JP7530124B1 - 非接触支持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
中心軸線が延びる軸線方向、及び前記軸線方向と直交する径方向に延びるボディを備え、
前記ボディの前記軸線方向における第1端部には、前記中心軸線を中心として環状をなすとともに、前記ワークに対向するワーク支持部が形成されており、
前記ボディのうち前記ワーク支持部よりも前記径方向における内側部分には、前記ワーク支持部に対して、前記ボディの前記軸線方向における第2端部側に凹む内側凹部が形成されており、
前記ボディのうち、前記軸線方向において前記内側凹部の底部よりも前記第2端部側には、気体が供給される供給通路部が形成されており、
前記ボディには、前記供給通路部と前記内側凹部の内周側とに連通され、前記内側凹部の内周側において旋回流を発生させるべく、前記軸線方向からみて前記径方向と交差する方向へ延びて前記内側凹部の内周面に対して鋭角となる方向へ気体を噴射する気体通路部が形成されており、
前記気体通路部は、前記鋭角となる角度が小さくなる方向へ湾曲して延びている。
なお、上記実施形態は、以下のように変更して実施してもよい。
Claims (4)
- ワーク(W)に対して気体を噴出することにより前記ワークを非接触状態で支持する非接触支持装置(10)において、
中心軸線(K)が延びる軸線方向、及び前記軸線方向と直交する径方向に延びるボディ(20,40)を備え、
前記ボディの前記軸線方向における第1端部には、前記中心軸線を中心として環状をなすとともに、前記ワークに対向するワーク支持部(21)が形成されており、
前記ボディのうち前記ワーク支持部よりも前記径方向における内側部分には、前記ワーク支持部に対して、前記ボディの前記軸線方向における第2端部側に凹む内側凹部(22)が形成されており、
前記ボディのうち、前記軸線方向において前記内側凹部の底部(23)よりも前記第2端部側には、気体が供給される供給通路部(50)が形成されており、
前記ボディには、前記供給通路部と前記内側凹部の内周側とに連通され、前記内側凹部の内周側において旋回流を発生させるべく、前記軸線方向からみて前記径方向と交差する方向へ延びて前記内側凹部の内周面に対して鋭角となる方向へ気体を噴射する気体通路部(52)が形成されており、
前記気体通路部は、前記鋭角となる角度が小さくなる方向へ湾曲して延びており、
前記気体通路部において前記供給通路部側から途中部分までの通路面積は徐々に小さくなっており、前記気体通路部において前記途中部分から出口までの通路面積は徐々に大きくなっている、非接触支持装置。 - 前記気体通路部において前記径方向の内側の壁面(51b)は、曲率半径(R)が徐々に大きくなるような滑らかな曲面である、請求項1に記載の非接触支持装置。
- 前記気体通路部において前記径方向の外側の壁面(51c)は、前記供給通路部から前記内側凹部に向かって直線状に延びている、請求項1又は2に記載の非接触支持装置。
- ワーク(W)に対して気体を噴出することにより前記ワークを非接触状態で支持する非接触支持装置(10)において、
中心軸線(K)が延びる軸線方向、及び前記軸線方向と直交する径方向に延びるボディ(20,40)を備え、
前記ボディの前記軸線方向における第1端部には、前記中心軸線を中心として環状をなすとともに、前記ワークに対向するワーク支持部(21)が形成されており、
前記ボディのうち前記ワーク支持部よりも前記径方向における内側部分には、前記ワーク支持部に対して、前記ボディの前記軸線方向における第2端部側に凹む内側凹部(22)が形成されており、
前記ボディのうち、前記軸線方向において前記内側凹部の底部(23)よりも前記第2端部側には、気体が供給される供給通路部(50)が形成されており、
前記ボディには、前記供給通路部と前記内側凹部の内周側とに連通され、前記内側凹部の内周側において旋回流を発生させるべく、前記軸線方向からみて前記径方向と交差する方向へ延びて前記内側凹部の内周面に対して鋭角となる方向へ気体を噴射する気体通路部(52)が形成されており、
前記気体通路部は、前記鋭角となる角度が小さくなる方向へ湾曲して延びており、
前記ボディとして、メインボディ(20)及びサブボディ(40)が備えられ、
前記メインボディの前記軸線方向における前記第1端部には、円環状をなす前記ワーク支持部が形成されており、
前記メインボディのうち前記ワーク支持部よりも前記径方向における内側部分には、前記内側凹部が形成されており、
前記メインボディのうち前記径方向において前記内側凹部の内側に隣接する部分には、前記内側凹部に対して、前記軸線方向における前記第2端部側に円柱状に凹む柱状凹部(30)が形成されており、
前記サブボディは、
前記中心軸線を中心として前記径方向の外側に延びる円板状をなす円板部(41)と、
前記円板部の中央部から前記軸線方向に延びるとともに、前記径方向の寸法が前記円板部の前記径方向の寸法よりも小さい大径部(42)と、
前記大径部の中央部から前記軸線方向に延びるとともに外形が円柱状をなし、前記径方向の寸法が前記大径部の前記径方向の寸法よりも小さい小径円柱部(43)と、
を有し、
前記柱状凹部の底部(31)に前記小径円柱部の前記軸線方向の端部が当接するとともに、前記大径部の外周面が前記柱状凹部の内周面に当接し、
前記柱状凹部、前記小径円柱部及び前記大径部で囲まれた円環状の空間が、前記供給通路部とされており、
前記円板部には、前記供給通路部側から前記円板部の側周面(41a)まで延びる溝部(51)が形成されており、
前記溝部は、前記軸線方向からみて前記径方向と交差する方向へ延びており、
前記溝部において前記径方向の内側の壁面(51b)は、前記気体通路部の出口側にいくほど曲率半径(R)が徐々に大きくなるような滑らかな曲面であり、
前記溝部及び前記メインボディによって前記気体通路部が形成されており、
前記サブボディの前記径方向の中央部には、前記円板部、前記大径部及び前記小径円柱部を前記軸線方向に貫通するボルト挿通孔(60)が形成されており、
前記サブボディのうち、前記円板部側の前記ボルト挿通孔の周縁部には、ボルト(70)の頭部(71)が当接する座面(61)が形成されており、
前記メインボディのうち前記サブボディと前記軸線方向に対向する部分における前記径方向の中央部には、前記ボルトの軸部(72)の雄ねじがねじ込まれる雌ねじ孔(62)が形成されており、
前記ボルトの頭部が前記座面に当接した状態で、前記ボルトの軸部の雄ねじが前記雌ねじ孔にねじ込まれている、非接触支持装置。
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WO2016140171A1 (ja) | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
JP2017124467A (ja) | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 株式会社ザイテック | 吸着器 |
JP2021130162A (ja) | 2020-02-19 | 2021-09-09 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
US20230110422A1 (en) | 2021-10-08 | 2023-04-13 | Smc Corporation | Lift device |
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- 2023-12-18 JP JP2023213301A patent/JP7530124B1/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006339234A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Murata Mach Ltd | 非接触保持装置 |
WO2016140171A1 (ja) | 2015-03-03 | 2016-09-09 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
JP2017124467A (ja) | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 株式会社ザイテック | 吸着器 |
JP2021130162A (ja) | 2020-02-19 | 2021-09-09 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
US20230110422A1 (en) | 2021-10-08 | 2023-04-13 | Smc Corporation | Lift device |
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