JP7213177B2 - 被膜付き透明基板、被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液及び被膜付き透明基板の製造方法 - Google Patents
被膜付き透明基板、被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液及び被膜付き透明基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7213177B2 JP7213177B2 JP2019514445A JP2019514445A JP7213177B2 JP 7213177 B2 JP7213177 B2 JP 7213177B2 JP 2019514445 A JP2019514445 A JP 2019514445A JP 2019514445 A JP2019514445 A JP 2019514445A JP 7213177 B2 JP7213177 B2 JP 7213177B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transparent substrate
- coating
- coated transparent
- film
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 207
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 206
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 157
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 88
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 82
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 73
- -1 aluminum chelate complex Chemical class 0.000 claims description 73
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 68
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 49
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 44
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 claims description 33
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 33
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 27
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 23
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 22
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 20
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 19
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 16
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 16
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000003446 ligand Substances 0.000 claims description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 9
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 9
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 8
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 8
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 claims description 5
- 125000003302 alkenyloxy group Chemical group 0.000 claims description 5
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims description 5
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 125000006606 n-butoxy group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000005920 sec-butoxy group Chemical group 0.000 claims description 4
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 89
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 36
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 13
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 10
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 9
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229940063656 aluminum chloride Drugs 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical class [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 3
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 3
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 3
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N Methylacetoacetic acid Chemical compound COC(=O)CC(C)=O WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000209094 Oryza Species 0.000 description 2
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- JGDITNMASUZKPW-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.Cl[Al](Cl)Cl JGDITNMASUZKPW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229940009861 aluminum chloride hexahydrate Drugs 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 2
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 2
- 239000006103 coloring component Substances 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- UDRCONFHWYGWFI-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-oxopentanoate Chemical compound CCOC(=O)CC(=O)CC UDRCONFHWYGWFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XCLDSQRVMMXWMS-UHFFFAOYSA-N ethyl 4-methyl-3-oxopentanoate Chemical compound CCOC(=O)CC(=O)C(C)C XCLDSQRVMMXWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N ethyl acetoacetate Chemical compound CCOC(=O)CC(C)=O XYIBRDXRRQCHLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940093858 ethyl acetoacetate Drugs 0.000 description 2
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000000643 oven drying Methods 0.000 description 2
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 2
- GVIIRWAJDFKJMJ-UHFFFAOYSA-N propan-2-yl 3-oxobutanoate Chemical compound CC(C)OC(=O)CC(C)=O GVIIRWAJDFKJMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 2
- RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N silicic acid Chemical compound O[Si](O)(O)O RMAQACBXLXPBSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N tetrapropan-2-yl silicate Chemical compound CC(C)O[Si](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C ZUEKXCXHTXJYAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M (3-methylphenyl)methyl-triphenylphosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CC1=CC=CC(C[P+](C=2C=CC=CC=2)(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC=CC=2)=C1 BNGXYYYYKUGPPF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 3-[bis(2,4-dioxopentan-3-yl)alumanyl]pentane-2,4-dione Chemical compound CC(=O)C(C(C)=O)[Al](C(C(C)=O)C(C)=O)C(C(C)=O)C(C)=O XBIUWALDKXACEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-1-butanol Chemical compound COC(C)CCO JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-3-methylbutan-1-ol Chemical compound COC(C)(C)CCO MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropyl acetate Chemical compound COCCCOC(C)=O CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N dihydroxy(oxo)silane Chemical compound O[Si](O)=O IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 238000004439 roughness measurement Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M sodium;oxocalcium;hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+].[Ca]=O HUAUNKAZQWMVFY-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
- B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B9/00—Layered products comprising a layer of a particular substance not covered by groups B32B11/00 - B32B29/00
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/23—Oxides
- C03C17/25—Oxides by deposition from the liquid phase
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/111—Anti-reflection coatings using layers comprising organic materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
前記被膜は、連続構造を有するシリカと、アルミニウム化合物と、有機成分とを含み、
前記被膜における成分の含有率が、質量%表示で、
前記連続構造を有するシリカ 93%超~99.9%
前記アルミニウム化合物をAl2O3に換算して 0.05~2%未満
有機成分 0.05~5%
であり、
前記被膜の膜厚が20~500nmであり、
前記有機成分がβケトエステルを含む、
被膜付き透明基板を提供する。
前記塗工液は、加水分解性シリコン化合物と、アルミニウムキレート錯体と、溶媒とを含み、
前記加水分解性シリコン化合物は、式(I):SiX4(ここで、Xは、アルコキシ基、アセトキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基及びハロゲン原子から選ばれる少なくとも1つである)に示す化合物を含み、
前記アルミニウムキレート錯体は、βケトエステル構造を有する多座配位子を含み、
前記溶媒は、水と混和し、かつ、70℃以上180℃未満の沸点を有する有機溶媒を含み、
前記加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、前記アルミニウムキレート錯体は、0.1~10質量部である、
塗工液を提供する。
上記本発明の第1の態様に係る被膜付き透明基板の製造方法であって、
前記製造方法は、
前記被膜を形成するための塗工液を前記透明基板に塗布する塗布工程と、
前記塗工液が塗布された前記透明基板を加熱する加熱工程と、
を含み、
前記塗工液は、上記本発明の第2の態様に係る塗工液であり、
前記加熱工程において、前記透明基板の表面が経験する最高温度が350℃以下であり、前記透明基板の表面が150℃以上の温度にある時間が5分以下である、
被膜付き透明基板の製造方法を提供する。
SiX4 (I)
被膜を形成するための塗工液を透明基板に塗布する塗布工程と、塗工液が塗布された透明基板を加熱する加熱工程と、を含み、前記塗工液が上記で説明した本実施形態の塗工液であり、前記加熱工程において、前記透明基板の表面が経験する最高温度が350℃以下であり、前記透明基板の表面が150℃以上の温度にある時間が5分以下、好ましくは130℃以上が5分以下である、製造方法、
を挙げることができる。
透明基板と、前記透明基板の少なくとも一方の主表面に形成されている被膜とを含む、
被膜付き透明基板であって、
前記被膜は、連続構造を有するシリカと、アルミニウム化合物とを含み、
前記被膜における成分の含有率が、質量%表示で、
前記連続構造を有するシリカ:75~98%(好ましくは75~95%、より好ましくは80~92%)
前記アルミニウム化合物をAl2O3に換算して:2~25%(好ましくは5~25%、より好ましくは8%超~20%)
であり、
前記被膜の膜厚が20~500nmである、
被膜付き透明基板。
上記態様1の被膜付き透明基板であって、
前記アルミニウム化合物が、前記被膜を形成するための塗工液に添加された、ハロゲン化アルミニウム(好ましくは塩化アルミニウム)に由来する、
被膜付き透明基板。
上記態様1又は2の被膜付き透明基板であって、
前記連続構造を有するシリカが、前記被膜を形成するための塗工液に添加された、加水分解性シリコン化合物または加水分解性シリコン化合物の加水分解物に由来し、
前記加水分解性シリコン化合物が、テトラアルコキシシランである、
被膜付き透明基板。
なお、態様3の被膜付き透明基板は、被膜が連続構造を有するシリカおよびアルミニウム化合物からなることが好ましい。
上記態様1~3のいずれか1つの態様の被膜付き透明基板であって、
前記被膜が形成されていない状態の前記透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率に対する、前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率の増分、として定義される透過率ゲインが、1.5%以上である、
被膜付き透明基板。
上記態様1~4のいずれか1つの態様の被膜付き透明基板であって、
前記被膜付き透明基板に対してプレッシャークッカー試験を実施した後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率と、前記プレッシャークッカー試験を実施する前の前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率との差の絶対値が、1%以下(好ましくは0.5%以下、より好ましくは0.2%以下)である、
被膜付き透明基板。
ここで、前記プレッシャークッカー試験とは、前記被膜付き透明基板を、温度130℃、2気圧、相対湿度100%の高湿高温条件下で1時間保持し、印加した圧力を解除したのち室温まで放冷する、というサイクルを2サイクル施す試験である。
上記態様1~5のいずれか1つの態様の被膜付き透明基板であって、
前記被膜付き透明基板に対してJIS R3221:2002に定める耐アルカリ性試験を行った後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率と、前記耐アルカリ性試験が実施される前の前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率との差の絶対値が、2%以下(好ましくは1%以下、より好ましくは0.5%以下)である、
被膜付き透明基板。
ここで、前記JIS R3221:2002に定める耐アルカリ性試験とは、前記被膜付き透明基板を、温度23℃、濃度1mol/Lの水酸化ナトリウム溶液に、被膜が当該溶液に完全に接触するように6時間浸漬する試験である。
上記態様1~6のいずれか1つの態様の被膜付き透明基板であって、
前記被膜は、前記被膜を形成するための塗工液が前記透明基板に塗布された後に、加熱工程が実施されることによって形成されており、
前記加熱工程において、
前記透明基板の表面が経験する最高温度が250℃以上(好ましくは280℃以上、400℃以下)である、
被膜付き透明基板。
被膜の厚さは、電界放射型走査型電子顕微鏡(FE-SEM)の写真を用いて求めた。被膜を電界放射型走査型電子顕微鏡(S-4500、株式会社日立製作所製)によって観察した。被膜の30°斜め上方からの断面におけるFE-SEM写真から、測定点5点での被膜の厚さの平均値を、被膜の厚さとした。
分光光度計(「U-4100」、株式会社日立ハイテクサイエンス製)を用い、被膜の形成前後における透明基板(ここではガラス板)の透過率曲線(透過スペクトル)をそれぞれ測定した。平均透過率は、波長域380~850nmにおける透過率を平均化して算出した。被膜が形成されたガラス板の平均透過率の、該被膜が形成される前のガラス板の平均透過率に対する増分を透過率ゲインとした。
得られた被膜の耐久性を評価するため、促進試験としてプレッシャークッカー試験を実施した。被膜付き透明基板を、温度130℃、2気圧、相対湿度100%に設定した試験槽内に1時間保持し、印加した圧力を解除したのち槽内から取り出して室温まで放冷する工程からなるサイクルを、2サイクル施すことにより、本発明でのプレッシャークッカー試験とした。この試験の実施前と実施後での平均透過率をそれぞれ測定し、平均透過率の差の絶対値を、プレッシャークッカー試験による耐久性の評価とした。平均透過率は、上述の透過特性を評価する際と同様の方法により測定した。
JIS R3221:2002に記載されている耐アルカリ性試験に準じて、被膜付き透明基板の耐アルカリ性を評価した。具体的には、23℃の1mol/LのNaOH水溶液に、当該溶液に被膜が完全に接触するように被膜付き透明基板を6時間浸漬させ、その後水洗し乾燥させた。ただし、本実施例では、JIS R3221:2002で定められている可視光透過率の差の絶対値の代わりに、上述の透過特性の評価と同様の方法で測定した波長域380~850nmにおける平均透過率を用い、耐アルカリ性試験後の平均透過率と、耐アルカリ性試験が実施される前の平均透過率との差の絶対値を求めて、これを耐アルカリ性評価とした。
<塗工液の調製>
1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)76.63質量部、水5.03質量部及び1N塩酸(加水分解触媒)1.00質量部を攪拌混合し、さらに攪拌しながらテトラエトキシシラン(正珪酸エチル、多摩化学工業株式会社製)17.34質量部を添加し、引き続き40℃に保温しながら8時間攪拌してテトラエトキシシランを加水分解し、加水分解液Aを得た。
実施例1では、透明導電膜付きガラス板の片側の主表面に被膜を形成して、被膜付き透明基板を得た。このガラス板は、通常のソーダライムシリケート組成からなり、オンラインCVD法を用いて片方の主表面に透明導電層を含む透明導電膜が形成された、厚さ3.2mmの日本板硝子株式会社製の透明導電膜付きガラス板であった。このガラス板を200×300mmに切断し、アルカリ溶液(アルカリ性洗浄液 LBC-1、レイボルド株式会社製)に浸漬して超音波洗浄機を用いて洗浄し、脱イオン水で水洗したのち常温で乾燥させて被膜を形成するためのガラス板とした。被膜を施す前のこのガラス板の透過特性を前述のとおり評価したところ、平均透過率83.2%であった。
<塗工液の調製>
加水分解液A、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)、アルミニウムキレート錯体溶液を、加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)39.85g、アルミニウムキレート錯体溶液0.15gとした以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、アルミニウムキレート錯体は0.5質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して99.70質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は0.08質量%、有機成分(アルミニウムキレート錯体の配位子由来の有機成分)は0.21質量%であった。
実施例2では、前述の実施例2の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表1に示す。
<塗工液の調製>
加水分解液A、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)、アルミニウムキレート錯体溶液を、加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)39.70g、アルミニウムキレート錯体溶液0.30gとした以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、アルミニウムキレート錯体は1質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して99.41質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は0.17質量%、有機成分(アルミニウムキレート錯体の配位子由来の有機成分)は0.43質量%であった。
実施例3では、前述の実施例3の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表1に示す。
<塗工液の調製>
加水分解液A、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)、アルミニウムキレート錯体溶液を、加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)38.68g、アルミニウムキレート錯体溶液1.32gとした以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、アルミニウムキレート錯体は4.4質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して97.44質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は0.72質量%、有機成分(アルミニウムキレート錯体の配位子由来の有機成分)は1.84質量%であった。
実施例4では、前述の実施例4の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表1に示す。
<塗工液の調製>
加水分解液A、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)、アルミニウムキレート錯体溶液を、加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)35.59g、アルミニウムキレート錯体溶液4.41gとした以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、アルミニウムキレート錯体は14.7質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して91.93質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は2.27質量%、有機成分(アルミニウムキレート錯体の配位子由来の有機成分)は5.80質量%であった。
比較例1では、前述の比較例1の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表2に示す。
<塗工液の調製>
アルミニウムキレート錯体溶液を添加せずに、加水分解液A及び1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)を、加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)40.00gとした以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して100質量%であった。
比較例2では、前述の比較例2の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表2に示す。
<塗工液の調製>
1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)63.79質量部、水32.70質量部及び1N塩酸(加水分解触媒)1.50質量部を攪拌混合し、さらに攪拌しながらテトラエトキシシラン(正珪酸エチル、多摩化学工業株式会社製)52.01質量部を添加し、引き続き40℃に保温しながら8時間攪拌してテトラエトキシシランを加水分解し、加水分解液Bを得た。
比較例3では、前述の比較例3の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表2に示す。
<塗工液の調製>
アルミニウムキレート錯体溶液の代わりに、塩化アルミニウム水溶液(AlCl3として濃度47.6質量%、塩化アルミニウム6水和物、試薬グレード、シグマアルドリッチ社製を脱イオン水に溶解)を用いた。加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)39.18g、塩化アルミニウム水溶液0.82gを攪拌混合した。これら以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、塩化アルミニウムは13.1質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して90.91質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は9.09質量%、有機成分は0質量%であった。
参考例1では、前述の参考例1の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表2に示す。実施例1と同じ加熱条件(熱布乾燥)で被膜を形成した場合、表2に示すように、プレッシャークッカー試験によって評価される耐久性の結果、及び、耐アルカリ性評価の結果が良くなかった。そこで、ガラス板に塗布した塗工液を乾燥及び硬化させるための加熱を、熱風を用いた加熱ではなく、400℃に設定した電気炉に塗工液が塗布されたガラス板を4分間保持することによって行った。この電気炉を用いた加熱では、ガラス板の塗工液が塗布されたガラス面における最高到達温度は300℃だった。乾燥・硬化後のガラス板は室温まで放冷し、ガラス板に被膜を形成した。この電気炉を用いた加熱によって形成された被膜を備えたガラス板は、プレッシャークッカー試験によって評価される耐久性、及び、耐アルカリ性に優れていた。なお、表2中、実施例1と同じ加熱条件で形成された被膜を備えたガラス板の評価結果には「熱風乾燥」と併記され、上記の電気炉を用いた加熱によって形成された被膜を備えたガラス板の評価結果には「電気炉乾燥」と併記されている。
<塗工液の調製>
アルミニウムキレート錯体溶液の代わりに、塩化アルミニウム水溶液(AlCl3として濃度47.6質量%、塩化アルミニウム6水和物、試薬グレード、シグマアルドリッチ社製を脱イオン水に溶解)を用いた。加水分解液A60.00g、1-メトキシ-2-プロパノール(溶媒)38.35g、塩化アルミニウム水溶液1.65gを混合攪拌した。これら以外は、実施例1と同様に塗工液を調製した。塗工液において、加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、塩化アルミニウムは26.2質量部含まれている。この塗工液の固形分に含まれる酸化ケイ素成分はSiO2に換算して83.33質量%、Al2O3に換算したアルミニウム化合物は16.67質量%、有機成分は0質量%であった。
参考例2では、前述の参考例2の塗工液を用いた以外は実施例1と同じ手順で、被膜を形成し、前述の各特性を評価した。その結果を表2に示す。実施例1と同じ加熱条件(熱風乾燥)で被膜を形成した場合、表2に示すように、プレッシャークッカー試験によって評価される耐久性の結果、及び、耐アルカリ性評価の結果が良くなかった。そこで、ガラス板に塗布した塗工液を乾燥及び硬化させるための加熱を、熱風を用いた加熱ではなく、400℃に設定した電気炉に塗工液が塗布されたガラス板を4分間保持することによって行った。この電気炉を用いた加熱では、ガラス板の塗工液が塗布されたガラス面における最高到達温度は300℃だった。乾燥・硬化後のガラス板は室温まで放冷し、ガラス板に被膜を形成した。この電気炉を用いた加熱によって形成された被膜を備えたガラス板は、プレッシャークッカー試験によって評価される耐久性、及び、耐アルカリ性に優れていた。なお、表2中、実施例1と同じ加熱条件で形成された被膜を備えたガラス板の評価結果には「熱風乾燥」と併記され、上記の電気炉を用いた加熱によって形成された被膜を備えたガラス板の評価結果には「電気炉乾燥」と併記されている。
Claims (25)
- 透明基板と、前記透明基板の少なくとも一方の主表面に形成されている被膜とを含む、
被膜付き透明基板であって、
前記被膜は、連続構造を有するシリカと、アルミニウムキレート錯体と、アルミニウムキレート錯体の配位子由来の有機成分とを含み、
前記被膜における成分の含有率が、質量%表示で、
前記連続構造を有するシリカ 93%超~99.9%
前記アルミニウムキレート錯体をAl2O3に換算して 0.05~2%未満
前記有機成分 0.05~5%
であり、
前記被膜の膜厚が20~500nmであり、
前記アルミニウムキレート錯体は、βケトエステル構造を有する多座配位子を含み、
前記有機成分がβケトエステルを含む、
被膜付き透明基板。 - 前記アルミニウムキレート錯体は、さらにアルミニウム原子に直接結合した1又は2個のアルコキシ基を含む、
請求項1に記載の被膜付き透明基板。 - 前記アルコキシ基の炭素数が1~8である、
請求項2に記載の被膜付き透明基板。 - 前記アルコキシ基が、i-プロポキシ基、n-ブトキシ基及びsec-ブトキシ基からなる群から選択されるいずれか1つである、
請求項3に記載の被膜付き透明基板。 - 前記βケトエステル構造において、
エステルを構成するカルボン酸の炭素数が4~6個であり、
エステルを構成するアルコールの炭素数が1~3個である、
請求項1~4のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。 - 前記βケトエステル構造において、
エステルを構成するカルボン酸の炭素数が4個であり、
エステルを構成するアルコールの炭素数が2個である、
請求項5に記載の被膜付き透明基板。 - 前記連続構造を有するシリカが、前記被膜を形成するための塗工液に添加された、加水分解性シリコン化合物又は加水分解性シリコン化合物の加水分解物に由来し、
該加水分解性シリコン化合物が、下記式(I)に示す化合物を含む、
請求項1~6のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。
SiX4 (I)
ここで、Xは、アルコキシ基、アセトキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基及びハロゲン原子から選ばれる少なくとも1つである。 - 前記加水分解性シリコン化合物が、テトラアルコキシシランである、
請求項7に記載の被膜付き透明基板。 - 前記被膜が形成されていない状態の前記透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率に対する、前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率の増分、として定義される透過率ゲインが、1.5%以上である、
請求項1~8のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。 - 前記被膜付き透明基板に対してプレッシャークッカー試験を実施した後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率と、前記プレッシャークッカー試験を実施する前の前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率との差の絶対値が、1%以下である、
請求項1~9のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。
ここで、前記プレッシャークッカー試験とは、前記被膜付き透明基板を、温度130℃、2気圧、相対湿度100%の高湿高温条件下で1時間保持し、印加した圧力を解除したのち室温まで放冷する、というサイクルを2サイクル施す試験である。 - 前記被膜付き透明基板に対してJIS R3221:2002に定める耐アルカリ性試験を行った後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率と、前記耐アルカリ性試験が実施される前の前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率との差の絶対値が、0.8%以下である、
請求項1~10のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。
ここで、前記JIS R3221:2002に定める耐アルカリ性試験とは、前記被膜付き透明基板を、温度23℃、濃度1mol/Lの水酸化ナトリウム溶液に、被膜が当該溶液に完全に接触するように6時間浸漬する試験である。 - 前記透明基板がガラス板である、
請求項1~11のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板。 - 前記透明基板の前記被膜が形成されている前記主表面とは反対側の主表面に、透明導電層を含む膜が形成されている、
請求項12に記載の被膜付き透明基板。 - 被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液であって、
前記塗工液は、加水分解性シリコン化合物と、アルミニウムキレート錯体と、溶媒とを含み、
前記加水分解性シリコン化合物は、式(I):SiX4(ここで、Xは、アルコキシ基、アセトキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基及びハロゲン原子から選ばれる少なくとも1つである)に示す化合物を含み、
前記アルミニウムキレート錯体は、βケトエステル構造を有する多座配位子を含み、
前記溶媒は、水と混和し、かつ、70℃以上180℃未満の沸点を有する有機溶媒を含み、
前記加水分解性シリコン化合物に含まれる酸化ケイ素成分をSiO2に換算した質量を100質量部としたときに、前記アルミニウムキレート錯体は、0.1~10質量部である、
塗工液。 - 前記加水分解性シリコン化合物の加水分解触媒として、酸解離定数pKaが2.5以下の酸をさらに含む、
請求項14に記載の塗工液。 - 前記加水分解性シリコン化合物が、テトラアルコキシシランである、
請求項14又は15に記載の塗工液。 - 前記アルミニウムキレート錯体は、さらに、アルミニウム原子に直接結合した1又は2個のアルコキシ基を含む、
請求項14~16のいずれか1項に記載の塗工液。 - 前記アルコキシ基の炭素数が1~8である、
請求項17に記載の塗工液。 - 前記アルコキシ基が、i-プロポキシ基、n-ブトキシ基及びsec-ブトキシ基からなる群から選択されるいずれか1つである、
請求項18に記載の塗工液。 - 前記βケトエステル構造において、
エステルを構成するカルボン酸の炭素数が4~6個であり、
エステルを構成するアルコールの炭素数が1~3個である、
請求項14~19のいずれか1項に記載の塗工液。 - 前記βケトエステル構造において、
エステルを構成するカルボン酸の炭素数が4個であり、
エステルを構成するアルコールの炭素数が2個である、
請求項20に記載の塗工液。 - 請求項1~13のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板の製造方法であって、
前記製造方法は、
前記被膜を形成するための塗工液を前記透明基板に塗布する塗布工程と、
前記塗工液が塗布された前記透明基板を加熱する加熱工程と、
を含み、
前記塗工液は、請求項14~21のいずれか1項に記載の塗工液であり、
前記加熱工程において、前記透明基板の表面が経験する最高温度が350℃以下であり、前記透明基板の表面が150℃以上の温度にある時間が5分以下である、
被膜付き透明基板の製造方法。 - 前記製造方法によって製造された前記被膜付き透明基板について、前記被膜が形成されていない状態の前記透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率に対する、前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率の増分、として定義される透過率ゲインが、1.5%以上である、
請求項22に記載の被膜付き透明基板の製造方法。 - 前記製造方法によって製造された前記被膜付き透明基板に対してプレッシャークッカー試験を実施した後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過と、前記プレッシャークッカー試験を実施する前の前記被膜付き透明基板の該波長域に
おける平均透過率との差の絶対値が、1%以下である、
請求項22又は23に記載の被膜付き透明基板の製造方法。
ここで、前記プレッシャークッカー試験とは、前記被膜付き透明基板を、温度130℃、2気圧、相対湿度100%の高温高湿条件下で1時間保持し、印加した圧力を解除したのち室温まで放冷する、というサイクルを2サイクル施す試験である。 - 前記製造方法によって製造された前記被膜付き透明基板に対してJIS R3221:2002に定める耐アルカリ性試験を行った後の前記被膜付き透明基板の波長域380~850nmにおける平均透過率と、前記耐アルカリ性試験が実施される前の前記被膜付き透明基板の該波長域における平均透過率との差の絶対値が、0.8%以下である、
請求項22~24のいずれか1項に記載の被膜付き透明基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017088246 | 2017-04-27 | ||
JP2017088246 | 2017-04-27 | ||
PCT/JP2018/016162 WO2018198937A1 (ja) | 2017-04-27 | 2018-04-19 | 被膜付き透明基板、被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液及び被膜付き透明基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018198937A1 JPWO2018198937A1 (ja) | 2020-03-12 |
JP7213177B2 true JP7213177B2 (ja) | 2023-01-26 |
Family
ID=63918213
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019514445A Active JP7213177B2 (ja) | 2017-04-27 | 2018-04-19 | 被膜付き透明基板、被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液及び被膜付き透明基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7213177B2 (ja) |
WO (1) | WO2018198937A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002022905A (ja) | 2000-07-04 | 2002-01-23 | Jsr Corp | 反射防止膜、反射防止膜を含む積層体、および反射防止膜の製造方法 |
JP2003327911A (ja) | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Dainippon Ink & Chem Inc | 被膜の形成方法、該方法によって得られる被膜、反射防止膜及び光触媒膜 |
JP2009527786A (ja) | 2006-11-23 | 2009-07-30 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック | 二層構造の耐スクラッチおよび耐摩耗被膜を含む光学物品、およびこれを生産する方法 |
JP2015110313A (ja) | 2013-10-31 | 2015-06-18 | セントラル硝子株式会社 | 親水性被膜形成物品、親水性被膜形成用塗布液及び親水性被膜形成物品の製造方法 |
WO2016051750A1 (ja) | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 日本板硝子株式会社 | 低反射コーティング、ガラス板、ガラス基板、及び光電変換装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1152103A (ja) * | 1997-07-30 | 1999-02-26 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止膜およびそれを配置した表示装置 |
-
2018
- 2018-04-19 JP JP2019514445A patent/JP7213177B2/ja active Active
- 2018-04-19 WO PCT/JP2018/016162 patent/WO2018198937A1/ja active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002022905A (ja) | 2000-07-04 | 2002-01-23 | Jsr Corp | 反射防止膜、反射防止膜を含む積層体、および反射防止膜の製造方法 |
JP2003327911A (ja) | 2002-05-15 | 2003-11-19 | Dainippon Ink & Chem Inc | 被膜の形成方法、該方法によって得られる被膜、反射防止膜及び光触媒膜 |
JP2009527786A (ja) | 2006-11-23 | 2009-07-30 | エシロール アテルナジオナール カンパニー ジェネラーレ デ オプティック | 二層構造の耐スクラッチおよび耐摩耗被膜を含む光学物品、およびこれを生産する方法 |
JP2015110313A (ja) | 2013-10-31 | 2015-06-18 | セントラル硝子株式会社 | 親水性被膜形成物品、親水性被膜形成用塗布液及び親水性被膜形成物品の製造方法 |
WO2016051750A1 (ja) | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 日本板硝子株式会社 | 低反射コーティング、ガラス板、ガラス基板、及び光電変換装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2018198937A1 (ja) | 2020-03-12 |
WO2018198937A1 (ja) | 2018-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6989650B2 (ja) | 低反射コーティング付ガラス基板、低反射コーティング付ガラス基板を製造する方法、及び光電変換装置 | |
JP4107050B2 (ja) | コーティング材組成物及びそれにより形成された被膜を有する物品 | |
JP6371282B2 (ja) | 好ましくは透明な少なくとも1つのパターンを含む半透明グレージング材 | |
CN102782528B (zh) | 光电转换装置用玻璃罩及其制造方法 | |
JP7242720B2 (ja) | コーティング膜付きガラス板及びその製造方法 | |
WO2014061606A1 (ja) | 防汚性反射防止膜、物品およびその製造方法 | |
JP2015049319A (ja) | 透明基材と防汚性反射防止膜とを備える物品およびその製造方法 | |
EP3225600B1 (en) | Glass plate with low-reflection coating | |
US10329430B2 (en) | Low-reflection coated glass sheet, method for producing low-reflection coated substrate, and coating liquid for forming low-reflection coating of low-reflection coated substrate | |
JP2015229614A (ja) | 車両用窓ガラス | |
JP7213177B2 (ja) | 被膜付き透明基板、被膜付き透明基板の被膜を形成するための塗工液及び被膜付き透明基板の製造方法 | |
JP7083342B2 (ja) | 低反射膜付き透明基板、光電変換装置、低反射膜付き透明基板の低反射膜を形成するための塗工液及び低反射膜付き透明基板の製造方法 | |
JPWO2011136370A1 (ja) | スプレー塗布用の被膜形成用塗布液及び被膜 | |
JP6487933B2 (ja) | 低反射コーティング、低反射コーティング付ガラス板、低反射コーティングを有するガラス板、ガラス基板、光電変換装置、及び低反射コーティングを製造する方法 | |
JP2013121893A (ja) | 低反射膜付きガラスの製造方法 | |
JP7153638B2 (ja) | 低反射コーティング付きガラス物品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210304 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220329 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221104 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230116 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7213177 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |