JP7100152B2 - マルチビーム検査装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2018年5月1日に出願された米国出願第62/665,451号の優先権を主張する。これは援用により全体が本願に含まれる。
1.微小構造アレイであって、
アレイの中心軸から第1半径方向シフトを有する単極構造の第1グループを備え、第1半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、単極構造の第1グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第1ドライバによって駆動される、微小構造アレイ。
2.第1ドライバは、単極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置において対応するビームスポットの像面湾曲収差を補償する微小レンズとして機能することを可能とするように構成されている、条項1に記載の微小構造アレイ。
3.微小構造アレイであって、
アレイの中心軸から第1半径方向シフト及び第1配向角を有する多極構造の第1グループを備え、第1半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第1グループの第1配向角は等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第1グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第1ドライバによって駆動される、微小構造アレイ。
4.第1ドライバは、多極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームレットの第1グループを偏向させる微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
5.第1ドライバは、多極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第1グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
6.中心軸からの第2半径方向シフト及び第2配向角を有する多極構造の第2グループを更に備え、第2半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第2グループの第2配向角は等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第2グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第2ドライバによって駆動される、条項4及び5のいずれかに記載の微小構造アレイ。
7.第2ドライバは、多極構造の第2グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームレットの第2グループを偏向させる微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項6に記載の微小構造アレイ。
8.第2ドライバは、多極構造の第2グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第2グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、条項6に記載の微小構造アレイ。
9.中心軸から第2半径方向シフトを有する単極構造の第1グループを更に備え、第2半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、単極構造の第1グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第2ドライバによって駆動される、条項4及び5のいずれかに記載の微小構造アレイ。
10.第2ドライバは、単極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第2グループの像面湾曲収差を補償する微小レンズとして機能することを可能とするように構成されている、条項9に記載の微小構造アレイ。
11.荷電粒子装置におけるソース変換ユニットであって、
装置の光軸からの第1半径方向シフト及び第1配向角を有する多極構造の第1グループを含む第1微小構造アレイを備え、第1半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第1グループの第1配向角は同一であるか又は実質的に同一であり、多極構造の第1グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第1微小構造アレイに関連付けられた第1ドライバによって駆動される、ソース変換ユニット。
12.第1ドライバは、多極構造の第1グループが荷電粒子ビームのビームレットの第1グループを偏向させて装置においてプローブスポットの第1グループを形成する微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項11に記載のソース変換ユニット。
13.多極構造の第1グループと位置合わせされた単極構造の第1グループを含む第2微小構造アレイを更に備え、単極構造の第1グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第2微小構造アレイに関連付けられた第2ドライバによって駆動される、条項12に記載のソース変換ユニット。
14.第2ドライバは、単極構造の第1グループがビームレットの第1グループに影響を与えてプローブスポットの第1グループの像面湾曲収差を補償する微小レンズとして機能することを可能とするように構成されている、条項13に記載のソース変換ユニット。
15.多極構造の第1グループと位置合わせされ、第2配向角を有する多極構造の第2グループを含む第3微小構造アレイを更に備え、多極構造の第2グループの第2配向角は同一であるか又は実質的に同一であり、多極構造の第2グループは対応する電極を含み、対応する電極は電気的に接続されると共に第3微小構造アレイに関連付けられた第3ドライバによって駆動される、条項14に記載のソース変換ユニット。
16.第3ドライバは、多極構造の第2グループがビームレットの第1グループに影響を与えてプローブスポットの第1グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、条項15に記載のソース変換ユニット。
17.多極構造の第1グループと位置合わせされた多極構造の第2グループを含む第3微小構造アレイを更に備える、条項14に記載のソース変換ユニット。
18.多極構造の第2グループは、ビームレットの第1グループに更に影響を与えてプローブスポットの第1グループに作用する微小偏向器、微小非点収差補正器、及び微小レンズのうち少なくとも1つとして機能するように個別に制御される、条項17に記載のソース変換ユニット。
19.多極構造の第1グループと位置合わせされた多極構造の第3グループを含む第1微小構造補助アレイを更に備える、条項16に記載のソース変換ユニット。
20.多極構造の第3グループは、ビームレットの第1グループに更に影響を与えてプローブスポットの第1グループに作用する微小偏向器、微小非点収差補正器、及び微小レンズのうち少なくとも1つとして機能するように個別に制御される、条項19に記載のソース変換ユニット。
21.多極構造の第1グループと位置合わせされた単極構造の第2グループを含む第2微小構造補助アレイを更に備える、条項20に記載のソース変換ユニット。
22.単極構造の第2グループは、ビームレットの第1グループに更に影響を与えてプローブスポットの第1グループに作用する微小レンズとして機能するように個別に制御される、条項21に記載のソース変換ユニット。
23.荷電粒子装置におけるソース変換ユニットであって、
装置の光軸から第1半径方向シフトを有する多極構造の第1グループ及び光軸から第2半径方向シフトを有する多極構造の第2グループを含む第1微小構造アレイと、
多極構造の第1グループと位置合わせされた単極構造の第1グループ及び多極構造の第2グループと位置合わせされた多極構造の第3グループを含む第2微小構造アレイと、
を備えるソース変換ユニット。
24.第1半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第1グループは同一であるか又は実質的に同一である配向角を有し、多極構造の第1グループの対応する電極は電気的に接続されると共に第1微小構造アレイに関連付けられた第1ドライバによって駆動される、条項23に記載のユニット。
25.第2半径方向シフトは等しいか又は実質的に等しく、多極構造の第2グループは同一であるか又は実質的に同一である配向角を有し、多極構造の第2グループの対応する電極は電気的に接続されると共に第1微小構造アレイに関連付けられた第2ドライバによって駆動される、条項24に記載のユニット。
26.単極構造の第1グループの対応する電極は、電気的に接続され、第2微小構造アレイに関連付けられた第3ドライバによって駆動される、条項25に記載のユニット。
27.多極構造の第3グループは同一であるか又は実質的に同一である配向角を有し、多極構造の第3グループの対応する電極は電気的に接続されると共に第2微小構造アレイに関連付けられた第4ドライバによって駆動される、条項26に記載のユニット。
28.第1ドライバは、多極構造の第1グループが荷電粒子ビームのビームレットの第1グループを偏向させて装置においてプローブスポットの第1グループを形成する微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項27に記載のユニット。
29.第3ドライバは、単極構造の第1グループがビームレットの第1グループに影響を与えてプローブスポットの第1グループの像面湾曲収差を補償する微小レンズとして機能することを可能とするように構成されている、条項28に記載のユニット。
30.第4ドライバは、多極構造の第3グループが荷電粒子ビームのビームレットの第2グループを偏向させて装置においてプローブスポットの第2グループを形成する微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項29に記載のユニット。
31.第2ドライバは、多極構造の第2グループがビームレットの第2グループに影響を与えてプローブスポットの第2グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、条項30に記載のユニット。
32.第2ドライバは、第2多極構造が荷電粒子ビームのビームレットの第2グループを偏向させて装置においてプローブスポットの第2グループを形成する微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、条項29に記載のユニット。
33.第4ドライバは、第3多極構造がビームレットの第2グループに影響を与えてプローブスポットの第2グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、条項32に記載のユニット。
34.サンプルの像を形成する方法をコントローラに実行させるため、コントローラの1つ以上のプロセッサによって実行可能である命令セットを含む非一時的コンピュータ可読媒体であって、方法は、
第1微小構造アレイ内の微小構造の第1グループに接続された第1ドライバに対し、ビームレットの第1グループに影響を与えるように1つ以上の電圧の第1セットを制御するよう命令することと、
第1アレイ内の微小構造の第2グループに接続された第2ドライバに対し、ビームレットの第2グループに影響を与えるように1つ以上の電圧の第2セットを制御するよう命令することと、
を含む、非一時的コンピュータ可読媒体。
35.コントローラの1つ以上のプロセッサによって実行可能である命令セットは更に、
第2微小構造アレイ内の微小構造の第1グループに接続された第3ドライバに対し、ビームレットの第1グループに影響を与えるように1つ以上の電圧の第3セットを制御するよう命令することと、
第2アレイ内の微小構造の第2グループに接続された第4ドライバに対し、ビームレットの第2グループに影響を与えるように1つ以上の電圧の第4セットを制御するよう命令することと、
をコントローラに実行させる、条項34に記載のコンピュータ可読媒体。
36.コントローラの1つ以上のプロセッサによって実行可能である命令セットは更に、
第2微小構造アレイ内の複数の微小構造に接続された複数の第3ドライバに対し、ビームレットの第1グループ及びビームレットの第2グループのうち少なくとも1つに影響を与えるように命令すること、
をコントローラに実行させる、条項34に記載のコンピュータ可読媒体。
37.複数の微小構造を含む微小構造アレイを製造する方法であって、
アレイの中心軸を取り囲む複数の微小構造を形成することと、
複数の微小構造の第1グループの微小構造間に接続の第1セットを形成することであって、第1グループの微小構造は中心軸から第1半径方向シフトに位置決めされていることと、
複数の微小構造の第2グループの微小構造間に接続の第2セットを形成することであって、第2グループの微小構造は中心軸から第2半径方向シフトを有するように位置決めされていることと、
を含む、方法。
38.接続の第1セットを第1ドライバに接続することを更に含む、条項37に記載の方法。
39.接続の第2セットを第2ドライバに接続することを更に含む、条項37又は38に記載の方法。
40.接続の第1セットを第1ドライバに関連付けられた第1インタフェースに接続することを更に含む、条項37に記載の方法。
41.接続の第2セットを第2ドライバに関連付けられた第2インタフェースに接続することを更に含む、条項37又は38に記載の方法。
42.第1ドライバを用いて、対応する1つ以上のビームレットの第1グループに影響を与えるように、第1微小構造アレイの1つ以上の微小構造の第1グループを制御することと、
第2ドライバを用いて、対応する1つ以上のビームレットの第2グループに影響を与えるように、第1微小構造アレイの微小構造の第2グループを制御することと、
を含む、方法。
43.第3ドライバを用いて、対応する1つ以上のビームレットの第1グループに影響を与えるように、第2微小構造アレイの1つ以上の微小構造の第1グループを制御することと、
第4ドライバを用いて、対応する1つ以上のビームレットの第2グループに影響を与えるように、第2微小構造アレイの微小構造の第2グループを制御することと、
を更に含む、条項42に記載の方法。
44.ビームレットの第1グループ及びビームレットの第2グループのうち少なくとも1つに影響を与えるように第2微小構造アレイの微小構造を制御することを更に含む、条項42に記載の方法。
45.荷電粒子ビーム装置であって、
ソース変換ユニットを備え、ソース変換ユニットは、
複数の微小構造を含む第1微小構造アレイを備え、第1微小構造アレイは、
複数の微小構造の中の微小構造の第1グループであって、第1グループの微小構造は、装置の光軸から第1半径方向シフトを有し、第1ドライバによって駆動されて、荷電粒子ビームのビームレットの第1グループに影響を与える、微小構造の第1グループと、
複数の微小構造の中の微小構造の第2グループであって、第2グループの微小構造は光軸から第2半径方向シフトを有し、第2ドライバによって駆動されて、荷電粒子ビームのビームレットの第2グループに影響を与える、微小構造の第2グループと、
を備える、荷電粒子ビーム装置。
46.荷電粒子ビームを集束させるように構成された可動コンデンサレンズを更に備える、条項45に記載の電子ビーム装置。
47.荷電粒子ビームを集束させる非回転コンデンサレンズを更に備える、条項45に記載の電子ビーム装置。
48.荷電粒子ビームを集束させる可動非回転コンデンサレンズを更に備える、条項45に記載の電子ビーム装置。
49.複数の極構造を含む極構造アレイであって、
複数の極構造の中の極構造の第1グループであって、第1グループの極構造は、第1ドライバによって駆動されるように構成され、光軸から第1半径方向シフトの近くに位置決めされている、極構造の第1グループと、
複数の極構造の中の極構造の第2グループであって、第2グループの極構造は、第2ドライバによって駆動されるように構成され、光軸から第2半径方向シフトの近くに位置決めされている、極構造の第2グループと、
を備える、極構造アレイ。
50.複数の極構造は、対応する対称軸を有し、
複数の極構造は、対応する対称軸が光軸からの対応する半径方向に対して実質的に平行であるように回転される、条項49に記載の極構造。
51.ソース変換ユニットであって、
複数の極構造を含む第1極構造アレイを備え、第1極構造アレイは、
複数の極構造の中の極構造の第1グループであって、第1グループの極構造は、第1ドライバによって駆動されるように構成され、光軸から第1半径方向シフトの近くに位置決めされている、極構造の第1グループと、
複数の極構造の中の極構造の第2グループであって、第2グループの極構造は、第2ドライバによって駆動されるように構成され、光軸から第2半径方向シフトの近くに位置決めされている、極構造の第2グループと、
を備える、ソース変換ユニット。
52.第1グループの第1微小極構造は、電子源の虚像を形成するように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
53.第1グループの各微小極構造は、電子源の虚像を形成するように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
54.第1グループの各微小極構造は、同じ単一の電子源の異なる虚像を形成するように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
55.第1グループの第1微小極構造は、第1微小極構造の中心軸に対して実質的に垂直な電場を発生するように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
56.第1グループの各微小極構造は第1グループの他の各微小極構造の中心軸に対して実質的に平行な中心軸を有し、第1グループの各微小極構造は中心軸に対して実質的に垂直な電場を発生するように構成されている、条項3に記載の微小構造アレイ。
Claims (14)
- 微小構造アレイであって、
前記アレイの中心軸からの第1半径方向シフト及び第1配向角を有する多極構造の第1グループを備え、
前記第1半径方向シフトは、等しいか又は実質的に等しく、
前記多極構造の第1グループの前記第1配向角は、等しいか又は実質的に等しく、
前記多極構造の第1グループは、対応する電極を含み、
前記対応する電極は、電気的に接続されると共に第1ドライバによって駆動される、微小構造アレイ。 - 前記第1ドライバは、前記多極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームレットの第1グループを偏向させる微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 前記第1ドライバは、前記多極構造の第1グループが荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第1グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 前記中心軸からの第2半径方向シフト及び第2配向角を有する多極構造の第2グループを更に備え、
前記第2半径方向シフトは、等しいか又は実質的に等しく、
前記多極構造の第2グループの前記第2配向角は、等しいか又は実質的に等しく、
前記多極構造の第2グループは、対応する電極を含み、
前記対応する電極は、電気的に接続されると共に第2ドライバによって駆動される、請求項2に記載の微小構造アレイ。 - 前記第2ドライバは、前記多極構造の第2グループが前記荷電粒子マルチビーム装置においてビームレットの第2グループを偏向させる微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、請求項4に記載の微小構造アレイ。
- 前記第2ドライバは、前記多極構造の第2グループが前記荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第2グループの非点収差を補償する微小非点収差補正器として機能することを可能とするように構成されている、請求項4に記載の微小構造アレイ。
- 前記中心軸から第2半径方向シフトを有する単極構造の第1グループを更に備え、
前記第2半径方向シフトは、等しいか又は実質的に等しく、
前記単極構造の第1グループは、対応する電極を含み、
前記対応する電極は、電気的に接続されると共に第2ドライバによって駆動される、請求項2に記載の微小構造アレイ。 - 前記第2ドライバは、前記単極構造の第1グループが前記荷電粒子マルチビーム装置においてビームスポットの第2グループの像面湾曲収差を補償する微小レンズとして機能することを可能とするように構成されている、請求項7に記載の微小構造アレイ。
- 前記第1グループの第1微小極構造は、電子源の虚像を形成するように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 前記第1グループの各微小極構造は、電子源の虚像を形成するように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 前記第1グループの各微小極構造は、同じ単一の電子源の異なる虚像を形成するように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 前記第1グループの第1微小極構造は、前記第1微小極構造の中心軸に対して実質的に垂直な電場を発生するように構成されている、請求項1に記載の微小構造アレイ。
- 荷電粒子装置におけるソース変換ユニットであって、
前記装置の光軸からの第1半径方向シフト及び第1配向角を有する多極構造の第1グループを含む第1微小構造アレイを備え、
前記第1半径方向シフトは、等しいか又は実質的に等しく、
前記多極構造の第1グループの前記第1配向角は、同一であるか又は実質的に同一であり、
前記多極構造の第1グループは、対応する電極を含み、
前記対応する電極は、電気的に接続されると共に前記第1微小構造アレイに関連付けられた第1ドライバによって駆動される、ソース変換ユニット。 - 前記第1ドライバは、前記多極構造の第1グループが荷電粒子ビームのビームレットの第1グループを偏向させて前記装置においてプローブスポットの第1グループを形成する微小偏向器として機能することを可能とするように構成されている、請求項13に記載のソース変換ユニット。
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