21に載置された表示パネル100は、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。 1 and 2, the carry-in mechanism 2 carries the display panel 100 to the conveying system 1. The carry-in mechanism 2 is composed of an electric cylinder or the like. The carry-in mechanism 2 has a stage 21 on which the display panel 100 is placed. The carry-in mechanism 2 moves the stage 21 back and forth in the X direction. The carry-in mechanism 2 conveys the display panel 100 placed on the stage 21 at the end in the X2 direction to the end in the X1 direction. The stage 21 is a rectangle that is long in the X direction. The stage 21 is large enough to hold two display panels 100 in the X direction. In this embodiment, the carry-in mechanism 2 is disposed between the first conveying mechanism 4A and the second conveying mechanism 4B when viewed from the Z-axis direction. That is, the display panel 100 placed on the stage 21 is disposed between the first conveying mechanism 4A and the second conveying mechanism 4B.

図1~図3に示すように、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置されている。第1ロボット3は、搬入機構2のステージ21に載置された表示パネル100を保持する吸着部31と、吸着部31を上下方向に移動させるとともにZ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部32と、位置調整部32をY軸方向に往復移動させる駆動部33とを備える。駆動部33は、電動シリンダなどで構成される。駆動部33は、位置調整部32を介して、吸着部31をY軸方向に往復移動させる。吸着部31をY軸方向に往復移動させる際、吸着部31は、搬入機構2のX1方向の端部に位置するステージ21と上下方向で重なる。すなわち、第1ロボット3は、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間において、吸着部31をY軸方向およびZ軸方向に移動させることが可能である。よって、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置された表示パネル100を、第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aおよび第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに移動する。本形態では、第1ロボット3は、フレキシブル配線101の先端がY2方向の側になるように、表示パネル100を第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aに載置し
、フレキシブル配線101の先端がY1方向の側になるように、表示パネル100を第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに載置する。
As shown in FIGS. 1 to 3, the first robot 3 is disposed between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B when viewed from the Z-axis direction. The first robot 3 includes an adsorption unit 31 that holds the display panel 100 placed on the stage 21 of the loading mechanism 2, a position adjustment unit 32 that moves the adsorption unit 31 in the vertical direction and rotates it about the Z-axis direction, and a drive unit 33 that moves the position adjustment unit 32 back and forth in the Y-axis direction. The drive unit 33 is composed of an electric cylinder or the like. The drive unit 33 moves the adsorption unit 31 back and forth in the Y-axis direction via the position adjustment unit 32. When the adsorption unit 31 moves back and forth in the Y-axis direction, the adsorption unit 31 overlaps in the vertical direction with the stage 21 located at the end of the loading mechanism 2 in the X1 direction. That is, the first robot 3 is capable of moving the adsorption unit 31 in the Y-axis direction and the Z-axis direction between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B. Therefore, when viewed from the Z-axis direction, the first robot 3 moves the display panel 100 arranged between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B to the first stage 41A of the first transport mechanism 4A and the second stage 41B of the second transport mechanism 4B. In this embodiment, the first robot 3 places the display panel 100 on the first stage 41A of the first transport mechanism 4A so that the tip of the flexible wiring 101 faces the Y2 direction, and places the display panel 100 on the second stage 41B of the second transport mechanism 4B so that the tip of the flexible wiring 101 faces the Y1 direction.

図1~図3に示すように、第1搬送機構4Aは、搬入機構2に対して、Y1方向の側に位置する。また、第1搬送機構4Aは、搬入機構2に対して、Z1方向の側に位置する。第1搬送機構4Aは、第1ステージ41AをX軸方向に往復移動させる。第1ステージ41Aは、X方向に2つの表示パネル100が載置される大きさである本体部411と、フレキシブル配線101が載置されるFPC保持部412とを備える。ここで、第1ステージ41AがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。 As shown in Figures 1 to 3, the first transport mechanism 4A is located on the Y1 side relative to the load mechanism 2. The first transport mechanism 4A is also located on the Z1 side relative to the load mechanism 2. The first transport mechanism 4A moves the first stage 41A back and forth in the X-axis direction. The first stage 41A comprises a main body 411 large enough to accommodate two display panels 100 in the X direction, and an FPC holding section 412 on which the flexible wiring 101 is placed. Here, the position where the first stage 41A has moved to the end in the X1 direction is the discharge position.

図1および図3にように、第2搬送機構4Bは、搬入機構2に対して、Y2方向の側に位置する。また、第2搬送機構4Bは、搬入機構2に対して、Z1方向の側に位置する。第2搬送機構4Bは、第2ステージ41BをX軸方向に往復移動させる。第2ステージ41Bは、X方向に2つの表示パネル100が載置される大きさである本体部411と、フレキシブル配線101が載置されるFPC保持部412とを備える。ここで、第2ステージ41BがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。ここで、第2ステージ41BがX1方向の端部まで移動した位置が、排出位置である。 As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the second transport mechanism 4B is located on the Y2 side relative to the loading mechanism 2. The second transport mechanism 4B is located on the Z1 side relative to the loading mechanism 2. The second transport mechanism 4B moves the second stage 41B back and forth in the X-axis direction. The second stage 41B includes a main body 411 large enough to accommodate two display panels 100 in the X direction, and an FPC holding section 412 on which the flexible wiring 101 is placed. Here, the position where the second stage 41B has moved to the end in the X1 direction is the ejection position. Here, the position where the second stage 41B has moved to the end in the X1 direction is the ejection position.

図2に示すように、アライメントカメラ10は、第1ロボット3の上方に位置する。第1ロボット3が搬入機構2のステージ21に載置された表示パネル100を保持すると、アライメントカメラ10は、表示パネル100を上方から撮影し、表示パネルの位置を検知する。 As shown in FIG. 2, the alignment camera 10 is positioned above the first robot 3. When the first robot 3 holds the display panel 100 placed on the stage 21 of the loading mechanism 2, the alignment camera 10 photographs the display panel 100 from above and detects the position of the display panel.

図1および図2に示すように、IDリーダ11は、表示パネル100の記録部に記録されたデータを、光学的に読み取る。IDリーダ11は、例えば、撮像素子などである。IDリーダ11が読み取った表示パネル100のデータに基づいて、検査部6で表示パネル100が検査される。図1に示すように、IDリーダ11は、第1IDリーダ11Aと、第2IDリーダ11Bとを備える。第1IDリーダ11Aは、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間であって、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの上方に位置する。第1IDリーダ11Aは、上部駆動部111によりY軸方向に移動する。第1IDリーダ11Aは、上方から表示パネル100の記録部に記録されたデータを読み取る。第2IDリーダ11Bは、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間であって、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの下方に位置する。第2IDリーダ11Bは、下部駆動部112によりY軸方向に移動する。第2IDリーダ11Bは、下方から表示パネル100の記録部に記録されたデータを読み取る。 1 and 2, the ID reader 11 optically reads data recorded in the recording section of the display panel 100. The ID reader 11 is, for example, an image sensor. The display panel 100 is inspected in the inspection section 6 based on the data of the display panel 100 read by the ID reader 11. As shown in FIG. 1, the ID reader 11 includes a first ID reader 11A and a second ID reader 11B. The first ID reader 11A is located between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B and above the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B. The first ID reader 11A moves in the Y-axis direction by the upper drive section 111. The first ID reader 11A reads data recorded in the recording section of the display panel 100 from above. The second ID reader 11B is located between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B and below the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B. The second ID reader 11B is moved in the Y-axis direction by the lower drive unit 112. The second ID reader 11B reads the data recorded in the recording unit of the display panel 100 from below.

図1~図3に示すように、第1移動機構5Aは、第1搬送機構4AのY1方向の側に位置する。第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を移動させるとともに、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を移動させる。第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52AがL字状に連結した保持アーム53Aと、第1アーム51Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Aと、第2アーム52Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Aとを備える。第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aは、表示パネル100とともに、フレキシブル配線101を保持する。 As shown in Figs. 1 to 3, the first moving mechanism 5A is located on the Y1 direction side of the first transport mechanism 4A. The first moving mechanism 5A moves the uninspected display panel 100 placed on the first stage 41A, and also moves the inspected display panel 100 placed on the first inspection unit 6A. The first moving mechanism 5A includes a holding arm 53A in which a first arm 51A and a second arm 52A are connected in an L-shape, a first suction portion 54A that is provided at the tip of the first arm 51A and holds the display panel 100, and a second suction portion 55A that is provided at the tip of the second arm 52A and holds the display panel 100. The first suction portion 54A and the second suction portion 55A hold the flexible wiring 101 together with the display panel 100.

また、第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52Aの連結位置を回転軸として、保持アーム53Aを回転させる駆動部56Aと、駆動部56Aを上下に移動する位置調整部57Aとを備える。駆動部56Aにより、保持アーム53Aを回転させることで、第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aを移動させることができる。本形態では、第1移動機構5Aは、X軸方向に2つ並んで設けられている。 The first movement mechanism 5A also includes a drive unit 56A that rotates the holding arm 53A around the connection position of the first arm 51A and the second arm 52A as the rotation axis, and a position adjustment unit 57A that moves the drive unit 56A up and down. The drive unit 56A rotates the holding arm 53A, thereby moving the first suction unit 54A and the second suction unit 55A. In this embodiment, two first movement mechanisms 5A are provided side by side in the X-axis direction.

図1、図3に示すように、第2移動機構5Bは、第2搬送機構4BのY2方向の側に位置する。第2移動機構5Bは、第2ステージ41Bに載置された検査前の表示パネル100を移動させるとともに、第2検査部6Bに載置された検査済みの表示パネル100を移動させる。第2移動機構5Bは、第1アーム51Bおよび第2アーム52BがL字状に連結した保持アーム53Bと、第1アーム51Bの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Bと、第2アーム52Bの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Bとを備える。第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bは、表示パネル100とともに、フレキシブル配線101を保持する。本形態では、第1アーム51B、第2アーム52B、第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bは、X軸に対して、第1アーム51A、第2アーム52A、第1吸着部54Aおよび第2吸着部55Aと線対称となるように配置されている。 As shown in Figures 1 and 3, the second moving mechanism 5B is located on the Y2 direction side of the second transport mechanism 4B. The second moving mechanism 5B moves the uninspected display panel 100 placed on the second stage 41B, and also moves the inspected display panel 100 placed on the second inspection unit 6B. The second moving mechanism 5B includes a holding arm 53B in which a first arm 51B and a second arm 52B are connected in an L-shape, a first suction portion 54B that is provided at the tip of the first arm 51B and holds the display panel 100, and a second suction portion 55B that is provided at the tip of the second arm 52B and holds the display panel 100. The first suction portion 54B and the second suction portion 55B hold the flexible wiring 101 together with the display panel 100. In this embodiment, the first arm 51B, the second arm 52B, the first suction portion 54B, and the second suction portion 55B are arranged so as to be symmetrical with the first arm 51A, the second arm 52A, the first suction portion 54A, and the second suction portion 55A with respect to the X-axis.

また、第2移動機構5Bは、第1アーム51Bおよび第2アーム52Bの連結位置を回転軸として、保持アーム53Bを回転させる駆動部56Bと、駆動部56Bを上下に移動する位置調整部57Bとを備える。駆動部56Bにより、保持アーム53Bを回転させることで、第1吸着部54Bおよび第2吸着部55Bを移動させることができる。本形態では、第2移動機構5Bは、X軸方向に2つ並んで設けられている。 The second movement mechanism 5B also includes a drive unit 56B that rotates the holding arm 53B around the connection position of the first arm 51B and the second arm 52B as the rotation axis, and a position adjustment unit 57B that moves the drive unit 56B up and down. The drive unit 56B rotates the holding arm 53B, thereby moving the first suction unit 54B and the second suction unit 55B. In this embodiment, two second movement mechanisms 5B are provided side by side in the X-axis direction.

図1~図3に示すように、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、表示パネル100の点灯検査を行う装置である。本形態では、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、各々、X軸方向に2つ並んで設けられている。第1検査部6Aおよび第2検査部6Bは、表示パネル100が載置される載置部12と、載置部12の上方に配置されたカメラ13と、点灯検査時に表示パネル100の下面から光を照射するバックライト14と、載置部12、カメラ13およびバックライト14を収容する筐体15とを備える。筐体15には、筐体15に形成された開口部18を塞ぐためのシャッタ17が設けられている。シャッタ17には、シャッタ17を上下動させるエアシリンダ19が連結されている。点灯検査時に、シャッタ17によって開口部18を塞いで筐体15の内部を暗室にすることが可能になる。また、シャッタ17によって開口部18を開くことにより、第1移動機構5Aおよび第2移動機構5Bは、第1検査部6Aおよび第2検査部6Bに対して、表示パネル100の移動が可能になる。 As shown in Figs. 1 to 3, the first inspection unit 6A and the second inspection unit 6B are devices that perform a lighting inspection of the display panel 100. In this embodiment, the first inspection unit 6A and the second inspection unit 6B are each provided in pairs in the X-axis direction. The first inspection unit 6A and the second inspection unit 6B each include a mounting unit 12 on which the display panel 100 is placed, a camera 13 arranged above the mounting unit 12, a backlight 14 that irradiates light from the underside of the display panel 100 during lighting inspection, and a housing 15 that houses the mounting unit 12, the camera 13, and the backlight 14. The housing 15 is provided with a shutter 17 for closing an opening 18 formed in the housing 15. An air cylinder 19 that moves the shutter 17 up and down is connected to the shutter 17. During lighting inspection, the shutter 17 can close the opening 18 to make the inside of the housing 15 a darkroom. In addition, by opening the opening 18 with the shutter 17, the first moving mechanism 5A and the second moving mechanism 5B can move the display panel 100 relative to the first inspection unit 6A and the second inspection unit 6B.

図1、図2に示すように、第2ロボット7は、検査済みの表示パネル100を保持する吸着部71と、吸着部71を上下方向に移動させるとともにZ軸方向を回転中心として回転させる位置調整部72と、位置調整部72をX軸方向に往復移動させる第1駆動部73と、第1駆動部73をX方向に往復移動させる第2駆動部74を備える。第1駆動部73および第2駆動部74は、電動シリンダなどで構成される。第1駆動部73は、位置調整部72を介して、吸着部71をX軸方に往復移動させる。第2駆動部74は、第1駆動部73および位置調整部72を介して、吸着部71をY軸方に往復移動させる。本形態では、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。 1 and 2, the second robot 7 includes a suction unit 71 that holds the inspected display panel 100, a position adjustment unit 72 that moves the suction unit 71 in the vertical direction and rotates it around the Z-axis direction, a first drive unit 73 that moves the position adjustment unit 72 back and forth in the X-axis direction, and a second drive unit 74 that moves the first drive unit 73 back and forth in the X-axis direction. The first drive unit 73 and the second drive unit 74 are composed of an electric cylinder or the like. The first drive unit 73 moves the suction unit 71 back and forth in the X-axis direction via the position adjustment unit 72. The second drive unit 74 moves the suction unit 71 back and forth in the Y-axis direction via the first drive unit 73 and the position adjustment unit 72. In this embodiment, the second robot 7 places the display panel 100 that has been inspected as a "good product" on the transport mechanism 8, and places the display panel 100 that has been inspected as a "defective product" on the discharge placement unit 9.

図1、図2に示すように、搬送機構8は、検査済みの表示パネル100を次工程に搬送する機構である。本形態では、搬送機構8は、ベルトコンベアで構成される。 As shown in Figures 1 and 2, the transport mechanism 8 is a mechanism that transports the inspected display panel 100 to the next process. In this embodiment, the transport mechanism 8 is configured as a belt conveyor.

図1に示すように、排出用載置部9には、不良品用パレット200が載置されている。第2ロボット7は、排出用載置部9に載置された不良品用パレット200に、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を載置する。 As shown in FIG. 1, a defective product pallet 200 is placed on the discharge tray 9. The second robot 7 places a display panel 100 that has been inspected as "defective" on the defective product pallet 200 placed on the discharge tray 9.

(搬送システム1の動作)
次に搬送システム1の動作について説明する。本形態では、搬送システム1は、2つの表示パネル100を搬送する場合について説明する。図4および図5は、第1移動機構の動きを説明する模式図である。図6および図7は、第2移動機構の動きを説明する模式図である。なお、図4~図7において、表示パネル100は、フレキシブル配線101が省略されている。
(Operation of the transport system 1)
Next, the operation of the conveying system 1 will be described. In this embodiment, the conveying system 1 is described for the case where it conveys two display panels 100. Figures 4 and 5 are schematic diagrams for explaining the movement of the first moving mechanism. Figures 6 and 7 are schematic diagrams for explaining the movement of the second moving mechanism. Note that in Figures 4 to 7, the flexible wiring 101 of the display panel 100 is omitted.

(第1ロボット3の動作)
搬入機構2は、ステージ21に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、搬入機構2のX1方向の端部まで搬送する。第1ロボット3は、吸着部31をステージ21まで移動させ、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが吸着部31により保持された後、搬入機構2は、ステージ21を搬入機構2のX2方向の端部まで移動させる。ステージ21が搬入機構2のX2方向の端部まで移動した後、ステージ21には次の表示パネル100が載置される。
(Operation of First Robot 3)
The carry-in mechanism 2 transports the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the stage 21 to the end of the carry-in mechanism 2 in the X1 direction. The first robot 3 moves the suction unit 31 to the stage 21 and holds the first display panel 100A and the second display panel 100B. After the first display panel 100A and the second display panel 100B are held by the suction unit 31, the carry-in mechanism 2 moves the stage 21 to the end of the carry-in mechanism 2 in the X2 direction. After the stage 21 has moved to the end of the carry-in mechanism 2 in the X2 direction, the next display panel 100 is placed on the stage 21.

また、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが吸着部31により保持された後、アライメントカメラ10は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を検知する。アライメントカメラ10によって第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが検知されると、第1ロボット3は、吸着部31に対する第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を認識する。 After the first display panel 100A and the second display panel 100B are held by the suction portion 31, the alignment camera 10 detects the positions of the first display panel 100A and the second display panel 100B. When the alignment camera 10 detects the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first robot 3 recognizes the positions of the first display panel 100A and the second display panel 100B relative to the suction portion 31.

次に、第1ロボット3は、第1ステージ41Aの上方まで吸着部31を移動させる。第1ロボット3は、第1ステージ41Aの上方まで吸着部31を移動させた後、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1ステージ41Aに対して第1表示パネル100AのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1表示パネル100Aに対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行う。第1表示パネル100Aの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第1表示パネル100Aのみを載置する。 Next, the first robot 3 moves the suction unit 31 above the first stage 41A. After moving the suction unit 31 above the first stage 41A, the first robot 3 aligns the rotational position of the first display panel 100A in the Y-axis direction and the Z-axis direction relative to the first stage 41A based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10. The first transport mechanism 4A aligns the first stage 41A in the X-axis direction relative to the first display panel 100A based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10. After aligning the position of the first display panel 100A, the first robot 3 places only the first display panel 100A on the first stage 41A.

第1表示パネル100Aが第1ステージ41Aに載置された後、第1ロボット3は、吸着部31をZ1方向に移動させる。次に、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1ステージ41Aに対して第2表示パネル100BのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10で検知された第2表示パネル100Bの位置に基づいて、第2表示パネル100Bに対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行う。第2表示パネル100Bの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第2表示パネル100Bを載置する。 After the first display panel 100A is placed on the first stage 41A, the first robot 3 moves the suction unit 31 in the Z1 direction. Next, based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10, the second display panel 100B is aligned in the Y-axis direction and the Z-axis direction relative to the first stage 41A. Based on the position of the second display panel 100B detected by the alignment camera 10, the first transport mechanism 4A aligns the first stage 41A in the X-axis direction relative to the second display panel 100B. After the position of the second display panel 100B has been aligned, the first robot 3 places the second display panel 100B on the first stage 41A.

第1ロボット3は、第1ステージ41Aに第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置した後、吸着部31を搬入機構2へ移動させる。吸着部31が搬入機構2へ移動した後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、IDリーダ11に位置に移動させる。第1IDリーダ11Aおよび第2IDリーダ11Bのうち何れか一方は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを読み取り、検査データ等を取得する。 The first robot 3 places the first display panel 100A and the second display panel 100B on the first stage 41A, and then moves the suction unit 31 to the carry-in mechanism 2. After the suction unit 31 has moved to the carry-in mechanism 2, the first transport mechanism 4A moves the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the first stage 41A to the position of the ID reader 11. Either the first ID reader 11A or the second ID reader 11B reads the first display panel 100A and the second display panel 100B and acquires inspection data, etc.

IDリーダ11により第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが読み取られた後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第1検査部6Aに移動させる。 After the first display panel 100A and the second display panel 100B are read by the ID reader 11, the first transport mechanism 4A moves the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the first stage 41A to the first inspection section 6A.

第1ロボット3は、再び、ステージ21に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、先に述べたように、アライメントカメラ10は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を検知する。アライメントカメラ10によって第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが検知されると、第1ロボット3は、吸着部31に対する第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの位置を認識する。 The first robot 3 again holds the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the stage 21. Then, as described above, the alignment camera 10 detects the positions of the first display panel 100A and the second display panel 100B. When the alignment camera 10 detects the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first robot 3 recognizes the positions of the first display panel 100A and the second display panel 100B relative to the suction portion 31.

次に、第1ロボット3は、第2ステージ41Bの上方まで吸着部31を移動させる。第1ロボット3は、第2ステージ41Bの上方まで吸着部31を移動させた後、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第2ステージ41Bに対して第1表示パネル100AのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第1表示パネル100Aに対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行う。第1表示パネル100Aの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第1表示パネル100Aのみを載置する。 Next, the first robot 3 moves the suction unit 31 above the second stage 41B. After moving the suction unit 31 above the second stage 41B, the first robot 3 aligns the rotational position of the first display panel 100A in the Y-axis direction and the Z-axis direction relative to the second stage 41B based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10. The second transport mechanism 4B aligns the second stage 41B in the X-axis direction relative to the first display panel 100A based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10. After aligning the position of the first display panel 100A, the first robot 3 places only the first display panel 100A on the second stage 41B.

第1表示パネル100Aが第2ステージ41Bに載置された後、第1ロボット3は、吸着部31をZ1方向に移動させる。次に、アライメントカメラ10で検知された第1表示パネル100Aの位置に基づいて、第2ステージ41Bに対して第2表示パネル100BのY軸方向およびZ軸方向における回転方向の位置合わせを行う。第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10で検知された第2表示パネル100Bの位置に基づいて、第2表示パネル100Bに対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行う。第2表示パネル100Bの位置の位置合わせが行われた後、第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第2表示パネル100Bを載置する。 After the first display panel 100A is placed on the second stage 41B, the first robot 3 moves the suction unit 31 in the Z1 direction. Next, based on the position of the first display panel 100A detected by the alignment camera 10, the second robot 3 aligns the second display panel 100B in the Y-axis direction and the rotational direction in the Z-axis direction relative to the second stage 41B. Based on the position of the second display panel 100B detected by the alignment camera 10, the second transport mechanism 4B aligns the second stage 41B in the X-axis direction relative to the second display panel 100B. After the position of the second display panel 100B has been aligned, the first robot 3 places the second display panel 100B on the second stage 41B.

第1ロボット3は、第2ステージ41Bに第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置した後、吸着部31を搬入機構2へ移動させる。吸着部31が搬入機構2へ移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、IDリーダ11に位置に移動させる。第1IDリーダ11Aおよび第2IDリーダ11Bのうち何れか一方は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを読み取り、検査データ等を取得する。 The first robot 3 places the first display panel 100A and the second display panel 100B on the second stage 41B, and then moves the suction unit 31 to the carry-in mechanism 2. After the suction unit 31 has moved to the carry-in mechanism 2, the second transport mechanism 4B moves the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the second stage 41B to the position of the ID reader 11. Either the first ID reader 11A or the second ID reader 11B reads the first display panel 100A and the second display panel 100B and acquires inspection data, etc.

IDリーダ11により第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが読み取られた後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第2検査部6Bに移動させる。 After the first display panel 100A and the second display panel 100B are read by the ID reader 11, the second transport mechanism 4B moves the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the second stage 41B to the second inspection section 6B.

第1ロボット3は、上記の動作を繰り返す。すなわち、第1ロボット3は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bに、交互に移動させる。 The first robot 3 repeats the above operation. That is, the first robot 3 alternately moves the first display panel 100A and the second display panel 100B to the first stage 41A and the second stage 41B.

(第1移動機構5Aおよび第2移動機構5Bの動作)
第1移動機構5Aの動作について説明する。図4(a)に示すように、先ず、第1ステージ41Aにより第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送されると、駆動部56Aは、第1吸着部54Aが第1ステージ41Aの上方に位置するように保持アーム53Aを移動させる。その後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
(Operations of the First Moving Mechanism 5A and the Second Moving Mechanism 5B)
The operation of the first moving mechanism 5A will be described. As shown in FIG. 4A, first, when the first display panel 100A and the second display panel 100B are transported to the first moving mechanism 5A by the first stage 41A, the drive unit 56A moves the holding arm 53A so that the first suction unit 54A is positioned above the first stage 41A. Thereafter, the first suction unit 54A is moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A and abuts against the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the first stage 41A. After the first suction unit 54A suctions the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first suction unit 54A is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57A.

次に、図4(b)に示すように、第1検査部6Aのシャッタ17が開いた後、保持アーム53Aは、駆動部56Aにより、左回りに180°回転する。保持アーム53Aが180°回転することにより、第1吸着部54Aに吸着された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第1検査部6Aに移動する。その後、位置調整部57Aによって第1吸着部54AをZ2方向に移動させることにより、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第1検査部6Aの載置部12に載置される。 Next, as shown in FIG. 4(b), after the shutter 17 of the first inspection unit 6A opens, the holding arm 53A is rotated 180° counterclockwise by the drive unit 56A. As the holding arm 53A rotates 180°, the first display panel 100A and the second display panel 100B that are adsorbed to the first suction unit 54A move to the first inspection unit 6A. After that, the position adjustment unit 57A moves the first suction unit 54A in the Z2 direction, so that the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the placement unit 12 of the first inspection unit 6A.

次に、図4(c)に示すように、駆動部56Aは、保持アーム53Aを右回りに180°回転させることにより、保持アーム53Aを第1位置P1に移動させる。保持アーム53Aが第1位置P1に移動すると、第1吸着部54Aは第1ステージ41Aと重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第1位置P1に移動した後、第1検査部6Aは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。この際、第1ステージ41Aにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送される。第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。 Next, as shown in FIG. 4(c), the driving unit 56A rotates the holding arm 53A 180° clockwise to move the holding arm 53A to the first position P1. When the holding arm 53A moves to the first position P1, the first suction unit 54A moves to a position overlapping with the first stage 41A. After the holding arm 53A moves to the first position P1, the first inspection unit 6A closes the shutter 17 to perform a lighting inspection of the first display panel 100A and the second display panel 100B. At this time, the first stage 41A transports the next first display panel 100A and second display panel 100B to the first moving mechanism 5A. The first suction unit 54A moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A and abuts against the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the first stage 41A. After the first suction portion 54A suctions the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first suction portion 54A is moved in the Z1 direction by the position adjustment portion 57A.

次に、図4(d)に示すように、第1検査部6Aでの点灯検査が終了すると、シャッタ17が開く。シャッタ17が開いた後、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させることにより、保持アーム53Aを第2位置P2に移動させる。保持アーム53Aが第2位置P2に移動すると、第2吸着部55Aは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第2位置P2に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、載置部12に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第2吸着部55Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。 Next, as shown in FIG. 4(d), when the lighting inspection by the first inspection unit 6A is completed, the shutter 17 opens. After the shutter 17 opens, the drive unit 56A rotates the holding arm 53A 90° counterclockwise to move the holding arm 53A to the second position P2. When the holding arm 53A moves to the second position P2, the second suction unit 55A moves to a position overlapping with the placement unit 12. After the holding arm 53A moves to the second position P2, the second suction unit 55A moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A and abuts against the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the placement unit 12. After the second suction unit 55A suctions the first display panel 100A and the second display panel 100B, the second suction unit 55A moves in the Z1 direction by the position adjustment unit 57A.

次に、図5(e)に示すように、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させることにより、保持アーム53Aを第3位置P3に移動させる。保持アーム53Aが第3位置P3に移動すると、第1吸着部54Aは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第3位置P3に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、載置部12に、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが載置部12に載置された後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。 Next, as shown in FIG. 5(e), the drive unit 56A rotates the holding arm 53A 90° counterclockwise, thereby moving the holding arm 53A to the third position P3. When the holding arm 53A moves to the third position P3, the first suction unit 54A moves to a position overlapping with the placement unit 12. After the holding arm 53A moves to the third position P3, the second suction unit 55A moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A, and places the first display panel 100A and the second display panel 100B on the placement unit 12. After the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the placement unit 12, the second suction unit 55A moves in the Z1 direction by the position adjustment unit 57A.

次に、駆動部56Aは、保持アーム53Aを右回りに270°回転させることにより、保持アーム53Aを第4位置P4に移動させる。保持アーム53Aが第4位置P4に移動すると、第2吸着部55Aは、第1ステージ41Aと重なる位置に移動する。保持アーム53Aが第4位置P4に移動した後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第2吸着部55Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。
Next, the drive unit 56A rotates the holding arm 53A clockwise by 270° to move the holding arm 53A to the fourth position P4. When the holding arm 53A moves to the fourth position P4, the second suction unit 55A moves to a position overlapping with the first stage 41A. After the holding arm 53A moves to the fourth position P4, the second suction unit 55A is moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A, and the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the first stage 41A. After the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the first stage 41A, the second suction unit 55A is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57A.

次に、図5(g)に示すように、第1検査部6Aは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。第1移動機構5Aによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。排出位置において、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aから取り出された後、第1搬送機構4Aは、第1ステージ41Aを、X2方向の端部まで移動させる。また、駆動部56Aは、保持アーム53Aを左回りに90°回転させる。
Next, as shown in FIG. 5(g), the first inspection unit 6A closes the shutter 17 and performs a lighting inspection of the first display panel 100A and the second display panel 100B. After the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the first stage 41A by the first moving mechanism 5A, the first transport mechanism 4A moves the first stage 41A to a discharge position at the end in the X1 direction. After the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are removed from the first stage 41A at the discharge position, the first transport mechanism 4A moves the first stage 41A to the end in the X2 direction. In addition, the drive unit 56A rotates the holding arm 53A counterclockwise by 90°.

次に、図5(h)に示すように、第1ステージ41Aにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1移動機構5Aまで搬送される。第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z2方向に移動し、第1ステージ41Aに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Aが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Aは、位置調整部57Aにより、Z1方向に移動する。第1移動機構5Aは、図4(d)から図5(e)、(g)、(h)までの動作を繰り返す。
Next, as shown in Fig. 5(h), the first stage 41A transports the next first and second display panels 100A and 100B to the first moving mechanism 5A. The first suction unit 54A is moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57A and comes into contact with the first and second display panels 100A and 100B placed on the first stage 41A. After the first suction unit 54A has suctioned the first and second display panels 100A and 100B, the first suction unit 54A is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57A. The first moving mechanism 5A repeats the operations shown in Fig. 4(d) to Fig. 5 (e), (g), and (h) .

上記で説明したように、第1移動機構5Aは、第1検査部6Aにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第1位置P1において、表示パネル100を第1ステージ41Aから保持することができる。また、第1移動機構5Aは、第1検査部6Aにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第4位置P4において、表示パネル100を第1ステージ41Aに載置することができる。なお、第1移動機構5Aにおいて、左回りは「一方方向」であり、右回りは「他方方向」である。 As described above, the first moving mechanism 5A can hold the display panel 100 from the first stage 41A at the first position P1 even when the first inspection unit 6A is performing a lighting inspection of the display panel 100. Also, the first moving mechanism 5A can place the display panel 100 on the first stage 41A at the fourth position P4 even when the first inspection unit 6A is performing a lighting inspection of the display panel 100. Note that for the first moving mechanism 5A, a counterclockwise direction is "one direction" and a clockwise direction is "the other direction."

次に、第2移動機構5Bの動作について説明する。図6(a)に示すように、先ず、第2ステージ41Bにより第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送されると、駆動部56Bは、第1吸着部54Bが第2ステージ41Bの上方に位置するように保持アーム53Bを移動させる。その後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。 Next, the operation of the second moving mechanism 5B will be described. As shown in FIG. 6(a), first, when the first display panel 100A and the second display panel 100B are transported to the second moving mechanism 5B by the second stage 41B, the drive unit 56B moves the holding arm 53B so that the first suction unit 54B is positioned above the second stage 41B. The first suction unit 54B is then moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57B and comes into contact with the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the second stage 41B. After the first suction unit 54B has suctioned the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first suction unit 54B is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57B.

次に、図6(b)に示すように、第1検査部6Aのシャッタ17が開いた後、保持アーム53Bは、駆動部56Bにより、右回りに180°回転する。保持アーム53Bが180°回転することにより、第1吸着部54Bに吸着された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第2検査部6Bに移動する。その後、位置調整部57Bによって第1吸着部54BをZ2方向に移動させることにより、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bは、第2検査部6Bの載置部12に載置される。 Next, as shown in FIG. 6(b), after the shutter 17 of the first inspection unit 6A opens, the holding arm 53B is rotated 180° clockwise by the drive unit 56B. As the holding arm 53B rotates 180°, the first display panel 100A and the second display panel 100B that are adsorbed to the first suction unit 54B move to the second inspection unit 6B. After that, the position adjustment unit 57B moves the first suction unit 54B in the Z2 direction, so that the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the placement unit 12 of the second inspection unit 6B.

次に、図6(c)に示すように、駆動部56Bは、保持アーム53Bを左回りに180°回転させることにより、保持アーム53Bを第1位置P1に移動させる。保持アーム53Bが第1位置P1に移動すると、第1吸着部54Bは第2ステージ41Bと重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第1位置P1に移動した後、第2検査部6Bは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。この際、第2ステージ41Bにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送される。第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。 Next, as shown in FIG. 6(c), the driving unit 56B rotates the holding arm 53B 180° counterclockwise to move the holding arm 53B to the first position P1. When the holding arm 53B moves to the first position P1, the first suction unit 54B moves to a position overlapping with the second stage 41B. After the holding arm 53B moves to the first position P1, the second inspection unit 6B closes the shutter 17 to perform a lighting inspection of the first display panel 100A and the second display panel 100B. At this time, the second stage 41B transports the next first display panel 100A and second display panel 100B to the second moving mechanism 5B. The first suction unit 54B moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 57B and abuts against the first display panel 100A and the second display panel 100B placed on the second stage 41B. After the first suction portion 54B suctions the first display panel 100A and the second display panel 100B, the first suction portion 54B is moved in the Z1 direction by the position adjustment portion 57B.

次に、図6(d)に示すように、第2検査部6Bでの点灯検査が終了すると、シャッタ17が開く。シャッタ17が開いた後、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに9
0°回転させることにより、保持アーム53Bを第2位置P2に移動させる。保持アーム53Bが第2位置P2に移動すると、第2吸着部55Bは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第2位置P2に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、載置部12に載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第2吸着部55Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, as shown in FIG. 6D, when the second inspection unit 6B finishes the lighting inspection, the shutter 17 opens. After the shutter 17 opens, the drive unit 56B rotates the holding arm 53B clockwise by 9
By rotating the holding arm 53B by 0°, the holding arm 53B is moved to the second position P2. When the holding arm 53B moves to the second position P2, the second suction portion 55B moves to a position overlapping with the mounting portion 12. After the holding arm 53B moves to the second position P2, the second suction portion 55B is moved in the Z2 direction by the position adjustment portion 57B and comes into contact with the first display panel 100A and the second display panel 100B mounted on the mounting portion 12. After the second suction portion 55B has adsorbed the first display panel 100A and the second display panel 100B, the second suction portion 55B is moved in the Z1 direction by the position adjustment portion 57B.

次に、図7(e)に示すように、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに90°回転させることにより、保持アーム53Bを第3位置P3に移動させる。保持アーム53Bが第3位置P3に移動すると、第1吸着部54Bは、載置部12と重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第3位置P3に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、載置部12に、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが載置部12に載置された後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。 Next, as shown in FIG. 7(e), the drive unit 56B rotates the holding arm 53B 90° clockwise to move the holding arm 53B to the third position P3. When the holding arm 53B moves to the third position P3, the first suction unit 54B moves to a position overlapping with the placement unit 12. After the holding arm 53B moves to the third position P3, the second suction unit 55B moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 57B, and places the first display panel 100A and the second display panel 100B on the placement unit 12. After the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the placement unit 12, the second suction unit 55B moves in the Z1 direction by the position adjustment unit 57B.

次に、駆動部56Bは、保持アーム53Bを左回りに270°回転させることにより、保持アーム53Bを第4位置P4に移動させる。保持アーム53Bが第4位置P4に移動すると、第2吸着部55Bは、第2ステージ41Bと重なる位置に移動する。保持アーム53Bが第4位置P4に移動した後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを載置する。第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ41Bに載置された後、第2吸着部55Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。
Next, the drive unit 56B rotates the holding arm 53B 270° counterclockwise to move the holding arm 53B to the fourth position P4. When the holding arm 53B moves to the fourth position P4, the second suction unit 55B moves to a position overlapping with the second stage 41B. After the holding arm 53B moves to the fourth position P4, the second suction unit 55B is moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57B, and the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the second stage 41B. After the first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the second stage 41B, the second suction unit 55B is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57B.

次に、図7(g)に示すように、第2検査部6Bは、シャッタ17を閉じて第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの点灯検査を実行する。第2移動機構5Bによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ
41Bに載置された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第2ロボット7により、第2ステージ41Bから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが排出された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向の端部まで移動させる。排出位置において、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ステージ41Bから取り出された後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向の端部まで移動させる。また、駆動部56Bは、保持アーム53Bを右回りに90°回転させる。
Next, as shown in FIG. 7(g), the second inspection unit 6B closes the shutter 17 and performs the lighting inspection of the first display panel 100A and the second display panel 100B. After the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the second stage 41B by the second moving mechanism 5B, the second transport mechanism 4B moves the second stage 41B to the discharge position at the end in the X1 direction. After the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are discharged from the second stage 41B by the second robot 7, the second transport mechanism 4B moves the second stage 41B to the end in the X2 direction. After the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are taken out of the second stage 41B at the discharge position, the second transport mechanism 4B moves the second stage 41B to the end in the X2 direction. In addition, the drive unit 56B rotates the holding arm 53B clockwise by 90 degrees.

次に、図7(h)に示すように、第2ステージ41Bにより、次の第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2移動機構5Bまで搬送される。第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z2方向に移動し、第2ステージ41Bに載置された第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bに当接する。第1吸着部54Bが第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを吸着した後、第1吸着部54Bは、位置調整部57Bにより、Z1方向に移動する。第2移動機構5Bは、図6(d)から図7(e)、(g)、(h)までの動作を繰り返す。
Next, as shown in Fig. 7(h), the second stage 41B transports the next first and second display panels 100A and 100B to the second moving mechanism 5B. The first suction unit 54B is moved in the Z2 direction by the position adjustment unit 57B and comes into contact with the first and second display panels 100A and 100B placed on the second stage 41B. After the first suction unit 54B has suctioned the first and second display panels 100A and 100B, the first suction unit 54B is moved in the Z1 direction by the position adjustment unit 57B. The second moving mechanism 5B repeats the operations shown in Fig. 6(d) to Fig. 7 (e), (g), and (h) .

上記で説明したように、第2移動機構5Bは、第2検査部6Bにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第1位置P1において、表示パネル100を第1ステージ41Aから保持することができる。また、第2移動機構5Bは、第2検査部6Bにおいて表示パネル100の点灯検査が行われている場合でも、第4位置P4において、表示パネル100を第1ステージ41Aに載置することができる。なお、第2移動機構5
Bにおいて、右回りは「一方方向」であり、左回りは「他方方向」である。
As described above, the second moving mechanism 5B can hold the display panel 100 from the first stage 41A at the first position P1 even when the second inspection section 6B is performing a lighting inspection of the display panel 100. Also, the second moving mechanism 5B can place the display panel 100 on the first stage 41A at the fourth position P4 even when the second inspection section 6B is performing a lighting inspection of the display panel 100.
In B, clockwise is "one way" and counterclockwise is "the other way".

(第2ロボット7の動作)
第2ロボット7の動きについて説明する。第2ロボット7は、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bによって搬送された検査済みの表示パネル100を、第1ステージ41Aおよび第2ステージ41Bから搬送機構8に交互に移動させる。具体的には、第1移動機構5Aによって検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第1ステージ41Aに載置された後、第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第1ステージ41Aが排出位置まで移動した後、第2ロボット7は、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの上方まで吸着部71を移動させる。吸着部71は、位置調整部72により、Z2方向に移動して、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。
(Movement of the second robot 7)
The movement of the second robot 7 will be described. The second robot 7 alternately moves the inspected display panels 100, which are transported by the first stage 41A and the second stage 41B, from the first stage 41A and the second stage 41B to the transport mechanism 8. Specifically, after the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B are placed on the first stage 41A by the first moving mechanism 5A, the first moving mechanism 5A moves the first stage 41A to a discharge position at the end in the X1 direction. After the first stage 41A moves to the discharge position, the second robot 7 moves the suction unit 71 to above the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B. The suction unit 71 moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 72 to hold the inspected first display panel 100A and the second display panel 100B. Thereafter, the second robot 7 places the display panels 100 whose inspection results are “non-defective” on the transport mechanism 8, and places the display panels 100 whose inspection results are “defective” on the discharge tray 9.

搬送機構8は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100BをX1方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを移動させる。 The transport mechanism 8 moves the first display panel 100A and the second display panel 100B to the end in the X1 direction. The robot for the next process moves the inspected first display panel 100A and second display panel 100B that have been brought there.

第1ステージ41Aから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ロボット7によって移動した後、第1移動機構5Aは、第1ステージ41Aを、X2方向に移動させる。 After the inspected first display panel 100A and second display panel 100B are moved from the first stage 41A by the second robot 7, the first moving mechanism 5A moves the first stage 41A in the X2 direction.

第1ステージ41AがX2方向に移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bに載置された検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを、X1方向の端部の排出位置まで移動させる。第2ステージ41BがX1方向の端部の排出位置まで移動した後、第2ロボット7は、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bの上方まで吸着部71を移動させる。吸着部71は、位置調整部72により、Z2方向に移動し、検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを保持する。その後、第2ロボット7は、検査結果が「良品」となった表示パネル100を搬送機構8に載置し、検査結果が「不良品」となった表示パネル100を排出用載置部9に載置する。 After the first stage 41A moves in the X2 direction, the second transport mechanism 4B moves the inspected first display panel 100A and second display panel 100B placed on the second stage 41B to the discharge position at the end in the X1 direction. After the second stage 41B moves to the discharge position at the end in the X1 direction, the second robot 7 moves the suction unit 71 to above the inspected first display panel 100A and second display panel 100B. The suction unit 71 moves in the Z2 direction by the position adjustment unit 72 and holds the inspected first display panel 100A and second display panel 100B. The second robot 7 then places the display panel 100 whose inspection result is "good" on the transport mechanism 8, and places the display panel 100 whose inspection result is "defective" on the discharge placement unit 9.

搬送機構8は、第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100BをX1方向の端部まで移動させる。次工程のロボットは、移動してきた検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bを移動させる。 The transport mechanism 8 moves the first display panel 100A and the second display panel 100B to the end in the X1 direction. The robot for the next process moves the inspected first display panel 100A and second display panel 100B that have been brought there.

第2ステージ41Bから検査済みの第1表示パネル100Aおよび第2表示パネル100Bが第2ロボット7によって移動した後、第2搬送機構4Bは、第2ステージ41Bを、X2方向に移動させる。 After the inspected first display panel 100A and second display panel 100B are moved from the second stage 41B by the second robot 7, the second transport mechanism 4B moves the second stage 41B in the X2 direction.

(本形態の作用効果)
本形態の搬送システム1において、第1移動機構5Aは、第1アーム51Aおよび第2アーム52AがL字状に連結した保持アーム53Aと、第1アーム51Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第1吸着部54Aと、第2アーム52Aの先端部に設けられ表示パネル100を保持する第2吸着部55Aと、第1アーム51Aおよび第2アーム52Aの連結位置を回転軸として、保持アーム53Aを回転させる駆動部56Aとを備える。本形態では、駆動部56Aは、第1吸着部54Aが第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持する第1位置P1と、第1位置P1から左回りに90
°回転して第2吸着部55Aが第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持する第2位置P2と、第2位置P2から左回りに90°回転して第1吸着部54Aが第1検査部6Aに検査前の表示パネル100を載置する第3位置P3と、第3位置P3から右回りに180°回転して第2吸着部55Aが第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置する第4位置P4と、に保持アーム53Aを回転させる。
(Effects of this embodiment)
In the transfer system 1 of this embodiment, the first moving mechanism 5A includes a holding arm 53A in which a first arm 51A and a second arm 52A are connected in an L-shape, a first suction unit 54A provided at the tip of the first arm 51A and holding the display panel 100, a second suction unit 55A provided at the tip of the second arm 52A and holding the display panel 100, and a drive unit 56A that rotates the holding arm 53A around the connection position of the first arm 51A and the second arm 52A as a rotation axis. In this embodiment, the drive unit 56A moves the holding arm 53A to a first position P1 where the first suction unit 54A holds the uninspected display panel 100 placed on the first stage 41A, and a second suction unit 55A located 90 degrees counterclockwise from the first position P1.
The holding arm 53A is rotated 90° counterclockwise from the second position P2 to a second position P2 where the second suction portion 55A holds the inspected display panel 100 placed on the first inspection portion 6A, rotated 90° counterclockwise from the second position P2 to a third position P3 where the first suction portion 54A places the display panel 100 before inspection on the first inspection portion 6A, and rotated 180° clockwise from the third position P3 to a fourth position P4 where the second suction portion 55A places the inspected display panel 100 on the first stage 41A.

本形態によれば、駆動部56Aが第1位置P1に保持アーム53Aを回転させた場合、第1吸着部54Aは、第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持することはできるが、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持することはできない。すなわち、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aとは上下方向で重ならない。よって、第1検査部6Aで表示パネル100が検査されていた場合でも、第1移動機構5Aは第1ステージ41Aに載置された検査前の表示パネル100を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、駆動部56Aが第4位置P4に保持アーム53Aを回転させた場合、第1吸着部54Aは、第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置することはできるが、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aに載置された検査済みの表示パネル100を保持することはできない。すなわち、第2吸着部55Aは、第1検査部6Aとは上下方向で重ならない。よって、第1検査部6Aで表示パネル100の検査が行われている場合でも、第1移動機構5Aは第1ステージ41Aに検査済みの表示パネル100を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。 According to this embodiment, when the drive unit 56A rotates the holding arm 53A to the first position P1, the first suction unit 54A can hold the uninspected display panel 100 placed on the first stage 41A, but the second suction unit 55A cannot hold the inspected display panel 100 placed on the first inspection unit 6A. That is, the second suction unit 55A does not overlap with the first inspection unit 6A in the vertical direction. Therefore, even if the display panel 100 has been inspected by the first inspection unit 6A, the first moving mechanism 5A can hold the uninspected display panel 100 placed on the first stage 41A, so that the tact time of the transport mechanism can be shortened. Furthermore, when the drive unit 56A rotates the holding arm 53A to the fourth position P4, the first suction unit 54A can place the inspected display panel 100 on the first stage 41A, but the second suction unit 55A cannot hold the inspected display panel 100 placed on the first inspection unit 6A. In other words, the second suction unit 55A does not overlap with the first inspection unit 6A in the vertical direction. Therefore, even if the display panel 100 is being inspected by the first inspection unit 6A, the first moving mechanism 5A can place the inspected display panel 100 on the first stage 41A, thereby shortening the tact time of the transport mechanism.

本形態の搬送システム1において、第2移動機構5Bは、第1移動機構5Aと同様に構成されている。よって、第2検査部6Bで表示パネル100が検査されていた場合でも、第2移動機構5Bは第2ステージ41Bに載置された検査前の表示パネル100を保持することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。また、第2検査部6Bで表示パネル100の検査が行われている場合でも、第2移動機構5Bは第2ステージ41Bに検査済みの表示パネル100を載置することができるので、搬送機構のタクトタイムを短縮することができる。 In the transport system 1 of this embodiment, the second moving mechanism 5B is configured in the same way as the first moving mechanism 5A. Therefore, even if the display panel 100 has been inspected in the second inspection section 6B, the second moving mechanism 5B can hold the uninspected display panel 100 placed on the second stage 41B, thereby shortening the takt time of the transport mechanism. Also, even if the display panel 100 is being inspected in the second inspection section 6B, the second moving mechanism 5B can place the inspected display panel 100 on the second stage 41B, thereby shortening the takt time of the transport mechanism.

本形態の搬送システム1において、第1ロボットは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、第1ステージ41Aに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル100の位置合わせを行い、第1搬送機構4Aは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における第1ステージ41Aの位置合わせを行うために第1ステージ41Aを移動させる。同様に、第1ロボットは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、第2ステージ41Bに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における表示パネル100の位置合わせを行い、第2搬送機構4Bは、アライメントカメラ10の検知結果に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における第2ステージ41Bの位置合わせを行うために第2ステージ41Bを移動させる。このように構成すれば、搬送機構4がステージ41を移動させることにより、表示パネル100に対してX軸方向におけるステージ41の位置合わせを行うので、第1ロボット3は表示パネル100をX軸方向に動かす機構を省略することができる。このため、第1ロボット3の構成を簡素にすることが可能となる。 In the transport system 1 of this embodiment, the first robot aligns the display panel 100 in the Y-axis direction and the rotation direction about the Z-axis relative to the first stage 41A based on the detection result of the alignment camera 10, and the first transport mechanism 4A moves the first stage 41A to align the first stage 41A in the X-axis direction relative to the display panel 100 based on the detection result of the alignment camera 10. Similarly, the first robot aligns the display panel 100 in the Y-axis direction and the rotation direction about the Z-axis relative to the second stage 41B based on the detection result of the alignment camera 10, and the second transport mechanism 4B moves the second stage 41B to align the second stage 41B in the X-axis direction relative to the display panel 100 based on the detection result of the alignment camera 10. With this configuration, the transport mechanism 4 moves the stage 41 to align the stage 41 with the display panel 100 in the X-axis direction, so the first robot 3 can omit a mechanism for moving the display panel 100 in the X-axis direction. This makes it possible to simplify the configuration of the first robot 3.

本形態の搬送システム1において、第1ロボット3は、Z軸方向から見た場合、第1搬送機構4Aおよび第2搬送機構4Bの間に配置された表示パネル100を、第1搬送機構4Aの第1ステージ41Aおよび第2搬送機構4Bの第2ステージ41Bに移動する。このように構成すれば、第1ロボット3の第1搬送機構4Aへの移動範囲と、第1ロボット3の第2搬送機構4Bへの移動範囲とを同じにすることができる。 In the transport system 1 of this embodiment, when viewed from the Z-axis direction, the first robot 3 moves the display panel 100 arranged between the first transport mechanism 4A and the second transport mechanism 4B to the first stage 41A of the first transport mechanism 4A and the second stage 41B of the second transport mechanism 4B. With this configuration, the movement range of the first robot 3 to the first transport mechanism 4A can be made the same as the movement range of the first robot 3 to the second transport mechanism 4B.

(他の実施の形態)
他の実施形態に係る搬送機構4について説明する。図8は、他の実施形態に係る搬送機構の概略図である。図8に示すように、本形態では、ステージ41は、第1ロボット3により載置された検査前の表示パネル100を移動機構5まで移動させる搬入用ステージ42と、移動機構5により載置された検査済みの表示パネル100を排出位置まで移動させる排出用ステージ43とを備える。この場合、移動機構5は、アライメントカメラ10で検知された表示パネル100の位置に基づいて、表示パネル100に対してX軸方向における搬入用ステージ42の位置合わせを行う。
Other Embodiments
A transfer mechanism 4 according to another embodiment will be described. Fig. 8 is a schematic diagram of a transfer mechanism according to another embodiment. As shown in Fig. 8, in this embodiment, the stage 41 includes a carry-in stage 42 that moves the uninspected display panel 100 placed by the first robot 3 to the moving mechanism 5, and a discharge stage 43 that moves the inspected display panel 100 placed by the moving mechanism 5 to a discharge position. In this case, the moving mechanism 5 aligns the carry-in stage 42 with respect to the display panel 100 in the X-axis direction based on the position of the display panel 100 detected by the alignment camera 10.

このように構成すれば、ステージ41が1つの場合と比べて、搬入用ステージ42および排出用ステージ43が、各々、表示パネル100を搬送するので、搬入用ステージ42および排出用ステージ43の移動距離が短くなる。これにより、搬送機構4が表示パネル100を搬送するタクトタイムを短縮することができる。なお、上記形態と同様に、本形態の搬送機構4は、第1搬送機構と、第2搬送機構とを備えてもよい。 In this configuration, compared to when there is only one stage 41, the loading stage 42 and the unloading stage 43 each transport the display panel 100, so the travel distance of the loading stage 42 and the unloading stage 43 is shorter. This makes it possible to reduce the tact time for the transport mechanism 4 to transport the display panel 100. As in the above embodiment, the transport mechanism 4 in this embodiment may include a first transport mechanism and a second transport mechanism.

上記形態では、処理部としての検査部6は、点灯検査であったが、これに限定されない。例えば、表示パネルにおけるガラス基板の表面検査でもよい。また、処理部は、表示パネルに接着剤を塗布する処理を行ってもよい。 In the above embodiment, the inspection unit 6 as a processing unit performs a lighting inspection, but is not limited to this. For example, the processing unit may perform a surface inspection of a glass substrate in a display panel. The processing unit may also perform a process of applying adhesive to the display panel.

1…搬送システム、2…搬入機構、3…第1ロボット、4…搬送機構、4A…第1搬送機構、4B…第2搬送機構、5…移動機構、5A…第1移動機構、5B…第2移動機構、6…検査部、6A…第1検査部、6B…第2検査部、7…第2ロボット、8…搬送機構、9…排出用載置部、10…アライメントカメラ、11…IDリーダ、11A…第1IDリーダ、11B…第2IDリーダ、12…載置部、13…カメラ、14…バックライト、15…筐体、17…シャッタ、18…開口部、19…エアシリンダ、21…ステージ、31…吸着部、32…位置調整部、33…駆動部、41…ステージ、41A…第1ステージ、41B…第2ステージ、42…搬入用ステージ、43…排出用ステージ、51A…第1アーム、51B…第1アーム、52A…第2アーム、52B…第2アーム、53A…保持アーム、53B…保持アーム、54A…第1吸着部、54B…第1吸着部、55A…第2吸着部、55B…第2吸着部、56A…駆動部、56B…駆動部、57A…位置調整部、57B…位置調整部、71…吸着部、72…位置調整部、73…第1駆動部、74…第2駆動部、100…表示パネル、100A…第1表示パネル、100B…第2表示パネル、101…フレキシブル配線、111…上部駆動部、112…下部駆動部、200…不良品用パレット、411…本体部、412…FPC保持部、P1…位置、P2…位置、P3…位置、P4…位置 1...Transport system, 2...Loading mechanism, 3...First robot, 4...Transport mechanism, 4A...First transport mechanism, 4B...Second transport mechanism, 5...Moving mechanism, 5A...First moving mechanism, 5B...Second moving mechanism, 6...Inspection unit, 6A...First inspection unit, 6B...Second inspection unit, 7...Second robot, 8...Transport mechanism, 9...Discharge placement unit, 10...Alignment camera, 11...ID reader, 11A...First ID reader, 11B...Second ID reader, 12...Placement unit, 13...Camera, 14...Backlight, 15...Housing, 17...Shutter, 18...Opening, 19...Air cylinder, 21...Stage, 31...Suction unit, 32...Position adjustment unit, 33...Drive unit, 41...Stage, 41A...First stage, 41B...Second stage, 42...Loading stage, 43 ...Discharge stage, 51A...first arm, 51B...first arm, 52A...second arm, 52B...second arm, 53A...holding arm, 53B...holding arm, 54A...first suction part, 54B...first suction part, 55A...second suction part, 55B...second suction part, 56A...driving part, 56B...driving part, 57A...position adjustment part, 57B...position adjustment part, 71...suction part, 72...position adjustment part, 73...first driving part, 74...second driving part, 100...display panel, 100A...first display panel, 100B...second display panel, 101...flexible wiring, 111...upper driving part, 112...lower driving part, 200...defective product pallet, 411...main body, 412...FPC holding part, P1...position, P2...position, P3...position, P4...position

Claims (7)

ワークを保持する第1ロボットと、
前記第1ロボットにより保持されたワークの位置を検知するアライメントカメラと、
前記第1ロボットにより保持されたワークが載置されるステージを備えた搬送機構と、
前記ステージに載置された前記ワークを前記ワークに対して処理を行う処理部に移動させるとともに、前記処理部で処理された処理済みの前記ワークを前記ステージに移動させる移動機構と、を有し、
前記移動機構は、第1アームおよび第2アームがL字状に連結した保持アームと、前記第1アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第1吸着部と、前記第2アームの先端部に設けられ前記ワークを保持する第2吸着部と、前記第1アームおよび前記第2アームの連結位置を回転軸として、前記保持アームを回転させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記第1吸着部が前記ステージに載置された処理前のワークを保持する第1位置と、前記第1位置から一方方向に90°回転して前記第2吸着部が前記処理部に載置された前記処理済みの前記ワークを保持する第2位置と、前記第2位置から前記一方方向に90°回転して前記第1吸着部が前記処理部に前記処理前の前記ワークを載置する第3位置と、前記第3位置から他方方向に270°回転して前記第2吸着部が前記ステージに前記処理済みの前記ワークを載置する第4位置と、に前記保持アームを回転させ
前記搬送機構は、前記ステージに前記処理済みの前記ワークが載置された後、前記ステージを排出位置に移動させ、
前記ステージの移動方向をX軸方向、上下方向をZ軸方向、X軸方向およびZ軸方向と直交する方向をY軸方向とすると、
前記第1ロボットは、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ステージに対してY軸方向およびZ軸を回転軸とする回転方向における前記ワークの位置合わせを行い、
前記搬送機構は、前記アライメントカメラの検知結果に基づいて、前記ワークに対してX軸方向における前記ステージの位置合わせを行うために前記ステージを移動させることを特徴とする搬送システム。
A first robot that holds a workpiece;
an alignment camera that detects the position of a workpiece held by the first robot;
a transport mechanism including a stage on which a workpiece held by the first robot is placed;
a moving mechanism for moving the workpiece placed on the stage to a processing section that performs processing on the workpiece, and moving the processed workpiece that has been processed in the processing section to the stage;
the moving mechanism includes a holding arm in which a first arm and a second arm are connected in an L-shape, a first suction unit provided at a tip of the first arm and configured to hold the workpiece, a second suction unit provided at a tip of the second arm and configured to hold the workpiece, and a drive unit that rotates the holding arm around a connection position of the first arm and the second arm as a rotation axis;
the drive unit rotates the holding arm to a first position where the first suction unit holds an unprocessed workpiece placed on the stage, a second position rotated 90° in one direction from the first position where the second suction unit holds the processed workpiece placed on the processing unit, a third position rotated 90° in the one direction from the second position where the first suction unit places the unprocessed workpiece on the processing unit, and a fourth position rotated 270° in the other direction from the third position where the second suction unit places the processed workpiece on the stage ,
The transport mechanism moves the stage to a discharge position after the processed workpiece is placed on the stage,
If the moving direction of the stage is the X-axis direction, the up-down direction is the Z-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction and the Z-axis direction is the Y-axis direction,
The first robot aligns the workpiece relative to the stage in a Y-axis direction and a rotation direction about a Z-axis based on a detection result of the alignment camera;
A conveying system characterized in that the conveying mechanism moves the stage to align the stage in the X-axis direction relative to the workpiece based on the detection results of the alignment camera .
請求項に記載の搬送システムにおいて、
前記ステージは、前記第1ロボットにより載置された前記処理前の前記ワークを前記移動機構まで移動させる搬入用ステージと、前記移動機構により載置された前記処理済みの
前記ワークを前記排出位置まで移動させる排出用ステージとを備えることを特徴とする搬送システム。
2. The transport system according to claim 1 ,
A conveying system characterized in that the stage includes an input stage that moves the unprocessed workpiece placed by the first robot to the moving mechanism, and an output stage that moves the processed workpiece placed by the moving mechanism to the output position.
請求項1または2に記載の搬送システムにおいて、
前記移動機構は、前記X軸方向に複数配置されていることを特徴とする搬送システム。
3. The transport system according to claim 1 ,
A conveying system characterized in that the moving mechanism is arranged in plurality in the X-axis direction.
請求項1から3のうち何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記移動機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1移動機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2移動機構とを備え、
前記搬送機構は、Y軸方向の一方側に配置された第1搬送機構と、Y軸方向の他方側に配置された第2搬送機構とを備えることを特徴とする搬送システム。
The conveying system according to any one of claims 1 to 3 ,
the moving mechanism includes a first moving mechanism disposed on one side in the Y-axis direction and a second moving mechanism disposed on the other side in the Y-axis direction,
The transport system is characterized in that the transport mechanism includes a first transport mechanism arranged on one side in the Y-axis direction, and a second transport mechanism arranged on the other side in the Y-axis direction.
請求項に記載の搬送システムにおいて、
前記第1ロボットは、上下方向から見た場合、前記第1搬送機構および前記第2搬送機構の間に配置された前記ワークを、前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージに移動することを特徴とする搬送システム。
The transport system according to claim 4 ,
A conveying system characterized in that, when viewed from above, the first robot moves the workpiece arranged between the first conveying mechanism and the second conveying mechanism to a stage of the first conveying mechanism and a stage of the second conveying mechanism.
請求項に記載の搬送システムにおいて、
前記第1搬送機構のステージおよび前記第2搬送機構のステージが前記排出位置に移動した後、前記第1搬送機構の前記ステージおよび前記第2搬送機構の前記ステージから前記処理済みの前記ワークを次工程に移動させる第2ロボットを備えることを特徴とする搬送システム。
The transport system according to claim 4 ,
A conveying system characterized by comprising a second robot that moves the processed work from the stage of the first conveying mechanism and the stage of the second conveying mechanism to a next process after the stage of the first conveying mechanism and the stage of the second conveying mechanism have moved to the discharge position.
請求項1からのうち何れか一項に記載の搬送システムにおいて、
前記第1ロボットは、同時に複数の前記ワークを保持することが可能であることを特徴とする搬送システム。
The conveying system according to any one of claims 1 to 6 ,
A conveying system, wherein the first robot is capable of holding a plurality of the workpieces at the same time.
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