JP7350204B1 - 有害物含有ガス処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 逆流した有害物含有ガスを補助有害物除去フィルタで処理すること、補助有害物除去フィルタで処理した有害物含有ガスも第２有害物除去フィルタで処理して排出すること及び補助有害物除去フィルタ及び第２有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給された場合でも有害物含有ガスを円滑に送れるようにすること。
【解決手段】 有害物含有ガスを受け入れる吸排気室５、吸排気室５内の第１有害物除去フィルタ６、上流送気管７、下流送気管８、上流送気管７からの有害物含有ガスを受け入れる補助吸排気室９、補助吸排気室９内の補助有害物除去フィルタ１０、補助送気管１１、下流送気管８及び補助送気管１１から送出される有害物含有ガスを受け入れるガス処理室１２、ガス処理室１２内の第２有害物除去フィルタ１３並びにガス排気口１４を備えている有害物含有ガス処理装置。
【選択図】 図１

Description

本発明は、食品工場、飼料工場、機械製造工場及び飲食店等において発生する有害物含有ガス中から有害物を除去するための有害物含有ガス処理装置に関する。

食品工場、飼料工場、機械製造工場及び飲食店等では、悪臭、油、細菌類、ウイルス類、カビ類、チリ、ほこり又は温室効果ガス等の有害物を含有する有害物含有ガスが発生する。そして、有害物含有ガスを排出するため、換気扇や換気ダクト等の排気装置が設置されている。この排気装置より排出される有害物含有ガスは有害であることから、本出願人は有害物含有ガス中から有害物を除去し無害化するための有害物含有ガス処理装置を出願した（特許文献１：特開２０１５－９４５０３号公報を参照）。
特許文献１には、吸気管(17)、油吸着除去フィルタ(61)を備える吸気室(4)、上部吸排気室(5)、下部吸排気室(6)、電磁弁(7)を備える上部吸気管(8)、下部吸気管(11)、上部排気管(14)、下部排気管(15)及び中央部吸排気管(68)、上部菌床材層(24)、下部菌床材層(40)及び油吸着除去フィルタ(61)を備える有害物除去装置(3)、上部吸排気室(5)と有害物除去装置(3)を接続する上部吸排気管(18)並びに下部吸排気室(6)と有害物除去装置(3)を接続する下部吸排気管(19)等を有する有害物含有ガス処理装置が記載されている。
そして、実施例３によれば、上部排気管の電磁弁(7)と下部排気管(15)の電磁弁(7)を閉じ、他の電磁弁(7)を開くことによって、油を含むガスを吸気管(17)から導入し、油吸着除去フィルタ(61)、油分解菌含有材(71)及び有害物除去装置(3)の上部菌床材層(24)と下部菌床材層(40)を通過させて処理した排気を中央部排気管(73)の中央部排気口(70)より排出することができる（特に、段落００５０～００５３及び図７等を参照）。

また、特許文献２（特開２００１－２５６２４号公報）には、空気中の化学物質と塵埃をそれぞれ除去するケミカルフィルタ(1)と塵除去フィルタ(4)とを含むファン・フィルタ・ユニット（ＦＦＵ）であって、送気ファン(3)から吹出された空気が全量ケミカルフィルタ(1)を通過した後、一部の空気はバイパス部(2)を通過してファン(3)に戻され、残りの空気は塵除去フィルタ(4)から所望のクリーンルーム(20)へ吹出される点等が記載されている（特に、段落００１８及び図１等を参照）。
また、特許文献３（特開２０１１－８０７１５号公報）には、外気(11)に含まれる塩分を除去するために、前段側の除塩フィルタ(16A)を迂回するバイパス通路(33)を設け、除塩フィルタ(16A)の圧力損失が上昇しても、後段側の除塩フィルタ(16B)によって除塩機能を発揮させることのできる塩害防止外気導入装置が記載されている（特に、段落００４７及び図４－２等を参照）。

しかし、特許文献１に記載されている有害物含有ガス処理装置の上部吸気管(8)及び下部吸気管(11)は、吸気室(4)の油吸着除去フィルタ(61)の下流側から分岐しているため、油吸着除去フィルタ(61)を通過しきれないガスは吸気管(17)側に逆流してしまう。また、吸気室(4)から中央部吸排気管(68)を通過したガスは、油分解菌含有材(71)、上部菌床材層(24)又は下部菌床材層(40)を通過せずに排出されてしまうという問題があった。
そして、特許文献２に記載されているＦＦＵにおいても、ケミカルフィルタ(1)を通過しきれない空気のことは考慮されておらず、特許文献３に記載されている塩害防止外気導入装置においては、バイパス通路(33)を通過した空気が後段側の除塩フィルタ(16B)のみによって除塩されるため、除塩能力が低下し易いという問題があった。

特開２０１５－９４５０３号公報（特許第６２１６６１７号公報） 特開２００１－２５６２４号公報（特許第３２８７３３７号公報） 特開２０１１－８０７１５号公報

本発明は、上記の問題を解決し、第１有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給されても、逆流した有害物含有ガスを補助有害物除去フィルタで処理できるようにすること及び第１有害物除去フィルタを通過した有害物含有ガスと補助有害物除去フィルタを通過した有害物含有ガスを第２有害物除去フィルタで処理した上で排出させることのできる有害物含有ガス処理装置の提供を第１の課題としている。
また、本発明は、補助有害物除去フィルタ及び第２有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給された場合でも、有害物含有ガスを円滑に送ることが可能な有害物含有ガス処理装置の提供を第２の課題としている。

請求項１に係る発明は、有害物含有ガス中から有害物を除去するための有害物含有ガス処理装置であって、
有害物含有ガスを受け入れる吸排気室と、
前記吸排気室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第１有害物除去フィルタと、
前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより上流側の近傍に設置され、前記第１有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを送出させることができる上流送気管と、
前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる下流送気管と、
前記上流送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れる補助吸排気室と、
前記補助吸排気室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する補助有害物除去フィルタと、
前記補助吸排気室の前記補助有害物除去フィルタより下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる補助送気管と、
前記下流送気管及び前記補助送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れるガス処理室と、
前記ガス処理室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第２有害物除去フィルタと、
前記ガス処理室の前記第２有害物除去フィルタより下流側に設置され、処理後の有害物含有ガスを外部に排出させることができるガス排気口を備えていることを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の有害物含有ガス処理装置において、
前記上流送気管、前記補助吸排気室、前記補助有害物除去フィルタ及び前記補助送気管は、前記吸排気室の近傍に複数組設置されていることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項１又は２に記載の有害物含有ガス処理装置において、
前記補助吸排気室の前記補助有害物除去フィルタより上流側と前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより下流側とを接続し、前記補助有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを通過させる接続管と、
前記ガス処理室の前記第２有害物除去フィルタより上流側に設置され、前記ガス処理室の内圧が異常に高くなった場合に有害物含有ガスを外部に排出させることができる補助排気口を備えていることを特徴とする。

請求項１に係る発明の有害物含有ガス処理装置によれば、有害物含有ガスを受け入れ、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第１有害物除去フィルタ及び第１有害物除去フィルタより下流側に設置される下流送気管を有する吸排気室だけでなく、吸排気室の第１有害物除去フィルタより上流側の近傍に設置され、第１有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを送出させることができる上流送気管と、上流送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れ、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する補助有害物除去フィルタ及び補助有害物除去フィルタより下流側に設置される補助送気管を有する補助吸排気室と、下流送気管及び補助送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れるガス処理室を備えているので、有害物含有ガスを最初に処理する第１有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給されても、逆流した有害物含有ガスを補助有害物除去フィルタで処理することができ、また、第１有害物除去フィルタを通過した有害物含有ガスと補助有害物除去フィルタを通過した有害物含有ガスを第２有害物除去フィルタで処理した上で排出させることができる。

請求項２に係る発明によれば、請求項１に係る発明による効果に加えて、上流送気管、補助吸排気室、補助有害物除去フィルタ及び補助送気管が、吸排気室の近傍に複数組設置されているので、複数ある補助吸排気室のいずれか１つに補助有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給されても、逆流した有害物含有ガスを他の補助吸排気室に送気することができる。

請求項３に係る発明によれば、請求項１又は２に係る発明による効果に加えて、補助吸排気室の補助有害物除去フィルタより上流側と吸排気室の第１有害物除去フィルタより下流側とを接続し、補助有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを通過させる接続管と、ガス処理室の第２有害物除去フィルタより上流側に設置され、ガス処理室の内圧が異常に高くなった場合に有害物含有ガスを外部に排出させることができる補助排気口を備えているので、補助吸排気室に補助有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給されても、逆流した有害物含有ガスを吸排気室の第１有害物除去フィルタより下流側に送り出すことができ、ガス処理室の第２有害物除去フィルタの処理能力を超える有害物含有ガスが供給された場合でも、逆流した有害物含有ガスを外部に排出させることができ、どんな状況下においても有害物含有ガスを円滑に送ることができる。

実施例１に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図。 実施例２に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図。 実施例３に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図。 実施例４に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図。

本発明は、食品工場、飼料工場、機械製造工場及び飲食店等において発生する有害物含有ガスを処理し、排出される有害物含有ガスから確実に有害物を除去するための有害物含有ガス処理装置である。
以下、実施例によって本発明の実施形態を説明する。

図１は、本発明の実施例１に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図である。
そして、実施例１に係る有害物含有ガス処理装置は、以下の構成を備えている。
（１）排気装置３の換気ダクト２に接続可能なガス送気管４。
（２）排気装置３から排出される有害物含有ガスを受け入れる吸排気室５。
（３）吸排気室５の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第１有害物除去フィルタ６。
（４）第１有害物除去フィルタ６より上流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる上流送気管７。なお、上流送気管７の上流側には吸排気室５の第１有害物除去フィルタ６に向かって延びる湾曲したガス誘導片１５が設けられている。
（５）第１有害物除去フィルタ６より下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる下流送気管８。
（６）上流送気管７から送出される有害物含有ガスを受け入れる補助吸排気室９。
（７）補助吸排気室９の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する補助有害物除去フィルタ１０。
（８）補助有害物除去フィルタ１０より下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる補助送気管１１。
（９）下流送気管８及び補助送気管１１から送出される有害物含有ガスを受け入れるガス処理室１２。
（１０）ガス処理室１２の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第２有害物除去フィルタ１３。
（１１）第２有害物除去フィルタ１３より下流側に設置され、処理後の有害物含有ガスを外部に排出させることができるガス排気口１４。

実施例１に係る有害物含有ガス処理装置は、図１のように構成されているので、排気装置３から排出される有害物含有ガスは、ガス送気管４を介して吸排気室５に流入し、第１有害物除去フィルタ６を通過する際に有害物が除去されるが、第１有害物除去フィルタ６の処理能力を超えたものは逆流する。しかし、逆流した有害物含有ガスの大部分はガス誘導片１５に導かれて補助吸排気室９に流入し、補助有害物除去フィルタ１０を通過する際に有害物が除去される。
そして、第１有害物除去フィルタ６を通過した有害物含有ガスは下流送気管８を介し、補助有害物除去フィルタ１０を通過した有害物含有ガスは補助送気管１１を介してガス処理室１２に流入し、第２有害物除去フィルタ１３を通過する際に有害物がさらに除去され、ほとんどの有害物が除去された後にガス排気口１４から外部に排出される。

図２は、本発明の実施例２に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図である。
なお、実施例１と共通する構成については、図１と同じ番号を用いて説明する。
そして、実施例２に係る有害物含有ガス処理装置は、図２に示すように、実施例１に係る有害物含有ガス処理装置の構成（１）～（３）及び（５）は、（１）のガス送気管４が吸排気室５の中央に配置されている点を除いて同じ構成となっており、構成（４）及び（６）～（８）は、上下対称に同じ構成のものを２組設けてある。
そのため、構成（１）～（８）に関する説明は省略し、構成（６）～（８）のうち上側にあるものに対しては同じ番号を用いつつ、上側上流送気管７、上側補助吸排気室９、上側補助有害物除去フィルタ１０、上側補助送気管１１及び上側ガス誘導片１５と記載し、下側にあるものに対しては同じ番号にダッシュを付加し、下側上流送気管７’、下側補助吸排気室９’、下側補助有害物除去フィルタ１０’、下側補助送気管１１’及び下側ガス誘導片１５’と記載する。
そして、構成（９）～（１１）に対応する構成である構成（９’）～（１１’）と、新たに追加した構成（１２）について説明する。
（９’）下流送気管８、上側補助送気管１１及び下側補助送気管１１’から送出される有害物含有ガスを受け入れる大型ガス処理室１６。
（１０’）大型ガス処理室１６の内部の上方に上流側が低くなるように傾斜させて設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する上側第２有害物除去フィルタ１７及び大型ガス処理室１６の内部の下方に上流側が低くなるように傾斜させて設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する下側第２有害物除去フィルタ１７’。
（１１’）上側第２有害物除去フィルタ１７より下流側に設置され、処理後の有害物含有ガスを外部に排出させることができる上側ガス排気口１８及び下側第２有害物除去フィルタ１７’より下流側に設置され、処理後の有害物含有ガスを外部に排出させることができる下側ガス排気口１８’。
（１２）上側第２有害物除去フィルタ１７の上流側端部に設置され、上側第２有害物除去フィルタ１７で除去された油（オイルミスト）や水分を油・水溜め容器１９に排出させる上側油・水排出管２０及び下側第２有害物除去フィルタ１７’で除去された油や水分を油・水溜め容器１９に排出させる下側油・水排出管２０’。

実施例２に係る有害物含有ガス処理装置は、図２のように構成されているので、排気装置３から排出される有害物含有ガスは、ガス送気管４を介して吸排気室５に流入し、第１有害物除去フィルタ６を通過する際に有害物が除去されるが、第１有害物除去フィルタ６の処理能力を超えたものは逆流する。しかし、逆流した有害物含有ガスの大部分は上側ガス誘導片１５及び下側ガス誘導片１５’に導かれて上側補助吸排気室９及び下側補助吸排気室９’に流入し、上側補助有害物除去フィルタ１０及び下側補助有害物除去フィルタ１０’を通過する際に有害物が除去される。
そして、第１有害物除去フィルタ６を通過した有害物含有ガスは下流送気管８を介し、上側補助有害物除去フィルタ１０を通過した有害物含有ガスは上側補助送気管１１を介し、下側補助有害物除去フィルタ１０’を通過した有害物含有ガスは下側補助送気管１１’を介して大型ガス処理室１６に流入し、上側第２有害物除去フィルタ１７及び下側第２有害物除去フィルタ１７’を通過する際に有害物がさらに除去され、ほとんどの有害物が除去された後に上側ガス排気口１８及び下側ガス排気口１８’から外部に排出される。
また、上側第２有害物除去フィルタ１７を有害物含有ガスが通過する際に除去された油（オイルミスト）や水分は、上側第２有害物除去フィルタ１７が傾斜させて設置されているので徐々に上流側（図２の左側）に流れ、上流側端部に設置されている上側油・水排出管２０を介して油・水溜め容器１９に排出される。同様に下側第２有害物除去フィルタ１７’で除去された油や水分も、下側第２有害物除去フィルタ１７’の上流側端部に設置されている下側油・水排出管２０’を介して油・水溜め容器１９に排出される。

図３は、本発明の実施例３に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図である。
なお、実施例１と共通する構成については、図１と同じ番号を用いて説明する。
そして、実施例３に係る有害物含有ガス処理装置は、図３に示すように、実施例１に係る有害物含有ガス処理装置の構成（１）～（１１）に加え、以下の構成を備えている。
（１３）補助吸排気室９の補助有害物除去フィルタ１０より上流側と吸排気室５の第１有害物除去フィルタ６より下流側とを接続する接続管２１。
（１４）ガス処理室１２の第２有害物除去フィルタ１３より上流側に設置され、有害物含有ガスを外部に排出させることができる補助排気口２２。
なお、補助排気口２２の出口には、ガス処理室１２の内圧が通常の場合には閉鎖状態で内圧が異常に高くなった場合に開放状態となる開閉弁２３が設けられている。

実施例３に係る有害物含有ガス処理装置は、図３のように構成されているので、実施例１と同様の機能を発揮する。そして、吸排気室５から補助吸排気室９に流入した有害物含有ガスの量が、補助有害物除去フィルタ１０の処理能力を超えた場合には、逆流した有害物含有ガスが接続管２１を通過して吸排気室５の第１有害物除去フィルタ６より下流側に流入するので、補助有害物除去フィルタ１０が目詰まりを起こした場合にも有害物含有ガスを円滑に送ることができる。なお、その場合、逆流した有害物含有ガスが補助有害物除去フィルタ１０を通過せずに吸排気室５に流入することになるが、逆流した有害物含有ガスの量は比較的少なく、その後ガス処理室１２流入し第２有害物除去フィルタ１３を通過する際に有害物が除去されるので、ガス排気口１４から外部に排出されるガスに含まれる有害物の量が急増することはない。
さらに、ガス処理室１２の内圧が異常に高くなった場合には、補助排気口２２が開放状態となり、有害物含有ガスを外部に排出させることができるので、有害物含有ガス処理装置が異常な状態になった場合にも、装置が壊れずに済むという効果を奏する。

図４は、本発明の実施例４に係る有害物含有ガス処理装置の全体構成を示す図である。
そして、実施例４に係る有害物含有ガス処理装置は、実施例２の構成（１）～（８）、（９’）～（１１’）及び（１２）に、実施例３の構成（１３）である接続管を上下対称に上側接続管２１と下側接続管２１’の２組設けるとともに、構成（１４）と同じ機能の構成（１４’）を追加し、さらに、構成（１５）を追加したものである。そのため、構成（１）～（８）、（９’）～（１１’）、（１２）及び（１３）については説明を省略し、構成（１４’）及び（１５）について説明する。
（１４’）大型ガス処理室１６の上側第２有害物除去フィルタ１７より上流側に設置され、有害物含有ガスを外部に排出させることができる補助排気口２２’。
なお、補助排気口２２’の出口には、大型ガス処理室１６の内圧が通常の場合には閉鎖状態で内圧が異常に高くなった場合に開放状態となる開閉弁２３’が設けられている。
（１５）ガス送気管４の途中から分岐し、逆流した有害物含有ガスを上側補助吸排気室９に導入する上側逆流ガス導入管２４及び下側補助吸排気室９’に導入する下側逆流ガス導入管２４’。なお、上側逆流ガス導入管２４及び下側逆流ガス導入管２４’の上流側には、それぞれ下流側に向かって延びる湾曲した上側ガス導入片２５及び下側ガス導入片２５’が設けられている。

実施例４に係る有害物含有ガス処理装置は、図４のように構成されているので、実施例２及び３に係る有害物含有ガス処理装置のそれぞれが有する機能を発揮し、構成（１４’）によって大型ガス処理室１６の内圧が異常に高くなった場合に有害物含有ガスを外部に排出させることができる。また、吸排気室５に流入した有害物含有ガスの量が第１有害物除去フィルタ６の処理能力を超え、逆流した有害物含有ガスがガス送気管４に達した場合においても、有害物含有ガスは構成（１５）によって上側ガス導入片２５及び下側ガス導入片２５’に導かれ、上側逆流ガス導入管２４及び下側逆流ガス導入管２４’を通過して上側補助吸排気室９及び下側補助吸排気室９’に流入し、上側補助有害物除去フィルタ１０及び下側補助有害物除去フィルタ１０’を通過する際に有害物が除去される。

実施例１～４に係る有害物含有ガス処理装置に関する変形例を列記する。
（１）実施例１～４においては、排気装置３の換気ダクト２に接続可能なガス送気管４を備え、吸排気室５は排気装置３から排出される有害物含有ガスを受け入れていたが、有害物含有ガスが発生している場所の近くにガスを吸入し送出するガス吸入送出装置を設置し、そのガス吸入送出装置から送り出される有害物含有ガスをガス送気管４又は吸排気室５で受け入れて処理するようにしても良い。
（２）実施例１～４における有害物除去フィルタは種類が特定されていなかったが、ガス中の有害物を分解、脱臭、吸着又は殺菌できるタイプのものと、ガスに含まれる油（オイルミスト）や水分を吸収できるタイプのものを使い分けても良い。例えば、実施例１の第１有害物除去フィルタ６及び補助有害物除去フィルタ１０は前者のタイプとし、第２有害物除去フィルタ１３は後者のタイプとしても良い。
（３）実施例２及び４においては、補助吸排気室等を吸排気室に対して上下対称に同じ構成のものを２組設置したが、２組に限らず吸排気室の近傍に複数組設置しても良い。
（４）実施例３の接続管２１、実施例４の上側接続管２１と下側接続管２１’は、ガスが自由に行き来できるものであったが、補助排気口２２と同様に、補助吸排気室９、上側補助吸排気室９又は下側補助吸排気室９’の内圧が通常の場合には閉鎖状態で内圧が異常に高くなった場合に開放状態となる開閉弁を設けても良い。

１ 換気扇 ２ 換気ダクト ３ 排気装置 ４ ガス送気管
５ 吸排気室 ６ 第１有害物除去フィルタ
７ 上流送気管、上側上流送気管 ７’ 下側上流送気管 ８ 下流送気管
９ 補助吸排気室、上側補助吸排気室 ９’ 下側補助吸排気室
１０ 補助有害物除去フィルタ、上側補助有害物除去フィルタ
１０’ 下側補助有害物除去フィルタ １１ 補助送気管、上側補助送気管
１１’ 下側補助送気管 １２ ガス処理室 １３ 第２有害物除去フィルタ
１４ ガス排気口 １５ ガス誘導片、上側ガス誘導片
１５’ 下側ガス誘導片 １６ 大型ガス処理室
１７ 上側第２有害物除去フィルタ １７’ 下側第２有害物除去フィルタ
１８ 上側ガス排気口 １８’ 下側ガス排気口 １９ 油・水溜め容器
２０ 上側油・水排出管 ２０’ 下側油・水排出管
２１ 接続管、上側接続管 ２１’ 下側接続管 ２２，２２’ 補助排気口
２３，２３’ 開閉弁 ２４ 上側逆流ガス導入管
２４’ 下側逆流ガス導入管 ２５ 上側ガス導入片 ２５’ 下側ガス導入片

Claims (3)

1. 有害物含有ガス中から有害物を除去するための有害物含有ガス処理装置であって、
   有害物含有ガスを受け入れる吸排気室と、
   前記吸排気室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第１有害物除去フィルタと、
   前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより上流側の近傍に設置され、前記第１有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを送出させることができる上流送気管と、
   前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる下流送気管と、
   前記上流送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れる補助吸排気室と、
   前記補助吸排気室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する補助有害物除去フィルタと、
   前記補助吸排気室の前記補助有害物除去フィルタより下流側に設置され、有害物含有ガスを送出させることができる補助送気管と、
   前記下流送気管及び前記補助送気管から送出される有害物含有ガスを受け入れるガス処理室と、
   前記ガス処理室の内部に設置され、通過する有害物含有ガスから有害物を除去する第２有害物除去フィルタと、
   前記ガス処理室の前記第２有害物除去フィルタより下流側に設置され、処理後の有害物含有ガスを外部に排出させることができるガス排気口を備えている
   ことを特徴とする有害物含有ガス処理装置。
2. 前記上流送気管、前記補助吸排気室、前記補助有害物除去フィルタ及び前記補助送気管は、前記吸排気室の近傍に複数組設置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の有害物含有ガス処理装置。
3. 前記補助吸排気室の前記補助有害物除去フィルタより上流側と前記吸排気室の前記第１有害物除去フィルタより下流側とを接続し、前記補助有害物除去フィルタの処理能力を超えた場合に逆流する有害物含有ガスを通過させる接続管と、
   前記ガス処理室の前記第２有害物除去フィルタより上流側に設置され、前記ガス処理室の内圧が異常に高くなった場合に有害物含有ガスを外部に排出させることができる補助排気口を備えている
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の有害物含有ガス処理装置。

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