JP7101497B2

JP7101497B2 - 作業装置および相対位置関係特定方法

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Publication number: JP7101497B2
Application number: JP2018040039A
Authority: JP
Inventors: 勇介山蔭; 秀一郎鬼頭; 一馬岡本
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2018-03-06
Filing date: 2018-03-06
Publication date: 2022-07-15
Anticipated expiration: 2038-03-06
Also published as: JP2019153760A

Description

本発明は、作業対象物に対してその作業対象物と相対的に接近離間可能に設けられたツールによって作業を行う作業装置に関し、特に、その作業装置における、ツールと作業対象物との接近離間方向の相対位置関係を特定する相対位置関係特定方法に関する。

例えば、下記特許文献１には、作業装置として、吸着ノズルによって基板に電子部品を装着する作業を行う電子部品実装装置（部品装着機）が記載されており、ツールとしての吸着ノズルと作業対象物である基板との接近離間方向である上下方向の相対位置関係を特定する方法が記載されている。具体的には、下記特許文献１には、吸着ノズルを基板に接近させて、吸着ノズルが基板に接触した位置を検出することで、それら吸着ノズルと基板との上下方向における相対位置関係を特定することが記載されている。

特開２０００－２２３９６号公報

ただし、ツールと作業対象物の作業対象物との相対位置関係を特定する方法は、上記のようにツールを作業対象物等に直接接触させる方法以外にも、種々の方法を検討する余地がある。上記のような作業装置には、作業対象物の位置の把握等のために、その作業対象物を撮像可能なカメラが搭載される場合がある。そこで、本発明は、カメラの撮像結果に基づいてツールと作業対象物との接近離間方向の相対位置関係を特定することが可能な作業措置、および、カメラの撮像結果に基づいてツールと作業対象物との接近離間方向の相対位置関係を特定する方法を提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、本発明の作業装置および相対位置関係特定方法は、光軸がツールと作業対象物との接近離間方向に延びるように設けられたカメラを用い、(I)作業対象物に対して接近離間方向において定められた位置に配置された合焦用被撮像部をカメラによって撮像し、その撮像結果に基づいて合焦用被撮像部の鮮明な像が得られるカメラの合焦用被撮像部に対する位置を特定することで、カメラと作業対象物との接近離間方向であってカメラの光軸と平行な方向の相対位置関係を特定し、(II)その特定されたカメラと作業対象物とのカメラの光軸と平行な方向の相対位置関係と、予め取得されたカメラとツールとの接近離間方向であってカメラの光軸と平行な方向の相対位置関係とに基づいて、ツールと作業対象物との接近離間方向であってカメラの光軸と平行な方向における相対位置関係を特定することを特徴とする。

例えば、先に述べたように、ツールを作業対象部に接触させることでそれらの相対位置関係を特定する場合には、ツールを低速で作業対象物に移動させる必要があるため、比較的時間がかかるという問題がある。それに対して、本発明の作業装置および相対位置関係特定方法によれば、カメラの合焦用被撮像部のピントが合う位置を特定するのみで、ツールと作業対象物との接近離間方向における相対位置関係を特定することができるため、上記の装置・方法に比較して時間を短縮することが可能である。また、ツールを作業対象部に接触させることでそれらの相対位置関係を特定する方法は、ツールを直接接触させるため、剛性の低い対象物に対しては、相対位置関係の特定が困難であったが、本発明の作業装置および相対位置関係特定方法によれば、そのような問題は生じず、容易に、ツールと作業対象物との接近離間方向における相対位置関係を特定することができる。したがって、そのような効果を有する本発明の作業装置および相対位置関係特定方法は、実用性の高いものとなる。

なお、本発明の相対位置関係特定方法によって特定されたツールと作業対象物との接近離間方向における相対位置関係は、例えば、作業装置の作動時において、ツールの作業対象物に対する昇降を制御する際に用いることが可能である。また、例えば、作業装置の作動前において、ツールと作業対象物との接近離間方向における位置調整に用いることも可能である。

本発明の相対位置関係特定方法は、ツールと作業対象物とがカメラの光軸方向のみに相対移動可能な作業装置に限定されず、それらが少なくとも光軸方向を含む方向に相対移動可能な作業装置に採用すること、具体的には、例えば、多関節型のアームを備える作業装置にも採用することが可能である。

本発明の実施例である相対位置関係特定方法を用いる作業装置としての部品装着機を概略的に示す平面図である。図１に示す部品装着機の要部を側方からの視点において概略的に示す図である。吸着ノズルとカメラとの間の相対位置関係を特定する工程を説明するための図である。カメラと基板との間の相対位置関係を特定する工程、および、吸着ノズルと基板との間の相対位置関係を特定する工程を説明するための図である。図１示すフィーダ型部品供給装置を構成する部品フィーダの部品供給部付近を拡大して示す斜視図である。図１に示す部品装着機が備える制御装置の構成を概念的に示すブロック図である。

以下、一実施例である作業装置（相対位置関係特定方法を採用した作業装置）を、図を参照しつつ説明する。なお、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。

＜部品装着機の構成＞
本実施例の作業装置である部品装着機１０を、図１に示す。その部品装着機１０は、(a) ベース１２と、(b)ベース１２上に配設され、回路基板Ｓ（以下、単に「基板Ｓ」という場合がある）の搬入・搬出を行うとともに、その基板を定められた位置に固定する基板搬送固定装置１４と、(c) その基板搬送固定装置１４を挟んでベース１２上に配設されたフィーダ型部品供給装置１６およびトレイ型部品供給装置１８と、(d) それら部品供給装置１６，１８の各々から供給される電子部品（以下、単に「部品」という場合がある）を基板搬送固定装置１４によって固定された基板Ｓに装着する部品装着装置２０とを含んで構成されている。また、ベース１２には、２つの部品カメラ２２が設けられている。それら２つの部品カメラ２２の各々は、フィーダ型部品供給装置１６と基板搬送固定装置１４との間、および、トレイ型部品供給装置１８と基板搬送固定装置１４との間に、基板搬送方向に平行に移動可能に設けられている。ちなみに、以下の説明において、図において矢印で示すように、基板Ｓの搬送方向（図１における左右方向）をＸ方向，基板搬送方向に直交する方向をＹ方向と呼ぶ場合がある。

部品装着装置２０は、部品を保持してその部品を装着するための部品装着ヘッド３０と、その部品装着ヘッド３０を移動させるヘッド移動装置３２とを含んで構成される。そのヘッド移動装置３２は、図２をも参照して説明すれば、部品装着ヘッド３０が脱着可能に取り付けられるヘッド取付体４０と、そのヘッド取付体４０を部品供給装置１６，１８と基板Ｓとにわたって移動させるＹ方向移動機構４２と、そのＹ方向移動機構４２をＸ方向に移動させるＸ方向移動機構４４とを含んで構成されている。図２をも参照して説明すれば、Ｘ方向移動機構４４は、Ｘ軸スライド４６と、そのＸ軸スライド４６をＸ方向に移動させるＸ軸スライド移動装置（図示省略）とを含んで構成される。そして、Ｙ方向移動機構４２は、そのＸ軸スライド４６に設けられており、Ｘ軸スライド４６とともにＸ方向に移動させられる。そのＹ方向移動機構４２は、Ｙ軸スライド４８と、そのＹ軸スライド４８をＹ方向に移動させるＹ軸スライド移動装置５０とを含んで構成される。そして、ヘッド取付体４０は、そのＹ軸スライド４８に保持されており、Ｙ軸スライド４８とともにＹ方向へ移動させられる。そのような構成により、ヘッド移動装置３２は、部品装着ヘッド３０が取り付けられたヘッド取付体４０を、水平面上における任意の位置へ移動させる。

また、Ｙ軸スライド４８には、ヘッド取付体４０を昇降させることで、部品装着ヘッド３０を昇降させるヘッド昇降装置６０が設けられている。また、ヘッド取付体４０には、基板Ｓの表面の基準マーク６２を撮像するためのマークカメラ６４が固定されており、そのマークカメラ６４は、部品装着ヘッド３０とともにヘッド昇降装置６０によって昇降させられるようになっている。部品装着ヘッド３０は、ツールとしての吸着ノズル６６と、その吸着ノズル６６を昇降させるノズル昇降装置６８とを備えている。その吸着ノズル６６は、負圧の供給によって、部品を吸着保持し、負圧の供給の停止により、吸着保持した部品を離脱させる。また、吸着ノズル６６は軸線周りに回転可能とされており、部品装着時時に回転位置も調整されるようになっている。

＜部品装着機による部品装着作業の概要＞
本実施例の部品装着機１０による部品装着作業について説明すれば、まず、基板搬送固定装置１４によって、作業に供される基板Ｓが、上流側から搬入され、所定の作業位置にて固定される。次いで、マークカメラ６４がヘッド移動装置３２によって移動させられ、基板Ｓの上面に付された基準マーク６２が撮像される。その撮像によって得られた撮像データに基づき、装着位置の基準となる座標系が決定される。

続いて、ヘッド移動装置３２によって、部品装着ヘッド３０が複数のフィーダ型部品供給装置１６あるいはトレイ型部品供給装置１８の上方に位置させられ、吸着ノズル６６の各々において部品が保持される。部品装着ヘッド３０が基板Ｓの上方に移動させられる際中に、部品カメラ２２の上方を通過し、吸着ノズル６６に保持された部品が、部品カメラ２２によって撮像される。その撮像データに基づき、部品のノズル軸線に対する位置ずれ量や回転位置ずれ量が把握される。続いて、部品装着ヘッド３０が、基板Ｓの上方に移動させられ、上記ずれ量に基づく補正を行いつつ、各部品が、順次、装着プログラムによって定められた設定位置に装着される。装着プログラムによって定められた回数、部品供給装置１６，１８と基板Ｓとの間を部品装着ヘッド３０が往復させられ、部品装着ヘッド３０による部品の保持・装着が、上記のように繰り返されて、部品装着機１０による部品装着作業が完了する。

＜相対位置関係の特定＞
(ｉ)ノズルカメラ間相対位置関係特定工程
本部品装着機１０においては、上記の部品装着作業が行われる前に、各構成要素間の上下方向における相対位置関係の特定が行われる。まず、部品装着ヘッド３０が交換等によって取り付けられた場合には、その部品装着ヘッド３０の吸着ノズル６６と、マークカメラ６４との相対位置関係の特定が行われる。本部品装着機１０の基板搬送固定装置１４のコンベアレール７８の上面に治具載置台８０が固定されており、その治具載置台８０に、合焦用治具８２が載置されている。その合焦用治具８２は、平板状のものであり、その上面には、ストライプ柄が印刷されている。つまり、その合焦用治具８２の上面が、マークカメラ６４のピントを確認するための合焦用被撮像部として機能する。

本部品装着機１０は、部品装着ヘッド３０を、ヘッド移動装置３２によって治具載置台８０の上に移動させ、ヘッド昇降装置６０によって部品装着ヘッド３０を下降させ、図３に示すように、吸着ノズル６６に合焦用治具８２を吸着保持させる。続いて、部品装着ヘッド３０を一旦上昇させた後、ノズル昇降装置６８によって吸着ノズル６６を原点位置（図３における破線の位置）から下降させつつ、マークカメラ６４によって合焦用治具８２を撮像させる。そして、マークカメラ６４のピントが合焦用治具８２に合った位置が記憶される。具体的には、ノズル昇降装置６８の原点位置からマークカメラ６４のピントが合焦用治具８２に合った位置までの下降量ｈ_Ｎが記憶される。そして、合焦用治具８２を治具載置台８０に載置して、この工程が終了する。なお、本実施例においては、マークカメラ６４の下端からの吸着ノズル６６の突出量ＨＮ_０に下降量ｈ_Ｎを足し合わせた距離が、マークカメラ６４の合焦距離（ワークディスタンス）ＷＤに等しい。ちなみに、本実施例においては、合焦用治具８２が部品装着機１０内に載置されていたが、部品装着ヘッド３０の交換時に、作業者によって、吸着ノズル６６に合焦用治具８２を吸着保持させるようにしてもよい。

（ii）カメラ基板間相対位置特定工程
次に、マークカメラ６４と基板Ｓとの上下方向における相対位置関係の特定が行われる。本部品装着機１０においては、基板搬送固定装置１４のコンベアレール７８の上面に、合焦用被撮像部であるストライプ柄８４が印刷されている。部品装着機１０は、マークカメラ６４を、ヘッド移動装置３２によってコンベアレール７８のストライプ柄８４の上に移動させ、ヘッド昇降装置６０によってマークカメラ６４を原点位置から下降させつつ、ストライプ柄８４を撮像させる。そして、マークカメラ６４のピントがストライプ柄８４に合った位置が記憶される。具体的には、図４に示すように、ヘッド昇降装置６０の原点位置からマークカメラ６４のピントがストライプ柄８４に合った位置までの下降量ｈ_Ｈが記憶される。

マークカメラ６４のピントがストライプ柄８４に合っている位置においては、マークカメラ６４の下端とコンベアレール７８との距離が、図３に示した合焦距離ＷＤと等しくなっている。つまり、マークカメラ６４が、ストライプ柄８４にピントが合っている位置にある場合には、コンベアレール７８の上面から基板Ｓの上面までの高低差ｈ_Ｓと合焦距離ＷＤとを足し合わせた距離だけマークカメラ６４から下方に、基板Ｓが位置していることが特定されるのである。

なお、本実施例においては、合焦用被撮像部が、部品装着作業の作業対象物である基板Ｓに対して、上下方向に定められた位置であるコンベアレール７８の上面に設けられていたが、基板Ｓそのものに合焦用被撮像部を設けてもよい。つまり、直接、基板Ｓを撮像して、吸着ノズル６６と基板Ｓとの相対位置関係を、より正確に特定することが可能となる。ちなみに、基板Ｓ上の合焦用被撮像部は、新たに設けなくても、基板Ｓ上に印字されている文字や識別コード等を、合焦用被撮像部として利用することが可能である。

（iii）ノズル基板間相対位置関係特定工程
上述のように、吸着ノズル６６とマークカメラ６４との相対位置関係、および、マークカメラ６４と基板Ｓとの相対位置関係が特定されると、それらの相対位置関係に基づいて、吸着ノズル６６と基板Ｓとの位置関係が特定されるのである。詳しく説明すれば、部品装着ヘッド３０がヘッド昇降装置６０における原点位置にあり、かつ、吸着ノズル６６がノズル昇降装置６８における原点位置にある場合（図４における破線の位置）には、吸着ノズル６６の下端から基板Ｓまでの距離が、ノズルカメラ間相対位置関係特定工程で検出された吸着ノズル６６の下降量ｈ_Ｎ、カメラ基板相対位置関係特定工程で検出された部品装着ヘッド３０の下降量、コンベアレール７８の上面から基板Ｓの上面までの高低差を足し合わせた距離Ｈ_ＮＳ（＝ｈ_Ｎ＋ｈ_Ｈ＋ｈ_Ｓ）となっているのである。

そして、前述した部品装着作業においては、上記の距離Ｈ_ＮＳと、部品の厚み等を考慮して、部品装着位置におけるヘッド昇降装置６０による部品装着ヘッド３０の下降量およびノズル昇降装置６８による吸着ノズル６６の下降量が制御されるようになっている。

（iv）カメラ部品間相対位置関係特定工程およびノズル部品間相対位置関係特定工程
また、本部品装着機１０においては、部品を部品供給装置１６，１８から吸着保持する場合における吸着ノズル６６と部品との上下方向における相対位置関係も、上述した方法と同様の方法によって特定されるようになっている。まず、フィーダ型部品供給装置１６の部品と吸着ノズル６６との相対位置関係の特定工程について説明する。フィーダ型部品供給装置１６は、複数の部品フィーダ９０がＸ方向に並べられたものである。それら複数の部品フィーダ９０の少なくとも１つのものには、図５に示すように、部品供給部ＳＳのすぐ前端側の上面に、合焦用被撮像部としてのストライプ柄９２が印刷されている。部品装着機１０は、マークカメラ６４を、ヘッド移動装置３２によって部品フィーダ９０のストライプ柄９２の上に移動させ、ヘッド昇降装置６０によってマークカメラ６４を原点位置から下降させつつ、ストライプ柄９２を撮像させる。そして、マークカメラ６４のピントがストライプ柄９２に合った位置、つまり、ヘッド昇降装置６０の原点位置からマークカメラ６４のピントがストライプ柄９２に合った位置までの下降量ｈ_Ｆが記憶される。

したがって、吸着ノズル６６と部品との相対位置関係は、その検出された部品装着ヘッド３０の下降量ｈ_Ｎ、先に説明したノズルカメラ間相対位置関係特定工程において検出された吸着ノズル６６の下降量ｈ_Ｆ、および、部品フィーダ９０のストライプ柄９２が印刷された箇所と部品の表面との高低差ｈ_Ｐとに基づいて特定される。詳しく説明すれば、部品装着ヘッド３０がヘッド昇降装置６０における原点位置にあり、かつ、吸着ノズル６６がノズル昇降装置６８における原点位置にある場合には、吸着ノズル６６の下端から基板Ｓまでの距離が、それらを足し合わせた距離Ｈ_ＮＰ（＝ｈ_Ｎ＋ｈ_Ｆ＋ｈ_Ｐ）となっているのである。

また、トレイ型部品供給装置１８の部品と吸着ノズル６６との相対位置関係の特定工程ついては、フィーダ型部品供給装置１６の部品と吸着ノズル６６との相対位置関係の特定工程とほぼ同様であり、トレイ上面に印字された文字や識別コードを、合焦用被撮像部として利用し、マークカメラ６４とトレイ上の部品との相対位置関係を特定するようになっている。

なお、上述した部品供給装置１６，１８の部品と吸着ノズルとの相対位置関係の特定に、部品フィーダ９０およびトレイ上に合焦用被撮像部が設けられていたが、部品吸着作業の作業対象物である部品上面に、印字された文字や認識コードがある場合には、それらを合焦用被撮像部として利用することも可能である。

＜部品装着機の機能構成＞
本実施例の部品装着機１０は、制御装置１００によって制御される。詳しく言えば、制御装置１００によって、本部品装着機１０が有する基板搬送固定装置１４，部品供給装置１６，１８，部品カメラ２２，部品装着ヘッド３０，ヘッド移動装置３２等が統括して制御される。そして、その制御装置１００は、吸着ノズル６６の上下方向における位置を制御するために、種々の機能部を有していると考えることができる。具体的には、図６に示すような機能構成を有していると考えることができる。詳しく説明すれば、制御装置１００は、上述のノズルカメラ間相対位置関係特定工程，カメラ基板間相対位置関係特定工程，ノズル基板間相対位置関係特定工程，カメラ部品間相対位置関係特定工程，ノズル部品間相対位置関係特定工程の各々の処理を行う機能部として、それぞれ、ノズルカメラ間相対位置関係特定部１０２，カメラ基板間相対位置関係特定部１０４，ノズル基板間相対位置関係特定部１０６，カメラ部品間相対位置関係特定部１０８，ノズル部品間相対位置関係特定部１１０を有しているのである。なお、ノズルカメラ間相対位置関係特定部１０２が、ツールカメラ間相対位置関係特定部に相当し、カメラ基板間相対位置関係特定部１０４およびカメラ部品間相対位置関係特定部１０８が、カメラ作業対象物間相対位置関係特定部に相当し、ノズル基板間相対位置関係特定部１０６およびノズル部品間相対位置関係特定部１１０が、ツール作業対象物間相対位置関係特定部に相当する。

＜本部品装着機の効果＞
本実施例の作業装置である部品装着機１０および相対位置関係特定方法によれば、ツールとカメラとの相対位置関係が取得されていれば、作業対象物に対して定められた位置にある合焦用被撮像部に対してカメラのピントが合う位置を特定するのみで、ツールと作業対象物との接近離間方向における相対位置関係を特定することができる。つまり、ツールを作業対象物に直接接触させてツールと作業対象物との相対位置関係を特定する場合に比較して、その特定の時間を短縮することが可能である。また、ツールを作業対象部に接触させることでそれらの相対位置関係を特定する場合には、剛性の低い対象物に対しては、相対位置関係の特定が困難であったが、本実施例の作業装置である部品装着機１０および相対位置関係特定方法によれば、そのような問題は生じず、容易に、ツールと作業対象物との接近離間方向における相対位置関係を特定することができる。

１０：部品装着機〔作業装置〕１６：フィーダ型部品供給装置１８：トレイ型部品供給装置２０：部品装着装置３０：部品装着ヘッド３２：ヘッド移動装置４０：ヘッド取付体６０：ヘッド昇降装置〔移動装置〕６４：マークカメラ〔カメラ〕６６：吸着ノズル〔ツール〕６８：ノズル昇降装置７８：コンベアレール８２：合焦用治具８４：ストライプ柄〔合焦用被撮像部〕９０：部品フィーダ９２：ストライプ柄〔合焦用被撮像部〕１００：制御装置１０２：ノズルカメラ間相対位置関係特定部〔ツールカメラ間相対位置関係特定部〕１０４：カメラ基板間相対位置関係特定部〔カメラ作業対象物間相対位置関係特定部〕１０６：ノズル基板間相対位置関係特定部〔ツール作業対象物間相対位置関係特定部〕１０８：カメラ部品間相対位置関係特定部〔カメラ作業対象物間相対位置関係特定部〕１１０：ノズル部品間相対位置関係特定部〔ツール作業対象物間相対位置関係特定部〕

Claims

ツールを備え、そのツールによって相対的に接近離間可能に設けられた作業対象物に対して作業を行う作業装置であって、
当該作業装置が、
光軸が前記接近離間方向に延びるように設けられたカメラと、当該作業装置の制御を司る制御装置とを備え、
前記制御装置が、
前記作業対象物に対して前記接近離間方向において定められた位置に配置された合焦用被撮像部を前記カメラによって撮像し、その撮像結果に基づいて前記合焦用被撮像部の鮮明な像が得られる前記カメラの前記合焦用被撮像部に対する位置を特定することで、前記カメラと前記作業対象物との前記接近離間方向の相対位置関係を特定するカメラ作業対象物間相対位置関係特定部と、
その特定された前記カメラと前記作業対象物との前記光軸と平行な方向の相対位置関係と、予め取得された前記カメラと前記ツールとの前記接近離間方向であって前記光軸と平行な方向の相対位置関係とに基づいて、前記ツールと前記作業対象物との前記接近離間方向であって前記光軸と平行な方向における相対位置関係を特定するツール作業対象物間相対位置関係特定部と
を含んで構成された作業装置。
当該作業装置が、前記ツールおよび前記カメラを前記作業対象物に対して接近離間させる移動装置を備え、
前記制御装置が、
特定された前記ツールと前記作業対象物との相対位置関係に基づいて、前記移動装置による前記ツールの前記作業対象物に対する移動を制御するように構成された請求項１に記載の作業装置。
前記ツールが部品を吸着保持する吸着ノズルであり、前記移動装置が前記吸着ノズルを上下方向に昇降させるものであり、
当該作業装置が、前記吸着ノズルによって部品を基板に装着する部品装着機とされ、
前記合焦用被撮像部が、前記作業対象物としての基板に対して定められた高さ位置に位置するように当該部品装着機に設けられ、
前記制御装置が、
前記ツール作業対象物間相対位置関係特定部によって特定された前記吸着ノズルと前記基板との上下方向における相対位置関係に基づいて、前記移動装置による前記吸着ノズルの前記基板に対する昇降を制御するように構成された請求項２に記載の作業装置。
前記作業装置が、
前記吸着ノズルと、その吸着ノズルを昇降させるノズル昇降装置とを有する部品装着ヘッドを備え、
前記移動装置が、その部品装着ヘッドと前記カメラとを昇降させるヘッド昇降装置とされ、
前記制御装置が、
前記合焦用被撮像部とは別の合焦用被撮像部を設けた合焦用治具を前記吸着ノズルに保持させた状態で、その吸着ノズルを前記ノズル昇降装置によって昇降させつつ、前記カメラによって前記合焦用治具の合焦用被撮像部を撮像し、その撮像結果に基づいて前記合焦用被撮像部の鮮明な像が得られる前記合焦用治具の前記カメラに対する位置を特定することで、前記吸着ノズルと前記カメラとの上下方向における相対位置関係を特定するノズルカメラ間相対位置関係特定部を含んで構成された請求項３に記載の作業装置。
作業対象物に対してその作業対象物と相対的に接近離間可能に設けられたツールによって作業を行う作業装置において、前記ツールと前記作業対象物との接近離間方向の相対位置関係を特定する相対位置関係特定方法であって、
前記作業装置が、光軸が前記接近離間方向に延びるように設けられたカメラを備え、
当該相対位置関係特定方法が、
前記作業対象物に対して前記接近離間方向において定められた位置に配置された合焦用被撮像部を前記カメラによって撮像し、その撮像結果に基づいて前記合焦用被撮像部の鮮明な像が得られる前記カメラの前記合焦用被撮像部に対する位置を特定することで、前記カメラと前記作業対象物との前記接近離間方向の相対位置関係を特定するカメラ作業対象物間相対位置関係特定工程と、
その特定された前記カメラと前記作業対象物との前記光軸と平行な方向の相対位置関係と、予め取得された前記カメラと前記ツールとの前記接近離間方向であって前記光軸と平行な方向の相対位置関係とに基づいて、前記ツールと前記作業対象物との前記接近離間方向であって前記光軸と平行な方向における相対位置関係を特定するツール作業対象物間相対位置関係特定工程と
を含む相対位置関係特定方法。