JP7554542B2 - 集束イオンビーム装置 - Google Patents
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Description
これらの機能を利用して半導体デバイスの特定領域を局所加工して断面構造の評価解析あるいは薄片化の後、透過電顕による解析が行われている。解析結果は製造プロセス条件にフィードバックされて、プロセス条件の最適化、信頼性向上等に利用されている。本発明は、上記のような集束イオンビームによる解析用加工に関する。
断面加工あるいは薄片化加工においては評価解析対象となる面をエッジの立った垂直平面に加工する必要がある。
集束イオンビームによる解析用加工において、直線的なエッジを有する所望の縁形状の開口が形成されたマスク(アパーチャ)を光学系に備え、マスクによって切り取られるビーム形状の整形ビームによって試料を加工することによって、直線的なエッジを有する加工形状を形成するビームシステムが知られている(例えば、特許文献1参照)。
また、試料室にてイオンビーム鏡筒と試料台の試料との間に配置され、試料に照射されるイオンビームの一部を遮蔽することによって加工形状及び加工位置を調整するマスクを備える加工観察装置が知られている(例えば、特許文献2参照)。
さらに、光学軸と直交するエッジを有する所望の縁形状の開口が形成されたマスクを光学系に備え、マスクによって切り取られるビーム形状を加工形状と一致させる投射モードによって試料にイオンビームを照射する加工装置が知られている(例えば、特許文献3参照)。
この方法においてはビーム電流を変えて複数回の加工が必要になるため、スループットの点で不利となる。
ところで、上記した特許文献1及び特許文献3に示されるビームシステム及び加工装置の場合、例えば加工位置の位置決め等のために、加工用のビーム照射によって観察対象の画像を生成すると、歪んだ画像が得られることによって所望の位置精度を確保することができないという問題が生じる。このような問題に対して、例えば、観察時と加工時とでマスクの開口の形状又は光学条件を切り替えることによって観察用の画像を生成する方法がある。
例えば、マスクの開口の切り替えでは、複数の異なる形状の開口が形成されたマスクによって、観察時でのマスクの開口の形状を小径の円形等に切り替えて、細く絞ったビームの走査によって観察対象の画像(走査像)を生成する。しかしながら、観察時と加工時とでマスクの開口の形状を切り替える場合、マスクに複数の開口が必要になるとともに、マスクの切り替えに伴う変位によってビームの照射位置の精度及び再現性が低下するおそれがある。
また、上記した特許文献2に示される加工観察装置の場合、試料とイオンビーム鏡筒との間に、例えばマイクロマニュピレータのようなサンプリング機器及びガス供給機器等の移動する機器並びに電子ビーム鏡筒の対物レンズ等が配置されると、マスクを他の機器との干渉無しに配置することが困難になるという問題が生じる。
図1は、実施形態での複合ビーム装置10の構成を示す図である。
複合ビーム装置10は、試料室11と、試料ホルダ12と、試料台13と、試料室11に固定される電子ビーム鏡筒15及びイオンビーム鏡筒17とを備える。
但し、本発明の実施において電子ビーム鏡筒15は必ずしも必要ではない。複合ビーム装置10の代わりに、イオンビーム鏡筒17を備えた集束イオンビーム装置で実施可能である。
複合ビーム装置10は、試料室11に固定される検出器として、例えば、二次荷電粒子検出器21を備える。複合ビーム装置10は、試料Sの表面にガスを供給するガス供給部23を備える。複合ビーム装置10は、試料室11の外部で複合ビーム装置10の動作を統合的に制御する制御装置25と、制御装置25に接続される入力装置27及び表示装置29を備える。
試料ホルダ12は、試料Sを固定する。
試料台13は、試料室11の内部に配置されている。試料台13は、試料ホルダ12を支持するステージ31と、試料ホルダ12と一体にステージ31を3次元的に並進及び回転させるステージ駆動機構33とを備える。
ステージ駆動機構33は、例えば、X軸、Y軸及びZ軸の各軸方向に沿ってステージ31を並進させる。ステージ駆動機構33は、例えば、所定の回転軸及び傾斜軸の各軸周りに適宜の角度でステージ31を回転させる。回転軸は、例えば、ステージ31に対して相対的に設定され、ステージ31が傾斜軸の軸周りの所定基準位置である場合に、複合ビーム装置10の上下方向に平行である。傾斜軸は、例えば、複合ビーム装置10の上下方向に直交する方向に平行である。ステージ駆動機構33は、例えば、ステージ31を回転軸及び傾斜軸の各軸周りにユーセントリック(eucentric)に回転させる。ステージ駆動機構33は、複合ビーム装置10の動作モードなどに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。
電子ビーム鏡筒15は、電子を発生させる電子源と、電子源から射出された電子を集束及び偏向させる電子光学系とを備える。電子光学系は、例えば、電磁レンズ及び偏向器などを備える。電子源及び電子光学系は、電子ビームの照射位置及び照射条件などに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。
実施形態でのイオンビーム鏡筒17の詳細については後述する。
なお、電子ビーム鏡筒15及びイオンビーム鏡筒17の互いの配置は適宜に入れ替えられてもよい。例えば、電子ビーム鏡筒15は上下方向に配置され、イオンビーム鏡筒17は上下方向に対して傾斜する傾斜方向又は直交方向に配置されてもよい。
複合ビーム装置10は、二次荷電粒子検出器21に限らず、他の検出器を備えてもよい。他の検出器は、例えば、EDS( Energy Dispersive X-ray Spectrometer)検出器、反射電子検出器及びEBSD(Electron Back-Scattering Diffraction)検出器などである。EDS検出器は、電子ビームの照射によって照射対象から発生するX線を検出する。反射電子検出器は、電子ビームの照射によって照射対象から反射される反射電子を検出する。EBSD検出器は、電子ビームの照射によって照射対象から発生する電子線後方散乱回折パターンを検出する。なお、二次荷電粒子検出器21のうち二次電子を検出する二次電子検出器及び反射電子検出器は、電子ビーム鏡筒15の筐体内に収容されてもよい。
ガス供給部23は、複合ビーム装置10の動作モードなどに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。
制御装置25は、例えば、CPU(Central Processing Unit)などのプロセッサによって所定のプログラムが実行されることにより機能するソフトウェア機能部である。ソフトウェア機能部は、CPUなどのプロセッサ、プログラムを格納するROM(Read Only Memory)、データを一時的に記憶するRAM(Random Access Memory)及びタイマーなどの電子回路を備えるECU(Electronic Control Unit)である。制御装置25の少なくとも一部は、LSI(Large Scale Integration)などの集積回路であってもよい。
表示装置29は、複合ビーム装置10の各種情報と、二次荷電粒子検出器21から出力される信号によって生成された画像データと、画像データの拡大、縮小、移動及び回転等の操作を実行するための画面等を表示する。
図2は、実施形態でのイオンビーム鏡筒17の構成を示す図である。
イオンビーム鏡筒17は、イオン源41と、イオン光学系42とを備える。イオン源41及びイオン光学系42は、イオンビーム(IB)の照射位置及び照射条件などに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。
イオン源41はイオンを発生させる。イオン源41は、例えば、液体ガリウムなどを用いた液体金属イオン源である。なお、イオン源41は、例えば、ガス電界電離型イオン源又は誘導結合若しくは電子サイクロトロン共鳴(ECR)などによるプラズマ型イオン源などであってもよい。
コンデンサレンズ52は、例えば、光軸に沿って配置される第1コンデンサレンズ52a及び第2コンデンサレンズ52bを備える。第1コンデンサレンズ52a及び第2コンデンサレンズ52bの各々は、例えば、光軸に沿って配置される3つの電極を備える静電レンズである。
コンデンサレンズ52は、引出電極51によってイオン源41から引き出されたイオンビームを集束させる。コンデンサレンズ52では、イオンビーム鏡筒17の光学条件に応じて印加される電圧が調整されることによって、イオンビームの集束度合いに関するレンズ強度が変更される。
ブランカー53は、例えば、イオンビームの進行方向に交差する方向の両側から光軸を挟み込むように対向して配置される一対の電極(ブランキング電極)等を備える。ブランカー53は、イオンビームの遮断の有無を切り替える。例えば、ブランカー53は、イオンビームを偏向させることによってブランキングアパーチャ(図示略)に衝突させて遮断し、イオンビームを偏向させないことによって遮断を解除する。
遮蔽駆動機構54aは、複合ビーム装置10の動作モードなどに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。例えば、遮蔽駆動機構54aは、駆動方向が少なくとも1軸方向であるアクチュエータを備える。アクチュエータは、例えば圧電アクチュエータである。アクチュエータの駆動方向は、イオンビーム鏡筒17の光軸に交差する平面内の少なくとも任意の1軸方向である。例えば、アクチュエータは、イオンビーム鏡筒17の光軸に直交するX軸方向及びY軸方向の各々に遮蔽部材54bを進退させる。尚、遮蔽駆動機構54aはモータと歯車機構とから構成されるものでもよい。
遮蔽部材54bは、短手方向を遮蔽駆動機構54aによる第1の駆動方向(例えば、X軸方向)に平行とし、長手方向に沿ったナイフエッジ状の一端54cを遮蔽駆動機構54aによる第2の駆動方向(例えば、Y軸方向)に平行として配置される。遮蔽部材54bは、遮蔽駆動機構54aによってX軸方向に変位することによって、ナイフエッジ状の一端54cを含む端部54dによってイオンビームの一部を遮蔽する。遮蔽部材54bは、遮蔽駆動機構54aによってY軸方向に変位することによって、ナイフエッジ状の一端54cを含む端部54dのうちイオンビームを遮蔽する部位をY軸方向に沿って変更する。
例えば、遮蔽部材54bは、後述する可動絞り55によって光軸に対する断面形状が円形に成形されるイオンビームの一部を予め遮蔽することによって、可動絞り55を通過後に光軸に対する断面形状が弓形又は半円形になるイオンビームを形成する。遮蔽部材54bによって形成されるイオンビームの光軸に対する断面形状は、ナイフエッジ状の一端54cによって形成される弦と、遮蔽部材54bとは干渉しない円弧とによる弓形又は半円形である。
絞り駆動機構55aは、複合ビーム装置10の動作モードなどに応じて制御装置25から出力される制御信号によって制御される。例えば、絞り駆動機構55aは、駆動方向が少なくとも1軸方向であるアクチュエータを備える。アクチュエータは、例えば圧電アクチュエータである。アクチュエータの駆動方向は、イオンビーム鏡筒17の光軸に交差する平面内の少なくとも任意の1軸方向である。例えば、アクチュエータは、例えばイオンビーム鏡筒17の光軸に直交するX軸方向及びY軸方向の各々に絞り部材55bを進退させる。尚、絞り駆動機構55aはモータと歯車機構とから構成されるものでもよい。
絞り部材55bの外形は、例えば、少なくとも1つの貫通孔55cが形成された板状である。例えば、絞り部材55bには、所定方向に沿って配列される複数の貫通孔55cが形成されている。所定方向は、絞り駆動機構55aの駆動方向に平行な方向であって、例えば、X軸方向である。複数の貫通孔55cのいずれかは、絞り駆動機構55aによる絞り部材55bの駆動に応じて、イオンビームの少なくとも一部を通過させる。複数の貫通孔55cは、少なくとも観察用及び加工用の相互に大きさが異なる円形孔である。遮蔽部材54b及び絞り部材55bがイオンビーム鏡筒17の内部に配置されるので、遮蔽部材54b及び絞り部材55bと他の機器との干渉が防止される。
アライメント56は、イオンビームが対物レンズ59の中心軸を通過するようにイオンビームの軌道を調整する。
スティグメータ57は、イオンビームの非点収差を補正する。
走査電極58は、対物レンズ59を通過したイオンビームを試料S上で走査させる。走査電極58は、例えば、2次元走査用の偏向電圧が印加されることによって、試料Sの表面上の矩形領域をラスター走査する。
集束モードは、コンデンサレンズ52と対物レンズ59との間でイオンビームの軌道を交差させずにほぼ平行とし、可動遮蔽部54及び可動絞り55によってイオンビームの角度広がりを調整する。集束モードは、対物レンズ59によって試料S上に集束させられて走査電極58によって偏向されるイオンビームによって試料S上を走査する。
投射モードは、いわゆる均一照明であるケーラー照明法に基づいて、視野絞りに相当する可動絞り55で成形されるイオンビームを走査せずに試料S上に投射する。投射モードは、対物レンズ59によって可動絞り55を光源とし、可動絞り55によって切り取られたビーム形状でイオンビームを試料S上に集束させる。なお、投射モードでは、照射範囲を拡大するなどのために走査が実行されてもよい。
例えば、イオン光学系42は、先ず、加工領域の設定及び位置ずれの補正等のための観察時には、可動遮蔽部54によるイオンビームの遮蔽無しに、可動絞り55での所望の円形孔の中心をビーム中心C(後述の図3及び図4参照)に一致させることによって、光軸に対する断面形状が円形であるイオンビームを形成する。走査電極58によって偏向されるイオンビームによって試料S上を走査して、試料Sの表面から発生する二次荷電粒子信号を二次荷電粒子検出器21により検出して観察像を形成する。
次に、イオン光学系42は、加工時には、イオン光学系42でのレンズ電圧等の光学条件及び可動絞り55の設定を観察時と同一に維持した状態で可動遮蔽部54によってイオンビームの一部を遮蔽することによって、光軸に対する断面形状が弓形又は半円形であるイオンビームを形成し、加工を実施する。
図3に示すように、遮蔽部材54bによる遮蔽無しに絞り部材55bによって絞られるイオンビームの広がり角度(第1ビーム半角)α1に比べて、遮蔽部材54bによって一部が遮蔽されるイオンビームの広がり角度(第2ビーム半角)α2は、より小さくなる。
例えば、下記数式(1)に示すように、試料S上に集束されるイオンビームの最小ビーム径dは、光学系倍率M、仮想光源径ρ、球面収差係数Cs、色収差係数Cc、ビーム半角α、放出イオンのエネルギー幅ΔV及びビームエネルギーVによって記述される。
例えば図4に示すビーム電流I4は40nAである。Y軸方向には球面収差及び色収差の各々による像のぼけ量によりひろがるものの、X軸方向については原点より負側の広がりが抑えられている。従って、大電流においてエッジの立った垂直平面の加工が可能となる。
例えば図5に示す試料Sの断面CSは、遮蔽部材54bによって形成されたビーム面BSを有するイオンビームのエッチング加工によって得られる実施例での加工幅PW及びだれ面DSと、遮蔽部材54bによる遮蔽無しのイオンビームのエッチング加工によって得られる比較例での加工幅PWa及びだれ面DSaとの例を示す。実施例での加工幅PW及びだれ面DSは、イオンビームの広がりが比較例に比べて低減されていることによって、比較例での加工幅PWa及びだれ面DSaよりも小さくなる。実施例のだれ面DSの急峻性は、比較例のだれ面DSaの急峻性に比べて、より高くなる。
以下に、上述した複合ビーム装置10による試料Sの観察及び加工の動作例について説明する。
第1の動作例では、先ず、制御装置25は、可動遮蔽部54による遮蔽無しに可動絞り55の円形孔によって、光軸に対する断面形状が円形であるイオンビームを形成する。制御装置25は、相対的に小電流のイオンビームの照射によって試料Sの表面を走査することによって、観察用の画像(観察像)を取得する。制御装置25は、観察像上にて加工領域及び加工条件を設定する。
次に、制御装置25は、可動遮蔽部54によってイオンビームの一部を遮蔽することによって、光軸に対する断面形状が弓形又は半円形であるイオンビームを形成する。制御装置25は、イオン光学系42でのレンズ電圧等の光学条件及び可動絞り55の設定を相対的に大電流又は中電流に変更し、例えばビーム電流の変更に伴う照射位置の補正等の予め設定した所定のプリセット動作を静電偏向器60に対して実行した後に、相対的に大電流又は中電流のイオンビームの照射によって試料Sをエッチング加工する。
次に、制御装置25は、可動遮蔽部54によってイオンビームの一部を遮蔽することによって、光軸に対する断面形状が弓形又は半円形であるイオンビームを形成する。制御装置25は、例えば観察時と同様に中電流であるイオンビームの照射によって試料Sをエッチング加工する。
次に、制御装置25は、可動遮蔽部54によってイオンビームの一部を遮蔽することによって、光軸に対する断面形状が弓形又は半円形であるイオンビームを形成する。制御装置25は、イオン光学系42でのレンズ電圧等の光学条件及び可動絞り55の設定を相対的に大電流又は中電流に変更し、例えばビーム電流の変更に伴う照射位置の補正等の予め設定した所定のプリセット動作を静電偏向器60に対して実行した後に、相対的に大電流又は中電流のイオンビームの照射によって試料Sをドリフト補正インターバルの間、エッチング加工する。ドリフト補正は、制御装置25により、可動遮蔽部54による遮蔽無しに可動絞り55の円形孔によって、光軸に対する断面形状が円形であるイオンビームを形成する。制御装置25は、試料Sの表面を走査することによって、予め試料Sの表面に形成されている基準点を示す参照マークを観察するための画像(観察像)を取得する。制御装置25は、観察像上の参照マークの位置座標に基づいて、必要に応じて試料Sの位置ずれを補正する。
そして、制御装置25は、加工領域が所望の位置に到達するまで、上述した観察像の取得及び位置ずれ補正と、エッチング加工とを繰り返し実行する。
例えば、制御装置25は、最大のビーム電流に対して、粗加工での遮蔽量を20%とし、中間加工での遮蔽量を50%とし、仕上げ加工での遮蔽量を80%とする。これにより、例えば、最大のビーム電流が80nAであれば、粗加工でのビーム電流は64nAであり、中間加工でのビーム電流は40nAであり、仕上げ加工でのビーム電流は16nAである。なお、制御装置25は、可動遮蔽部54の遮蔽部材54bの位置をより詳細に変更することによって、ビーム電流をより詳細に調整してもよい。
遮蔽部材54bによる遮蔽無しに絞り部材55bの円形孔を通過するイオンビームによって観察用の適正な画像を得ることができ、精度の良い観察及び加工位置決めを行うことができる。
遮蔽部材54bによって整形される断面形状が弓形又は半円形のイオンビームによって、直線的なエッジの断面形状を容易に形成することができる。球面収差及び色収差の各々による像のぼけ量が低減されているイオンビームによって、仕上げ加工幅を低減することができ、加工時間が嵩むことを抑制して、効率よく断面加工を行うことができる。
例えば、電流密度が相対的に小さいイオンビーム等にて所望のビーム電流を確保するために絞り部材55bの貫通孔55cを大きくすることに起因して収差が増大する場合であっても、加工によって形成される断面形状のエッジの急峻性を確保することができる。
以下、実施形態の変形例について説明する。なお、上述した実施形態と同一部分については、同一符号を付して説明を省略又は簡略化する。
上述の実施形態では、遮蔽部材54bの短手方向の少なくとも一端54cの外形は長手方向に沿うナイフエッジ状であるとしたが、これに限定されない。例えば、遮蔽部材54bにはイオンビームを遮蔽するための複数の端部が設けられてもよい。
図6及び図7は、実施形態の変形例での遮蔽部材61の第1及び第2の移動例を示す図である。
図6及び図7に示すように、変形例の遮蔽部材61の外形は、遮蔽駆動機構54aに接続される軸部62が設けられた矩形板状である。変形例の遮蔽部材61は、遮蔽駆動機構54aによる第1の駆動方向(例えば、X軸方向)の両端として、第2の駆動方向(例えば、Y軸方向)に沿って直線的に延びるナイフエッジ状の第1端61a及び第2端61bを備える。遮蔽部材61は、遮蔽駆動機構54aによる第2の駆動方向(例えば、Y軸方向)の両端として、第1の駆動方向(例えば、X軸方向)に沿って直線的に延びるナイフエッジ状の第3端61c及び第4端61dを備える。
図7に示すように、遮蔽部材61は、遮蔽駆動機構54aによってY軸方向に変位することによって、ナイフエッジ状の第3端61c及び第4端61dの各々を含む各端部61C,61Dのいずれかによって貫通孔55cを通過するイオンビーム(IB)の一部を遮蔽する。
この変形例によれば、例えば薄片試料の形成等の断面加工時に、遮蔽部材61によって形成されるイオンビームの略平面状のビーム面BSの方向及びビーム面BSによって形成される試料Sでの断面の方向(向き)を変更することができる。
例えば、可動絞り55での所望の円形孔の中心はビーム中心Cからずれて配置されてもよい。この場合、さらに、可動遮蔽部54によるイオンビームの遮蔽時に遮蔽部材54bのナイフエッジ状の一端54cがビーム中心Cと交差するように配置されてもよい。この場合、イオンビームの光軸に対する断面形状が半円形ではなく弓形であっても、イオンビームのビーム電流が相対的に大きいビーム中心部によって試料Sに断面を形成することができる。
また、上述の実施形態では、可動遮蔽部54によるイオンビームの遮蔽無しの観察時と、可動遮蔽部54によってイオンビームの一部を遮蔽する加工時とで、可動絞り55の絞り部材55bの位置を不変としたが、これに限定されず、相互に絞り部材55bの位置が変更されることによってビーム電流が調整されてもよい。
Claims (6)
- イオンビームを発生させるイオン源と、
前記イオン源から発生する前記イオンビームの一部を通過させるために選択される少なくとも1つの貫通孔が形成された絞り部材と、
前記絞り部材の前記貫通孔を通過する前記イオンビームの一部を遮蔽する遮蔽部材と、
前記遮蔽部材を駆動する駆動機構と、
前記貫通孔を通過した前記イオンビームを試料に照射する光学系と、
を備え、
前記駆動機構は、前記光学系が所定の光学条件を維持する状態で前記絞り部材の前記貫通孔を通過する前記イオンビームの前記遮蔽部材による遮蔽有無を切り替え、
前記駆動機構は、前記イオンビームの中心部に配置される前記貫通孔を通過する前記イオンビームの前記遮蔽部材による遮蔽有無を切り替え、
前記絞り部材の前記貫通孔の外形は円形状であり、
前記遮蔽部材は直線的なエッジ状の端部を備え、
前記駆動機構は、前記貫通孔を通過する前記イオンビームの前記端部による遮蔽有無を切り替えることによって、ビーム軸に対する断面形状が弓形又は半円形のビームと円形のビームとを切り替え、
前記イオン源、前記絞り部材、前記遮蔽部材および前記駆動機構の動作を制御する制御装置を有し、
前記制御装置は、第1プロセスを実施可能であり、
前記第1プロセスにおいて、前記制御装置は、
前記遮蔽部材による前記イオンビームの遮蔽無しに、前記絞り部材の前記貫通孔の中心部を前記イオンビームの中心部に一致させ、前記ビーム軸に対する断面形状が円形である前記イオンビームを形成し、前記イオンビームにより前記試料を走査して、前記試料の観察用の画像を取得し、
次に、前記光学系の光学条件を前記観察用の画像の取得時と同一に維持した状態で、前記遮蔽部材により前記イオンビームの一部を遮蔽して、前記ビーム軸に対する断面形状が弓形又は半円形である前記イオンビームを形成し、前記試料を加工する、
ことを特徴とする集束イオンビーム装置。 - (削除)
- 前記駆動機構は、前記貫通孔を通過する前記イオンビームを前記遮蔽部材の端部によって遮蔽する場合に前記端部を前記イオンビームの中心部に配置する、
ことを特徴とする請求項1に記載の集束イオンビーム装置。 - (削除)
- 前記駆動機構は、少なくとも1軸方向の駆動方向に前記遮蔽部材を進退させることによって、前記貫通孔を通過する前記イオンビームに対して、前記駆動方向の両端部の各々による遮蔽有無を切り替える、
ことを特徴とする請求項1又は3に記載の集束イオンビーム装置。 - 前記制御装置は、第2プロセスを実施可能であり、
前記第2プロセスにおいて、前記制御装置は、
前記遮蔽部材による前記イオンビームの遮蔽無しに、前記絞り部材の前記貫通孔の中心部を前記イオンビームの中心部に一致させ、前記ビーム軸に対する断面形状が円形である前記イオンビームを形成し、前記イオンビームにより前記試料を走査して、前記試料の観察用の画像を取得し、
次に、前記光学系の光学条件を前記観察用の画像の取得時から変更し、前記光学系の光学条件の変更に伴う予め設定したプリセット動作を前記光学系に対して実行し、前記遮蔽部材により前記イオンビームの一部を遮蔽して、前記ビーム軸に対する断面形状が弓形又は半円形である前記イオンビームを形成し、前記試料を加工する、
ことを特徴とする請求項1,3又は5に記載の集束イオンビーム装置。
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