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JP7496505B2 - Component mounting system and component mounting method - Google Patents

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JP7496505B2 JP2020170379A JP2020170379A JP7496505B2 JP 7496505 B2 JP7496505 B2 JP 7496505B2 JP 2020170379 A JP2020170379 A JP 2020170379A JP 2020170379 A JP2020170379 A JP 2020170379A JP 7496505 B2 JP7496505 B2 JP 7496505B2
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Description

本発明は、部品実装システム及び部品実装方法に関する。 The present invention relates to a component mounting system and a component mounting method.

従来、液晶パネル又は有機EL(Electro Luminescence)パネル等のディスプレイパネル等の基板に駆動回路等の電子部品を実装するシステムがある(例えば、特許文献1参照)。 Conventionally, there is a system in which electronic components such as a drive circuit are mounted on a substrate of a display panel such as a liquid crystal panel or an organic EL (Electro Luminescence) panel (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1に開示された電子部品のボンディング装置は、アウターリードボンディング部、第1本圧着部、及び、第2本圧着部を備える。当該ボンディング装置は、アウターリードボンディング部で位置合わせを行った後、第1本圧着部及び第2本圧着部で本圧着を行う。当該ボンディング装置は、電子部品をLCD(Liquid Crystal Display)等の表示パネルへ圧着する際に生じる位置ずれを予め見込んで、電子部品と表示パネルとの位置合わせを行う。これにより、当該ボンディング装置は、正確なボンディングを行うことができる。 The electronic component bonding device disclosed in Patent Document 1 includes an outer lead bonding section, a first compression bonding section, and a second compression bonding section. The bonding device performs alignment in the outer lead bonding section, and then performs main compression bonding in the first and second compression bonding sections. The bonding device aligns the electronic component with the display panel, anticipating misalignment that may occur when the electronic component is compressed onto a display panel such as an LCD (Liquid Crystal Display). This allows the bonding device to perform accurate bonding.

特開平7-201932号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-201932

特許文献1では、例えば、表示パネルに電子部品を実装し、実装された電子部品の位置の所定の位置からの位置ずれ量を、50枚の表示パネル(サンプル)について取得し、取得した50枚のサンプルのそれぞれの位置ずれ量の平均値を、実装装置が部品を実装する実装位置を補正するための補正量として算出する。 In Patent Document 1, for example, electronic components are mounted on a display panel, and the amount of positional deviation of the mounted electronic components from a predetermined position is obtained for 50 display panels (samples), and the average of the amount of positional deviation for each of the obtained 50 samples is calculated as the amount of correction for correcting the mounting position at which the mounting device mounts the components.

ここで、サンプル数が少なすぎると、最適な補正量から離れた値が算出される場合がある。つまり、サンプル数が少なすぎると、精度の低い補正量が算出される虞がある。そのため、実装精度が低く、歩留まりが低下する虞がある。一方、サンプル数が多すぎると、補正されずに電子部品が実装された表示パネルが多くなる。そのため、実装精度が低いまま実装された電子部品の数が増えるため、歩留まりが低下する虞がある。 Here, if the number of samples is too small, a value far from the optimal correction amount may be calculated. In other words, if the number of samples is too small, there is a risk that a correction amount with low accuracy will be calculated. This will result in low mounting accuracy and a risk of reduced yield. On the other hand, if the number of samples is too large, there will be many display panels on which electronic components are mounted without correction. This will result in an increase in the number of electronic components mounted with low mounting accuracy, and there is a risk of reduced yield.

このように、サンプル数が多すぎても少なすぎても、歩留まりが低下する虞がある。 As such, if the number of samples is too large or too small, there is a risk of reduced yield.

本発明は、歩留まりの低下を抑制できる部品実装システム等を提供する。 The present invention provides a component mounting system that can suppress a decrease in yield.

本発明の一態様に係る部品実装システムは、基板に部品を実装する実装装置と、前記実装装置によって基板に実装された部品の位置の所定の位置からのずれ量に基づいて、前記実装装置が基板に部品を実装する実装位置を前記実装装置に補正させるための補正量を算出する算出部と、前記補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる制御部と、前記実装装置に前記実装位置を補正させるための入力を受け付ける入力部と、を備え、前記制御部は、前記実装装置が基板に部品を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、前記入力部が前記入力を受け付けたか否かを判定し、前記入力部が前記入力を受け付けたと判定した場合、前記処理枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき前記算出部が算出した第1補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させ、前記入力部が前記入力を受け付けていないと判定した場合、前記実装装置に前記規定枚数の基板に部品を実装させ、前記規定枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき前記算出部が算出した第2補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる。 A component mounting system according to one aspect of the present invention includes a mounting device that mounts components on a substrate, a calculation unit that calculates a correction amount for the mounting device to correct a mounting position at which the mounting device mounts a component on a substrate based on an amount of deviation from a predetermined position of a component mounted on the substrate by the mounting device, a control unit that causes the mounting device to correct the mounting position based on the correction amount, and an input unit that receives an input for causing the mounting device to correct the mounting position, and the control unit is configured to detect an unreached number of substrates on which components have been mounted by the mounting device before the number of substrates on which the mounting device has mounted components reaches a predetermined number. During the period, the input unit determines whether the input has been received, and if the input unit determines that the input has been received, the mounting device corrects the mounting position based on a first correction amount calculated by the calculation unit based on the deviation amount measured from each of the processed number of boards, and if the input unit determines that the input has not been received, the mounting device mounts components on the specified number of boards, and the mounting device corrects the mounting position based on a second correction amount calculated by the calculation unit based on the deviation amount measured from each of the specified number of boards.

また、本発明の一態様に係る部品実装方法は、実装装置によって基板に部品を実装し、前記実装装置によって基板に実装された部品の位置の所定の位置からのずれ量に基づいて、前記実装装置が基板に部品を実装する実装位置を前記実装装置に補正させるための補正量を算出し、前記実装装置が基板に部品を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、前記実装装置に前記実装位置を補正させるための入力を受け付けたか否かを判定し、前記入力を受け付けたと判定した場合、前記処理枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき算出した第1補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させ、前記入力を受け付けていないと判定した場合、前記実装装置に前記規定枚数の基板に部品を実装させ、前記規定枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき算出した第2補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる。 In addition, a component mounting method according to one aspect of the present invention includes mounting components on a board using a mounting device, calculating a correction amount for the mounting device to correct the mounting position at which the mounting device mounts the components on the board based on the amount of deviation from a predetermined position of the position of the components mounted on the board by the mounting device, determining whether or not an input for causing the mounting device to correct the mounting position has been received during a period before the number of boards processed by the mounting device to mount components on the board reaches a predetermined number, and if it is determined that the input has been received, causing the mounting device to correct the mounting position based on a first correction amount calculated based on the amount of deviation measured from each of the processed number of boards, and if it is determined that the input has not been received, causing the mounting device to mount components on the specified number of boards and causing the mounting device to correct the mounting position based on a second correction amount calculated based on the amount of deviation measured from each of the specified number of boards.

なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム又はコンピュータ読み取り可能なCD-ROM等の記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized as a system, method, integrated circuit, computer program, or computer-readable recording medium such as a CD-ROM, or may be realized as any combination of a system, method, integrated circuit, computer program, and recording medium.

本発明によれば、歩留まりの低下を抑制できる部品実装システム等を提供できる。 The present invention provides a component mounting system that can suppress a decrease in yield.

図1は、実施の形態に係る部品実装システムを示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a component mounting system according to an embodiment. 図2は、実施の形態に係る部品実装システムの構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a component mounting system according to an embodiment. 図3は、撮像部が基板を撮像する位置を説明するための概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view for explaining a position where the imaging unit images the board. 図4は、部品が実装された基板を示す裏面図である。FIG. 4 is a rear view showing the board on which components are mounted. 図5は、実施の形態に係る検査装置が測定するずれ量を説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the amount of deviation measured by the inspection device according to the embodiment. 図6は、実施の形態に係る部品実装システムの処理手順を示すフローチャートである。FIG. 6 is a flowchart showing a processing procedure of the component mounting system according to the embodiment.

以下では、本発明の実施の形態に係る部品実装システム等について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、いずれも本発明の一具体例を示すものである。したがって、以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置及び接続形態、ステップ及びステップの順序等は、一例であり、本発明を限定する趣旨ではない。よって、以下の実施の形態における構成要素のうち、本発明の最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。 The following describes in detail the component mounting system and the like according to the embodiments of the present invention with reference to the drawings. Note that each of the embodiments described below shows a specific example of the present invention. Therefore, the numerical values, shapes, materials, components, component arrangement and connection form, steps and order of steps shown in the following embodiments are merely examples and are not intended to limit the present invention. Therefore, among the components in the following embodiments, components that are not described in the independent claims that show the highest concept of the present invention are described as optional components.

また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。 The figures are schematic diagrams and are not necessarily precise illustrations. In each figure, the same components are given the same reference numerals.

また、本明細書及び図面において、X軸、Y軸、及び、Z軸は、三次元直交座標系の三軸を表している。X軸及びY軸は、互いに直交し、且つ、いずれもZ軸に直交する軸である。また、以下の実施の形態では、基板の搬送方向をX軸正方向とし、Z軸正方向を上方とし、Z軸負方向を下方として記載する場合がある。 In addition, in this specification and the drawings, the X-axis, Y-axis, and Z-axis represent the three axes of a three-dimensional Cartesian coordinate system. The X-axis and Y-axis are mutually orthogonal, and are both orthogonal to the Z-axis. In addition, in the following embodiments, the substrate transport direction may be described as the positive X-axis direction, the positive Z-axis direction as the upward direction, and the negative Z-axis direction as the downward direction.

(実施の形態)
[構成]
まず、実施の形態に係る部品実装システムの構成について説明する。
(Embodiment)
[composition]
First, the configuration of a component mounting system according to an embodiment will be described.

図1は、実施の形態に係る部品実装システム1を示す平面図である。図2は、実施の形態に係る部品実装システム1の構成を示すブロック図である。図3は、撮像部37が基板400を撮像する位置を説明するための概略斜視図である。 Figure 1 is a plan view showing a component mounting system 1 according to an embodiment. Figure 2 is a block diagram showing the configuration of the component mounting system 1 according to an embodiment. Figure 3 is a schematic perspective view for explaining the position where the imaging unit 37 images the board 400.

なお、図1においては、検査装置200及び制御装置300を、機能的なブロックとして図示している。例えば、検査装置200は、制御装置300と、無線通信可能に、又は、制御線等により有線通信可能に接続されている。また、例えば、制御装置300は、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、及び、搬送部60等の実装装置100が備える各装置と、無線通信可能に、又は、制御線等により有線通信可能に接続されており、各装置を制御する。 In FIG. 1, the inspection device 200 and the control device 300 are illustrated as functional blocks. For example, the inspection device 200 is connected to the control device 300 so as to be capable of wireless communication or wired communication via a control line or the like. Also, for example, the control device 300 is connected to each device included in the mounting device 100, such as the attachment unit 20, the temporary crimping unit 30, the main crimping unit 40, and the transport unit 60, so as to be capable of wireless communication or wired communication via a control line or the like, and controls each device.

また、図3では、基板400が載置されるステージ31、及び、バックアップステージ等の仮圧着部30が備える構成要素の一部の図示を省略している。また、図3においては、搭載ヘッド移動機構36を、機能的なブロックとして図示している。 In addition, in FIG. 3, the stage 31 on which the substrate 400 is placed and some of the components of the temporary bonding unit 30, such as the backup stage, are not shown. In addition, in FIG. 3, the mounting head moving mechanism 36 is shown as a functional block.

部品実装システム1は、基板400に部品440を実装するシステムである。具体的には、部品実装システム1は、電極部410が形成された基板400に異方性導電部材であるACF430を貼着し、ACF430を介して基板400に部品440を実装するシステムである。本実施の形態では、部品実装システム1(より具体的には、実装装置100)は、ACF430を介して基板400に部品440を熱圧着する。 The component mounting system 1 is a system that mounts a component 440 on a substrate 400. Specifically, the component mounting system 1 is a system that attaches an ACF 430, which is an anisotropic conductive member, to a substrate 400 on which an electrode portion 410 is formed, and mounts the component 440 on the substrate 400 via the ACF 430. In this embodiment, the component mounting system 1 (more specifically, the mounting device 100) thermocompresses the component 440 onto the substrate 400 via the ACF 430.

基板400は、液晶ディスプレイパネル又は有機ELパネル等のディスプレイパネルである。本実施の形態では、基板400は、透光性を有する(より具体的には、透明である)基板である。 The substrate 400 is a display panel such as a liquid crystal display panel or an organic EL panel. In this embodiment, the substrate 400 is a substrate that is translucent (more specifically, transparent).

電極部410は、例えば、電極により構成されている。 The electrode section 410 is, for example, composed of an electrode.

部品440は、例えば、駆動回路等が形成された電子部品であって、TCP(Tape Carrier Package)、FPC(Flexible Printed Circuits)等のフレキシブル部品が例示される。 Component 440 is, for example, an electronic component in which a drive circuit and the like are formed, and examples of such components include flexible components such as TCP (Tape Carrier Package) and FPC (Flexible Printed Circuits).

部品実装システム1は、実装装置100と、検査装置200と、制御装置300と、を備える。 The component mounting system 1 includes a mounting device 100, an inspection device 200, and a control device 300.

実装装置100は、基板400に部品440を実装する装置(システム)である。本実施の形態では、実装装置100は、基板400に部品440を熱圧着する。具体的には、実装装置100は、基板400に設けられたマーク420と、部品440の裏面に設けられたマーク421(図4参照)との位置に基づいて、基板400に部品440を載置(仮圧着)した後に、仮圧着された部品440を基板400に熱圧着(本圧着)する。 The mounting device 100 is a device (system) that mounts a component 440 on a substrate 400. In this embodiment, the mounting device 100 thermocompresses the component 440 onto the substrate 400. Specifically, the mounting device 100 places (temporarily press-bonds) the component 440 onto the substrate 400 based on the positions of a mark 420 provided on the substrate 400 and a mark 421 (see FIG. 4) provided on the back surface of the component 440, and then thermocompresses (mainly press-bonds) the temporarily pressed component 440 to the substrate 400.

実装装置100は、基板搬入部10と、貼着部20と、仮圧着部30と、本圧着部40と、基板搬出部50と、搬送部60と、を備える。基板搬入部10、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、及び、基板搬出部50は、この順で連結されている。実装装置100は、基板400が搬送される上流側の基板搬入部10より搬入された基板400の周縁に設けられた電極部410に部品440を実装(本実施の形態では、仮圧着及び本圧着)する部品実装工程(部品圧着工程)を実行する。部品440が実装された基板400は、基板搬出部50に搬送され、基板搬出部50から、検査装置200に搬出される。 The mounting device 100 includes a board loading section 10, an adhesion section 20, a temporary pressure bonding section 30, a permanent pressure bonding section 40, a board unloading section 50, and a transport section 60. The board loading section 10, the adhesion section 20, the temporary pressure bonding section 30, the permanent pressure bonding section 40, and the board unloading section 50 are connected in this order. The mounting device 100 executes a component mounting process (component pressure bonding process) in which components 440 are mounted (in this embodiment, temporary pressure bonding and permanent pressure bonding) on electrode sections 410 provided on the periphery of the board 400 that is loaded from the board loading section 10 on the upstream side of the board 400 being transported. The board 400 on which the components 440 are mounted is transported to the board unloading section 50, and is unloaded from the board unloading section 50 to the inspection device 200.

基板搬入部10は、基台1aに設けられたステージ11を備える。ステージ11には、電極部410が形成された基板400が載置される。 The substrate loading section 10 includes a stage 11 mounted on a base 1a. A substrate 400 on which an electrode section 410 is formed is placed on the stage 11.

貼着部20は、基板400の電極部410に接着部材であるACF430を貼着(貼付け)する貼着工程を行う装置である。貼着部20は、ステージ21と、ステージ移動部22と、貼着機構23と、を備える。 The adhesion unit 20 is a device that performs an adhesion process in which the ACF 430, which is an adhesive member, is adhered (attached) to the electrode portion 410 of the substrate 400. The adhesion unit 20 includes a stage 21, a stage movement unit 22, and an adhesion mechanism 23.

ステージ21は、ステージ11から搬送された基板400が載置されるステージである。 Stage 21 is the stage on which the substrate 400 transported from stage 11 is placed.

ステージ移動部22は、ステージ21に載置された基板400を移動させる機構である。ステージ移動部22は、例えば、X軸方向に可動なX軸テーブルと、Y軸方向に可動なY軸テーブルと、Z軸方向に可動なZ軸テーブルと、を備える。ステージ移動部22は、X軸テーブル、Y軸テーブル、及び、Z軸テーブルによって、ステージ21に載置された基板400を移動させる。 The stage moving unit 22 is a mechanism that moves the substrate 400 placed on the stage 21. The stage moving unit 22 includes, for example, an X-axis table that is movable in the X-axis direction, a Y-axis table that is movable in the Y-axis direction, and a Z-axis table that is movable in the Z-axis direction. The stage moving unit 22 moves the substrate 400 placed on the stage 21 by the X-axis table, the Y-axis table, and the Z-axis table.

貼着機構23は、基板400の電極部410にACF430を貼着する装置である。貼着機構23は、例えば、ACF430を供給する供給部と、ACF430を基板400に貼着するための貼着ツールと、を備える。貼着ツールは、例えば、基台1bの上方に配置され、供給部から供給されたACF430を、基板400の電極部410に対応する位置に貼着するための貼着ヘッドを有する。 The adhesion mechanism 23 is a device that adheres the ACF 430 to the electrode portion 410 of the substrate 400. The adhesion mechanism 23 includes, for example, a supply unit that supplies the ACF 430, and an adhesion tool for adhering the ACF 430 to the substrate 400. The adhesion tool is, for example, disposed above the base 1b, and has an adhesion head for adhering the ACF 430 supplied from the supply unit to a position corresponding to the electrode portion 410 of the substrate 400.

仮圧着部30は、基板400における、貼着部20でACF430が貼着された位置に部品440を載置する(より具体的には、仮圧着する)仮圧着工程を実行する装置である。 The temporary bonding unit 30 is a device that performs a temporary bonding process in which a component 440 is placed (more specifically, temporarily bonded) at the position on the substrate 400 where the ACF 430 has been attached by the attachment unit 20.

仮圧着部30は、ステージ31と、ステージ移動部32と、部品供給部33と、仮圧着ツール34と、を備える。 The temporary bonding unit 30 includes a stage 31, a stage movement unit 32, a component supply unit 33, and a temporary bonding tool 34.

ステージ31は、ACF430が貼着された基板400が載置されるステージである。 Stage 31 is the stage on which the substrate 400 with ACF 430 attached is placed.

ステージ移動部32は、基板400を移動させる機構である。ステージ移動部32は、例えば、X軸方向に可動なX軸テーブルと、Y軸方向に可動なY軸テーブルと、Z軸方向に可動なZ軸テーブルと、を備える。 The stage moving unit 32 is a mechanism for moving the substrate 400. The stage moving unit 32 includes, for example, an X-axis table that is movable in the X-axis direction, a Y-axis table that is movable in the Y-axis direction, and a Z-axis table that is movable in the Z-axis direction.

ステージ移動部32は、貼着部20のステージ移動部22と同様の構造であり、X軸テーブル、Y軸テーブル、及び、Z軸テーブルによって、基板400を保持して水平面内で移動させ、上下方向で昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。 The stage moving unit 32 has a structure similar to that of the stage moving unit 22 of the adhesion unit 20, and has the function of holding the substrate 400 and moving it in a horizontal plane using an X-axis table, a Y-axis table, and a Z-axis table, as well as raising and lowering it in the vertical direction and rotating it around the Z axis.

部品供給部33は、仮圧着ツール34に部品440を供給する機構である。 The component supply unit 33 is a mechanism that supplies components 440 to the temporary crimping tool 34.

仮圧着ツール34は、ACF430を介して基板400に部品440を載置する装置である。仮圧着ツール34は、基台1b上に設けられた、図3に示す搭載ヘッド35と、搭載ヘッド35を移動するための図3に示す搭載ヘッド移動機構36と、図3に示す撮像部37と、基板400を支持するための搭載支持台(いわゆるバックアップステージ)と、を備える。 The temporary bonding tool 34 is a device that places the component 440 on the substrate 400 via the ACF 430. The temporary bonding tool 34 includes a mounting head 35 (shown in FIG. 3) provided on the base 1b, a mounting head moving mechanism 36 (shown in FIG. 3) for moving the mounting head 35, an imaging unit 37 (shown in FIG. 3), and a mounting support table (so-called backup stage) for supporting the substrate 400.

搭載ヘッド35は、部品440をピックアップ(吸着)して、ピックアップした部品440を基板400に載置するためのヘッドである。 The mounting head 35 is a head for picking up (suctioning) the component 440 and placing the picked-up component 440 on the substrate 400.

搭載ヘッド移動機構36は、搭載ヘッド35を移動させるための装置である。搭載ヘッド移動機構36は、例えば、搭載ヘッド35を移動させるためのモータ及びガイドにより実現される。 The mounting head moving mechanism 36 is a device for moving the mounting head 35. The mounting head moving mechanism 36 is realized, for example, by a motor and a guide for moving the mounting head 35.

撮像部37は、搭載ヘッド35が適切な位置で部品440を基板400に載置できるように、基板400及び部品440を撮像するカメラである。 The imaging unit 37 is a camera that captures images of the board 400 and the component 440 so that the mounting head 35 can place the component 440 on the board 400 in the appropriate position.

搭載ヘッド35は、搭載ヘッド移動機構36によって水平面内で自在に移動し、Z軸方向に昇降して部品供給部33が供給する部品440を上方からピックアップする。仮圧着ツール34は、撮像部37から得られる情報を用いて搭載ヘッド35でピックアップした部品440をACF430上に載置して基板400ごと搭載支持台に押し付けることで、基板400に部品440を載置する。 The mounting head 35 is freely movable in a horizontal plane by the mounting head moving mechanism 36, and moves up and down in the Z-axis direction to pick up the component 440 supplied by the component supply unit 33 from above. The temporary bonding tool 34 uses information obtained from the imaging unit 37 to place the component 440 picked up by the mounting head 35 on the ACF 430 and presses the component 440 together with the substrate 400 against the mounting support base, thereby placing the component 440 on the substrate 400.

本圧着部40は、仮圧着部30によって基板400に載置された部品440を基板400に本圧着(つまり、熱圧着)する本圧着工程(つまり、熱圧着工程)を実行する装置である。 The final bonding unit 40 is a device that performs a final bonding process (i.e., a thermocompression process) in which the component 440 placed on the substrate 400 by the temporary bonding unit 30 is final bonded (i.e., thermocompression bonded) to the substrate 400.

こうすることで、基板400に形成された電極部410と部品440とはACF430を介して電気的に接続される。 By doing this, the electrode portion 410 formed on the substrate 400 and the component 440 are electrically connected via the ACF 430.

本圧着部40は、ステージ41と、ステージ移動部42と、本圧着ツール43と、を備える。 The final crimping unit 40 comprises a stage 41, a stage moving unit 42, and a final crimping tool 43.

ステージ41は、部品440が仮圧着された基板400が載置されるステージである。 Stage 41 is the stage on which the substrate 400 with the component 440 temporarily bonded thereto is placed.

ステージ移動部42は、貼着部20のステージ移動部22と同様の構造であり、X軸テーブル、Y軸テーブル、及び、Z軸テーブルによって、基板400を保持して水平面内で移動させ、上下方向で昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。ステージ移動部42は、例えば、ステージ41が保持する基板400を所定の方向に移動させ、部品440の熱圧着が行われる部品圧着位置に部品440が載置されている基板400を移動させる。 The stage moving unit 42 has a structure similar to that of the stage moving unit 22 of the bonding unit 20, and has the function of holding the substrate 400 and moving it in a horizontal plane, raising and lowering it in the vertical direction, and rotating it around the Z axis using an X-axis table, a Y-axis table, and a Z-axis table. The stage moving unit 42, for example, moves the substrate 400 held by the stage 41 in a predetermined direction, and moves the substrate 400 on which the component 440 is placed to a component bonding position where the component 440 is thermocompression bonded.

本圧着ツール43は、部品440を基板400に熱圧着するための機構である。本圧着ツール43は、例えば、圧着ヘッドと、当該圧着ヘッドを加熱するためのヒータと、を備える。本圧着ツール43は、ヒータによって加熱された圧着ヘッドによって、ACF430を介して基板400に部品440を加熱しながら押し付けて熱圧着する。 The main bonding tool 43 is a mechanism for thermocompression bonding the component 440 to the substrate 400. The main bonding tool 43 includes, for example, a compression head and a heater for heating the compression head. The main bonding tool 43 uses the compression head heated by the heater to press the component 440 against the substrate 400 via the ACF 430 while heating it, thereby thermocompressing it.

基板搬出部50は、基台1cに載置されたステージ51を備える。ステージ51には、本圧着部40から搬送された基板400をステージ51上に保持する。基板搬出部50において保持された基板400は、実装装置100の下流に位置する検査装置200に搬出される。 The substrate unloading section 50 includes a stage 51 mounted on a base 1c. The substrate 400 transported from the main pressure bonding section 40 is held on the stage 51. The substrate 400 held in the substrate unloading section 50 is transported to an inspection device 200 located downstream of the mounting device 100.

搬送部60は、基板400を搬送する装置である。具体的には、搬送部60は、基板搬入部10に搬入された基板400を、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、及び、基板搬出部50へこの順に所定の作業部間で搬送する。搬送部60は、貼着部20、仮圧着部30、及び、本圧着部40の前方領域(Y軸負方向側)に配置されている。 The transport unit 60 is a device that transports the substrate 400. Specifically, the transport unit 60 transports the substrate 400 that has been brought into the substrate carry-in unit 10 between the predetermined working units to the bonding unit 20, the temporary bonding unit 30, the full bonding unit 40, and the substrate carry-out unit 50 in this order. The transport unit 60 is disposed in the front area (negative Y-axis direction side) of the bonding unit 20, the temporary bonding unit 30, and the full bonding unit 40.

搬送部60は、基台1a、基台1b、及び、基台1cにわたってX軸方向に延びた移動ベース61上に、上流側から順に、基板搬送機構62A、基板搬送機構62B、基板搬送機構62C、及び、基板搬送機構62Dを備える。 The transport unit 60 is provided with, in order from the upstream side, a substrate transport mechanism 62A, a substrate transport mechanism 62B, a substrate transport mechanism 62C, and a substrate transport mechanism 62D on a moving base 61 that extends in the X-axis direction across bases 1a, 1b, and 1c.

基板搬送機構62A~62Dは、それぞれ基部63及び1以上のアームユニット64を備える。本実施の形態では、基板搬送機構62A~62Dがそれぞれ2基のアームユニット64を備える場合を例示している。 Each of the substrate transport mechanisms 62A-62D includes a base 63 and one or more arm units 64. In this embodiment, an example is shown in which each of the substrate transport mechanisms 62A-62D includes two arm units 64.

基部63は、移動ベース61上に設けられ、X軸方向に自在に移動する。基部63上には、2基のアームユニット64がX軸方向に並んで設けられている。アームユニット64には、水平方向に延びた1以上のアーム状の吸着ノズルがX軸方向に並んで設けられ、当該アームには、吸着面を下方に向けた吸着パッドが設けられている。アームユニット64は、吸着ノズルに設けられた吸着パッドを介して基板400を上方から吸着して、吸着した基板400を搬送する。 The base 63 is mounted on a movable base 61 and moves freely in the X-axis direction. Two arm units 64 are mounted side by side in the X-axis direction on the base 63. The arm unit 64 has one or more arm-shaped suction nozzles extending horizontally mounted side by side in the X-axis direction, and the arms are provided with suction pads with their suction surfaces facing downward. The arm unit 64 suctions the substrate 400 from above via the suction pads mounted on the suction nozzles, and transports the substrate 400 that has been suctioned.

例えば、基板搬送機構62Aは、基板搬入部10のステージ11に載置された基板400を受け取り、貼着部20のステージ21に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Bは、貼着部20のステージ21から基板400を受け取り、仮圧着部30のステージ31に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Cは、仮圧着部30のステージ31から基板400を受け取り、本圧着部40のステージ41に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Dは、本圧着部40のステージ41から基板400を受け取り、基板搬出部50のステージ51に受け渡す。 For example, the substrate transport mechanism 62A receives the substrate 400 placed on the stage 11 of the substrate carry-in section 10 and transfers it to the stage 21 of the bonding section 20. Also, for example, the substrate transport mechanism 62B receives the substrate 400 from the stage 21 of the bonding section 20 and transfers it to the stage 31 of the temporary pressure bonding section 30. Also, for example, the substrate transport mechanism 62C receives the substrate 400 from the stage 31 of the temporary pressure bonding section 30 and transfers it to the stage 41 of the main pressure bonding section 40. Also, for example, the substrate transport mechanism 62D receives the substrate 400 from the stage 41 of the main pressure bonding section 40 and transfers it to the stage 51 of the substrate carry-out section 50.

検査装置200は、基板400において部品440が実装された位置を測定(検査)する装置である。具体的には、検査装置200は、部品440が実装された位置の所定の位置からの位置ずれ(図5に示すずれ量L)を検査する装置である。検査装置200は、例えば、カメラを備えるコンピュータである。当該コンピュータは、例えば、撮像部210及び制御装置300と通信するための通信インターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、信号の送受信をするための入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサ等で実現される。 The inspection device 200 is a device that measures (inspects) the position where the component 440 is mounted on the board 400. Specifically, the inspection device 200 is a device that inspects the positional deviation (deviation amount L shown in FIG. 5) of the position where the component 440 is mounted from a predetermined position. The inspection device 200 is, for example, a computer equipped with a camera. The computer is realized by, for example, a communication interface for communicating with the imaging unit 210 and the control device 300, a non-volatile memory in which a program is stored, a volatile memory that is a temporary storage area for executing the program, an input/output port for sending and receiving signals, a processor for executing the program, etc.

検査装置200は、撮像部210と、測定部220と、を備える。 The inspection device 200 includes an imaging unit 210 and a measurement unit 220.

撮像部210は、基板400のマーク420の位置、及び、部品440のマーク421の位置を識別するためのカメラである。 The imaging unit 210 is a camera for identifying the position of the mark 420 on the board 400 and the position of the mark 421 on the component 440.

図4は、部品440が実装された基板400を示す裏面図である。なお、本実施の形態では、基板400は、透明基板であるため、図4では、基板400の上方に位置する部品440等の構成も見えるように図示している。 Figure 4 is a back view showing the substrate 400 on which the component 440 is mounted. In this embodiment, the substrate 400 is a transparent substrate, so in Figure 4 the configuration of the component 440 and other components located above the substrate 400 can also be seen.

撮像部210は、例えば、基板400の下方側から基板400を撮像することで、基板400に設けられたマーク420、及び、部品440に設けられたマーク421を含む画像を生成する。 The imaging unit 210, for example, captures an image of the substrate 400 from below the substrate 400 to generate an image including the mark 420 provided on the substrate 400 and the mark 421 provided on the component 440.

測定部220は、撮像部210が生成した画像に基づいて、基板400において部品440が実装された位置を測定(検査)する処理部である。 The measurement unit 220 is a processing unit that measures (inspects) the position where the component 440 is mounted on the board 400 based on the image generated by the imaging unit 210.

図5は、実施の形態に係る検査装置200が測定するずれ量Lを説明するための図である。図5は、例えば、撮像部210が生成する画像の一例を模式的に示す図である。 Figure 5 is a diagram for explaining the amount of deviation L measured by the inspection device 200 according to the embodiment. Figure 5 is a diagram that shows, for example, a schematic example of an image generated by the imaging unit 210.

例えば、制御装置300は、仮圧着部30を制御することで、基板400に部品440を載置する。ここで、基板400に部品440を載置させた場合、基板400に対する部品440の位置が、所望の位置からずれる場合がある。 For example, the control device 300 places the component 440 on the substrate 400 by controlling the temporary bonding unit 30. Here, when the component 440 is placed on the substrate 400, the position of the component 440 relative to the substrate 400 may deviate from the desired position.

例えば、制御装置300は、仮圧着部30を制御することで、図5に示すマーク421が所定の位置450と重なるように、部品440を基板400に載置しようとする。しかしながら、実際に基板400に部品440を載置させた場合、マーク421は、所定の位置450からずれる場合がある。特に、本実施の形態では、仮圧着部30が基板400に部品440を載置した後に、本圧着部40が基板400に部品440を本圧着する。そのため、仮圧着部30が基板400に部品440を適切に載置したとしても、本圧着部40が基板400に部品440を本圧着した際に、基板400に対して部品440がずれる場合がある。 For example, the control device 300 attempts to place the component 440 on the substrate 400 by controlling the temporary bonding unit 30 so that the mark 421 shown in FIG. 5 overlaps with the predetermined position 450. However, when the component 440 is actually placed on the substrate 400, the mark 421 may be shifted from the predetermined position 450. In particular, in this embodiment, after the temporary bonding unit 30 places the component 440 on the substrate 400, the main bonding unit 40 permanently bonds the component 440 to the substrate 400. Therefore, even if the temporary bonding unit 30 properly places the component 440 on the substrate 400, when the main bonding unit 40 permanently bonds the component 440 to the substrate 400, the component 440 may be shifted relative to the substrate 400.

測定部220は、例えば、撮像部210が生成した画像に基づいて、マーク421と所定の位置450とのずれ量L(例えば、距離)を測定する。 The measurement unit 220 measures the amount of deviation L (e.g., distance) between the mark 421 and the predetermined position 450, for example, based on the image generated by the imaging unit 210.

測定部220は、測定したずれ量Lを示す情報を、制御装置300に出力する。 The measurement unit 220 outputs information indicating the measured amount of deviation L to the control device 300.

例えば、部品実装システム1では、複数の基板400に対して、部品440を順次実装(仮圧着及び本圧着)する。撮像部210は、部品440が実装された複数の基板400を順次撮像することで画像を生成し、生成した画像を測定部220に順次出力する。測定部220は、取得した画像に基づいてずれ量Lを順次算出し、算出したずれ量Lを制御装置300に順次出力する。 For example, in the component mounting system 1, components 440 are sequentially mounted (pre-bonded and final bonded) on multiple boards 400. The imaging unit 210 generates images by sequentially capturing images of the multiple boards 400 on which the components 440 are mounted, and sequentially outputs the generated images to the measurement unit 220. The measurement unit 220 sequentially calculates the amount of deviation L based on the acquired images, and sequentially outputs the calculated amount of deviation L to the control device 300.

なお、測定部220は、2以上の画像を撮像部210から取得した場合に、2以上の画像のそれぞれに基づいて2以上のずれ量Lをまとめて算出し、算出した2以上のずれ量をまとめて制御装置300に出力してもよい。 When two or more images are acquired from the imaging unit 210, the measurement unit 220 may collectively calculate two or more deviation amounts L based on each of the two or more images, and output the two or more calculated deviation amounts together to the control device 300.

測定部220は、例えば、検査装置200が備えるメモリに記憶され、測定部220が実行する処理手順を示す制御プログラムと、当該制御プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)と、撮像部210から画像を取得し、且つ、制御装置300にずれ量Lを送信するための通信インターフェースと、により実現される。 The measurement unit 220 is realized, for example, by a control program stored in a memory provided in the inspection device 200 and indicating the processing procedure executed by the measurement unit 220, a CPU (Central Processing Unit) that executes the control program, and a communication interface for acquiring an image from the imaging unit 210 and transmitting the amount of deviation L to the control device 300.

制御装置300は、実装装置100の各装置の動作を制御するコンピュータである。具体的には、制御装置300は、例えば、実装装置100が備える、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、及び、搬送部60等の各装置と図示しない制御線等により通信可能に接続されており、当該各装置の動作、当該動作のタイミング等を制御する。例えば、制御装置300は、貼着部20、仮圧着部30、及び、本圧着部40を制御することで、各装置に基板400に対して上記した貼着、仮圧着、及び、本圧着等の所定の作業を実行させ、搬送部60を制御することで、基板400を部品実装システム1が備える各装置間で次の工程へ搬送する基板搬送作業を実行する。制御装置300は、上流側から下流側への基板400の搬送を、部品実装システム1が備える各装置間で同期して行う。 The control device 300 is a computer that controls the operation of each device of the mounting device 100. Specifically, the control device 300 is communicatively connected to each device, such as the adhesion unit 20, the temporary pressure bonding unit 30, the main pressure bonding unit 40, and the transport unit 60, provided in the mounting device 100, via control lines (not shown) and controls the operation of each device and the timing of the operation. For example, the control device 300 controls the adhesion unit 20, the temporary pressure bonding unit 30, and the main pressure bonding unit 40 to cause each device to perform the above-mentioned predetermined operations such as adhesion, temporary pressure bonding, and main pressure bonding on the substrate 400, and controls the transport unit 60 to perform a substrate transport operation in which the substrate 400 is transported to the next process between each device provided in the component mounting system 1. The control device 300 transports the substrate 400 from the upstream side to the downstream side in synchronization with each device provided in the component mounting system 1.

制御装置300は、例えば、実装装置100及び検査装置200と通信するための通信インターフェース、プログラムが格納された不揮発性メモリ、プログラムを実行するための一時的な記憶領域である揮発性メモリ、信号の送受信をするための入出力ポート、プログラムを実行するプロセッサ、画像を表示する表示装置等で実現される。 The control device 300 is realized, for example, by a communication interface for communicating with the mounting device 100 and the inspection device 200, a non-volatile memory in which a program is stored, a volatile memory which is a temporary storage area for executing the program, an input/output port for sending and receiving signals, a processor for executing the program, a display device for displaying images, etc.

図2に示すように、制御装置300は、取得部310と、算出部320と、制御部340と、入力部330と、出力部350と、表示部360と、記憶部370と、を備える。 As shown in FIG. 2, the control device 300 includes an acquisition unit 310, a calculation unit 320, a control unit 340, an input unit 330, an output unit 350, a display unit 360, and a memory unit 370.

取得部310は、検査装置200からずれ量Lを示す情報(以下、単にずれ量Lともいう)を取得する。取得部310は、例えば、検査装置200と通信するための通信インターフェースである。例えば、取得部310は、検査装置200から順次出力されるずれ量Lを取得し、取得したずれ量Lを算出部320に順次出力する。 The acquisition unit 310 acquires information indicating the amount of deviation L (hereinafter also simply referred to as the amount of deviation L) from the inspection device 200. The acquisition unit 310 is, for example, a communication interface for communicating with the inspection device 200. For example, the acquisition unit 310 acquires the amount of deviation L sequentially output from the inspection device 200, and sequentially outputs the acquired amount of deviation L to the calculation unit 320.

算出部320は、検査装置200によって測定された、実装装置100によって基板400に実装された部品440(本実施の形態は、部品440に設けられたマーク421)の位置の所定の位置450からのずれ量Lに基づいて、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装位置を補正するための補正量を算出する。具体的には、算出部320は、実装装置100が基板400に部品440を実装する際にターゲットとする位置である実装位置を補正するための補正量、より具体的には、部品440を保持する保持位置、及び、部品440を基板400に載置する際の搭載ヘッド35の位置等を補正するための補正量を算出する。補正量は、例えば、部品440を保持する保持位置を示す座標、部品440を基板400に載置する際の搭載ヘッド35の位置を示す座標、及び、搭載ヘッド移動機構36によって搭載ヘッド35を移動させる向き及び移動量(距離)を示す値である。 The calculation unit 320 calculates a correction amount for correcting the mounting position at which the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400 based on the deviation amount L from the predetermined position 450 of the position of the component 440 (in this embodiment, the mark 421 provided on the component 440) mounted on the substrate 400 by the mounting device 100, measured by the inspection device 200. Specifically, the calculation unit 320 calculates a correction amount for correcting the mounting position, which is the target position when the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400, more specifically, a holding position for holding the component 440, and a correction amount for correcting the position of the mounting head 35 when placing the component 440 on the substrate 400. The correction amount is, for example, a value indicating the coordinates indicating the holding position for holding the component 440, the coordinates indicating the position of the mounting head 35 when placing the component 440 on the substrate 400, and the direction and movement amount (distance) of the mounting head 35 moved by the mounting head moving mechanism 36.

算出部320は、例えば、一の基板400におけるずれ量Lに基づいて、補正量を算出する。次に、算出部320は、例えば、算出した補正量と、他の基板400におけるずれ量Lに基づいて、補正量を再度算出する。例えば、算出部320は、一の基板400におけるずれ量Lと他の基板400におけるずれ量Lとの平均値を算出し、算出した平均値に基づいて、補正量を算出する。或いは、例えば、算出部320は、一の基板400におけるずれ量Lに基づいて算出した補正量と、他の基板400におけるずれ量Lに基づいて算出した補正量との平均値を、新たな補正量として算出する。 The calculation unit 320 calculates the correction amount based on, for example, the amount of misalignment L in one substrate 400. Next, the calculation unit 320 recalculates the correction amount based on, for example, the calculated correction amount and the amount of misalignment L in the other substrate 400. For example, the calculation unit 320 calculates the average value of the amount of misalignment L in one substrate 400 and the amount of misalignment L in the other substrate 400, and calculates the correction amount based on the calculated average value. Alternatively, for example, the calculation unit 320 calculates the average value of the correction amount calculated based on the amount of misalignment L in one substrate 400 and the correction amount calculated based on the amount of misalignment L in the other substrate 400 as a new correction amount.

このように、算出部320は、取得部310が順次取得したずれ量Lに基づいて、補正量を順次算出(補正)し直す。算出部320は、算出した補正量を示す情報を、制御部340及び表示部360に出力する。 In this way, the calculation unit 320 sequentially recalculates (recorrects) the correction amount based on the deviation amount L sequentially acquired by the acquisition unit 310. The calculation unit 320 outputs information indicating the calculated correction amount to the control unit 340 and the display unit 360.

本実施の形態では、実装装置100は、部品440を基板400に載置する仮圧着部30と、仮圧着部30によって基板400に載置された部品440を基板400に熱圧着する本圧着部40と、を有する。算出部320は、検査装置200によって測定されたずれ量Lに基づいて、仮圧着部30が基板400に部品440を載置する載置位置を補正することで実装位置を補正するための補正量を基板400の品種ごとに算出する。 In this embodiment, the mounting device 100 has a temporary bonding unit 30 that places the component 440 on the substrate 400, and a main bonding unit 40 that thermally compresses the component 440 placed on the substrate 400 by the temporary bonding unit 30 to the substrate 400. The calculation unit 320 calculates, based on the deviation amount L measured by the inspection device 200, a correction amount for correcting the mounting position by correcting the placement position at which the temporary bonding unit 30 places the component 440 on the substrate 400, for each type of substrate 400.

入力部330は、実装装置100に実装位置を補正させるための入力を受け付ける。入力部330は、例えば、作業者の操作を受け付けるタッチパネル等のユーザインターフェースであり、作業者の操作を受け付けることで、実装装置100に実装位置を補正させるための入力(情報)を受け付ける。 The input unit 330 accepts input for causing the mounting device 100 to correct the mounting position. The input unit 330 is, for example, a user interface such as a touch panel that accepts operations by a worker, and accepts input (information) for causing the mounting device 100 to correct the mounting position by accepting operations by the worker.

なお、入力部330は、タッチパネル等のユーザインターフェースからの情報を取得するための通信インターフェース等により実現されてもよい。 The input unit 330 may be realized by a communication interface for acquiring information from a user interface such as a touch panel.

制御部340は、出力部350を介して、実装装置100の動作を制御する処理部である。例えば、制御部340は、撮像部37が生成した画像を画像解析することで、マーク420及び421の位置を特定し、特定したマーク420及び421の位置に基づいて、基板400における部品440の実装させる位置を決定する。より具体的には、制御部340は、特定したマーク420及び421の位置に基づいて、部品440を保持している搭載ヘッド35の位置を決定する。制御装置300は、仮圧着部30を制御することで、決定した基板400における部品440の実装させる位置に、基板400に部品440を載置させる。 The control unit 340 is a processing unit that controls the operation of the mounting device 100 via the output unit 350. For example, the control unit 340 identifies the positions of the marks 420 and 421 by performing image analysis on the image generated by the imaging unit 37, and determines the position on the board 400 where the component 440 is to be mounted based on the identified positions of the marks 420 and 421. More specifically, the control unit 340 determines the position of the mounting head 35 holding the component 440 based on the identified positions of the marks 420 and 421. The control device 300 controls the temporary bonding unit 30 to place the component 440 on the board 400 at the determined position on the board 400 where the component 440 is to be mounted.

また、制御部340は、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、入力部330が入力を受け付けたか否かを判定する。 The control unit 340 also determines whether the input unit 330 has received input during the period before the number of substrates 400 processed by the mounting device 100 on which the components 440 have been mounted reaches the specified number.

ここで、規定枚数とは、予め任意に定められる数であり、規定枚数を示す情報は、例えば、記憶部370に予め記憶されている。処理枚数とは、実装装置100が基板400に部品440を実装した数である。より具体的には、処理枚数とは、仮圧着部30が基板400に部品440を載置した数である。 The specified number here is a number that is arbitrarily determined in advance, and information indicating the specified number is stored in advance in, for example, the memory unit 370. The number of processed sheets is the number of components 440 that the mounting device 100 mounts on the substrate 400. More specifically, the number of processed sheets is the number of components 440 that the temporary bonding unit 30 places on the substrate 400.

また、例えば、未到達期間は、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装処理を開始してから、又は、制御部340が実装装置100に実装位置を補正させてから、処理枚数が規定枚数に到達する前までの期間である。つまり、例えば、処理枚数とは、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装処理を開始してから、又は、制御部340が実装装置100に実装位置を補正させてから、実装装置100が部品440を実装した基板400の数である。また、例えば、未到達期間とは、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの期間である。 Also, for example, the unreached period is the period from when the mounting device 100 starts the mounting process of mounting the components 440 on the board 400, or from when the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position, until the number of processed boards reaches the specified number. In other words, for example, the number of processed boards is the number of boards 400 on which the mounting device 100 has mounted the components 440, from when the mounting device 100 starts the mounting process of mounting the components 440 on the board 400, or from when the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position. Also, for example, the unreached period is the period from when the number of processed boards 400 on which the mounting device 100 has mounted the components 440 reaches the specified number.

制御部340は、入力部330が入力を受け付けたと判定した場合、検査装置200によって処理枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出部320が算出した補正量である第1補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる。一方、制御部340は、入力部330が入力を受け付けていないと判定した場合、実装装置100に規定枚数の基板400に部品440を実装させ、検査装置200によって規定枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出部320が算出した補正量である第2補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる。 When the control unit 340 determines that the input unit 330 has received input, the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the first correction amount, which is the correction amount calculated by the calculation unit 320 based on the misalignment amount L measured from each of the number of substrates 400 processed by the inspection device 200. On the other hand, when the control unit 340 determines that the input unit 330 has not received input, the control unit 340 causes the mounting device 100 to mount components 440 on the specified number of substrates 400, and causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the second correction amount, which is the correction amount calculated by the calculation unit 320 based on the misalignment amount L measured from each of the specified number of substrates 400 by the inspection device 200.

本実施の形態では、制御部340は、第1補正量又は第2補正量に基づいて、仮圧着部30の部品440を基板400に載置する際の搭載ヘッド35の位置を補正(変更)するように、搭載ヘッド移動機構36の動作を補正(変更)する。 In this embodiment, the control unit 340 corrects (changes) the operation of the mounting head moving mechanism 36 based on the first correction amount or the second correction amount so as to correct (change) the position of the mounting head 35 when placing the component 440 of the temporary pressure bonding unit 30 on the substrate 400.

このように、制御部340は、処理枚数が規定枚数に到達したら、規定枚数の基板400におけるそれぞれのずれ量L(第1ずれ量)に基づき算出部320に算出された補正量(第1補正量)に基づいて、仮圧着部30に実装位置を補正させる。一方、制御部340は、処理枚数が規定枚数に到達していなくても、入力部330が入力を受け付けた、つまり、作業者が実装位置を補正させる指示をした場合、処理枚数の基板400におけるそれぞれのずれ量L(第2ずれ量)に基づき算出部320に算出された補正量(第2補正量)に基づいて、仮圧着部30に実装位置を補正させる。 In this way, when the number of processed sheets reaches the specified number, the control unit 340 causes the temporary bonding unit 30 to correct the mounting position based on the correction amount (first correction amount) calculated by the calculation unit 320 based on the respective deviation amounts L (first deviation amounts) in the specified number of substrates 400. On the other hand, even if the number of processed sheets has not reached the specified number, if the input unit 330 has received an input, that is, if the operator has instructed to correct the mounting position, the control unit 340 causes the temporary bonding unit 30 to correct the mounting position based on the correction amount (second correction amount) calculated by the calculation unit 320 based on the respective deviation amounts L (second deviation amounts) in the processed number of substrates 400.

出力部350は、制御部340が実行する処理を示す情報を、制御装置300に出力するための通信インターフェースである。 The output unit 350 is a communication interface for outputting information indicating the processing executed by the control unit 340 to the control device 300.

算出部320及び制御部340は、例えば、記憶部370に記憶され、算出部320及び制御部340のそれぞれが実行する処理手順を示す制御プログラムと、当該制御プログラムを実行するCPUと、により実現される。 The calculation unit 320 and the control unit 340 are realized, for example, by a control program stored in the storage unit 370 that indicates the processing procedures to be executed by each of the calculation unit 320 and the control unit 340, and a CPU that executes the control program.

なお、算出部320及び制御部340は、1つのCPUで実現されてもよいし、互いに異なるCPUで実現されてもよい。 The calculation unit 320 and the control unit 340 may be implemented by a single CPU, or may be implemented by different CPUs.

表示部360は、ずれ量Lに基づくずれ量情報を表示する表示装置である。具体的には、表示部360は、算出部320が補正量を算出する際に用いる、ずれ量Lに基づくずれ量情報を表示する。このように、表示部360は、作業者が実装位置を補正させるか否かを判断するための情報として、ずれ量Lに基づく情報であるずれ量情報を表示する。なお、表示部360は、ずれ量Lから算出部320が算出した補正量を示す補正情報を表示してもよい。 The display unit 360 is a display device that displays deviation amount information based on the deviation amount L. Specifically, the display unit 360 displays deviation amount information based on the deviation amount L that is used when the calculation unit 320 calculates the correction amount. In this way, the display unit 360 displays deviation amount information that is information based on the deviation amount L as information for the worker to determine whether or not to correct the mounting position. The display unit 360 may also display correction information that indicates the correction amount calculated by the calculation unit 320 from the deviation amount L.

表示部360は、例えば、液晶モニタ又は有機ELモニタ等のモニタ装置である。なお、表示部360は、外部のモニタ装置にずれ量情報を表示させる処理部及び当該外部のモニタ装置と通信するための通信インターフェース等により実現されてもよい。 The display unit 360 is, for example, a monitor device such as a liquid crystal monitor or an organic EL monitor. The display unit 360 may be realized by a processing unit that displays the deviation amount information on an external monitor device and a communication interface for communicating with the external monitor device.

記憶部370は、基板400のサイズ、部品440の種類、実装(ACF430の貼着並びに部品440の載置及び圧着)位置、実装方向、及び、基板400を各装置間で搬送するタイミング等の各工程を実行する際に必要な各種データ、制御装置300が備える各処理部が実行する制御プログラム等を記憶する。記憶部370は、ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等により実現される。 The memory unit 370 stores various data required for executing each process, such as the size of the board 400, the type of the component 440, the mounting position (attachment of the ACF 430 and placement and pressure bonding of the component 440), the mounting direction, and the timing of transporting the board 400 between each device, as well as control programs executed by each processing unit of the control device 300. The memory unit 370 is realized by a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), etc.

[処理手順]
続いて、実施の形態に係る部品実装システム1の処理手順について詳細に説明する。
[Processing Procedure]
Next, a processing procedure of the component mounting system 1 according to the embodiment will be described in detail.

図6は、実施の形態に係る部品実装システム1の処理手順を示すフローチャートである。 Figure 6 is a flowchart showing the processing steps of the component mounting system 1 according to the embodiment.

まず、実装装置100は、基板400に部品440を実装する(ステップS101)。本実施の形態では、ステップS101では、仮圧着部30が基板400に部品440を載置し、本圧着部40が基板400に部品440を熱圧着する。 First, the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400 (step S101). In this embodiment, in step S101, the temporary bonding unit 30 places the component 440 on the substrate 400, and the main bonding unit 40 thermocompresses the component 440 onto the substrate 400.

次に、検査装置200は、基板400における部品440の位置の所定の位置からのずれ量Lを測定する(ステップS102)。例えば、検査装置200は、部品440が実装された基板400を撮像することで画像を生成し、生成した画像に基づいて、例えば、図5に示すように、部品440に設けられたマーク421の所定の位置450からのずれ量Lを測定する。検査装置200は、測定したずれ量Lを、制御装置300に順次出力する。 Next, the inspection device 200 measures the amount of deviation L of the position of the component 440 on the board 400 from a predetermined position (step S102). For example, the inspection device 200 generates an image by capturing an image of the board 400 on which the component 440 is mounted, and measures the amount of deviation L of the mark 421 provided on the component 440 from a predetermined position 450 based on the generated image, for example, as shown in FIG. 5. The inspection device 200 sequentially outputs the measured amount of deviation L to the control device 300.

次に、算出部320は、検査装置200が測定したずれ量Lに基づいて、実装装置100が基板400に部品440を実装する位置である実装位置を補正させるための補正量を算出する(ステップS103)。算出部320は、補正量を算出する度に、実装装置100の処理枚数をカウントしてもよい。 Next, the calculation unit 320 calculates a correction amount for correcting the mounting position where the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400 based on the deviation amount L measured by the inspection device 200 (step S103). The calculation unit 320 may count the number of substrates processed by the mounting device 100 each time it calculates the correction amount.

次に、表示部360は、ずれ量Lに基づくずれ量情報を表示する(ステップS104)。例えば、表示部360は、処理枚数が規定枚数に到達していない場合、処理枚数のずれ量Lの平均値をずれ量情報として表示する。もちろん、表示部360は、処理枚数が規定枚数に到達した場合、規定枚数のずれ量Lの平均値をずれ量情報として表示してもよい。或いは、表示部360は、処理枚数のそれぞれのずれ量Lと、当該処理枚数のそれぞれのずれ量Lから算出する補正量に用いるずれ量Lの代表値(例えば、平均値又は中央値等)と、を表示してもよい。或いは、表示部360は、ずれ量Lの時系列グラフ(横軸に時間、縦軸にずれ量Lの時間推移を示したグラフ)を表示してもよい。 Next, the display unit 360 displays the deviation amount information based on the deviation amount L (step S104). For example, when the number of processed sheets has not reached the specified number, the display unit 360 displays the average value of the deviation amount L of the processed number as the deviation amount information. Of course, when the number of processed sheets reaches the specified number, the display unit 360 may display the average value of the deviation amount L of the specified number as the deviation amount information. Alternatively, the display unit 360 may display the deviation amount L of each processed number and a representative value (e.g., an average value or a median value) of the deviation amount L used for the correction amount calculated from the deviation amount L of each processed number. Alternatively, the display unit 360 may display a time series graph of the deviation amount L (a graph showing time on the horizontal axis and time progression of the deviation amount L on the vertical axis).

次に、制御部340は、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が、規定枚数に到達したか否かを判定する(ステップS105)。 Next, the control unit 340 determines whether the number of substrates 400 on which the mounting device 100 has mounted components 440 has reached a specified number (step S105).

制御部340は、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が、規定枚数に到達していないと判定した場合、(ステップS105でNo)、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装位置を補正させるための入力を入力部330が、例えば、作業者から受け付けたか否かを判定する(ステップS106)。このように、制御部340は、処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に(つまり、ステップS105でNoの場合に)、実装装置100に実装位置を補正させるための入力を入力部330が受け付けたか否かを判定する。 When the control unit 340 determines that the number of substrates 400 on which the mounting device 100 has mounted components 440 has not reached the specified number (No in step S105), the control unit 340 determines whether the input unit 330 has received, for example, an input from an operator to cause the mounting device 100 to correct the mounting position at which the mounting device 100 mounts the components 440 on the substrate 400 (step S106). In this way, the control unit 340 determines whether the input unit 330 has received an input to cause the mounting device 100 to correct the mounting position during the period before the number of substrates processed reaches the specified number (i.e., when No in step S105).

制御部340は、入力部330が入力を受け付けていないと判定した場合(ステップS106でNo)、処理をステップS101に戻す。 If the control unit 340 determines that the input unit 330 has not accepted input (No in step S106), the control unit 340 returns the process to step S101.

一方、制御部340は、入力部330が入力を受け付けたと判定した場合(ステップS106でYes)、実装装置100の処理枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出部320が算出した補正量(第1補正量)に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる(ステップS107)。 On the other hand, if the control unit 340 determines that the input unit 330 has received the input (Yes in step S106), it causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the correction amount (first correction amount) calculated by the calculation unit 320 based on the deviation amount L measured from each of the number of substrates 400 processed by the mounting device 100 (step S107).

また、制御部340は、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が、規定枚数に到達したと判定した場合、(ステップS105でYes)、規定枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づく補正量(第2補正量)に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる(ステップS108)。 In addition, when the control unit 340 determines that the number of substrates 400 on which the mounting device 100 has mounted components 440 has reached the specified number (Yes in step S105), it causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on a correction amount (second correction amount) based on the deviation amount L measured from each of the specified number of substrates 400 (step S108).

ステップS107又はステップS108の後に、つまり、制御部340は、実装装置100に実装位置を補正させた後に、実装装置100が部品440を実装した基板400の処理枚数のカウントを初期化(ステップS109)して(つまり、ゼロにして)、処理をステップS101に戻す。これにより、制御部340は、ステップS104で、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装処理を開始してから、又は、制御部340が実装装置100に実装位置を補正させてから、処理枚数が規定枚数に到達する前までの期間である未到達期間であるか否かが判定できる。 After step S107 or step S108, that is, after the control unit 340 has caused the mounting device 100 to correct the mounting position, the control unit 340 initializes (step S109) the count of the number of substrates 400 on which the mounting device 100 has mounted components 440 (i.e., sets it to zero), and returns the process to step S101. This allows the control unit 340 to determine whether or not the period is not reached, which is the period from when the mounting device 100 starts the mounting process of mounting components 440 on the substrate 400 in step S104, or from when the control unit 340 has caused the mounting device 100 to correct the mounting position, until the number of substrates processed reaches the specified number.

[効果等]
以上説明したように、実施の形態に係る部品実装システム1は、部品実装システム1は、基板400に部品440を実装する実装装置100と、実装装置100によって基板400に実装された部品440の位置の所定の位置からのずれ量Lに基づいて、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装位置を実装装置100に補正させるための補正量を算出する算出部320と、算出部320が算出した補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる制御部340と、実装装置100に実装位置を補正させるための入力を受け付ける入力部330と、を備える。制御部340は、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、入力部330が入力を受け付けたか否かを判定する。制御部340は、入力部330が入力を受け付けたと判定した場合、処理枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出部320が算出した第1補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる。一方、制御部340は、入力部330が入力を受け付けていないと判定した場合、実装装置100に規定枚数の基板400に部品440を実装させ、規定枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出部320が算出した第2補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる。本実施の形態では、制御部340は、仮圧着部30における部品の載置位置を仮圧着部30に補正させることで、実装装置100に実装位置を補正させる。
[Effects, etc.]
As described above, the component mounting system 1 according to the embodiment includes the mounting device 100 that mounts the component 440 on the substrate 400, a calculation unit 320 that calculates a correction amount for the mounting device 100 to correct the mounting position at which the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400 based on a deviation amount L from a predetermined position of the position of the component 440 mounted on the substrate 400 by the mounting device 100, a control unit 340 that causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the correction amount calculated by the calculation unit 320, and an input unit 330 that receives an input for causing the mounting device 100 to correct the mounting position. The control unit 340 determines whether the input unit 330 has received an input during a period before the number of substrates 400 on which the mounting device 100 has mounted the components 440 reaches the specified number. When the control unit 340 determines that the input unit 330 has received the input, the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the first correction amount calculated by the calculation unit 320 based on the deviation amount L measured from each of the processed number of substrates 400. On the other hand, when the control unit 340 determines that the input unit 330 has not received the input, the control unit 340 causes the mounting device 100 to mount the components 440 on the specified number of substrates 400, and causes the mounting device 100 to correct the mounting position based on the second correction amount calculated by the calculation unit 320 based on the deviation amount L measured from each of the specified number of substrates 400. In this embodiment, the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position by causing the temporary pressure bonding unit 30 to correct the placement position of the components in the temporary pressure bonding unit 30.

これによれば、制御部340によって、規定枚数の基板400のそれぞれから測定されるずれ量Lから算出される(例えば、規定枚数と同数のずれ量Lから算出される)補正値に基づいて実装装置100に実装位置を自動で補正させることができるとともに、処理枚数が規定枚数に到達していなくても、作業者の判断したタイミングで実装装置100に実装位置を補正させることができる。例えば、実装装置100が部品440の実装を初めて実行するような場合には、ずれ量Lが初めは大きいことが想定される。このような場合には、処理枚数が規定枚数に到達していなくても、つまり、補正量を算出するためのサンプル数が少ないような場合でも、早めに実装位置を補正した方が、歩留まりの低下を抑制できる場合がある。そこで、部品実装システム1によれば、作業者の判断したタイミングで実装装置100に実装位置を補正させることができるため、歩留まりの低下を抑制できる。 According to this, the control unit 340 can automatically correct the mounting position of the mounting device 100 based on the correction value calculated from the deviation amount L measured from each of the specified number of substrates 400 (for example, calculated from the deviation amount L of the same number as the specified number), and can also correct the mounting position of the mounting device 100 at a timing determined by the operator even if the number of processed substrates has not reached the specified number. For example, when the mounting device 100 performs mounting of the component 440 for the first time, it is assumed that the deviation amount L is large at first. In such a case, even if the number of processed substrates has not reached the specified number, that is, even if the number of samples for calculating the correction amount is small, it may be possible to suppress a decrease in yield by correcting the mounting position early. Therefore, according to the component mounting system 1, the mounting device 100 can correct the mounting position at a timing determined by the operator, so that a decrease in yield can be suppressed.

また、例えば、部品実装システム1は、さらに、ずれ量Lに基づくずれ量情報を表示する表示部360を備える。 For example, the component mounting system 1 further includes a display unit 360 that displays deviation amount information based on the deviation amount L.

これによれば、作業者は、表示部360に表示されたずれ量情報を確認できる。そのため、作業者は、実装装置100に実装位置を補正させるタイミングが適切か否かを簡便に把握できる。これにより、表示部360によれば、歩留まりの低下をさらに抑制できる。 This allows the worker to check the deviation amount information displayed on the display unit 360. Therefore, the worker can easily understand whether the timing for correcting the mounting position by the mounting device 100 is appropriate. As a result, the display unit 360 can further suppress a decrease in yield.

また、例えば、処理枚数は、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装処理(ステップS101)を開始してから、又は、制御部340が実装装置100に実装位置を補正(ステップS107)させてから、実装装置100が部品440を実装した基板400の数である。また、例えば、未到達期間は、処理枚数が規定枚数に到達する前までの期間である。 Also, for example, the number of processed sheets is the number of boards 400 on which the mounting device 100 has mounted components 440 after the mounting device 100 starts the mounting process (step S101) in which the mounting device 100 mounts components 440 on the boards 400, or after the control unit 340 causes the mounting device 100 to correct the mounting position (step S107). Also, for example, the non-reaching period is the period before the number of processed sheets reaches the specified number.

これによれば、適切なサンプル数から算出される補正量に基づいて自動で実装装置100に実装位置を補正させ、且つ、作業者の判断したタイミングで実装装置100に実装位置を補正させることができるため、歩留まりの低下を抑制できる。 This allows the mounting device 100 to automatically correct the mounting position based on the correction amount calculated from an appropriate number of samples, and also allows the mounting device 100 to correct the mounting position at a timing determined by the operator, thereby preventing a decrease in yield.

また、実施の形態に係る部品実装方法は、実装装置100によって基板400に部品440を実装し(ステップS101)、実装装置100によって基板400に実装された部品440の位置の所定の位置からのずれ量Lに基づいて、実装装置100が基板400に部品440を実装する実装位置を補正させるための補正量を算出し(ステップS103)、実装装置100が基板400に部品440を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に(ステップS105でNo)、実装装置100に実装位置を補正させるための入力を受け付けたか否かを判定し(ステップS106)、入力を受け付けたと判定した場合(ステップS106でYes)、処理枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出した第1補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させ(ステップS107)、入力を受け付けていないと判定した場合(ステップS106でNo)、実装装置100に規定枚数の基板400に部品440を実装させ、つまり、ステップS105でYesと判定するまでステップS101~ステップS106を繰り返し実行し、規定枚数の基板400のそれぞれから測定されたずれ量Lに基づき算出した第2補正量に基づいて、実装装置100に実装位置を補正させる(ステップS108)。 In addition, the component mounting method according to the embodiment includes mounting the component 440 on the substrate 400 by the mounting device 100 (step S101), calculating a correction amount for correcting the mounting position at which the mounting device 100 mounts the component 440 on the substrate 400 based on the deviation amount L from a predetermined position of the position of the component 440 mounted on the substrate 400 by the mounting device 100 (step S103), and determining whether or not an input for causing the mounting device 100 to correct the mounting position has been received during the period before the number of substrates on which the mounting device 100 has mounted the component 440 reaches the specified number (No in step S105), and determining that the input has been received. If so (Yes in step S106), the mounting device 100 is caused to correct the mounting position based on the first correction amount calculated based on the misalignment amount L measured from each of the processed number of boards 400 (step S107). If it is determined that no input has been received (No in step S106), the mounting device 100 is caused to mount components 440 on the specified number of boards 400, that is, steps S101 to S106 are repeated until Yes is determined in step S105, and the mounting device 100 is caused to correct the mounting position based on the second correction amount calculated based on the misalignment amount L measured from each of the specified number of boards 400 (step S108).

これによれば、部品実装システム1と同様の効果を奏する。 This provides the same effect as component mounting system 1.

(その他の実施の形態)
以上、本実施の形態に係る部品実装システム等について、上記実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。
(Other embodiments)
Although the component mounting system and the like according to the present embodiment have been described based on the above embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment.

例えば、基板400は、透光性を有し、上面にマーク420を有する。これにより、基板400の下方から撮像部210が撮像してもマーク420を撮像できる。もちろん、基板400は、下面にマーク420を有してもよい。この場合、基板400は、透光性を有してもよいし、有さなくてもよい。 For example, the substrate 400 has light-transmitting properties and has the mark 420 on the upper surface. This allows the mark 420 to be imaged even if the imaging unit 210 images the substrate 400 from below. Of course, the substrate 400 may have the mark 420 on the lower surface. In this case, the substrate 400 may or may not have light-transmitting properties.

また、例えば、上記実施の形態では、制御装置300の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、CPU(Central Processing Unit)又はプロセッサ等のプログラム実行部が、HDD(Hard Disk Drive)又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。 Also, for example, in the above embodiment, all or some of the components of the control device 300 may be configured with dedicated hardware, or may be realized by executing a software program suitable for each component. Each component may be realized by a program execution unit such as a CPU (Central Processing Unit) or a processor reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a HDD (Hard Disk Drive) or a semiconductor memory.

また、制御装置300の構成要素は、1つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。1つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。 The components of the control device 300 may be composed of one or more electronic circuits. Each of the one or more electronic circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit.

1つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、IC(Integrated Circuit)又はLSI(Large Scale Integration)等が含まれてもよい。IC又はLSIは、1つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、IC又はLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又は、ULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるかもしれない。また、LSIの製造後にプログラムされるFPGA(Field Programmable Gate Array)も同じ目的で使うことができる。 The one or more electronic circuits may include, for example, a semiconductor device, an integrated circuit (IC), or a large scale integration (LSI). The IC or LSI may be integrated into one chip or into multiple chips. Here, we refer to it as an IC or an LSI, but depending on the degree of integration, it may be called a system LSI, a very large scale integration (VLSI), or an ultra large scale integration (ULSI). Also, a field programmable gate array (FPGA) that is programmed after the LSI is manufactured can be used for the same purpose.

その他、各実施の形態に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態や、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で各実施の形態における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本発明に含まれる。 In addition, the present invention also includes forms obtained by applying various modifications to each embodiment that a person skilled in the art may conceive, and forms realized by arbitrarily combining the components and functions of each embodiment within the scope of the spirit of the present invention.

本発明は、基板に部品を実装することでディスプレイパネル等を生産する部品実装システムに利用可能である。 The present invention can be used in component mounting systems that produce display panels and the like by mounting components on substrates.

1 部品実装システム
1a、1b、1c 基台
10 基板搬入部
11、21、31、41、51 ステージ
20 貼着部
22、32、42 ステージ移動部
23 貼着機構
30 仮圧着部
33 部品供給部
34 仮圧着ツール
35 搭載ヘッド
36 搭載ヘッド移動機構
37、210 撮像部
40 本圧着部
43 本圧着ツール
50 基板搬出部
60 搬送部
61 移動ベース
62A、62B、62C、62D 基板搬送機構
63 基部
64 アームユニット
100 実装装置
200 検査装置
220 測定部
300 制御装置
310 取得部
320 算出部
330 入力部
340 制御部
350 出力部
360 表示部
370 記憶部
400 基板
410 電極部
420、421 マーク
430 ACF
440 部品
450 所定の位置
L ずれ量
REFERENCE SIGNS LIST 1 Component mounting system 1a, 1b, 1c Base 10 Substrate loading section 11, 21, 31, 41, 51 Stage 20 Adhesive section 22, 32, 42 Stage moving section 23 Adhesive mechanism 30 Pre-pressure bonding section 33 Component supply section 34 Pre-pressure bonding tool 35 Mounting head 36 Mounting head moving mechanism 37, 210 Imaging section 40 Main pressure bonding section 43 Main pressure bonding tool 50 Substrate unloading section 60 Transport section 61 Movement base 62A, 62B, 62C, 62D Substrate transport mechanism 63 Base 64 Arm unit 100 Mounting device 200 Inspection device 220 Measurement section 300 Control device 310 Acquisition section 320 Calculation section 330 Input section 340 Control section 350 Output section 360 Display section 370 Memory section 400 Substrate 410 Electrode section 420, 421 Mark 430 ACF
440 Part 450 Predetermined position L Displacement amount

Claims (4)

基板に部品を実装する実装装置と、
前記実装装置によって基板に実装された部品の位置の所定の位置からのずれ量に基づいて、前記実装装置が基板に部品を実装する実装位置を前記実装装置に補正させるための補正量を算出する算出部と、
前記補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる制御部と、
前記実装装置に前記実装位置を補正させるための入力を受け付ける入力部と、を備え、
前記制御部は、
前記実装装置が基板に部品を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、前記入力部が前記入力を受け付けたか否かを判定し、
前記入力部が前記入力を受け付けたと判定した場合、前記処理枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき前記算出部が算出した第1補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させ、
前記入力部が前記入力を受け付けていないと判定した場合、前記実装装置に前記規定枚数の基板に部品を実装させ、前記規定枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき前記算出部が算出した第2補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる、
部品実装システム。
A mounting device that mounts components on a substrate;
a calculation unit that calculates a correction amount for the mounting device to correct a mounting position at which the mounting device mounts a component on a board, based on an amount of deviation of a position of the component mounted on the board by the mounting device from a predetermined position;
a control unit that causes the mounting apparatus to correct the mounting position based on the correction amount;
an input unit that receives an input for causing the mounting device to correct the mounting position,
The control unit is
determining whether or not the input unit has received the input during a period before the number of processed boards on which the mounting device has mounted components reaches a specified number;
when the input unit determines that the input has been received, the mounting device corrects the mounting position based on a first correction amount calculated by the calculation unit based on the deviation amount measured for each of the processed number of substrates;
when it is determined that the input unit has not received the input, having the mounting device mount components on the specified number of boards, and having the mounting device correct the mounting positions based on a second correction amount calculated by the calculation unit based on the deviation amounts measured from each of the specified number of boards;
Component mounting system.
さらに、前記ずれ量に基づくずれ量情報を表示する表示部を備える、
請求項1に記載の部品実装システム。
Further, a display unit is provided that displays deviation amount information based on the deviation amount.
The component mounting system according to claim 1 .
前記処理枚数は、前記実装装置が基板に部品を実装する実装処理を開始してから、又は、前記制御部が前記実装装置に前記実装位置を補正させてから、前記実装装置が部品を実装した基板の数であり、
前記未到達期間は、前記処理枚数が前記規定枚数に到達する前までの期間である、
請求項1又は2に記載の部品実装システム。
the number of processed substrates is the number of substrates on which the mounting device has mounted components since the mounting device started a mounting process for mounting components onto substrates or since the control unit caused the mounting device to correct the mounting positions,
The non-reaching period is a period before the number of processed sheets reaches the specified number.
The component mounting system according to claim 1 or 2.
実装装置によって基板に部品を実装し、
前記実装装置によって基板に実装された部品の位置の所定の位置からのずれ量に基づいて、前記実装装置が基板に部品を実装する実装位置を前記実装装置に補正させるための補正量を算出し、
前記実装装置が基板に部品を実装した処理枚数が規定枚数に到達する前までの未到達期間に、前記実装装置に前記実装位置を補正させるための入力を受け付けたか否かを判定し、
前記入力を受け付けたと判定した場合、前記処理枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき算出した第1補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させ、
前記入力を受け付けていないと判定した場合、前記実装装置に前記規定枚数の基板に部品を実装させ、前記規定枚数の基板のそれぞれから測定された前記ずれ量に基づき算出した第2補正量に基づいて、前記実装装置に前記実装位置を補正させる、
部品実装方法。
The mounting device mounts the components on the board.
calculating a correction amount for the mounting device to correct a mounting position at which the mounting device mounts the component on the substrate based on an amount of deviation of a position of the component mounted on the substrate by the mounting device from a predetermined position;
determining whether or not an input for causing the mounting device to correct the mounting position has been received during a period before the number of processed substrates on which components have been mounted by the mounting device reaches a prescribed number;
when it is determined that the input has been received, the mounting device is caused to correct the mounting position based on a first correction amount calculated based on the deviation amount measured for each of the processed number of substrates;
when it is determined that the input has not been accepted, having the mounting device mount components on the specified number of boards, and having the mounting device correct the mounting positions based on a second correction amount calculated based on the deviation amount measured from each of the specified number of boards;
Component mounting method.
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