JP7013972B2 - 液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出する装置に関する。

近年、商品パッケージへの印刷（商用印刷）にもインクジェット技術を用いた画像形成装置が利用されている。また、当該画像形成装置に対して、画像形成速度の高速化と画像形成結果の高品質化への要求がある。画像形成速度の高速化に対応するため、画像形成に用いられる液体を記録媒体に向けて吐出する液体吐出ヘッドの多ノズル化が進んでいる。一方、液体吐出ヘッドのノズルの数が増加すると、液体の吐出不良が発生する確率が増加しやすくなる。吐出不良が発生すると、画像形成結果の品質を低下させることになる。したがって、画像形成装置における画像形成速度の高速化と画像形成結果の高品質化を両立するには、工夫が求められている。

液体の吐出不良が発生する原因は複数ある。その一つとして、ノズルから吐出するための液体をノズルに供給する段階で気体が混入していることが挙げられる。気体が液体に混入していると、液体をノズルから吐出するための液室内に気泡が液体ともに流れ込むことがある。気泡が液室に入ると、液室内に加えられる吐出エネルギー（滴吐出圧力）が気泡によって吸収されて、最適な液滴を形成のために調整されている滴吐出圧力が得られない。すなわち、気泡の混入により吐出エネルギーが低下すると、本来の液滴の吐出状態を得られず、画像形成の品質が低下する。また、液体吐出ヘッドに供給される液体を保持するカートリッジ等から、液体供給経路に気体が入り、大きな気泡となって液体とともに流動すると、吐出ヘッドへの液体供給が粗害されて、多数のノズルにおける吐出不良の要因にもなりえる。

上記のような気体混入による、液体吐出ヘッドからの液体吐出不良を防止するための技術として、ヘッドへ供給される液体を循環させる循環経路を備え、当該循環経路の途中にある液体タンクに脱気装置を備えた脱気用循環流路を設ける技術が開示されている（例えば、特許文献１を参照）。

特許文献１に開示されている技術を用いても、循環経路において循環する液体に気体が残ることがあり、ヘッドの液室内に入り込んで発生する不具合を確実に防ぐこと、には課題がある。また、気泡が増えると、循環経路の一部に備える大気開放部から気泡が溢れてしまい、液漏れの発生につながる、という課題がある。

本発明は、液体を循環しつつ液体を吐出する装置において、大気開放部からの液漏れを防止することができる液体を吐出する装置を提供することを目的とする。

本発明は、液体を吐出する装置に関するものであって、その一態様としては、液体吐出ヘッドを備える液体を吐出する装置であって、前記液体吐出ヘッドを含み当該液体を循環させる液体循環機構を備え、前記液体循環機構は、前記液体吐出ヘッドへ前記液体を循環させる差圧が発生される加圧用の第一送液ポンプおよび減圧用の第二送液ポンプと、当該第二送液ポンプと当該第一送液ポンプの間に配置され流体経路を介して第二送液ポンプおよび第一送液ポンプに接続される中間タンクを含み、前記中間タンクは、前記第二送液ポンプから流入する液体に混入している気体と当該液体とを分離する気液分離部を備えていて、前記気液分離部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部から放出されて流入する液体を回収し気液分離部材を介して前記中間タンクに戻す循環ポンプを含む気液分離循環経路を含み、当該循環ポンプによる流量は前記第二送液ポンプによる流量よりも大きく、前記気液分離循環経路は、一方の端部が前記中間タンクの液体層に配置され、他方の端部が前記循環ポンプまたは前記気液分離部材に接続される第一循環経路と、一方の端部が前記中間タンクの気体層に配置され、他方の端部が前記気液分離部材または前記循環ポンプに接続される第二循環経路と、を含み、前記気体層に配置される端部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部近傍に配置されている、ことを特徴とする。

本発明によれば、液体を循環しつつ液体を吐出する装置において、大気開放部からの液漏れを防止することができる。

本発明に係る液体を吐出する装置の実施形態である印刷装置の概略説明図。 本実施形態に係るヘッドユニットの一例を示す平面説明図。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの一例を示す外観斜視説明図。 本実施形態に係る液体吐出ヘッドの液室長手方向の断面説明図。 本実施形態に係る液体を吐出する装置が備える液体循環機構の配管説明図。 従来の液体循環機構で液漏れが生ずる状態を説明する説明図。 本実施形態に係る液体を吐出する装置の制御部の機能ブロック図。 本実施形態に係る液体循環機構の第一構成例を説明する説明図。 本実施形態に係る液体循環機構の第二構成例を説明する説明図。 本実施形態に係る液体循環機構の第三構成例を説明する説明図。

以下、本発明に係る液体を吐出する装置（液体吐出装置）の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１は本発明に係る装置の一実施形態である印刷装置１０００の概略的な構成を示す図である。

＜印刷装置１０００の構成＞
図１に示すように印刷装置１０００は、記録媒体がロール状に巻かれている連続体１０を搬入する搬入手段１と、搬入手段１から搬入された連続体１０に画像を形成する印刷手段５に案内搬送する案内搬送手段３と、連続体１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５と、連続体１０を乾燥する乾燥手段７と、連続体１０を排出する排出手段９などを備えている。

連続体１０は、搬入手段１に設置される元巻きローラ１１から送り出され、搬入手段１、案内搬送手段３、乾燥手段７、排出手段９の各ローラによって案内され、搬送されて、排出手段９が備える巻取りローラ９１にて巻き取られる。

この連続体１０は、印刷手段５において、搬送ガイド部材５９上をヘッドユニット５０及び後処理ヘッドユニット５５に対向して搬送され、ヘッドユニット５０から吐出される液体によって画像が形成され、後処理ヘッドユニット５５から吐出される処理液で後処理が行われる。

＜ヘッドユニット５０＞
図２は印刷装置のヘッドユニット５０の平面説明図である。ヘッドユニット５０には、例えば、媒体搬送方向上流側から、４色分のフルライン型ヘッドアレイ５１Ｋ，５１Ｃ，５１Ｍ，５１Ｙ（以下、色の区別しないときは「ヘッドアレイ５１」と表記する。）が配置されている。

ヘッドアレイ５１は、複数の液体吐出ヘッド１００（以下、単に、液体吐出ヘッド１００ともいう）をベース部材５２上に千鳥状に並べて配置したものである。なお、液体吐出ヘッド１００の配置は図２に例示したものに限定されるものではない。

各ヘッドアレイ５１は、液体吐出手段であり、それぞれが、搬送される連続体１０に対してブラックＫ、シアンＣ、マゼンタＭ、イエローＹの液体を吐出する。なお、色の種類及び数はこれに限るものではない。

＜液体吐出ヘッド１００＞
次に、本実施形態に係る液体吐出ヘッド１００について、図３及び図４を参照して説明する。図３は液体吐出ヘッド１００の外観斜視説明図、図４は液体吐出ヘッド１００のノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）の断面説明図である。

図３に示すように、液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１０１と、ノズル板１０１に積層されている流路部材１４０と、流路部材１４０に積層されていて液体吐出ヘッド１００のフレーム部材も兼ねている共通液室部材１２０と、共通液室部材１２０の上部を覆う直方体のカバー１２９と、を有している。また、共通液室部材１２０は、後述する供給側共通液室１１０と排出側共通液室１５０を形成する。この共通液室部材１２０の上面には、供給側共通液室１１０に通ずる供給ポート１７１と、排出側共通液室１５０に通ずる排出ポート１８１と、を有している。

続いて、図４を参照しながら、液体吐出ヘッド１００の内部構造について説明する。液体吐出ヘッド１００は、ノズル板１０１と、流路板１０２と、壁面部材としての振動板部材１０３とを積層し接合した多層構造を有している。そして、振動板部材１０３の振動領域１３０を変位させる圧電アクチュエータ１１１と、ヘッドのフレーム部材を兼ねている共通液室部材１２０と、を備えている。なお、流路板１０２と振動板部材１０３で構成される部分が流路部材１４０に相当する。

ノズル板１０１は、液体を吐出する吐出口であるノズル１０４を複数有している。

流路板１０２は、ノズル１０４にノズル連通路１０５を介して通じる個別液室１０６、個別液室１０６に通じる供給側流体抵抗部１０７、供給側流体抵抗部１０７に通じる液導入部１０８となる貫通穴や溝部を形成している。ノズル連通路１０５は、ノズル１０４と個別液室１０６にそれぞれ連なって通じる流路である。また、液導入部１０８は、振動板部材１０３の開口１０９を介して供給側共通液室１１０に通じている。

振動板部材１０３は、流路板１０２の個別液室１０６の壁面を形成する変形可能な振動領域１３０を有する。ここでは、振動板部材１０３は２層構造（限定されない）とし、流路板１０２側から薄肉部を形成する第１層と、厚肉部を形成する第２層で形成され、第１層で個別液室１０６に対応する部分に変形可能な振動領域１３０を形成している。

そして、この振動板部材１０３の個別液室１０６とは反対側に、振動板部材１０３の振動領域１３０を変形させる駆動手段（アクチュエータ手段、圧力発生手段）としての電気機械変換素子を含む圧電アクチュエータ１１１が配置されている。

この圧電アクチュエータ１１１は、ベース部材１１３上に接合した圧電部材をハーフカットダイシングによって溝加工し、所要数の柱状の圧電素子１１２を所定の間隔で櫛歯状に形成したものである。

そして、圧電素子１１２を振動板部材１０３の振動領域１３０に形成した島状の厚肉部である凸部１３０ａに接合している。また、圧電素子１１２にはフレキシブル配線部材１１５が接続されている。

共通液室部材１２０は、供給側共通液室１１０と排出側共通液室１５０を形成する。すでに説明したとおり、供給側共通液室１１０は、図３に示す供給ポート１７１に通じ、排出側共通液室１５０は排出ポート１８１に通じている。

なお、ここでは、共通液室部材１２０は、第一共通液室部材１２１及び第二共通液室部材１２２によって構成され、第一共通液室部材１２１を流路部材１４０の振動板部材１０３側に接合し、第一共通液室部材１２１に第二共通液室部材１２２を積層して接合している。

第一共通液室部材１２１は、液導入部１０８に通じる供給側共通液室１１０の一部である下流側共通液室１１０Ａと、排出流路１５１に通じる排出側共通液室１５０とを形成している。また、第二共通液室部材１２２は、供給側共通液室１１０の残部である上流側共通液室１１０Ｂを形成している。

また、流路板１０２には、各個別液室１０６にノズル連通路１０５を介して通じる流路板１０２の面方向に沿う排出流路１５１を形成している。排出流路１５１が排出側共通液室１５０に通じている。

この液体吐出ヘッド１００においては、例えば圧電素子１１２に与える電圧を基準電位（中間電位）から下げることによって圧電素子１１２が収縮する。この収縮によって、振動板部材１０３の振動領域１３０が引かれて個別液室１０６の容積が膨張する。このような動作によって、個別液室１０６内に液体が流入する。その後、圧電素子１１２に印加する電圧を上げて圧電素子１１２を積層方向に伸長させると、振動板部材１０３が振動領域１３０をノズル１０４に向かう方向に変形させて個別液室１０６の容積を収縮させる。このような動作によって、個別液室１０６内の液体が加圧され、ノズル１０４から液体が吐出される。

また、ノズル１０４から吐出されない液体は、ノズル１０４を通過して排出流路１５１から排出側共通液室１５０に排出され、排出側共通液室１５０から後述する液体循環機構２００を通じて供給側共通液室１１０に再度供給される。

なお、液体吐出ヘッド１００の駆動方法については上記の例（引き－押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行なうこともできる。

＜液体循環経路＞
次に、本発明に係る液体を吐出する装置が備える、液体循環経路の実施形態について図５を用いて説明する。図５は、本実施形態に係る液体循環機構２００の基本的な構成について示す配管説明図である。

図５に示す液体循環機構２００は、液体を循環可能な構成を備える液体吐出ヘッド１００が連続体１０の幅方向にライン状に複数配置されているラインヘッド型における、液体を循環させる構成を例示している。

液体循環機構２００は、液体吐出ヘッド１００から吐出される液体を循環路に供給する液体供給手段であるメインタンク２０１（液体タンク）を備える。また、液体を循環させるための差圧を生じさせる構造を構成する加圧側タンク２２０（第一サブタンク）と、減圧側タンク２１０（第二サブタンク）と、バッファタンク２９０（中間タンク）と、を備える。減圧側タンク２１０、加圧側タンク２２０、バッファタンク２９０は各循環経路によって接続されていて、それぞれに対して液体を流動させる構成を備える。この液体を流動させる構成には、加圧側のポンプである加圧用送液ポンプ２０２（第一送液ポンプ）、減圧側のポンプである減圧用送液ポンプ２０３（第二送液ポンプ）と、循環経路に液体を供給するための供給ポンプ２０９（第三送液ポンプ）が含まれる。

また、液体循環機構２００は、複数の液体吐出ヘッド１００と通じる第１マニホールド２３０及び第２マニホールド２４０、液体吐出ヘッド１００のそれぞれの液体供給側の経路に配置されている供給側ヘッドタンク３００ａ（第一ヘッドタンク）と、液体吐出ヘッド１００のそれぞれの液体排出側の経路に配置されている排出側ヘッドタンク３００ｂ（第二ヘッドタンク）と、液体中の溶存気体を除去する脱気手段である脱気装置２６０と、を備えている。以下の説明において、液体供給側と液体排出側の区別をしないときは、「ヘッドタンク３００」と表記する。

また、バッファタンク２９０は、加圧側タンク２２０と減圧側タンク２１０との間に配置されていて、メインタンク２０１からメインフィルタ２０５を含む流体経路２８９を介して供給ポンプ２０９により送液される。バッファタンク２９０には、バッファ用液面センサ２９１と、バッファタンク２９０の内部を大気開放する大気開放機構を構成するバッファ大気開放弁２９２と、が設置されている。

バッファタンク２９０と減圧側タンク２１０とは流体経路２８３を通じて接続され、流体経路２８３には減圧用送液ポンプ２０３が配置されている。減圧側タンク２１０は、気体室２１０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。減圧側タンク２１０には、液面を検知する減圧側液面センサ２１１と、内部を大気開放する電磁弁となる減圧側大気開放弁２１２が設けられている。

バッファタンク２９０と加圧側タンク２２０とは流体経路２８４を通じて接続し、流体経路２８４には加圧用送液ポンプ２０２が配置されている。

加圧側タンク２２０は、気体室２２０ａを有し、液体と気体が共存する構成である。加圧側タンク２２０には、液面を検知する加圧側液面センサ２２１と、内部を大気開放する大気開放機構となる加圧側大気開放弁２２２が設けられている。加圧側タンク２２０は、脱気装置２６０、循環用フィルタ２６１を含む流体経路２８１を通じて第１マニホールド２３０に接続されている。

第１マニホールド２３０は、液体吐出ヘッド１００の供給ポート１７１（供給口）側に供給経路２３１を介して通じている。供給経路２３１は、供給側ヘッドタンク３００ａを介して液体吐出ヘッド１００の供給ポート１７１に接続されている。供給経路２３１には供給側ヘッドタンク３００ａより上流側に経路を開閉する電磁弁２３２が設けられている。なお、電磁弁２３２は、液体吐出ヘッド１００の数に応じて設けられ、個別に開閉制御可能となっている。また、第１マニホールド２３０には第一圧力センサ２３３が設けられている。

減圧側タンク２１０は、流体経路２８２を介して第２マニホールド２４０に接続されている。第２マニホールド２４０は、液体吐出ヘッド１００の排出ポート１８１（排出口）側に排出経路２４１を介して通じている。排出経路２４１は、排出側ヘッドタンク３００ｂを介して液体吐出ヘッド１００の排出ポート１８１に接続されている。排出経路２４１には排出側ヘッドタンク３００ｂより下流側に経路を開閉する電磁弁２４２が設けられている。なお、電磁弁２４２は、液体吐出ヘッド１００の数に応じて設けられ、個別に開閉制御可能となっている。また、第２マニホールド２４０には第二圧力センサ２４３が設けられている。

さらに、第１マニホールド２３０と第２マニホールド２４０とを通じるバイパス経路２７０が設けられている。バイパス経路２７０には第１マニホールド２３０側に電磁弁２７１が、第２マニホールド２４０側に電磁弁２７２が設けられている。

バッファタンク２９０から、流体経路２８４、加圧側タンク２２０、流体経路２８１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、バイパス経路２７０、第２マニホールド２４０、減圧側タンク２１０を経てバッファタンク２９０に戻る経路を第１経路とする。第１経路は、液体吐出ヘッド１００が循環経路の一部とはならず、バイパス経路２７０が循環経路の一部となる経路である。

バッファタンク２９０から、流体経路２８４、加圧側タンク２２０、流体経路２８１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、液体吐出ヘッド１００、第２マニホールド２４０、減圧側タンク２１０を経てバッファタンク２９０に戻る経路を第２経路とする。第２経路は、液体吐出ヘッド１００が循環経路の一部となり、バイパス経路２７０が循環経路の一部とならない経路である。

電磁弁２３２、電磁弁２４２、電磁弁２７１、電磁弁２７２の開閉を制御することで、循環経路の構成を切り替えることができる。これら各電磁弁が切り換え手段を構成する。

また、加圧側タンク２２０と減圧側タンク２１０、加圧用送液ポンプ２０２と減圧用送液ポンプ２０３によって、メインタンク２０１から供給された液体を循環経路に循環させる圧力を生じさせる手段を構成している。

＜１：バッファタンク２９０への補充＞
次いで、液体の供給、循環について説明する。まず、メインタンク２０１からバッファタンク２９０への送液について説明する。バッファタンク２９０に貯留されている液量を検知するためのバッファ用液面センサ２９１が液量不足を検知すると、供給ポンプ２０９を用いて、メインタンク２０１から流体経路２８９を介してバッファタンク２９０に液体が供給される。この供給動作は、バッファ用液面センサ２９１が液面を検知するまで継続する。

＜２：バッファタンク２９０から加圧側タンク２２０への送液＞
加圧用送液ポンプ２０２を用いて、バッファタンク２９０から流体経路２８４を介して、加圧側タンク２２０に液体を送液する。

＜３：減圧側タンク２１０からバッファタンク２９０への送液＞
減圧用送液ポンプ２０３を用いて、減圧側タンク２１０から流体経路２８３を介して、バッファタンク２９０に液体を供給する。

＜４：第２経路による送液＞
第一圧力センサ２３３を目標圧力（例えば、加圧となる圧力）とするまで加圧用送液ポンプ２０２を用いて加圧側タンク２２０へインクを供給する。同時に、第二圧力センサ２４３を目標圧力（例えば負圧となる圧力）とするまで減圧用送液ポンプ２０３を用いてバッファタンク２９０へ液体を供給する。これらを行うことにより、加圧側タンク２２０と減圧側タンク２１０との間に、差圧が生じる。この差圧に応じて、加圧側タンク２２０から、流体経路２８１を介し、循環用フィルタ２６１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、複数の供給経路２３１、複数の供給側ヘッドタンク３００ａ、複数の液体吐出ヘッド１００、複数の排出経路２４１、複数の排出側ヘッドタンク３００ｂ、第２マニホールド２４０、流体経路２８２を介して、減圧側タンク２１０まで液体の循環が可能となる。なお、このとき、電磁弁２３２，電磁弁２４２は開、電磁弁２７１，電磁弁２７２は閉である。

＜５：第１経路による送液＞
電磁弁２３２と、電磁弁２４２を閉じ、電磁弁２７１と電磁弁２７２を開いた状態で加圧用送液ポンプ２０２と減圧用送液ポンプ２０３を駆動して差圧を発生させる。この差圧に応じて、バッファタンク２９０から流体経路２８４を介して液体が流動する。さらに、加圧側タンク２２０から流体経路２８１を介して、循環用フィルタ２６１、脱気装置２６０、第１マニホールド２３０、バイパス経路２７０、第２マニホールド２４０、流体経路２８２の順で、減圧側タンク２１０まで液体が循環する。そして、減圧用送液ポンプ２０３の動作により、流体経路２８３を介して減圧側タンク２１０からバッファタンク２９０に液体が流動する。以上のように液体が循環する。

なお、減圧側タンク２１０の液面を検知する減圧側液面センサ２１１、加圧側タンク２２０の液面を検知する加圧側液面センサ２２１、バッファタンク２９０の液面を検知するバッファ用液面センサ２９１は、いずれも、その形式が限定されるものではない。例えば、フロート式による液体の有無の検知や、少なくとも２本以上の電極ピンを用いて検出した電圧の出力に応じて液体の有無の検知する方式、レーザによる液面検知方式、等を用いることができる。

また、減圧側タンク２１０、バッファタンク２９０、加圧側タンク２２０には、それぞれ大気開放機構としての電磁弁である減圧側大気開放弁２１２、バッファ大気開放弁２９２、加圧側大気開放弁２２２が設けられている。これらの開閉を制御することで、各タンクを大気と連通させることが可能となっている。

なお、バッファタンク２９０の液面は、液体吐出ヘッド１００のノズル面よりも所定距離重力方向下方に配置される。これによって、バッファタンク２９０のバッファ大気開放弁２９２を開くと、液体吐出ヘッド１００には常時高低差に応じた水頭差が安定して掛かる。したがって、液体循環停止時等には、水頭差によって液体吐出ヘッド１００が備えるノズルのメニスカスを安定維持できる。また、バッファタンク２９０の圧力が一定になるので液体吐出中の液体循環の際にも加圧側タンク２２０と減圧側タンク２１０の圧力を制御しやすくなり、液体の吐出特性をより安定化できる。

また、液体循環機構２００は、バッファタンク２９０において、循環対象の液体に混入した気体を分離するための循環路である気液分離部４００を備える。気液分離部４００の詳細な構成は後述し、先に。気液分離部４００を設けることで得られる効果を説明するための比較例について図６を用いて説明する。図６は、気液分離部４００を備えない場合のバッファタンク２９０の構成を例示している。すでに説明したとおり、バッファタンク２９０には、液体が循環するときは、減圧用送液ポンプ２０３から液体が入り、加圧用送液ポンプ２０２によって加圧用送液ポンプ２０２へと出て行く。

液体を最初に充填する初期充填時や、液体吐出ヘッド１００を動作させて液体吐出処理を行う経時において、液体循環機構２００のノズル口や配管から気体が混入すると、減圧用送液ポンプ２０３からバッファタンク２９０に流動する液体と一緒に気体も混入してくる。これによって、図６に示すように混入気体６０１ａがバッファタンク２９０内の液体層２９０ｂに放出される。この混入気体６０１ａは、バッファタンク２９０内の気体層２９０ａで気泡６０１ｂになる。混入気体６０１ａの量が多くなると、図６に示すように、バッファタンク２９０の気体層２９０ａに気泡６０１ｂが多数発生することになる。

すでに説明したとおり、バッファタンク２９０にはバッファ大気開放弁２９２が設けられている。したがって、気体層２９０ａに発生した気泡６０１ｂの量が多くなると、バッファ大気開放弁２９２から気泡６０１ｂが溢れ出す状態になる。すなわち、混入気体６０１ａが多くなるとバッファ大気開放弁２９２から液漏れが生ずる。本実施形態に係る液体循環機構２００は、上記のような不具合を防止するために気液分離部４００を備えるものである。

＜制御部５００＞
ここで、液体を吐出する装置の動作を制御する制御機能の機能ブロックについて、図７を用いて説明する。図７に示すように、制御部５００は、印刷装置１０００全体の制御を司るＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）５０１、ＣＰＵ５０１が実行するプログラムを含む各種プログラムなどの固定データを格納するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）５０２と、画像データ等を一時格納するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）５０３で構成される主制御部５００Ａを備えている。

制御部５００は、電源が遮断されている間もデータを保持するための書き換え可能な不揮発性メモリ５０４（ＮＶＲＡＭ：Ｎｏｎ－Ｖｏｌａｔｉｅ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を備えている。制御部５００は、画像データに対する各種信号処理、並び替え等を行う画像処理やその他の制御するための入出力信号を処理するＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）５０５を備えるとともに、ホストＩ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）５０６を介してプリンタドライバ５９０との間でデータの送受信を行う。

制御部５００は、印刷制御部５０８と、ヘッドドライバ５０９を備えている。印刷制御部５０８は、ヘッドユニット５０に含まれる液体吐出ヘッド１００のそれぞれを駆動制御するためのデータ転送手段、駆動信号発生手段、バイアス電圧出力手段を含む。ヘッドドライバ５０９は、各液体吐出ヘッド１００を駆動するための駆動ＩＣである。

制御部５００は、電磁弁群５５０を構成する各電磁弁（２３２、２４２、２７１、２７２、２１２、２２２、２９２）などを駆動制御する電磁弁制御部５１０を備えている。

制御部５００は、供給ポンプ２０９を駆動制御する供給系制御部５１１を備えている。

制御部５００は、加圧用送液ポンプ２０２と、減圧用送液ポンプ２０３を駆動制御させて差圧の発生と調整をする圧力系制御部５１２を備えている。

制御部５００は、後述する液体循環機構２００を構成する第一ポンプ４０１、第二ポンプ４１１、第一排気ポンプ４０６等を駆動制御して、混入気体６０１ａを除去する動作を制御するための脱気系制御部５１６を備えている。

制御部５００は、Ｉ／Ｏ部５１３を有している。Ｉ／Ｏ部５１３は、様々のセンサ情報を処理することができ、第一圧力センサ２３３，第二圧力センサ２４３の検知結果および各種のセンサ群５１５からの情報を取得する。そして、印刷装置１０００の制御に必要な情報を抽出し、印刷制御部５０８や電磁弁制御部５１０、供給系制御部５１１、圧力系制御部５１２、脱気系制御部５１６による制御などに使用する。

なお、制御部５００には、この装置に必要な情報の入力及び表示を行うための操作パネル５１４が接続されている。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の実施形態について説明する。以下の実施形態は、液体を吐出する装置が備える特徴的な構成についてのみであり、液体を吐出する装置における液体吐出動作や液体循環動作などの詳細については省略する。

［第一実施形態］
図８は、印刷装置１０００が備える液体循環機構２００において設けられる気液分離構造の例である。本実施形態に係る気液分離部４００は、循環ポンプである第一ポンプ４０１と、フィルタ４０２と、気体滞留部を構成する傘状部材４０３と、を備える。また、気液分離部４００は、上記の構成を連結する第一分離経路４０４ａ、第二分離経路４０４ｂ、第三分離経路４０４ｃを備えている。

第一分離経路４０４ａは、一方の端部が液体層２９０ｂにあり、他方の端部が第一ポンプ４０１に接続する第一循環路に相当する配管である。第二分離経路４０４ｂは、一方を第一ポンプ４０１に接続し、他方をフィルタ４０２に接続する第二循環路に相当する配管である。第三分離経路４０４ｃは、一方をフィルタ４０２に接続し、他方が気体層２０９ａにある第三循環路に相当する配管である。気液分離部４００は、一方の端部が液体層２９０ｂにあって他方の端部が第一ポンプ４０１またはフィルタ４０２に接続される第一循環路と、一方の端部が気体層２９０ａにあって他方の端部がフィルタ４０２または第一ポンプ４０１に接続されている第二循環経路と、を含む構成としてみることもできる。この場合、第一循環経路は、液体層２９０ｂに一方の端部が配置され、他方の端部がフィルタ４０２または第一ポンプ４０１に接続されればよく、第二循環経路は、気体層２９０ａに一方の端部が配置され、他方の端部が第一ポンプ４０１またはフィルタ４０２に接続されればよい。

なお、第一ポンプ４０１とフィルタ４０２との関係は、図８のような接続態様に限定されるものではない。たとえば、第一分離経路４０４ａをフィルタ４０２に接続し、フィルタ４０２の反対側に第二分離経路４０４ｂを接続し、その下流に第一ポンプ４０１が接続し、第三分離経路４０４ｃを通過して気体層２９０ｃに戻る様に循環させてもよい。

気液分離部４００は、バッファタンク２９０の液体層２９０ｂから混入気体６０１ａを含む液体を回収し、気体層２９０ａへと放出する気液分離循環経路を構成する。

第一ポンプ４０１を動作させることによって、第一分離経路４０４ａを介して液体層２９０ｂから液体が吸い上げられ、第二分離経路４０４ｂを介してフィルタ４０２に至る。フィルタ４０２において液体と気体が分離されて、第三分離経路４０４ｃを介して液体がバッファタンク２９０に戻る。以上のように、バッファタンク２９０の内部に貯留されている液体を循環させる。

すでに説明したとおり、バッファタンク２９０には、減圧用送液ポンプ２０３から流体経路２８３を介して液体が送られてくる。したがって、バッファタンク２９０に気体が混入されている液体が放出される位置は、バッファタンク２９０の内部にある流体経路２８３の放出側端部である。そこで、第一分離経路４０４ａの一方の端部は、流体経路２８３の放出側端部の近傍とし、かつ、液体層２９０ｂの中とする。

また、流体経路２８３の放出端から放出される気体（混入気体６０１ａ）を第一分離経路４０４ａの一方の端部から確実に吸い上げるようにするために、放出側端部の上方に気体滞留部としての傘状部材４０３を配置している。傘状部材４０３は、流体経路２８３の放出側端部から放出された混入気体６０１ａが、液体層２９０ｂの一部に留まり、気体層２９０ａから発散しないようにする部材である。傘状部材４０３によって混入気体６０１ａが集められる位置に、第一分離経路４０４ａの一方の端部が配置される。

フィルタ４０２は、メッシュ状の部材であって、液体は通しやすく気体は通しにくい性質を有する部材からなる気液分離部材である。液体がフィルタ４０２を通過するとき、液体が先に進み混入気体６０１ａは液体よりも遅れる。これによって、液体と混入気体６０１ａは分離されて、混入気体６０１ａが分離された気体が、バッファタンク２９０に戻される。また、フィルタ４０２の第一ポンプ４０１側で混入気体６０１ａが集まり、液体の流動によって気泡が弾けて小さくなるか消滅することもある。これが気体層２９０ａに放出されれば、液体層２９０ｂの表面に微小な気泡が残るかもしれないが、微小な気泡であれば、バッファ大気開放弁２９２からあふれ出すことを防止できる。

第一ポンプ４０１による流量は、減圧用送液ポンプ２０３の流量よりも大きい流量に設定されている。これによって、液体層２９０ｂに放出された混入気体６０１ａは、気液分離部４００に確実に回収される。

また、傘状部材４０３は、放出された混入気体６０１ａが液面方向に移動することを防止するものであるから、形状は、図８に例示したような傘状のものでなくてもよい。混入気体６０１ａが一箇所に集まるように、上方側が狭まっているテーパー状の形態が望ましい。

気液分離部４００は、バッファ大気開放弁２９２から離れた位置に設置されることが望ましい。特に、フィルタ４０２を通過した液体を液体層２９０ｂに戻すための第三分離経路４０４ｃは、バッファ大気開放弁２９２からより離れている方がより望ましい。したがって、図８に例示するように、バッファタンク２９０の水平方向の両端部にバッファ大気開放弁２９２と気液分離部４００は離れて配置されるとよい。

なお、バッファタンク２９０には、液体層２９０ｂを鉛直方向で分断するような内壁部２９３を備えているとよい。内壁部２９３は、バッファ大気開放弁２９２に近い側に設けられていて、混入気体６０１ａが傘状部材４０３から外れてしまっても、バッファ大気開放弁２９２側に直接的に移動することを規制する。

以上説明した本実施形態によれば、液体吐出ヘッド１００の吐出特性を規定するための圧力制御を行うために差圧を生じさせながら液体を循環させる液体循環機構２００において、循環経路中の気体が混入した液体から気体を分離して循環経路に戻すことができる。

以上の実施形態に係る特徴的な構成を備える印刷装置１０００によれば、液体の初期充填時や経時において液体に空気が混入しても、これによる液漏れを確実に防ぐことができる。したがって、メンテナンス容易であり、長時間の継続運転にも耐性を備える液体を吐出する装置を得ることができる。

［第二実施形態］
次に本発明に係る液体を吐出する装置が備える実施形態であって、液体循環機構２００において設けられる気液分離構造の別例について説明する。図９に示す気液分離構造は、すでに説明をした気液分離部４００と共通する構成を一部に備える。以下の説明は、異なる部分について詳細に説明する。

本実施形態に係る気液分離部４００ａは、液体と気体を分離するフィルタ４０２の代わりに液体から気体を除去する脱気モジュールを用いる。図９に示すように、気液分離部４００ａは、分離経路を構成する配管に第一脱気モジュール４０５と、第一脱気モジュール４０５から強制的に排気をする第一排気ポンプ４０６と備える。

また、本実施形態では、第一気液分離経路を構成する気液分離部４００ａに加えて、第二気液分離経路を構成する強制排気部４１０を有する。強制排気部４１０は、第二脱気モジュール４１２と、第二脱気モジュール４１２から強制的に排気をする第二排気ポンプ４１３と備える。

強制排気部４１０は、第一排気経路４１４ｃと、脱気ポンプである第二ポンプ４１１と、第二排気経路４１４ｂと、第二脱気モジュール４１２と、第二排気ポンプ４１３と、第三排気経路４１４ａと、を有する。また、強制排気部４１０は、第二脱気モジュール４１２と第二排気ポンプ４１３とを接続する第二排気路４１４ｄを備える。

強制排気部４１０は、バッファタンク２９０の気体層２９０ａから微小の泡を含む気体を回収し、気体層２９０ａへと放出する強制排気循環経路を構成する。

第一脱気モジュール４０５と第二脱気モジュール４１２は、ともに、液体を通さず気体のみを通す性質のある中空糸フィルタによって構成される気液分離部材である。第一脱気モジュール４０５と第二脱気モジュール４１２は、経路の外側の空間を減圧することにより、経路内の液体に含まれる空気を除去する部材である。第一排気ポンプ４０６によって第一脱気モジュール４０５の外側の空間が減圧されて、第一排気路４０４ｄを介して混入気体６０１ａが除去される。混入気体６０１ａが除去された液体は、バッファタンク２９０の気体層２９０ａに戻される。これによって混入気体６０１ａが確実に除去される。

第二脱気モジュール４１２は、気液分離部４００ａとバッファ大気開放弁２９２との間の気体層２９０ａを循環させて排気するためのものである。第二脱気モジュール４１２によって、気液分離部４００ａによるバッファタンク２９０に戻された液体に泡が残存して液体層２９０ｂの表面に蓄積したとしても、その泡を、第二ポンプ４１１を利用して回収し、気体と液体に分離して、気体をバッファタンク２９０に戻すことができる。これによって、気体層２９０ａに泡が増えてバッファ大気開放弁２９２から外部に漏れ出すことを防止することができる。

また、強制排気部４１０の第二脱気モジュール４１２によって空気が外部に排出された分、バッファ大気開放弁２９２から空気が流入するため、バッファタンク２９０の内部からバッファ大気開放弁２９２を通過して外部に流れ出る気体の量は少なくなる。これによって、泡によるバッファ大気開放弁２９２側の詰まりを防止できる。

なお、液体は、減圧用送液ポンプ２０３が動作しているときに液体循環機構２００へ流入する。したがって、減圧用送液ポンプ２０３が動作しているときが、バッファタンク２９０に混入気体６０１ａが流入するタイミングとなる。そこで、第一ポンプ４０１と、第二ポンプ４１１と、第一排気ポンプ４０６および第二排気ポンプ４１３の動作は、減圧用送液ポンプ２０３の動作に同期させるとよい。

このように、動作タイミングを制御することによって、液体が流動していないとき（バッファタンク２９０に混入気体６０１ａが流入しないとき）は、複数のポンプの動作を停止して、無駄な電力消費を防止できる。また、このような制御によって、第一脱気モジュール４０５，第二脱気モジュール４１２や、第一ポンプ４０１、第二ポンプ４１１等の寿命を延ばすこともできる。

［第三実施形態］
次に本発明に係る液体を吐出する装置が備える実施形態であって、液体循環機構２００において設けられる気液分離構造のさらに別の例について説明する。図１０に示す気液分離構造は、第二実施形態に係る気液分離部４００ａと強制排気部４１０の構成に対して、さらに、混入気体６０１ａの回収部分に特徴を有するものである。

本実施形態は、図９の構成と同様に第一気液分離経路と第二気液分離経路の２つの気液分離経路によって、バッファタンク２９０の液体層２９０ｂでの気泡の成長を防止し、かつ、バッファ大気開放弁２９２から外部に泡が流入することを防止する。

本実施形態では、気液分離部４００ａにおいて、混入気体６０１ａを回収する位置をバッファタンク２９０の深い位置とする。そのため、バッファタンク２９０は、すでに説明をした実施形態のものよりも、深さ寸法が大きいものを想定する。

液体層２９０ｂの深い位置（深部）では、混入気体６０１ａは水圧によって小さい状態である。そこで、混入気体６０１ａが小さい段階で気液分離部４００ａにて回収することで、第一分離経路４０４ａに取り込まれると、混入気体６０１ａの除去をより確実に行うことができる。

また、液体層２９０ｂの内部に位置する第一分離経路４０４ａの端部近傍には、気体滞留部としての傾斜板４０３ｂが設置されている。この傾斜板４０３ｂは、バッファタンク２９０の内部の壁の一部に、固定されていて、下方側が壁から離れる状態になっている傾斜部材である。流体経路２８３の端部を傾斜板４０３ｂの下方に配置することで、混入気体６０１ａは傾斜板４０３ｂに沿って壁側に集約される。その集約する位置に、第一分離経路４０４ａに一方の端部を配置することで、混入気体６０１ａをさらに確実に回収できるようにしている。

以上説明した本実施形態によれば、減圧用送液ポンプ２０３に連通する配管（流体経路２８３）のバッファタンク２９０内での開口部を深い位置に配置することで、開口部から混入気体６０１ａが排出された場合、バッファタンク２９０内での水圧の作用により泡が小さい状態で第一分離経路４０４ａに取り込まれる。これによって、消泡、減泡をより効果的に行える。

＜液体を吐出する装置に関する補足＞
本願において、吐出される「液体」は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

「液体吐出ヘッド」には、液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。

１ ：搬入手段
３ ：案内搬送手段
５ ：印刷手段
７ ：乾燥手段
９ ：排出手段
１０ ：連続体
１１ ：元巻きローラ
５０ ：ヘッドユニット
５１ ：ヘッドアレイ
５１Ｃ ：フルライン型ヘッドアレイ
５１Ｋ ：フルライン型ヘッドアレイ
５１Ｍ ：フルライン型ヘッドアレイ
５１Ｙ ：フルライン型ヘッドアレイ
５２ ：ベース部材
５５ ：後処理ヘッドユニット
５９ ：搬送ガイド部材
９１ ：巻取りローラ
１００ ：液体吐出ヘッド
１０１ ：ノズル板
１０２ ：流路板
１０３ ：振動板部材
１０４ ：ノズル
１０５ ：ノズル連通路
１０６ ：個別液室
１０７ ：供給側流体抵抗部
１０８ ：液導入部
１０９ ：開口
１１０ ：供給側共通液室
１１０Ａ ：下流側共通液室
１１０Ｂ ：上流側共通液室
１１１ ：圧電アクチュエータ
１１２ ：圧電素子
１１３ ：ベース部材
１１５ ：フレキシブル配線部材
１２０ ：共通液室部材
１２１ ：第一共通液室部材
１２２ ：第二共通液室部材
１２９ ：カバー
１３０ ：振動領域
１３０ａ ：凸部
１４０ ：流路部材
１５０ ：排出側共通液室
１５１ ：排出流路
１７１ ：供給ポート
１８１ ：排出ポート
２００ ：液体循環機構
２０１ ：メインタンク
２０２ ：加圧用送液ポンプ
２０３ ：減圧用送液ポンプ
２０５ ：メインフィルタ
２０９ ：供給ポンプ
２０９ａ ：気体層
２１０ ：減圧側タンク
２１０ａ ：気体室
２１１ ：減圧側液面センサ
２１２ ：減圧側大気開放弁
２２０ ：加圧側タンク
２２０ａ ：気体室
２２１ ：加圧側液面センサ
２２２ ：加圧側大気開放弁
２３０ ：第１マニホールド
２３１ ：供給経路
２３２ ：電磁弁
２３３ ：第一圧力センサ
２４０ ：第２マニホールド
２４１ ：排出経路
２４２ ：電磁弁
２４３ ：第二圧力センサ
２６０ ：脱気装置
２６１ ：循環用フィルタ
２７０ ：バイパス経路
２７１ ：電磁弁
２７２ ：電磁弁
２８１ ：流体経路
２８２ ：流体経路
２８３ ：流体経路
２８４ ：流体経路
２８９ ：流体経路
２９０ ：バッファタンク
２９０ａ ：気体層
２９０ｂ ：液体層
２９０ｃ ：気体層
２９１ ：バッファ用液面センサ
２９２ ：バッファ大気開放弁
２９３ ：内壁部
３００ ：ヘッドタンク
３００ａ ：供給側ヘッドタンク
３００ｂ ：排出側ヘッドタンク
４００ ：気液分離部
４００ａ ：気液分離部
４０１ ：第一ポンプ
４０２ ：フィルタ
４０３ ：傘状部材
４０３ｂ ：傾斜板
４０４ａ ：第一分離経路
４０４ｂ ：第二分離経路
４０４ｃ ：第三分離経路
４０４ｄ ：第一排気路
４０５ ：第一脱気モジュール
４０６ ：第一排気ポンプ
４１０ ：強制排気部
４１１ ：第二ポンプ
４１２ ：第二脱気モジュール
４１３ ：第二排気ポンプ
４１４ａ ：第三排気経路
４１４ｂ ：第二排気経路
４１４ｃ ：第一排気経路
４１４ｄ ：第二排気路
５００ ：制御部
５００Ａ ：主制御部
５０１ ：ＣＰＵ
５０４ ：不揮発性メモリ
５０８ ：印刷制御部
５０９ ：ヘッドドライバ
５１０ ：電磁弁制御部
５１１ ：供給系制御部
５１２ ：圧力系制御部
５１３ ：Ｉ／Ｏ部
５１４ ：操作パネル
５１５ ：センサ群
５１６ ：脱気系制御部
５５０ ：電磁弁群
５９０ ：プリンタドライバ
６０１ａ ：混入気体
６０１ｂ ：気泡
１０００ ：印刷装置

特開２００９－２７９８４８号公報

Claims (10)

1. 液体吐出ヘッドを備える液体を吐出する装置であって、
   前記液体吐出ヘッドを含み当該液体を循環させる液体循環機構を備え、
   前記液体循環機構は、
   前記液体吐出ヘッドへ前記液体を循環させる差圧が発生される加圧用の第一送液ポンプおよび減圧用の第二送液ポンプと、当該第二送液ポンプと当該第一送液ポンプの間に配置され流体経路を介して第二送液ポンプおよび第一送液ポンプに接続される中間タンクを含み、
   前記中間タンクは、前記第二送液ポンプから流入する液体に混入している気体と当該液体とを分離する気液分離部を備えていて、
   前記気液分離部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部から放出されて流入する液体を回収し気液分離部材を介して前記中間タンクに戻す循環ポンプを含む気液分離循環経路を含み、当該循環ポンプによる流量は前記第二送液ポンプによる流量よりも大きく、
   前記気液分離循環経路は、
   一方の端部が前記中間タンクの液体層に配置され、他方の端部が前記循環ポンプまたは前記気液分離部材に接続される第一循環経路と、
   一方の端部が前記中間タンクの気体層に配置され、他方の端部が前記気液分離部材または前記循環ポンプに接続される第二循環経路と、を含み、
   前記気体層に配置される端部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部近傍に配置されている、
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。
2. 前記第一循環経路の一方の端部の近傍には、気体滞留部が設置されている、請求項１に記載の液体を吐出する装置。
3. 前記気体滞留部は、上方に向かって狭まるテーパー状の部材からなる、請求項２に記載の液体を吐出する装置。
4. 前記気体滞留部は、上方に向かって傾斜する傾斜部材からなる、請求項２に記載の液体を吐出する装置。
5. 液体吐出ヘッドを備える液体を吐出する装置であって、
   前記液体吐出ヘッドを含み当該液体を循環させる液体循環機構を備え、
   前記液体循環機構は、
   前記液体吐出ヘッドへ前記液体を循環させる差圧が発生される加圧用の第一送液ポンプおよび減圧用の第二送液ポンプと、当該第二送液ポンプと当該第一送液ポンプの間に配置され流体経路を介して第二送液ポンプおよび第一送液ポンプに接続される中間タンクを含み、
   前記中間タンクは、前記第二送液ポンプから流入する液体に混入している気体と当該液体とを分離する気液分離部を備えていて、
   前記気液分離部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部から放出されて流入する液体を回収し気液分離部材を介して前記中間タンクに戻す循環ポンプを含む気液分離循環経路を含み、
   当該循環ポンプによる流量は前記第二送液ポンプによる流量よりも大きく、
   前記気液分離部は、前記中間タンクの気体層から気体を回収し気液分離部材を介して当該気体層に戻す脱気ポンプを含む強制排気循環経路を含み、
   当該強制排気循環経路は、
   前記中間タンクの気体に一方の端部が配置され、他方の端部が前記脱気ポンプに接続する第一排気経路と、
   一方の端部が前記脱気ポンプに接続され、他方の端部が前記気液分離部材に接続する第二排気経路と、
   一方の端部が前記気液分離部材に接続され他方の端部は前記中間タンクの気体層に配置されている第三排気経路と、
   前記気液分離部材に一方の端部が接続され他方の端部が排気ポンプに接続されている排気路と、を含む、
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。
6. 前記排気ポンプおよび前記循環ポンプは、前記第二送液ポンプの動作を同期して動作する、請求項５に記載の液体を吐出する装置。
7. 液体吐出ヘッドを備える液体を吐出する装置であって、
   前記液体吐出ヘッドを含み当該液体を循環させる液体循環機構を備え、
   前記液体循環機構は、
   前記液体吐出ヘッドへ前記液体を循環させる差圧が発生される加圧用の第一送液ポンプおよび減圧用の第二送液ポンプと、当該第二送液ポンプと当該第一送液ポンプの間に配置され流体経路を介して第二送液ポンプおよび第一送液ポンプに接続される中間タンクを含み、
   前記中間タンクは、前記第二送液ポンプから流入する液体に混入している気体と当該液体とを分離する気液分離部を備えていて、
   前記気液分離部は、前記第二送液ポンプからの流体経路の端部から放出されて流入する液体を回収し気液分離部材を介して前記中間タンクに戻す循環ポンプを含む気液分離循環経路を含み、
   当該循環ポンプによる流量は前記第二送液ポンプによる流量よりも大きく、
   前記第二送液ポンプからの流体経路の端部から液体が放出される位置は、前記中間タンクの深部である、
   ことを特徴とする液体を吐出する装置。
8. 前記中間タンクは、大気開放弁を備え、前記気液分離部は当該中間タンク内において前記大気開放弁と離れた位置に配置されている、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の液体を吐出する装置。
9. 前記気液分離部材は、フィルタである、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体を吐出する装置。
10. 前記気液分離部材は、脱気モジュールである、請求項１乃至８のいずれか一項に記載の液体を吐出する装置。

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