JP7303069B2 - 検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査要部及びその周辺の周辺部を有する検査対象物を検査する検査装置に関する。

従来、リフロー処理後の部品とプリント基板との半田部を介した接合を検査するＸ線検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許文献１に開示されたＸ線検査装置は、検査対象物に対するＸ線の透過方向を複数設定し、その透過方向毎の投影データに基づいて、検査対象物における検査要部の検査に用いられる検査画像を生成するように構成されている。

特開２０１２－１５００１５号公報

Ｘ線検査装置においては、検査対象物に対するＸ線の透過方向の設定範囲に制限がある等の理由から、検査画像を生成する際に用いられる投影データが不足する場合がある。投影データに不足が生じると、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を得ることが困難となる場合がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能な検査装置を提供することにある。

本発明の一の局面に係る検査装置は、検査要部及びその周辺の周辺部を有する検査対象物を検査する装置である。この検査装置は、前記周辺部の三次元の形状に関する周辺形状データを取得する周辺検査部と、前記周辺形状データを参照しつつ、前記検査要部を含む前記検査対象物全体のＸ線画像からなる検査画像を生成するＸ線検査部と、を備える。前記Ｘ線検査部は、前記検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、前記検査対象物を透過したＸ線を検出し、当該Ｘ線の強度に基づく投影データを出力するＸ線検出器と、前記検査対象物に対するＸ線の透過方向を複数設定する透過方向設定部と、前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器を制御し、前記Ｘ線検出器によって前記透過方向毎の前記投影データを出力させる撮像制御部と、前記検査対象物の全体が収まる範囲を再構成対象領域として設定して当該再構成対象領域を複数のセルに分割し、前記透過方向毎の前記投影データと、各前記セル内をＸ線が透過する距離を示す透過距離とに基づいて、前記セル毎のＸ線の減衰率を逐次近似アルゴリズムに従い演算することにより、画像の再構成を行って前記検査画像を生成する再構成部と、を含む。前記再構成部は、前記周辺形状データに基づいて、前記再構成対象領域を構成する前記複数のセルのうち、前記周辺部に属する周辺セルを認識し、前記セル毎のＸ線の減衰率を演算する場合に、少なくとも一部の前記周辺セルのＸ線の減衰率については、事前情報として所定の固定値に設定する。

この検査装置によれば、Ｘ線検査部の再構成部は、検査対象物に対するＸ線の透過方向毎の投影データ及び透過距離に基づいて画像の再構成を行って検査画像を生成する際に、周辺形状データを参照する。この周辺形状データは、検査対象物の周辺部の三次元形状に関するデータであって、周辺検査部によって取得される。具体的に、再構成部は、検査対象物の全体が収まる範囲を示す再構成対象領域を構成するセル毎のＸ線の減衰率を、逐次近似アルゴリズムに従い演算することにより、画像の再構成を行って検査画像を生成する。この画像の再構成を行う際に、再構成部は、再構成対象領域を構成する複数のセルのうち、周辺形状データで示される周辺部に属する周辺セルのＸ線の減衰率については、事前情報として固定値に設定する。これにより、検査対象物に対するＸ線の透過方向の設定範囲に制限がある等の理由で投影データが不足している状況下においても、再構成対象領域を構成するセルのうち、周辺セル以外の検査要部に対応したセルにおけるＸ線の減衰率として、より適切な減衰率を導出することができる。このため、再構成部は、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

また、再構成部が画像の再構成を行う際に周辺形状データを参照することによって、周辺形状データを参照しない場合と比較して、少ない投影データで検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することができる。これにより、検査対象物に対するＸ線の透過方向毎の投影データの取得に要するトータル時間、並びに画像の再構成に要する時間を短縮することが可能であると共に、検査対象物のＸ線の被曝量を低減することができる。

上記の検査装置において、前記周辺検査部は、前記検査対象物を複数の異なる方向から撮像することでステレオ画像を取得するステレオカメラと、前記ステレオ画像に基づいて、前記周辺部の前記周辺形状データを生成するデータ生成部と、を含む構成であってもよい。

この態様では、再構成部による画像の再構成の際に参照される周辺形状データを取得する周辺検査部を、ステレオカメラを含む構成によって実現することができる。ステレオカメラは、検査対象物を複数の異なる方向から撮像することでステレオ画像を取得する。そして、データ生成部は、このステレオ画像に基づくことによって、周辺部の三次元形状に関する正確な周辺形状データを生成することができる。このため、周辺形状データを参照して再構成部は、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

上記の検査装置において、前記周辺検査部は、前記検査対象物に周期的な明暗パターンを持つ照明光を照射する照明部と、前記検査対象物に対する前記照明光の明暗パターンの位置を、明暗パターンの繰り返し方向に相対的に移動させる位相シフト動作を行う位相シフト部と、前記位相シフト部の前記位相シフト動作毎に、前記照明光が照射された前記検査対象物を撮像し、前記照明光の明暗パターンの位置が互いに異なる複数の画像を取得する撮像部と、前記複数の画像に基づいて、前記周辺部の前記周辺形状データを生成するデータ生成部と、を含む構成であってもよい。

この態様では、再構成部による画像の再構成の際に参照される周辺形状データを取得する周辺検査部を、照明部、位相シフト部及び撮像部を含む構成によって実現することができる。この構成では、照明光の明暗パターンの位置が互いに異なる複数の画像が撮像部によって取得される。そして、データ生成部は、明暗パターンの位置が異なる複数の画像に基づくことによって、周辺部の三次元形状に関する正確な周辺形状データを生成することができる。このため、周辺形状データを参照して再構成部は、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

上記の検査装置において、前記検査対象物は、基板上において半田部によって接合されたリードを有したリード部品が存在する領域部分であって、前記検査要部が前記半田部によって構成され、前記周辺部が前記リード部品と前記基板とによって構成されたものである。そして、前記周辺検査部は、前記基板の上面の高さ位置に関する基板上面高さ位置データと、前記リードの前記半田部との接合部分の上面の高さ位置に関するリード上面高さ位置データと、前記リードの外方側の側面の位置に関するリード外側面位置データとを少なくとも含む位置データを、前記周辺形状データとして取得する。また、前記再構成部は、前記再構成対象領域を構成する前記複数のセルのうち、前記基板上面高さ位置データで示される位置よりも下側のセルと、前記リード上面高さ位置データで示される位置よりも上側で且つ前記リード外側面位置データで示される位置よりも外側のセルとを前記周辺セルとして認識し、当該周辺セルのＸ線の減衰率を前記固定値に設定する。

基板上において半田部によって接合されたリードを有したリード部品が存在する領域部分では、半田部の少なくとも一部は、リードに隠れている。リードに隠れた部分となる検査要部としての半田部は、Ｘ線検査部によって適切に検査することができる。Ｘ線検査部の再構成部による画像の再構成に際しては、事前情報としての周辺形状データが周辺検査部によって取得される。周辺検査部は、基板の上面の高さ位置に関する基板上面高さ位置データと、リードの半田部との接合部分の上面の高さ位置に関するリード上面高さ位置データと、リードの外方側の側面の位置に関するリード外側面位置データとを少なくとも含む位置データを、周辺形状データとして取得する。そして、画像の再構成を行う際に、再構成部は、再構成対象領域を構成する複数のセルのうち、基板上面高さ位置データで示される位置よりも下側のセルと、リード上面高さ位置データで示される位置よりも上側で且つリード外側面位置データで示される位置よりも外側のセルとを周辺セルとして認識し、当該周辺セルのＸ線の減衰率を事前情報として固定値に設定する。これにより、検査対象物に対するＸ線の透過方向の設定範囲に制限がある等の理由で投影データが不足している状況下においても、再構成対象領域を構成するセルのうち、周辺セル以外の検査要部としての半田部に対応したセルにおけるＸ線の減衰率として、より適切な減衰率を導出することができる。このため、再構成部は、検査要部としての半田部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

以上説明したように、本発明によれば、検査対象物の検査要部に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能な検査装置を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る検査装置の構成を概略的に示す図である。 図１の検査装置のブロック図である。 検査装置の検査対象物の一例である下面電極部品を概略的に示す平面図である。 下面電極部品と基板とを接合する半田部の状態を示す図である。 検査装置に備えられる周辺検査部の動作を説明する図である。 検査装置に備えられるＸ線検査部の動作を説明する図である。 Ｘ線検査部の再構成部の動作を説明する図である。 再構成部の演算の様子を説明する図である。 再構成部の再構成結果の一例を示す図である。 検査装置の検査対象物の他の例であるリード部品を概略的に示す平面図である。 リード部品のリードと基板とを接合する半田部の状態を示す図である。 リード部品を検査対象物とした場合における周辺検査部の動作を説明する図である。 リード部品を検査対象物とした場合におけるＸ線検査部の動作を説明する図である。 検査装置の動作を示すフローチャートである。 本発明の第２実施形態に係る検査装置の構成を概略的に示す図である。 図１５の検査装置のブロック図である。 検査装置に備えられる周辺検査部の照明部を説明する図である。 照明部が照射する照明光を説明する図である。 周辺検査部の動作を説明する図である。 Ｘ線検査部の動作を説明する図である。

以下、本発明の実施形態に係る検査装置について、図面に基づいて説明する。

［第１実施形態］
図１及び図２は本発明の第１実施形態に係る検査装置１を示す図であって、図１が検査装置１の構成を概略的に示し、図２が検査装置１のブロック図を示す。検査装置１は、検査要部及びその周辺の周辺部を有する検査対象物１０Ａを検査する装置である。

検査装置１の構成の説明に先立って、図３及び図４を参照して、検査装置１の検査対象となる検査対象物１０Ａの一例について説明する。図３及び図４に示す検査対象物１０Ａの一例は、基板１２０上において半田部１０１によって接合された下面電極部品１００が存在する領域部分である。この場合、検査要部が下面電極部品１００に隠れた部分となる半田部１０１によって構成され、周辺部が下面電極部品１００と基板１２０とによって構成される。

下面電極部品１００は、ＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）やＬＧＡ（Ｌａｎｄ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などの下面に電極を有する表面実装型の、電子部品がパッケージに収納された部品である。下面電極部品１００は、多数の半田ボール１０３を下面に備えている。各半田ボール１０３は、下面電極部品１００の周囲に所定の配列で設けられ、いわゆるリフロー処理で溶融されて硬化した後、半田部１０１として、下面電極部品１００とプリント基板１２０とを物理的並びに電気的に接続する。

半田部１０１は、プリント処理と実装処理とリフロー処理とを経て基板１２０に形成される。プリント処理では、基板１２０に設けられたランドＷ１上に半田１０２（クリーム半田）を印刷する工程が含まれる。また、実装処理では、プリントされた半田１０２の上に下面電極部品１００を実装する工程が含まれる。また、リフロー処理では、下面電極部品１００が実装されたプリント基板１２０を溶融炉内で加熱する工程が含まれる。図４（Ｂ）に示すように、印刷された半田１０２と半田ボール１０３とが加熱されて融合し、一体的に硬化する。この硬化した半田が半田部１０１となる。半田部１０１は、基板１２０のランドＷ１と下面電極部品１００の電極Ｗ２とを電気的並びに物理的に接続する。

ここで、図４（Ｂ）に示すように、半田部１０１とランドＷ１との接合面１０４は、良品であれば、ランド幅Ｄと同じ接合幅ｄで仕上がっている。しかしながら、中には、接合幅ｄがランド幅Ｄよりも短くなっている不良品も少なくない。例えば図４（Ｃ）に示すように、接合幅ｄが狭くなっている場合や、全く接合していない場合等も存在し得る。いうまでもなく、それらの場合には、強度不足や接続不良が生じ得ることになる。そこで、個々の半田部１０１の良否、特に、接合面１０４の接合幅ｄを検査要部として精緻に判定するため、本実施形態の検査装置１が使用される。

図１及び図２に示すように、検査装置１は、周辺検査部２とＸ線検査部３とを備える。なお、検査装置１において、周辺検査部２とＸ線検査部３とは、それぞれが独立した装置であってもよい。

図５は、検査装置１に備えられる周辺検査部２の動作を説明する図である。周辺検査部２は、検査対象物１０Ａの周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の、三次元の形状に関する周辺形状データＤＡを取得するユニットである。本実施形態の周辺検査部２は、ステレオカメラ２１と、第１ステージ２２と、第１データ通信部２３と、カメラ駆動部２４と、第１ステージ駆動部２５と、周辺検査制御部２６とを含む。

第１ステージ２２は、検査対象物１０Ａを載置するステージである。第１ステージ２２は、コンベア機構で具体化されており、第１ステージ駆動部２５によって、所定の水平方向に沿う搬送方向に移動可能になっている。以下の説明では、第１ステージ２２の搬送方向に沿う方向をＸ方向、これと直交する水平方向をＹ方向、Ｘ方向及びＹ方向と直交する鉛直方向をＺ方向と称する。第１ステージ２２は、所定の検査位置で検査対象物１０Ａを停止させて保持することが可能なように構成されている。また、第１ステージ２２は、検査が終了した検査対象物１０Ａを前記検査位置からＸ方向に搬送して、Ｘ線検査部３に向かって検査対象物１０Ａを搬出することが可能なように構成されている。

図１に示すように、第１ステージ２２のＸ方向上流側には、検査対象物１０Ａを周辺検査部２の第１ステージ２２に搬入する搬入コンベア４が設置されている。搬入コンベア４は、所定の工程を終了した後、検査対象物１０Ａを第１ステージ２２上に搬入する。

ステレオカメラ２１は、第１ステージ２２上において前記検査位置に停止された検査対象物１０Ａの上方に位置するように配置され、カメラ駆動部２４によって駆動される。ステレオカメラ２１は、一定の間隔に並ぶ複数（例えば２つ）のレンズを構成する第１レンズ２１１及び第２レンズ２１２を有し、カメラ駆動部２４の駆動によって検査対象物１０Ａを複数の異なる方向から撮像することで、ステレオ画像ＧＳを取得する。ステレオ画像ＧＳは、いわゆる両眼視差を再現した立体的な空間把握のできる画像であり、第１レンズ２１１を介した撮像によって取得された第１ステレオ画像ＧＳ１と、第２レンズ２１２を介した撮像によって取得された第２ステレオ画像ＧＳ２とを含む。

第１データ通信部２３は、後述のＸ線検査部３の第２データ通信部３４とデータ通信可能に接続されたインターフェイスである。第１データ通信部２３は、周辺検査制御部２６のデータ生成部２６４によって生成された周辺形状データＤＡを第２データ通信部３４へ送信する。なお、図２に示すように、周辺検査部２とＸ線検査部３との間のデータ通信は、サーバーＳＶを介して行われるように構成してもよい。サーバーＳＶは、通信部ＳＶ１と長期記憶部ＳＶ２とを備える。サーバーＳＶの通信部ＳＶ１が、周辺検査部２の第１データ通信部２３と、Ｘ線検査部３の第２データ通信部３４との間の通信経路を構築する。サーバーＳＶの長期記憶部ＳＶ２は、周辺検査制御部２６のデータ生成部２６４によって生成された周辺形状データＤＡを、長期間にわたって記憶することが可能な記憶部である。長期記憶部ＳＶ２に記憶された周辺形状データＤＡは、周辺検査部２の検査履歴として扱うことができる。また、周辺形状データＤＡは、詳細については後述するが、Ｘ線検査部３によるＸ線検査時の再構成処理の事前情報として扱われる。Ｘ線検査部３によるＸ線検査は、周辺検査部２の検査に対して連続的に行われてもよいし、所定期間後に行われてもよい。周辺検査部２の検査に対して所定期間後にＸ線検査部３によるＸ線検査が行われる場合には、サーバーＳＶの長期記憶部ＳＶ２から周辺形状データＤＡが取り出される。

周辺検査制御部２６は、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）や一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなる。周辺検査制御部２６は、前記制御プログラムが読み出されることにより、各種の演算やデータの生成及び記憶を実行すると共に、第１データ通信部２３、カメラ駆動部２４及び第１ステージ駆動部２５を制御する。周辺検査制御部２６は、第１通信制御部２６１と、第１搬送制御部２６２と、カメラ制御部２６３と、データ生成部２６４と、第１記憶部２６５とを含む。

第１通信制御部２６１は、第１データ通信部２３を制御することにより、当該第１データ通信部２３とＸ線検査部３の第２データ通信部３４との間のデータ通信、又はサーバーＳＶの通信部ＳＶ１を介したデータ通信を制御する。第１搬送制御部２６２は、第１ステージ駆動部２５を制御することにより、第１ステージ２２をＸ方向に移動させる。カメラ制御部２６３は、カメラ駆動部２４を制御することにより、ステレオカメラ２１に検査対象物１０Ａのステレオ画像ＧＳを取得させる。

データ生成部２６４は、ステレオカメラ２１により取得されたステレオ画像ＧＳに基づいて、検査対象物１０Ａの周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを生成する。データ生成部２６４は、ステレオ画像ＧＳを構成する第１ステレオ画像ＧＳ１と第２ステレオ画像ＧＳ２との２枚の画像の各部についてマッチング（ステレオマッチング）を行うことで、２枚の画像間で対応する部位の位置の差を表す視差を推定する。ステレオマッチングによって２枚の画像ＧＳ１，ＧＳ２上の各部位の視差を推定した後、データ生成部２６４は、三角測距の原理に基づいて周辺形状データＤＡを生成する。

具体的に、データ生成部２６４は、図５に示すように、ステレオ画像ＧＳに基づいて、基板上面高さ位置データＤＡ１と、部品上面高さ位置データＤＡ２と、部品下面高さ位置データＤＡ３と、部品下面端部位置データＤＡ４とを含む高さ位置データを、周辺形状データＤＡとして生成する。基板上面高さ位置データＤＡ１は、検査対象物１０Ａの周辺部を構成する基板１２０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品上面高さ位置データＤＡ２は、検査対象物１０Ａの周辺部を構成する下面電極部品１００の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品下面高さ位置データＤＡ３は、下面電極部品１００の下面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品下面端部位置データＤＡ４は、下面電極部品１００の下面における水平方向の端部の、基板１２０の上面に対する位置を示すデータである。

データ生成部２６４は、ステレオカメラ２１で取得されたステレオ画像ＧＳに基づくことによって、検査対象物１０Ａにおける周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の三次元形状に関する正確な周辺形状データＤＡを生成することができる。データ生成部２６４により生成された周辺形状データＤＡは、第１記憶部２６５に記憶されると共に、第１データ通信部２３を介してＸ線検査部３に送信される。データ生成部２６４による周辺形状データＤＡの生成が終了すると、第１搬送制御部２６２は、第１ステージ駆動部２５を制御して第１ステージ２２に、検査対象物１０ＡをＸ線検査部３へ搬出させる。

基板１２０上において半田部１０１によって接合された下面電極部品１００が存在する領域部分となる検査対象物１０Ａでは、半田部１０１は、下面電極部品１００に隠れている。このような、下面電極部品１００に隠れた部分となる検査要部としての半田部１０１は、Ｘ線検査部３によって適切に検査することができる。

図１及び図２に加えて図６、図７及び図８を参照して、Ｘ線検査部３について説明する。図６は、検査装置１に備えられるＸ線検査部３の動作を説明する図である。図７は、Ｘ線検査部３の再構成部３９５の動作を説明する図である。図８は、再構成部３９５の演算の様子を説明する図である。

Ｘ線検査部３は、周辺検査部２によって取得された周辺形状データＤＡを参照しつつ、検査要部としての半田部１０１を含む検査対象物１０Ａ全体のＸ線画像からなる検査画像ＧＩ（図７（Ｃ）参照）を生成するユニットである。Ｘ線検査部３は、Ｘ線源３１と、Ｘ線検出器３２と、第２ステージ３３と、第２データ通信部３４と、Ｘ線源駆動部３５と、検出器駆動部３６と、第２ステージ駆動部３７と、表示部３８と、Ｘ線検査制御部３９と、を含む。

第２ステージ３３は、検査対象物１０Ａを載置するステージである。第２ステージ３３は、コンベア機構で具体化されており、第２ステージ駆動部３７によって、Ｘ方向及びＹ方向を含む水平面上を移動可能になっている。第２ステージ３３は、所定の検査位置で検査対象物１０Ａを停止させて保持することが可能なように構成されている。また、第２ステージ３３は、検査が終了した検査対象物１０Ａを前記検査位置からＸ方向に搬送して、Ｘ線検査部３から検査対象物１０Ａを搬出することが可能なように構成されている。

図１に示すように、第２ステージ３３のＸ方向下流側には、検査対象物１０Ａを第２ステージ３３からＸ線検査部３の外側に搬出する搬出コンベア５が設置されている。搬出コンベア５は、Ｘ線検査部３で検査処理が終了した検査対象物１０Ａを第２ステージ３３から搬出する。

Ｘ線源３１は、第２ステージ３３上の検査対象物１０Ａの上方に位置するように配置され、Ｘ線源駆動部３５によって駆動される。Ｘ線源３１は、第２ステージ３３の上方からＸ線を第２ステージ３３上の検査対象物１０Ａに照射するものである。Ｘ線源３１から放射されたＸ線は、一部が検査対象物１０Ａ等に吸収されて減衰した状態で、当該検査対象物１０Ａを透過する。

Ｘ線検出器３２は、第２ステージ３３の下方に位置するように配置され、検出器駆動部３６によって駆動される。Ｘ線検出器３２は、第２ステージ３３上の検査対象物１０Ａを透過したＸ線を検出し、当該透過したＸ線の強度に基づく投影データｂｍ（図８参照）を出力するものである。

Ｘ線検出器３２は、複数の検出素子とデータ収集回路とを有する。Ｘ線検出器３２において複数の検出素子は、検査対象物１０Ａを透過したＸ線を検出し、検出されたＸ線の強度に応じた波高値を有する電気信号を発生する。Ｘ線検出器３２においてデータ収集回路は、複数の検出素子からの電気信号に基づいてデジタルデータからなる投影データｂｍを生成する。データ収集回路は、例えば、積分回路とＡ／Ｄ変換器とが実装された半導体集積回路により実現される。積分回路は、複数の検出素子からの電気信号を積分し、積分信号を生成する。Ａ／Ｄ変換器は、積分回路により生成された積分信号をＡ／Ｄ変換し、当該積分信号の波高値に対応するデータ値を有するデジタルデータを生成する。このデジタルデータが投影データｂｍとなる。

Ｘ線検出器３２から出力された投影データｂｍに基づいて、検査対象物１０ＡのＸ線画像を構成することができる。Ｘ線検出器３２は、第２ステージ３３の下方において、検出器駆動部３６によってＸ方向及びＹ方向を含む水平面上を移動可能になっている。Ｘ線検出器３２は、第２ステージ３３上の検査対象物１０Ａを透過したＸ線を検出することが可能となるように、Ｘ線源３１によるＸ線の放射方向に対応して、検出器駆動部３６によって水平面上を移動される。なお、Ｘ線検出器３２から出力された投影データｂｍは、Ｘ線検査制御部３９に入力される。

第２データ通信部３４は、周辺検査部２の第１データ通信部２３とデータ通信可能に接続されたインターフェイスである。第２データ通信部３４は、第１データ通信部２３から送信された周辺形状データＤＡを受信する。第２データ通信部３４によって受信された周辺形状データＤＡは、Ｘ線検査制御部３９に入力される。

表示部３８は、液晶ディスプレイ等で具体化され、例えば、後述のＸ線検査制御部３９の再構成部３９５により生成された検査画像ＧＩを表示する。

Ｘ線検査制御部３９は、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭや一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなる。Ｘ線検査制御部３９は、前記制御プログラムが読み出されることにより、各種の演算やデータの生成及び記憶を実行すると共に、第２データ通信部３４、Ｘ線源駆動部３５、検出器駆動部３６、第２ステージ駆動部３７及び表示部３８を制御する。Ｘ線検査制御部３９は、第２通信制御部３９１と、第２搬送制御部３９２と、透過方向設定部３９３と、撮像制御部３９４と、再構成部３９５と、判定部３９６と、表示制御部３９７と、第２記憶部３９８と、を含む。

第２通信制御部３９１は、第２データ通信部３４を制御することにより、当該第２データ通信部３４と周辺検査部２の第１データ通信部２３との間のデータ通信、又はサーバーＳＶの通信部ＳＶ１を介したデータ通信を制御する。第２通信制御部３９１は、第１データ通信部２３を介して周辺検査部２から送信された周辺形状データＤＡを、第２データ通信部３４に受信させる。第２データ通信部３４により受信された周辺形状データＤＡは、第２記憶部３９８に一時的に記憶される。

第２搬送制御部３９２は、第１ステージ２２から第２ステージ３３への検査対象物１０Ａの搬入時、並びに、第２ステージ３３から搬出コンベア５への検査対象物１０Ａの搬出時において、第２ステージ駆動部３７を制御することにより、第２ステージ３３をＸ方向に移動させる。

表示制御部３９８は、表示部３８を制御することにより、当該表示部３８に各種情報を表示させる。

透過方向設定部３９３は、Ｘ線検出器３２によるＸ線の検出に際し、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する。図４及び図６に示すように、透過方向設定部３９３は、検査対象物１０Ａにおける半田部１０１とランドＷ１との接合面１０４に対して斜めに交差する透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する。具体的には、透過方向設定部３９３は、複数の方位Ｒと傾斜角度θとによって透過方向ψ（Ｒ，θ）を設定する。方位Ｒは、検査対象物１０Ａにおける接合面１０４の中心Ｏを通る垂直軸Ｖ回りの角度であり、上方からの平面視で反時計回りに角度をとっている。この中心ＯをＸ方向に通る線をＸ方向の座標軸Ｘａとし、中心Ｏを原点として搬送方向上流側を（－）、下流側お（＋）とした場合、方位Ｒの範囲は、座標軸Ｘａの上流側から下流側へ平面視で反時計回りに０°≦Ｒ＜３６０°に設定される。また、傾斜角度θは、接合面１０４の中心Ｏを通るＹ方向の座標軸Ｙａ回りの角度であり、搬送方向の上流側（－）を左側にして見たときに時計回りに角度をとっている。傾斜角度θの範囲は、垂直軸Ｖから接合面１０４へ０°≦θ＜９０°に設定される。傾斜角度θは、全方位Ｒにわたって、＋方向として処理される。

撮像制御部３９４は、Ｘ線源３１と検査対象物１０ＡとＸ線検出器３２との位置関係が、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）を満たすように、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２を水平面上で移動させると共に、第２ステージ駆動部３７を介して第２ステージ３３を水平面上で移動させる。更に、撮像制御部３９４は、Ｘ線源駆動部３５を介してＸ線源３１によるＸ線の放射を制御すると共に、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２によるＸ線の検出を制御する。これにより、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍをＸ線検出器３２から出力させる。

再構成部３９５は、Ｘ線検出器３２から出力された投影データｂｍに基づいて構成される検査対象物１０ＡのＸ線画像に対して再構成処理を行って、検査画像ＧＩを生成するものである。図７に示すように、再構成部３９５は、検査対象物１０Ａの全体が収まる範囲を再構成対象領域ＡＲとして設定し（図７（Ａ））、当該再構成対象領域ＡＲを複数のセルＡＲＣに分割する（図７（Ｂ））。再構成部３９５は、検査画像ＧＩ（図７（Ｃ））に求められる解像度に応じて、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣの数を設定する。

再構成対象領域ＡＲを構成する各セルＡＲＣのＸ線の減衰率ｘｎと、各セルＡＲＣ内をＸ線が透過する距離を示す透過距離ａｍｎと、Ｘ線検出器３２から出力される透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍとの関係は、下記式（１）で表すことができる。

なお、「ｍ」は、Ｘ線検出器３２においてＸ線を検出する検出素子の数（検出素子数）に透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定数を乗じた数値を示す。また、「ｎ」は、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣの数（セル数）を示す。

再構成部３９５は、上記式（１）を用いて、透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍと、Ｘ線の透過距離ａｍｎとに基づいて、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを、逐次近似アルゴリズムに従い演算する。再構成部３９５は、この演算によって画像の再構成を行って検査画像ＧＩを生成する。

逐次近似アルゴリズムとしては、例えば、加法的ＡＲＴ（Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ａｌｇｅｂｒａｉｃ Ｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ）に従ったアルゴリズムを挙げることができる。加法的ＡＲＴの具体的な反復式は、下記式（２）で表される。

なお、式（２）中、「ｘ」は再構成対象領域ＡＲを構成する各セルＡＲＣのＸ線の減衰率を示し、「ａ」は各セルＡＲＣ内をＸ線が透過する透過距離を示し、「ｂ」はＸ線検出器３２から出力される透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データを示す。また、式（２）中、「ｋ」は再構成部３９５による再構成処理の反復回数を示し、「ｉ」は式（１）における「ｍ」に相当する内部反復回数を示し、「ｊ」は式（１）における再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣのセル数ｎに相当する。

再構成部３９５により実行される、式（１）を用いた画像の再構成処理について、図８を参照しつつ簡易なモデルで具体的に説明する。図８に示す例においては、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを４つのセルＡＲＣ１，ＡＲＣ２，ＡＲＣ３，ＡＲＣ４に分割し、Ｘ線検出器３２が３つの検出素子を有しており、透過方向ψ（Ｒ，θ）が２つの方向に設定されている。すなわち、図８に示す例においては、式（１）におけるセル数ｎが「４」であり、式（１）におけるＸ線検出器３２の検出素子数に透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定数を乗じた数値ｍが「６」である。この場合、下記式（３）で示されるように、再構成対象領域ＡＲを構成する各セルＡＲＣのＸ線の減衰率ｘｎは、Ｘｎ＝（ｘ１，ｘ２，ｘ３，ｘ４）で表される。また、各セルＡＲＣ内をＸ線が透過する透過距離ａｍｎは、ａｍｎ＝（ａ１１，ａ１２，・・・，ａ３３，ａ３４）、並びに、ａｍｎ＝（ａ４１，４２，・・・，ａ６３，ａ６４）で表される。また、Ｘ線検出器３２から出力される透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍは、ｂｍ＝（ｂ１，ｂ２，ｂ３）、並びに、ｂｍ＝（ｂ４，ｂ５，ｂ６）で表される。

ここで、既述の通り、透過方向設定部３９３により設定される検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）において、傾斜角度θの範囲は０°≦θ＜９０°に設定される。このため、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定範囲に、制限があることになる。この結果、上記式（１）を用いたＸ線の減衰率ｘｎの演算によって再構成部３９５が検査画像ＧＩを生成する際に、投影データｂｍが不足する場合がある。この場合、上記式（１）を満足する、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎは、無数に存在する。このため、検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に関して十分な画質の検査画像ＧＩを生成するための画像再構成を行うことは困難である。

そこで、再構成部３９５は、加法的ＡＲＴの式（２）に従って、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを演算する際に、周辺検査部２により取得された周辺形状データＤＡを事前情報として参照する。具体的には、再構成部３９５は、図７（Ｂ）に示すように、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、周辺形状データＤＡで示される周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）に属する少なくとも一部の周辺セルＡＲＣＢのＸ線の減衰率ｘｎについては、事前情報として所定の固定値（例えば「０；ゼロ」）に設定する。換言すると、再構成部３９５は、周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎについては固定値に設定した上で、検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に対応した要部セルＡＲＣＡの減衰率ｘｎを演算することになる。

図５及び図７（Ｂ）を参照してより具体的に説明すると、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、基板上面高さ位置データＤＡ１で示される位置よりも下側のセルと、部品下面高さ位置データＤＡ３で示される位置よりも上側のセルとを周辺セルＡＲＣＢとして認識する。この場合、部品上面高さ位置データＤＡ２で示される位置よりも上側のセルも周辺セルＡＲＣＢに含まれる。更に、再構成部３９５は、部品下面端部位置データＤＡ４で示される位置よりも外側のセルについても周辺セルＡＲＣＢとして認識する。そして、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを演算する場合に、上記のようにして認識した周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎを、事前情報として所定の固定値に設定する。

これにより、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定範囲に制限がある等の理由で投影データｂｍが不足している状況下においても、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣのうち、周辺セルＡＲＣＢ以外の検査要部（半田部１０１）に対応した要部セルＡＲＣＡにおけるＸ線の減衰率ｘｎとして、より適切な減衰率ｘｎを導出することができる。このため、再構成部３９５は、検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に関して十分な画質の検査画像ＧＩを生成することが可能となる。

また、再構成部３９５が画像の再構成を行う際に周辺形状データＤＡを事前情報として参照することによって、周辺形状データＤＡを参照しない場合と比較して、少ない投影データｂｍで検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に関して十分な画質の検査画像ＧＩを生成することができる。これにより、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍの取得に要するトータル時間、並びに画像の再構成に要する時間を短縮することが可能であると共に、検査対象物１０ＡのＸ線の被曝量を低減することができる。

再構成部３９５が画像の再構成を行う際に周辺形状データＤＡを事前情報として参照することによって実現される上記の作用効果は、図９に示すサンプルデータＤＳＭを用いた画像の再構成結果によって実証されている。図９に示すサンプルデータＤＳＭは、矩形状の再構成対象領域が１０行／１０列の合計１００個のセルに分割されたものであって、再構成対象領域の中央に黒色の矩形環状の要部セルが配置されたものである。サンプルデータＤＳＭにおいては、矩形環状の要部セルに囲まれた４個のセルと、要部セルの周囲に存在する２行／２列ずつのセルとが周辺セルとして扱われる。

図９に示すように、サンプルデータＤＳＭについての画像の再構成を、事前情報を付加することなく行った場合、再構成処理の反復回数が５０回に達しても、矩形環状の要部セルに対応した黒色の領域部分が十分な画質で再現されていない。

これに対し、要部セルに対して上下２行ずつの周辺セルのＸ線の減衰率については事前情報として固定値を設定した状態で、サンプルデータＤＳＭについての画像の再構成を行った場合、矩形環状の要部セルに対応した黒色の領域部分が十分な画質で再現される。

再構成部３９５により生成された検査画像ＧＩは、第２記憶部３９８に記憶されると共に、表示制御部３９７によって制御された表示部３８に表示される。

判定部３９６は、再構成部３９５により生成された検査画像ＧＩに基づいて、検査対象物１０Ａにおける検査要部としての半田部１０１の良否を判定する。具体的には、判定部３９６は、検査画像ＧＩを画像処理することにより、半田部１０１における接合面１０４の接合幅ｄ（図４参照）を算出し、その算出した接合幅ｄに基づき半田部１０１の良否を判定する。

検査装置１の検査対象は、基板１２０上において半田部１０１によって接合された下面電極部品１００が存在する領域部分となる、上記の検査対象物１０Ａに限定されるものではない。検査装置１の検査対象は、図１０及び図１１に示す検査対象物１０Ｂであってもよい。図１０及び図１１に示す検査対象物１０Ｂは、基板１２０上においてフィレット１１２（半田部）によって接合されたリード１１１を有したリード部品１１０が存在する領域部分である。この場合、検査要部がリード１１１に隠れた部分となるフィレット１１２によって構成され、周辺部がリード部品１１０と基板１２０とによって構成される。

検査対象物１０Ｂにおいては、略矩形状に形成されたリード部品１１０の各辺から複数のリード１１１が外方に突出するように設けられている。リード１１１は、リード部品１１０の外方に突出する突出部１１１ａと、突出部１１１ａから屈曲して下方に垂下する脚部１１１ｂと、脚部１１１ｂの下端から屈曲して、先端側がリード部品１１０の外方（リード部品１１０と反対側の方向）に延びるヒール部１１１ｃと、を有している。リード１１１は、ヒール部１１１ｃの下面が半田付けされる。溶融した半田は、リード１１１の背面１１１ｄに濡れ拡がって、半田部としてのフィレット１１２となる。

検査対象物１０Ｂの検査において、フィレット１１２の良否は、背面１１１ｄに濡れ拡がったフィレット１１２の高さ（フィレット高さ）Ｈが基準高さＨｓに至っているか否かによって決定される。図１１（Ａ），（Ｂ）に示す例は、それぞれ半田（フィレット１１２）の量が幾分少ない場合、多い場合であるが、何れもフィレット１１２が基準となる高さＨｓを越えていて、良品とされる場合である。他方、図１１（Ｃ）の場合、リード１１１の背面１１１ｄに対してフィレット１１２が充分に濡れ拡がっておらず、強度不足や接続不良を来す不良品と判定されるものである。

検査対象物１０Ｂを検査する場合の周辺検査部２及びＸ線検査部３の動作について、図１２及び図１３を参照して以下に説明する。図１２は、検査対象物１０Ｂを検査する場合における周辺検査部２の動作を説明する図である。図１３は、検査対象物１０Ｂを検査する場合におけるＸ線検査部３の動作を説明する図である。

搬入コンベア４によって検査対象物１０Ｂが周辺検査部２の第１ステージ２２上に搬入されると、ステレオカメラ２１は、カメラ駆動部２４の駆動によって検査対象物１０Ｂのステレオ画像ＧＳを取得する。そして、図１２に示すように、データ生成部２６４は、ステレオカメラ２１により取得されたステレオ画像ＧＳに基づいて、検査対象物１０Ｂの周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを生成する。具体的に、データ生成部２６４は、ステレオ画像ＧＳに基づいて、基板上面高さ位置データＤＡ１と、部品上面高さ位置データＤＡ２と、リード上面高さ位置データＤＡ３と、リード外側面位置データＤＡ４とを含む位置データを、周辺形状データＤＡとして生成する。基板上面高さ位置データＤＡ１は、検査対象物１０Ｂの周辺部を構成する基板１２０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品上面高さ位置データＤＡ２は、検査対象物１０Ｂの周辺部を構成するリード部品１１０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。リード上面高さ位置データＤＡ３は、リード１１１のフィレット１１２との接合部分、すなわちヒール部１１１ｃの上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。リード外側面位置データＤＡ４は、リード１１１の外方側の側面、すなわち脚部１１１ｂの外側面（背面１１１ｄとは反対側の面）の位置に関する、リード部品１１０の端縁からの距離データである。

データ生成部２６４は、ステレオカメラ２１で取得されたステレオ画像ＧＳに基づくことによって、検査対象物１０Ｂにおける周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）の三次元形状に関する正確な周辺形状データＤＡを生成することができる。データ生成部２６４により生成された周辺形状データＤＡは、第１記憶部２６５に記憶されると共に、第１データ通信部２３を介してＸ線検査部３に送信される。データ生成部２６４による周辺形状データＤＡの生成が終了すると、第１搬送制御部２６２は、第１ステージ駆動部２５を制御して第１ステージ２２に、検査対象物１０ＢをＸ線検査部３へ搬出させる。

基板１２０上においてフィレット１１２によって接合されたリード部品１１０が存在する領域部分となる検査対象物１０Ｂでは、フィレット１１２は、リード１１１の背面１１１ｄに隠れている。このような、リード１１１の背面１１１ｄに隠れた部分となる検査要部としてのフィレット１１２は、Ｘ線検査部３によって適切に検査することができる。

Ｘ線検査部３の第２ステージ３３上に検査対象物１０Ｂが載置されると、透過方向設定部３９３は、Ｘ線検出器３２によるＸ線の検出に際し、検査対象物１０Ｂに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する。そして、撮像制御部３９４は、Ｘ線源３１と検査対象物１０ＢとＸ線検出器３２との位置関係が、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）を満たすように、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２を水平面上で移動させると共に、第２ステージ駆動部３７を介して第２ステージ３３を水平面上で移動させる。更に、撮像制御部３９４は、Ｘ線源駆動部３５を介してＸ線源３１によるＸ線の放射を制御すると共に、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２によるＸ線の検出を制御する。これにより、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍをＸ線検出器３２から出力させる。

図１３に示すように、再構成部３９５は、検査対象物１０Ｂの全体が収まる範囲を再構成対象領域ＡＲとして設定し（図１３（Ａ））、当該再構成対象領域ＡＲを複数のセルＡＲＣに分割する（図１３（Ｂ））。更に、再構成部３９５は、上記式（１）を用いて、透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍと、Ｘ線の透過距離ａｍｎとに基づいて、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを、逐次近似アルゴリズムに従い演算する。この際、再構成部３９５は、周辺検査部２により取得された周辺形状データＤＡを事前情報として参照する。具体的には、再構成部３９５は、図１３（Ｂ）に示すように、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、周辺形状データＤＡで示される周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）に属する少なくとも一部の周辺セルＡＲＣＢのＸ線の減衰率ｘｎについては、事前情報として所定の固定値（例えば「０；ゼロ」）に設定する。換言すると、再構成部３９５は、周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎについては固定値に設定した上で、検査対象物１０Ｂの検査要部（フィレット１１２）に対応した要部セルＡＲＣＡの減衰率ｘｎを演算することになる。

図１２及び図１３（Ｂ）を参照してより具体的に説明すると、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、基板上面高さ位置データＤＡ１で示される位置よりも下側のセルと、リード上面高さ位置データＤＡ３で示される位置よりも上側で且つリード外側面位置データＤＡ４で示される位置よりも外側のセルとを、周辺セルＡＲＣＢとして認識する。更に、再構成部３９５は、部品上面高さ位置データＤＡ２で示される位置よりも上側のセルについても周辺セルＡＲＣＢとして認識する。そして、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを演算する場合に、上記のようにして認識した周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎを、事前情報として所定の固定値に設定する。

これにより、検査対象物１０Ｂに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定範囲に制限がある等の理由で投影データｂｍが不足している状況下においても、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣのうち、周辺セルＡＲＣＢ以外の検査要部（フィレット１１２）に対応した要部セルＡＲＣＡにおけるＸ線の減衰率ｘｎとして、より適切な減衰率ｘｎを導出することができる。このため、再構成部３９５は、検査対象物１０Ｂの検査要部（フィレット１１２）に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

次に、図１４のフローチャートを参照して、本実施形態に係る検査装置１の動作について説明する。

搬入コンベア４によって検査対象物１０Ａ，１０Ｂが周辺検査部２の第１ステージ２２上に搬入されると（ステップｓ１）、周辺検査部２は、周辺形状データＤＡを取得する（ステップｓ２）。この周辺形状データＤＡは、第１データ通信部２３を介してＸ線検査部３の第２データ通信部３４へ送信される（ステップｓ３）。また、周辺検査部２による周辺形状データＤＡの取得が終了すると、第１搬送制御部２６２は、第１ステージ駆動部２５を制御して第１ステージ２２に、検査対象物１０Ａ，１０ＢをＸ線検査部３へ搬出させる（ステップｓ４）。

検査対象物１０Ａ，１０ＢがＸ線検査部３の第２ステージ３３上に搬入されると（ステップｓ５）、透過方向設定部３９３は、検査対象物１０Ａ，１０Ｂに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する（ステップｓ６）。そして、ステップｓ７において、撮像制御部３９４は、Ｘ線源３１と検査対象物１０ＢとＸ線検出器３２との位置関係が、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）を満たすように、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２を水平面上で移動させると共に、第２ステージ駆動部３７を介して第２ステージ３３を水平面上で移動させる。更に、撮像制御部３９４は、Ｘ線源駆動部３５を介してＸ線源３１によるＸ線の放射を制御すると共に、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２によるＸ線の検出を制御する。これにより、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍをＸ線検出器３２から出力させる。

ステップｓ７に続くステップｓ８において、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された全ての透過方向ψ（Ｒ，θ）について、Ｘ線検出器３２から投影データｂｍを出力させたか否かを判定する。全ての透過方向ψ（Ｒ，θ）についての投影データｂｍが出力されると、再構成部３９５は、画像の再構成処理を実行する（ステップｓ９）。再構成部３９５は、検査対象物１０Ａ，１０Ｂに対応した再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを、逐次近似アルゴリズムに従い演算する。この際、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、周辺形状データＤＡで示される周辺部に属する少なくとも一部の周辺セルＡＲＣＢのＸ線の減衰率ｘｎについては、事前情報として所定の固定値に設定する。再構成部３９５は、画像の再構成を行うことによって、検査対象物１０Ａ，１０Ｂに対応した検査画像を生成する。

再構成部３９５により生成された検査画像は、表示制御部３９７の制御によって表示部３８に表示される（ステップｓ１０）。また、判定部３９６は、再構成部３９５により生成された検査画像に基づいて、検査対象物１０Ａ，１０Ｂにおける検査要部の良否を判定する（ステップ１１）。このようなステップｓ１からステップｓ１１で示される各処理が実行されることにより、検査対象物１０Ａ，１０Ｂの検査を行うことができる。

［第２実施形態］
次に、図１５及び図１６を参照して、本発明の第２実施形態に係る検査装置１Ａについて説明する。図１５及び図１６は第２実施形態に係る検査装置１Ａを示す図であって、図１５が検査装置１Ａの構成を概略的に示し、図１６が検査装置１Ａのブロック図を示す。

検査装置１Ａは、周辺検査部２ＡとＸ線検査部３とを備える。検査装置１Ａは、周辺検査部２Ａの構成が上記の周辺検査部２と異なること以外は第１実施形態に係る検査装置１と同様に構成される。すなわち、検査装置１Ａに備えられるＸ線検査部３の構成は、第１実施形態に係る検査装置１と同様である。このため、検査装置１ＡのＸ線検査部３についての詳細な説明は省略する。また、検査装置１Ａの検査対象としては、第１実施形態に係る検査装置１と同様に、下面電極部品１００を含む検査対象物１０Ａ、並びに、リード部品１１０を含む検査対象物１０Ｂなどを挙げることができる。まず、検査対象物１０Ａの検査について説明する。

検査装置１Ａに備えられる周辺検査部２Ａは、検査対象物１０Ａの周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の、三次元の形状に関する周辺形状データＤＡを取得するユニットである。本実施形態の周辺検査部２Ａは、照明部２Ａ０と、撮像部２Ａ１と、第１ステージ２Ａ２と、第１データ通信部２Ａ３と、照明駆動部２Ａ４１と、撮像駆動部２Ａ４２と、第１ステージ駆動部２Ａ５と、周辺検査制御部２Ａ６とを含む。

第１ステージ２Ａ２は、検査対象物１０Ａを載置するステージである。第１ステージ２Ａ２は、コンベア機構で具体化されており、第１ステージ駆動部２Ａ５によってＸ方向に移動可能になっている。第１ステージ２Ａ２は、所定の検査位置で検査対象物１０Ａを停止させて保持することが可能なように構成されている。また、第１ステージ２Ａ２は、検査が終了した検査対象物１０Ａを前記検査位置からＸ方向に搬送して、Ｘ線検査部３に向かって検査対象物１０Ａを搬出することが可能なように構成されている。

図１５に示すように、第１ステージ２Ａ２のＸ方向上流側には、検査対象物１０Ａを周辺検査部２Ａの第１ステージ２Ａ２に搬入する搬入コンベア４が設置されている。搬入コンベア４は、所定の工程を終了した後、検査対象物１０Ａを第１ステージ２Ａ２上に搬入する。

照明部２Ａ０は、第１ステージ２Ａ２上において前記検査位置に停止された検査対象物１０Ａの斜め上方に位置するように配置され、照明駆動部２Ａ４１によって駆動される。照明部２Ａ０は、第１ステージ２Ａ２上の検査対象物１０Ａに照明光Ｌ１を照射する。図１７は周辺検査部２Ａの照明部２Ａ０を説明する図であり、図１８は照明部２Ａ０が照射する照明光Ｌ１を説明する図である。

図１７に示すように、照明部２Ａ０は、Ａ方向（第１方向）に延びる長手の基部２Ａ０１と、その基部２Ａ０１に設けられた複数の発光素子２Ａ０２から構成される複数の発光素子列２Ａ０Ｌと、を含む。発光素子２Ａ０２は、矩形状の発光ダイオードである。この発光素子２Ａ０２が所定の間隔を隔ててＡ方向に直線状に複数配列されることにより、Ａ方向に延びる発光素子列２Ａ０Ｌが構成される。基部２Ａ０１上において、Ａ方向に延びる発光素子列２Ａ０Ｌが、Ａ方向に直交するＢ方向（第２方向）に並んで複数配置されている。

照明部２Ａ０は、Ｂ方向に並ぶ複数の発光素子列２Ａ０Ｌを、発光素子列２Ａ０Ｌ毎に独立して点灯及び消灯することが可能なように構成されている。なお、図１７に示す例では、ハッチングが付された５つの発光素子列２Ａ０Ｌを構成する発光素子２Ａ０２を発光させた状態が示されている。

照明部２Ａ０は、複数の発光素子列２Ａ０Ｌの中から、互いに等間隔で離間した少なくとも３つの発光素子列２Ａ０Ｌを組み合わせて発光させる。これにより、照明部２Ａ０は、Ｂ方向に略正弦波状の明るさの分布を有する周期的な明暗パターン２Ａ０Ｐ（図１８（Ｂ）参照）を持つ照明光Ｌ１を照射するように構成される。例えば、図１８に示すように、照明部２Ａ０は、Ｂ方向に並ぶ複数の発光素子列２Ａ０Ｌのうち、互いに等間隔で離間した３つの発光素子列２Ａ０Ｌを組み合わせて発光させる。図１８（Ａ）に示すように、３つの発光素子列２Ａ０Ｌを構成する発光素子２Ａ０２からそれぞれ出射された光は、発光素子２Ａ０２からの距離に応じた光の減衰により、Ｂ方向について各発光素子２Ａ０２の配置位置を中心とした等方的な明るさの分布を形成する。このため、図１８（Ｂ）に示すように、３つの発光素子列２Ａ０Ｌを構成する発光素子２Ａ０２からそれぞれ出射された光を重ね合わせることによって、Ｂ方向の所定範囲ＲＡ内において略正弦波状の明るさの分布を有する周期的な明暗パターン２Ａ０Ｐが形成される。すなわち、照明部２Ａ０は、第１ステージ２Ａ２上の検査対象物１０Ａに、周期的な明暗パターン２Ａ０Ｐを持つ照明光Ｌ１を照射する。

撮像部２Ａ１は、第１ステージ２Ａ２上の検査対象物１０Ａの上方に位置するように配置され、撮像駆動部２Ａ４２によって駆動される。撮像部２Ａ１は、照明部２Ａ０による照明光Ｌ１が照射された検査対象物１０Ａを撮像する。

第１データ通信部２Ａ３は、Ｘ線検査部３の第２データ通信部３４とデータ通信可能に接続されたインターフェイスである。第１データ通信部２Ａ３は、周辺検査制御部２Ａ６のデータ生成部２Ａ６６によって生成された周辺形状データＤＡ（後記の図１９）を第２データ通信部３４へ送信する。なお、第１実施形態に係る検査装置１と同様に、周辺検査部２ＡとＸ線検査部３との間のデータ通信は、サーバーＳＶを介して行われるように構成してもよい。

周辺検査制御部２Ａ６は、例えば制御プログラムを記憶するＲＯＭや一時的にデータを記憶するフラッシュメモリ等の記憶装置が内蔵されたマイクロコンピュータからなる。周辺検査制御部２Ａ６は、前記制御プログラムが読み出されることにより、各種の演算やデータの生成及び記憶を実行すると共に、第１データ通信部２Ａ３、照明駆動部２Ａ４１、撮像駆動部２Ａ４２、及び第１ステージ駆動部２Ａ５を制御する。図１９は、周辺検査制御部２Ａ６の制御によって実行される周辺検査部２Ａの動作を説明する図である。

周辺検査制御部２Ａ６は、第１通信制御部２Ａ６１と、第１搬送制御部２Ａ６２と、照明制御部２Ａ６３と、周辺撮像制御部２Ａ６４と、位相シフト部２Ａ６５と、データ生成部２Ａ６６と、第１記憶部２Ａ６７とを含む。

第１通信制御部２Ａ６１は、第１データ通信部２Ａ３を制御することにより、当該第１データ通信部２Ａ３とＸ線検査部３の第２データ通信部３４との間のデータ通信、又はサーバーＳＶの通信部ＳＶ１を介したデータ通信を制御する。第１搬送制御部２Ａ６２は、第１ステージ駆動部２Ａ５を制御することにより、第１ステージ２Ａ２をＸ方向に移動させる。

照明制御部２Ａ６３は、照明駆動部２Ａ４１を制御することにより、照明部２Ａ０による照明光Ｌ１の照射を制御する。位相シフト部２Ａ６５は、第１ステージ２Ａ２上の検査対象物１０Ａに対する照明光Ｌ１の明暗パターン２Ａ０Ｐの位置を、明暗パターン２Ａ０Ｐの繰り返し方向（Ｂ方向）に相対的に移動させる位相シフト動作を行う。周辺撮像制御部２Ａ６４は、撮像駆動部２Ａ４２を制御することにより、位相シフト部２Ａ６５の位相シフト動作毎に、照明光Ｌ１が照射された検査対象物１０Ａを撮像部２Ａ１に撮像させる。これにより、撮像部２Ａ１は、図１９に示すように、照明光Ｌ１の明暗パターン２Ａ０Ｐの位置が互いに異なる複数の位相シフト画像ＧＰを取得する。図１９に示す例では、撮像部２Ａ１は、照明光Ｌ１の明暗パターン２Ａ０Ｐの位置が互いに異なる第１位相シフト画像ＧＰ１と第２位相シフト画像ＧＰ２とを取得する。

データ生成部２Ａ６６は、図１９に示すように、撮像部２Ａ１により取得された複数の位相シフト画像ＧＰに基づいて、検査対象物１０Ａの周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを生成する。具体的に、データ生成部２Ａ６６は、複数の位相シフト画像ＧＰに基づいて、基板上面高さ位置データＤＡ１と、部品上面高さ位置データＤＡ２と、部品下面端部位置データＤＡ４とを含む高さ位置データを、周辺形状データＤＡとして生成する。基板上面高さ位置データＤＡ１は、検査対象物１０Ａの周辺部を構成する基板１２０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品上面高さ位置データＤＡ２は、検査対象物１０Ａの周辺部を構成する下面電極部品１００の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品下面端部位置データＤＡ４は、下面電極部品１００の下面における水平方向の端部の、基板１２０の上面に対する位置を示すデータである。

データ生成部２Ａ６６は、撮像部２Ａ１で取得された複数の位相シフト画像ＧＰに基づくことによって、検査対象物１０Ａにおける周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）の三次元形状に関する正確な周辺形状データＤＡを生成することができる。データ生成部２Ａ６６により生成された周辺形状データＤＡは、第１記憶部２Ａ６７に記憶されると共に、第１データ通信部２Ａ３を介してＸ線検査部３に送信される。データ生成部２Ａ６６による周辺形状データＤＡの生成が終了すると、第１搬送制御部２Ａ６２は、第１ステージ駆動部２Ａ５を制御して第１ステージ２Ａ２に、検査対象物１０ＡをＸ線検査部３へ搬出させる。

図２０は、検査装置１Ａに備えられたＸ線検査部３の動作を説明する図である。Ｘ線検査部３の第２ステージ３３上に検査対象物１０Ａが載置されると、透過方向設定部３９３は、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する。そして、撮像制御部３９４は、Ｘ線源３１と検査対象物１０ＡとＸ線検出器３２との位置関係が、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）を満たすように、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２を水平面上で移動させると共に、第２ステージ駆動部３７を介して第２ステージ３３を水平面上で移動させる。更に、撮像制御部３９４は、Ｘ線源駆動部３５を介してＸ線源３１によるＸ線の放射を制御すると共に、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２によるＸ線の検出を制御する。これにより、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍをＸ線検出器３２から出力させる。

図２０に示すように、再構成部３９５は、検査対象物１０Ａの全体が収まる範囲を再構成対象領域ＡＲとして設定し（図２０（Ａ））、当該再構成対象領域ＡＲを複数のセルＡＲＣに分割する（図２０（Ｂ））。更に、再構成部３９５は、上記式（１）を用いて、透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍと、Ｘ線の透過距離ａｍｎとに基づいて、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを、逐次近似アルゴリズムに従い演算する。この際、再構成部３９５は、周辺検査部２Ａにより取得された周辺形状データＤＡを事前情報として参照する。具体的には、再構成部３９５は、図２０（Ｂ）に示すように、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、周辺形状データＤＡで示される周辺部（下面電極部品１００及び基板１２０）に属する少なくとも一部の周辺セルＡＲＣＢのＸ線の減衰率ｘｎについては、事前情報として所定の固定値（例えば「０；ゼロ」）に設定する。換言すると、再構成部３９５は、周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎについては固定値に設定した上で、検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に対応した要部セルＡＲＣＡの減衰率ｘｎを演算することになる。

図１９及び図２０（Ｂ）を参照してより具体的に説明すると、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、基板上面高さ位置データＤＡ１で示される位置よりも下側のセルと、部品上面高さ位置データＤＡ２で示される位置よりも上側のセルとを周辺セルＡＲＣＢとして認識する。更に、再構成部３９５は、部品下面端部位置データＤＡ４で示される位置よりも外側のセルについても周辺セルＡＲＣＢとして認識する。そして、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを演算する場合に、上記のようにして認識した周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎを、事前情報として所定の固定値に設定する。

これにより、検査対象物１０Ａに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定範囲に制限がある等の理由で投影データｂｍが不足している状況下においても、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣのうち、周辺セルＡＲＣＢ以外の検査要部（半田部１０１）に対応した要部セルＡＲＣＡにおけるＸ線の減衰率ｘｎとして、より適切な減衰率ｘｎを導出することができる。このため、再構成部３９５は、検査対象物１０Ａの検査要部（半田部１０１）に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

検査装置１Ａの検査対象は、基板１２０上において半田部１０１によって接合された下面電極部品１００が存在する領域部分となる、上記の検査対象物１０Ａに限定されるものではない。検査装置１Ａの検査対象は、基板１２０上においてフィレット１１２によって接合されたリード１１１を有したリード部品１１０が存在する領域部分となる、検査対象物１０Ｂであってもよい。

検査対象物１０Ｂを検査する場合の周辺検査部２Ａ及びＸ線検査部３の動作については、既述の図１２及び図１３を参照して以下に説明する。

搬入コンベア４によって検査対象物１０Ｂが周辺検査部２Ａの第１ステージ２Ａ２上に搬入されると、照明部２Ａ０は、検査対象物１０Ｂに周期的な明暗パターン２Ａ０Ｐを持つ照明光Ｌ１を照射する。そして、位相シフト部２Ａ６５は、検査対象物１０Ｂに対する照明光Ｌ１の明暗パターン２Ａ０Ｐの位置をＢ方向に相対的に移動させる位相シフト動作を行う。この状態で撮像部２Ａ１は、位相シフト部２Ａ６５の位相シフト動作毎に、照明光Ｌ１が照射された検査対象物１０Ｂを撮像し、照明光Ｌ１の明暗パターン２Ａ０Ｐの位置が互いに異なる複数の位相シフト画像ＧＰを取得する。

そして、データ生成部２Ａ６６は、撮像部２Ａ１により取得された複数の位相シフト画像ＧＰに基づいて、検査対象物１０Ｂの周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを生成する（既述の図１２参照）。具体的に、データ生成部２Ａ６６は、基板上面高さ位置データＤＡ１と、部品上面高さ位置データＤＡ２と、リード上面高さ位置データＤＡ３と、リード外側面位置データＤＡ４とを含む位置データを、周辺形状データＤＡとして生成する。基板上面高さ位置データＤＡ１は、検査対象物１０Ｂの周辺部を構成する基板１２０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。部品上面高さ位置データＤＡ２は、検査対象物１０Ｂの周辺部を構成するリード部品１１０の上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。リード上面高さ位置データＤＡ３は、リード１１１のフィレット１１２との接合部分、すなわちヒール部１１１ｃの上面の高さ位置に関する、基板１２０の下面からの距離データである。リード外側面位置データＤＡ４は、リード１１１の外方側の側面、すなわち脚部１１１ｂの外側面（背面１１１ｄとは反対側の面）の位置に関する、リード部品１１０の端縁からの距離データである。

データ生成部２Ａ６６は、撮像部２Ａ１により取得された複数の位相シフト画像ＧＰに基づくことによって、検査対象物１０Ｂにおける周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）の三次元形状に関する正確な周辺形状データＤＡを生成することができる。データ生成部２Ａ６６により生成された周辺形状データＤＡは、第１記憶部２Ａ６７に記憶されると共に、第１データ通信部２Ａ３を介してＸ線検査部３に送信される。データ生成部２Ａ６６による周辺形状データＤＡの生成が終了すると、第１搬送制御部２Ａ６２は、第１ステージ駆動部２Ａ５を制御して第１ステージ２Ａ２に、検査対象物１０ＢをＸ線検査部３へ搬出させる。

Ｘ線検査部３の第２ステージ３３上に検査対象物１０Ｂが載置されると、透過方向設定部３９３は、Ｘ線検出器３２によるＸ線の検出に際し、検査対象物１０Ｂに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）を複数設定する。そして、撮像制御部３９４は、Ｘ線源３１と検査対象物１０ＢとＸ線検出器３２との位置関係が、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）を満たすように、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２を水平面上で移動させると共に、第２ステージ駆動部３７を介して第２ステージ３３を水平面上で移動させる。更に、撮像制御部３９４は、Ｘ線源駆動部３５を介してＸ線源３１によるＸ線の放射を制御すると共に、検出器駆動部３６を介してＸ線検出器３２によるＸ線の検出を制御する。これにより、撮像制御部３９４は、透過方向設定部３９３により設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍをＸ線検出器３２から出力させる。

再構成部３９５は、検査対象物１０Ｂの全体が収まる範囲を再構成対象領域ＡＲとして設定し（既述の図１３（Ａ）参照）、当該再構成対象領域ＡＲを複数のセルＡＲＣに分割する（既述の図１３（Ｂ）参照）。更に、再構成部３９５は、上記式（１）を用いて、透過方向ψ（Ｒ，θ）毎の投影データｂｍと、Ｘ線の透過距離ａｍｎとに基づいて、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを、逐次近似アルゴリズムに従い演算する。この際、再構成部３９５は、周辺検査部２Ａにより取得された周辺形状データＤＡを事前情報として参照する。具体的には、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、周辺形状データＤＡで示される周辺部（リード部品１１０及び基板１２０）に属する少なくとも一部の周辺セルＡＲＣＢのＸ線の減衰率ｘｎについては、事前情報として所定の固定値（例えば「０；ゼロ」）に設定する。換言すると、再構成部３９５は、周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎについては固定値に設定した上で、検査対象物１０Ｂの検査要部（フィレット１１２）に対応した要部セルＡＲＣＡの減衰率ｘｎを演算することになる。

具体的に説明すると、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成する複数のセルＡＲＣのうち、基板上面高さ位置データＤＡ１で示される位置よりも下側のセルと、リード上面高さ位置データＤＡ３で示される位置よりも上側で且つリード外側面位置データＤＡ４で示される位置よりも外側のセルとを、周辺セルＡＲＣＢとして認識する。更に、再構成部３９５は、部品上面高さ位置データＤＡ２で示される位置よりも上側のセルについても周辺セルＡＲＣＢとして認識する。そして、再構成部３９５は、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣ毎のＸ線の減衰率ｘｎを演算する場合に、上記のようにして認識した周辺セルＡＲＣＢの減衰率ｘｎを、事前情報として所定の固定値に設定する。

これにより、検査対象物１０Ｂに対するＸ線の透過方向ψ（Ｒ，θ）の設定範囲に制限がある等の理由で投影データｂｍが不足している状況下においても、再構成対象領域ＡＲを構成するセルＡＲＣのうち、周辺セルＡＲＣＢ以外の検査要部（フィレット１１２）に対応した要部セルＡＲＣＡにおけるＸ線の減衰率ｘｎとして、より適切な減衰率ｘｎを導出することができる。このため、再構成部３９５は、検査対象物１０Ｂの検査要部（フィレット１１２）に関して十分な画質の検査画像を生成することが可能となる。

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を取り得る。

上記の実施形態では、周辺形状データＤＡを取得する周辺検査部として、ステレオカメラ２１を含む構成の周辺検査部２（図１及び図２）、位相シフト部２Ａ６５を含む構成の周辺検査部２Ａ（図１５及び図１６）について説明したが、このような構成に限定されるものではない。周辺検査部は、検査対象物１０Ａ，１０Ｂにおける周辺部の三次元形状に関する周辺形状データＤＡの取得が可能であれば、その構成は特に限定されるものではない。例えば、光切断法やフォトメトリックステレオ法などが採用された構成を、周辺検査部としてもよい。

光切断法は、投光光学系により生成されたライン状のレーザ光を検査対象物１０Ａ，１０Ｂに照射し、その反射光をイメージングセンサで受光し三角測距することで、検査対象物１０Ａ，１０Ｂにおける周辺部の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを取得する手法である。光切断法では、検査対象物１０Ａ，１０Ｂを移動させることで、検査対象物１０Ａ，１０Ｂ全体の計測が行われる。フォトメトリックステレオ法は、検査対象物１０Ａ，１０Ｂを同一地点から照明の照射方向を変えた画像を複数枚撮像し、検査対象物１０Ａ，１０Ｂ中の各領域部分の明るさの変化に基づいて、検査対象物１０Ａ，１０Ｂにおける周辺部の三次元形状に関する周辺形状データＤＡを取得する手法である。

１，１Ａ 検査装置
２，２Ａ 周辺検査部
２１ ステレオカメラ
２６ 周辺検査制御部
２６４ データ生成部
２Ａ０ 照明部
２Ａ０Ｐ 明暗パターン
２Ａ１ 撮像部
２Ａ６ 周辺検査制御部
２Ａ６５ 位相シフト部
２Ａ６６ データ生成部
３ Ｘ線検査部
３１ Ｘ線源
３２ Ｘ線検出器
３９ Ｘ線検査制御部
３９３ 透過方向設定部
３９５ 再構成部
１０Ａ，１０Ｂ 検査対象物
１００ 下面電極部品（周辺部）
１０１ 半田部（検査要部）
１１０ リード部品（周辺部）
１１１ リード
１１２ フィレット（半田部：検査要部）
１２０ 基板（周辺部）
ＡＲ 再構成対象領域
ＡＲＣ セル
ＡＲＣＡ 要部セル
ＡＲＣＢ 周辺セル
ＤＡ 周辺形状データ
ＤＡ１ 基板上面高さ位置データ
ＤＡ２ 部品上面高さ位置データ
ＤＡ３ 部品下面高さ位置データ、リード上面高さ位置データ
ＤＡ４ 部品下面端部位置データ、リード外側面位置データ
ＧＩ 検査画像
ＧＰ 位相シフト画像
ＧＳ ステレオ画像
Ｌ１ 照明光
ａｍｎ 透過距離
ｂｍ 投影データ
ψ（Ｒ，θ） 透過方向
ｘｎ 減衰率

Claims (4)

1. 検査要部及びその周辺の周辺部を有する検査対象物を検査する検査装置であって、
   前記周辺部の三次元の形状に関する周辺形状データを取得する周辺検査部と、
   前記周辺形状データを参照しつつ、前記検査要部を含む前記検査対象物全体のＸ線画像からなる検査画像を生成するＸ線検査部と、を備え、
   前記Ｘ線検査部は、
   前記検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、
   前記検査対象物を透過したＸ線を検出し、当該Ｘ線の強度に基づく投影データを出力するＸ線検出器と、
   前記検査対象物に対するＸ線の透過方向を複数設定する透過方向設定部と、
   前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器を制御し、前記Ｘ線検出器によって前記透過方向毎の前記投影データを出力させる撮像制御部と、
   前記検査対象物の全体が収まる範囲を再構成対象領域として設定して当該再構成対象領域を複数のセルに分割し、前記透過方向毎の前記投影データと、各前記セル内をＸ線が透過する距離を示す透過距離とに基づいて、前記セル毎のＸ線の減衰率を逐次近似アルゴリズムに従い演算することにより、画像の再構成を行って前記検査画像を生成する再構成部と、を含み、
   前記再構成部は、前記周辺形状データに基づいて、前記再構成対象領域を構成する前記複数のセルのうち、前記周辺部に属する周辺セルを認識し、前記セル毎のＸ線の減衰率を演算する場合に、少なくとも一部の前記周辺セルのＸ線の減衰率については、事前情報として所定の固定値に設定する、検査装置。
2. 前記周辺検査部は、
   前記検査対象物を複数の異なる方向から撮像することでステレオ画像を取得するステレオカメラと、
   前記ステレオ画像に基づいて、前記周辺部の前記周辺形状データを生成するデータ生成部と、を含む、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記周辺検査部は、
   前記検査対象物に周期的な明暗パターンを持つ照明光を照射する照明部と、
   前記検査対象物に対する前記照明光の明暗パターンの位置を、明暗パターンの繰り返し方向に相対的に移動させる位相シフト動作を行う位相シフト部と、
   前記位相シフト部の前記位相シフト動作毎に、前記照明光が照射された前記検査対象物を撮像し、前記照明光の明暗パターンの位置が互いに異なる複数の画像を取得する撮像部と、
   前記複数の画像に基づいて、前記周辺部の前記周辺形状データを生成するデータ生成部と、を含む、請求項１に記載の検査装置。
4. 前記検査対象物は、基板上において半田部によって接合されたリードを有したリード部品が存在する領域部分であって、前記検査要部が前記半田部によって構成され、前記周辺部が前記リード部品と前記基板とによって構成されたものであり、
   前記周辺検査部は、前記基板の上面の高さ位置に関する基板上面高さ位置データと、前記リードの前記半田部との接合部分の上面の高さ位置に関するリード上面高さ位置データと、前記リードの外方側の側面の位置に関するリード外側面位置データとを少なくとも含む位置データを、前記周辺形状データとして取得し、
   前記再構成部は、前記再構成対象領域を構成する前記複数のセルのうち、前記基板上面高さ位置データで示される位置よりも下側のセルと、前記リード上面高さ位置データで示される位置よりも上側で且つ前記リード外側面位置データで示される位置よりも外側のセルとを前記周辺セルとして認識し、当該周辺セルのＸ線の減衰率を前記固定値に設定する、請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置。

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