JP7338205B2

JP7338205B2 - 液体吐出ヘッド

Info

Publication number: JP7338205B2
Application number: JP2019069634A
Authority: JP
Inventors: 利裕岸上; 章太郎神▲崎▼
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2019-04-01
Filing date: 2019-04-01
Publication date: 2023-09-05
Anticipated expiration: 2039-04-01
Also published as: JP2020168748A; US20200307201A1; US11267244B2

Description

本発明は、吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

吐出口から液体を吐出する液体吐出ヘッドの一例として、特許文献１には、ノズルからインクを吐出するインク吐出ヘッドが記載されている。特許文献１のインク吐出ヘッドは、複数のノズルにそれぞれ通じる複数の個別液室（個別流路）と、複数の個別液室にインクを供給する共通液室（供給マニホールド）と、複数の個別液室からのインクが流れ込む循環共通液室（循環マニホールド）と、を備えている。また、共通液室の個別液室側の端部には、フィルターが配置されている。特許文献１のインク吐出ヘッドでは、個別液室を介して共通液室から循環共通液室にインクを送り、ヘッド内のインクを循環させることで、インクに含まれる粒子の沈降等の不具合を防止することができる。

特開２０１８－１０３６１６号公報

特許文献１のように、個別流路を介してヘッド内の液体を循環させる構成とした場合、個別流路の流路抵抗が比較的高いことにより、液体の循環流量が少なくなる。したがって、粒子の沈降等の不具合を十分に防ぐことができない。よって、液体の循環流量を十分に確保する観点から、帰還マニホールドに液体を送る帰還流路を供給マニホールド内に設け、個別流路を介さずにヘッド内の液体を循環させる構成とすることが考えられる。

しかしながら、供給マニホールドに設けられたフィルターよりも上流側に帰還流路を設けた場合には、液体に含まれる異物がフィルターで除去される前に帰還流路に流れ込むことになる。したがって、帰還流路内に異物が付着したり残留したりすることにより、帰還流路の流路抵抗が高くなり、液体の循環流量が不十分となる虞がある。

本発明の目的は、液体の循環流量を十分に確保できる液体吐出ヘッドを提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備えている。

本発明では、第１マニホールドと第２マニホールドとを連通するバイパス流路を、複数の個別流路とフィルターとの間に配置することで、比較的流路抵抗が高い個別流路を介することなく液体を循環させることができる。また、フィルターで異物が除去された後の液体がバイパス流路に流れ込む。つまり、異物が除去された液体が循環するので、液体が循環する流路に異物が付着したり残留したりすることで、流路の抵抗が高くなるのを抑制することができる。したがって、液体の循環流量を十分に確保できる。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを備えたプリンタの平面図である。図１に示すインクジェットヘッドの平面図である。図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。（ａ）～（ｅ）は流路部材を構成する５枚のプレートの平面図をそれぞれ示す。図２のＶ－Ｖ線に沿ったと流路部材の部分断面図である。第１変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。図６に示す流路部材を構成するプレートの平面図である。第２変形例に係るインクジェットヘッドの断面図である。第３変形例に係るインクジェットヘッドの平面図である。第４変形例に係るインクジェットヘッドの平面図である。

以下、本発明の好適な一実施形態について説明する。

＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、本実施形態にかかるプリンタ１は、キャリッジ２、ガイドレール１１、１２、インクジェットヘッド３（本発明の「液体吐出ヘッド」）、プラテン４、搬送ローラ５、６、インクタンク９０、及びポンプ９１～９４を備えている。

キャリッジ２は、走査方向（図１中左右方向）に延びた２本のガイドレール１１、１２に支持され、ガイドレール１１、１２に沿って走査方向に移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド３には、ポンプ９１、９２により、インクを貯留するインクタンク９０から図示しない管を介してインクが供給される。また、インクジェットヘッド３に供給されたインクの一部は、ポンプ９３、９４により、インクタンク９０に戻る。そして、インクジェットヘッド３は、その下面に形成された複数の吐出口４７からインクを吐出する。なお、インクジェットヘッド３については後ほど詳細に説明する。

プラテン４は、インクジェットヘッド３の下面と対向して配置され、走査方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びている。プラテン４は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５、６は、それぞれ、走査方向と直交する搬送方向（図２中下方から上方に向かう方向）において、キャリッジ２よりも上流側及び下流側に配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

プリンタ１では、搬送ローラ５、６によって、記録用紙Ｐを搬送方向に所定距離ずつ搬送させる搬送処理と、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、インクジェットヘッド３の複数の吐出口４７からインクを吐出させる走査処理とを交互に行うことで、記録用紙Ｐに印刷を行う。すなわち、プリンタ１は、シリアル式である。なお、以下の説明においては、走査方向と搬送方向との両方に直交する方向を上下方向とする。

＜インクジェットヘッド３＞
次に、図２、３を参照しつつ、インクジェットヘッド３の詳細な構成について説明する。図２に示すように、インクジェットヘッド３は、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。インクジェットヘッド３は、図３に示すように、流路部材２１、振動板２２、第１マニホールド部材２３、第２マニホールド部材２４、及び圧電素子２５を構成する共通電極５１、圧電体５２、個別電極５３などを備えている。

インクジェットヘッド３には、図２及び図３に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂ、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂ、複数の個別流路４９、複数のダミー流路４９Ｘ、バイパス流路４８、連通流路４４、４６、供給ポート６１、６２、帰還ポート６３、６４、などが設けられている。以下の説明において、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂを区別しない場合には、「供給マニホールド４１」とする。また、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂを区別しない場合には、「帰還マニホールド４２」とする。

図２に示すように、２つの帰還マニホールド４２ａ、４２ｂは、いずれも搬送方向に延在しており、流路部材２１における走査方向の両端部にそれぞれ位置している。帰還マニホールド４２ａは、流路部材２１における走査方向の一方側（図２中上側）に位置している。帰還マニホールド４２ｂは、流路部材２１における走査方向の他方側（図２中下側）に位置している。

図２に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂは、いずれも搬送方向に延在しており、流路部材２１における走査方向の両端部にそれぞれ位置している。供給マニホールド４１の搬送方向に沿う長さは、帰還マニホールド４２の搬送方向に沿う長さよりも短い。

流路部材２１における走査方向の一方側（図２中上側）に位置する供給マニホールド４１ａ及び帰還マニホールド４２ａは、上面視で搬送方向の下流側（図２中右側）の端部の位置は同じである。帰還マニホールド４２ａは、供給マニホールド４１ａよりも搬送方向の上流側（図２中左側）まで延びている。流路部材２１における走査方向の他方側（図２中下側）に位置する供給マニホールド４１ｂ及び帰還マニホールド４２ｂは、上面視で搬送方向の上流側（図２中左側）の端部の位置は同じである。帰還マニホールド４２ｂは、供給マニホールド４１ｂよりも搬送方向の下流側（図２中右側）まで延びている。

図３に示すように、２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂの搬送方向に直交する面における断面形状は、いずれもその上端が走査方向に関する外側に曲がった鉤形状である。供給マニホールド４１ａは、帰還マニホールド４２ａの走査方向に関する他方（図３中右方）及び上方に跨って配置されている。供給マニホールド４１ｂは、帰還マニホールド４２ｂの走査方向に関する一方（図３中左方）及び上方に跨って配置されている。供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とは、バイパス流路４８によって複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘを通らずに連通されている。

複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘは、上面視で供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２と重複しない位置に配置されている。複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘの走査方向の外側（図２中上方及び下方）に供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２が配置されている。各個別流路４９は、圧力室４３、ディセンダ４５、及び吐出口４７をそれぞれ有している。各ダミー流路４９Ｘは、個別流路４９と同じ構造を有しており、圧力室４３Ｘ、ディセンダ４５Ｘ、及び吐出口４７Ｘをそれぞれ有している。なお、ダミー流路４９Ｘの吐出口４７Ｘからは、インクの吐出は行われない。

図２に示すように、複数の個別流路４９に対応する複数の圧力室４３及び複数のダミー流路４９Ｘに対応する複数の圧力室４３Ｘは、搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列されている。つまり、搬送方向に等間隔で配列された複数の圧力室４３、４３Ｘで構成された２つの圧力室列４３ａ、４３ｂが、走査方向に並んで配置されている。

ダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘは、各圧力室列４３ａ、４３ｂに２つずつ含まれている。図２に示すように、走査方向の一方側（図２中上側）に位置する圧力室列４３ａに属する２つの圧力室４３Ｘは、搬送方向の上流側（図２中左側）の端部に配置されている。走査方向の他方側（図２中下側）に位置する圧力室列４３ｂに属する２つの圧力室４３Ｘは、搬送方向の下流側（図２中右側）の端部に配置されている。

ここで、各圧力室列４３ａ、４３ｂの端部にそれぞれ配置された２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘのうち、個別流路４９と隣り合わない（すなわち、各圧力室列４３ａ、４３ｂの端に位置する圧力室４３Ｘに対応する）ダミー流路４９Ｘの流路抵抗は、個別流路４９と隣り合うダミー流路４９Ｘの流路抵抗よりも小さい。

さらに、図２に示すように、供給マニホールド４１ａと帰還マニホールド４２ａとを連通させるバイパス流路４８の搬送方向に関する位置は、上面視で圧力室列４３ａの搬送方向の上流側（図２中左側）に位置する２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘの間である。供給マニホールド４１ｂと帰還マニホールド４２ｂとを連通させるバイパス流路４８の搬送方向に関する位置は、上面視で圧力室列４３ｂの搬送方向の下流側（図２中右側）に位置する２つの圧力室４３Ｘに対応する２つのダミー流路４９Ｘの間である。

圧力室列４３ａに属する各圧力室４３、４３Ｘは、連通流路４４（本発明の「第２連通流路」、「第１絞り」）を介して供給マニホールド４１ａにそれぞれ連通している。すなわち、供給マニホールド４１ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４４は、圧力室列４３ａに属する圧力室４３、４３Ｘ毎に設けられており、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する一方側（図２中上側）の端部に繋がっている。つまり、かかる連通流路４４は、複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘのそれぞれと供給マニホールド４１ａとを繋ぐ。

圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘは、連通流路４４（本発明の「第２連通流路」、「第１絞り」）を介して供給マニホールド４１ｂにそれぞれ連通している。すなわち、供給マニホールド４１ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４４は、圧力室列４３ｂに属する圧力室４３、４３Ｘ毎に設けられており、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する他方側（図２中下側）の端部に繋がっている。つまり、かかる連通流路４４は、複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘのそれぞれと供給マニホールド４１ｂとを繋ぐ。

ディセンダ４５、４５Ｘは、図３に示すように、上下方向に関して圧力室４３、４３Ｘと吐出口４７、４７Ｘとの間に配置されている。ディセンダ４５、４５Ｘは、圧力室４３、４３Ｘの走査方向に関する連通流路４４が繋がっている側とは反対側の端部に繋がっている。すなわち、圧力室列４３aに属する圧力室４３、４３Ｘについては、走査方向の他方側（図２中下側）の端部にディセンダ４５、４５Ｘが繋がっている。圧力室列４３ｂに属する圧力室４３、４３Ｘについては、走査方向の一方側（図２中上側）の端部にディセンダ４５、４５Ｘが繋がっている。

図３に示すように、圧力室列４３aに属する各圧力室４３、４３Ｘに連通する複数のディセンダ４５、４５Ｘは、連通流路４６（本発明の「第１連通流路」、「第２絞り」）を介して帰還マニホールド４２ａとそれぞれ連通している。すなわち、帰還マニホールド４２ａは、圧力室列４３ａに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４６は、圧力室列４３ａに属する各圧力室４３、４３Ｘ連通するディセンダ４５、４５Ｘ毎に設けられている。つまり、かかる連通流路４６は、複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘのそれぞれと帰還マニホールド４２ａとを繋ぐ。

同様に、圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘに連通する複数のディセンダ４５、４５Ｘについても、連通流路４６（本発明の「第１連通流路」、「第２絞り」）を介して帰還マニホールド４２ｂとそれぞれ連通している。すなわち、帰還マニホールド４２ｂは、圧力室列４３ｂに属する複数の圧力室４３、４３Ｘに共通して設けられている。かかる連通流路４６は、圧力室列４３ｂに属する各圧力室４３、４３Ｘ連通するディセンダ４５、４５Ｘ毎に設けられている。つまり、かかる連通流路４６は、複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘのそれぞれと帰還マニホールド４２ｂとを繋ぐ。

ここで、図４をさらに参照しつつ、流路部材２１の構成について説明する。図３に示すように、流路部材２１は、プレート３１～３５の５枚のプレートが、下方からこの順で積層されることで形成されている。プレート３１～３５の外形形状はいずれも同じであり、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。

図４（ａ）に示すように、プレート３１は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３１ａを有している。かかる貫通孔３１ａのプレート３１の下面における開口が、吐出口４７、４７Ｘに対応する。つまり、プレート３１は、吐出口４７、４７Ｘを有する。

図４（ｂ）に示すように、プレート３２は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３２ａを有している。貫通孔３２ａは、プレート３１に形成された貫通孔３１ａと対向する領域を含む領域に位置しており、吐出口４７、４７Ｘに連通するディセンダ４５、４５Ｘの一部を構成する。また、プレート３２は、走査方向に関して複数の貫通孔３２ａの両側にそれぞれ位置しており、搬送方向に延びる貫通孔３２ｂを有している。貫通孔３２ｂは、帰還マニホールド４２の一部を構成する。さらに、プレート３２は、各貫通孔３２ａから走査方向の外側（図４（ｂ）中上側又は下側）に向かって貫通孔３２ｂまで延びる貫通孔３２ｃを有している。貫通孔３２ｃは、連通流路４６を構成する。つまり、プレート３２は、吐出口４７、４７Ｘに連通するディセンダ４５、４５Ｘの一部と、帰還マニホールド４２の一部と、ディセンダ４５、４５Ｘの一部と帰還マニホールド４２の一部とを連通する連通流路４６とを有する。

図４（ｃ）に示すように、プレート３３は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３３ａを有している。貫通孔３３ａは、プレート３２に形成された貫通孔３２ａと対向する領域に位置しており、ディセンダ４５、４５Ｘの一部を構成する。また、プレート３３は、走査方向の両端部にそれぞれ位置しており、搬送方向に延びる貫通孔３３ｂを有している。貫通孔３３ｂは、プレート３２に形成された貫通孔３２ｂの一部と対向する領域に位置しており、帰還マニホールド４２の一部を構成する。さらに、プレート３３における走査方向に関して貫通孔３３ａと貫通孔３３ｂとの間の部分は、連通流路４６の上面（上下方向と直交する面）を形成する壁部３３ｃ（本発明の「第１壁部」）を構成する。すなわち、プレート３３は、ディセンダ４５、４５Ｘの一部と、帰還マニホールド４２の一部と、連通流路４６の上面を形成する壁部３３ｃとを有している。

図４（ｄ）に示すように、プレート３４は、プレート３３が有する２列の千鳥状に配列された各貫通孔３３ａと対向する領域から走査方向の外側（図４（ｄ）中上側又は下側）にそれぞれ延びる複数の貫通孔３４ａを有している。貫通孔３４ａは、ディセンダ４５、４５Ｘと連通する圧力室４３、４３Ｘの一部を構成する。また、プレート３４は、走査方向に関して貫通孔３４ａの両側にそれぞれ位置しており、搬送方向に延びる貫通孔３４ｂを有している。貫通孔３４ｂは、供給マニホールド４１の一部を構成する。さらに、プレート３４は、走査方向の両端部にそれぞれ位置する貫通孔３４ｃを有している。貫通孔３４ｃは、貫通孔３４ａと共に走査方向に関して貫通孔３４ｂを挟んでいる。貫通孔３４ｃは、プレート３３に形成された貫通孔３３ｂと対向する領域に位置しており、帰還マニホールド４２の一部を構成する。

加えて、プレート３４は、各貫通孔３４ａから走査方向の外側（図４（ｄ）中上側又は下側）に向かって貫通孔３４ｂまで延びる貫通孔３４ｄを有している。つまり、搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３４ａのうち、走査方向の一方側（図４（ｄ）中上側）に位置する貫通孔３４ａからは、貫通孔３４ｄが走査方向の一方側に向かって延びている。同様に、走査方向の他方側（図４（ｄ）中下側）に位置する貫通孔３４ａからは、貫通孔３４ｄが走査方向の他方側に向かって延びている。貫通孔３４ｄは、連通流路４４を構成する。

さらに、プレート３４は、走査方向の両側にそれぞれ位置する貫通孔３４ｂと貫通孔３４ｃとを繋ぐ貫通孔３４ｅを有している。走査方向の一方側（図４（ｄ）中上側）に位置する貫通孔３４ｂ及び貫通孔３４ｃは、貫通孔３４ｅによって、搬送方向の上流側（図４（ｄ）中左側）の端部同士が繋がれている。走査方向の他方側（図４（ｄ）中下側）に位置する貫通孔３４ｂ及び貫通孔３４ｃは、貫通孔３４ｅによって、搬送方向の下流側（図４（ｄ）中右側）の端部同士が繋がれている。貫通孔３４ｅは、バイパス流路４８を構成する。バイパス流路４８は、走査方向に延びる。なお、流路部材２１の走査方向と直交する面における部分断面図である図５に示すように、バイパス流路４８のインクの流動方向（走査方向）と直交する面における断面の形状は矩形である。

すなわち、プレート３４は、ディセンダ４５、４５Ｘと連通する圧力室４３、４３Ｘの一部と、供給マニホールド４１の一部と、帰還マニホールド４２の一部と、圧力室４３、４３Ｘの一部と供給マニホールド４１の一部とを連通する連通流路４４と、バイパス流路４８を有する。

図４（ｅ）に示すように、プレート３５は、走査方向の中央部において搬送方向に沿って２列の千鳥状に配列された複数の貫通孔３５ａを有している。貫通孔３５ａは、プレート３４に形成された貫通孔３４ａと対向する領域に位置しており、圧力室４３、４３Ｘの一部を構成する。また、プレート３５は、走査方向に関して貫通孔３５ａの両側にそれぞれ位置しており、搬送方向に延びる貫通孔３５ｂを有している。貫通孔３５ｂは、プレート３４に形成された貫通孔３４ｂと対向する領域に位置しており、供給マニホールド４１の一部を構成する。さらに、プレート３４は、走査方向の両端部にそれぞれ位置する貫通孔３５ｃを有している。貫通孔３５ｃは、貫通孔３５ａと共に走査方向に関して貫通孔３５ｂを挟んでいる。貫通孔３５ｃは、プレート３４に形成された貫通孔３４ｃと対向する領域に位置しており、帰還マニホールド４２の一部を構成する。

さらに、プレート３５における走査方向に関して貫通孔３５ａと貫通孔３５ｂとの間の部分は、連通流路４４の上面（上下方向と直交する面）を形成する壁部３５ｄ（本発明の「第２壁部」）を構成する。すなわち、プレート３５は、圧力室４３、４３Ｘの一部と、連通流路４４の上面を形成する壁部３５ｄと、供給マニホールド４１の一部と、帰還マニホールド４２の一部とを有する。

流路部材２１内には、圧力室４３、４３Ｘがプレート３４、３５に亘って形成されており、ディセンダ４５、４５Ｘは、プレート３２、３３に亘って形成されている。さらに、供給マニホールド４１の一部がプレート３４、３５に亘って形成されており、帰還マニホールド４２の一部がプレート３２～３５に亘って形成されている。バイパス流路４８は、プレート３４に形成されている。

振動板２２（本発明の「フィルター部材」）は、上面視でプレート３１～３５と同じ外形形状を有しており、流路部材２１の上面、すなわちプレート３５の上面に積層されている。図３に示すように、振動板２２は、プレート３５が有する供給マニホールド４１の一部を構成する２つの貫通孔３５ｂと対向する領域にそれぞれ設けられた２つのフィルター２２ａを有する。また、振動板２２は、帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔２２ｂを有する。貫通孔２２ｂは、プレート３５が有する帰還マニホールド４２の一部を構成する２つの貫通孔３５ｃと対向する領域にそれぞれ配置されている。

図３に示すように、バイパス流路４８は、供給マニホールド４１内において複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘとフィルター２２ａとの間に配置されている。ここで、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘとフィルター２２ａとの間の流路を流路７０とする。また、流路７０の底面を画定する面を第１面７１、流路７０の走査方向に関して外側（帰還マニホールド４２側）の側面を画定する面を第２面７２とする。第１面７１は、プレート３３の上面である。第２面７２は、プレート３４、３５に形成された供給マニホールド４１の一部を構成する貫通孔３４ｂ（図４（ｄ）参照）、貫通孔３５ｂ（図４（ｅ）参照）の側面であり、走査方向に直交する面である。

流路７０には、その底部における走査方向の外側（帰還マニホールド４２側）端部に、第１面７１と第２面７２とが交わる角部が形成されている。バイパス流路４８は、かかる角部に配置されている。より詳細には、バイパス流路４８は、第２面７２の下端部に開口している。また、バイパス流路４８の底面は、第１面７１と同じプレート３３の上面である。すなわち、バイパス流路４８の底面は、流路７０の底面と同じ高さにある。

振動板２２の上面における複数の圧力室４３と対向する領域には、下方から順に積層された共通電極５１、圧電体５２、及び個別電極５３が配置されている。共通電極５１及び圧電体５２は、圧力室列４３a、４３ｂ毎に設けられており、各圧力室列４３ａ、４３ｂに属する複数の圧力室４３に跨って設けられている。個別電極５３は、圧力室４３毎に設けられており、上面視で各圧力室４３と重複している。１つの個別電極５３と共通電極５１及び圧電体５２における該個別電極５３と対向する部分とが、１つの圧電素子２５を構成する。すなわち、振動板２２の上面には、圧力室４３毎に圧電素子２５が配置されている。なお、図２に示すように、上面視でダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘと重複する領域には、圧電素子２５は配置されていない。

複数の個別電極５３は、図示しない配線部材を介して図示しないドライバＩＣに接続されている。ドライバＩＣは、共通電極５１の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極５３の電位を変化させる。これにより、振動板２２及び圧電体５２において個別電極５３と圧力室４３とで挟まれた部分が、圧力室４３側に凸となるように変形する。この変形によって、圧力室４３の容積が小さくなって圧力室４３内のインクの圧力が上昇し、圧力室４３に連通する吐出口４７からインクが吐出される。

図３に示すように、振動板２２の上面における圧電素子２５とは異なる位置には、第１マニホールド部材２３が積層されている。さらに、第１マニホールド部材２３の上面には、第２マニホールド部材２４が積層されている。第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４は、上面視でプレート３１～３５及び振動板２２と同じ外形形状を有している。第１マニホールド部材２３及び第２マニホールド部材２４は、圧電素子２５を露出する開口２３ａ、２４ａをそれぞれ有している。

第１マニホールド部材２３は、上下方向に貫通する貫通孔２３ｂと、下方に開口する溝２３ｃとを有する。図３に示すように、貫通孔２３ｂ及び溝２３ｃは、第１マニホールド部材２３において圧電素子２５の配置空間を挟んで走査方向の両側に配置された部分にそれぞれ設けられている。貫通孔２３ｂは、走査方向に関して溝２３ｃよりも圧電素子２５側に配置されている。

貫通孔２３ｂは、供給マニホールド４１の一部を構成するものであり、振動板２２に設けられた２つのフィルター２２ａと対向する領域にそれぞれ設けられている。溝２３ｃは、帰還マニホールド４２の一部を構成するものであり、振動板２２に設けられた２つの貫通孔２２ｂと対向する領域にそれぞれ設けられている。

第２マニホールド部材２４は、下方に開口する溝２４ｂを有する。図３に示すように、溝２４ｂは、第２マニホールド部材２４において圧電素子２５の配置空間を挟んで走査方向の両側に配置された部分にそれぞれ設けられている。２つの溝２４ｂは、第１マニホールド部材２３における走査方向の両側にそれぞれ配置された貫通孔２３ｂ及び溝２３ｃの上方に配置されている。より詳細には、溝２４ｂは、貫通孔２３ｂと対向する領域と溝２３ｃに対向する領域とに跨って設けられている。

すなわち、供給マニホールド４１は、流路部材２１のプレート３４から第２マニホールド部材２４に亘って形成されている。そして、振動板２２に設けられたフィルター２２ａは、供給マニホールド４１内に配置される。供給マニホールド４１内のインクは上方から下方に向かってフィルター２２ａを通過する。また、帰還マニホールド４２は、流路部材２１のプレート３２から第１マニホールド部材２３に亘って形成されている。

図２に示すように、第２マニホールド部材２４の上壁における供給マニホールド４１ａの搬送方向の下流側（図２中右側）端部と対向する部分には、供給ポート６１が形成されている。また、第２マニホールド部材２４の上壁における供給マニホールド４１ｂの搬送方向の上流側（図２中左側）端部と対向する部分には、供給ポート６２が形成されている。供給マニホールド４１ａ、４１ｂは、供給ポート６１、６２に取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と供給ポート６１、６２との間の流路の途中には、インクタンク９０内のインクを供給ポート６１、６２に向けて送るポンプ９１、９２がそれぞれ設けられている。

第２マニホールド部材２４の上壁における帰還マニホールド４２ａの搬送方向の上流側（図２中左側）端部と対向する部分には、帰還ポート６３が形成されている。また、第２マニホールド部材２４の上壁における帰還マニホールド４２ｂの搬送方向の下流側（図２中右側）端部と対向する部分には、帰還ポート６４が形成されている。帰還マニホールド４２ａ、４２ｂは、帰還ポート６３、６４に取り付けられた管（図示せず）を介して、インクタンク９０とそれぞれ連通している。インクタンク９０と帰還ポート６３、６４との間の流路の途中には、帰還ポート６３、６４からのインクをインクタンク９０に送るポンプ９３、９４がそれぞれ設けられている。

ここで、インクジェットヘッド３にインクを初期導入する場合について説明する。まず、ポンプ９１、９２を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６１、６２を介して２つの供給マニホールド４１ａ、４１ｂにそれぞれ流入する。搬送方向の下流側（図２中右側）の端部に供給ポート６１が位置する供給マニホールド４１ａにおいては、供給ポート６１から流入したインクが搬送方向の下流側から上流側（図２中右側から左側）に向けて流れる。そして、連通流路４４を介して搬送方向の下流側に位置する個別流路４９から順にインクが流入する。また、個別流路４９よりも搬送方向の上流側に位置するダミー流路４９Ｘにも連通流路４４を介してインクが流入する。

搬送方向の上流側（図２中左側）の端部に供給ポート６２が位置する供給マニホールド４１ｂにおいても同様に、搬送方向の上流側に位置する個別流路４９から順にインクが流入する。そして、個別流路４９よりも搬送方向の下流側に位置するダミー流路４９Ｘにもインクが流入する。

インクを初期導入する際、搬送方向に関して供給ポート６１、６２から最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に位置する２つのダミー流路４９Ｘにまでインクが流入する。ここで、２つのダミー流路４９Ｘのうち、バイパス流路４８に関して個別流路４９とは反対側に位置するダミー流路４９Ｘの流路抵抗は、バイパス流路４８に関して個別流路４９と同じ側に位置するダミー流路４９Ｘの流路抵抗よりも小さい。したがって、バイパス流路４８に関して個別流路４９とは反対側に位置するダミー流路４９Ｘにまで、確実にインクを導入することができる。よって、インク導入時の廃液を減らすことができる。

次に、インクジェットヘッド３とインクタンク９０との間でのインクの循環について説明する。まず、ポンプ９１を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６１を介して供給マニホールド４１ａに流入し、ポンプ９２を駆動することで、インクタンク９０に貯留されたインクが供給ポート６２を介して供給マニホールド４１ｂに流入する。供給マニホールド４１ａ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、複数の連通流路４４を介して対応する個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給され、供給マニホールド４１ｂ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、複数の連通流路４４を介して対応する個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給される。個別流路４９及びダミー流路４９Ｘに供給されたインクの一部は、ディセンダ４５、４５Ｘに連通する連通流路４６を介して帰還マニホールド４２ａ又は帰還マニホールド４２ｂに流入する。

また、供給マニホールド４１ａ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、バイパス流路４８を介して帰還マニホールド４２ａに流入し、供給マニホールド４１ｂ内に貯留されたインクの一部は、フィルター２２ａを通過した後に、バイパス流路４８を介して帰還マニホールド４２ｂに流入する。ポンプ９３を駆動することで、帰還マニホールド４２ａ内のインクは、帰還ポート６３を介してインクタンク９０に戻り、ポンプ９４を駆動することで、帰還マニホールド４２ｂ内のインクは、帰還ポート６４を介してインクタンク９０に戻る。

ここで、バイパス流路４８の抵抗Ｒｂは、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間の流路７０から複数の連通流路４４を介して複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘの各吐出口４７、４７Ｘに至る複数の流路の合成抵抗Ｒａよりも小さい。

また、連通流路４４及び連通流路４６のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面積は、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する。

ここで、供給用のポンプ９１、９２から供給マニホールド４１を挟み、個別流路４９又はダミー流路４９Ｘまでの流路抵抗をＲｉ、個別流路４９又はダミー流路４９Ｘから帰還マニホールド４２を挟み、帰還用のポンプ９３、９４までの流路抵抗をＲｏ、個別流路４９、ダミー流路４９Ｘの流路抵抗をＲｃとする。さらに、供給用のポンプ９１、９２の圧力をＰｉ（≧０）、帰還用のポンプ９３、９４の圧力をＰｏ（≦０）とする。このとき、以下の式１を満たすように、連通流路４４及び連通流路４６の断面積の大きさ及長さを設計する。
２（ＲｏＰｉ＋ＲｉＰｏ）＋Ｒｃ（Ｐｉ＋Ｐｏ）≦０・・・（式１）

また、吐出口４７、４７Ｘのメニスカスが破壊される時の個別流路４９、ダミー流路４９Ｘ内の平均圧力をＰｍ（≦０）としたとき、連通流路４４及び連通流路４６の断面積の大きさ及び長さは、上記の式１に加えて、以下の式２も満たすように設計する。
｛２（ＲｏＰｉ＋ＲｉＰｏ）＋Ｒｃ（Ｐｉ＋Ｐｏ）｝／（Ｒｉ＋Ｒｃ＋Ｒｏ）≧Ｐｍ・・・（式２）

[第１実施形態の特徴]
以上のように、上述の実施形態のインクジェットヘッド３は、複数の吐出口４７をそれぞれ有する複数の個別流路４９と、複数の個別流路４９に共通して設けられた供給マニホールド４１と、供給マニホールド４１内に配置されたフィルター２２ａと、複数の個別流路４９に共通して設けられた帰還マニホールド４２と、供給マニホールド４１内において複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間の流路７０に配置されており、複数の個別流路４９を通らずに供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通するバイパス流路４８とを備えている。このように、供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通するバイパス流路４８を、複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間に配置することで、比較的流路抵抗が高い個別流路４９を介することなくインクを循環させることができる。また、フィルター２２ａで異物が除去された後のインクがバイパス流路４８に流れ込む。つまり、異物が除去されたインクが循環するので、インクを循環させる流路に異物が付着したり残留したりすることで、抵抗が高くなるのを抑制することができる。したがって、インクの循環流量を十分に確保できる。

さらに、本実施形態においては、バイパス流路４８の抵抗Ｒｂは、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間の流路７０から複数の連通流路４４を介して複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘの各吐出口４７、４７Ｘに至る複数の流路の合成抵抗Ｒａよりも小さい。したがって、複数の個別流路４９及び複数のダミー流路４９Ｘを介してインクを循環させる場合に比べて、バイパス流路４８を介したインクの循環流量を確実に増やすことができる。

また、本実施形態においては、バイパス流路４８のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の形状は矩形である。したがって、バイパス流路４８の断面形状が円形である場合に比べて、バイパス流路４８の減衰係数が大きくなるので、帰還マニホールド４２内の共振を十分に低減することができる。よって、共振の影響により、吐出口４７からのインクの吐出特性が低下するのを防ぐことができる。

加えて、本実施形態においては、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘとフィルター２２ａとの間の流路７０は、第１面７１及び第１面７１と交わる第２面７２で画定されており、バイパス流路４８は、第１面７１と第２面７２とが交わる角部に配置されている。したがって、インクがよどみやすい角部にバイパス流路４８を設けることで、インクのよどみを抑制することができる。

さらに、本実施形態においては、複数の個別流路４９のそれぞれと供給マニホールド４１とを繋ぐ連通流路４４と、複数の個別流路４９のそれぞれと帰還マニホールド４２とを繋ぐ連通流路４６との、インクの流動方向と直交する面における断面の面積は、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する。したがって、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内を負圧にすることで、吐出口４７、４７Ｘからインクが漏れるのを防ぐことができる。

加えて、本実施形態においては、供給マニホールド４１に液体を供給する供給ポート６１、６２から、搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に２つのダミー流路４９Ｘが配置されている。バイパス流路４８は、２つのダミー流路４９Ｘのうち個別流路４９側に位置するダミー流路４９Ｘに関して、供給ポート６１、６２とは反対側に配置されている。したがって、バイパス流路４８よりも供給ポート６１、６２側に位置するダミー流路４９Ｘに供給されるインクの流量を十分に確保できる。よって、かかるダミー流路４９Ｘ内でインクに含まれる粒子の沈降等が生じるのを抑制することができる。よって、ダミー流路４９Ｘの特性が変わることによってダミー流路４９Ｘの近傍の個別流路４９に繋がる吐出口４７の吐出特性に影響が及ぶのを避けることができる。

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

図６に示すように、上述の実施形態の第１変形例に係るインクジェットヘッド１０３は、バイパス流路１４８ａ、１４８ｂを有している。バイパス流路１４８ａ、１４８ｂは、いずれも供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通させるものであり、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９及び２つのダミー流路４９Ｘとフィルター２２ａとの間の流路７０に配置されている。バイパス流路１４８ａ（本発明の「第１バイパス流路」）の流路抵抗は、バイパス流路１４８ｂ（本発明の「第２バイパス流路」）の流路抵抗よりも低い。

バイパス流路１４８ａは、上下方向に延びており、流路７０の底面を画定する第１面７１における走査方向の内側（個別流路４９側）端部に開口している。バイパス流路１４８ａの上下方向と直交する面での断面は真円である。一方、バイパス流路１４８ｂは、実施形態のバイパス流路４８と同様に、走査方向に延びており、流路７０の走査方向に関して外側（個別流路４９とは反対側）の側面を画定する第２面７２の下端部に開口している。バイパス流路１４８ｂの走査方向と直交する面（上下方向に沿う面）での断面は、実施形態のバイパス流路４８と同様に、矩形である。

ここで、流路７０の走査方向に関する長さｄ１は、高さ方向に関する長さｄ２に比べて長い。バイパス流路１４８ａは、流路７０においてフィルター２２ａよりも複数の個別流路４９寄りに配置されている。バイパス流路１４８ｂは、流路７０において複数の個別流路４９よりもフィルター２２ａ寄りに配置されている。すなわち、バイパス流路１４８ａ、１４８ｂが、フィルター２２ａからの距離が異なる。

なお、本変形例においては、バイパス流路１４８ａとバイパス流路１４８ｂとの搬送方向に関する位置は同じである。しかしながら、バイパス流路１４８ａとバイパス流路１４８ｂとの搬送方向に関する位置は異なっていてもよい。

本変形例に係る流路部材１２１は、プレート１３１、１３２、１３３ａ、１３３ｂ、１３４、１３５の６枚のプレートが、下方からこの順で積層されることで形成されている。プレート１３１、１３２、１３４、１３５は、実施形態のプレート３１、３２、３４、３５と同じ構成を有している。プレート１３３ａ、１３３ｂは、実施形態のプレート３３に対応する。プレート１３３ａ、１３３ｂは、同じ構成を有しているので、ここではプレート１３３ａの構成について説明する。

図７に示すように、プレート１３３ａには、実施形態のプレート３３と同様に、ディセンダ４５、４５Ｘの一部を構成する貫通孔３３ａと、帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔３３ｂと、連通流路４６の上面を形成する壁部３３ｃとを有している。さらに、プレート１３３ａは、バイパス流路１４８ａの一部を構成する真円の貫通孔３３ｄを有している。貫通孔３３ｄは、上面視でプレート１３２に形成された帰還マニホールド４２の一部を構成する貫通孔３２ｂと重複している。さらに、貫通孔３３ｄは、上面視でプレート１３４に形成された供給マニホールド４１の一部を構成する貫通孔３４ｂと重複している。バイパス流路１４８ａは、プレート１３３ａ、１３３ｂにそれぞれ形成された真円の貫通孔３３ｄがつなぎ合わされてなる。

すなわち、バイパス流路１４８ａは、プレート１３３ａ、１３３ｂに亘って形成されている。なお、バイパス流路１４８ａは、実施形態のバイパス流路４８と同様に、プレート１３４に形成されている。

本変形例においては、供給マニホールド４１と帰還マニホールド４２とを連通するバイパス流路１４８ａ、１４８ｂが、複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間に配置されているので、上述の実施形態と同様に、インクの循環流量を十分に確保できる。

また、本変形例においては、バイパス流路１４８ａは、流路７０においてフィルター２２ａよりも複数の個別流路４９寄りに配置されており、バイパス流路１４８ｂは、流路７０において複数の個別流路４９よりもフィルター２２ａ寄りに配置されている。そして、バイパス流路１４８ａの流路抵抗は、バイパス流路１４８ｂの流路抵抗よりも低い。したがって、バイパス流路１４８ｂよりも複数の個別流路４９に近い位置に配置されているバイパス流路１４８ａは、バイパス流路１４８ｂよりも多くのインクを循環させることができる。よって、沈殿などの不具合のないインクを個別流路４９に引き込ませることができる。

さらに、本変形例においては、バイパス流路１４８ａは、互いに積層されたプレート１３３ａ、１３３ｂにそれぞれ形成された真円の貫通孔３３ｄがつなぎ合わされてなる。貫通孔３３ｄの形状が真円であるので、プレート１３３ａ、１３３ｂを積層する際に、積層方向と直交する面内の何れの方向に位置ずれした場合であっても、位置ずれ量が同じであれば、プレート１３３ａ、１３３ｂにそれぞれ形成された貫通孔３３ｄが上面視で重なる領域の面積は一定である。よって、プレート１３３ａ、１３３ｂの積層位置ずれの影響を均一化できる。

なお、本変形例においては、複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間の流路７０に、フィルター２２ａからの距離が互いに異なる２つのバイパス流路１４８ａ、１４８ｂが設けられているが、フィルター２２ａからの距離が互いに異なる３つ以上のバイパス流路を設けてもよい。

図８に示すように、上述の実施形態の第２変形例に係るインクジェットヘッド２０３は、バイパス流路２４８を備えている。本変形例のバイパス流路２４８が、上述の実施形態のバイパス流路４８と主に異なる点は、バイパス流路２４８は上下方向に延びており、流路７０の底面を画定する第１面７１における走査方向の内側（個別流路４９側）端部に開口している点である。また、本変形例に係る流路部材２２１は、プレート２３１、２３２、２３３ａ、２３３ｂ、２３４、２３５の６枚のプレートが、下方からこの順で積層されることで形成されている。そして、バイパス流路２４８は、２枚のプレート２３３ａ、２３３ｂにそれぞれ形成された真円の貫通孔がつなぎ合わされてなる。すなわち、バイパス流路２４８の上下方向と直交する面での断面は真円である。

上述の第１変形例及び第２変形例においては、バイパス流路１４８ａ（２４８）がプレート１３３ａ、１３３ｂ（２３３ａ、２３３ｂ）に亘って形成されているが、これには限定されない。すなわち、流路部材１２１（２２１）がプレート１３３ａ、１３３ｂ（２３３ａ、２３３ｂ）のいずれかのみを備えており、バイパス流路１４８ａ（２４８）が１枚のプレートに形成されていてもよい。

さらに、第１変形例及び第２変形例においては、バイパス流路１４８ａ（２４８）は、上下方向に延びており、流路７０の底面を画定する第１面７１における走査方向の内側（個別流路４９側）端部に開口している場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、例えば、バイパス流路１４８ａ（２４８）は、第１面７１における走査方向の外側（個別流路４９とは反対側）端部に開口していてもよい。

図９に示すように、上述の実施形態の第３変形例に係るインクジェットヘッド３０３においては、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２の走査方向に関する幅が一定ではない。すなわち、供給マニホールド３４１の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して供給ポート３６１、３６２が設けられている側の端部が最も大きく、供給ポート３６１、３６２から遠くなるにつれて次第に小さくなっている。帰還マニホールド３４２の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して帰還ポート３６３、３６４が設けられている側とは反対側の端部が最も大きく、帰還ポート３６３、３６４に近くなるにつれて次第に小さくなっている。

供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２の高さは、搬送方向に関して一定である。したがって、供給マニホールド３４１は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、供給ポート３６１、３６２から遠くなるにつれて次第に小さくなる。帰還マニホールド３４２は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、帰還ポート３６３、３６４に近くなるにつれて次第に小さくなる。

本変形例においては、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２において、インクの流れ方向の下流側ほど、インクの流れと直交する面での断面積が小さくなっている。したがって、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２においてインクのよどみが生じるのを抑制できる。

本変形例においては、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２は、搬送方向に関して、高さが一定であり且つ走査方向に関する幅が一定ではない。しかしながら、供給マニホールド３４１及び帰還マニホールド３４２は、搬送方向に関して、走査方向に関する幅が一定であり且つ高さが一定ではなくてもよい。この場合、供給マニホールド３４１の高さは、搬送方向に関して供給ポート３６１、３６２が設けられている側の端部が最も高く、供給ポート３６１、３６２から遠くなるにつれて次第に低くなる。帰還マニホールド３４２の高さは、搬送方向に関して帰還ポート３６３、３６４が設けられている側とは反対側の端部が最も高く、帰還ポート３６３、３６４に近くなるにつれて次第に低くなる。

図１０に示すように、上述の実施形態の第４変形例に係るインクジェットヘッド４０３においては、供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２の走査方向に関する幅が一定ではない。すなわち、供給マニホールド４４１の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して供給ポート４６１、４６２が設けられている側の端部が最も大きく、供給ポート４６１、４６２から遠くなるにつれて段階的に小さくなっている。帰還マニホールド４４２の走査方向に関する幅は、搬送方向に関して帰還ポート４６３、４６４が設けられている側とは反対側の端部が最も大きく、帰還ポート４６３、４６４に近くなるにつれて段階的に小さくなっている。

図１０に示す例では、供給マニホールド４４１の搬送方向の中央から供給ポート４６１、４６２が配置されている側の端部までの部分の幅はＬ１であり、搬送方向の中央から供給ポート４６１、４６２が配置されている側とは反対側の端部までの部分の幅はＬ２（＜Ｌ１）である。すなわち、供給マニホールド４４１は、比較的広い幅Ｌ１を有する部分と、比較的狭い幅Ｌ２を有する２つの部分からなる。帰還マニホールド４４２も同様に、搬送方向に関して帰還ポート４６３、４６４が配置されている側とは反対側の比較的広い幅Ｌ３を有する部分と、帰還ポート４６３、４６４が配置されている側の比較的狭い幅Ｌ４を有する部分とからなる。供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２は、３種類以上の幅の異なる部分で構成されていてもよい。

供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２の高さは、搬送方向に関して一定である。したがって、供給マニホールド４４１は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、供給ポート４６１、４６２から遠くなるにつれて段階的に小さくなる。帰還マニホールド４４２は、インクの流れ方向と直交する断面（搬送方向に直交する断面）での断面積が、帰還ポート４６３、４６４に近くなるにつれて段階的に小さくなる。

本変形例においても、第２変形例と同様に、供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２においてインクのよどみが生じるのを抑制できる。

本変形例においては、供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２は、搬送方向に関して、高さが一定であり且つ走査方向に関する幅が一定ではない。しかしながら、供給マニホールド４４１及び帰還マニホールド４４２は、搬送方向に関して、走査方向に関する幅が一定であり且つ高さが一定ではなくてもよい。この場合、供給マニホールド４４１の高さは、搬送方向に関して供給ポート４６１、４６２が設けられている側の端部が最も高く、供給ポート４６１、４６２から遠くなるにつれて段階的に低くなる。帰還マニホールド４４２の高さは、搬送方向に関して帰還ポート４６３、４６４が設けられている側とは反対側の端部が最も高く、帰還ポート４６３、４６４に近くなるにつれて段階的に低くなる。

また、上述の実施形態においては、バイパス流路４８のインクの流動方向である走査方向と直交する面における断面の形状は矩形である場合について説明したが、これには限定されない。すなわち例えば、バイパス流路４８の断面形状は、円形であってもよい。

さらに、上述の実施形態においては、バイパス流路４８が、流路７０における底面を画定する第１面７１と側面を画定する第２面７２とが交わる角部に設けられている場合について説明したが、これには限定されない。バイパス流路４８は、流路７０の角部以外に設けられていてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、バイパス流路４８の底面は、流路７０の底面と同じ高さにある場合について説明したが、これには限定されない。流路７０の底部にインクのよどみが生じないようにする観点から、バイパス流路４８の底面の高さは、流路７０の底面の高さ以下であることが好ましいが、流路７０の底面の高さよりも高くてもよい。

さらに、上述の実施形態では、複数の個別流路４９のそれぞれと供給マニホールド４１とを繋ぐ連通流路４４と、複数の個別流路４９のそれぞれと帰還マニホールド４２とを繋ぐ連通流路４６との断面積及び長さが、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有する場合について説明した。しかしながら、連通流路４４及び連通流路４６の断面積及び長さは、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘ内の平均圧力が負となる大きさを有していなくてもよい。

また、上述の実施形態においては、バイパス流路４８は、供給マニホールド４１ａ及び帰還マニホールド４２ａに１つ、供給マニホールド４１ｂ及び帰還マニホールド４２ｂに１つ設けられている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、各供給マニホールド４１及び帰還マニホールド４２に複数のバイパス流路４８が設けられていてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、供給ポート６１、６２から、搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に２つのダミー流路４９Ｘが配置されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、供給ポート６１、６２から最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２とは反対側に配置されるダミー流路４９Ｘの数は、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、ダミー流路４９Ｘは設けられていなくてもよい。

さらに、上述の実施形態においては、バイパス流路４８が、２つのダミー流路４９Ｘのうち個別流路４９側に位置するダミー流路４９Ｘに関して、供給ポート６１、６２とは反対側に配置されている場合について説明したが、これには限定されない。搬送方向に関してバイパス流路４８と個別流路４９との間に、少なくとも１つのダミー流路４９Ｘが配置されていることが好ましい。すなわち、バイパス流路４８は、供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れたダミー流路４９Ｘに関して供給ポート６１、６２とは反対側に配置されていてもよい。また、バイパス流路４８は、個別流路４９とダミー流路４９Ｘとの間に配置されていてもよく、供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れた個別流路４９に関して供給ポート６１、６２と同じ側に配置されていてもよい。

また、上述の実施形態においては、上面視でダミー流路４９Ｘに対応する圧力室４３Ｘと重複する領域には、圧電素子２５が配置されていない場合について説明したが、圧力室４３Ｘと重複する領域に圧電素子２５が配置されていてもよい。この場合、圧力室４３Ｘと重複する領域に配置された圧電素子２５の個別電極５３の電位は常に一定としてもよいし、圧力室４３Ｘと重複する領域に配置された圧電素子２５に繋がる配線を断線させおいてもよい。

さらに、上述の実施形態においては、ダミー流路４９Ｘは、個別流路４９と同じ構造を有しており、圧力室４３Ｘ、ディセンダ４５Ｘ、及び吐出口４７Ｘを有している場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、ダミー流路４９Ｘは吐出口４７Ｘを有していなくてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、個別流路４９及びダミー流路４９Ｘのディセンダ４５、４５Ｘが、連通路４６を介して帰還マニホールド４２とそれぞれ連通している場合について説明したが、これには限定されない。供給ポート６１、６２から搬送方向に関して最も離れたダミー流路４９Ｘについては、流路内のインクを循環させる必要性が低いので、連通路４６を介して帰還マニホールド４２と連通していなくてもよい。また、全ての個別流路４９及びダミー流路４９Ｘが、連通路４６を介して帰還マニホールド４２と連通していなくてもよい。

また、上述の実施形態においては、供給マニホールド４１内にフィルター２２ａが配置されており、バイパス流路４８が、供給マニホールド４１内における複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間に配置されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、フィルター２２ａは、帰還マニホールド４２内に配置されていてもよい。この場合、バイパス流路４８は、帰還マニホールド４２内における複数の個別流路４９とフィルター２２ａとの間に配置される。

アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。

プリンタ１の記録形式は、シリアル式に限定されず、記録用紙Ｐの幅方向に長尺であり、且つ、位置が固定されたヘッドのノズルからインクを吐出するライン式であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。また、吐出対象は、記録用紙Ｐに限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

３インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
２２ａフィルター
４１、４１ａ、４１ｂ供給マニホールド（第１マニホールド）
４２、４２ａ、４２ｂ帰還マニホールド（第２マニホールド）
４８バイパス流路
４９個別流路

Claims

液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備え、
前記バイパス流路は、互いに積層された複数のプレートのそれぞれに形成された真円の貫通孔がつなぎ合わされてなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備え、
前記複数の個別流路と前記フィルターとの間の流路は、少なくとも第１面及び前記第１面と交わる第２面で画定されており、
前記バイパス流路は、前記第１面と前記第２面とが交わる角部に配置されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備え、
前記バイパス流路は、第１バイパス流路と第２バイパス流路とを有しており、
前記第１バイパス流路は、前記第１マニホールド内の前記複数の個別流路と前記フィルターとの間において、前記フィルターよりも前記複数の個別流路寄りに配置されており、
前記第２バイパス流路は、前記第１マニホールド内の前記複数の個別流路と前記フィルターとの間において、前記複数の個別流路よりも前記フィルター寄りに配置されており、
前記第１バイパス流路の抵抗は、前記第２バイパス流路の抵抗よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。
液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備え、
前記個別流路を有する流路部材と、
前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを有するマニホールド部材と、
前記流路部材と前記マニホールド部材との間に配置されるプレートであって、前記フィルターを備えるフィルター部材と、を備え、
前記流路部材は、前記バイパス流路を有し、
前記流路部材は、一方向に沿って順に積層される第１プレート、第２プレート、第３プレート、第４プレートおよび第５プレートを含み、
前記第１プレートは、前記吐出口を有し、
前記第２プレートは、前記吐出口へ連通するディセンダの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記ディセンダの一部と前記第２マニホールドの一部とを連通する第１連通流路とを有し、
前記第３プレートは、前記ディセンダの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記第１連通流路の前記一方向と直交する直交面と平行な壁面を形成する第１壁部とを有し、
前記第４プレートは、前記ディセンダと連通する圧力室の一部と、前記第１マニホールドの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記圧力室の一部と前記第１マニホールドの一部とを連通する第２連通流路とを有し、
前記第５プレートは、前記圧力室の一部と、前記第２連通流路の前記直交面と平行な壁面を形成する第２壁部と、前記第１マニホールドの一部と、前記第２マニホールドの一部とを有し、
前記バイパス流路は、前記第３プレートに形成され、
前記第３プレートは、複数のプレートから構成され、
前記バイパス流路は、前記流路部材と、前記フィルター部材と、前記マニホールド部材との積層方向に延び、前記積層方向と直交する面での断面が真円の貫通孔であり、前記真円の貫通孔がつなぎ合わされてなることを特徴とする液体吐出ヘッド。
液体の吐出口をそれぞれ有する複数の個別流路と、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第１マニホールドと、
前記第１マニホールド内に配置されたフィルターと、
前記複数の個別流路に共通して設けられた第２マニホールドと、
前記第１マニホールド内において前記複数の個別流路と前記フィルターとの間に配置されており、前記複数の個別流路を通らずに前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを連通させるためのバイパス流路と、を備え、
前記個別流路を有する流路部材と、
前記第１マニホールドと前記第２マニホールドとを有するマニホールド部材と、
前記流路部材と前記マニホールド部材との間に配置されるプレートであって、前記フィルターを備えるフィルター部材と、を備え、
前記流路部材は、前記バイパス流路を有し、
前記流路部材は、一方向に沿って順に積層される第１プレート、第２プレート、第３プレート、第４プレートおよび第５プレートを含み、
前記第１プレートは、前記吐出口を有し、
前記第２プレートは、前記吐出口へ連通するディセンダの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記ディセンダの一部と前記第２マニホールドの一部とを連通する第１連通流路とを有し、
前記第３プレートは、前記ディセンダの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記第１連通流路の前記一方向と直交する直交面と平行な壁面を形成する第１壁部とを有し、
前記第４プレートは、前記ディセンダと連通する圧力室の一部と、前記第１マニホールドの一部と、前記第２マニホールドの一部と、前記圧力室の一部と前記第１マニホールドの一部とを連通する第２連通流路とを有し、
前記第５プレートは、前記圧力室の一部と、前記第２連通流路の前記直交面と平行な壁面を形成する第２壁部と、前記第１マニホールドの一部と、前記第２マニホールドの一部とを有し、
前記バイパス流路は、第１バイパス流路と、第２バイパス流路とを有し、
前記第１バイパス流路は、前記第３プレートに形成され、
前記第２バイパス流路は、前記第４プレートに形成され、
前記第１バイパス流路の抵抗は、前記第２バイパス流路の抵抗よりも小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド。