JP7503475B2 - Method for manufacturing an optical reflecting element for use in an optical imaging device - Google Patents
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Description
本発明は、一側の面に垂直に所定間隔で平行配置された多数の光反射層を有する対となる光反射素子をそれぞれの光反射層が直交するようにして配置した光学結像装置に用いる光反射素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a light reflecting element for use in an optical imaging device in which a pair of light reflecting elements each having a number of light reflecting layers arranged in parallel at a predetermined interval perpendicular to one side of the device are arranged so that the light reflecting layers are perpendicular to each other.
出願人は、特許文献1に示すように、透明平板の内部に、透明平板の一方側の面に垂直に多数かつ帯状の平面光反射層を一定のピッチで並べて形成した第1及び第2の光制御パネルを用い、第1及び第2の光制御パネルのそれぞれの一面側を、平面光反射層を直交させて向かい合わせて形成した光学結像装置を提案した。そして、特許文献2には、対象物を反対側の面対称となる位置に実像として結像させるための光学結像装置の製造方法が開示されている。また大型の光学結像装置については特許文献3、4に開示されている。
As shown in
しかしながら、特許文献1、2に記載の光学結像装置の製造方法においては、光学結像装置に使用する光反射素子(光制御パネル)の精度が多少相違しても、一枚の光学結像装置では隅の部分は使用しないので問題は生じなかったが、特許文献3、4に記載のように複数の光学結像装置を貼り合わせて(タイリングして)大型の光学結像装置を製造すると、個々の光学結像装置の端面を正確に一致させる必要があった。
更に、光学結像装置が一応完成した後に縦横の寸法を合わせるために研磨すると、光反射素子が欠けたり、光学結像装置を構成する光反射素子がずれたりするなどの問題が生じていた。
However, in the manufacturing methods for optical imaging devices described in
Furthermore, when the optical imaging device is polished to adjust the length and width after it has been completed, problems occur such as chipping of the light reflecting elements or misalignment of the light reflecting elements that constitute the optical imaging device.
本発明はかかる事情に鑑みてなされたもので、光反射素子の端面の寸法精度を向上し、複数の光反射素子又は光学結像装置を並べても、隣合う光反射素子又は光学結像装置の光反射層が正しく並んで鮮明な実像を提供できる光学結像装置に用いる光反射素子の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention was made in consideration of these circumstances, and aims to provide a method for manufacturing a light reflecting element for use in an optical imaging device that improves the dimensional accuracy of the end face of the light reflecting element, and that can provide a clear real image by correctly aligning the light reflecting layers of adjacent light reflecting elements or optical imaging devices even when multiple light reflecting elements or optical imaging devices are arranged side by side.
前記目的に沿う本発明に係る光反射素子の製造方法は、一側空間に配置された対象物の像を他側空間に実像として形成する光学結像装置に用いる光反射素子の製造方法であって、
少なくとも一方の面に光反射層が形成された複数(通常は200~1000枚程度)の矩形(正方形が好ましい)透明板を、前記光反射層に対して直交する方向に難剥離性の第1の接着剤を介して積層固着して原積層体を形成し、該原積層体の厚み方向上下の面Aと面B、及びこれに直交して対向する面Cと面Dにそれぞれ第1~第4の支持部材を剥離可能な第2の接着剤を介して押圧固着した第1の積層ブロックを形成する第1工程と、
前記第1の積層ブロックを前記光反射層と直交する方向に前記第1~第4の支持部材と共に等間隔で切断して光反射素子原材を製造する第2工程と、
切断した前記光反射素子原材の切断面を前記第1~第4の支持部材の切断片が固着された状態で研磨する(これにより製造された光反射素子原材の厚みをtとする)第3工程と、
前記第3工程で研磨され、前記第1~第4の支持部材の切断片を除去した光反射素子材を複数枚重ねて剥離可能な第3の接着剤で固着して第2の積層ブロックを形成する第4工程と、
前記第2の積層ブロックの対向する面C′、面D′を研磨して、前記光反射素子材の幅を規定値に合わせる第5工程と、
前記第3の接着剤を解いて前記光反射素子を形成する第6工程とを有する。
The present invention provides a method for manufacturing an optical reflecting element for use in an optical imaging device that forms an image of an object disposed in one space as a real image in the other space, the method comprising the steps of:
a first step of forming a first laminated block by stacking and fixing a plurality of (usually about 200 to 1000) rectangular (preferably square) transparent plates, each having a light reflecting layer formed on at least one surface, via a first adhesive that is difficult to peel, in a direction perpendicular to the light reflecting layer, and pressing and fixing first to fourth support members, via a second adhesive that is peelable, to surfaces A and B at the top and bottom in the thickness direction of the original laminate, and surfaces C and D opposing the surfaces C and D perpendicularly thereto;
a second step of cutting the first laminated block together with the first to fourth support members at equal intervals in a direction perpendicular to the light reflecting layer to manufacture a light reflecting element raw material;
a third step of polishing the cut surfaces of the cut raw light reflecting element with the cut pieces of the first to fourth support members fixed thereto (the thickness of the raw light reflecting element thus produced is denoted by t);
a fourth step of stacking a plurality of light reflecting element materials, which have been polished in the third step and from which the cut pieces of the first to fourth support members have been removed, and bonding the stacked light reflecting element materials with a third adhesive that is removable, to form a second laminated block;
a fifth step of polishing the opposing surfaces C' and D' of the second laminate block to adjust the width of the light reflecting element material to a specified value;
and a sixth step of removing the third adhesive to form the light reflecting element.
この後、2枚の光反射素子をそれぞれの光反射層が平面視して直交するようにして透明な第5の接着剤で接合して光学結像装置とすることも可能であり、光反射素子の端部を合わせてより大型の光反射素子を作り、この後2枚の大型の光反射素子をその反射面(光反射層)を直交させて接合し大型の光学結像装置を形成することもできる。また、複数枚の光学結像装置を端部を当接させながら並べて大型の光学結像装置とすることもできる。
本発明に係る光反射素子の製造方法において、前記第4工程の後、前記第5工程の前に、前記第2の積層ブロックの研磨する前記面C′及び前記面D′に直交して囲む面E~面Hの少なくとも端部を剥離可能な第4の接着剤で補強してもよい(研磨面周囲の補強工程4A)。
Thereafter, two light reflecting elements can be bonded with a transparent fifth adhesive so that the light reflecting layers of each element are perpendicular to each other in a plan view to form an optical imaging device, or the ends of the light reflecting elements can be joined to form a larger light reflecting element, and then two large light reflecting elements can be bonded with their reflecting surfaces (light reflecting layers) perpendicular to each other to form a large optical imaging device. Also, a large optical imaging device can be formed by arranging a plurality of optical imaging devices with their ends abutting each other.
In the manufacturing method of the light reflecting element of the present invention, after the fourth step and before the fifth step, at least the ends of faces E to H of the second laminate block which are perpendicular to and surround the polished faces C' and D' may be reinforced with a peelable fourth adhesive (reinforcing step 4A around the polished faces).
本発明に係る光反射素子の製造方法において、前記第5工程の前に前記面C′及び前記面D′に直交して囲む面E~面Hに剥離可能な第4の接着剤で第5~第8の補強用の支持部材を接合し、前記第2の積層ブロックの疵の発生を防止するのが好ましい。この場合は
研磨面周囲の補強工程4Aは行わない。
In the manufacturing method of the light reflecting element according to the present invention, it is preferable to bond fifth to eighth reinforcing support members to faces E to H that are orthogonal to and surround face C' and face D' with a fourth peelable adhesive before the fifth step, thereby preventing the occurrence of scratches in the second laminated block. In this case, the reinforcing step 4A around the polished face is not performed.
本発明に係る光反射素子の製造方法において、前記第2の積層ブロックを囲む又は挟持する前記対向する第6、第8の補強用の支持部材が前記対向する第5、第7の補強用の支持部材を挟んだ状態で配置されているのが好ましい。 In the method for manufacturing a light reflecting element according to the present invention, it is preferable that the opposing sixth and eighth reinforcing support members surrounding or sandwiching the second laminated block are arranged in a state where they sandwich the opposing fifth and seventh reinforcing support members.
本発明に係る光反射素子の製造方法において、前記原積層体の厚みをhとすると、研磨された前記第2の積層ブロックから得られた前記光反射素子の幅wは、h±0.5mmの範囲にあって、前記光反射素子の平面視した形状は正方形であるのが好ましい。これによって光学結像装置に使用する対となる光反射素子を同時に製造できる。 In the method for manufacturing a light reflecting element according to the present invention, if the thickness of the original laminate is h, it is preferable that the width w of the light reflecting element obtained from the polished second laminate block is in the range of h±0.5 mm, and the shape of the light reflecting element in a plan view is square. This allows paired light reflecting elements to be used in an optical imaging device to be manufactured simultaneously.
また、本発明に係る光反射素子の製造方法において、前記第1、第2の支持部材の切断片の除去は、前記第5工程の後に行われる場合もある。
なお、本発明において、第1の接着剤(第5の接着剤)は例えば自硬性又は熱硬化性を有する熱硬化性樹脂系、エポキシ系、エラストマー系などの接着剤が利用できるが、矩形透明板を強固に接合できるものであれば他の接着剤であってもよい。また、第2~第4の接着剤は加熱(例えば、80℃に加熱)すると溶ける熱可塑性の接着剤、水溶性の接着剤を使用するのがよいが、本発明はこれら接着剤の種類に限定されない。
In the method for manufacturing a light reflecting element according to the present invention, the cut pieces of the first and second support members may be removed after the fifth step.
In the present invention, the first adhesive (fifth adhesive) may be, for example, a thermosetting resin-based adhesive having self-hardening or thermosetting properties, an epoxy-based adhesive, an elastomer-based adhesive, or other adhesive that can firmly bond the rectangular transparent plate may be used. In addition, the second to fourth adhesives are preferably a thermoplastic adhesive that melts when heated (for example, heated to 80° C.) or a water-soluble adhesive, but the present invention is not limited to these types of adhesives.
本発明に係る光反射素子の製造方法においては、光反射素子材の端部を研磨する場合、矩形透明板の欠けやずれなどが発生し難く、寸法精度の高い光反射素子を製造できる。これによって大型の光学結像装置を容易に製造できる。即ち、同じ寸法の光反射素子を製造できるので、複数の光反射素子を並べて大型の光反射素子を製造でき、この光反射素子を各光反射層が直交するように貼り合わせて大型の光学結像装置を構成することができる。
また、各光反射素子の精度が高いので、例えば、4枚、9枚、16枚の光反射素子を平面上に並べてより大型の光反射素子を形成できる。更に、光反射素子を組み合わせた光学結像装置をタイリングして大型の光学結像装置を製造することも容易となる。
In the manufacturing method of the light reflecting element according to the present invention, when the end of the light reflecting element material is polished, chipping or misalignment of the rectangular transparent plate is unlikely to occur, and a light reflecting element with high dimensional accuracy can be manufactured. This makes it easy to manufacture a large optical imaging device. In other words, since light reflecting elements of the same size can be manufactured, a large light reflecting element can be manufactured by arranging multiple light reflecting elements, and this light reflecting element can be bonded so that each light reflecting layer is perpendicular to each other to form a large optical imaging device.
In addition, because the precision of each light reflecting element is high, for example, 4, 9, or 16 light reflecting elements can be arranged on a plane to form a larger light reflecting element. Furthermore, it is also easy to manufacture a large optical imaging device by tiling optical imaging devices that combine light reflecting elements.
続いて、図1~図7を参照しながら、本発明の第1の実施の形態に係る光学結像装置に用いる光反射素子の製造方法について説明する。図1(A)、(B)に示すように、最終的に光反射素子10(図6(A)、(B)参照)を製造するために、矩形の透明板の一例である透明なガラス板11と、ガラス板11の一面に設けられた光反射層12とを有するガラス板材12aが用いられる。ガラス板11は、例えば一辺が約80~500mmの略正方形を成しているが、長方形であってもよい。ガラス板11の厚さは例えば0.1~4.0mmである。なお、矩形透明板は、例えばアクリル樹脂等の透明な合成樹脂材料(プラスチック)によって形成してもよい。
Next, with reference to Figures 1 to 7, a method for manufacturing a light reflecting element used in an optical imaging device according to a first embodiment of the present invention will be described. As shown in Figures 1(A) and (B), in order to finally manufacture a light reflecting element 10 (see Figures 6(A) and (B)), a
ガラス板11は両面が平面であって可能な範囲で厚みが均一なものを使用する。 ガラス板11にはアルミニウムや銀等の金属蒸着によって光反射層12が形成される。金属蒸着の代わりに、スパッタ、スプレー、メッキ等の手法によって光反射層12が形成されてもよい。なお、光反射層12の厚みは例えば50~400nm程度であるのがよいが、この数字には限定されない。なお、光反射層12はガラス板11の両面に形成してもよい。
The
光反射層12が形成されたガラス板11(即ち、ガラス板材12a)を所定枚数(例えば500~1000枚用意して透明な第1の接着剤を介して光反射層12に対して直交する方向に積層して原積層体13とするが、各ガラス板材12aは第1の接着剤が固まる前にプレス等の平面体で面Aと面B、及び面Cと面Dを十分な押圧力で押圧されて第1の接着剤を均一に伸ばし、厚みh(面Aと面Bの距離)と、面Cと面Dのできる限りの平面性及び平行性を保っているのが好ましい(図示せず)。第1の接着剤としては、時間の経過と共に硬化する自硬型又は加熱硬化型の接着剤を使用するのが好ましい(難剥離型の接着剤)。これによって原積層体13の寸法である高さhと幅wが決定される(w>h)。なお、高さhは変更しないが、wは研磨によって小さくなる。
A predetermined number of glass plates 11 (i.e.,
ここで、原積層体13の厚み方向上下の面A、面Bには第1、第2の支持部材15、16が第2の接着剤を介して押し当てられ、面A、面Bとは直交する原積層体13の対向する面C、面Dには第3、第4の支持部材17、18が第2の接着剤を介して押し当てられる。ここで、第1、第2の支持部材15、16の幅を原積層体13の面C、面D間の幅より小さくして、第3、第4の支持部材17、18の間に隙間を有して入るようにしておくのがよい。ここで、第2の接着剤としては加熱(例えば、80℃に加熱)すれば溶解(液化)し常温では強固に固化する接着剤(通常、ワックスと称されている)、又は水溶性の接着剤(以上、剥離可能型の接着剤)を使用するのが好ましい。
なお、原積層体13の厚みhはガラス板材12aの枚数を調整して、面C及び面Dの幅(面間距離)wより小さくしておく。これにより、最終製品である光反射素子10の形状をh=w(±0.1mm以内まで許容とするのが好ましいが必須の要件ではない)として正方形に調整できる。この理由は面C及び面D間の幅wは研磨過程で減少する方向に調整できるからである。これによって、図2に示す第1の積層ブロック19となる(以上、第1工程)。
Here, the first and
The thickness h of the
次に、ガラス板材12aが積層固着された原積層体13に対する第1~第4の支持部材15~18の接合(押圧固着)が完了した第1の積層ブロック19を第1の支持部材15を上にして載置台(図示せず)に固定し、図2に示すように、第1の支持部材15の上方から各ガラス板材12aの光反射層12に直交する方向に、第1の積層ブロック19を第1~第4の支持部材15~18と共に、所定厚み(等間隔)にマルチワイヤーソー20で同時に切断(スライス)して、図3(A)、(B)に示すように周囲に第1~第4の支持部材15~18の切断片21~24が固着した複数枚の光反射素子原材25を形成する(以上、第2工程)。
Next, the first
この後、光反射素子原材25を水平にして、周囲の切断片21~24が固着した状態で光反射素子原材25の両面を光学研磨(鏡面研磨)し、好ましくは表面の算術平均粗さRaを1~0.1μm程度又はそれ以下とする(以下の研磨においても同じ)。この場合、光反射素子原材25の周囲には支持部材15~18の切断片21~24が固着されているので、切断及び研磨時にガラス板材12aが欠けたり、捲れたりすることがないという利点がある。各光反射素子原材25の厚みtは、切断時の厚みと研磨時の研磨代を考慮して一定に調整する(以上、第3工程)。図において、4連の▽マークは超精密な光学研磨であることを示す。
Then, the light reflecting element
次に、図4(A)に示すように光反射素子原材25の周囲に設けられている切断片21~24を加熱して又は液体(溶剤)を用いて外し、光反射素子材25aを、図4(B)に示すように剥離可能な第3の接着剤(第2の接着剤と同じ)を介して積層して第2の積層ブロック27を形成する(以上、第4工程)。なお、光反射素子材25aを単に重ねただけでは、第2の積層ブロック27の対向する面C′、面D′の平面度が悪いので第3の接着剤が固まる前に、図示しない平板で面C′、面D′を押圧するのが好ましい。面C′、面D′がある程度揃った状態で、図4(B)に示すように、この第2の積層ブロック27の対向する面C′、面D′の光学研磨を行う。このとき光学研磨された面C″、面D″の間隔w(光反射素子10の幅)を原積層体13の厚みhに±0.5mmの範囲、好ましくは、±0.1mmの範囲で一致させる(以上、第5工程)のがよい。
Next, as shown in FIG. 4(A), the cut pieces 21-24 around the light reflecting element
この後、第3の接着剤の接合を解いて第2の積層ブロック27を複数の光反射素子10に分解する。この光反射素子10は厚みがtで、平面視した(切断面を正面視した)形状が一辺がh(=w)の正方形となる(以上、第6工程)。そこで、図6(A)に示すように2枚の光反射素子10を用意し、それぞれの光反射層12が平面視して直交するように配置して透明な第5の接着剤(第1の接着剤と同じ)で接合し厚みが2tの光学結像装置30が完成する。この光学結像装置30により一側空間に配置された対象物の像を他側空間に実像として形成することができる。
After this, the third adhesive is released to disassemble the second
上記実施の形態では、第2の積層ブロック27の周囲に支持部材(保護部材)を設けずに面C′、面D′の研磨を行ったが、第2の積層ブロック27の周囲に補強用の支持部材を設けて研磨すると研磨時の欠けが無くなるので、これを防止した実施の形態について図5(A)、(B)を参照しながら説明する。即ち、第4工程で又は第4工程と第5工程の間に、複数枚の光反射素子材25aを第5の補強用の支持部材35の上に剥離容易な第3の接着剤を介して積層し第2の積層ブロック27を形成する。第2の積層ブロック27の面C′、面D′に直交する側面で第2の積層ブロック27を囲む第5~第8の面(面E~面H)31~34に第5~第8の補強用の支持部材35~38を剥離可能な第4の接着剤を介して貼り付ける(なお、第5の補強用の支持部材35は底板となる)。ここで、第5、第7の補強用の支持部材35、37それぞれの幅はh(又は僅少の範囲でhより短く)とし、第6、第8の補強用の支持部材36、38で挟持状態とするのが好ましい。これによって、研磨時に第2の積層ブロック27の疵や捲れの発生を防止することになる。
In the above embodiment, the surfaces C' and D' were polished without providing a support member (protective member) around the second
なお、第3工程で切断片21~24を除去したが、切断片23、24のみを除去することもできる。
前記実施の形態においては、矩形透明板をガラス板を用いて説明したが、透明樹脂等も使用できる。また、前記実施の形態においては、光反射素子は平面視して正方形であったが、矩形であってもよい。
また、前記実施の形態においては、各ガラス板に光反射層を設けたが、端部のガラス板に対して光反射層を形成しないこともできる。
更に、第4工程の後、第5工程の前に、第2の積層ブロックの面C′及び面D′に直交して第2の積層ブロックを囲む面E~面Hの端部を剥離可能な第4の接着剤(例えば、ワックス)で補強して、第5工程で、面C′及び面D′を研磨してもよい。これによって、第2の積層ブロックの側面が更に補強され研磨時の欠けが無くなる。
Although the
In the above embodiment, the rectangular transparent plate is a glass plate, but a transparent resin plate can also be used. Also, in the above embodiment, the light reflecting element is square in plan view, but it may be rectangular.
In the above embodiment, a light reflecting layer is provided on each glass plate, but it is also possible not to form a light reflecting layer on the glass plates at the ends.
Furthermore, after the fourth step and before the fifth step, the ends of faces E to H which are perpendicular to faces C' and D' of the second laminate block and surround the second laminate block may be reinforced with a fourth removable adhesive (e.g., wax), and faces C' and D' may be polished in the fifth step. This further reinforces the side faces of the second laminate block, preventing chipping during polishing.
図7には、以上の工程で製造された光反射素子10を複数枚(この実施の形態では4枚、更に9枚、16枚、その他の枚数でもよい)、光反射層12の向きを揃えて、水平に横並びして接合した大型の光反射素子40を示すが、透明な平面基台41の上に載置され、直角配置された2つの位置決め部材43、44、押圧部材45、46によって所定位置に保持されている。この場合、各光反射素子10の形状が同じであるので、隣合う光反射素子10の光反射層12の位置を合わせることができ、より大型の光学結像装置を製造できる。
Figure 7 shows a large
10:光反射素子、11:ガラス板、12:光反射層、12a:ガラス板材、13:原積層体、15:第1の支持部材、16:第2の支持部材、17:第3の支持部材、18:第4の支持部材、19:第1の積層ブロック、20:ワイヤーソー、21~24:切断片、25:光反射素子原材、25a:光反射素子材、27:第2の積層ブロック、30:光学結像装置、31~34:第5~第8の面、35~38:第5~第8の補強用の支持部材、40:大型の光反射素子、41:平面基台、43、44:位置決め部材、45、46:押圧部材 10: Light reflecting element, 11: Glass plate, 12: Light reflecting layer, 12a: Glass plate material, 13: Original laminate, 15: First support member, 16: Second support member, 17: Third support member, 18: Fourth support member, 19: First laminate block, 20: Wire saw, 21-24: Cut pieces, 25: Light reflecting element original material, 25a: Light reflecting element material, 27: Second laminate block, 30: Optical imaging device, 31-34: Fifth to eighth surfaces, 35-38: Fifth to eighth reinforcing support members, 40: Large light reflecting element, 41: Planar base, 43, 44: Positioning member, 45, 46: Pressing member
Claims (4)
少なくとも一方の面に光反射層が形成された複数の矩形透明板を、前記光反射層に対して直交する方向に第1の接着剤を介して積層固着して原積層体を形成し、該原積層体の厚み方向上下の面Aと面B、及びこれに直交して対向する面Cと面Dにそれぞれ第1~第4の支持部材を剥離可能な第2の接着剤を介して押圧固着した第1の積層ブロックを形成する第1工程と、
前記第1の積層ブロックを前記光反射層と直交する方向に前記第1~第4の支持部材と共に等間隔で切断して光反射素子原材を製造する第2工程と、
切断した前記光反射素子原材の切断面を前記第1~第4の支持部材の切断片が固着された状態で研磨する第3工程と、
前記第3工程で研磨され、前記第1~第4の支持部材の切断片を除去した光反射素子材を複数枚重ねて剥離可能な第3の接着剤で固着して第2の積層ブロックを形成する第4工程と、
前記第2の積層ブロックの対向する面C′、面D′を研磨して、前記光反射素子材の幅を規定値に合わせる第5工程と、
前記第3の接着剤を解いて前記光反射素子を形成する第6工程とを有する光反射素子の製造方法。 A method for manufacturing an optical reflecting element for use in an optical imaging device that forms an image of an object placed in one space as a real image in the other space, comprising:
a first step of forming a first laminated block by stacking and fixing a plurality of rectangular transparent plates, at least one of which has a light reflecting layer formed on it, in a direction perpendicular to the light reflecting layer via a first adhesive, and pressing and fixing first to fourth support members to surfaces A and B on the top and bottom in the thickness direction of the original laminate, and surfaces C and D opposing the surfaces C and D perpendicular to the surfaces A and B, respectively, via a peelable second adhesive;
a second step of cutting the first laminated block together with the first to fourth support members at equal intervals in a direction perpendicular to the light reflecting layer to manufacture a light reflecting element raw material;
a third step of polishing the cut surfaces of the cut raw light reflecting element with the cut pieces of the first to fourth support members fixed thereto;
a fourth step of stacking a plurality of light reflecting element materials, which have been polished in the third step and from which the cut pieces of the first to fourth support members have been removed, and bonding the stacked light reflecting element materials with a third adhesive that is removable, to form a second laminated block;
a fifth step of polishing the opposing surfaces C′ and D′ of the second laminate block to adjust the width of the light reflecting element material to a specified value;
and a sixth step of removing the third adhesive to form the light reflecting element.
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