JP7538609B2 - Aluminum nitride manufacturing equipment - Google Patents
Aluminum nitride manufacturing equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP7538609B2 JP7538609B2 JP2020047730A JP2020047730A JP7538609B2 JP 7538609 B2 JP7538609 B2 JP 7538609B2 JP 2020047730 A JP2020047730 A JP 2020047730A JP 2020047730 A JP2020047730 A JP 2020047730A JP 7538609 B2 JP7538609 B2 JP 7538609B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reaction
- powder
- aluminum nitride
- jig
- reaction vessel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims description 50
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 132
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 84
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 34
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 27
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 17
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 6
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 4
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 21
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000005049 combustion synthesis Methods 0.000 description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 5
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoyttriooxy)yttrium Chemical compound O=[Y]O[Y]=O SIWVEOZUMHYXCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
本発明は、新規な窒化アルミニウムの製造装置に関する。 The present invention relates to a new aluminum nitride manufacturing apparatus.
窒化アルミニウム焼結体は、高電気絶縁性、高耐プラズマ性、高熱伝導性などの優れた特性を有していることから、絶縁放熱基板、半導体製造装置材料などに広く使用されている。上記窒化アルミニウム焼結体は、窒化アルミニウム粉末に必要により酸化イットリウムなどの焼結助剤を添加し、有機バインダーを使用して成形後、常圧あるいは加圧下で、脱脂、焼結することによって製造されている。 Aluminum nitride sintered bodies have excellent properties such as high electrical insulation, high plasma resistance, and high thermal conductivity, and are therefore widely used in insulating heat dissipation substrates, semiconductor manufacturing equipment materials, etc. The above aluminum nitride sintered bodies are manufactured by adding sintering aids such as yttrium oxide to aluminum nitride powder as necessary, forming the material using an organic binder, and then degreasing and sintering the material at normal pressure or under pressure.
ところで、一般的な窒化アルミニウム粉末の工業的な製法として、酸化アルミニウム粉末とカーボン粉末の混合粉末を窒素中で高温に加熱する還元窒化法、金属アルミニウムと窒素を高温で反応させる直接窒化法が知られている。 Generally, two industrial methods for producing aluminum nitride powder are known: the reduction nitridation method, in which a mixture of aluminum oxide powder and carbon powder is heated to high temperatures in nitrogen, and the direct nitridation method, in which metallic aluminum is reacted with nitrogen at high temperatures.
そのうち、還元窒化法により得られる窒化アルミニウム粉末は、直接窒化法により得られる窒化アルミニウム粉末と比較して、平均粒子径が１μｍ程度で粗大粒子が少ない上に粒子形状も球に近く高純度であるため、成形性、焼結性に優れており、焼結体としたときには高い熱伝導率を得やすい特徴がある。 Among these, aluminum nitride powder obtained by the reduction nitridation method has an average particle size of about 1 μm, fewer coarse particles, and a particle shape close to sphere, and is highly pure, so it has excellent moldability and sinterability, and when made into a sintered body, it is characterized by being easy to obtain high thermal conductivity.
しかしながら、還元窒化法は、カーボンと酸化アルミニウムと混合処理や残ったカーボンの脱炭処理が必要となる。そのため、原料コスト及びエネルギーコストの点で有利な直接窒化法により、還元窒化法と同等の窒化アルミニウム粉末を製造できる方法が望まれていた。 However, the reduction nitridation method requires mixing the carbon and aluminum oxide and decarburizing the remaining carbon. Therefore, there has been a demand for a direct nitridation method that is advantageous in terms of raw material and energy costs and can produce aluminum nitride powder equivalent to that produced by the reduction nitridation method.
かかる窒化アルミニウム粉末を得ることができる直接窒化法として燃焼合成法が知られている。この方法は、窒素雰囲気中で金属アルミニウムよりなる原料粉体層の一部に着火し、以下の反応によって生じる反応熱を上記粉体層に伝播させ、これによって窒化反応を進行させて窒化アルミニウムを合成する方法である。 The combustion synthesis method is known as a direct nitriding method that can obtain such aluminum nitride powder. In this method, a part of a raw powder layer made of metallic aluminum is ignited in a nitrogen atmosphere, and the reaction heat generated by the following reaction is transmitted to the powder layer, thereby progressing the nitriding reaction and synthesizing aluminum nitride.
Ａｌ＋１／２Ｎ2 → ＡｌＮ－ΔＨ0
反応式中〔－ΔＨ0〕＝３２０ＫＪ／ｍｏｌであり、この発熱が燃焼合成反応の駆動力となる。
Al+1/2N 2 → AlN−ΔH 0
In the reaction formula, [-ΔH 0 ]=320 KJ/mol, and this heat generation becomes the driving force for the combustion synthesis reaction.
上記方法によれば、得られる窒化アルミニウムは軽く粉砕することにより、窒化アルミニウム粉末まで解砕することが可能であり、しかも、還元窒化法のカーボンの除去工程も不要であり、低コストで目的とする窒化アルミニウム粉末を製造することができる。このような金属アルミニウムの燃焼合成法による窒化アルミニウムの製造方法としては、たとえば、特開平７－３０９６１１号公報（特許文献１）、特開２０００－１６８０５号公報（特許文献２）が知られている。これらの特許文献には、金属アルミニウムとともに、窒化アルミニウム粉末を希釈剤と添加して、燃焼合成法を行うことが開示されている。 According to the above method, the aluminum nitride obtained can be lightly crushed to disintegrate it into aluminum nitride powder, and the carbon removal step required in the reduction nitridation method is not required, making it possible to produce the desired aluminum nitride powder at low cost. Examples of methods for producing aluminum nitride using this combustion synthesis method of metallic aluminum are known from JP-A-7-309611 (Patent Document 1) and JP-A-2000-16805 (Patent Document 2). These patent documents disclose the addition of aluminum nitride powder and a diluent to metallic aluminum, and the combustion synthesis method is carried out.
ところが、上記燃焼合成法は、原料粉末を充填した、上面が解放された容器よりなる反応用治具を一段、或いは複数段間隔を開けて積層した状態で密閉容器内に収納して反応が行われるため、原料の金属アルミニウムの純度において、著しく制約を受けるという問題を有する。例えば、原料金属アルミニウムとして、鉄（Ｆｅ）とケイ素（Ｓｉ）を多く含む低品位の金属アルミニウム粉末を使用した場合、得られる窒化アルミニウム粉末の品質に影響を与えるという問題を有する。具体的には、ケイ素は、得られる窒化アルミニウム粉末を焼結した際、焼結体の熱伝導率を大きく低下させることを確認した。また、鉄は増加しても、熱伝導率への影響は少ないものの、窒化アルミニウム粉末を焼成したときに黒化するため、焼結体の外観が悪くなるという問題も懸念される。 However, the combustion synthesis method described above has a problem that the purity of the raw material aluminum metal is significantly restricted because the reaction is carried out in a sealed container in which a reaction jig consisting of a container with an open top filled with raw material powder is stacked in one or more stages with gaps between them. For example, when low-quality metallic aluminum powder containing a large amount of iron (Fe) and silicon (Si) is used as the raw material metallic aluminum, the quality of the resulting aluminum nitride powder is affected. Specifically, it has been confirmed that silicon significantly reduces the thermal conductivity of the sintered body when the resulting aluminum nitride powder is sintered. Also, even if the amount of iron is increased, it has little effect on the thermal conductivity, but there is a concern that the aluminum nitride powder will turn black when sintered, thereby worsening the appearance of the sintered body.
従って、本発明は、燃焼合成法により窒化アルミニウムを製造するに際し、低品位の金属アルミニウムを用いた場合でも、原料中に含まれるケイ素や鉄などの不純物成分が得られる窒化アルミニウム粉末に残存する量を低下させて、高純度の金属アルミニウムを用いた場合と同レベルに高純度の窒化アルミニウム粉末を製造できる製造装置を提供することを課題とする。 The objective of the present invention is to provide a manufacturing apparatus that can produce aluminum nitride powder of high purity at the same level as when high-purity metallic aluminum is used, by reducing the amount of impurity components such as silicon and iron contained in the raw material remaining in the resulting aluminum nitride powder, even when low-grade metallic aluminum is used when producing aluminum nitride by combustion synthesis.
本発明者は、従来技術の問題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、燃焼合成法による窒化アルミニウムの製造装置において、原料中に含まれるケイ素や鉄などの不純物成分は化合物として気化して雰囲気ガス中に存在するという知見を得、上記雰囲気ガスを密閉容器内で循環させることで、前記反応用治具に充填された粉末を覆う、気化した不純物の濃度が高い雰囲気ガスが移動し、かかる雰囲気ガス中に含まれる不純物濃度が低下することにより、生成する窒化アルミニウム粉末に残存する不純物量を効果的に低減することができ、これにより高純度の窒化アルミニウム粉末を製造できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of extensive research into the problems of the prior art, the inventors discovered that in an aluminum nitride manufacturing apparatus using combustion synthesis, impurity components such as silicon and iron contained in the raw materials are vaporized as compounds and present in the atmospheric gas. They discovered that by circulating the atmospheric gas in a sealed container, the atmospheric gas containing a high concentration of vaporized impurities that covers the powder filled in the reaction jig moves, reducing the impurity concentration contained in the atmospheric gas, effectively reducing the amount of impurities remaining in the aluminum nitride powder produced, and thus producing high-purity aluminum nitride powder, which led to the completion of the present invention.
すなわち、本発明に係る窒化アルミニウム製造装置は、
金属アルミニウム粉末を含む原料粉末に着火し、該金属アルミニウム粉末の窒化燃焼熱を原料粉末全般に伝播させることにより窒化アルミニウムを合成するための装置であって、
窒素を供給するための配管を接続した密閉容器よりなる反応容器本体内に、
前記原料粉末を充填するための、上面が解放された容器よりなる反応用治具と、
前記原料粉末に着火するための着火装置と、
前記反応容器本体内の雰囲気ガスを循環せしめる循環機構とを備える。
That is, the aluminum nitride manufacturing apparatus according to the present invention has the following features:
An apparatus for synthesizing aluminum nitride by igniting raw material powder including metallic aluminum powder and propagating the nitriding combustion heat of the metallic aluminum powder throughout the raw material powder, comprising:
In a reaction vessel body consisting of a sealed vessel connected to a pipe for supplying nitrogen,
a reaction jig consisting of a container with an open top for filling the raw material powder;
an ignition device for igniting the raw material powder;
and a circulation mechanism for circulating the atmospheric gas within the reaction vessel body.
更に、窒化アルミニウム製造装置は、前記反応容器本体内を循環する雰囲気ガスの一部を冷却する冷却部を備えることが、気化した不純物を冷却部で補足し、雰囲気ガス中の不純物濃度を一層低減することができるため好ましい。 Furthermore, it is preferable that the aluminum nitride manufacturing apparatus is provided with a cooling section that cools a portion of the atmospheric gas circulating within the reaction vessel body, since this allows the vaporized impurities to be captured by the cooling section, thereby further reducing the impurity concentration in the atmospheric gas.
また、前記反応容器本体内に、平箱状の前記反応用治具を多段に積層して収容する場合、各反応用治具間に、ガスが流通可能な間隙を形成するように積層されることが好ましい。 In addition, when the flat box-shaped reaction jigs are stacked in multiple stages within the reaction vessel body, it is preferable that they are stacked so as to form gaps between each reaction jig through which gas can flow.
更に、前記循環機構は、反応容器本体の内壁と間隙をあけて反応用治具を囲む整流具を備え、整流具で囲まれた反応用治具上部空間に雰囲気ガスを流通させるファン機構よりなり、前記整流具で囲まれた反応用治具上部空間を通過した雰囲気ガスが、反応容器本体の内壁と整流具との間隙を経て循環するように構成されることが好ましい。 Furthermore, the circulation mechanism is preferably configured to include a straightener that surrounds the reaction jig with a gap between it and the inner wall of the reaction vessel body, and a fan mechanism that circulates the atmospheric gas through the upper space of the reaction jig surrounded by the straightener, and the atmospheric gas that passes through the upper space of the reaction jig surrounded by the straightener circulates through the gap between the inner wall of the reaction vessel body and the straightener.
本発明によれば、反応用治具に充填されている粉末を覆う雰囲気ガスが強制的に循環されるため、反応中に気化した不純物がかかる雰囲気に滞留して高濃度化する現象を防止でき、これにより気化する不純物量を増大でき、その結果、生成する窒化アルミニウム粉末に残存する不純物濃度を著しく低減することができる。そして、低品位の金属アルミニウムを用いて、高純度の窒化アルミニウム粉末を製造することが可能となり、燃焼合成法における経済的メリットを一層伸ばすことが可能となる。 According to the present invention, the atmospheric gas surrounding the powder filled in the reaction jig is forcibly circulated, which prevents impurities vaporized during the reaction from remaining in the atmosphere and becoming highly concentrated. This increases the amount of vaporized impurities, and as a result, the impurity concentration remaining in the aluminum nitride powder produced can be significantly reduced. This makes it possible to produce high-purity aluminum nitride powder using low-grade metallic aluminum, further enhancing the economic benefits of the combustion synthesis method.
以下本発明を図面により説明するが、かかる図面になんら限定されるものではない。
本発明に係る窒化アルミニウム製造装置は、
金属アルミニウム粉末を含む原料粉末に着火し、該金属アルミニウム粉末の窒化燃焼熱を原料粉末全般に伝播させることにより窒化アルミニウムを合成するための装置である。
The present invention will be described below with reference to the drawings, but is not limited to these drawings in any way.
The aluminum nitride manufacturing apparatus according to the present invention comprises:
This is an apparatus for synthesizing aluminum nitride by igniting raw material powder including metallic aluminum powder and propagating the heat of nitriding combustion of the metallic aluminum powder throughout the raw material powder.
本発明の製造装置の概略断面図および斜視図を図１に示す。図中、矢印方向はガスが循環する方向を表している。
本発明の製造装置は、反応容器１、反応用治具２、着火装置３、および循環機構４を備える。また、必要に応じて、棚５、整流板６、冷却部７、フード部材８を備えていてもよい。
A schematic cross-sectional view and a perspective view of the production apparatus of the present invention are shown in Figure 1. In the figure, the arrow direction indicates the direction in which gas circulates.
The production apparatus of the present invention includes a reaction vessel 1, a reaction jig 2, an ignition device 3, and a circulation mechanism 4. In addition, the apparatus may include a shelf 5, a baffle plate 6, a cooling section 7, and a hood member 8, as necessary.
反応容器１は、容器内を窒素置換、必要に応じて窒素加圧（一般には、ゲージ圧で５気圧以下）するための配管設備を備えた密閉容器よりなる構成される。上記配管設備は、反応容器のいずれかの部位に設けられていればよい。反応容器１は、窒化アルミニウムの生成反応時の輻射熱に耐え得る構造を有するものであれば特に制限されず、鉄、ステンレス鋼などの構造材により形成された耐圧性のケーシングの内面に、炭素材料、アルミナ、ジルコニア等の耐熱部材よりなる内張がされた構造、或いは、上記ケーシングに水冷などによる冷却用ジャケットを配した構造が好適に採用される。さらに、反応容器１には、内部の圧力を調整するために、圧力調整弁が設けられていてもよく、また、反応をモニタリングするための、高温および高圧に耐えられる複数の石英ガラス窓が穿設されて設置されていてもよい。 The reaction vessel 1 is a sealed vessel equipped with piping equipment for replacing the inside of the vessel with nitrogen and pressurizing it with nitrogen (generally to a gauge pressure of 5 atmospheres or less) as necessary. The piping equipment may be provided at any part of the reaction vessel. The reaction vessel 1 is not particularly limited as long as it has a structure that can withstand the radiant heat during the aluminum nitride production reaction. A structure in which the inner surface of a pressure-resistant casing made of a structural material such as iron or stainless steel is lined with a heat-resistant material such as carbon material, alumina, or zirconia, or a structure in which a cooling jacket for water cooling or the like is provided on the casing is preferably used. Furthermore, the reaction vessel 1 may be provided with a pressure adjustment valve to adjust the internal pressure, and may also be provided with multiple quartz glass windows that can withstand high temperatures and high pressures for monitoring the reaction.
また、反応容器１の形状は特に制限されないが、図に示すように、筒状であることが耐圧性の面より好ましい。筒状は特に制限ないが、円筒ないし四角筒状であることが棚５の設置などの観点で望ましい。また、前記反応容器１の本体内に、原料粉末を充填するための、上面が解放された容器よりなる反応用治具２が収容される。上記反応用治具の収容、取出のための構造も特に制限されるものではないが、図１に示すように、反応容器１を横方向に分割し、分割された反応容器の一方に反応用治具を保持する保持構造、例えば棚構造を設ける態様、図には記載していないが、反応容器の前面に扉を設けて反応用治具を収納、取出可能とした態様も挙げられる。この場合、反応用治具の保持は、例えば、反応容器の載置する棚５を設けて反応用治具を保持する構造が好適である。反応用治具２は単段で保持されていてもよいが、反応効率などの点で、反応容器内に2段以上の多段で保持されていることが好ましい。棚５を構成する材料は、熱変形しない材質であれば特に制限されず、例えばステンレス（SUS）製のものが挙げられる。 The shape of the reaction vessel 1 is not particularly limited, but as shown in the figure, it is preferable that it is cylindrical in terms of pressure resistance. Although there is no particular limit to the cylindrical shape, it is preferable that it is cylindrical or square in terms of the installation of the shelf 5. In addition, a reaction jig 2 consisting of a container with an open top for filling raw material powder is accommodated in the main body of the reaction vessel 1. The structure for accommodating and removing the reaction jig is also not particularly limited, but as shown in FIG. 1, the reaction vessel 1 is divided horizontally, and one of the divided reaction vessels has a holding structure for holding the reaction jig, for example, a shelf structure, and although not shown in the figure, a door is provided on the front of the reaction vessel to store and remove the reaction jig. In this case, the reaction jig is preferably held by a structure in which, for example, a shelf 5 on which the reaction vessel is placed is provided to hold the reaction jig. The reaction jig 2 may be held in a single stage, but in terms of reaction efficiency, it is preferable that it is held in multiple stages of two or more stages in the reaction vessel. There are no particular limitations on the material that makes up the shelf 5, as long as it is a material that does not deform due to heat, and an example of this is stainless steel (SUS).
また、上記反応用治具の保持構造において、反応用治具を多段に積層して設ける場合、各反応用治具の間にガスが流通可能な間隙が形成されるように構成することが好ましい。
本発明において、原料粉末は上記反応用治具２に収容される。
In addition, in the above-mentioned reaction device holding structure, when the reaction devices are stacked in multiple stages, it is preferable to configure the reaction devices so that gaps through which gas can flow are formed between the reaction devices.
In the present invention, the raw material powder is contained in the reaction jig 2 .
上記反応用治具２は、上面が開放された平箱状容器からなり、通常カーボン製、アルミナ製、または窒化アルミニウム製である。上記反応用治具２の形状は、平面図において正方形或いは長方形の形状が一般的である。また、大きさは特に制限されないが、工業的には、０．３ｍ2以上、好ましくは、５ｍ2以上の面積を有することが好ましく、高さは前記原料粉末の充填厚み（一般には、１０～５０ｍｍ）を勘案して適宜決定される。 The reaction jig 2 is a flat box-shaped container with an open top, and is usually made of carbon, alumina, or aluminum nitride. The shape of the reaction jig 2 is generally a square or rectangular shape in plan view. The size is not particularly limited, but industrially, it is preferable for the area to be 0.3 m2 or more, preferably 5 m2 or more, and the height is appropriately determined taking into consideration the filling thickness of the raw material powder (generally 10 to 50 mm).
また、原料粉末として用いる金属アルミニウム粉末は、公知のもの又は市販品をそのまま用いることができる。また、その製法も特に制限されず、いずれの製造方法によって得られたものも使用することができる。金属アルミニウム粉末の純度は、特に制限されないが、本発明の製造装置を使用すれば従来使用困難であった、低品位の金属アルミニウムを用いることも可能である。低品位の金属アルミニウムには不純物として、ケイ素や鉄が含まれている。これら不純物の含量は特に制限されないが、例えば、ケイ素が酸化物換算で０．２質量％以上含まれる金属アルミニウム粉末原料でも使用可能であるが、上限は０．５質量％以下とすることが好ましい。 The metallic aluminum powder used as the raw powder may be a known or commercially available product. There is no particular restriction on the manufacturing method, and any manufacturing method may be used. The purity of the metallic aluminum powder is not particularly limited, but the manufacturing apparatus of the present invention makes it possible to use low-grade metallic aluminum, which has been difficult to use in the past. Low-grade metallic aluminum contains silicon and iron as impurities. There is no particular restriction on the content of these impurities, but for example, metallic aluminum powder raw material containing 0.2 mass% or more of silicon in oxide equivalent can be used, but the upper limit is preferably 0.5 mass% or less.
また、前記金属アルミニウム粉末の平均粒子径は、通常１～５０μｍであり、好ましくは２～２５μｍであるものが望ましい。平均粒子径の大きな金属アルミニウム粉末を使用すると、解れにくい大粒子径の窒化アルミニウム粉末が多く残存することがあり、平均粒子径が小さいものは、ハンドリング性が低く、金属が酸化されやすい。更に、前記金属アルミニウム粉末は、必要に応じて、前記金属アルミニウム粉末と共に、希釈剤として窒化アルミニウム粉末を配合されてもよい。 The average particle size of the metallic aluminum powder is usually 1 to 50 μm, and preferably 2 to 25 μm. If metallic aluminum powder with a large average particle size is used, a large amount of aluminum nitride powder with a large particle size that is difficult to dissolve may remain, while powder with a small average particle size is difficult to handle and the metal is easily oxidized. Furthermore, the metallic aluminum powder may be mixed with aluminum nitride powder as a diluent together with the metallic aluminum powder as necessary.
上記金属アルミニウム粉末と窒化アルミニウム粉末との混合比は、反応の制御が可能であり、その比率は金属アルミニウム粉末１００質量部に対して窒化アルミニウム粉末が１５０～４００質量部、好ましくは２００～３５０質量部の割合で混合することが望ましい。この比率で混合すると、前記平均一次粒子径の特定と相まって反応の制御が十分行われ、解砕が容易な窒化アルミニウム塊を得ることができ、また生産効率を高くすることができる。 The mixing ratio of the above-mentioned metallic aluminum powder and aluminum nitride powder allows for reaction control, and it is desirable to mix the aluminum nitride powder at a ratio of 150 to 400 parts by mass, preferably 200 to 350 parts by mass, per 100 parts by mass of metallic aluminum powder. Mixing at this ratio, combined with specifying the average primary particle size, allows for sufficient reaction control, making it possible to obtain aluminum nitride chunks that are easy to crush, and also improving production efficiency.
本発明において、反応容器１に収容される反応用治具２に、充填された原料粉末に着火して燃焼合成反応を開始せしめるための着火装置３が設けられる。着火装置は、原料粉末の金属アルミニウム粉末の一部に着火、即ち、窒化反応を起こす温度に加熱できるように構成されていればその態様は特に制限されない。着火装置３としては、通電により発熱する材質、具体的には、タングステン、黒鉛等の抵抗体を原料粉末に埋設し、これに反応容器外部より通電を行うようにした構造が好適である。前記したように、反応用治具を複数段配する態様においては、各反応用治具毎に着火装置が設けられる。他の着火装置としては、レーザー、赤外線、マイクロウェーブ等が挙げられ、反応用治具を収容する態様に応じて、適宜使用することができる。 In the present invention, the reaction jig 2 housed in the reaction vessel 1 is provided with an ignition device 3 for igniting the loaded raw material powder to initiate a combustion synthesis reaction. The ignition device is not particularly limited in its form as long as it is configured to ignite a part of the metallic aluminum powder of the raw material powder, i.e., to heat it to a temperature at which a nitriding reaction occurs. The ignition device 3 is preferably a structure in which a material that generates heat when electricity is applied, specifically a resistor such as tungsten or graphite, is embedded in the raw material powder and electricity is applied to it from outside the reaction vessel. As described above, in an embodiment in which the reaction jigs are arranged in multiple stages, an ignition device is provided for each reaction jig. Other ignition devices include lasers, infrared rays, microwaves, etc., and can be used appropriately depending on the embodiment in which the reaction jigs are housed.
本発明の最大の特徴は、前記反応容器１本体内の雰囲気ガスを循環せしめる循環機構４を備えることにある。循環機構４により反応容器１内のガスを積極的に移動させることが可能となり、反応用治具２に充填された原料粉末の燃焼合成反応が進行すると共に発生する揮発性物質が、上記粉末表面に高濃度で存在する状態を解消し、反応用治具内の粉末からより多くの揮発性物質を揮散させることができる。これにより、原料粉末にケイ素等の不純物が含まれている場合に、反応により得られる生成物である窒化アルミニウムの純度をより高くすることを可能とする。 The greatest feature of the present invention is that it is equipped with a circulation mechanism 4 that circulates the atmospheric gas within the main body of the reaction vessel 1. The circulation mechanism 4 makes it possible to actively move the gas within the reaction vessel 1, eliminating the condition in which volatile substances generated as the combustion synthesis reaction of the raw material powder filled in the reaction jig 2 progresses are present in high concentrations on the surface of the powder, and allowing more volatile substances to volatilize from the powder within the reaction jig. This makes it possible to increase the purity of the aluminum nitride, which is the product of the reaction, when the raw material powder contains impurities such as silicon.
本発明において、循環機構４は、前記機能を有するものであれば特に制限されないが、一般には、図１に示すように、対流ファンを設けるのが一般的である。対流ファンは、反応容器１の一端に取り付けることが好ましく、具体的には、軸シールにより羽の部分を反応容器内に存在させ、駆動用のモーターは外部に設けることが好ましい。また必要に応じて、循環効率を向上させる目的で、フード部材８を備えていてもよい。循環機構４やフード部材８は耐熱性があれば特に制限されず、たとえばSUS製のものが使用される。 In the present invention, the circulation mechanism 4 is not particularly limited as long as it has the above-mentioned functions, but generally, as shown in FIG. 1, a convection fan is provided. The convection fan is preferably attached to one end of the reaction vessel 1, and specifically, it is preferable that the blade portion is present inside the reaction vessel by a shaft seal, and the driving motor is provided externally. If necessary, a hood member 8 may be provided to improve circulation efficiency. There are no particular limitations on the circulation mechanism 4 and hood member 8 as long as they are heat resistant, and for example, SUS members are used.
また、反応用治具を多段に積層して設ける態様においては、反応用治具の間隙に、ファンによる循環を効率的に行うため、反応容器本体の内壁と間隙をあけて反応用治具を囲む整流具を備え、整流具によって囲まれた反応用治具上部空間に雰囲気ガスを流通させることが好ましい。整流具としては、積層した反応用治具２の両側面に整流板６を設けることが好ましい。また、最上段の反応用治具２の上面に整流板を設けてもよい。なお整流板６は前記棚５に設けられていてもよい。整流板５の材質も特に制限されず、たとえばSUS製のものなどが挙げられる。 In addition, in an embodiment in which reaction jigs are stacked in multiple stages, in order to efficiently circulate the reaction jigs by a fan in the gaps between the reaction jigs, it is preferable to provide a flow straightener that surrounds the reaction jigs with a gap between the inner wall of the reaction vessel body and circulates the atmospheric gas in the space above the reaction jigs surrounded by the flow straightener. As the flow straightener, it is preferable to provide flow straightener plates 6 on both sides of the stacked reaction jigs 2. In addition, a flow straightener plate may be provided on the upper surface of the uppermost reaction jig 2. The flow straightener plate 6 may be provided on the shelf 5. The material of the flow straightener plate 5 is not particularly limited, and examples thereof include SUS.
整流具で囲まれた反応用治具上部空間を通過した雰囲気ガスが、反応容器本体の内壁と整流具との間隙を経て循環するように構成される。
循環機構４による雰囲気ガスの循環は、反応用治具２における燃焼合成反応を反応用治具内の粉末が飛散しない程度の流速に調整されることが好ましく、具体的には、反応用治具に存在する粉末の表面における流速が１～５ｍ／秒程度となるように行われる。また、雰囲気ガスを循環させる方向は特に制限されず、図に示すように対流ファンに向かって吸引する方向でもよいし、対流ファンから送風する方向でもよい。また、上記循環方向を一定時間毎に切り替えてもよい。
The atmospheric gas passing through the upper space of the reaction jig surrounded by the flow straightener is configured to circulate through the gap between the inner wall of the reaction vessel body and the flow straightener.
The circulation of the atmospheric gas by the circulation mechanism 4 is preferably adjusted to a flow rate at which the powder in the reaction jig 2 does not scatter during the combustion synthesis reaction, specifically, the flow rate on the surface of the powder present in the reaction jig is about 1 to 5 m/sec. The direction in which the atmospheric gas is circulated is not particularly limited, and may be a direction in which the atmospheric gas is sucked toward the convection fan as shown in the figure, or a direction in which the atmospheric gas is blown from the convection fan. The circulation direction may be switched at regular intervals.
本発明において、反応中に揮発するケイ素等の不純物成分は、雰囲気ガスに希釈されて存在するが、かかる雰囲気ガスに含まれる不純物成分の一部を循環機構４により反応容器１内で凝縮せしめ、雰囲気ガスより取り除くことは、反応用治具で反応中の粉体からの不純物成分の除去を一層促進することができ好ましい。上記凝縮は、反応容器１本体内に冷却部７を設け、循環する雰囲気ガスを上記冷却部に接触させることにより行うことが好ましい。これにより、気化した不純物成分は、冷却部に凝縮し、雰囲気ガスより除去される。冷却部を設ける態様としては、例えば、反応容器１の内壁の一部に水冷ジャケットを設けて冷却する態様が挙げられる。また、前記反応容器１の構造において、外部に水冷ジャケットを設ける構造においては、反応容器１の水冷ジャケットを設けた面が冷却部として機能する。また、他の態様として、反応容器１内部の任意の空間部に、熱交換機構を設けて冷却部を構成することも可能である。 In the present invention, impurity components such as silicon that volatilize during the reaction are present diluted in the atmospheric gas, but it is preferable to condense a portion of the impurity components contained in the atmospheric gas in the reaction vessel 1 by the circulation mechanism 4 and remove them from the atmospheric gas, since this further promotes the removal of the impurity components from the powder reacting in the reaction jig. The condensation is preferably performed by providing a cooling section 7 in the main body of the reaction vessel 1 and bringing the circulating atmospheric gas into contact with the cooling section. As a result, the vaporized impurity components are condensed in the cooling section and removed from the atmospheric gas. An example of a mode in which a cooling section is provided is a mode in which a water-cooled jacket is provided on a part of the inner wall of the reaction vessel 1 for cooling. In addition, in the structure of the reaction vessel 1, in a structure in which a water-cooled jacket is provided on the outside, the surface of the reaction vessel 1 on which the water-cooled jacket is provided functions as the cooling section. In another embodiment, a heat exchange mechanism can be provided in any space inside the reaction vessel 1 to form a cooling section.
本発明において、反応容器１には、必要に応じて、各種制御手段が設けられていてもよい。たとえば安全弁、逃がし弁、圧力計、赤外線温度計などが挙げられる。安全弁は、緊急時に反応容器内の気体（窒素ガス）を排出することにより内圧を所定範囲（安全作業の範囲内）までに下げるためのものである。逃がし弁は、反応時の必要な時に反応容器内の気体をある程度排出し、または、反応終了時に反応容器内の気体を内圧が常圧に復帰するまで排出するためのものである。また、圧力計は、内圧を測定するためのものである。赤外線温度計は、反応容器内の温度変化を測定して記録するためのものであり、石英ガラス窓に嵌装されて使用される。さらにまた、制御手段は、モニターシステムを具備して、反応期間に亘って反応の変化状態をモニターする。 In the present invention, the reaction vessel 1 may be provided with various control means as necessary. Examples include a safety valve, a relief valve, a pressure gauge, and an infrared thermometer. The safety valve is for lowering the internal pressure to a predetermined range (within the range of safe operation) by discharging the gas (nitrogen gas) in the reaction vessel in an emergency. The relief valve is for discharging a certain amount of gas in the reaction vessel when necessary during the reaction, or for discharging the gas in the reaction vessel at the end of the reaction until the internal pressure returns to normal pressure. The pressure gauge is for measuring the internal pressure. The infrared thermometer is for measuring and recording the temperature change in the reaction vessel, and is fitted into the quartz glass window for use. Furthermore, the control means is equipped with a monitor system to monitor the change in the reaction state over the reaction period.
本発明において、反応終了後、反応容器１から、反応用治具２内の製造された窒化アルミニウム粉末が常温又はそれより低い温度まで冷却してから、反応用治具を取り出し、窒化アルミニウム粉末を回収する。 In the present invention, after the reaction is completed, the aluminum nitride powder produced in the reaction jig 2 is cooled to room temperature or a lower temperature from the reaction vessel 1, the reaction jig is removed, and the aluminum nitride powder is recovered.
以下、実施例により本発明の具体的な態様の一例を示すが、本発明はこの実施例に何ら限定されない。
実施例１
前記図１に示す装置を用いて、金属アルミニウム粉末の燃焼合成反応を行った。即ち、装置は、窒素を供給するための配管を接続した（図示せず）密閉容器よりなる反応容器１本体内に、上面が解放し、内寸で６００ｍｍ×１０００ｍｍ×５０ｍｍの直方形のカーボン製の箱よりなる反応用治具２をSUS製の棚に、５０ｍｍの間隔を開けて４段セットした。上記反応用治具２には、充填される原料粉末に着火するための着火装置３がそれぞれ設けられ、外部から着火操作ができるようにした。また、反応容器１内において、前記棚の一方の側部に循環機構４として、フード部材８付きで、高圧軸シールが可能なファンを取り付けた。更に、棚５の両側部には、上記ファンによる雰囲気ガスの循環を効率よく行うための整流板６を設けた。
Hereinafter, one example of a specific embodiment of the present invention will be described with reference to an example, but the present invention is not limited to this example in any way.
Example 1
The combustion synthesis reaction of metallic aluminum powder was carried out using the apparatus shown in FIG. 1. That is, in the apparatus, reaction jigs 2, which are rectangular carbon boxes with an open top and inner dimensions of 600 mm×1000 mm×50 mm, were set on a SUS shelf in four stages at intervals of 50 mm in a reaction vessel 1 body made of a sealed vessel connected to a pipe for supplying nitrogen (not shown). Each reaction jig 2 was provided with an ignition device 3 for igniting the raw material powder to be filled, so that ignition operation could be performed from the outside. In addition, in the reaction vessel 1, a fan with a hood member 8 and capable of high-pressure shaft sealing was attached as a circulation mechanism 4 to one side of the shelf. Furthermore, a straightening plate 6 was provided on both sides of the shelf 5 to efficiently circulate the atmospheric gas by the fan.
尚、本実施例においては、冷却部７を別途設けず、反応容器１の外壁に取り付けた（図示せず）冷却用ジャケットにより冷却された反応容器１の内壁（温度約２０℃）を冷却部として利用した。 In this embodiment, a separate cooling unit 7 was not provided, and the inner wall of the reaction vessel 1 (temperature: about 20°C) cooled by a cooling jacket (not shown) attached to the outer wall of the reaction vessel 1 was used as the cooling unit.
前記各反応用治具に、以下の組成よりなる原料粉末を５０ｍｍの厚みで充填し、反応容器１内に収容し、窒素置換を行った後、窒素圧を５気圧（ゲージ圧）に調整して着火装置３により着火を行った。 Each reaction jig was filled with raw material powder having the following composition to a thickness of 50 mm, placed in reaction vessel 1, and substituted with nitrogen. After that, the nitrogen pressure was adjusted to 5 atmospheres (gauge pressure) and ignited by ignition device 3.
[原料粉末]
・金属アルミニウム粉末： 平均粒子径１０μｍ、不純物ケイ素濃度 ０．０９質量％
・窒化アルミニウム（希釈剤）： 平均粒子径 １μｍ、不純物ケイ素濃度 ０．００２質量％
・組成：金属アルミニウム粉末１００質量部、窒化アルミニウム粉末 ３００質量部
着火後、循環機構４のファンを起動し、図に示す循環流を形成した。循環流は、反応用治具間の流速が約４ｍ／秒となるように調整した。
[Raw powder]
Metallic aluminum powder: average particle size 10 μm, impurity silicon concentration 0.09 mass%
Aluminum nitride (diluent): average particle size 1 μm, impurity silicon concentration 0.002 mass%
Composition: 100 parts by mass of metallic aluminum powder, 300 parts by mass of aluminum nitride powder. After ignition, the fan of the circulation mechanism 4 was started to form a circulation flow as shown in the figure. The circulation flow was adjusted so that the flow rate between the reaction jigs was about 4 m/sec.
反応終了後、反応生成物である窒化アルミニウムを取り出し、ボールミルで粉砕し、窒化アルミニウム粉末とした。この粉末を再度希釈剤として使用して、同じ混合比で金属アルミニウム粉末と混合して反応を６回繰り返した。６回の反応後の粉末の不純物ケイ素濃度を測定した結果、０．０２質量％であった。 After the reaction was completed, the reaction product, aluminum nitride, was removed and pulverized in a ball mill to obtain aluminum nitride powder. This powder was used again as a diluent and mixed with metallic aluminum powder in the same ratio to repeat the reaction six times. The silicon impurity concentration of the powder after six reactions was measured and found to be 0.02% by mass.
また、比較のため、循環機構４を作動させずに同様に６回反応を繰り返して、得られる窒化アルミニウム粉末の不純物ケイ素濃度は、０．０４質量％であり、本発明の装置により、より高純度の窒化アルミニウム粉末が得られることを確認することができた。 For comparison, the reaction was repeated six times in the same manner without operating the circulation mechanism 4, and the impurity silicon concentration of the resulting aluminum nitride powder was 0.04 mass %, confirming that the apparatus of the present invention can produce aluminum nitride powder of higher purity.
１ 反応容器
２ 反応用治具
３ 着火装置
４ 循環機構
５ 棚
６ 整流板
７ 冷却部
８ フード部材
Reference Signs List 1 Reaction vessel 2 Reaction jig 3 Ignition device 4 Circulation mechanism 5 Shelf 6 Flow plate 7 Cooling section 8 Hood member
Claims (2)
窒素を供給するための配管を接続した密閉容器よりなる反応容器本体内に、
前記原料粉末を充填するための、上面が解放された容器よりなる反応用治具と、前記原料粉末に着火するための着火装置と、前記反応容器本体の内壁と間隙をあけて反応用治具を囲む整流具を備え、
整流具で囲まれた反応用治具上部空間に雰囲気ガスを流通させるファン機構よりなり、
前記整流具で囲まれた反応用治具上部空間を通過した雰囲気ガスが、反応容器本体の内壁と整流具との間隙を経て循環するように構成された循環機構と、前記反応容器本体内を循環する雰囲気ガスの一部を冷却する冷却部とを備える、窒化アルミニウム製造装置。 An apparatus for synthesizing aluminum nitride by igniting raw material powder including metallic aluminum powder and propagating the nitriding combustion heat of the metallic aluminum powder throughout the raw material powder, comprising:
In a reaction vessel body consisting of a sealed vessel connected to a pipe for supplying nitrogen,
a reaction jig consisting of a container with an open top for filling the raw material powder, an ignition device for igniting the raw material powder, and a flow straightener surrounding the reaction jig with a gap between the reaction jig and an inner wall of the reaction container body;
a fan mechanism for circulating an atmospheric gas in the space above the reaction jig surrounded by the flow straightener;
An aluminum nitride manufacturing apparatus comprising: a circulation mechanism configured so that the atmospheric gas that has passed through the upper space of the reaction jig surrounded by the flow straightener circulates through a gap between the inner wall of the reaction vessel body and the flow straightener; and a cooling section that cools a portion of the atmospheric gas circulating within the reaction vessel body .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020047730A JP7538609B2 (en) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | Aluminum nitride manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020047730A JP7538609B2 (en) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | Aluminum nitride manufacturing equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2021148350A JP2021148350A (en) | 2021-09-27 |
| JP7538609B2 true JP7538609B2 (en) | 2024-08-22 |
Family
ID=77848332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020047730A Active JP7538609B2 (en) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | Aluminum nitride manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7538609B2 (en) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3092267U (en) | 2001-10-04 | 2003-03-07 | 國立成功大學 | Reactor with movable lid and aluminum nitride production equipment |
| JP2003212521A (en) | 2001-11-13 | 2003-07-30 | Ibaraki Kenkyusho:Kk | Method of manufacturing aluminum nitride, aluminum nitride, nitriding furnace and tray for reaction |
-
2020
- 2020-03-18 JP JP2020047730A patent/JP7538609B2/en active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3092267U (en) | 2001-10-04 | 2003-03-07 | 國立成功大學 | Reactor with movable lid and aluminum nitride production equipment |
| JP2003212521A (en) | 2001-11-13 | 2003-07-30 | Ibaraki Kenkyusho:Kk | Method of manufacturing aluminum nitride, aluminum nitride, nitriding furnace and tray for reaction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2021148350A (en) | 2021-09-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Selvaduray et al. | Aluminium nitride: review of synthesis methods | |
| EP2088124A1 (en) | Process for producing trichlorosilane and apparatus for producing trichlorosilane | |
| KR20200127178A (en) | Method for producing silicon nitride powder | |
| Mukasyan | Combustion synthesis of silicon carbide | |
| US7939044B2 (en) | Method of manufacturing sub-micron silicon-carbide powder | |
| US5194234A (en) | Method for producing uniform, fine boron-containing ceramic powders | |
| JP7538609B2 (en) | Aluminum nitride manufacturing equipment | |
| JPH07144968A (en) | Method for converting silicon nitride from alpha phase to beta phase and apparatus for it | |
| JP4451671B2 (en) | SiO manufacturing method and manufacturing apparatus | |
| JP2011500495A (en) | Method and apparatus for producing silicon | |
| JPH01107089A (en) | High-purity internal lining for electric furnace | |
| JP2010506815A (en) | Aluminum nitride, aluminum nitride wafer and method for producing powder | |
| KR100386510B1 (en) | Method for Preparing Aluminum Nitride Powder by Self-propagating High-temperature Synthesis | |
| WO2022004754A1 (en) | Method for continuously producing silicon nitride sintered compact | |
| JP7312690B2 (en) | Method for producing metal nitride, and ignition agent compact | |
| Nersisyan et al. | Combustion based synthesis of AlN nanoparticles using a solid nitrogen promotion reaction | |
| JPH028964B2 (en) | ||
| WO2020241700A1 (en) | Silicon nitride powder and method for producing same, and method for producing silicon nitride sintered body | |
| JP7379142B2 (en) | Metal nitride manufacturing method, igniter and igniter molded body | |
| KR102475700B1 (en) | Preparation method of silicon powder, and preparation method of silicon nitride using the same | |
| WO2021112146A1 (en) | Method for producing metal nitride | |
| US5987053A (en) | High temperature air cooled vacuum furnace | |
| WO2024195299A1 (en) | Method for producing silicon nitride powder, and method for producing silicon nitride sintered body | |
| WO2021112145A1 (en) | Metal nitride prodcution method | |
| JP5033948B2 (en) | Method for producing aluminum nitride powder and method for producing aluminum nitride sintered body |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230221 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240227 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240305 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240430 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240730 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240809 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7538609 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |