JP7393985B2

JP7393985B2 - Optical fiber preform manufacturing device and optical fiber preform manufacturing method

Info

Publication number: JP7393985B2
Application number: JP2020044776A
Authority: JP
Inventors: 正高橋
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 2020-03-13
Filing date: 2020-03-13
Publication date: 2023-12-07
Anticipated expiration: 2040-03-13
Also published as: JP2021143115A

Description

本発明は、光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法に関する。 The present invention relates to an optical fiber preform manufacturing apparatus and an optical fiber preform manufacturing method.

特許文献１には、回転する出発ロッドに対向するように配置されたバーナーアレイを出発ロッドと平行に往復運動させながらバーナーで合成されるガラス微粒子を出発ロッドの表面に堆積させるガラス微粒子堆積体の製造方法が記載されている。また、特許文献１に記載の製造方法は、堆積を行う方向に移動している第１のバーナーアレイのバーナーのうち出発ロッドの堆積開始位置にきたバーナーから順次原料の供給を開始し、出発ロッドの堆積終了位置にきたバーナーから順次原料の供給を停止する。さらに、特許文献１に記載の製造方法は、全てのバーナーへの原料供給が停止したバーナーアレイを、移動方向を反転させてバーナーへの原料の供給を開始する前の位置に戻し、ガラス微粒子の堆積を行う操作を繰り返す。 Patent Document 1 discloses a glass particle depositing body in which glass particles synthesized by the burner are deposited on the surface of the starting rod while reciprocating a burner array arranged to face a rotating starting rod in parallel with the starting rod. The manufacturing method is described. In addition, in the manufacturing method described in Patent Document 1, the supply of raw materials is sequentially started from the burner of the first burner array that is moving in the direction of deposition, which has reached the deposition start position of the starting rod, and The supply of raw materials is stopped sequentially from the burner that has reached the deposition end position. Furthermore, the manufacturing method described in Patent Document 1 reverses the movement direction of the burner array in which the supply of raw materials to all burners has stopped and returns it to the position before starting the supply of raw materials to the burners, so that glass fine particles are Repeat the operation to perform the deposition.

特許文献２には、コアロッドの両端部にダミーロッドを溶着した出発部材を軸周りに回転させつつ、出発部材とバーナーを相対往復移動させて、出発部材の表面にガラス微粒子を堆積させ光ファイバ母材を製造する方法が記載されている。特許文献２に記載の製造方法は、バーナーを相対往復移動させる相対往復移動軸を出発部材と平行に２軸以上配置し、各移動軸にバーナーを出発部材に向けて装着し、出発部材端でのバーナーの折り返し移動（トラバース）毎に各移動軸のバーナーの移動速度を変化させる。 Patent Document 2 discloses that a starting member having dummy rods welded to both ends of a core rod is rotated around an axis while the starting member and a burner are relatively reciprocated to deposit glass particles on the surface of the starting member to form an optical fiber motherboard. A method of manufacturing the material is described. In the manufacturing method described in Patent Document 2, two or more relative reciprocating axes for relatively reciprocating the burner are arranged parallel to the starting member, a burner is attached to each moving axis facing the starting member, and the burner is attached at the end of the starting member. The moving speed of the burner on each moving axis is changed every time the burner turns back (traverse).

特許第３５２１８６５号公報Patent No. 3521865 特許第６２４５６４８号公報Patent No. 6245648

しかしながら、特許文献１に記載の製造方法では、バーナーへの原料の供給の開始及び停止が繰り返されるため、バーナーへの原料の供給が不安定である。この結果、特許文献１に記載の製造方法では、高品質のガラス微粒子堆積体を製造することは困難である。 However, in the manufacturing method described in Patent Document 1, the supply of raw materials to the burner is unstable because the supply of raw materials to the burner is repeatedly started and stopped. As a result, it is difficult to manufacture a high quality glass particle deposit using the manufacturing method described in Patent Document 1.

また、特許文献２に記載の製造方法では、折り返し移動が行われるバーナーに対して均一な排気が困難であるため、高品質の光ファイバ母材を製造することは困難である。特に大型の光ファイバ母材を高速に製造する場合、特許文献２に記載の製造方法では、均一な排気の困難性により高品質の光ファイバ母材を製造することは困難である。 Further, in the manufacturing method described in Patent Document 2, it is difficult to uniformly exhaust the burner that is folded and moved, so it is difficult to manufacture a high-quality optical fiber preform. In particular, when manufacturing a large optical fiber preform at high speed, it is difficult to manufacture a high-quality optical fiber preform using the manufacturing method described in Patent Document 2 due to the difficulty of uniform exhaustion.

本発明の目的は、上述した課題を鑑み、高品質の光ファイバ母材を高い効率で製造することができる光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。 In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to provide an optical fiber preform manufacturing apparatus and an optical fiber preform manufacturing method that can manufacture high-quality optical fiber preforms with high efficiency.

本発明の一観点によれば、ブランクロッドの中心軸を回転軸として前記ブランクロッドを回転可能に把持し、第１の可動範囲において前記ブランクロッドの中心軸に沿った移動方向に移動可能な把持部と、前記ブランクロッドに堆積するガラス粒子を生成するための火炎を形成し、前記移動方向における長さが前記第１の可動範囲よりも短い第２の可動範囲において定位置から前記移動方向に移動可能な複数のバーナーと、前記把持部及び前記複数のバーナーを制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記把持部により前記ブランクロッドを回転させながら、前記火炎を形成した前記複数のバーナーを停止させつつ前記把持部を移動させ、前記把持部を停止させつつ前記火炎を形成した前記複数のバーナーを移動させることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, the blank rod is rotatably gripped with the central axis of the blank rod as a rotation axis, and the grip is movable in a movement direction along the central axis of the blank rod in a first movable range. and forming a flame for generating glass particles to be deposited on the blank rod, and moving from the home position to the moving direction in a second movable range whose length in the moving direction is shorter than the first movable range. It has a plurality of movable burners, and a control section that controls the gripping section and the plurality of burners, and the control section controls the plurality of burners that have formed the flame while rotating the blank rod with the gripping section. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform is provided, characterized in that the gripping section is moved while the burner is stopped, and the plurality of burners that have formed the flame are moved while the gripping section is stopped.

本発明の他の観点によれば、ブランクロッドの中心軸を回転軸として前記ブランクロッドを回転可能に把持し、第１の可動範囲において前記ブランクロッドの中心軸に沿った移動方向に移動可能な把持部と、前記ブランクロッドに堆積するガラス粒子を生成するための火炎を形成し、前記移動方向における長さが前記第１の可動範囲よりも短い第２の可動範囲において定位置から前記移動方向に移動可能な複数のバーナーとを有する光ファイバ母材の製造装置を用いた光ファイバ母材の製造方法であって、前記把持部により前記ブランクロッドを回転させながら、前記火炎を形成した前記複数のバーナーを停止させつつ前記把持部を移動させ、前記把持部を停止させつつ前記火炎を形成した前記複数のバーナーを移動させて、前記ブランクロッドに前記ガラス微粒子を堆積させることを特徴とする光ファイバ母材の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, the blank rod is rotatably gripped with the central axis of the blank rod as a rotation axis, and the blank rod is movable in a movement direction along the central axis of the blank rod in a first movable range. a gripping portion and a flame for generating glass particles to be deposited on the blank rod, and a second movable range in which the length in the moving direction is shorter than the first movable range from the home position in the moving direction. A method for manufacturing an optical fiber preform using an apparatus for manufacturing an optical fiber preform having a plurality of burners movable to a plurality of burners, wherein the plurality of flames are formed while the blank rod is rotated by the gripping section. The light is characterized in that the glass particles are deposited on the blank rod by moving the gripping part while stopping the burner, and moving the plurality of burners that have formed the flame while stopping the gripping part. A method of manufacturing a fiber preform is provided.

本発明によれば、高品質の光ファイバ母材を高い効率で製造することができる。 According to the present invention, a high quality optical fiber preform can be manufactured with high efficiency.

図１は、本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図２は、本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造方法を示す概略図（その１）である。FIG. 2 is a schematic diagram (part 1) showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. 図３は、本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造方法を示す概略図（その２）である。FIG. 3 is a schematic diagram (Part 2) showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. 図４は、本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造方法を示す概略図（その３）である。FIG. 4 is a schematic diagram (Part 3) showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. 図５は、本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造方法を示す概略図（その４）である。FIG. 5 is a schematic diagram (Part 4) showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention. 図６は、第１の参考例による光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。FIG. 6 is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a first reference example. 図７は、第２の参考例による光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。FIG. 7 is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus according to a second reference example.

［一実施形態］
本発明の一実施形態による光ファイバ母材の製造装置及び光ファイバ母材の製造方法について図１乃至図７を用いて説明する。 [One embodiment]
An apparatus for manufacturing an optical fiber preform and a method for manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7.

ここで、以下の説明において用いる方向を定義する。まず、水平方向に沿った方向をＸ方向とする。また、Ｘ方向と直交する方向である鉛直方向に沿った方向をＺ方向とする。また、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向に沿った方向をＹ方向とする。また、Ｘ方向のうち、一方の方向を＋Ｘ方向、＋Ｘ方向とは逆の他方の方向を－Ｘ方向とする。なお、Ｘ方向は、必ずしも水平方向に沿った方向である必要はないが、その場合もＸ方向を基準に同様に、Ｘ方向と直交する方向に沿った方向をＺ方向、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向に沿った方向をＹ方向として定めることができる。また、Ｘ方向、Ｙ方向及びＸ方向は、必ずしも互いに直交する方向に限定されるものではなく、互いに交差する方向として定義することもできる。 Here, the directions used in the following explanation will be defined. First, let the direction along the horizontal direction be the X direction. Further, the direction along the vertical direction, which is a direction perpendicular to the X direction, is defined as the Z direction. Further, the direction along the direction orthogonal to the X direction and the Z direction is defined as the Y direction. Further, among the X directions, one direction is the +X direction, and the other direction opposite to the +X direction is the −X direction. Note that the X direction does not necessarily have to be a direction along the horizontal direction, but in that case, similarly, the direction along the direction perpendicular to the X direction is the Z direction, and the X direction and the Z direction. The direction along the direction perpendicular to can be defined as the Y direction. Moreover, the X direction, the Y direction, and the X direction are not necessarily limited to directions that are orthogonal to each other, but can also be defined as directions that intersect with each other.

まず、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置の構成について図１を用いて説明する。図１は、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。図１（ａ）は、＋Ｙ方向に見た光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。図１（ｂ）は、－Ｘ方向に見た光ファイバ母材の製造装置を示す概略図である。 First, the configuration of the optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present embodiment will be described using FIG. 1. FIG. 1 is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus according to the present embodiment. FIG. 1(a) is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus viewed in the +Y direction. FIG. 1(b) is a schematic diagram showing the optical fiber preform manufacturing apparatus as viewed in the −X direction.

本実施形態による光ファイバ母材の製造装置は、例えばＯＶＤ（Outside Vapor Deposition）法により光ファイバ母材を製造する製造装置である。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示すように、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０は、装置ベース１２と、ブランクロッド１４を把持する把持部１６ａ、１６ｂとを有している。また、光ファイバ母材の製造装置１０は、バーナー台１８と、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、排気フード２２と、制御装置２４とを有している。なお、本実施形態では、３つのバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが設置されたバーナー数ｎが３の場合を例に説明するが、バーナー数ｎは２以上の複数であれば特に限定されるものではない。 The optical fiber preform manufacturing apparatus according to this embodiment is a manufacturing apparatus that manufactures an optical fiber preform by, for example, an OVD (Outside Vapor Deposition) method. As shown in FIGS. 1(a) and 1(b), an optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment includes an apparatus base 12 and gripping parts 16a and 16b that grip a blank rod 14. ing. The optical fiber preform manufacturing apparatus 10 also includes a burner stand 18, a plurality of burners 20a, 20b, 20c, an exhaust hood 22, and a control device 24. In addition, in this embodiment, the case where the number of burners n is 3, in which three burners 20a, 20b, and 20c are installed, will be explained as an example, but the number n of burners is not particularly limited as long as it is a plurality of 2 or more. do not have.

装置ベース１２は、把持部１６ａ、１６ｂ及びバーナー台１８を支持する支持部として機能する。装置ベース１２は、後述するように所定の可動範囲において把持部１６ａ、１６ｂがＸ方向に移動できるように把持部１６ａ、１６ｂを支持する。また、装置ベース１２は、装置ベース１２の中央位置においてバーナー台１８を支持する。装置ベース１２は、特に限定されるものではないが、例えば、把持部１６ａ、１６ｂ及びバーナー台１８をあわせて又は個別に支持する台状、板状、枠状の構造体である。 The device base 12 functions as a support section that supports the grips 16a and 16b and the burner stand 18. The device base 12 supports the gripping parts 16a, 16b so that the gripping parts 16a, 16b can move in the X direction within a predetermined movable range, as will be described later. Further, the device base 12 supports a burner stand 18 at a central position of the device base 12 . The device base 12 is, for example, a platform-shaped, plate-shaped, or frame-shaped structure that supports the grips 16a, 16b and the burner stand 18 together or individually, although the device base 12 is not particularly limited.

ブランクロッド１４は、光ファイバ母材を形成するための円柱棒状の芯材である。ブランクロッド１４の外周面には、後述するように複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されたスートと呼ばれる例えば石英ガラスのガラス微粒子が堆積して、ガラス微粒子の堆積体からなる多孔質の光ファイバ母材が形成される。堆積するガラス微粒子は、特に限定されるものではなく、製造条件によって変わりうるが、例えば、粒径０．０１μｍ～数μｍのガラス粒子である。 The blank rod 14 is a cylindrical rod-shaped core material for forming an optical fiber preform. On the outer circumferential surface of the blank rod 14, glass fine particles of silica glass, for example, called soot, which are generated by a plurality of burners 20a, 20b, and 20c, are deposited as described later, and a porous light consisting of a deposit of glass fine particles is deposited. A fiber preform is formed. The deposited glass particles are not particularly limited and may vary depending on the manufacturing conditions, but are, for example, glass particles with a particle size of 0.01 μm to several μm.

把持部１６ａ、１６ｂは、ブランクロッド１４の中心軸を回転軸としてブランクロッド１４を回転可能に把持する。把持部１６ａ、１６ｂは、Ｘ方向においてブランクロッド１４を把持可能な間隔を空けて設置されている。把持部１６ａはブランクロッド１４の一端を、把持部１６ｂはブランクロッド１４の他端を回転可能に把持する。これにより、把持部１６ａ、１６ｂは、ブランクロッド１４の中心軸がＸ方向に沿うように把持するとともに、ブランクロッド１４の中心軸を回転軸としてブランクロッド１４を回転可能に把持する。 The gripping parts 16a and 16b rotatably grip the blank rod 14 with the central axis of the blank rod 14 as a rotation axis. The gripping portions 16a and 16b are installed at a distance that allows them to grip the blank rod 14 in the X direction. The grip portion 16a rotatably grips one end of the blank rod 14, and the grip portion 16b rotatably grips the other end of the blank rod 14. Thereby, the gripping parts 16a and 16b grip the blank rod 14 so that the central axis of the blank rod 14 is along the X direction, and grip the blank rod 14 rotatably with the central axis of the blank rod 14 as a rotation axis.

また、把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、ブランクロッド１４の中心軸を回転軸としてブランクロッド１４を回転させるように構成されている。把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、ブランクロッド１４を回転させる回転速度を変更することができる。 Moreover, the gripping parts 16a and 16b are configured to rotate the blank rod 14 with the central axis of the blank rod 14 as a rotation axis under the control of the control device 24. The gripping parts 16a and 16b can change the rotational speed at which the blanking rod 14 is rotated under the control of the control device 24.

また、把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、所定の可動範囲においてブランクロッド１４の中心軸に沿った移動方向であるＸ方向に移動可能に構成されている。具体的には、把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、装置ベース１２上における所定の可動範囲において＋Ｘ方向への移動と－Ｘ方向への移動とを交互に繰り返すことができるように構成されている。把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への移動における移動速度及び移動方向を変更することができる。把持部１６ａ、１６ｂの移動機構は、特に限定されるものではないが、例えば、リニアモータ、ボールねじ等による移動機構である。 Moreover, the gripping parts 16a and 16b are configured to be movable in the X direction, which is the moving direction along the central axis of the blank rod 14, within a predetermined movable range under the control of the control device 24. Specifically, the gripping parts 16a and 16b are configured so that they can alternately move in the +X direction and the -X direction within a predetermined movable range on the device base 12 under the control of the control device 24. It is composed of The gripping parts 16a and 16b can change the speed and direction of movement in the +X direction and the -X direction under the control of the control device 24. The movement mechanism for the gripping parts 16a, 16b is not particularly limited, but may be, for example, a movement mechanism using a linear motor, a ball screw, or the like.

把持部１６ａ、１６ｂが＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への移動を交互に繰り返す可動範囲のＸ方向における長さである可動範囲長は、それぞれＬ０である。把持部１６ａ、１６ｂの可動範囲長Ｌ０は、後述のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲長Ｌ１よりも長く設定されている。 The movable range length, which is the length in the X direction of the movable range in which the gripping parts 16a and 16b alternately repeat movement in the +X direction and the -X direction, is L0. The movable range length L0 of the grips 16a, 16b is set longer than the movable range length L1 of the burners 20a, 20b, 20c, which will be described later.

バーナー台１８は、把持部１６ａ、１６ｂにより把持されたブランクロッド１４に対して一方の側である下側に位置するように装置ベース１２の中央位置に固定されて設置されている。バーナー台１８は、後述するように所定の可動範囲において複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが移動できるようにバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを支持する。 The burner stand 18 is fixedly installed at the center of the device base 12 so as to be located on one side, which is the lower side, of the blank rod 14 held by the gripping parts 16a and 16b. The burner stand 18 supports the burners 20a, 20b, 20c so that the burners 20a, 20b, 20c can move within a predetermined movable range, as will be described later.

複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、所定の可動範囲においてブランクロッド１４の中心軸に沿った移動方向であるＸ方向にそれぞれの定位置から移動可能に構成されている。具体的には、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、バーナー台１８上における所定の可動範囲において＋Ｘ方向への移動と－Ｘ方向への移動とを交互に繰り返すことができるように構成されている。 The plurality of burners 20a, 20b, and 20c are configured to be movable from their respective fixed positions in the X direction, which is the moving direction along the central axis of the blank rod 14, within a predetermined movable range under the control of the control device 24. . Specifically, the plurality of burners 20a, 20b, and 20c alternately move in the +X direction and in the -X direction within a predetermined movable range on the burner stand 18 under the control of the control device 24. It is configured so that it can be done.

複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、バーナー台１８のＸ方向における一端から他端の間においてＸ方向及びＹ方向のそれぞれにおいて等間隔にＸ方向に対して斜めに並ぶように設定された複数の位置をそれぞれの定位置として設置されている。これにより、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、それらの移動方向であるＸ方向に対して交差する方向であるＹ方向にずらされて設置されている。このように複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの定位置がＸ方向に対して斜めに並んでいるため、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、互いに干渉することなく、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向に移動することができるようになっている。複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への移動における移動速度及び移動方向を変更することができる。複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動機構は、特に限定されるものではないが、例えば、リニアモータ、ボールねじ等による移動機構である。 The plurality of burners 20a, 20b, and 20c are a plurality of burners arranged diagonally with respect to the X direction at equal intervals in each of the X direction and the Y direction between one end and the other end in the X direction of the burner stand 18. Each position is set as a fixed position. Thereby, the plurality of burners 20a, 20b, and 20c are installed so as to be shifted in the Y direction, which is a direction that intersects with the X direction, which is the direction in which they move. Since the fixed positions of the plurality of burners 20a, 20b, 20c are arranged diagonally with respect to the X direction, each burner 20a, 20b, 20c can move in the +X direction and -X direction without interfering with each other. It is now possible to do so. The plurality of burners 20a, 20b, and 20c can change the speed and direction of movement in the +X direction and −X direction under the control of the control device 24. The movement mechanism for the plurality of burners 20a, 20b, and 20c is not particularly limited, but may be a movement mechanism using a linear motor, a ball screw, or the like, for example.

複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが＋Ｘ方向及び－Ｘ方向への移動を交互に繰り返す可動範囲は、Ｘ方向におけるバーナー台１８の一端に位置する最外端のバーナー２０ａの定位置と他端に位置する最外端のバーナー２０ｃの定位置との間の範囲である。複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲のＸ方向における長さである可動範囲長Ｌ１は、把持部１６ａ、１６ｂの可動範囲長Ｌ０よりも短く設定されている。なお、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲長Ｌ１は、Ｘ方向におけるバーナー台１８の一端に位置する一方の最外端のバーナー２０ａの定位置と他端に位置する他方の最外端のバーナー２０ｃの定位置との間の距離Ｌ３に一致する。 The movable range in which the plurality of burners 20a, 20b, and 20c alternately repeat movement in the +X direction and the -X direction is between the fixed position of the outermost burner 20a located at one end of the burner table 18 in the X direction and the other end. This is the range between the normal position of the outermost burner 20c. The movable range length L1, which is the length in the X direction of the movable range of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c, is set shorter than the movable range length L0 of the grips 16a, 16b. In addition, the movable range length L1 of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c is the normal position of one outermost burner 20a located at one end of the burner stand 18 in the X direction and the other outermost end located at the other end. This corresponds to the distance L3 between the burner 20c and the fixed position of the burner 20c.

各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、ブランクロッド１４に向けて、ガラス微粒子を生成するための火炎を噴出口から形成する。各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、Ｘ方向及びＹ方向において、互いに隣接するバーナーの定位置の間の距離よりも小さい幅の火炎を形成することが好ましい。図１（ａ）に示す場合、Ｘ方向におけるバーナー台１８の一端に位置する一方の最外端のバーナー２０ａの定位置と他端に位置する他方の最外端のバーナー２０ｃの定位置との間の距離は、Ｌ３である。距離Ｌ３を用いると、Ｘ方向において互いに隣接するバーナーの定位置の間の距離は、Ｌ３×（１／２）と表される。したがって、この場合、Ｘ方向における火炎の幅Ｌ２は、Ｌ２＜Ｌ３×（１／２）を満足することが好ましい。バーナー数がｎの場合に一般化すると、火炎の幅Ｌ２は、Ｌ２＜Ｌ３×｛１／（ｎ－１）｝を満足することが好ましい。火炎の幅Ｌ２がこのような関係を満足することにより、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより形成される火炎の相互の干渉を回避してガラス微粒子の堆積効率を向上することができる。Ｙ方向においても、火炎の幅は、Ｘ方向における関係と同様の関係を満足することが好ましい。 Each of the burners 20a, 20b, and 20c forms a flame toward the blank rod 14 from its ejection port for producing glass particles. Preferably, each burner 20a, 20b, 20c forms a flame with a width smaller than the distance between the fixed positions of adjacent burners in the X and Y directions. In the case shown in FIG. 1(a), the normal position of one outermost burner 20a located at one end of the burner stand 18 in the X direction and the normal position of the other outermost burner 20c located at the other end The distance between them is L3. Using the distance L3, the distance between the fixed positions of adjacent burners in the X direction is expressed as L3×(1/2). Therefore, in this case, it is preferable that the width L2 of the flame in the X direction satisfies L2<L3×(1/2). Generalizing when the number of burners is n, it is preferable that the flame width L2 satisfies L2<L3×{1/(n−1)}. When the flame width L2 satisfies this relationship, mutual interference between the flames formed by the burners 20a, 20b, and 20c can be avoided and the deposition efficiency of glass particles can be improved. It is preferable that the width of the flame also satisfy the same relationship in the Y direction as in the X direction.

なお、火炎の幅は、例えば、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの火炎の噴出口において同心円状に多層に形成された火炎形成用ガスの噴出ノズルのうち、最外層の噴出ノズルの直径と同視することができる。火炎形成用ガスは、例えば、水素等の燃焼性ガス、酸素等の助燃性ガスを含んでいる。 Note that the width of the flame is, for example, the same as the diameter of the outermost layer of the flame forming gas jet nozzles formed concentrically in multiple layers at the flame jet ports of each burner 20a, 20b, and 20c. be able to. The flame forming gas contains, for example, a combustible gas such as hydrogen, and a combustion supporting gas such as oxygen.

Ｘ方向におけるバーナー台１８の一端に位置する一方の最外端のバーナー２０ａの定位置と他端に位置する他方の最外端のバーナー２０ｃの定位置との間の距離Ｌ３は、ブランクロッド１４の長さＬ４に対して、Ｌ３＜Ｌ４×（１／２）を満足することが好ましい。これとは逆のＬ３＞Ｌ４×（１／２）の場合、距離Ｌ３の距離を空けて位置するバーナー２０ａ、２０ｃを含む領域に対向するように排気フード２２が設置されるため、ブランクロッド１４の中央部は、排気フード２２を含む排気機構による排気に常に曝される。このため、ブランクロッド１４の中央部では、表面温度が低下してガラス微粒子の堆積状態が周囲とは異なるものとなる結果、光ファイバ母材の外径が不均一になりうる。距離Ｌ３がＬ３＜Ｌ４×（１／２）を満足することにより、このような外径の不均一化を回避することができる。なお、距離Ｌ３は複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲長Ｌ１と一致するため、可動範囲長Ｌ１もＬ３と同様の関係を満足しうる。 The distance L3 between the regular position of one outermost burner 20a located at one end of the burner table 18 in the X direction and the regular position of the other outermost burner 20c located at the other end is the distance L3 between the blank rod 14 It is preferable that L3<L4×(1/2) be satisfied for the length L4. On the contrary, in the case of L3>L4×(1/2), the exhaust hood 22 is installed so as to face the area including the burners 20a and 20c located apart from each other by the distance L3, so the blank rod 14 The central portion of the air conditioner is constantly exposed to exhaust gas from an exhaust mechanism including the exhaust hood 22. Therefore, in the center of the blank rod 14, the surface temperature decreases and the deposition state of the glass particles becomes different from that in the surrounding area, which may cause the outer diameter of the optical fiber preform to be non-uniform. When the distance L3 satisfies L3<L4×(1/2), such non-uniformity of the outer diameter can be avoided. Note that since the distance L3 matches the movable range length L1 of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c, the movable range length L1 can also satisfy the same relationship as L3.

複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、噴出口から火炎を形成してその火炎中に原料ガスを導入するため、火炎形成用ガス及び原料ガスを含む複数種のガスが供給されるようになっている。複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給される複数種のガスは、例えば、水素ガス、酸素ガス、アルゴンガス、原料ガス等である。原料ガスには、四塩化ケイ素等が含まれる。キャリアガス等としてアルゴンガスが適宜用いられる。各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにおいて、水素ガス及び酸素ガスの燃焼により酸水素火炎が形成されるとともに、その酸水素火炎中に原料ガスが導入される。火炎に導入された原料ガスが火炎加水分解を受けることにより、ガラス微粒子が生成されてブランクロッド１４の外周面に堆積する。 The plurality of burners 20a, 20b, and 20c form a flame from their jet ports and introduce raw material gas into the flame, so that multiple types of gases including the flame-forming gas and the raw material gas are supplied. There is. The multiple types of gases supplied to the multiple burners 20a, 20b, and 20c include, for example, hydrogen gas, oxygen gas, argon gas, source gas, and the like. The raw material gas contains silicon tetrachloride and the like. Argon gas is appropriately used as a carrier gas or the like. In each burner 20a, 20b, 20c, an oxyhydrogen flame is formed by combustion of hydrogen gas and oxygen gas, and a raw material gas is introduced into the oxyhydrogen flame. When the raw material gas introduced into the flame undergoes flame hydrolysis, glass fine particles are generated and deposited on the outer peripheral surface of the blank rod 14 .

複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、それぞれの火炎の噴出口がブランクロッド１４の中心軸を向くようにＹ方向における位置に応じて適宜傾斜されてバーナー台１８上に設置されている。図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す場合、ブランクロッド１４に対して斜め下に位置するバーナー２０ａ、２０ｃは、それぞれ噴出口がブランクロッド１４の中心軸を向くように傾斜されて設置されている。一方、ブランクロッド１４に対して直下に位置するバーナー２０ｂは、噴出口が直上に位置するブランクロッド１４の中心軸を向くように傾斜されることなく設置されている。各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃとブランクロッド１４との間の距離は、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されたガラス微粒子がブランクロッド１４に堆積可能な距離に設定されている。 The plurality of burners 20a, 20b, and 20c are installed on the burner stand 18 with appropriate inclinations depending on their positions in the Y direction so that the respective flame jet ports face the central axis of the blank rod 14. In the case shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the burners 20a and 20c, which are located diagonally below the blank rod 14, are installed so that their respective jet outlets are slanted toward the central axis of the blank rod 14. has been done. On the other hand, the burner 20b located directly below the blank rod 14 is installed without being inclined so that its ejection port faces the central axis of the blank rod 14 located directly above. The distance between each burner 20a, 20b, 20c and blank rod 14 is set to a distance that allows glass particles generated by each burner 20a, 20b, 20c to be deposited on blank rod 14.

排気フード２２は、ブランクロッド１４を介してバーナー台１８における複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲を含む領域に対向するようにバーナー台１８の側を向いて設置されている。排気フード２２には、不図示の排風機が接続されている。排気フード２２は、排風機とともに、バーナー台１８における複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲を含む領域と排気フード２２との間の空間の気体を排気する排気機構として機能する。排気フード２２は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されたガラス微粒子のうちの余分なものを含む気体を排気して、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの火炎を安定化させることができる。 The exhaust hood 22 is installed so as to face the burner stand 18 via the blank rod 14 so as to face a region of the burner stand 18 that includes the movable range of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c. An exhaust fan (not shown) is connected to the exhaust hood 22. The exhaust hood 22 functions, together with an exhaust fan, as an exhaust mechanism that exhausts gas from a space between the exhaust hood 22 and a region of the burner stand 18 that includes the movable range of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c. The exhaust hood 22 can stabilize the flames of the plurality of burners 20a, 20b, 20c by exhausting gas containing excess glass particles generated by the plurality of burners 20a, 20b, 20c. .

制御装置２４は、ブランクロッド１４へガラス微粒子を堆積して光ファイバ母材を製造する間、光ファイバ母材の製造装置１０の各部の管理及び制御を行う制御部として機能する情報処理装置である。制御装置２４は、種々の演算、制御、判別等の処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）（図示せず）を有している。また、制御装置２４は、ＣＰＵによって実行される様々な制御プログラム、ＣＰＵが参照するデータベース等を格納する記憶装置（図示せず）を有している。また、制御装置２４は、ＣＰＵが処理しているデータ、入力データ等を一時的に格納するＲＡＭ（Random Access Memory）（図示せず）を有している。 The control device 24 is an information processing device that functions as a control section that manages and controls each part of the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 while manufacturing the optical fiber preform by depositing glass particles onto the blank rod 14. . The control device 24 includes a CPU (Central Processing Unit) (not shown) that executes various operations such as calculation, control, and discrimination. The control device 24 also has a storage device (not shown) that stores various control programs executed by the CPU, databases referenced by the CPU, and the like. The control device 24 also includes a RAM (Random Access Memory) (not shown) that temporarily stores data being processed by the CPU, input data, and the like.

なお、制御装置２４は、特に限定されるものではないが、パーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータ装置により構成することもできるし、光ファイバ母材の製造装置１０に専用のコンピュータ装置により構成することもできる。また、制御装置２４の各機能は、単一のコンピュータ装置により実現することもできるし、複数台のコンピュータ装置により実現することもできる。 Although the control device 24 is not particularly limited, it can be configured by a general-purpose computer device such as a personal computer, or it can be configured by a computer device dedicated to the optical fiber preform manufacturing apparatus 10. can. Further, each function of the control device 24 can be realized by a single computer device or by a plurality of computer devices.

制御装置２４は、例えば、把持部１６ａ、１６ｂ、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃ及び排気フード２２を含む排気機構と通信可能に接続されている。これにより、制御装置２４は、光ファイバ母材の製造装置１０における把持部１６ａ、１６ｂ、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃ、排気フード２２を含む排気機構等の各部を制御することが可能になっている。 The control device 24 is communicatively connected to an exhaust mechanism including, for example, the grips 16a, 16b, a plurality of burners 20a, 20b, 20c, and the exhaust hood 22. This makes it possible for the control device 24 to control each part of the optical fiber preform manufacturing apparatus 10, such as the gripping parts 16a and 16b, the plurality of burners 20a, 20b, and 20c, and the exhaust mechanism including the exhaust hood 22. ing.

また、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂによるブランクロッド１４の回転速度を制御することができる。さらに、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、以下のように把持部１６ａ、１６ｂ及び火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動を制御することができる。 Further, the control device 24 can control the rotation speed of the blank rod 14 by the grips 16a, 16b by controlling the grips 16a, 16b. Furthermore, the control device 24 can control the movement of the gripping parts 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, 20c forming flames as described below while rotating the blank rod 14 with the gripping parts 16a, 16b. can.

制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂの移動及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動を制御することができる。すなわち、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂの移動速度及び移動方向を制御することができる。また、制御装置２４は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動速度及び移動方向を制御することができる。 The control device 24 can control the movement of the grips 16a, 16b and the movement of the plurality of burners 20a, 20b, 20c. That is, the control device 24 can control the moving speed and direction of the gripping parts 16a, 16b by controlling the gripping parts 16a, 16b. Further, the control device 24 can control the moving speed and moving direction of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c.

また、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂ及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃのうちのいずれか一方を停止させつつ他方を移動させるように両者を移動させるタイミングを制御することができる。つまり、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂと複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃとを同時に移動させないように両者を移動させるタイミングを制御することができる。具体的には、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを移動させる間、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを停止させた状態を維持する。また、制御装置２４は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを移動させる間、把持部１６ａ、１６ｂを停止させた状態を維持する。 Further, the control device 24 can control the timing of moving the grips 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, 20c such that one of them is stopped while the other is moved. That is, the control device 24 can control the timing at which the grips 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, 20c are moved so that they are not moved at the same time. Specifically, the control device 24 maintains the plurality of burners 20a, 20b, and 20c in a stopped state while moving the grips 16a and 16b. Further, the control device 24 maintains the grip portions 16a, 16b in a stopped state while moving the plurality of burners 20a, 20b, 20c.

このように、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを停止させつつ把持部１６ａ、１６ｂを移動させることができる。また、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、把持部１６ａ、１６ｂを停止させつつ火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを移動させることができる。 In this way, the control device 24 can move the grips 16a, 16b while rotating the blank rod 14 with the grips 16a, 16b while stopping the plurality of burners 20a, 20b, 20c that have formed flames. . Further, the control device 24 can move the plurality of burners 20a, 20b, and 20c that have formed flames while rotating the blank rod 14 using the grips 16a and 16b while stopping the grips 16a and 16b.

さらに、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂの移動と複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃとを交互に繰り返すように両者を移動させるタイミングを制御することができる。 Further, the control device 24 can control the timing of moving the grips 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, 20c so as to alternately move them.

また、制御装置２４は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを制御して、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給される各種ガスの流量等を制御しつつ、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃによるガラス微粒子の生成を制御することができる。また、制御装置２４は、排気フード２２を含む排気機構による排気を制御することができる。 The control device 24 also controls the plurality of burners 20a, 20b, 20c, and controls the flow rate of various gases supplied to the plurality of burners 20a, 20b, 20c. The production of glass particles can be controlled by Further, the control device 24 can control exhaust by the exhaust mechanism including the exhaust hood 22.

こうして、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０が構成されている。 In this way, the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to this embodiment is configured.

次に、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０による光ファイバ母材の製造方法についてさらに図２乃至図５を用いて説明する。図２乃至図５は、本実施形態による光ファイバ母材の製造方法を示す概略図である。図２（ａ）及び図２（ｂ）、図３（ａ）及び図３（ｂ）、図４（ａ）及び図４（ｂ）並びに図５（ａ）及び図５（ｂ）の各図は、光ファイバ母材の製造方法における各工程において図１（ａ）と同様に＋Ｙ方向に見た光ファイバ母材の製造装置１０を示している。 Next, a method for manufacturing an optical fiber preform using the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment will be further described with reference to FIGS. 2 to 5. 2 to 5 are schematic diagrams showing a method for manufacturing an optical fiber preform according to this embodiment. 2(a) and 2(b), FIG. 3(a) and FIG. 3(b), FIG. 4(a) and FIG. 4(b), and FIG. 5(a) and FIG. 5(b). 1 shows the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 seen in the +Y direction in the same manner as FIG. 1(a) at each step in the optical fiber preform manufacturing method.

光ファイバ母材の製造装置１０は、次の初期状態から光ファイバ母材の製造を開始する。すなわち、初期状態では、図２（ａ）に示すように、バーナー台１８において複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがそれぞれＸ方向における一端、中央及び他端の定位置に停止している。また、初期状態では、把持部１６ａに把持されたブランクロッド１４の一端と当該一端側の最外端の定位置に位置するバーナー２０ａとのＸ方向における相対的な位置関係が第１の位置関係になっている。第１の位置関係は、例えば、ブランクロッド１４の一端のＸ方向における位置及びバーナー２０ａのＸ方向における位置が互いに一致する位置関係である。なお、第１の位置関係は、これに限定されるものではなく、両者のＸ方向における位置が所定の距離で近接した位置関係等の所定の関係であってもよい。 The optical fiber preform manufacturing apparatus 10 starts manufacturing an optical fiber preform from the following initial state. That is, in the initial state, as shown in FIG. 2(a), a plurality of burners 20a, 20b, and 20c are stopped at fixed positions at one end, the center, and the other end in the X direction, respectively, on the burner stand 18. In addition, in the initial state, the relative positional relationship in the X direction between one end of the blank rod 14 held by the gripping part 16a and the burner 20a located at the fixed position at the outermost end on the one end side is the first positional relationship. It has become. The first positional relationship is, for example, a positional relationship in which the position of one end of the blank rod 14 in the X direction and the position of the burner 20a in the X direction match each other. Note that the first positional relationship is not limited to this, and may be a predetermined relationship such as a positional relationship in which both positions in the X direction are close to each other by a predetermined distance.

制御装置２４は、排気フード２２を含む排気機構を制御して排気機構による排気を開始する。また、制御装置２４は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを制御して複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより火炎を形成してガラス微粒子の生成を開始する。さらに、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂによるブランクロッド１４の回転を開始するとともに、把持部１６ａ、１６ｂの－Ｘ方向への移動を開始する。制御装置２４は、光ファイバ母材の製造開始から終了までの間、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対して火炎ガス及び原料ガスを含む各種ガスを継続的に供給する。なお、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによるブランクロッド１４の回転速度、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに供給する各種ガスの流量等を適宜変更することができる。 The control device 24 controls the exhaust mechanism including the exhaust hood 22 to start the exhaust mechanism. Further, the control device 24 controls the plurality of burners 20a, 20b, and 20c to form a flame and start generating glass particles. Furthermore, the control device 24 controls the gripping parts 16a, 16b to start rotation of the blank rod 14 by the gripping parts 16a, 16b, and to start moving the gripping parts 16a, 16b in the -X direction. The control device 24 continuously supplies various gases including flame gas and source gas to each burner 20a, 20b, and 20c from the start to the end of manufacturing the optical fiber preform. Note that the control device 24 can appropriately change the rotational speed of the blank rod 14 by the gripping parts 16a, 16b, the flow rate of various gases supplied to each burner 20a, 20b, 20c, etc.

把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、図２（ｂ）に示すように、ブランクロッド１４を回転させつつ、－Ｘ方向に移動していく。把持部１６ａ、１６ｂが－Ｘ方向に移動する間、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、Ｘ方向に移動することなく停止した状態を維持して火炎を形成している。こうして、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを停止させつつ把持部１６ａ、１６ｂを－Ｘ方向に移動させる。このようにブランクロッド１４を把持する把持部１６ａ、１６ｂが－Ｘ方向に移動する間、回転するブランクロッド１４の外周面には、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されるガラス微粒子が堆積していく。 The gripping parts 16a and 16b move in the -X direction while rotating the blank rod 14, as shown in FIG. 2(b), under the control of the control device 24. While the grips 16a, 16b move in the -X direction, the plurality of burners 20a, 20b, 20c maintain a stopped state without moving in the X direction under the control of the control device 24, and form flames. There is. In this way, the control device 24 moves the grips 16a, 16b in the −X direction while rotating the blank rod 14 with the grips 16a, 16b while stopping the plurality of burners 20a, 20b, 20c that have formed flames. While the gripping parts 16a and 16b that grip the blank rod 14 move in the -X direction in this way, glass particles generated by the burners 20a, 20b, and 20c are deposited on the outer peripheral surface of the rotating blank rod 14. To go.

把持部１６ａ、１６ｂが－Ｘ方向に移動していくと、図３（ａ）に示すように、把持部１６ｂに把持されたブランクロッド１４の他端と当該他端側の最外端の定位置に位置するバーナー２０ｃとのＸ方向における相対的な位置関係が第２の位置関係になる。第２の位置関係は、例えば、ブランクロッド１４の他端のＸ方向における位置及びバーナー２０ｃのＸ方向における位置が互いに一致する位置関係である。なお、第２の位置関係は、これに限定されるものではなく、両者のＸ方向における位置が所定の距離で近接した位置関係等の所定の関係であってもよい。制御装置２４は、両者の相対的な位置関係が第２の位置関係になると、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂによるブランクロッド１４の回転を維持しつつ、把持部１６ａ、１６ｂの－Ｘ方向への移動を停止する。 As the gripping parts 16a and 16b move in the -X direction, the other end of the blank rod 14 gripped by the gripping part 16b and the outermost end on the other end side are The relative positional relationship in the X direction with the burner 20c located at the second position is the second positional relationship. The second positional relationship is, for example, a positional relationship in which the position of the other end of the blank rod 14 in the X direction and the position of the burner 20c in the X direction match each other. Note that the second positional relationship is not limited to this, and may be a predetermined relationship such as a positional relationship in which both positions in the X direction are close to each other by a predetermined distance. When the relative positional relationship between the two becomes the second positional relationship, the control device 24 controls the gripping parts 16a, 16b to maintain the rotation of the blank rod 14 by the gripping parts 16a, 16b, and the gripping part 16a. , 16b stops moving in the -X direction.

続いて、把持部１６ａ、１６ｂが停止した状態において、制御装置２４は、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを制御して、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、バーナー台１８上において各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃをＸ方向に移動させる。具体的には、バーナー２０ａは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ｃの定位置に向かって＋Ｘ方向への移動を開始する。バーナー２０ｂは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ｃの定位置を経由してその定位置に戻る＋Ｘ方向への移動及びその後の－Ｘ方向への移動を含む往復移動を開始する。バーナー２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ａの定位置に向かって－Ｘ方向への移動を開始する。各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがＸ方向に移動する間、把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、Ｘ方向に移動することなく停止した状態を維持している。 Subsequently, with the grips 16a and 16b stopped, the control device 24 controls each burner 20a, 20b, and 20c to move the burner stand 18 as shown in FIGS. 3(a) and 3(b). At the top, each burner 20a, 20b, 20c is moved in the X direction. Specifically, under the control of the control device 24, the burner 20a starts moving in the +X direction from its home position toward the home position of the burner 20c. Under the control of the control device 24, the burner 20b starts reciprocating movement including movement from its home position in the +X direction via the home position of the burner 20c and back to its home position, and then movement in the −X direction. . Under the control of the control device 24, the burner 20c starts moving in the -X direction from its home position toward the home position of the burner 20a. While each burner 20a, 20b, 20c moves in the X direction, the grips 16a, 16b maintain a stopped state without moving in the X direction under the control of the control device 24.

こうして、制御装置２４は、ブランクロッド１４の他端と当該他端側の最外端の定位置に位置するバーナー２０ｃとの位置関係が第２の位置関係になったときに、把持部１６ａ、１６ｂの移動から複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動に切り替える。 In this way, the control device 24 controls the gripping portion 16a, Switching from movement of burner 16b to movement of a plurality of burners 20a, 20b, and 20c.

バーナー２０ａは、バーナー台１８上において、＋Ｘ方向に移動してバーナー２０ｃの定位置で停止する。また、バーナー２０ｂは、バーナー台１８上において、＋Ｘ方向に移動してバーナー２０ｃの定位置で折り返し、さらに－Ｘ方向に移動してその元の定位置で停止する。また、バーナー２０ｃは、－Ｘ方向に移動してバーナー２０ａの定位置で停止する。こうして、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、把持部１６ａ、１６ｂを停止させつつ火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃをＸ方向に移動させる。このように各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがＸ方向に移動する間も、回転するブランクロッド１４の外周面には、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されるガラス微粒子が堆積していく。 The burner 20a moves in the +X direction on the burner stand 18 and stops at the fixed position of the burner 20c. Further, the burner 20b moves in the +X direction on the burner stand 18, returns to the normal position of the burner 20c, and further moves in the -X direction and stops at the original normal position. Further, the burner 20c moves in the -X direction and stops at the regular position of the burner 20a. In this way, the control device 24 moves the plurality of burners 20a, 20b, and 20c that have formed flames in the X direction while rotating the blank rod 14 with the grips 16a and 16b and stopping the grips 16a and 16b. While each burner 20a, 20b, 20c moves in the X direction in this manner, glass particles generated by each burner 20a, 20b, 20c continue to accumulate on the outer peripheral surface of the rotating blank rod 14.

各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが停止すると、図４（ａ）に示すように、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂの＋Ｘ方向への移動を開始する。 When each burner 20a, 20b, 20c stops, the control device 24 controls the gripping parts 16a, 16b to start moving the gripping parts 16a, 16b in the +X direction, as shown in FIG. 4(a). .

把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、ブランクロッド１４を引き続き回転させつつ、＋Ｘ方向に移動していく。把持部１６ａ、１６ｂが＋Ｘ方向に移動する間、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、Ｘ方向に移動することなく停止した状態を維持して火炎を形成している。こうして、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを停止させつつ把持部１６ａ、１６ｂを＋Ｘ方向に移動させる。このようにブランクロッド１４を把持する把持部１６ａ、１６ｂが＋Ｘ方向に移動する間、回転するブランクロッド１４の外周面には、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されるガラス微粒子が堆積していく。 The gripping parts 16a and 16b move in the +X direction while continuing to rotate the blank rod 14 under the control of the control device 24. While the grips 16a and 16b move in the +X direction, the plurality of burners 20a, 20b, and 20c maintain a stopped state without moving in the X direction and form flames under the control of the control device 24. . In this way, the control device 24 moves the grips 16a, 16b in the +X direction while rotating the blank rod 14 with the grips 16a, 16b while stopping the plurality of burners 20a, 20b, 20c that have formed flames. While the gripping parts 16a and 16b that grip the blank rod 14 move in the +X direction in this way, glass particles generated by the burners 20a, 20b, and 20c are deposited on the outer peripheral surface of the rotating blank rod 14. go.

把持部１６ａ、１６ｂが＋Ｘ方向に移動していくと、図４（ｂ）に示すように、把持部１６ａに把持されたブランクロッド１４の一端と当該一端側の最外端の定位置に位置するバーナー２０ｃとのＸ方向における相対的な位置関係が第３の位置関係になる。第３の位置関係は、第１の位置関係と同様、例えば、ブランクロッド１４の一端のＸ方向における位置及びバーナー２０ｃのＸ方向における位置が互いに一致する位置関係である。なお、第３の位置関係は、これに限定されるものではなく、両者のＸ方向における位置が所定の距離で近接した位置関係等の所定の関係であってもよい。制御装置２４は、両者の相対的な位置関係が第３の位置関係になると、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、把持部１６ａ、１６ｂによるブランクロッド１４の回転を維持しつつ、把持部１６ａ、１６ｂの＋Ｘ方向への移動を停止する。 As the gripping parts 16a and 16b move in the +X direction, as shown in FIG. 4(b), one end of the blank rod 14 gripped by the gripping part 16a and the outermost end of the blank rod 14 are positioned at fixed positions on the one end side. The relative positional relationship in the X direction with the burner 20c is the third positional relationship. Similar to the first positional relationship, the third positional relationship is, for example, a positional relationship in which the position of one end of the blanking rod 14 in the X direction and the position of the burner 20c in the X direction match each other. Note that the third positional relationship is not limited to this, and may be a predetermined relationship such as a positional relationship in which both positions in the X direction are close to each other by a predetermined distance. When the relative positional relationship between the two becomes the third positional relationship, the control device 24 controls the gripping parts 16a, 16b to maintain the rotation of the blank rod 14 by the gripping parts 16a, 16b, and the gripping part 16a. , 16b stops moving in the +X direction.

続いて、把持部１６ａ、１６ｂが停止した状態において、制御装置２４は、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを制御して、図４（ｂ）及び図５（ａ）に示すように、バーナー台１８上において各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃをＸ方向に移動させる。具体的には、バーナー２０ａは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ｃの定位置に向かって＋Ｘ方向への移動を開始する。バーナー２０ｂは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ｃの定位置を経由してその定位置に戻る－Ｘ方向への移動及びその後の＋Ｘ方向への移動を含む往復移動を開始する。バーナー２０ｃは、制御装置２４による制御に従って、その定位置からバーナー２０ａの定位置に向かって＋Ｘ方向への移動を開始する。各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがＸ方向に移動する間、把持部１６ａ、１６ｂは、制御装置２４による制御に従って、Ｘ方向に移動することなく停止した状態を維持している。 Subsequently, while the gripping parts 16a and 16b are stopped, the control device 24 controls the plurality of burners 20a, 20b, and 20c, and as shown in FIG. 4(b) and FIG. 5(a), the control device 24 controls the burner stand. 18, each burner 20a, 20b, 20c is moved in the X direction. Specifically, under the control of the control device 24, the burner 20a starts moving in the +X direction from its home position toward the home position of the burner 20c. Under the control of the control device 24, the burner 20b starts reciprocating movement from its home position via the home position of the burner 20c and back to its home position in the -X direction and then in the +X direction. . Under the control of the control device 24, the burner 20c starts moving in the +X direction from its home position toward the home position of the burner 20a. While each burner 20a, 20b, 20c moves in the X direction, the grips 16a, 16b maintain a stopped state without moving in the X direction under the control of the control device 24.

こうして、制御装置２４は、ブランクロッド１４の一端と当該一端側の最外端の定位置に位置するバーナー２０ｃとの位置関係が第３の位置関係になったときに、把持部１６ａ、１６ｂの移動から複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動に切り替える。 In this way, the control device 24 controls the gripping parts 16a and 16b when the positional relationship between one end of the blanking rod 14 and the burner 20c located at the fixed position at the outermost end of the one end becomes the third positional relationship. Switching from movement to movement of a plurality of burners 20a, 20b, and 20c.

バーナー２０ａは、バーナー台１８上において、－Ｘ方向に移動してバーナー２０ｃの定位置で停止する。また、バーナー２０ｂは、バーナー台１８上において、－Ｘ方向に移動してバーナー２０ｃの定位置で折り返し、＋Ｘ方向に移動してその元の定位置で停止する。また、バーナー２０ｃは、＋Ｘ方向に移動してバーナー２０ａの定位置で停止する。こうして、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４を回転させながら、把持部１６ａ、１６ｂを停止させつつ火炎を形成した複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃをＸ方向に移動させる。このように各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがＸ方向に移動する間も、回転するブランクロッド１４の外周面には、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃにより生成されるガラス微粒子が堆積していく。 The burner 20a moves in the -X direction on the burner stand 18 and stops at the fixed position of the burner 20c. Further, the burner 20b moves in the −X direction on the burner stand 18, returns to the normal position of the burner 20c, moves in the +X direction, and stops at the original normal position. Moreover, the burner 20c moves in the +X direction and stops at the regular position of the burner 20a. In this way, the control device 24 moves the plurality of burners 20a, 20b, and 20c that have formed flames in the X direction while rotating the blank rod 14 with the grips 16a and 16b and stopping the grips 16a and 16b. While each burner 20a, 20b, 20c moves in the X direction in this way, glass particles generated by each burner 20a, 20b, 20c continue to accumulate on the outer peripheral surface of the rotating blank rod 14.

図５（ｂ）に示すように、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが停止すると、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを制御して、図２（ａ）に示す場合と同様に把持部１６ａ、１６ｂの－Ｘ方向への移動を開始する。 As shown in FIG. 5(b), when each burner 20a, 20b, 20c stops, the control device 24 controls the gripping portions 16a, 16b, and controls the gripping portion 16a as in the case shown in FIG. , 16b starts moving in the -X direction.

こうして、制御装置２４は、光ファイバ母材の製造装置１０の各部を制御して上述した図２（ａ）に示す工程から図５（ｂ）に示す工程を繰り返す。これにより、ブランクロッド１４の全長にわたってブランクロッド１４の外周面にガラス微粒子が堆積していく。 In this way, the control device 24 controls each part of the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 and repeats the steps shown in FIG. 2(a) to FIG. 5(b) described above. As a result, glass fine particles are deposited on the outer peripheral surface of the blank rod 14 over the entire length of the blank rod 14.

制御装置２４は、工程を繰り返す間、ブランクロッド１４に対する複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの相対速度の大きさが一定になるように、把持部１６ａ、１６ｂの移動速度及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの移動速度を制御することができる。すなわち、制御装置２４は、把持部１６ａ、１６ｂを移動させる場合及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを移動させる場合において、ブランクロッド１４に対する複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの相対速度の大きさを一定に維持することができる。ブランクロッド１４に対する複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの相対速度の大きさを一定に維持することにより、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたって光ファイバ母材の外径の変動をより小さく抑制することができる。 The control device 24 controls the moving speed of the gripping parts 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b so that the magnitude of the relative speed of the plurality of burners 20a, 20b, 20c with respect to the blank rod 14 is constant while repeating the process. , 20c can be controlled. That is, the control device 24 controls the magnitude of the relative speed of the plurality of burners 20a, 20b, 20c with respect to the blank rod 14 when moving the gripping parts 16a, 16b and when moving the plurality of burners 20a, 20b, 20c. can be maintained constant. By keeping the magnitude of the relative speed of the plurality of burners 20a, 20b, 20c with respect to the blank rod 14 constant, fluctuations in the outer diameter of the optical fiber preform can be suppressed to a smaller extent over the entire length in the longitudinal direction of the blank rod 14. I can do it.

制御装置２４は、例えば、ブランクロッド１４の重量変化を検出した結果、堆積したガラス微粒子の厚さを検出した結果、製造開始からの経過時間等に基づき、光ファイバ母材の製造装置１０の各部の動作を停止して光ファイバ母材の製造を終了する。 The control device 24 controls each part of the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 based on, for example, the result of detecting the weight change of the blank rod 14, the thickness of the deposited glass particles, the elapsed time from the start of manufacturing, etc. The operation of the optical fiber base material is stopped and the production of the optical fiber preform is completed.

こうして、ブランクロッド１４の外周には、ガラス微粒子の堆積体からなる所定の外径を有する多孔質の光ファイバ母材が製造される。製造された多孔質の光ファイバ母材は、ブランクロッド１４が引き抜かれた後、電気炉等の加熱炉での加熱により脱水及び焼結が行われて透明な光ファイバ母材となる。 In this way, a porous optical fiber preform having a predetermined outer diameter made of a deposit of glass particles is manufactured around the outer periphery of the blank rod 14. After the blank rod 14 is drawn out, the manufactured porous optical fiber preform is dehydrated and sintered by heating in a heating furnace such as an electric furnace to become a transparent optical fiber preform.

本実施形態よる光ファイバ母材の製造装置１０とは異なり、把持部１６ａ、１６ｂ及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃのいずれかのみが移動し、他方が固定されている構成も考えられる。しかしながら、そのような構成では、高品質の光ファイバ母材を製造することは困難である。この点について図６及び図７を用いて説明する。 Unlike the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to this embodiment, a configuration in which only one of the gripping parts 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, and 20c moves, and the other one is fixed, is also considered. However, with such a configuration, it is difficult to manufacture a high quality optical fiber preform. This point will be explained using FIGS. 6 and 7.

図６（ａ）及び図６（ｂ）は、把持部１６ａ、１６ｂのみが移動し、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが固定されている第１の参考例による光ファイバ母材の製造装置１１０を示す概略図である。なお、図６（ａ）及び図６（ｂ）では、上記図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す構成と対応する構成には同一の符号を付している。 6(a) and 6(b) show an optical fiber preform manufacturing apparatus 110 according to a first reference example in which only the gripping parts 16a and 16b move and a plurality of burners 20a, 20b and 20c are fixed. FIG. Note that in FIGS. 6(a) and 6(b), the same reference numerals are given to structures corresponding to those shown in FIGS. 1(a) and 1(b).

図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、第１の参考例では、把持部１６ａ、１６ｂが移動する一方、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが固定されている。第１の参考例では、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたって、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがブランクロッド１４に向けて火炎を形成するためには、Ｘ方向における把持部１６ａ、１６ｂの可動範囲を長くする必要がある。この結果、第１の参考例では、光ファイバ母材の製造装置１１０のＸ方向における装置構成の大型化を回避することができない。Ｘ方向における装置構成が大型化すると、ブランクロッド１４を把持する部材に撓みが生じるため、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたって均一にガラス微粒子を堆積させることが困難となる。このため、第１の参考例では、高品質の光ファイバ母材を製造することが困難であり、特にブランクロッド１４の一端及び他端において光ファイバ母材に大きな耳ロスが発生しうる。 As shown in FIGS. 6(a) and 6(b), in the first reference example, the plurality of burners 20a, 20b, 20c are fixed while the grips 16a, 16b move. In the first reference example, in order for the plurality of burners 20a, 20b, 20c to form flames toward the blank rod 14 over the entire length in the longitudinal direction of the blank rod 14, it is necessary to move the grips 16a, 16b in the X direction. The range needs to be extended. As a result, in the first reference example, it is not possible to avoid increasing the size of the apparatus configuration in the X direction of the optical fiber preform manufacturing apparatus 110. When the device configuration in the X direction becomes larger, the member that grips the blank rod 14 is bent, making it difficult to deposit glass particles uniformly over the entire length of the blank rod 14 in the longitudinal direction. Therefore, in the first reference example, it is difficult to manufacture a high-quality optical fiber preform, and a large edge loss may occur in the optical fiber preform, especially at one end and the other end of the blank rod 14.

一方、図７は、把持部１６ａ、１６ｂが固定され、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃのみが移動する第２の参考例による光ファイバ母材の製造装置２１０を示す概略図である。なお、図７では、上記図１（ａ）及び図１（ｂ）に示す構成と対応する構成には同一の符号を付している。 On the other hand, FIG. 7 is a schematic diagram showing an optical fiber preform manufacturing apparatus 210 according to a second reference example in which the gripping parts 16a and 16b are fixed and only the plurality of burners 20a, 20b, and 20c are moved. Note that in FIG. 7, the same reference numerals are given to components corresponding to those shown in FIGS. 1(a) and 1(b).

図７に示すように、第２の参考例では、把持部１６ａ、１６ｂが固定されている一方、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃが移動する。第２の参考例では、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたって、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃがブランクロッド１４に向けて火炎を形成するためには、Ｘ方向における複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲を長くする必要がある。さらに、第２の参考例では、Ｘ方向における複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲を長くすることにあわせて、排気フード２２をＸ方向において大型なものにする必要がある。しかしながら、大型な排気フード２２では、均一な排気が困難であるため、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたって均一にガラス微粒子を堆積させることが困難となる。このため、第２の参考例では、高品質の光ファイバ母材を製造することが困難である。 As shown in FIG. 7, in the second reference example, the grips 16a, 16b are fixed, while the plurality of burners 20a, 20b, 20c are moved. In the second reference example, in order for the plurality of burners 20a, 20b, 20c to form a flame toward the blanking rod 14 over the entire length in the longitudinal direction of the blanking rod 14, the plurality of burners 20a, 20b in the X direction, It is necessary to lengthen the range of motion of 20c. Furthermore, in the second reference example, it is necessary to make the exhaust hood 22 larger in the X direction in conjunction with increasing the movable range of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c in the X direction. However, with the large exhaust hood 22, it is difficult to uniformly exhaust the air, making it difficult to deposit glass particles uniformly over the entire length of the blank rod 14 in the longitudinal direction. Therefore, in the second reference example, it is difficult to manufacture a high-quality optical fiber preform.

これら第１及び第２の参考例に対して、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０は、ブランクロッド１４へガラス微粒子が堆積する間、把持部１６ａ、１６ｂ及び複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃのいずれかが移動する。すなわち、本実施形態では、把持部１６ａ、１６ｂと複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃとが交互に移動する。このため、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０では、Ｘ方向における装置構成の大型化を伴うこととなく、比較的に小型な装置構成を採用することができる。また、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０では、排気フード２２をＸ方向において大型なものにする必要もない。したがって、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０では、長尺のブランクロッド１４の場合であっても、装置構成の大型化を伴うことなく、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたってより均一にガラス微粒子を堆積させることができる。 In contrast to these first and second reference examples, the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment has gripping parts 16a, 16b and a plurality of burners 20a, 20b while glass fine particles are deposited on the blank rod 14. , 20c moves. That is, in this embodiment, the grips 16a, 16b and the plurality of burners 20a, 20b, 20c move alternately. Therefore, in the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment, a relatively small-sized device configuration can be adopted without increasing the size of the device configuration in the X direction. Furthermore, in the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to this embodiment, there is no need to make the exhaust hood 22 large in the X direction. Therefore, in the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment, even in the case of a long blank rod 14, the blank rod 14 is more uniform over the entire length in the longitudinal direction without increasing the size of the apparatus configuration. Glass particles can be deposited on the surface.

さらに、本実施形態による光ファイバ母材の製造装置１０では、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲のＸ方向における長さである可動範囲長Ｌ１が、把持部１６ａ、１６ｂの可動範囲長Ｌ０よりも短く設定されている。このように複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲長Ｌ１が比較的短く設定されていることにより、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対して排気フード２２を含む排気機構によるより均一な排気を実現することができる。一方、把持部１６ａ、１６ｂの可動範囲長Ｌ０が比較的長く設定されていることにより、複数のバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃの可動範囲長Ｌ１が比較的短く設定されている場合でも、ブランクロッド１４の全長にわたってガラス微粒子を堆積させることができる。 Furthermore, in the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment, the movable range length L1, which is the length in the X direction of the movable range of the plurality of burners 20a, 20b, 20c, is the movable range length of the gripping parts 16a, 16b. It is set shorter than L0. By setting the movable range length L1 of the plurality of burners 20a, 20b, and 20c to be relatively short in this way, the exhaust mechanism including the exhaust hood 22 can more uniformly exhaust the plurality of burners 20a, 20b, and 20c. can be realized. On the other hand, since the movable range length L0 of the gripping parts 16a, 16b is set relatively long, even when the movable range length L1 of the plurality of burners 20a, 20b, 20c is set relatively short, the blank rod 14 Glass particles can be deposited over the entire length of the glass.

また、本実施形態では、光ファイバ母材の製造開始から終了までの間、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに対して火炎ガス及び原料ガスを含む各種ガスが継続的に供給される。このように、本実施形態では、各種ガスの供給の開始及び停止が繰り返されるものではないため、各バーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃに各種ガスを安定して供給することができ、供給再開後の各種ガスの供給が安定するまでの待機時間が不要である。このため、本実施形態では、高い効率で光ファイバ母材を製造することができる。 Furthermore, in this embodiment, various gases including flame gas and raw material gas are continuously supplied to each burner 20a, 20b, and 20c from the start to the end of manufacturing the optical fiber preform. As described above, in this embodiment, since the start and stop of supply of various gases is not repeated, various gases can be stably supplied to each burner 20a, 20b, and 20c, and various gases can be stably supplied to each burner 20a, 20b, and 20c. There is no need for waiting time until the gas supply becomes stable. Therefore, in this embodiment, the optical fiber preform can be manufactured with high efficiency.

したがって、本実施形態によれば、ブランクロッド１４の長手方向における全長にわたってより均一な外径を有する高品質の光ファイバ母材を高い効率で製造することができる。 Therefore, according to this embodiment, a high-quality optical fiber preform having a more uniform outer diameter over the entire length in the longitudinal direction of the blank rod 14 can be manufactured with high efficiency.

［変形実施形態］
本発明は、上記実施形態に限らず、種々の変形が可能である。 [Modified embodiment]
The present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible.

例えば、上記実施形態では、ＯＶＤ法により光ファイバ母材を製造する場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。光ファイバ母材の製造装置１０が採用する光ファイバ母材の製造方法は、例えば、ＭＣＶＤ（Modified Chemical Vapor Deposition）法であってもよい。この場合、上記ブランクロッド１４に代えてガラス微粒子を形成するための原料ガスが内部に流される管状ロッドを用い、この管状ロッドを外部から加熱するためのバーナーとしてバーナー２０ａ、２０ｂ、２０ｃを構成することができる。 For example, in the above embodiment, the case where the optical fiber preform is manufactured by the OVD method has been described as an example, but the present invention is not limited to this. The optical fiber preform manufacturing method employed by the optical fiber preform manufacturing apparatus 10 may be, for example, an MCVD (Modified Chemical Vapor Deposition) method. In this case, instead of the blank rod 14, a tubular rod into which a raw material gas for forming glass particles is flowed is used, and burners 20a, 20b, and 20c are configured as burners for heating this tubular rod from the outside. be able to.

また、上記実施形態では、ブランクロッド１４の中心軸が水平方向に沿うように把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４が把持される場合を例に説明したが、これに限定されるものではない。光ファイバ母材の製造装置１０は、例えば、ブランクロッド１４の中心軸が鉛直方向に沿うように把持部１６ａ、１６ｂによりブランクロッド１４が把持されるように構成されてもよい。 Further, in the embodiment described above, the case where the blank rod 14 is held by the holding parts 16a and 16b such that the central axis of the blank rod 14 is along the horizontal direction has been described as an example, but the present invention is not limited to this. The optical fiber preform manufacturing apparatus 10 may be configured, for example, so that the blank rod 14 is held by the holding parts 16a and 16b so that the central axis of the blank rod 14 is along the vertical direction.

１０…光ファイバ母材の製造装置
１２…装置ベース
１４…ブランクロッド
１６ａ、１６ｂ…把持部
１８…バーナー台
２０ａ、２０ｂ、２０ｃ…バーナー
２２…排気フード
２４…制御装置
１１０…光ファイバ母材の製造装置
２１０…光ファイバ母材の製造装置 10...Optical fiber preform manufacturing device 12...Device base 14...Blank rods 16a, 16b...Gripper 18...Burner stands 20a, 20b, 20c...Burner 22...Exhaust hood 24...Control device 110...Manufacture of optical fiber preform Device 210...Optical fiber preform manufacturing device

Claims

a gripping part that rotatably grips the blank rod with the central axis of the blank rod as a rotation axis, and is movable in a movement direction along the central axis of the blank rod in a first movable range;
forming a flame for generating glass particles to be deposited on the blank rod, and movable in the moving direction from a fixed position in a second movable range whose length in the moving direction is shorter than the first movable range. multiple burners,
a control unit that controls the gripping unit and the plurality of burners;
The control unit is configured to rotate the blank rod with the grip, move the grip while stopping movement of the plurality of burners that formed the flame, and move the grip while stopping the movement of the plurality of burners that formed the flame, and rotate the blank rod while stopping the movement of the grip. An apparatus for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the plurality of burners formed with the above burners are moved.

The optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the control section alternately repeats movement of the gripping section and movement of the plurality of burners.

The control unit switches from moving the gripping unit to moving the plurality of burners when a positional relationship between one end of the blanking rod and the outermost burner on the one end side becomes a predetermined relationship. 3. The optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 2.

The control unit controls the moving speed of the gripping portion and the plurality of burners so that relative speeds of the plurality of burners with respect to the blank rod are constant when moving the gripping portion and when moving the plurality of burners. The optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the moving speed of the burner is controlled.

The optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the plurality of burners are installed so as to face the central axis of the blank rod.

The optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 5, wherein the plurality of burners are installed so as to be shifted in a direction intersecting the moving direction.

The distance between the fixed position of one of the outermost burners and the fixed position of the other outermost burner in the moving direction of the plurality of burners is less than half the length of the blanking rod. The optical fiber preform manufacturing apparatus according to any one of claims 1 to 6, wherein the optical fiber preform is also small.

The optical fiber preform manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the width of the flame is smaller than the distance between the fixed positions of the burners adjacent to each other.

The optical fiber preform according to any one of claims 1 to 8, further comprising an exhaust hood installed to face a region including the second movable range via the blank rod. Manufacturing equipment.

a gripping part that rotatably grips the blank rod with the central axis of the blank rod as a rotation axis and is movable in a movement direction along the central axis of the blank rod in a first movable range; a plurality of burners that form a flame for generating glass particles and are movable in the movement direction from a fixed position in a second movement range whose length in the movement direction is shorter than the first movement range. A method for manufacturing an optical fiber preform using an optical fiber preform manufacturing device, the method comprising:
While rotating the blank rod by the gripping part, the gripping part is moved while stopping movement of the plurality of burners that have formed the flames, and the plurality of burners that have formed the flames while stopping movement of the gripping part. A method for manufacturing an optical fiber preform, characterized in that the glass particles are deposited on the blank rod by moving a burner.