JP7507413B2 - 部品装着装置および部品装着システム - Google Patents

Description

本発明は、部品を基板に装着する部品装着装置および部品装着システムに関する。

部品装着装置は、テープフィーダなどの部品供給装置から部品を取り出して保持し、保持した部品を基板の装着位置に装着する部品装着部を備えている。部品装着部は、部品を保持するノズルを上下方向に昇降させる装着ヘッドと、装着ヘッドを水平方向に移動させる装着ヘッド移動機構を備えて構成されている。部品装着装置には、部品装着時に部品装着部が保持する部品を水平方向と上下方向に並行して移動させるアーチモーション動作を実行することで、装着時間を短縮するものが知られている（例えば、特許文献１）。

特許文献１に記載の部品装着装置（部品実装機）では、アーチモーション動作によって斜め方向に下降する部品が基板に装着済みの隣接部品に干渉しないように、高さの低い部品から順次装着するなど干渉が発生しない装着順序を予め決定し、決定された順序に従って部品を装着することでアーチモーション動作に起因する部品の干渉を回避して実装品質を維持しつつ、実装効率を向上させている。

特開２００６－２４５５３７号公報

しかしながら、特許文献１を含む従来技術では、装着順序を決定する際に部品を装着する基板の反りや部品の密集具合などを考慮していないため、予め決定した装着順序で部品を装着しても基板の反りや隣接部品の装着状態のばらつきなどに起因して装着済みの隣接部品に干渉することがあり、高い実装品質と高い実装効率を両立させるためにはさらなる改善の余地があった。

そこで本発明は、高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる部品装着装置および部品装着システムを提供することを目的とする。

本発明の部品装着装置は、複数の部品を基板に装着する部品装着装置であって、部品を保持して基板の装着位置に装着する部品装着部と、前記部品装着部の動作を制御する制御部と、前記装着位置に関する位置情報および部品装着済み基板に装着された部品の装着状態に関する検査結果情報を取得する情報取得部と、前記位置情報および前記検査結果情報に基づいて、第１動作による部品の装着の可否を判断する装着判断部と、を備え、前記装着判断部によって前記第１動作による部品の装着が可能と判断された場合、前記制御部は前記第１動作によって前記部品を装着するように前記部品装着部を制御し、前記装着判断部によって前記第１動作による部品の装着が不可能と判断された場合、前記制御部は前記第１動作と異なる第２動作によって前記部品を装着するように前記部品装着部を制御し、前記第１動作は、前記部品装着部が保持する部品を水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作を含み、前記第２動作は、前記アーチモーション動作を含まず、前記基板は仮想的に分割された複数のエリアを有し、前記装着判断部によって前記複数のエリアのうちの一のエリア内に装着予定の全ての部品が前記第１動作による装着が可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内に装着予定の部品を前記第１動作によって装着するように前記部品装着部を制御し、前記装着判断部によって前記複数のエリアのうちの一のエリア内に装着予定のいずれかの部品が前記第１動作による装着が不可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内に装着予定の全ての部品を前記第２動作によって前記基板に装着するように前記部品装着部を制御する。

本発明の部品装着システムは、部品装着システムであって、請求項１から９のいずれか１項に記載の部品装着装置と、部品装着済み基板に装着された部品の装着状態を検査する検査装置と、を備える。

本発明によれば、高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

本発明の一実施の形態の部品装着システムの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の構成説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置の機能説明図 本発明の一実施の形態の検査装置により算出される部品の位置ずれ量の説明図 本発明の一実施の形態の部品装着システムの構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品装着システムが備える検査装置の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品装着システムで使用される位置情報の例を示す図 本発明の一実施の形態の部品装着システムにおいて設定される基板のエリアの例を示す説明図 本発明の一実施の形態の部品装着装置により部品が装着された部品装着済み基板の例を示す図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の一実施の形態の部品装着装置における第１動作による部品装着の例の工程説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）本発明の一実施の形態の部品装着装置における第２動作による部品装着の例の工程説明図 本発明の一実施の形態の部品装着システムにおける（ａ）アーチモーション段階情報の例を示す図（ｂ）アーチモーション段階を説明する図 本発明の一実施の形態の部品装着装置においてアーチモーション動作を含む装着動作で基板に部品を装着する際に隣接部品と干渉する例を説明する図 本発明の一実施の形態の部品装着システムで使用される（ａ）第１動作判断情報の例を示す図（ｂ）アーチモーション時間決定情報の例を示す図（ｃ）アーチモーション段階決定情報の例を示す図（ｄ）精密近接目標高さ決定情報の例を示す図 本発明の第１実施形態の部品装着方法のフロー図 本発明の第２実施形態の部品装着方法のフロー図 本発明の第３実施形態の部品装着方法のフロー図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品装着システム、部品装着装置、検査装置、管理装置の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図２、及び後述する一部では、水平面内で互いに直交する２軸方向として、基板搬送方向のＸ方向（図２における左右方向）、基板搬送方向に直交するＹ方向（図２における上下方向）が示される。図３、及び後述する一部では、水平面と直交する高さ方向としてＺ方向（図３における上下方向）が示される。Ｚ方向は、部品装着装置が水平面上に設置された場合の上下方向または直交方向である。図４、及び後述する一部では、Ｚ方向の軸（Ｚ軸）を回転軸とする回転の方向であるθ方向が示される。

まず図１を参照して、部品装着システム１の構成を説明する。部品装着システム１は、基板に部品を装着して実装基板を生産する機能を有している。部品装着システム１は、複数の部品装着装置Ｍ１～Ｍ３、検査装置Ｍ４を連結して構成されている。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３、検査装置Ｍ４は、通信ネットワーク２を介して管理装置３に接続されている。管理装置３は、部品装着システム１による実装基板の生産を総括管理し、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３が基板に部品を装着する部品装着作業を支援する。なお、部品装着システム１が備える部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は３台に限定されることなく、１台、２台でも、４台以上であってもよい。

次に図２、図３を参照して、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３の構成を説明する。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は同様の構成であり、ここでは部品装着装置Ｍ１について説明する。部品装着装置Ｍ１において、基台４の中央には、基板搬送機構５がＸ方向に設置されている。基板搬送機構５は、上流側から搬入された部品装着対象となる基板６をＸ方向へ搬送し、以下に説明する装着ヘッドによる装着作業位置に位置決めして保持する。また、基板搬送機構５は、部品装着作業が完了した基板６を下流側に搬出する。

図２において、基板搬送機構５の両側方（前後）には、それぞれ部品供給部７が設置されている。両側の部品供給部７にＸ方向に並列してテープフィーダ８が装着されている。テープフィーダ８は、部品を格納するポケットが形成されたキャリアテープを部品供給部７の外側から基板搬送機構５に向かう方向（テープ送り方向）にピッチ送りすることにより、装着ヘッドが部品をピックアップする部品取出し位置に部品を供給する。

基台４の上面におけるＸ方向の両端部には、リニア駆動機構を備えたＹ軸テーブル９が配置されている。Ｙ軸テーブル９には、同様にリニア機構を備えたビーム１０がＹ方向に移動自在に結合されている。ビーム１０には、装着ヘッド１１がＸ方向に移動自在に装着されている。装着ヘッド１１は、複数（ここでは４基）の保持ヘッド１２を備えた多連型ヘッドである。

図３において、それぞれの保持ヘッド１２の下端部には吸着面１３ａに部品Ｄを吸着して保持する吸着ノズル１３が装着されている。各保持ヘッド１２は、吸着ノズル１３を上下方向（垂直方向）に昇降させるノズル昇降機構１４と、吸着ノズル１３を垂直軸（Ｚ軸）回りにθ回転させるノズル回転機構（図示省略）を備えている。保持ヘッド１２は、吸着ノズル１３をノズル回転機構で所定の回転角度に回転させ、ノズル昇降機構１４でＺ方向の所定の実装高さに下降させて（矢印ａ）、吸着ノズル１３に保持する部品Ｄを基板６の上面６ａに実装する。

図２、図３において、Ｙ軸テーブル９およびビーム１０は、装着ヘッド１１を水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる装着ヘッド移動機構１５を構成する。装着ヘッド移動機構１５およびノズル昇降機構１４を備える装着ヘッド１１は、部品供給部７から部品Ｄを取り出して基板６の装着位置に装着する部品装着作業を実行する部品装着部１６を構成する。すなわち、部品装着部１６は、保持する部品Ｄを水平方向と垂直方向に移動させる機能を有している。部品装着作業において部品装着部１６は、部品供給部７から装着ヘッド１１が備える各吸着ノズル１３で所定の部品Ｄをそれぞれピックアップし、各吸着ノズル１３が保持する部品Ｄを基板６の装着位置に所定の回転角度で装着する一連のターンを繰り返す。

なお、装着ヘッド１１が備える保持ヘッド１２の数は、４基に限定されることはない。また、装着ヘッド１１は、複数の吸着ノズル１３を同心円状に配置したロータリー型ヘッドであってもよい。また、装着ヘッド１１が部品Ｄを保持する方法は、吸着ノズル１３による真空吸着に限定されることはなく、チャックで部品Ｄを把持する方法などであってもよい。

ここで図３を参照して、基板搬送機構５の詳細な構成について説明する。基板搬送機構５は、Ｘ方向に延伸する一対の板状部材１７の内側に、一対の搬送コンベア１８が設置されている。搬送コンベア１８は、図示省略するモータで駆動される搬送ベルトによって、基板６の両端を下方から支持してＸ方向に搬送する。一対の板状部材１７の上端には、それぞれ搬送コンベア１８の上方に張り出す押え板１９（図２も参照）が設置されている。押え板１９の下面と搬送コンベア１８の上面との間隔は、搬送コンベア１８によって搬送される基板６の厚さより広くなっている。

装着作業位置に搬送される基板６の下方には、シリンダ２０によって昇降する（矢印ｂ）下受け部材２１（図２も参照）が設置されている。基板搬送機構５は、基板６を装着作業位置に位置決めし、下受け部材２１を上昇させて基板６を搬送コンベア１８から持ち上げて基板６の両縁部を押え板１９の下面で上から押さえ込むことによって、基板６を装着作業位置に保持する（図３に示す状態）。基板搬送機構５は、基板６を搬送する際は、下受け部材２１を基板６の下面と干渉しない位置まで下降させる。

図２、図３において、ビーム１０には、ビーム１０の下面側に位置して装着ヘッド１１とともに一体的に移動する基板認識カメラ２２が装着されている。装着ヘッド１１が移動することにより、基板認識カメラ２２は基板搬送機構５の装着作業位置に位置決めされた基板６の上方に移動して、基板６に設けられた基板マーク（図示せず）を撮像して基板６の位置を認識する。

部品供給部７と基板搬送機構５との間には、部品認識カメラ２３が設置されている。部品認識カメラ２３は、部品供給部７から部品Ｄを取り出した装着ヘッド１１が部品認識カメラ２３の上方に位置した際に、吸着ノズル１３に保持された部品Ｄを下方から撮像する。装着ヘッド１１による部品Ｄの基板６への部品装着作業では、基板認識カメラ２２による基板６の認識結果と部品認識カメラ２３による部品Ｄの認識結果とを加味して補正が行われる。

図２において、部品装着装置Ｍ１の前面で作業者が作業する位置には、作業者が操作するタッチパネル２４が設置されている。タッチパネル２４は、その表示部に各種情報を表示し、また表示部に表示されるボタンなどを使って作業者がデータ入力や部品装着装置Ｍ１の操作を行う。

図１、図６において、検査装置Ｍ４は、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３によって部品Ｄが装着された基板６（以下、単に「部品装着済み基板６Ａ」と称する。）における部品Ｄの装着状態を検査して、部品Ｄの正規の装着位置からの位置ずれ量などを検出する。検査装置Ｍ４は、基板搬送機構６０、検査カメラＳ、カメラ移動機構６１を備えている。基板搬送機構６０は、上流側の部品装着装置Ｍ３から搬入された部品装着済み基板６ＡをＸ方向に搬送し、検査作業位置に位置決め保持する。カメラ移動機構６１は、検査カメラＳを水平方向（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させる。

検査カメラＳは、カメラ移動機構６１によって水平方向に移動して、検査作業位置に保持された部品装着済み基板６Ａの上面を上方から撮像し、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの有無や位置ずれなどの装着状態を検査する。検査装置Ｍ４により検査された部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報は、通信ネットワーク２を介して管理装置３、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信される。なお、検査装置Ｍ４は、必ずしも部品装着装置Ｍ３に連結されている必要はない。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３によって部品Ｄが装着された部品装着済み基板６Ａを、作業者や搬送ロボットによって検査装置Ｍ４に搬送するようにしてもよい。

ここで図４を参照して、検査結果情報に含まれる位置ずれ量の一例について説明する。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３において部品装着部１６は、保持した部品Ｄの所定位置（例えば、部品中心Ｃ）が基板６（部品装着済み基板６Ａ）の装着位置Ｐに一致するように部品Ｄを装着する。このとき、様々な要因で装着された部品Ｄの部品中心Ｃが装着位置Ｐに一致せずに、位置ずれすることがある。検査装置Ｍ４が備える位置ずれ量算出部６４（図６参照）は、検査カメラＳによって撮像された部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの撮像結果を画像処理して、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸ，Ｙ方向の位置ずれ量ΔＹ、θ方向の位置ずれ量Δθをそれぞれ算出する。

次に図５、図６を参照して、部品装着システム１の構成について説明する。部品装着システム１は、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３、検査装置Ｍ４および管理装置３を備えている。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は同様の構成であり、ここでは部品装着装置Ｍ１について説明する。部品装着装置Ｍ１が備える装着制御装置３０には、基板搬送機構５、下受け部材２１を昇降させるシリンダ２０、部品供給部７に装着されたテープフィーダ８、部品装着部１６を構成するノズル昇降機構１４および装着ヘッド移動機構１５、基板認識カメラ２２、部品認識カメラ２３、タッチパネル２４が接続されている。

装着制御装置３０は、搬送制御部３１、装着制御部３２、情報取得部３３、装着判断部３４、動作決定部３５、装着通信部３６、装着記憶部３７を備えている。装着記憶部３７は記憶装置であり、位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、検査結果情報４１、判断情報４２、装着動作情報４３、装着情報４４などを記憶している。装着通信部３６は通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して他の部品装着装置Ｍ２，Ｍ３、検査装置Ｍ４、管理装置３との間でデータの送受信を行う。

図５において、管理装置３は、管理処理部５０、管理記憶部５１、表示部５２、入力部５３、管理通信部５４などを備えている。表示部５２は液晶パネルなどの表示装置であり、各種データ、操作画面などを表示する。入力部５３は、キーボード、タッチパネル、マウスなどの入力装置であり、操作コマンドやデータ入力時に用いられる。管理通信部５４は通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して部品装着装置Ｍ１～Ｍ３、検査装置Ｍ４との間でデータの送受信を行う。

図６において、検査装置Ｍ４が備える検査制御装置６２には、基板搬送機構６０、カメラ移動機構６１、検査カメラＳが接続されている。検査制御装置６２は、検査制御部６３、位置ずれ量算出部６４、検査通信部６５、検査記憶部６６を備えている。検査記憶部６６は記憶装置であり、位置情報６７、部品情報６８、検査結果情報６９などを記憶している。検査通信部６５は通信インターフェースであり、通信ネットワーク２を介して部品装着装置Ｍ１～Ｍ３、管理装置３との間でデータの送受信を行う。

図５において、搬送制御部３１は、装着記憶部３７に記憶される各種情報に基づいて基板搬送機構５およびシリンダ２０を制御し、基板６を搬送させ、装着作業位置に位置決めして保持させる。装着制御部３２は、装着記憶部３７に記憶される各種情報に基づいてテープフィーダ８、部品装着部１６、基板認識カメラ２２、および部品認識カメラ２３を制御し、テープフィーダ８が供給する部品Ｄを装着作業位置に保持される基板６の装着位置に装着させる部品装着作業を実行する。すなわち、装着制御部３２は、部品装着部１６の動作を制御する制御部である。

図５において、位置情報３８には、部品Ｄを基板６に装着する装着位置に関する情報が含まれている。部品情報３９には、基板６に装着される部品Ｄの種類を特定する部品名毎に、部品Ｄのサイズ（縦、横、高さ）、電気的特性などが含まれている。ここで、図７を参照して位置情報３８の例について説明する。位置情報３８には、装着位置番号７０、装着位置座標７１、部品名７２、ＡＭ動作７３、ＡＭ実行時間７４、装着動作番号７５などの情報が含まれている。装着位置番号７０は、基板６における部品Ｄの装着位置Ｐを特定する情報である。図７には、装着位置番号７０が「Ｐ０１」～「Ｐ１０」の装着位置Ｐの情報が示されている。以下、装着位置番号７０が「Ｐ０１」の装着位置Ｐを、単に「装着位置Ｐ０１」などと称する（図９も参照）。

図７において、装着位置座標７１は、部品Ｄの装着位置Ｐの装着座標（ＸＹ座標）と装着方向（θ方向）を含む情報である。部品名７２は、その装着位置番号７０の装着位置Ｐに装着される部品Ｄの種類を特定する情報である。図７では、装着位置Ｐ０１、Ｐ０３～Ｐ０５、Ｐ０７～Ｐ１０には部品名７２が「Ｅ」の部品Ｄが、装着位置Ｐ０２には部品名７２が「Ｆ」の部品Ｄが、装着位置Ｐ０６には部品名７２が「Ｇ」の部品Ｄが指定されている。以下、部品名７２が「Ｅ」の部品Ｄを、単に「部品Ｅ」などと称する（図９も参照）。

ＡＭ動作７３には、部品装着部１６が保持する部品Ｄを水平方向（ＸＹ方向）と垂直方向（Ｚ方向）に並行して移動させるアーチモーション動作を含む装着動作で部品Ｄを装着するか（Ｙ）、アーチモーション動作を含まない装着動作で部品Ｄを装着するか（Ｎ）が指定されている。すなわちＡＭ動作７３が「Ｙ」の装着位置Ｐには後述するアーチモーション動作を含む第１動作で、ＡＭ動作７３が「Ｎ」の装着位置Ｐには後述するアーチモーション動作を含まない第２動作で部品Ｄが装着される。

図５において、基板情報４０には、基板６上に設けられた仮想的に分割された複数のエリアに関する情報が含まれている。ここで図８を参照して、基板６上に設けられた複数のエリアＡの例を説明する。この例では、矩形の基板６をＸ方向に４等分、Ｙ方向に４等分した、合計１６のエリアＡ１１～Ａ４４が設定されている。エリアＡは、基板６のサイズ、部品Ｄの装着密度、装着精度などを考慮し、基板種毎に設定されて基板情報４０に記憶されている。図９は、図６に示す位置情報３８に基づいて部品Ｄが装着された、部品装着済み基板６ＡのエリアＡ２３とエリアＡ３３を示している。この例では、装着位置Ｐ０１～Ｐ０５はエリアＡ２３内にあり、装着位置Ｐ０６～Ｐ１０はエリアＡ３３にある。

ここで図１０、図１１を参照して、第１動作と第２動作について説明する。図１０（ａ）～（ｃ）は、基板６の装着位置Ｐ１に装着済みの部品Ｄ１に隣接する装着位置Ｐ２に、部品装着部１６が備える吸着ノズル１３に保持した部品Ｄ２を第１動作で装着する工程を示している。図１０（ａ）において、部品装着部１６は、装着位置Ｐ２の上方の所定の近接位置Ｑまでの高速移動区間を、保持している部品Ｄ２を高速で水平方向に移動させる（矢印ｃ１）。

図１０（ｂ）において、部品装着部１６は、近接位置Ｑから装着位置Ｐ２の真上で部品Ｄ２の底面の高さ位置が基板６の上面６ａから精密近接目標高さｈ０になる着地前位置Ｒまでの精密接近区間を、保持している部品Ｄ２をアーチモーション動作で移動させる（矢印ｃ２）。すなわち装着制御部３２は、部品装着部１６の装着ヘッド移動機構１５とノズル昇降機構１４を同時に作動させ、吸着ノズル１３が保持している部品Ｄ２を水平方向と垂直方向に並行して移動（斜め方向に下降）させて、部品Ｄ２を精密近接目標高さｈ０まで下降させる。精密接近区間での移動速度は、例えば、高速移動区間での移動速度と同等である。あるいは、精密接近区間での移動速度は、高速移動区間での移動速度よりも遅くなるように設定してもよい。この場合、装着精度を向上させることができる。

図１０（ｃ）において、部品装着部１６は、部品Ｄ２の底面が着地前位置Ｒから装着位置Ｐ２に着地するまでの着地区間を、保持している部品Ｄ２を垂直方向に下降させる（矢印ｃ３）。その後、真空吸着を停止して部品Ｄ２を吸着ノズル１３から分離させ、部品装着部１６が吸着ノズル１３を上方に上昇させることで、部品Ｄ２が基板６に装着される。第１動作では、精密接近区間をアーチモーション動作により部品Ｄ２を移動させることで、装着時間を短縮することができる。

図１１（ａ）～（ｄ）は、基板６の装着位置Ｐ１に装着済みの部品Ｄ１に隣接する装着位置Ｐ２に、部品装着部１６が備える吸着ノズル１３に保持した部品Ｄ２を第２動作で装着する工程を示している。図１１（ａ）において、高速移動区間において部品装着部１６が保持している部品Ｄ２を近接位置Ｑまで高速で水平方向に移動させる（矢印ｄ１）ところは第１動作と同様である。第２動作では、精密接近区間において部品装着部１６がアーチモーション動作を含まずに、保持する部品Ｄ２を着地前位置Ｒまで移動させるところが第１動作と異なる。

すなわち、精密接近区間において部品装着部１６は、保持する部品Ｄ２を水平方向に装着位置Ｐ２の真上まで移動させる（図１１（ｂ）の矢印ｄ２）。次いで部品装着部１６は、保持する部品Ｄ２を垂直方向に着地前位置Ｒまで下降させる（図１１（ｃ）の矢印ｄ３）。図１１（ｄ）において、着地区間において部品装着部１６が保持する部品Ｄ２を垂直方向に下降させて基板６に着地させる（矢印ｄ４）ところは第１動作と同様である。第２動作は、精密接近区間における部品Ｄ２の移動距離が第１動作より長くなるため装着時間が第１動作より長くなる一方で、基板６に装着済みの隣接部品Ｄ１との干渉を回避することができる利点がある。

図７において、ＡＭ実行時間７４は、後述する部品Ｄの装着動作におけるアーチモーション動作の実行時間の長さである。装着動作番号７５は、後述するアーチモーション動作の実行時間が異なる予め設定された複数の装着動作（アーチモーション段階）を特定する番号である。以下、「アーチモーション動作の実行時間」を単に「アーチモーション時間」と称する。

ここで図１２を参照して、アーチモーション段階の例について説明する。図１２（ａ）は、装着動作情報４３に記憶されているアーチモーション段階情報の例を示している。アーチモーション段階情報には、装着動作番号７６、ＡＭ実行時間７７などの情報が含まれている。装着動作番号７６は、アーチモーション段階を特定する番号である。ＡＭ実行時間７７は、部品Ｄの装着動作におけるアーチモーション時間の長さである。位置情報３８と装着動作情報４３は、装着動作番号７５と装着動作番号７６に指定された番号で関連付けされる。

この例では、アーチモーション段階情報には、装着動作番号７６が「１」～「６」で、アーチモーション時間が「５０ｍｓ」～「０ｍｓ」の６段階のアーチモーション段階が含まれている。すなわち、アーチモーション時間が１０ｍｓ刻みで異なる装着動作が設定されている。以下、装着動作情報４３に含まれる装着動作番号７６が「１」の装着動作を、単に「装着動作１」などと称する。

図１２（ｂ）は、装着動作１～６を模式的に説明する図である。縦軸は、装着作業位置に保持されている反りがない基板６の上面６ａを基準とする部品装着部１６が保持している部品Ｄの底面の高さｈを示している。横軸は、装着動作１～６により装着位置Ｐまで移送される部品Ｄの水平方向（ＸＹ方向）の位置を模式的に示している。部品装着部１６は、装着動作１～６のいずれも、近接位置Ｑまでの高速移動区間において部品Ｄを高速移動高さｈ２で水平方向に高速で移動させる。部品装着部１６は、装着動作１では近接位置Ｑから着地前位置Ｒまでの精密近接区間において部品Ｄを近接位置Ｑから着地前位置Ｒまで全てアーチモーション動作で斜めに下降させる。装着動作１のアーチモーション時間は５０ｍｓである。

部品装着部１６は、装着動作２～５では精密近接区間においてアーチモーション時間が設定された時間となるように、順に水平方向に移動させ、アーチモーション動作で斜めに下降させ、垂直方向に下降させる。部品装着部１６は、装着動作６では精密近接区間において、水平方向に移動させた後、垂直方向に下降させる。装着動作６のアーチモーション時間は０ｍｓである。すなわち、装着動作６は、アーチモーション動作を含まない第２動作である。部品装着部１６は、装着動作１～６のいずれも、着地前位置Ｒからの着地区間において部品Ｄを装着位置Ｐまで垂直方向に下降させる。

図７において、位置情報３８には、初期値として全ての装着位置ＰでＡＭ動作７３として「Ｙ」が指定され、ＡＭ実行時間７４として「５０ｍｓ」が指定され、装着動作番号７５として「１」（装着動作１）が指定されている。なお、位置情報３８には、ＡＭ動作７３、ＡＭ実行時間７４、装着動作番号７５の全てが含まれている必要はなく、少なくともいずれかが含まれていればよい。また、ＡＭ動作７３、ＡＭ実行時間７４、装着動作番号７５を、位置情報３８とは別の情報（ファイル）として装着記憶部３７に記憶させ、装着位置番号７０により位置情報３８と関連付けるようにしてもよい。

図６において、検査装置Ｍ４の検査記憶部６６に記憶される位置情報６７、部品情報６８は、上述の装着記憶部３７に記憶される位置情報３８、部品情報３９と同様であり、詳細な説明は省略する。検査制御部６３は、検査記憶部６６に記憶される各種情報に基づいて基板搬送機構６０、カメラ移動機構６１、検査カメラＳを制御して、部品装着済み基板６Ａを検査作業位置に搬送させて、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄを撮像させる。

位置ずれ量算出部６４は、撮像結果および検査記憶部６６に記憶される位置情報６７、部品情報６８に基づいて、部品Ｄ毎に位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを算出して検査結果情報６９として検査記憶部６６に記憶させる。検査結果情報６９は、検査通信部６５によって管理装置３、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信される。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信された部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを含む装着状態に関する検査結果情報６９は、検査結果情報４１として装着記憶部３７に記憶される。

ここで図１３を参照して、吸着ノズル１３に保持された部品Ｄ２を基板６の装着位置Ｐ２に装着する際に、アーチモーション動作で移動中の部品Ｄ２が装着済みの隣接部品Ｄ１に干渉（接触）する現象について説明する。部品Ｄ２の装着位置Ｐ２と隣接部品Ｄ１の装着位置Ｐ１は、部品のサイズ（縦、横、高さ）に基づいてアーチモーション動作を含む第１動作でも部品装着作業中に干渉しないように設定されている。しかし、基板６や部品の形状のばらつき、基板６の反り、部品の装着位置ずれなどの要因により、装着中の部品Ｄ２が隣接部品Ｄ１に干渉することがある。

図１３の例では、装着作業位置に保持された基板６の上面６ａが２点鎖線で示す反りがない場合の高さ位置より上方に反っており、さらに基板６に装着された隣接部品Ｄ１が部品Ｄ２の装着位置Ｐ２の方向に位置ずれしている。そのため、部品Ｄ２を基板６に装着する際に、アーチモーション動作で移動中（矢印ｅ）の部品Ｄ２が装着済みの隣接部品Ｄ１に接触している（円ｆ）。移動中に隣接部品Ｄ１に接触すると、部品Ｄ２が装着位置Ｐ２から位置ずれしたり、基板６に装着されずに欠落したりすることがある。

図５において、装着判断部３４は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄ２の位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを含む装着状態に基づいて、これから基板６に装着する部品Ｄ２の第１動作による装着の可否を判断する。すなわち、装着判断部３４は、第１動作による部品Ｄ２の装着によって、アーチモーション動作中の部品Ｄ２が隣接部品Ｄ１に干渉したか否かを判断する。情報取得部３３は、装着判断部３４が装着の可否判断に必要な情報を取得する。具体的には、情報取得部３３は、装着記憶部３７から位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、検査結果情報４１、判断情報４２に含まれる第１動作判断情報を取得する。

ここで図１４（ａ）を参照して、判断情報４２に含まれる第１動作判断情報の例について説明する。第１動作判断情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸが－ΔＸ１≦ΔＸ≦ΔＸ１の範囲では第１動作で、ΔＸ＜－ΔＸ１またはΔＸ＞ΔＸ１の範囲では第２動作で部品Ｄを装着することを規定している。すなわち、装着判断部３４は、部品Ｄの装着位置Ｐにおける検査結果情報４１に含まれる部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置Ｐからの位置ずれ量ΔＸが所定の範囲内（－ΔＸ１≦ΔＸ≦ΔＸ１）である場合、第１動作による部品Ｄの装着が可能と判断する。装着判断部３４は、判断結果に基づいて位置情報３８のＡＭ動作７３を更新して、装着情報４４として装着記憶部３７に記憶させる。

装着制御部３２（制御部）は、装着判断部３４によって第１動作による部品Ｄの装着が可能と判断された場合、第１動作によって部品Ｄを装着するように部品装着部１６を制御する（図１０参照）。また、装着制御部３２は、装着判断部３４によって第１動作による部品Ｄの装着が不可能と判断された場合、第１動作と異なる第２動作によって部品Ｄを装着するように部品装着部１６を制御する（図１１参照）。このように、基板６の反りや隣接部品の装着状態のばらつきなどに起因して隣接部品と干渉する可能性が大きい装着位置Ｐへの装着ではアーチモーション動作を含まない装着動作にすることで、装着中に部品Ｄが装着済みの隣接部品Ｄに干渉することが回避できる。これによって、高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

なお、図１４（ａ）には、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸに基づく第１動作判断情報を示しているがこれに限定されることはない。例えば、第１動作判断情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＹ方向の位置ずれ量ΔＹ、またはθ方向の位置ずれ量Δθに基づいて規定されていてもよい。もしくは、第１動作判断情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸ、Ｙ方向の位置ずれ量ΔＹ、θ方向の位置ずれ量Δθを変数とする計算式で規定されていてもよい。

図９において、基板６の反りや隣接部品の装着状態のばらつきなどに起因して隣接部品との干渉が起きた場合、検査装置Ｍ４によって位置ずれが検出された部品の他にも、これから部品装着作業が行われる他の基板６で当該部品に隣接する部品でも同様の干渉が起こる可能性がある。例えば、エリアＡ２３の装着位置Ｐ０２に装着される部品Ｆで干渉による位置ずれが検出された場合、隣接する装着位置Ｐ０１、Ｐ０３～Ｐ０５に装着される部品Ｅでも同様の干渉が起こる可能性がある。

そこで、装着制御部３２は、装着判断部３４によって装着位置Ｐ０２の部品Ｆが第１動作による装着が不可能と判断されると、エリアＡ２３内の装着位置Ｐ０１～Ｐ０５に装着する全ての部品Ｅ，Ｆを第２動作によって基板６に装着するように部品装着部１６を制御する。なお、エリアＡ２３内に装着される部品Ｅ，Ｆであっても、位置ずれか検出された装着位置Ｐ０２に装着される部品Ｆよりも先にエリアＡ２３に装着される部品Ｅは干渉が起こる可能性は低い。そこで、装着制御部３２は、部品Ｆより先に装着する部品Ｅは第１動作によって装着するように部品装着部１６を制御するようにしてもよい。

すなわち、装着判断部３４によって複数のエリアＡのうちの一のエリアＡ２３内に装着予定のいずれかの部品Ｆが第１動作による装着が不可能と判断された場合、装着制御部３２（制御部）は当該エリアＡ２３内に装着予定の部品Ｅ，Ｆのうち少なくとも１つの部品Ｆを第１動作と異なる第２動作によって基板６に装着するように部品装着部１６を制御する。また、装着判断部３４によって複数のエリアＡのうちの一のエリアＡ３３内に装着予定の全ての部品Ｅ，Ｇが第１動作による装着が可能と判断された場合、装着制御部３２は当該エリアＡ３３内に装着予定の部品Ｅ，Ｇを第１動作によって装着するように部品装着部１６を制御する。

図５において、動作決定部３５は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄ２の位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを含む装着状態に基づいて、これから基板６に装着する部品Ｄ２の装着動作におけるアーチモーション時間（アーチモーション動作の実行時間）を決定する。情報取得部３３は、動作決定部３５がアーチモーション時間を決定するのに必要な情報を取得する。具体的には、情報取得部３３は、装着記憶部３７から位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、検査結果情報４１、判断情報４２に含まれるアーチモーション時間決定情報を取得する。

ここで図１４（ｂ）を参照して、判断情報４２に含まれるアーチモーション時間決定情報について説明する。アーチモーション時間決定情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸとアーチモーション時間Ｔａの関係を規定している。この例では、アーチモーション時間Ｔａは、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸがゼロの場合の５０ｍｓから、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸが－ΔＸ５またはΔＸ５の場合の０ｍｓまで線形に減少する関係により規定されている。

なお、図１４（ｂ）には、アーチモーション時間決定情報として部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸとアーチモーション時間Ｔａの関係を示したがこれに限定されることはない。例えば、アーチモーション時間決定情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＹ方向の位置ずれ量ΔＹ、またはθ方向の位置ずれ量Δθとアーチモーション時間Ｔａの関係で規定してもよい。

もしくは、アーチモーション時間決定情報は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸ、Ｙ方向の位置ずれ量ΔＹ、θ方向の位置ずれ量Δθを変数とする計算式で規定されていてもよい。そして、動作決定部３５は、部品Ｄの装着位置Ｐにおける部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置からの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが小さいほど、アーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）を長くする。

このように、動作決定部３５は、部品Ｄの装着位置Ｐにおける検査結果情報４１に含まれる部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置Ｐからの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθ、および判断情報４２に含まれるアーチモーション時間決定情報に基づいて、アーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）を決定する。

動作決定部３５は、決定したアーチモーション時間Ｔａに基づいて位置情報３８のＡＭ実行時間７４を更新して、装着情報４４として装着記憶部３７に記憶させる。装着制御部３２は、動作決定部３５が決定したアーチモーション時間Ｔａに基づいて、部品装着部１６による装着動作を制御する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

図５において、動作決定部３５は、他の実施形態として、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに応じて予め設定されたアーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）が異なる複数の装着動作（アーチモーション段階）の中から部品の装着動作１～６を選択する。この場合、情報取得部３３は、装着記憶部３７から位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、検査結果情報４１、判断情報４２に含まれるアーチモーション段階決定情報を取得する。

ここで図１４（ｃ）を参照して、判断情報４２に含まれるアーチモーション段階決定情報について説明する。アーチモーション段階決定情報は、装着位置Ｐにおける部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸとアーチモーション段階（装着動作１～６）の関係を規定している。この例では、アーチモーション段階はＸ方向の位置ずれ量ΔＸに応じて段階的に指定されている。すなわち、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸが－ΔＸ１≦ΔＸ≦ΔＸ１の範囲ではアーチモーション時間Ｔａが５０ｍｓの装着動作１が指定されている。また、－ΔＸ２≦ΔＸ＜－ΔＸ１またはΔＸ１＜ΔＸ≦ΔＸ２の範囲ではアーチモーション時間Ｔａが４０ｍｓの装着動作２が指定されるように、６段階の装着動作１～６が指定されている。

なお、図１４（ｃ）には、アーチモーション段階決定情報として部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸとアーチモーション段階（装着動作１～６）の関係を示したがこれに限定されることはない。例えば、アーチモーション段階決定情報はＹ方向の位置ずれ量ΔＹ、またはθ方向の位置ずれ量Δθとアーチモーション段階の関係で規定しても、位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを変数とする計算式で規定してもよい。そして、動作決定部３５は、部品Ｄの装着位置Ｐにおける部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置からの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが小さいほど、アーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）が長いアーチモーション段階（装着動作１～６）を選択する。

動作決定部３５は、決定したアーチモーション段階（装着動作１～６）に基づいて位置情報３８の装着動作番号７５を更新して、装着情報４４として装着記憶部３７に記憶させる。装着制御部３２は、動作決定部３５が決定した装着動作１～６に基づいて、部品装着部１６による装着動作を制御する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

図５において、動作決定部３５は、他の実施形態として、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに応じて部品Ｄの装着動作における着地前位置Ｒの精密近接目標高さｈ０を決定する。すなわち、動作決定部３５は、部品装着部１６が保持する部品Ｄをアーチモーション動作で斜め方向に下降させる際の、アーチモーション動作の終了時の部品Ｄの目標高さ（精密近接目標高さｈ０）を、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに応じて決定する。この場合、情報取得部３３は、装着記憶部３７から位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、検査結果情報４１、判断情報４２に含まれる精密近接目標高さ決定情報を取得する。

ここで図１４（ｄ）を参照して、判断情報４２に含まれる精密近接目標高さ決定情報について説明する。精密近接目標高さ決定情報は、装着位置Ｐにおける部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸと精密近接目標高さｈ０の関係を規定している。この例では、精密近接目標高さｈ０は、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸがゼロの場合のｈ０．ｍｉｎから、Ｘ方向の位置ずれ量ΔＸが－ΔＸ５またはΔＸ５の場合のｈ０．ｍａｘまで線形に増加する関係により規定されている。例えば、ｈ０．ｍａｘとして図１２（ｂ）に示す高速移動高さｈ２が、ｈ０．ｍｉｎとして図１２（ｂ）に示す部品Ｄに位置ずれがない場合の精密近接目標高さｈ０である高さｈ１が設定される。

なお、図１４（ｄ）には、精密近接目標高さ決定情報として部品装着済み基板６Ａに装着された部品ＤのＸ方向の位置ずれ量ΔＸと精密近接目標高さｈ０の関係を示したがこれに限定されることない。例えば、精密近接目標高さ決定情報はＹ方向の位置ずれ量ΔＹ、またはθ方向の位置ずれ量Δθと精密近接目標高さｈ０の関係で規定しても、位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを変数とする計算式で規定してもよい。

そして、動作決定部３５は、部品Ｄの装着位置Ｐにおける部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置からの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが小さいほど、精密近接目標高さｈ０（アーチモーション動作の終了時の部品の目標高さ）を低くする。装着制御部３２は、動作決定部３５が決定した精密近接目標高さｈ０に基づいて、部品装着部１６による装着動作を制御する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

図５において、装着判断部３４は、複数の部品Ｄの装着位置Ｐ毎に、検査結果情報４１に含まれる位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが所定条件を満たすか否かに基づいて第１動作による部品Ｄの装着の可否を判断する。また、動作決定部３５は、複数の部品Ｄの装着位置Ｐ毎に、検査結果情報４１に含まれる位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに基づいて、アーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）を決定する。

なお、装着判断部３４は、複数の部品装着済み基板６Ａの検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄを第１動作により装着可能か否かを判断してもよい。すなわち、情報取得部３３は複数の部品装着済み基板６Ａの検査結果情報４１を取得し、装着判断部３４は部品Ｄの装着位置Ｐにおける複数の検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄを第１動作により装着可能か否かを判断する。そして、装着制御部３２は、装着判断部３４によって少なくとも２枚連続して同じ装着位置Ｐで第１動作による装着が不可能と判断された場合、第２動作によってその装着位置Ｐに部品Ｄを装着するように部品装着部１６を制御する。

また、装着制御部３２は、第２動作によって装着位置Ｐに部品を装着するように部品装着部１６を制御している場合に、装着判断部３４によって少なくとも２枚連続して同じ装着位置Ｐで第１動作による装着が可能と判断された場合、第１動作によってその装着位置Ｐに部品Ｄを装着するように部品装着部１６を制御する。また同様に、動作決定部３５は、複数の部品装着済み基板６Ａの検査結果情報４１に基づいて、アーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）を決定するようにしてもよい。

次に図１５のフローに沿って、部品Ｄを基板６に装着する部品装着方法について説明する。まず、情報取得部３３は、検査装置Ｍ４より検査結果情報４１を取得する（ＳＴ１：検査結果情報取得工程）。次いで装着判断部３４は、部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着位置Ｐからの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが所定範囲外の部品Ｄがあるか否かを判断する（ＳＴ２：範囲外判断工程）。例えば、装着判断部３４は、基板６のＸ方向の位置ずれ量ΔＸが－ΔＸ１≦ΔＸ≦ΔＸ１の範囲外の部品Ｄがあるか否かを判断する（図１４（ａ）参照）。

位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが所定範囲外の部品Ｄが有る場合（ＳＴ２においてＹｅｓ）、装着判断部３４は、当該装着位置Ｐに装着された部品Ｄが２枚の部品装着済み基板６Ａで連続して所定範囲外か否かを判断する（ＳＴ３：連続範囲外判断工程）。２枚連続して所定範囲外の部品Ｄが有る場合（ＳＴ３においてＹｅｓ）、装着判断部３４は、当該部品Ｄが装着されるエリアＡ内の部品Ｄを第２動作で装着するように装着情報４４のＡＭ動作７３を変更する（ＳＴ４：第２動作変更工程）。

図１５において、所定範囲外の部品Ｄが無い場合（ＳＴ２においてＮｏ）、２枚連続で所定範囲外でない場合（ＳＴ３においてＮｏ）、あるいは第２動作変更工程（ＳＴ４）の後、装着判断部３４は、部品Ｄを第２動作で装着していたエリアＡ内の全ての部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが２枚連続で所定範囲内であるエリアＡが有るか否かを判断する（ＳＴ５：連続範囲内判断工程）。２枚連続で所定範囲内であるエリアＡが有る場合（ＳＴ５においてＹｅｓ）、装着判断部３４は、当該エリアＡ内の部品Ｄを第１動作で装着するように装着情報４４のＡＭ動作７３を変更する（ＳＴ６：第１動作変更工程）。

２枚連続で所定範囲内であるエリアＡが無い場合（ＳＴ５においてＮｏ）、あるいは第１動作変更工程（ＳＴ６）の後、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３において装着情報４４に基づいて部品装着作業が実行される（ＳＴ７：部品装着工程）。未装着の基板６がある場合（ＳＴ８においてＮｏ）、検査結果情報取得工程（ＳＴ１）に戻って次の基板６への部品装着が実行される（ＳＴ１～ＳＴ７）。未装着の基板６がない場合（ＳＴ８においてＹｅｓ）、部品装着作業が終了する。

このように、図１５に示す部品装着方法（以下、「部品装着方法の第１実施形態」と称する。）は、部品Ｄの装着位置Ｐに関する位置情報３８および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄを装着位置Ｐに装着する際に部品Ｄを水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作を含むか否か（第１動作による部品装着の可否）を判断する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

次に図１６のフローに沿って、部品Ｄを基板６に装着する部品装着方法の第２実施形態について説明する。部品装着方法の第２実施形態は、装着判断部３４が第１動作による部品装着の可否を判断する代わりに、動作決定部３５がアーチモーション時間Ｔａを決定するところが部品装着方法の第１実施形態とは異なる。以下、部品装着方法の第１実施形態と同じ工程には同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

図１６において、まず、検査結果情報取得工程（ＳＴ１）、範囲外判断工程（ＳＴ２）、連続範囲外判断工程（ＳＴ３）が実行される。２枚連続で位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが所定範囲外の部品Ｄが有る場合（ＳＴ２においてＹｅｓ、かつ、ＳＴ３においてＹｅｓ）、動作決定部３５は、位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθとアーチモーション時間決定情報（図１４（ｂ）参照）に基づいて、当該部品Ｄのアーチモーション時間Ｔａを決定し、装着情報４４のＡＭ実行時間７４を変更する（ＳＴ１１：ＡＭ実行時間変更工程）。

次いで動作決定部３５は、第２動作で装着していた部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθが２枚連続で所定範囲内である部品Ｄが有るか否かを判断する（ＳＴ１２：連続範囲内部品判断工程）。２枚連続で所定範囲内である部品Ｄが有る場合（ＳＴ１２においてＹｅｓ）、装着判断部３４は、当該部品Ｄのアーチモーション時間Ｔａが最大となるように装着情報４４のＡＭ動作７３を変更する（ＳＴ１３：ＡＭ実行時間最大変更工程）。次いで部品装着工程（ＳＴ７）が実行され、部品装着作業が終了したか否かが判断される（ＳＴ８）。

このように、部品装着方法の第２実施形態では、部品Ｄの装着位置Ｐに関する位置情報３８および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄを装着位置Ｐに装着する際に部品Ｄを水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作の動作時間（アーチモーション時間Ｔａ）を決定する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。なお、動作決定部３５は、アーチモーション時間Ｔａの代わりにアーチモーション段階（装着動作１～６）、または精密近接目標高さｈ０（アーチモーション動作の終了時の部品の目標高さ）を決定するようにしてもよい。

上記説明したように、本実施の形態の部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は、部品Ｄを保持して基板６の装着位置Ｐに装着する部品装着部１６と、部品装着部１６の動作を制御する装着制御部３２と、装着位置Ｐに関する位置情報３８および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１を取得する情報取得部３３と、位置情報３８および検査結果情報４１に基づいて、第１動作による部品Ｄの装着の可否を判断する装着判断部３４と、を備える。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

また、他の実施の形態の部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は、部品Ｄを保持して基板６の装着位置Ｐに装着する部品装着部１６と、部品装着部１６の動作を制御する装着制御部３２と、装着位置Ｐに関する位置情報３８および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１を取得する情報取得部３３と、位置情報３８および検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄの装着動作における部品装着部１６が保持する部品Ｄを水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作の実行時間（アーチモーション時間Ｔａ）を決定する動作決定部３５と、を備える。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

また、他の実施の形態の部品装着装置Ｍ１～Ｍ３は、部品Ｄを保持して基板６の装着位置Ｐに装着する部品装着部１６と、部品装着部１６の動作を制御する装着制御部３２と、装着位置Ｐに関する位置情報３８および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１を取得する情報取得部３３と、位置情報３８および検査結果情報４１に基づいて、部品Ｄの装着動作における部品装着部１６が保持する部品Ｄを水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作の終了時の部品Ｄの目標高さ（精密近接目標高さｈ０）を決定する動作決定部３５と、を備える。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

次に図５、図６を参照して、部品Ｄを基板６に装着する部品装着装置Ｍ１～Ｍ３および部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの装着状態を検査する検査装置Ｍ４を含む生産ラインを管理する管理装置３について説明する。ここでは、管理装置３が備える機能のうち、検査装置Ｍ４で検出された部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθに基づいて、部品装着作業の対象となる基板６に部品装着装置Ｍ１～Ｍ３が部品Ｄを装着する装着動作に関する装着情報５１ａを変更する機能について説明する。管理記憶部５１には、装着情報５１ａの他、装着記憶部３７に記憶される位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、判断情報４２と同様の情報が記憶されている。

管理通信部５４（通信部）は、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３および検査装置Ｍ４と通信する。管理通信部５４は、検査装置Ｍ４から部品Ｄの装着状態に関する検査結果情報４１を取得する。管理処理部５０が備える装着情報変更部５０ａは、部品Ｄの装着位置Ｐに関する位置情報３８および検査結果情報４１に基づいて、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３が基板６に部品Ｄを装着するための装着動作に関する装着情報５１ａを変更（または作成）する。

具体的には、装着情報変更部５０ａは、装着判断部３４と同様に、装着動作にアーチモーション動作を含むか否か（第１動作による部品装着の可否）を決定し、装着情報５１ａに含まれるＡＭ動作７３を変更する。または、装着情報変更部５０ａは、動作決定部３５と同様に、装着動作に含まれるアーチモーション時間Ｔａ（アーチモーション動作の実行時間）、アーチモーション段階（装着動作１～６）、もしくは精密近接目標高さｈ０（アーチモーション動作の終了時の部品の目標高さ）を決定し、装着情報５１ａに含まれるＡＭ実行時間７４または装着動作番号７５を変更する。その後、管理通信部５４は、変更された装着情報５１ａを部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信する。部品装着装置Ｍ１～Ｍ３では、送信された装着情報５１ａに基づいて、部品Ｄが装着される。

このように、管理装置３は、管理通信部５４と、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３が基板６に部品Ｄを装着する装着動作に関する装着情報５１ａを変更する装着情報変更部５０ａと、を備えている。そして、管理通信部５４は、検査装置Ｍ４から検査結果情報４１を取得し、装着情報変更部５０ａは、位置情報３８および検査結果情報４１に基づいて、基板６に部品Ｄを装着するための装着情報５１ａを変更し、管理通信部５４は、変更された装着情報５１ａを部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信する。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

次に図１７のフローに沿って、部品Ｄを基板６に装着する部品装着方法の第３実施形態について説明する。部品装着方法の第３実施形態では、部品装着装置Ｍ１～Ｍ３が基板６に部品Ｄを装着する装着動作に関する装着情報５１ａを管理装置３が作成するところが部品装着方法の第１実施形態および第２実施形態とは異なる。まず、検査装置Ｍ４において部品装着済み基板６Ａに装着された部品Ｄの位置ずれ量ΔＸ，ΔＹ，Δθを含む装着状態が検査される（ＳＴ２１）。次いで管理装置３の管理通信部５４によって、検査装置Ｍ４から検査結果情報４１が取得される（ＳＴ２２）。次いで位置情報３８、部品情報３９、基板情報４０、判断情報４２が取得される（ＳＴ２３）。

次いで管理装置３の装着情報変更部５０ａによって装着情報５１ａが変更される（ＳＴ２４）。次いで管理通信部５４によって装着情報５１ａが部品装着装置Ｍ１～Ｍ３に送信される（ＳＴ２５）。次いで部品装着装置Ｍ１～Ｍ３において装着情報５１ａに基づいて部品装着作業が実行される（ＳＴ２６）。これによって、反りや隣接部品の装着状態にばらつきが生じる可能性がある基板６であっても高い実装品質と高い実装効率を両立させることができる。

本発明の部品装着装置、部品装着システム、部品装着方法、ならびに管理装置は、高い実装品質と高い実装効率を両立させることができるという効果を有し、部品を基板に実装する分野において有用である。

１ 部品装着システム
６ 基板
６Ａ 部品装着済み基板
１６ 部品装着部
Ａ１１～Ａ１４、Ａ２１～Ａ２４、Ａ３１～Ａ３４、Ａ４１～Ａ４４ エリア
Ｄ～Ｇ、Ｄ１～Ｄ２ 部品
ｈ０ 精密近接目標高さ（アーチモーション動作の終了時の部品の目標高さ）
Ｍ１～Ｍ３ 部品装着装置
Ｍ４ 検査装置
Ｐ、Ｐ１～Ｐ２、Ｐ０１～Ｐ１０ 装着位置
Ｔａ アーチモーション時間（アーチモーション動作の実行時間）
ΔＸ Ｘ方向の位置ずれ量
ΔＹ Ｙ方向の位置ずれ量
Δθ θ方向の位置ずれ量

Claims (10)

1. 複数の部品を基板に装着する部品装着装置であって、
   部品を保持して基板の装着位置に装着する部品装着部と、
   前記部品装着部の動作を制御する制御部と、
   前記装着位置に関する位置情報および部品装着済み基板に装着された部品の装着状態に関する検査結果情報を取得する情報取得部と、
   前記位置情報および前記検査結果情報に基づいて、第１動作による部品の装着の可否を判断する装着判断部と、を備え、
   前記装着判断部によって前記第１動作による部品の装着が可能と判断された場合、前記制御部は前記第１動作によって前記部品を装着するように前記部品装着部を制御し、
   前記装着判断部によって前記第１動作による部品の装着が不可能と判断された場合、前記制御部は前記第１動作と異なる第２動作によって前記部品を装着するように前記部品装着部を制御し、
   前記第１動作は、前記部品装着部が保持する部品を水平方向と垂直方向に並行して移動させるアーチモーション動作を含み、
   前記第２動作は、前記アーチモーション動作を含まず、
   前記基板は仮想的に分割された複数のエリアを有し、
   前記装着判断部によって前記複数のエリアのうちの一のエリア内に装着予定の全ての部品が前記第１動作による装着が可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内に装着予定の部品を前記第１動作によって装着するように前記部品装着部を制御し、
   前記装着判断部によって前記複数のエリアのうちの一のエリア内に装着予定のいずれかの部品が前記第１動作による装着が不可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内に装着予定の全ての部品を前記第２動作によって前記基板に装着するように前記部品装着部を制御する、部品装着装置。
2. 前記装着判断部によって前記複数のエリアのうちの一のエリア内に装着予定のいずれかの部品が前記第１動作による装着が不可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内に装着予定の複数の部品のうち、前記装着が不可能と判断された部品より先に装着する部品は前記第１動作によって前記基板に装着するように前記部品装着部を制御する、請求項１に記載の部品装着装置。
3. 前記装着判断部は、前記複数の部品の装着位置毎に、前記検査結果情報に基づいて前記第１動作による前記部品の装着の可否を判断する、請求項１または２に記載の部品装着装置。
4. 前記装着判断部は、部品の装着位置における前記検査結果情報が所定条件を満たすか否かに基づいて、前記第１動作による前記部品の装着の可否を判断する、請求項１から３のいずれかに記載の部品装着装置。
5. 前記所定条件は、前記部品装着済み基板に装着された部品の装着位置からの位置ずれ量に関する、請求項４に記載の部品装着装置。
6. 前記装着判断部は、部品の装着位置における前記部品装着済み基板に装着された部品の装着位置からの位置ずれ量が所定の範囲内である場合、前記第１動作による前記部品の装着が可能と判断する、請求項１から３のいずれかに記載の部品装着装置。
7. 前記情報取得部は、複数の部品装着済み基板の検査結果情報を取得し、
   前記装着判断部は、部品の装着位置における複数の前記検査結果情報に基づいて、前記部品を前記第１動作により装着可能か否かを判断する、請求項１から６のいずれかに記載の部品装着装置。
8. 前記情報取得部は、複数の部品装着済み基板の検査結果情報を取得し、
   複数の前記検査結果情報に基づいて、前記装着判断部によって少なくとも２枚連続して同じ装着位置で前記第１動作による装着が不可能と判断された場合、前記制御部は当該装着位置を含むエリア内に装着予定の全ての部品を前記第２動作によって前記装着位置に部品を装着するように前記部品装着部を制御する、請求項１に記載の部品装着装置。
9. 前記制御部が一のエリア内の全ての部品を前記第２動作によって前記装着位置に部品を装着するように前記部品装着部を制御している場合であって、前記装着判断部によって少なくとも２枚連続して当該エリア内の全ての装着位置で前記第１動作による装着が可能と判断された場合、前記制御部は当該エリア内の全ての部品を前記第１動作によって前記装着位置に部品を装着するように前記部品装着部を制御する、請求項８に記載の部品装着装置。
10. 部品装着システムであって、
    請求項１から９のいずれか１項に記載の部品装着装置と、
    部品装着済み基板に装着された部品の装着状態を検査する検査装置と、を備える、部品装着システム。

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