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JP7458243B2 - Heat Transport Devices - Google Patents

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JP7458243B2
JP7458243B2 JP2020098036A JP2020098036A JP7458243B2 JP 7458243 B2 JP7458243 B2 JP 7458243B2 JP 2020098036 A JP2020098036 A JP 2020098036A JP 2020098036 A JP2020098036 A JP 2020098036A JP 7458243 B2 JP7458243 B2 JP 7458243B2
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Description

本発明は、熱輸送デバイスに関し、より具体的には、凝縮によって液相の作動流体に相変化した作動流体を、気相の作動流体への相変化が行われる蒸発部に確実に運搬する熱輸送デバイスに関する。 The present invention relates to a heat transport device, and more specifically, to a heat transport device that reliably transports a working fluid whose phase has changed to a liquid phase working fluid through condensation to an evaporation section where the phase change is performed to a gas phase working fluid. Relating to transportation devices.

近年の電子機器の高機能化に伴い、電子機器内部には、電気・電子部品等の発熱体(以下、単に「発熱体」という場合がある。)が高密度に搭載され、また、発熱体の発熱量が増大化する傾向がある。発熱体の温度が、所定の許容温度を超えて上昇すると、発熱体が誤作動等を起こす原因となることから、発熱体の温度は、常に許容温度以下に維持し続けることが必要である。そのため、電子機器内部には、通常、発熱体が有する熱を外部に輸送するための熱輸送デバイスが搭載されている。このような熱輸送デバイスとしては、例えば、液相の作動流体を蒸発させて気相の作動流体に相変化させる蒸発部と、気相の作動流体を凝縮させて液相の作動流体に相変化させる凝縮部とを備え、作動流体を相変化させることによって潜熱(気化熱)を外部に輸送する、ベーパーチャンバやヒートパイプが知られている。 With the increasing functionality of electronic devices in recent years, heating elements such as electrical and electronic components (hereinafter simply referred to as "heating elements") are mounted in a high density inside electronic devices. The amount of heat generated tends to increase. If the temperature of the heating element rises above a predetermined permissible temperature, it may cause the heating element to malfunction, so it is necessary to maintain the temperature of the heating element at or below the permissible temperature at all times. Therefore, a heat transport device for transporting the heat of a heating element to the outside is usually mounted inside an electronic device. Such heat transport devices include, for example, an evaporator that evaporates a liquid-phase working fluid to change its phase to a gas-phase working fluid, and an evaporator that condenses a gas-phase working fluid to change its phase to a liquid-phase working fluid. Vapor chambers and heat pipes are known that are equipped with a condensing section to transport latent heat (heat of vaporization) to the outside by changing the phase of a working fluid.

電子機器を構成する電気・電子部品等の発熱体では、上述したように発熱量が増大化する傾向があることから、熱輸送デバイスの熱輸送性能をさらに向上させることが要求されている。熱輸送デバイスの熱輸送性能をさらに向上させるには、熱輸送デバイスの内部における作動流体の循環を円滑化することが有用である。 BACKGROUND ART Heat generating elements such as electrical and electronic components that constitute electronic equipment tend to generate more heat as described above, and therefore there is a need to further improve the heat transport performance of heat transport devices. To further improve the heat transport performance of a heat transport device, it is useful to facilitate the circulation of a working fluid inside the heat transport device.

熱輸送デバイスの内部における作動流体の循環を円滑化するための手段として、例えば、特許文献1には、管体の内壁にグルーブを形成し、このグルーブの内側に密着するように、毛細管力を生じさせる微細な繊維からなる繊維体を装填した熱輸送デバイス(冷却器)が記載されている。この熱輸送デバイスでは、管体の内壁に形成したグルーブの内側に繊維体を装填することで、グルーブの毛細管力に加えて、繊維体に含まれる繊維によって強い毛細管力が発揮されるため、重力による影響を受けずに作動液を確実に移動させることができるとしている。 As a means for smoothing the circulation of a working fluid inside a heat transport device, for example, Patent Document 1 discloses that a groove is formed in the inner wall of a tube body, and a capillary force is applied so as to tightly fit inside the groove. Heat transport devices (coolers) loaded with fibrous bodies consisting of fine fibers are described. In this heat transport device, by loading the fibrous body inside the groove formed on the inner wall of the tube body, in addition to the capillary force of the groove, the fibers contained in the fibrous body exert a strong capillary force. It is said that the hydraulic fluid can be moved reliably without being affected by the

特開2013-100977号公報Japanese Patent Application Publication No. 2013-100977

しかしながら、特許文献1の熱輸送デバイスは、繊維体に液相の作動流体が染み込むため、蒸発部と凝縮部との間に位置する中間部では、気相の作動流体と液相の作動流体が互いに逆方向の流体流れを、同じ内部空間で形成している。 However, in the heat transport device of Patent Document 1, the liquid phase working fluid permeates into the fibrous body, so in the intermediate portion located between the evaporation section and the condensation section, the gas phase working fluid and the liquid phase working fluid are mixed. Fluid flows in opposite directions are formed in the same internal space.

そのため、液相の作動流体が気相の作動流体とぶつかり合って流体の流れに乱れが生じやすく、結果として、所期したほどの熱輸送効率が得られないという問題がある。 Therefore, the liquid-phase working fluid collides with the gas-phase working fluid, which tends to cause turbulence in the flow of the fluid, and as a result, there is a problem in that the desired heat transport efficiency cannot be obtained.

本発明の目的は、熱輸送性能が高められた熱輸送デバイスを提供することにある。 An object of the present invention is to provide a heat transport device with improved heat transport performance.

上記目的を達成するため、本発明の要旨構成は、以下のとおりである。
(1)容器の内部に作動流体を有しており、前記作動流体を蒸発させる蒸発部と、前記蒸発部から離隔した位置に配設され、前記作動流体を凝縮させる凝縮部と、前記蒸発部と前記凝縮部との間に配設される中間部とを設けてなる熱輸送デバイスにおいて、前記容器は、内周面に、前記凝縮部から前記中間部を経て前記蒸発部まで連続して延在する少なくとも1本の溝を備え、前記溝は、前記中間部に位置する溝の開口溝幅が、前記蒸発部もしくは前記凝縮部に位置する溝の開口溝幅より狭いか、または前記中間部に位置する溝の開口部が閉じている、熱輸送デバイス。
(2)前記中間部に位置する溝部分の開口位置で測定したときの開口溝幅は、0μm以上300μm以下の範囲である、上記(1)に記載の熱輸送デバイス。
(3)前記中間部に位置する溝部分の幅は、前記開口位置から溝深さ方向に向かって広がるように構成される、上記(1)または(2)に記載の熱輸送デバイス。
(4)前記凝縮部から前記中間部を経て前記蒸発部まで連続して延在する溝部分の溝深さは、100μm以上2000μm以下の範囲である、上記(1)から(3)のいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(5)前記中間部に位置する溝部分は、前記容器の横断面で見て、開口溝幅に対する溝深さの比が0.5以上50以下の範囲である、上記(1)から(4)のいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(6)前記溝は、前記蒸発部に位置する溝部分の内面に、多孔質層が形成されている、上記(1)から(5)までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(7)前記少なくとも1本の溝は、複数本の溝であり、前記複数本の溝は、前記容器の表面に、互いに間隔をおいて平行に並列配置され、前記間隔は、200μm以上1000μm以下の範囲である、上記(1)から(6)までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(8)前記容器は、銅または銅合金からなる、上記(1)から(7)までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(9)前記容器は、端部で密封されている2枚の金属シートによって内部空間が構成され、ベーパーチャンバとして用いられる、上記(1)から(8)までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
(10)前記容器は、端部で密封されている管状容器によって内部空間が構成され、ヒートパイプとして用いられる、上記(1)から(8)までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
In order to achieve the above object, the gist of the present invention is as follows.
(1) An evaporation section that has a working fluid inside the container and evaporates the working fluid; a condensation section that is arranged at a position separated from the evaporation section and that condenses the working fluid; and the evaporation section and an intermediate section disposed between the condensing section and the condensing section, wherein the container has an inner peripheral surface continuously extending from the condensing section through the intermediate section to the evaporating section. at least one groove located in the intermediate portion, and the groove has an opening groove width narrower than that of the groove located in the evaporation portion or the condensation portion, or the groove is located in the intermediate portion. A heat transport device in which the opening of the groove located at is closed.
(2) The heat transport device according to (1) above, wherein the opening groove width when measured at the opening position of the groove portion located in the intermediate portion is in a range of 0 μm or more and 300 μm or less.
(3) The heat transport device according to (1) or (2), wherein the width of the groove portion located in the intermediate portion is configured to increase in the groove depth direction from the opening position.
(4) Any one of (1) to (3) above, wherein the groove depth of the groove portion that continuously extends from the condensation section to the evaporation section via the intermediate section is in the range of 100 μm or more and 2000 μm or less. The heat transport device according to item 1.
(5) The groove portion located in the intermediate portion has a ratio of groove depth to opening groove width in the range of 0.5 or more and 50 or less when viewed in a cross section of the container, from (1) to (4) above. ) The heat transport device according to any one of the above.
(6) The heat transport device according to any one of (1) to (5) above, wherein the groove has a porous layer formed on an inner surface of the groove portion located in the evaporation section.
(7) The at least one groove is a plurality of grooves, and the plurality of grooves are arranged parallel to each other at intervals on the surface of the container, and the intervals are 200 μm or more and 1000 μm or less. The heat transport device according to any one of (1) to (6) above, wherein the heat transport device is in the range of (1) to (6).
(8) The heat transport device according to any one of (1) to (7) above, wherein the container is made of copper or a copper alloy.
(9) The container according to any one of (1) to (8) above, wherein the internal space is constituted by two metal sheets sealed at the ends and is used as a vapor chamber. transportation device.
(10) The heat transport device according to any one of (1) to (8) above, wherein the container has an internal space formed by a tubular container sealed at an end and is used as a heat pipe.

本発明によれば、熱輸送性能が高められた熱輸送デバイスを提供することができる。 According to the present invention, a heat transport device with improved heat transport performance can be provided.

図1Aは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した平面図である。FIG. 1A is a plan view showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment. 図1Bは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。FIG. 1B is a diagram showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I A - I A in FIG. 1A. 図1Cは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。FIG. 1C is a diagram showing the internal structure of the vapor chamber that is the heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I B - I B in FIG. 1A. 図1Dは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。FIG. 1D is a diagram showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I C - I C in FIG. 1A. 図2は、図1A~図1Cのベーパーチャンバで生じる作動流体の流れを説明するための、熱輸送デバイスの内部構造が分かるように透視して示した平面図である。FIG. 2 is a transparent plan view showing the internal structure of the heat transport device to explain the flow of the working fluid that occurs in the vapor chamber of FIGS. 1A to 1C. 図3は、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの変形例について内部構造を示した図であって、図3(a)が平面図、図3(b)が図3(a)のII-II線上で切断したときの断面図である。FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of a modified example of the vapor chamber that is the heat transport device of the first embodiment, in which FIG. 3(a) is a plan view, and FIG. 3(b) is a plan view of FIG. 3(a). FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II A - II A of FIG. 図4は、第3実施形態の熱輸送デバイスであるヒートパイプの内部構造を示した図であって、図4(a)が縦断面図、図4(b)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図、図4(c)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図、図4(d)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図である。FIG. 4 is a diagram showing the internal structure of a heat pipe, which is a heat transport device according to a third embodiment, in which FIG. 4(a) is a vertical cross-sectional view, and FIG. A -III A cross-sectional view when cut on line A, FIG. 4(c) is a cross-sectional view when cut on III B -III B line in FIG. 4(a), and FIG. 4(d) is FIG. 4(a) FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line IIIC - IIIC of FIG.

次に、本発明のいくつかの実施形態の熱輸送デバイスについて、以下で説明する。 Next, heat transport devices according to some embodiments of the present invention will be described below.

<第1実施形態>
図1Aは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した平面図である。図1Bは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。図1Cは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。図1Dは、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの内部構造を示した図であって、図1AのI-I線上で切断したときの断面図である。図2は、図1A~図1Cのベーパーチャンバで生じる作動流体の流れを説明するための、熱輸送デバイスの平面図である。
<First embodiment>
FIG. 1A is a plan view showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment. FIG. 1B is a diagram showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I A - I A in FIG. 1A. FIG. 1C is a diagram showing the internal structure of the vapor chamber that is the heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I B - I B in FIG. 1A. FIG. 1D is a diagram showing the internal structure of a vapor chamber that is a heat transport device of the first embodiment, and is a cross-sectional view taken along line I C - I C in FIG. 1A. FIG. 2 is a plan view of the heat transport device to explain the flow of working fluid that occurs in the vapor chamber of FIGS. 1A to 1C.

本発明の熱輸送デバイス1は、図1Aに記載されるように、容器2の内部に作動流体Fを有しており、作動流体Fを蒸発させる蒸発部3と、蒸発部3から離隔した位置に配設され、作動流体Fを凝縮させる凝縮部4と、蒸発部3と凝縮部4との間に配設される中間部5とを設けてなる熱輸送デバイスである。ここで、容器2は、内周面2aに、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3まで連続して延在する少なくとも1本の溝6を備え、溝6は、容器2の横断面で見て、中間部5に位置する溝の開口溝幅wが、蒸発部3もしく凝縮部4に位置する溝の開口溝幅より狭いか、または中間部5に位置する溝の開口部が閉じている。 As shown in FIG. 1A, the heat transport device 1 of the present invention has a working fluid F inside a container 2, an evaporation section 3 for evaporating the working fluid F, and a position separated from the evaporation section 3. This is a heat transport device that is provided with a condensing section 4 which is disposed in the evaporating section 3 and the condensing section 4 and which condenses the working fluid F, and an intermediate section 5 which is disposed between the evaporating section 3 and the condensing section 4. Here, the container 2 is provided with at least one groove 6 on the inner circumferential surface 2a that continuously extends from the condensing section 4 to the evaporating section 3 via the intermediate section 5, and the groove 6 is formed in a cross section of the container 2. The opening groove width w1 of the groove located in the intermediate part 5 is narrower than the opening groove width of the groove located in the evaporating part 3 or the condensing part 4, or the opening of the groove located in the intermediate part 5 is closed.

これにより、図2に記載されるように、中間部5では、気相の作動流体F(g)の流体流れと、液相の作動流体F(L)の流体流れが、互いに逆向きとなってぶつかる箇所であるが、本実施形態では、開口溝幅wが相対的に狭く、または開口部が閉じている溝6の部分に限られるようになることで、気相の作動流体F(g)と液相の作動流体F(L)の接触面積が小さくなる。そのため、これらの接触する部分における、気相の作動流体F(g)が液相の作動流体F(L)によって冷却されることによって生じていた液相への相変化を低減して、気相の作動流体F(g)の相変化による熱輸送性能の低下を抑えることができる。加えて、本発明の熱輸送デバイス1は、板材にレーザ加工を行って溝6を形成した後にプレス加工を施すだけで、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wを狭く構成することが可能なため、より少ない工数で熱輸送デバイス1を製造することができる。したがって、より少ない工数で製造することができ、かつ熱輸送性能が高められた熱輸送デバイスを提供することができる。 As a result, as shown in FIG. 2, in the intermediate portion 5, the fluid flow of the gas-phase working fluid F(g) and the fluid flow of the liquid-phase working fluid F(L) are in opposite directions. However, in this embodiment, the opening groove width w1 is relatively narrow or limited to the portion of the groove 6 where the opening is closed, so that the gas phase working fluid F( g) and the liquid-phase working fluid F(L) have a smaller contact area. Therefore, the phase change to the liquid phase that occurs when the gas phase working fluid F (g) is cooled by the liquid phase working fluid F (L) in these contacting parts is reduced, and the gas phase changes. It is possible to suppress a decrease in heat transport performance due to a phase change of the working fluid F(g). In addition, in the heat transport device 1 of the present invention, the opening groove width w 1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 can be configured to be narrow by simply performing press processing after laser processing the plate material to form the groove 6 . Therefore, the heat transport device 1 can be manufactured with fewer man-hours. Therefore, it is possible to provide a heat transport device that can be manufactured with fewer man-hours and has improved heat transport performance.

なお、作動流体Fは、熱輸送デバイス1においては、液相状態と気相状態に相変化して存在する。そのため、以下では、説明の便宜上、液相の作動流体をF(L)、気相の作動流体をF(g)と区別した符号を付す場合がある。 Note that the working fluid F exists in the heat transport device 1 in a phase-changed state between a liquid phase state and a gas phase state. Therefore, in the following description, for convenience of explanation, the liquid phase working fluid may be designated as F(L) and the gas phase working fluid as F(g).

(熱輸送デバイス)
熱輸送デバイス1は、容器2の内部空間Sに封入された作動流体Fを通じて、熱を輸送することができる構成を有し、例えばベーパーチャンバやヒートパイプ、熱交換器のような種々の伝熱装置に用いることができる。特に、本実施形態に係る熱輸送デバイス1は、図1Aに示すように、ベーパーチャンバとして用いられる。
(Heat transport device)
The heat transport device 1 has a configuration capable of transporting heat through a working fluid F sealed in an internal space S of a container 2, and is capable of transporting heat through various heat transfer devices such as a vapor chamber, a heat pipe, and a heat exchanger. It can be used for devices. In particular, the heat transport device 1 according to this embodiment is used as a vapor chamber, as shown in FIG. 1A.

(容器)
熱輸送デバイス1に用いられる容器2は、内部に作動流体Fを有する。より具体的には、容器2は、作動流体Fが封入される内部空間Sを有している。特に、本実施形態では、容器2は、端部Tで密封されている2枚の金属シートによって内部空間Sが構成される。
(container)
The container 2 used in the heat transport device 1 has a working fluid F therein. More specifically, the container 2 has an internal space S in which the working fluid F is sealed. In particular, in this embodiment, the interior space S of the container 2 is formed by two metal sheets that are sealed at the ends T.

ここで、2枚の金属シートは、一方が伝熱部材21を、他方が蓋体22をそれぞれ構成し、伝熱部材21の上面と蓋体22の下面とが、容器2の端部Tで密封されるように構成される。伝熱部材21と蓋体22は、同じ構造を有していてもよい。これらが同じ構造を有する場合、伝熱部材21と蓋体22のうち、下側にあるものが伝熱部材21となり、上側にあるものが蓋体22となる。 Here, one of the two metal sheets constitutes the heat transfer member 21 and the other constitutes the lid 22, and the upper surface of the heat transfer member 21 and the lower surface of the lid 22 are located at the end T of the container 2. Configured to be sealed. The heat transfer member 21 and the lid 22 may have the same structure. When these have the same structure, of the heat transfer member 21 and the lid 22, the one on the lower side becomes the heat transfer member 21, and the one on the upper side becomes the lid 22.

熱輸送デバイス1が設けられている容器2の内部空間Sは、外部環境に対して密閉された空間であり、脱気処理により減圧されている。これにより、容器2からの液相の作動流体F(L)や気相の作動流体F(g)の漏洩を防ぐとともに、内部空間Sの圧力を調整して、所望の動作温度で動作するように構成されている。 The internal space S of the container 2 in which the heat transport device 1 is provided is a space that is sealed from the external environment, and is depressurized by degassing. This prevents the liquid-phase working fluid F(L) and gas-phase working fluid F(g) from leaking from the container 2, and also adjusts the pressure in the internal space S to operate at a desired operating temperature. It is composed of

容器2の平面形状は、特に限定する必要はなく、図1に示すような矩形状の他、円形、三角形、多角形などの種々の形状が挙げられ、特にベーパーチャンバが取り付けられる部分の形状に対応させた形状にすることが好ましい。容器2の厚さは、特に限定されないが、例えば0.1mm以上2.0mm以下の範囲であることが好ましい。 The planar shape of the container 2 is not particularly limited, and may be a rectangular shape as shown in FIG. 1, as well as various shapes such as a circle, a triangle, and a polygon. It is preferable to have a corresponding shape. The thickness of the container 2 is not particularly limited, but is preferably in the range of, for example, 0.1 mm or more and 2.0 mm or less.

容器2を構成する材料としては、特に限定されず、例えば熱伝導性材料を挙げることができる。特に、高い熱伝導性を得る観点では、容器2は、金属または合金によって構成されることが好ましく、その一例として、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、鉄合金(例えばステンレス鋼)、チタン、チタン合金などを挙げることができる。その中でも、特に高い熱伝導性を得られる観点では、容器2は、銅または銅合金によって構成されることが好ましい。 The material constituting the container 2 is not particularly limited, and examples thereof include thermally conductive materials. In particular, from the viewpoint of obtaining high thermal conductivity, the container 2 is preferably made of a metal or an alloy, examples of which include copper, copper alloy, aluminum, aluminum alloy, nickel, nickel alloy, iron alloy (e.g., stainless steel), titanium, and titanium alloy. Among these, from the viewpoint of obtaining particularly high thermal conductivity, the container 2 is preferably made of copper or a copper alloy.

容器2に封入される作動流体Fとしては、特に限定されず、広汎な材料が使用でき、例えば、電気絶縁性の冷媒を挙げることができる。具体例としては、例えば、水、フルオロカーボン類、シクロペンタン、エチレングリコール、およびこれらの混合物などを挙げることができる。これらの作動流体Fのうち、電気絶縁性の点から、フルオロカーボン類、シクロペンタン、エチレングリコールが好ましく、フルオロカーボン類が特に好ましい。 The working fluid F sealed in the container 2 is not particularly limited, and a wide variety of materials can be used, such as an electrically insulating refrigerant. Specific examples include water, fluorocarbons, cyclopentane, ethylene glycol, and mixtures thereof. Among these working fluids F, from the viewpoint of electrical insulation, fluorocarbons, cyclopentane, and ethylene glycol are preferred, and fluorocarbons are particularly preferred.

容器2には、作動流体Fを蒸発させる蒸発部3と、蒸発部3から離隔した位置に配設され、作動流体Fを凝縮させる凝縮部4と、蒸発部3と凝縮部4との間に配設される中間部5とを設ける。より具体的には、液相の作動流体F(L)を蒸発させて気相の作動流体F(g)に相変化させる蒸発部3と、蒸発部3から離隔した位置に配設され、気相の作動流体F(g)を凝縮させて液相の作動流体F(L)に相変化させる凝縮部4と、蒸発部3と凝縮部4との間に配設される中間部5とを設ける。 The vessel 2 is provided with an evaporation section 3 that evaporates the working fluid F, a condensation section 4 that is disposed at a position separated from the evaporation section 3 and that condenses the working fluid F, and an intermediate section 5 that is disposed between the evaporation section 3 and the condensation section 4. More specifically, the vessel 2 is provided with an evaporation section 3 that evaporates the liquid-phase working fluid F(L) and changes its phase to a gas-phase working fluid F(g), a condensation section 4 that is disposed at a position separated from the evaporation section 3 and that condenses the gas-phase working fluid F(g) and changes its phase to a liquid-phase working fluid F(L), and an intermediate section 5 that is disposed between the evaporation section 3 and the condensation section 4.

このうち、蒸発部3は、容器2のうち、発熱体7の取付位置Pに対応する位置に形成され、例えば図1Aの熱輸送デバイス1では、容器2の一端側部分に形成されている。蒸発部3は、熱的に接続された発熱体7から受熱(吸熱)する機能を有している。具体的には、図2に記載されるように、発熱体7からの熱を、容器2の内部空間Sに封入された液相の作動流体F(L)に伝えることで液相の作動流体F(L)を加熱および蒸発させて、気相の作動流体F(g)に相変化させることで、蒸発潜熱として発熱体7から受けた熱を吸収する。 Of these, the evaporator 3 is formed in the container 2 at a position corresponding to the mounting position P of the heating element 7, and for example, in the heat transport device 1 of FIG. 1A, it is formed at one end side portion of the container 2. The evaporator 3 has a function of receiving heat (absorbing heat) from the heat generating element 7 to which it is thermally connected. Specifically, as shown in FIG. 2, the heat from the heating element 7 is transferred to the liquid-phase working fluid F(L) sealed in the internal space S of the container 2. By heating and evaporating F(L) to cause a phase change to a gaseous working fluid F(g), the heat received from the heating element 7 as latent heat of vaporization is absorbed.

また、凝縮部4は、蒸発部3から離隔した位置に配設されており、例えば図1Aの熱輸送デバイス1では、容器2の他端側部分に配設される。この凝縮部4は、蒸発部3で相変化して輸送されてきた気相の作動流体F(g)を放熱する機能を有している。具体的には、凝縮部4は、図2に記載されるように、気相の作動流体F(g)を凝縮させて液相の作動流体F(L)に相変化させ、それにより凝縮潜熱として輸送された作動流体F(g)の熱を容器2の外部に放出する。他方で、凝縮部4において生じる液相の作動流体F(L)は、後述する溝6に沿って流れ、中間部5を経て蒸発部3に戻る。蒸発部3に戻った液相の作動流体F(L)は、発熱体7から熱を吸収するのに再度用いられる。 Further, the condensing section 4 is arranged at a position separated from the evaporating section 3, and for example, in the heat transport device 1 of FIG. 1A, it is arranged at the other end side of the container 2. The condensing section 4 has a function of radiating heat from the gas phase working fluid F(g) that has undergone a phase change in the evaporating section 3 and is transported. Specifically, as shown in FIG. 2, the condensing section 4 condenses the gas phase working fluid F(g) to change the phase to the liquid phase working fluid F(L), thereby reducing the latent heat of condensation. The heat of the working fluid F(g) transported as a liquid is released to the outside of the container 2. On the other hand, the liquid-phase working fluid F(L) generated in the condensing section 4 flows along grooves 6, which will be described later, and returns to the evaporating section 3 via the intermediate section 5. The liquid-phase working fluid F(L) returned to the evaporator 3 is used again to absorb heat from the heating element 7.

また、中間部5は、蒸発部3と凝縮部4との間に配設されており、蒸発部3から凝縮部4に向かう気相の作動流体F(g)と、凝縮部4から蒸発部3に向かう液相の作動流体F(L)とが、互いに逆方向の流体流れを形成するように構成される。中間部5では、液相の作動流体F(L)が溝6に沿って蒸発部3に供給されるとともに、気相の作動流体F(g)が溝6の上にある空隙を通って凝縮部4に供給される。 Further, the intermediate section 5 is disposed between the evaporation section 3 and the condensation section 4, and allows gas-phase working fluid F(g) to flow from the evaporation section 3 to the condensation section 4 and from the condensation section 4 to the evaporation section. The working fluid F(L) in the liquid phase flowing toward the pump 3 is configured to form fluid flows in opposite directions. In the intermediate section 5, the liquid-phase working fluid F(L) is supplied to the evaporation section 3 along the groove 6, and the gas-phase working fluid F(g) is condensed through the gap above the groove 6. 4.

(溝)
本発明の熱輸送デバイス1は、容器2の内周面2aに、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3まで連続して延在する、少なくとも1本の溝6を備える。ここで、溝6は、上述の2枚の金属シートのうち、少なくとも伝熱部材21に設けられる。
(groove)
The heat transport device 1 of the present invention includes at least one groove 6 on the inner circumferential surface 2a of the container 2, which continuously extends from the condensing section 4 to the evaporating section 3 via the intermediate section 5. Here, the groove 6 is provided in at least the heat transfer member 21 of the two metal sheets described above.

溝6は、その内部を液体の作動流体F(L)が流通するように構成される。これにより、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3に至る、溝6に沿った液体の作動流体F(L)の流れが形成されるため、凝縮部4で凝縮した液体の作動流体F(L)を、速やかに蒸発部3に供給することができる。 The groove 6 is configured such that a liquid working fluid F(L) flows therein. As a result, a flow of the liquid working fluid F(L) along the groove 6 is formed from the condensing part 4 to the evaporating part 3 via the intermediate part 5. (L) can be quickly supplied to the evaporation section 3.

溝6の形状は、容器2の横断面で見て、中間部5に位置する溝の開口溝幅wが、蒸発部3に位置する溝の開口溝幅wや、凝縮部4に位置する溝の開口溝幅wより狭くなるように構成される。より具体的には、図1Bに示すような、中間部5を横切る容器2の横断面で見たときの、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wが、図1Cに示される蒸発部3を横切る容器2の横断面で見たときの、蒸発部3に位置する溝部分の開口溝幅wや、図1Dに示される凝縮部4を横切る容器2の横断面で見たときの、凝縮部4に位置する溝部分の開口溝幅wよりも狭いことが好ましい。これにより、中間部5では、気相の作動流体F(g)と液相の作動流体F(L)の接触面積が小さくなる。そのため、これらの接触する部分における、気相の作動流体F(g)が液相の作動流体F(L)によって冷却されることによって生じていた液相への相変化を低減して、気相の作動流体F(g)の相変化による熱輸送性能の低下を抑えることができる。加えて、中間部5では凝縮部4より大きな毛細管力が液相の作動流体F(L)に作用することで、凝縮部4から中間部5に液相の作動流体F(L)が引き寄せられるため、作動流体Fの還流を促進することができる。 The shape of the groove 6 is such that, when viewed from the cross section of the container 2, the opening groove width w 1 of the groove located in the intermediate part 5 is the same as the opening groove width w 2 of the groove located in the evaporating part 3 and the opening groove width w 2 of the groove located in the condensing part 4. The opening groove width w3 of the groove is configured to be narrower than the opening width w3 of the groove. More specifically, the opening groove width w 1 of the groove portion located in the middle part 5 when viewed in a cross section of the container 2 across the middle part 5 as shown in FIG. 1B is shown in FIG. 1C. The opening groove width w2 of the groove portion located in the evaporation section 3 when viewed in a cross section of the container 2 that crosses the evaporation section 3, and the width w2 of the opening groove of the groove portion located in the evaporation section 3 when viewed in a cross section of the container 2 that crosses the condensation section 4 shown in Fig. 1D. It is preferable that the opening groove width w3 of the groove portion located in the condensing section 4 is narrower than that of the opening groove width w3 . As a result, in the intermediate portion 5, the contact area between the gas-phase working fluid F(g) and the liquid-phase working fluid F(L) becomes small. Therefore, the phase change to the liquid phase that occurs when the gas phase working fluid F (g) is cooled by the liquid phase working fluid F (L) in these contacting parts is reduced, and the gas phase changes. It is possible to suppress a decrease in heat transport performance due to a phase change of the working fluid F(g). In addition, in the intermediate portion 5, a capillary force larger than that in the condensing portion 4 acts on the liquid phase working fluid F(L), so that the liquid phase working fluid F(L) is drawn from the condensing portion 4 to the intermediate portion 5. Therefore, the reflux of the working fluid F can be promoted.

ここで、溝6のうち、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wの大きさは、開口位置6a、6a’で測定したときの開口溝幅とすることができる。この開口溝幅wの大きさは、0μm以上300μm以下の範囲にすることが好ましく、0μm以上100μm以下の範囲にすることがより好ましい。 Here, the size of the opening groove width w1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 of the groove 6 can be the opening groove width measured at the opening positions 6a, 6a'. The size of this opening groove width w1 is preferably in the range of 0 μm to 300 μm, and more preferably in the range of 0 μm to 100 μm.

また、溝6のうち、中間部5に位置する溝部分の幅は、開口位置6a、6a’から溝深さ方向(図1BのZ方向)に向かって広がるように構成されることが好ましい。これにより、溝部分の開口溝幅wを狭めながらも、より多くの液相の作動流体F(L)を溝6に流通させることが可能になるため、中間部5における気相の作動流体F(g)の液相への相変化をより起こり難くすることができる。 Moreover, it is preferable that the width of the groove portion of the groove 6 located in the intermediate portion 5 is configured to increase from the opening positions 6a, 6a' toward the groove depth direction (Z direction in FIG. 1B). This allows more liquid-phase working fluid F(L) to flow through the groove 6 while narrowing the opening groove width w1 of the groove portion, so that the gas-phase working fluid in the intermediate portion 5 The phase change of F(g) to a liquid phase can be made more difficult to occur.

なお、溝6のうち、蒸発部3と凝縮部4に位置する溝部分の幅は、蒸発部3における液相の作動流体F(L)の蒸発や、凝縮部4における液相の作動流体F(L)の溝6への回収を容易にするため、溝深さ方向(図1BのZ方向)の全体において等しいことが好ましい。 Note that the width of the groove portion of the groove 6 located in the evaporation section 3 and the condensation section 4 is determined by the width of the groove portion located in the evaporation section 3 and the condensation section 4. (L) is preferably equal throughout the groove depth direction (Z direction in FIG. 1B) in order to facilitate recovery into the groove 6.

他方で、溝6のうち、蒸発部3に位置する溝部分の開口溝幅wは、開口位置6b、6b’で測定したときの開口溝幅とすることができ、凝縮部4に位置する溝部分の開口溝幅wは、開口位置6c、6c’で測定したときの開口溝幅とすることができる。これら開口溝幅w、wの大きさは、50μm以上500μm以下の範囲にすることが好ましく、100μm以上400μm以下の範囲にすることがより好ましい。 On the other hand, the opening groove width w2 of the groove portion of the groove 6 located in the evaporation section 3 can be the opening groove width when measured at the opening positions 6b and 6b', and the opening groove width w2 of the groove portion located in the condensation section 4 The opening groove width w3 of the groove portion can be the opening groove width when measured at the opening positions 6c and 6c'. The widths of these opening grooves w 2 and w 3 are preferably in the range of 50 μm or more and 500 μm or less, and more preferably in the range of 100 μm or more and 400 μm or less.

溝6の深さdは、溝6が開口している場合と、開口していない場合とも、内周面2aのうち溝6が形成されていない部分から、溝の底部までの距離をいう。作動流体Fの圧力損失を低減し、溝6を介して作動流体Fを流通し易くできる観点では、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3まで連続して延在する溝部分における溝6の深さdは、蒸発部3、中間部5および凝縮部4に位置する溝部分の各々において、100μm以上であることが好ましく、150μm以上であることがより好ましい。他方で、溝6の深さdの上限は、蒸発部3、中間部5および凝縮部4に位置する溝部分の各々において、熱輸送デバイス1のスペースを必要以上に大きくしない観点から、2000μm以下であることが好ましく、1000μm以下であることがより好ましい。特に、本実施形態のように、熱輸送デバイス1がベーパーチャンバのような薄型のデバイスであるときは、溝6の深さdの上限は、蒸発部3、中間部5および凝縮部4に位置する溝部分の各々において、400μm以下であってもよい。 The depth d of the groove 6 refers to the distance from the portion of the inner peripheral surface 2a where the groove 6 is not formed to the bottom of the groove, whether the groove 6 is open or not. From the viewpoint of reducing the pressure loss of the working fluid F and making it easier for the working fluid F to flow through the groove 6, the groove 6 in the groove portion that continuously extends from the condensing part 4 through the intermediate part 5 to the evaporating part 3 The depth d is preferably 100 μm or more, more preferably 150 μm or more, in each of the groove portions located in the evaporation section 3, intermediate section 5, and condensation section 4. On the other hand, the upper limit of the depth d of the groove 6 is 2000 μm or less in each of the groove portions located in the evaporation section 3, the intermediate section 5, and the condensation section 4, from the viewpoint of not increasing the space of the heat transport device 1 more than necessary. It is preferable that it is, and it is more preferable that it is 1000 micrometers or less. In particular, when the heat transport device 1 is a thin device such as a vapor chamber as in this embodiment, the upper limit of the depth d of the groove 6 is located at the evaporation section 3, the intermediate section 5, and the condensation section 4. Each of the groove portions may be 400 μm or less.

特に、溝6のうち中間部5に位置する溝部分は、図1Bに示すような中間部5を横切る容器2の横断面で見たときの、開口溝幅wに対する溝深さdの比が、0.5以上50以下の範囲であることが好ましく、1以上20以下の範囲であることがより好ましい。開口溝幅wに対する溝深さdの比をこの範囲内にすることで、作動流体Fの圧力損失が低減されるため、溝6を介した凝縮部4から蒸発部3への作動流体Fの流通を、よりスムーズにすることができる。また、開口溝幅wに対する溝深さdの比が0.5以上10以下の範囲内にある溝6は、レーザ加工を施して溝6を形成した後、プレス成形を行って中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wを狭くすることで、容易に形成することができる。 In particular, the groove portion of the groove 6 located in the intermediate portion 5 has a groove depth d 1 with respect to the opening groove width w 1 when viewed in a cross section of the container 2 that crosses the intermediate portion 5 as shown in FIG. 1B . The ratio is preferably in the range of 0.5 or more and 50 or less, and more preferably in the range of 1 or more and 20 or less. By setting the ratio of the groove depth d1 to the opening groove width w1 within this range, the pressure loss of the working fluid F is reduced, so that the working fluid flows from the condensing section 4 to the evaporating section 3 via the groove 6. The distribution of F can be made smoother. Further, the groove 6 in which the ratio of the groove depth d 1 to the opening groove width w 1 is within the range of 0.5 or more and 10 or less is formed by laser processing to form the groove 6 and then press forming to form the intermediate part. It can be easily formed by narrowing the opening groove width w1 of the groove portion located at 5.

溝6は、より多くの液体の作動流体F(L)を効率よく蒸発部3に戻すため、複数本の溝によって構成されることが好ましい。本実施形態では、図1Aに示すように、溝6である複数本の溝が、容器2の内周面2aに、互いに間隔をおいて平行に並列配置される。これにより、液体の作動流体F(L)が、平行に並列配置された溝6の各々を流れることで、熱輸送デバイス1の幅方向(図1AのY方向)に沿ったより広い範囲で液体の作動流体F(L)を流通することができるため、蒸発部3における液体の作動流体F(L)の偏在を軽減してドライアウトを起こり難くすることができる。 In order to efficiently return more liquid working fluid F(L) to the evaporator 3, the groove 6 is preferably configured with a plurality of grooves. In this embodiment, as shown in FIG. 1A, a plurality of grooves 6 are arranged parallel to each other on the inner circumferential surface 2a of the container 2 at intervals. As a result, the liquid working fluid F(L) flows through each of the grooves 6 arranged in parallel, so that the liquid working fluid F(L) flows in a wider range along the width direction of the heat transport device 1 (Y direction in FIG. 1A). Since the working fluid F(L) can be circulated, uneven distribution of the liquid working fluid F(L) in the evaporator 3 can be reduced and dryout can be made difficult to occur.

容器2の内周面2aに配置される溝6のうち、蒸発部3または凝縮部4に位置する溝部分における、幅方向(図1AのY方向)に沿った間隔vは、200μm以上1000μm以下の範囲であることが好ましい。特に、溝6の間隔vを400μm以上1000μm以下の範囲にすることで、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅が狭くなる形状を、プレス成形によって容易に形成することができる。 Among the grooves 6 arranged on the inner circumferential surface 2a of the container 2, the spacing v along the width direction (Y direction in FIG. 1A) in the groove portions located in the evaporation section 3 or the condensation section 4 is preferably in the range of 200 μm to 1000 μm. In particular, by setting the spacing v of the grooves 6 in the range of 400 μm to 1000 μm, a shape in which the opening groove width of the groove portion located in the intermediate section 5 is narrow can be easily formed by press molding.

さらに、溝6は、少なくとも蒸発部3に位置する溝部分の内面に、多孔質層8が形成されていることが好ましい。これにより、蒸発部3に位置する溝部分の内面における表面積が増加するため、蒸発部3における作動流体F1の液相から気相への相変化を行い易くすることができる。また、多孔質層8の毛細管力によって、液体の作動流体F(L)が、凝縮部4や中間部5から多孔質層8に引き寄せられるため、作動流体Fの還流を促進させることができる。 Furthermore, it is preferable that the groove 6 has a porous layer 8 formed on the inner surface of at least the groove portion located in the evaporation section 3. This increases the surface area of the inner surface of the groove portion located in the evaporation section 3, making it easier for the working fluid F1 in the evaporation section 3 to change phase from liquid to gaseous. In addition, the capillary force of the porous layer 8 draws the liquid working fluid F (L) from the condensation section 4 and the intermediate section 5 to the porous layer 8, promoting the reflux of the working fluid F.

このような溝6を備えた熱輸送デバイス1を製造する方法としては、特に限定されず、例えば容器2のうち少なくとも伝熱部材21の、内周面2aとなる部分に対して、レーザ加工、切削加工、押出成形加工、エッチング加工などを用いることができる。その中でも、より少ない工数で溝6を形成できる観点では、容器2の内周面2aにレーザ加工を施して溝6の原形を形成した後、プレス成形を行って中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wを狭くすることで溝6を形成する工程を有することが好ましい。また、レーザ加工によって溝6を形成する際に、少なくとも蒸発部3に位置する溝部分の内面を、レーザ加工によって、微粉を溝内部に生成するとともに局所的に加熱することで、蒸発部3に位置する溝部分の内面に多孔質層8を形成することも可能である。 The method for manufacturing the heat transport device 1 having such grooves 6 is not particularly limited, and for example, at least the portion of the container 2 that will become the inner circumferential surface 2a of the heat transfer member 21 may be processed by laser processing, Cutting, extrusion, etching, etc. can be used. Among them, from the viewpoint of forming the groove 6 with fewer man-hours, the inner circumferential surface 2a of the container 2 is laser-processed to form the original shape of the groove 6, and then press molding is performed to form the groove located in the intermediate portion 5. It is preferable to include a step of forming the groove 6 by narrowing the opening groove width w1 . Furthermore, when forming the groove 6 by laser machining, at least the inner surface of the groove portion located in the evaporation part 3 is generated by laser machining to generate fine powder inside the groove and locally heated. It is also possible to form the porous layer 8 on the inner surface of the groove portion where it is located.

容器2の少なくとも伝熱部材21に溝6を形成した後、容器2の端部Tのうち封入口となる部分を残して、伝熱部材21の端部Tと蓋体22の端部Tとを接触させて封止し、封入口から作動流体Fを注入する。作動流体Fを注入した後、容器2の内部を、加熱脱気、真空脱気などの脱気処理をして減圧状態にする。その後、封入口を封止することで熱輸送デバイス1を製造する。 After forming the groove 6 in at least the heat transfer member 21 of the container 2, the end T1 of the heat transfer member 21 and the end T1 of the lid body 22 are removed, leaving a portion of the end T of the container 2 that will become the sealing opening. 2 are brought into contact and sealed, and the working fluid F is injected from the sealing port. After the working fluid F is injected, the inside of the container 2 is subjected to a degassing process such as heating degassing or vacuum degassing to bring it into a reduced pressure state. Thereafter, the heat transport device 1 is manufactured by sealing the sealing port.

封止の方法は、特に限定されず、例えば、TIG溶接、抵抗溶接、圧接、はんだ付けを挙げることができる。なお、最初に行う封止(封入口となる部分以外に対する封止)は、その後に行う脱気の際に内部の気体が抜ける部分以外を封止するために行う工程であり、また、2回目の封止(封入口の封止)は、脱気の際に内部の気体が抜ける部分を封止するために行う工程である。 The sealing method is not particularly limited, and examples include TIG welding, resistance welding, pressure welding, and soldering. The first sealing (sealing other than the part that will become the sealing port) is a process performed to seal other than the part from which the internal gas escapes during the subsequent degassing, and the second sealing (sealing the sealing port) is a process performed to seal the part from which the internal gas escapes during degassing.

(ベーパーチャンバの動作原理)
熱輸送デバイス1であるベーパーチャンバは、動作前に液相の作動流体F(L)が内部空間Sに封入され、蒸発部3に供給される。
(Operating principle of vapor chamber)
In the vapor chamber that is the heat transport device 1, a liquid-phase working fluid F(L) is sealed in the internal space S before operation and is supplied to the evaporation section 3.

発熱体7が発熱して蒸発部3の温度が上昇すると、発熱体7の熱が容器2に伝達され、容器2のうち発熱体7の近傍にある蒸発部3に熱が伝達される。蒸発部3では、液相の作動流体F(L)が加熱されて温度が上昇して沸騰温度に到達し、液相の作動流体F(L)から気相の作動流体F(g)に相変化することで、気相の作動流体F(g)が内部空間Sに放出される。また、液相の作動流体F(L)から気相の作動流体F(g)への相変化によって、発熱体からの熱が蒸発潜熱として気相の作動流体F(g)に吸収される。 When the heating element 7 generates heat and the temperature of the evaporator 3 rises, the heat from the heating element 7 is transferred to the container 2, and then to the evaporator 3 located in the container 2 near the heating element 7. In the evaporator 3, the liquid-phase working fluid F(L) is heated and its temperature rises until it reaches the boiling temperature, causing a phase change from the liquid-phase working fluid F(L) to the gas-phase working fluid F(g), which is then released into the internal space S. In addition, the phase change from the liquid-phase working fluid F(L) to the gas-phase working fluid F(g) causes the heat from the heating element to be absorbed by the gas-phase working fluid F(g) as latent heat of vaporization.

蒸発部3で熱を吸収した気相の作動流体F(g)は、容器2の内部空間Sを通って凝縮部4へ流れることで、発熱体7から受けた熱が、蒸発部3から中間部5を経て凝縮部4へと輸送される。このとき、蒸発部3から凝縮部4に輸送される気相の作動流体F(g)は、中間部5の溝6の開口が狭くなっていることで、中間部5を流れる液相の作動流体F(L)との接触面積が低減されるため、中間部5での気相の作動流体F(g)の凝縮を起こり難くして、より確実に凝縮部4に熱を輸送することができる。 The gas phase working fluid F(g) that absorbs heat in the evaporation section 3 flows through the internal space S of the container 2 to the condensation section 4, and the heat received from the heating element 7 is transported from the evaporation section 3 to the condensation section 4 via the intermediate section 5. At this time, the gas phase working fluid F(g) transported from the evaporation section 3 to the condensation section 4 has a reduced contact area with the liquid phase working fluid F(L) flowing through the intermediate section 5 due to the narrow opening of the groove 6 in the intermediate section 5, making it difficult for the gas phase working fluid F(g) to condense in the intermediate section 5, and allowing heat to be transported to the condensation section 4 more reliably.

その後、凝縮部4へ輸送された気相の作動流体F(g)は、凝縮部4にて、熱交換手段(図示せず)によって、液相へ相変化させられる。このとき、輸送されてきた発熱体の熱は、凝縮潜熱としてベーパーチャンバの外部に放出される。他方で、凝縮部4で熱を放出して液相に相変化した液相の作動流体F(L)が、溝6に沿って、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3に流れることで、蒸発部3と凝縮部4の間の作動流体Fの循環流れを形成することができる。 Thereafter, the gas phase working fluid F(g) transported to the condensing section 4 is changed into a liquid phase by a heat exchange means (not shown) in the condensing section 4. At this time, the heat of the heating element transported is released to the outside of the vapor chamber as latent heat of condensation. On the other hand, the liquid-phase working fluid F(L), which has released heat and changed into a liquid phase in the condensing section 4, flows along the groove 6 from the condensing section 4 through the intermediate section 5 to the evaporating section 3. Thus, a circulating flow of the working fluid F between the evaporating section 3 and the condensing section 4 can be formed.

<第2実施形態>
図3は、第1実施形態の熱輸送デバイスであるベーパーチャンバの変形例について内部構造を示した図であって、図3(a)が平面図、図3(b)が図3(a)のII-II線上で切断したときの断面図である。なお、以下の説明において、上記第1実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略または簡略にし、主に相違点について説明する。
<Second embodiment>
FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of a modified example of the vapor chamber that is the heat transport device of the first embodiment, in which FIG. 3(a) is a plan view, and FIG. 3(b) is a plan view of FIG. 3(a). FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II A - II A of FIG. In the following description, the same components as those in the first embodiment are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified, and differences will be mainly described.

上述の第1実施形態では、図1Bに示すように、容器2の横断面で見て、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wが、他の溝部分の開口溝幅より狭い構成を示したが、例えば図3(a)、(b)に示される熱輸送デバイス1Aのように、溝6Aのうち、中間部5に位置する溝部分の開口部が閉じていてもよい。特に、中間部5に位置する溝部分の開口が閉じているとき、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wは0である。 In the first embodiment described above, as shown in FIG. 1B, when viewed from the cross section of the container 2, the opening groove width w1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 is narrower than the opening groove width of the other groove portions. Although the configuration is shown, for example, as in the heat transport device 1A shown in FIGS. 3A and 3B, the opening of the groove portion located in the intermediate portion 5 of the groove 6A may be closed. In particular, when the opening of the groove portion located in the intermediate portion 5 is closed, the opening groove width w 1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 is zero.

本発明の熱輸送デバイスでは、このように中間部5に位置する溝部分の開口部が閉じていることが特に好ましい。これにより、中間部5では、気相の作動流体F(g)と液相の作動流体F(L)がより一層接触し難くなるため、気相の作動流体F(g)の液相の作動流体F(L)との接触による液相への相変化を起こり難くして、熱輸送デバイス1Aの熱輸送性能の低下をより一層抑えることができる。 In the heat transport device of the present invention, it is particularly preferable that the openings of the groove portions located in the intermediate portion 5 are closed. As a result, in the intermediate portion 5, the gas phase working fluid F(g) and the liquid phase working fluid F(L) become more difficult to come into contact with each other, so that the liquid phase of the gas phase working fluid F(g) is activated. By making it difficult to cause a phase change to a liquid phase due to contact with the fluid F(L), it is possible to further suppress a decrease in the heat transport performance of the heat transport device 1A.

<第3実施形態>
図4は、第3実施形態の熱輸送デバイスであるヒートパイプの内部構造を示した図であって、図4(a)が縦断面図、図4(b)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図、図4(c)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図、図4(d)が図4(a)のIII-III線上で切断したときの断面図である。なお、図4(a)では、容器2Bの内周面2aのうち溝6が占める部分を分かりやすくするため、溝6の内部は黒塗りで表示した。以下の説明において、上記第1実施形態と同一の構成要素には、同一の符号を付してその説明を省略または簡略にし、主に相違点について説明する。
<Third embodiment>
FIG. 4 is a diagram showing the internal structure of a heat pipe, which is a heat transport device according to a third embodiment, in which FIG. 4(a) is a vertical cross-sectional view, and FIG. A -III A cross-sectional view when cut on line A, FIG. 4(c) is a cross-sectional view when cut on III B -III B line in FIG. 4(a), and FIG. 4(d) is FIG. 4(a) FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line IIIC - IIIC of FIG. In addition, in FIG. 4(a), in order to make it easier to understand the portion occupied by the groove 6 in the inner circumferential surface 2a of the container 2B, the inside of the groove 6 is shown in black. In the following description, the same components as those in the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted or simplified, and differences will be mainly described.

第3実施形態に係る熱輸送デバイス1Bは、図4(a)に記載されるように、作動流体Fが封入された内部空間Sを有する管状の容器2Bに、管状の容器2Bの延在方向に沿って、蒸発部3、中間部5および凝縮部4を備える。また、この熱輸送デバイス1Bは、容器2の内周面2aに、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3まで連続して延在する、少なくとも1本の溝6を備える。 As shown in FIG. 4(a), the heat transport device 1B according to the third embodiment includes a tubular container 2B having an internal space S in which a working fluid F is sealed. It includes an evaporation section 3, an intermediate section 5, and a condensation section 4 along the . The heat transport device 1B also includes at least one groove 6 on the inner circumferential surface 2a of the container 2, which extends continuously from the condensing section 4 through the intermediate section 5 to the evaporating section 3.

(容器)
本実施形態の熱輸送デバイス1Bは、容器2Bが、端部T、Tで密封されている管状容器によって内部空間Sが構成され、ヒートパイプとして用いられる。ここで、熱輸送デバイス1Bが設けられている容器2Bの内部空間Sは、外部環境に対して密閉された空間であり、脱気処理により減圧されている。本実施形態の熱輸送デバイス1であるヒートパイプは、ベーパーチャンバと同様の動作原理によって動作するものであるが、容器2Bが管状容器であり、それにより相対的に広い内部空間Sを有する点で、ベーパーチャンバの容器と異なる。
(container)
In the heat transport device 1B of this embodiment, the container 2B has an internal space S formed by a tubular container sealed at ends T 3 and T 4 , and is used as a heat pipe. Here, the internal space S of the container 2B in which the heat transport device 1B is provided is a space sealed from the external environment, and the pressure is reduced by a degassing process. The heat pipe, which is the heat transport device 1 of this embodiment, operates on the same principle of operation as the vapor chamber, but the container 2B is a tubular container and has a relatively large internal space S. , different from the vapor chamber container.

容器2Bの長手方向Lについての延在形状は、図4(a)に示す直線状の他、曲部を有する形状などが挙げられ、特に限定されない。容器2Bの長手方向Lに対して直交方向に切断したときの外面輪郭形状は、図4(c)に示す略円形状の他、扁平形状、四角形などの多角形状などが挙げられ、特に限定されない。容器2Bの外径寸法は、特に限定されないが、例えば、容器2Bが略円形状の外面輪郭形状である場合には、5mm以上20mm以下の範囲であることが好ましい。 The extending shape of the container 2B in the longitudinal direction L is not particularly limited, and includes a straight shape shown in FIG. 4(a), a shape having a curved part, and the like. The outer contour shape of the container 2B when cut in a direction orthogonal to the longitudinal direction L is not particularly limited, and may include a substantially circular shape shown in FIG. 4(c), a flat shape, a polygonal shape such as a quadrangular shape, etc. . The outer diameter of the container 2B is not particularly limited, but for example, when the container 2B has a substantially circular outer contour, it is preferably in the range of 5 mm or more and 20 mm or less.

容器2Bには、液相の作動流体F(L)を蒸発させて気相の作動流体F(g)に相変化させる蒸発部3と、蒸発部3から離隔した位置に配設され、気相の作動流体F(g)を凝縮させて液相の作動流体F(L)に相変化させる凝縮部4と、蒸発部3と凝縮部4との間に配設される中間部5を設ける。 The container 2B includes an evaporation section 3 that evaporates the liquid-phase working fluid F(L) to change its phase to the gas-phase working fluid F(g), and is disposed at a position separated from the evaporation section 3 to change the phase of the liquid-phase working fluid F(L) to the gas-phase working fluid F(g). A condensing section 4 that condenses the working fluid F(g) to change its phase to a liquid-phase working fluid F(L), and an intermediate section 5 disposed between the evaporating section 3 and the condensing section 4 are provided.

(溝)
本実施形態の熱輸送デバイス1Bは、容器2Bの内周面2aには、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3まで連続して延在する溝6を備える。そして、溝6のうち少なくとも1本の内部を、液体の作動流体F(L)が流通するように構成される。
(groove)
The heat transport device 1B of this embodiment has grooves 6 on the inner circumferential surface 2a of the container 2B, which continuously extend from the condenser section 4 through the intermediate section 5 to the evaporator section 3. The heat transport device 1B is configured so that a liquid working fluid F (L) flows through at least one of the grooves 6.

溝6の形状は、容器2Bの横断面で見て、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wが、他の溝部分の開口溝幅より狭いか、または中間部5に位置する溝部分の開口部が閉じるように構成される。より具体的には、図4(b)に示すような、中間部5を横切る容器2Bの横断面で見たときの、中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wが、図4(c)に示される蒸発部3を横切る容器2Bの横断面で見たときの、蒸発部3に位置する溝部分の開口溝幅wや、図4(d)に示される凝縮部4を横切る容器2Bの横断面で見たときの、凝縮部4に位置する溝部分の開口溝幅wよりも狭いことが好ましい。より好ましくは、中間部5に位置する溝部分の開口部が閉じるように構成される。これにより、中間部5では、気相の作動流体F(g)と液相の作動流体F(L)の接触面積が小さくなる。そのため、これらの接触する部分における、気相の作動流体F(g)が液相の作動流体F(L)によって冷却されることによって生じていた液相への相変化を低減して、気相の作動流体F(g)の相変化による熱輸送性能の低下を抑えることができる。 The shape of the groove 6 is such that, when viewed in a cross section of the container 2B, the opening groove width w1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 is narrower than the opening groove width of other groove portions, or the opening groove width w1 is located in the intermediate portion 5. The opening of the groove portion is configured to close. More specifically, the opening groove width w 1 of the groove portion located in the intermediate portion 5 when viewed in a cross section of the container 2B that crosses the intermediate portion 5 as shown in FIG. 4(b) is The opening groove width w 2 of the groove portion located in the evaporation section 3 when viewed in the cross section of the container 2B that crosses the evaporation section 3 shown in (c), and the condensation section 4 shown in FIG. 4(d). It is preferable that the width is narrower than the opening groove width w3 of the groove portion located in the condensing part 4 when viewed in a cross section of the container 2B that it traverses. More preferably, the opening of the groove portion located in the intermediate portion 5 is configured to be closed. As a result, in the intermediate portion 5, the contact area between the gas-phase working fluid F(g) and the liquid-phase working fluid F(L) becomes small. Therefore, the phase change to the liquid phase that occurs when the gas phase working fluid F (g) is cooled by the liquid phase working fluid F (L) in these contacting parts is reduced, and the gas phase changes. It is possible to suppress a decrease in heat transport performance due to a phase change of the working fluid F(g).

溝6は、図4に記載されるように複数設けられていてもよい。このとき、溝6のうち少なくとも1本の内部を、液体の作動流体F(L)が流通していればよく、液体の作動流体F(L)が流通しない溝があってもよい。 A plurality of grooves 6 may be provided as shown in FIG. 4 . At this time, it is sufficient that the liquid working fluid F(L) flows through at least one of the grooves 6, and there may be a groove in which the liquid working fluid F(L) does not flow.

このような溝6を備えた熱輸送デバイス1Bを製造する方法としては、特に限定されず、例えば容器2Bの内周面2aに対して、レーザ加工、切削加工、押出成形加工、エッチング加工などを用いることができる。その中でも、より少ない工数で溝6を形成できる観点では、容器2の材料となる平板の一方の面にレーザ加工を施して溝6の原形を形成した後で、プレス成形を行って中間部5に位置する溝部分の開口溝幅wを狭くすることで溝6を形成する工程を有することが好ましい。平板に溝6を形成した後、平板を丸めて管状の容器2Bを形成し、管状の容器2Bのうち封入口となる部分(端部T3またはT4)を残して封止し、封入口から作動流体Fを注入する。作動流体Fを注入した後、容器2Bの内部を、加熱脱気、真空脱気などの脱気処理をして減圧状態にする。その後、封入口を封止することで熱輸送デバイス1Bを製造する。 The method for manufacturing the heat transport device 1B having such grooves 6 is not particularly limited. For example, the inner circumferential surface 2a of the container 2B may be subjected to laser processing, cutting, extrusion molding, etching, etc. Can be used. Among them, from the viewpoint of forming the grooves 6 with fewer man-hours, one surface of the flat plate that is the material of the container 2 is laser-processed to form the original shape of the grooves 6, and then press molding is performed to form the intermediate part 5. It is preferable to have a step of forming the groove 6 by narrowing the opening groove width w1 of the groove portion located at. After forming the groove 6 in the flat plate, the flat plate is rolled up to form a tubular container 2B, and the tubular container 2B is sealed leaving a portion (end T3 or T4) that will become the sealing port, and the operation is performed from the filling port. Inject fluid F. After injecting the working fluid F, the inside of the container 2B is subjected to a degassing process such as heating degassing or vacuum degassing to bring it into a reduced pressure state. Thereafter, the heat transport device 1B is manufactured by sealing the sealing port.

(ヒートパイプの動作原理)
次に、熱輸送デバイス1であるヒートパイプの熱輸送のメカニズムを、図4に示すヒートパイプを用いて以下で説明する。
(The working principle of heat pipes)
Next, the mechanism of heat transport in a heat pipe, which is the heat transport device 1, will be described below using the heat pipe shown in FIG.

まず、液相の作動流体F(L)が、容器2の内周面2aに長手方向に向かって延在する溝6に沿って、蒸発部3に供給される。 First, the liquid phase working fluid F (L) is supplied to the evaporation section 3 along the groove 6 extending in the longitudinal direction on the inner circumferential surface 2a of the container 2.

発熱体7が発熱して蒸発部3の温度が上昇すると、発熱体7の熱が容器2Bに伝達され、容器2Bのうち発熱体7の近傍にある蒸発部3に熱が伝達される。蒸発部3では、液相の作動流体F(L)が加熱されて温度が上昇して沸騰温度に到達し、液相の作動流体F(L)から気相の作動流体F(g)に相変化することで、気相の作動流体F(g)が内部空間Sに放出される。また、液相の作動流体F(L)から気相の作動流体F(g)への相変化によって、発熱体からの熱が蒸発潜熱として気相の作動流体F(g)に吸収される。 When the heating element 7 generates heat and the temperature of the evaporator 3 rises, the heat of the heating element 7 is transferred to the container 2B, and the heat is transferred to the evaporator 3 in the vicinity of the heating element 7 in the container 2B. In the evaporation section 3, the liquid-phase working fluid F(L) is heated and its temperature rises to reach boiling temperature, and the liquid-phase working fluid F(L) is converted into the gas-phase working fluid F(g). Due to this change, the gas phase working fluid F(g) is discharged into the internal space S. Furthermore, due to the phase change from the liquid-phase working fluid F(L) to the gas-phase working fluid F(g), heat from the heating element is absorbed into the gas-phase working fluid F(g) as latent heat of vaporization.

蒸発部3で熱を吸収した気相の作動流体F(g)は、容器2Bの内部空間Sを通って凝縮部4へ流れることで、発熱体7から受けた熱が、蒸発部3から中間部5を経て凝縮部4へと輸送される。このとき、蒸発部3から凝縮部4に輸送される気相の作動流体F(g)は、中間部5の溝6の開口が狭くなっていることで、中間部5を流れる液相の作動流体F(L)との接触面積が低減されるため、中間部5での気相の作動流体F(g)の凝縮を起こり難くして、より確実に凝縮部4まで熱を運ぶことができる。 The gas phase working fluid F(g) that has absorbed heat in the evaporator 3 flows through the internal space S of the container 2B to the condensing part 4, so that the heat received from the heating element 7 is transferred from the evaporator 3 to the intermediate It is transported to the condensing section 4 via the section 5. At this time, the gas-phase working fluid F(g) transported from the evaporating section 3 to the condensing section 4 is controlled by the liquid-phase working fluid flowing through the intermediate section 5 due to the narrow opening of the groove 6 in the intermediate section 5. Since the contact area with the fluid F(L) is reduced, condensation of the gas phase working fluid F(g) in the intermediate section 5 is made difficult to occur, and heat can be more reliably carried to the condensing section 4. .

その後、凝縮部4へ輸送された気相の作動流体F(g)は、凝縮部4で液相へ相変化させられる。このとき、輸送されてきた発熱体の熱は、凝縮潜熱としてヒートパイプの外部に放出される。他方で、凝縮部4で熱を放出して液相に相変化した液相の作動流体F(L)は、少なくとも1本の溝6に沿って、凝縮部4から中間部5を経て蒸発部3に流れることで、蒸発部3と凝縮部4の間の作動流体Fの循環流れを形成することができる。 The gas phase working fluid F(g) transported to the condenser 4 is then changed to liquid phase in the condenser 4. At this time, the heat of the transported heating element is released to the outside of the heat pipe as latent heat of condensation. On the other hand, the liquid phase working fluid F(L) that has released heat and changed to liquid phase in the condenser 4 flows along at least one groove 6 from the condenser 4 through the intermediate section 5 to the evaporator 3, thereby forming a circulating flow of working fluid F between the evaporator 3 and the condenser 4.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の概念および特許請求の範囲に含まれるあらゆる態様を含み、本発明の範囲内で種々に改変することができる。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and includes all aspects included in the concept of the present invention and the scope of the claims. It can be modified to .

1、1A、1B 熱輸送デバイス
2、2B 容器
2a 容器の内周面
21 伝熱部材
22 蓋体
3 蒸発部
4 凝縮部
5 中間部
6、6A 溝
7 発熱体
8 多孔質層
F 作動流体
F(L) 液相の作動流体
F(g) 気相の作動流体
S 内部空間
T 容器の端部
伝熱部材の端部
蓋体の端部
、T 管状容器の端部
1, 1A, 1B Heat transport device 2, 2B Container 2a Inner peripheral surface of container 21 Heat transfer member 22 Lid 3 Evaporation section 4 Condensation section 5 Intermediate section 6, 6A Groove 7 Heating element 8 Porous layer F Working fluid F( L) Working fluid in liquid phase F(g) Working fluid in gas phase S Internal space T End of container T 1 End of heat transfer member T 2 End of lid T 3 , T 4 End of tubular container

Claims (10)

容器の内部に作動流体を有しており、
前記作動流体を蒸発させる蒸発部と、
前記蒸発部から離隔した位置に配設され、前記作動流体を凝縮させる凝縮部と、
前記蒸発部と前記凝縮部との間に配設される中間部と
を設けてなる熱輸送デバイスにおいて、
前記容器は、内周面に、前記凝縮部から前記中間部を経て前記蒸発部まで連続して延在する少なくとも1本の溝を備え、
前記溝は、
前記中間部に位置する溝の開口溝幅が、前記蒸発部もしくは前記凝縮部に位置する溝の開口溝幅より狭いか、または前記中間部に位置する溝の開口部が閉じており
前記凝縮部、前記中間部および前記蒸発部における底部が等しい幅を有し、かつ、
前記蒸発部と前記凝縮部に位置する溝部分の幅は、溝深さ方向の全体において等しい、熱輸送デバイス。
It has a working fluid inside the container,
an evaporation section that evaporates the working fluid;
a condensing section that is arranged at a position separated from the evaporating section and condenses the working fluid;
A heat transport device comprising an intermediate section disposed between the evaporation section and the condensation section,
The container includes at least one groove on an inner circumferential surface that continuously extends from the condensing section to the evaporating section via the intermediate section,
The groove is
The opening groove width of the groove located in the intermediate part is narrower than the opening groove width of the groove located in the evaporating part or the condensing part, or the opening part of the groove located in the intermediate part is closed ,
The condensation section, the intermediate section and the bottom of the evaporation section have equal widths, and
The width of the groove portions located in the evaporation section and the condensation section is equal throughout the groove depth direction .
前記中間部に位置する溝部分の開口位置で測定したときの開口溝幅は、0μm以上300μm以下の範囲である、請求項1に記載の熱輸送デバイス。 The heat transport device according to claim 1, wherein the opening groove width when measured at the opening position of the groove portion located in the intermediate portion is in a range of 0 μm or more and 300 μm or less. 前記中間部に位置する溝部分の幅は、前記開口位置から溝深さ方向に向かって広がるように構成される、請求項1または2に記載の熱輸送デバイス。 The heat transport device according to claim 1 or 2, wherein the width of the groove portion located in the intermediate portion is configured to increase from the opening position toward the groove depth direction. 前記凝縮部から前記中間部を経て前記蒸発部まで連続して延在する溝部分の溝深さは、100μm以上2000μm以下の範囲である、請求項1から3のいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。 The heat exchanger according to any one of claims 1 to 3, wherein the groove depth of the groove portion that continuously extends from the condensation section to the evaporation section via the intermediate section is in the range of 100 μm or more and 2000 μm or less. transportation device. 前記中間部に位置する溝部分は、前記容器の横断面で見て、開口溝幅に対する溝深さの比が0.5以上50以下の範囲である、請求項1から4のいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。 The heat transport device according to any one of claims 1 to 4, wherein the groove portion located in the middle portion has a ratio of groove depth to opening groove width in the range of 0.5 to 50 when viewed in cross section of the container. 前記溝は、前記蒸発部に位置する溝部分の内面に、多孔質層が形成されている、請求項1から5までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。 The heat transport device according to any one of claims 1 to 5, wherein the groove has a porous layer formed on an inner surface of the groove portion located in the evaporation section. 前記少なくとも1本の溝は、複数本の溝であり、前記複数本の溝は、前記容器の表面に、互いに間隔をおいて平行に並列配置され、前記間隔は、200μm以上1000μm以下の範囲である、請求項1から6までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。 The at least one groove is a plurality of grooves, and the plurality of grooves are arranged parallel to each other at intervals on the surface of the container, and the intervals are in the range of 200 μm or more and 1000 μm or less. 7. A heat transport device according to any one of claims 1 to 6. 前記容器は、銅、銅合金、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、ニッケル合金、鉄合金、チタンまたはチタン合金からなる、請求項1から7までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。 The heat transport device according to any one of claims 1 to 7, wherein the container is made of copper, a copper alloy, aluminum, an aluminum alloy, nickel, a nickel alloy, an iron alloy, titanium, or a titanium alloy. 前記容器は、端部で密封されている2枚の金属シートによって内部空間が構成され、
ベーパーチャンバとして用いられる、請求項1から8までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
The container has an interior space defined by two metal sheets sealed at the ends;
The heat transport device according to any one of claims 1 to 8, which is used as a vapor chamber.
前記容器は、端部で密封されている管状容器によって内部空間が構成され、
ヒートパイプとして用いられる、請求項1から8までのいずれか1項に記載の熱輸送デバイス。
The inner space of the container is constituted by a tubular container that is sealed at the end,
Heat transport device according to any one of claims 1 to 8, used as a heat pipe.
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