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JP7011396B2 - Glass cloth, prepreg, and printed wiring board - Google Patents

Glass cloth, prepreg, and printed wiring board Download PDF

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JP7011396B2
JP7011396B2 JP2017023560A JP2017023560A JP7011396B2 JP 7011396 B2 JP7011396 B2 JP 7011396B2 JP 2017023560 A JP2017023560 A JP 2017023560A JP 2017023560 A JP2017023560 A JP 2017023560A JP 7011396 B2 JP7011396 B2 JP 7011396B2
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Description

本発明はガラスクロス、プリプレグ、及びプリント配線板に関する。 The present invention relates to glass cloths, prepregs, and printed wiring boards.

現在、スマートフォン等の情報端末の高性能化、高速通信化に伴い、使用されるプリント配線板において、高密度化、極薄化とともに、低誘電率化、低誘電正接化が著しく進行している。 At present, along with the high performance and high-speed communication of information terminals such as smartphones, the printed wiring boards used are becoming denser and ultrathin, as well as having a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent. ..

このプリント配線板の絶縁材料としては、ガラスクロスをエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂(以下、「マトリックス樹脂」という。)に含浸させて得られるプリプレグを積層して加熱加圧硬化させた積層板が広く使用されている。上記の高速通信基板に使用されるマトリックス樹脂の誘電率は3程度であるのに対し、一般的なEガラスクロスの誘電率は6.7程度であり、積層板時の高い誘電率の問題が顕在化してきている。なお、信号の伝送ロスは、Edward A. Wolff式 : 伝送損失∝√ε×tanδ、が示すように、誘電率(ε)および誘電正接(tanδ)が小さい材料ほど改善されることが知られている。 As the insulating material of this printed wiring board, a laminated board obtained by impregnating a glass cloth with a thermosetting resin such as an epoxy resin (hereinafter referred to as "matrix resin") and laminating a prepreg obtained by laminating and heat-pressing curing. Is widely used. While the dielectric constant of the matrix resin used for the above-mentioned high-speed communication board is about 3, the dielectric constant of a general E glass cloth is about 6.7, which causes a problem of high dielectric constant at the time of a laminated board. It is becoming apparent. The signal transmission loss is determined by Edward A. Wolff equation: As shown by the transmission loss ∝√ε × tanδ, it is known that the material having a smaller dielectric constant (ε) and dielectric loss tangent (tanδ) is improved.

そのため、Eガラスとは異なるガラス組成のDガラス、NEガラス、Lガラス等の低誘電率ガラスクロスが提案されている(例えば、特許文献1~4参照)。 Therefore, low dielectric constant glass cloths such as D glass, NE glass, and L glass having a glass composition different from that of E glass have been proposed (see, for example, Patent Documents 1 to 4).

特開平5-170483号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 5-170483 特開2009-263569号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-263569 特開2009-19150号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-19150 特開2009-263824号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-263824

しかしながら、今後の5G通信用途等において、これら低誘電率ガラスクロスでは、十分な伝送速度性能を達成する観点から、なお改善の余地があった。
ここで、ガラス組成中のSiO2配合量をほぼ100%とすることにより、更なる低誘電率化及び低誘電正接化を図ることも考えられる。しかし、SiO2配合量をほぼ100%とした場合には、ガラスフィラメントの耐屈曲性が大幅に低下する傾向となり、ガラスフィラメントが割れたり折れたりする場合がある。
そして、割れたり折れたりしたガラスフィラメントは、ガラスクロスの毛羽立ちの一因となる。なお、SiO2配合量を増加させたガラスフィラメントの場合には、毛羽立ち部が垂直に立ちやすい傾向となるため、より毛羽立ち部が顕在化しやすい。
さらに、基板(「基板」とは、プリプレグ、プリント配線板、又はこれらの積層板等を含む概念である)を作製する際、毛羽立ち部が導電層に衝突した状態では、層間絶縁が不良となる場合があった。即ち、層間絶縁信頼性に優れた基板を実現する観点から、なお改善の余地があった。
However, in future 5G communication applications and the like, there is still room for improvement in these low dielectric constant glass cloths from the viewpoint of achieving sufficient transmission speed performance.
Here, it is conceivable to further reduce the dielectric constant and the dielectric loss tangent by setting the amount of SiO 2 in the glass composition to be approximately 100%. However, when the amount of SiO 2 blended is approximately 100%, the bending resistance of the glass filament tends to be significantly lowered, and the glass filament may be cracked or broken.
The broken or broken glass filaments contribute to the fluffing of the glass cloth. In the case of glass filaments in which the amount of SiO 2 blended is increased, the fluffing portion tends to stand vertically, so that the fluffing portion is more likely to become apparent.
Further, when a substrate (“board” is a concept including a prepreg, a printed wiring board, or a laminated plate thereof, etc.) is manufactured, if the fluffed portion collides with the conductive layer, the interlayer insulation becomes poor. There was a case. That is, there is still room for improvement from the viewpoint of realizing a substrate having excellent interlayer insulation reliability.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、誘電率が低く、かつ層間絶縁信頼性に優れた基板を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and is a glass cloth capable of producing a substrate having a low dielectric constant and excellent interlayer insulation reliability, a prepreg using the glass cloth, and a printed wiring board. The purpose is to provide a board.

本発明者らは、前記課題を解決するために検討した結果、所定のガラスクロスが上記課題を解決できることを見出し、本発明の完成に至った。 As a result of studies for solving the above-mentioned problems, the present inventors have found that a predetermined glass cloth can solve the above-mentioned problems, and have completed the present invention.

すなわち本発明は、以下のとおりである。
[1]
複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、3μm~10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のガラスフィラメント数が、20~300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して20~140本/inchであり、
前記ガラスクロスの厚さが、8μm~100μmであり、
Roll-to-Rollにより張力100N/1000mmをかけた場合に観察される長さ1mm以上の毛羽の数が、10個/m2以下である、
ガラスクロス。
[2]
前記経糸及び前記緯糸におけるZ方向に並ぶガラスフィラメントが、各々独立して8本以下である、[1]に記載のガラスクロス。
[3]
前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上、1.0質量%以下である、[1]又は[2]に記載のガラスクロス。
[4]
前記経糸及び前記緯糸の一方のSiO2組成量が、98質量%以上、100質量%以下である、[1]~[3]のいずれかに記載のガラスクロス。
[5]
前記経糸及び前記緯糸の一方のSiO2組成量が、98質量%以上、99.99質量%以下である、[1]~[4]のいずれかに記載のガラスクロス。
[6]
前記ガラスクロスの誘電率が、4.3以下である、[1]~[5]のいずれかに記載のガラスクロス。
[7]
前記ガラス糸の表面が、シランカップリング剤で処理された、[1]~[6]のいずれかに記載のガラスクロス。
[8]
ガラス糸に糊剤を2質量%以上10質量%以下付着させる糊付け工程と、
前記糊付け工程により得られるガラス糸を、経糸と緯糸として用い、ガラスクロスを製織する製織工程と、
前記製織工程により得られたガラスクロスに付着した前記糊剤を除去し、前記糊剤の付着量を0.1質量%以下とする脱糊工程と、
を含む、ガラスクロスの製造方法。
[9]
前記脱糊工程の前に、前記糊付け工程を複数回行う、[8]に記載のガラスクロスの製造方法。
[10]
前記糊剤が、澱粉、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド、ポリエステル、及びポリアミドからなる群より選択される1種以上を含む、[8]又は[9]に記載のガラスクロスの製造方法。
[11]
[1]~[7]のいずれかに記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を含む、
プリプレグ。
[12]
[11]に記載のプリプレグを有する、プリント配線板。
That is, the present invention is as follows.
[1]
A glass cloth made by weaving glass threads composed of a plurality of glass filaments as warps and wefts.
The average filament diameter of the warp and the glass filament constituting the weft is 3 μm to 10 μm.
The number of glass filaments of the warp and weft is 20 to 300, and the number of glass filaments is 20 to 300.
The driving densities of the warp and weft are independently 20 to 140 threads / inch, respectively.
The thickness of the glass cloth is 8 μm to 100 μm.
The number of fluffs with a length of 1 mm or more observed when a tension of 100 N / 1000 mm is applied by Roll-to-Roll is 10 pieces / m 2 or less.
Glass cloth.
[2]
The glass cloth according to [1], wherein the number of glass filaments arranged in the Z direction in the warp and weft is 8 or less independently.
[3]
The glass cloth according to [1] or [2], wherein the ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less.
[4]
The glass cloth according to any one of [1] to [3], wherein the SiO 2 composition amount of one of the warp and weft is 98% by mass or more and 100% by mass or less.
[5]
The glass cloth according to any one of [1] to [4], wherein the SiO 2 composition amount of one of the warp and weft is 98% by mass or more and 99.99% by mass or less.
[6]
The glass cloth according to any one of [1] to [5], wherein the glass cloth has a dielectric constant of 4.3 or less.
[7]
The glass cloth according to any one of [1] to [6], wherein the surface of the glass thread is treated with a silane coupling agent.
[8]
The gluing step of adhering the adhesive to the glass thread by 2% by mass or more and 10% by mass or less,
A weaving step of weaving a glass cloth using the glass yarn obtained by the gluing step as a warp and a weft,
A degluing step of removing the adhesive adhering to the glass cloth obtained by the weaving step and reducing the amount of the adhesive adhering to 0.1% by mass or less.
A method for manufacturing glass cloth, including.
[9]
The method for producing a glass cloth according to [8], wherein the gluing step is performed a plurality of times before the degluing step.
[10]
The method for producing a glass cloth according to [8] or [9], wherein the adhesive comprises one or more selected from the group consisting of starch, polyvinyl alcohol, polyethylene oxide, polyester, and polyamide.
[11]
The glass cloth according to any one of [1] to [7] and
A matrix resin impregnated in the glass cloth, and the like.
Pre-preg.
[12]
A printed wiring board having the prepreg according to [11].

本発明によれば、誘電率が低く、かつ層間絶縁信頼性に優れた基板を作製することができるガラスクロス、該ガラスクロスを用いたプリプレグ、及びプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a glass cloth capable of producing a substrate having a low dielectric constant and excellent interlayer insulation reliability, a prepreg using the glass cloth, and a printed wiring board.

以下、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。 Hereinafter, embodiments of the present invention (hereinafter referred to as “the present embodiment”) will be described in detail, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made without departing from the gist thereof. Is.

〔ガラスクロス〕
本実施形態のガラスクロスは、複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスである。
また、本実施形態のガラスクロスは、前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、3μm~10μmであり、前記経糸及び前記緯糸のガラスフィラメント数が、20~300本であり、前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して20~140本/inchであり、前記ガラスクロスの厚さが、8μm~100μmであり、長さ1mm以上の毛羽の数が、10個/m2以下である。
〔Glass cloth〕
The glass cloth of the present embodiment is a glass cloth obtained by weaving a glass thread composed of a plurality of glass filaments as a warp and a weft.
Further, in the glass cloth of the present embodiment, the average filament diameter of the warp and the glass filament constituting the weft is 3 μm to 10 μm, and the number of glass filaments of the warp and the warp is 20 to 300. The warp and weft driving densities are independently 20 to 140 lines / inch, the thickness of the glass cloth is 8 μm to 100 μm, and the number of fluffs having a length of 1 mm or more is 10. It is less than / m 2 .

上述のとおり、割れたり折れたりしたガラスフィラメントは、ガラスクロスの毛羽立ちの一因となる。このような毛羽立ちは、ガラスクロスの表面処理後の水洗、開繊工程において生じ得る。また、プリプレグ用途においては、その加工中に毛羽立ちが生じる(もともと生じていた小さな毛羽が大きな毛羽に変化する場合を含む)場合もある。 As mentioned above, broken or broken glass filaments contribute to the fluffing of the glass cloth. Such fluffing may occur in the washing and opening steps after the surface treatment of the glass cloth. Further, in prepreg applications, fluffing may occur during the processing (including the case where the originally small fluff changes to a large fluff).

本発明者らは鋭意検討の結果、本実施形態のガラスクロス、すなわち、(張力のかかっていない状態で観察するのではなく)一定の張力を与えた場合に観察される一定の大きさ以上の毛羽の数が一定個数以下であるという、一定の条件を満たすガラスクロスを選択して用いた場合、基板作製の際に毛羽が導電層に衝突することを抑制し得、ひいては層間絶縁信頼性に優れた基板を実現し得ることを見出したものである。一定の条件を満たすガラスクロスが層間絶縁信頼性に優れた基板を実現するメカニズムについてその詳細は詳らかでないが、基板作製の際に、通糸工程や含浸工程、プレス工程、冷却/硬化工程等においてガラスクロスに加えられる様々な外力が毛羽を増加させる原因として考えられる一方、一定の張力下において毛羽立ちの角度や程度の小さいガラスクロスにおいてはその様な増加が抑制され、或いは冷却/硬化工程における収縮過程で毛羽立ちの角度が低下等するため、結果として基板状態となった際に導電層に接するガラス量が低下するのではないかと推察される。 As a result of diligent studies, the present inventors have found that the glass cloth of the present embodiment, that is, a certain size or more observed when a constant tension is applied (rather than observing in a non-tensioned state). When a glass cloth that satisfies a certain condition that the number of fluffs is a certain number or less is selected and used, it is possible to suppress the fluffs from colliding with the conductive layer when manufacturing the substrate, and eventually the interlayer insulation reliability is improved. We have found that an excellent substrate can be realized. The details of the mechanism by which glass cloth that meets certain conditions realizes a substrate with excellent interlayer insulation reliability are not detailed, but in the process of threading, impregnation, pressing, cooling / curing, etc., when manufacturing the substrate, While various external forces applied to the glass cloth are thought to be the cause of the increase in fluff, such increase is suppressed or shrinkage in the cooling / curing process in glass cloth with a small fluffing angle or degree under constant tension. Since the angle of fluffing decreases in the process, it is speculated that the amount of glass in contact with the conductive layer may decrease as a result of the substrate state.

なお、1mm以上の毛羽の数は、実施例に記載の方法により評価することができる。
また、毛羽の数は、好ましくは9個/m2以下であり、より好ましくは8個/m2以下である。さらに毛羽の数の下限値は、0個/m2であることが理想であるが、1個/m2以上であってよく、2個/m2以上であってもよい。
長さ1mm以上の毛羽の数は、例えば、ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸として、所定量の糊剤を付着させる処理をして得られる経糸及び緯糸を用いることにより10個/m2以下に調整することができる。
The number of fluffs of 1 mm or more can be evaluated by the method described in Examples.
The number of fluffs is preferably 9 / m 2 or less, and more preferably 8 / m 2 or less. Further, the lower limit of the number of fluffs is ideally 0 fluff / m 2 , but it may be 1 fluff / m 2 or more, and may be 2 fluff / m 2 or more.
The number of fluffs having a length of 1 mm or more can be reduced to 10 / m 2 or less by using, for example, the warps and wefts obtained by adhering a predetermined amount of adhesive as the warps and wefts constituting the glass cloth. Can be adjusted.

〔ガラスフィラメント組成〕
本実施形態においては、SiO2組成量が98~100質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントA」ともいう。)を含むガラス糸、及び、SiO2組成量が45~60質量%であり、B23組成量が15~30質量%であるガラスフィラメント(以下、「ガラスフィラメントB」ともいう。)を含むガラス糸を好適に用いることができる。
本実施形態のガラスクロスは、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様;経糸及び緯糸の両方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸である態様;経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸又はガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様;並びに、経糸及び緯糸の両方が、ガラスフィラメントAとガラスフィラメントBとからなるガラス糸である態様;が含まれる。
これらのガラスクロスの態様の中でも、経糸及び緯糸の一方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸であり、経糸及び緯糸の他方が、ガラスフィラメントBからなるガラス糸である態様、並びに、経糸及び緯糸の両方が、ガラスフィラメントAからなるガラス糸である態様が好ましい。
[Glass filament composition]
In the present embodiment, a glass thread containing a glass filament having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass (hereinafter, also referred to as “glass filament A”) and a SiO 2 composition amount of 45 to 60% by mass. A glass thread containing a glass filament having a B 2 O 3 composition of 15 to 30% by mass (hereinafter, also referred to as “glass filament B”) can be preferably used.
In the glass cloth of the present embodiment, one of the warp and the weft is a glass thread made of a glass filament A, and the other of the warp and the weft is a glass thread made of a glass filament B; both the warp and the weft are An embodiment of a glass thread made of glass filament A; one of the warp and weft is a glass thread made of glass filament A and glass filament B, and the other of the warp and weft is a glass thread or glass filament made of glass filament A. The embodiment is a glass yarn made of B; and the embodiment in which both the warp and weft are glass yarns made of glass filament A and glass filament B;
Among these aspects of the glass cloth, one of the warp and weft is a glass thread made of glass filament A, and the other of the warp and weft is a glass thread made of glass filament B, and the warp and weft. It is preferable that both are glass threads made of glass filament A.

〔ガラスフィラメントA〕
ガラスフィラメントAのSiO2組成量は、好ましくは98~100質量%であり、より好ましくは98~99.99質量%であり、さらに好ましくは98~99.95質量%である。SiO2組成量が98質量%以上であることにより、誘電率や誘電正接がより減少する傾向にある。また、SiO2組成量が98質量%以上であることにより、ガラス溶融紡糸の際の空気の混入が抑制され、中空糸の発生を抑制することができる。中空糸が減少することにより、基板の絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、SiO2組成量が100質量%以下であることにより、ガラス糸の耐屈曲性及び耐脆性がより向上する傾向にある。これにより、基板のドリル加工性がより向上し、また、ガラスクロスの処理加工後の開繊時及び水洗時等においてガラス糸切れが発生し難くなり、ガラスクロスの毛羽量が低下する傾向にある。このようなガラスクロスを用いることにより、誘電率がより低下する上、中空糸低減に由来する絶縁信頼性の向上や、基板のドリル加工性の向上に由来する絶縁信頼性の向上、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性の向上(メッキ染み込み、突起不良、層間絶縁不良等の防止)を達成することができる。SiO2組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
[Glass filament A]
The SiO 2 composition amount of the glass filament A is preferably 98 to 100% by mass, more preferably 98 to 99.99% by mass, and further preferably 98 to 99.95% by mass. When the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, the dielectric constant and the dielectric loss tangent tend to be further reduced. Further, when the SiO 2 composition amount is 98% by mass or more, air contamination during glass melt spinning can be suppressed, and the generation of hollow fibers can be suppressed. By reducing the number of hollow fibers, the insulation reliability of the substrate tends to be further improved. Further, when the SiO 2 composition amount is 100% by mass or less, the bending resistance and brittleness of the glass yarn tend to be further improved. As a result, the drill workability of the substrate is further improved, and the glass thread breakage is less likely to occur at the time of opening the fiber after the processing of the glass cloth and at the time of washing with water, and the amount of fluff of the glass cloth tends to decrease. .. By using such a glass cloth, the dielectric constant is further lowered, the insulation reliability is improved due to the reduction of hollow threads, the insulation reliability is improved due to the improvement of the drilling workability of the substrate, and the fluffing is reduced. It is possible to improve the insulation reliability (prevention of plating penetration, protrusion failure, interlayer insulation failure, etc.). The amount of SiO 2 composition can be adjusted according to the amount of raw material used for producing the glass filament.

また、ガラスフィラメントAは、SiO2の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、B23、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament A may have other compositions other than SiO 2 . Other compositions are not particularly limited, and examples thereof include Al 2 O 3 , CaO, MgO, B 2 O 3 , TIO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3 and the like. Be done.

〔ガラスフィラメントB〕
ガラスフィラメントBのSiO2組成量は、45~60質量%であり、好ましくは50~60質量%であり、より好ましくは51~56質量%である。また、ガラスフィラメントBのB23組成量は、15~30質量%であり、好ましくは20~30質量%であり、より好ましくは21~25質量%である。SiO2組成量が60%以下、かつB23組成量が15質量%以上であることにより、ガラス溶融粘度が下がり、ガラス糸を引き易くなるため、中空糸の発生を抑制することができ、また、誘電率が低下する。また、SiO2組成量が45%以上、かつB23組成量が30質量%以下であることにより、表面処理を施した場合において、耐吸湿性がより向上する。一方、B23組成量が15質量%未満であると、中空糸数が上昇し、それに伴って絶縁信頼性が低下する。また、B23組成量がさらにEガラス組成量まで減少すると、中空糸数は減少する傾向にあるが、誘電率は増加する。また、B23組成量が30質量%超過であると、吸湿量が増大するため、絶縁信頼性が低下する。B23組成量は、ガラスフィラメント作製に用いる原料使用量に応じて調整することができる。
ガラスフィラメントBの組成としては、Eガラス(無アルカリガラス)、NEガラス、Lガラス、Dガラス、Sガラス、及びTガラス等の、公知のガラス組成であってもよく、中でも、NEガラス及びLガラスが好ましい。
[Glass filament B]
The SiO 2 composition amount of the glass filament B is 45 to 60% by mass, preferably 50 to 60% by mass, and more preferably 51 to 56% by mass. The B 2 O 3 composition of the glass filament B is 15 to 30% by mass, preferably 20 to 30% by mass, and more preferably 21 to 25% by mass. When the SiO 2 composition amount is 60% or less and the B 2 O 3 composition amount is 15% by mass or more, the glass melt viscosity is lowered and the glass yarn is easily pulled, so that the generation of hollow yarn can be suppressed. Also, the dielectric constant decreases. Further, when the SiO 2 composition amount is 45% or more and the B 2 O 3 composition amount is 30% by mass or less, the hygroscopicity is further improved when the surface treatment is applied. On the other hand, when the B 2 O 3 composition amount is less than 15% by mass, the number of hollow yarns increases, and the insulation reliability decreases accordingly. Further, when the B 2 O 3 composition amount is further reduced to the E glass composition amount, the number of hollow yarns tends to decrease, but the dielectric constant increases. Further, if the B 2 O 3 composition amount exceeds 30% by mass, the moisture absorption amount increases, and thus the insulation reliability decreases. The B 2 O 3 composition amount can be adjusted according to the amount of the raw material used for producing the glass filament.
The composition of the glass filament B may be a known glass composition such as E glass (non-alkali glass), NE glass, L glass, D glass, S glass, and T glass, and among them, NE glass and L. Glass is preferred.

また、ガラスフィラメントBは、SiO2及びB23の他、その他の組成を有していてもよい。その他の組成としては、特に限定されないが、例えば、Al23、CaO、MgO、TiO2、Na2O、K2O、Sr23、Fe23等が挙げられる。 Further, the glass filament B may have other compositions in addition to SiO 2 and B 2 O 3 . Other compositions are not particularly limited, and examples thereof include Al 2 O 3 , CaO, MgO, TiO 2 , Na 2 O, K 2 O, Sr 2 O 3 , Fe 2 O 3 and the like.

ガラスフィラメントB中、Al23組成量は、好ましくは11~16質量%であり、より好ましくは12~16質量%である。Al23組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。 The Al 2 O 3 composition amount in the glass filament B is preferably 11 to 16% by mass, more preferably 12 to 16% by mass. When the Al 2 O 3 composition amount is within the above range, the productivity of the yarn tends to be further improved.

ガラスフィラメントB中、CaO組成量は、好ましくは4~8質量%であり、より好ましくは6~8質量%である。CaO組成量が上記範囲内であることにより、糸の生産性がより向上する傾向にある。 The CaO composition content in the glass filament B is preferably 4 to 8% by mass, more preferably 6 to 8% by mass. When the CaO composition amount is within the above range, the productivity of the yarn tends to be further improved.

〔打ち込み密度〕
ガラスクロスを構成する経糸及び緯糸の打ち込み密度は、各々独立して、20~140本/inchであり、好ましくは30~130本/inchであり、より好ましくは40~120本/inchである。
[Driving density]
The driving densities of the warp and weft constituting the glass cloth are independently 20 to 140 threads / inch, preferably 30 to 130 threads / inch, and more preferably 40 to 120 threads / inch.

〔厚さ〕
ガラスクロスの厚さは、8μm~100μm、好ましくは15μm~90μm、より好ましくは20μm~80μmである。
〔thickness〕
The thickness of the glass cloth is 8 μm to 100 μm, preferably 15 μm to 90 μm, and more preferably 20 μm to 80 μm.

〔布重量(目付け)〕
ガラスクロスの布重量(目付け)は、好ましくは6~100g/m2であり、より好ましくは7~90g/m2である。
[Cloth weight (Metsuke)]
The cloth weight (weighting) of the glass cloth is preferably 6 to 100 g / m 2 , and more preferably 7 to 90 g / m 2 .

〔織り構造〕
ガラスクロスの織り構造については、特に限定されないが、例えば、平織り、ななこ織り、朱子織り、綾織り、等の織り構造が挙げられる。このなかでも、平織り構造がより好ましい。
[Woven structure]
The woven structure of the glass cloth is not particularly limited, and examples thereof include woven structures such as plain weave, nanako weave, satin weave, and twill weave. Of these, a plain weave structure is more preferable.

〔ガラスフィラメントの平均フィラメント径〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントの平均フィラメント径は、各々独立して、3~10μmであり、好ましくは3.5~9.5μmである。ガラスフィラメントの平均フィラメント径が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。特に、ガラスフィラメントの平均フィラメント径を9.5μm以下とすることは、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる、後述の効果がより大きく発現される傾向にあるため好ましい。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの平均フィラメント径であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記平均フィラメント径はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの平均フィラメント径である。
[Average filament diameter of glass filament]
The average filament diameters of the glass filaments constituting the warp and weft are independently 3 to 10 μm, preferably 3.5 to 9.5 μm. When the average filament diameter of the glass filament is within the above range, the processability tends to be further improved when the obtained substrate is machined by a mechanical drill. In particular, setting the average filament diameter of the glass filament to 9.5 μm or less means that the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases, so the ignition loss value is set to 0.2% by mass or more. This is preferable because the effects described below tend to be more pronounced. When the warp or weft is a glass thread made of glass filament A or B, the average filament diameter is the average filament diameter of the glass filaments A or B constituting the glass thread, and the warp or weft is glass. In the case of a glass thread composed of filaments A and B, the average filament diameter is the average filament diameter of the glass filaments A and B constituting the glass thread.

特に、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径は、好ましくは4~10μmであり、より好ましくは6~10μmであり、さらに好ましくは7.5~10μmである。ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が4μm以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAの平均フィラメント径が10μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。 In particular, the average filament diameter of the glass filament A is preferably 4 to 10 μm, more preferably 6 to 10 μm, and even more preferably 7.5 to 10 μm. When the average filament diameter of the glass filament A is 4 μm or more, the yarn breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluffing of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability derived from the reduction of fluffing tends to be further improved. .. Further, since the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases when the average filament diameter of the glass filament A is 10 μm or less, the ignition loss value is set to 0.2% by mass or more, which will be described later. The effect tends to be more pronounced.

また、ガラスフィラメントBの平均フィラメント径は、好ましくは3~9μmであり、より好ましくは4~8μmであり、さらに好ましくは5~7μmである。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が3μm以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBの平均フィラメント径が9μm以下であることにより、単位体積当りのマトリックス樹脂とガラスフィラメントの接する面積が増えるため、強熱減量値を0.2質量%以上とすることによる後述の効果がより大きく発現される傾向にある。 The average filament diameter of the glass filament B is preferably 3 to 9 μm, more preferably 4 to 8 μm, and even more preferably 5 to 7 μm. When the average filament diameter of the glass filament B is 3 μm or more, the processability of the obtained substrate tends to be further improved. Since the area of contact between the matrix resin and the glass filament per unit volume increases when the average filament diameter of the glass filament B is 9 μm or less, the effect described later by setting the ignition loss value to 0.2% by mass or more can be obtained. It tends to be more expressed.

〔ガラスフィラメントのフィラメント数〕
経糸及び緯糸を構成するガラスフィラメントのフィラメント数は、各々独立して、20~300本であり、好ましくは20~200本である。ガラスフィラメントのフィラメント数が上記範囲内であることにより、得られる基板を、メカニカルドリルにより加工する際、加工性がより向上する傾向にある。なお、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA又はBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA又はBの本数であり、経糸又は緯糸が、ガラスフィラメントA及びBからなるガラス糸である場合には、上記フィラメント数はガラス糸を構成するガラスフィラメントA及びBの合計本数である。
[Number of filaments of glass filament]
The number of filaments of the glass filaments constituting the warp and weft is independently 20 to 300, preferably 20 to 200. When the number of filaments of the glass filament is within the above range, the processability tends to be further improved when the obtained substrate is machined by a mechanical drill. When the warp or weft is a glass thread made of glass filament A or B, the number of filaments is the number of glass filaments A or B constituting the glass thread, and the warp or weft is glass filament A or In the case of a glass thread made of B, the number of filaments is the total number of glass filaments A and B constituting the glass thread.

特に、経糸及び/又は緯糸がガラスフィラメントAからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントAのフィラメント数は、好ましくは20~250本であり、より好ましくは50~200本であり、さらに好ましくは75~150本である。ガラスフィラメントAのフィラメント数が20本以上であることにより、ガラスフィラメントAの糸切れがより抑制され、ガラスクロスの毛羽量が低下し、毛羽立ち低減に由来する絶縁信頼性がより向上する傾向にある。また、ガラスフィラメントAのフィラメント数が250本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、毛羽を抑制しつつより細いガラス糸を実現できる傾向にある。 In particular, when the warp and / or weft is a glass yarn made of glass filament A, the number of filaments of the glass filament A is preferably 20 to 250, more preferably 50 to 200, still more preferable. Is 75 to 150. When the number of filaments of the glass filament A is 20 or more, the yarn breakage of the glass filament A is further suppressed, the amount of fluffing of the glass cloth is reduced, and the insulation reliability resulting from the reduction of fluffing tends to be further improved. .. Further, since the number of filaments of the glass filament A is 250 or less, there is a tendency that a finer glass yarn can be realized while suppressing fluffing in consideration of the filament diameter.

また、経糸又は緯糸がガラスフィラメントBからなるガラス糸である場合には、ガラスフィラメントBのフィラメント数は、好ましくは50~300本であり、より好ましくは100~275本であり、さらに好ましくは150~250本である。ガラスフィラメントBのフィラメント数が50本以上であることにより、得られる基板の加工性がより向上する傾向にある。ガラスフィラメントBのフィラメント数が300本以下であることにより、フィラメント径との兼ね合いにより、より細いガラス糸を実現できる傾向にある。 When the warp or weft is a glass yarn made of glass filament B, the number of filaments of the glass filament B is preferably 50 to 300, more preferably 100 to 275, and further preferably 150. ~ 250 pieces. When the number of filaments of the glass filament B is 50 or more, the processability of the obtained substrate tends to be further improved. When the number of filaments of the glass filament B is 300 or less, there is a tendency that a finer glass thread can be realized in consideration of the filament diameter.

〔Z方向のフィラメント本数〕
ガラスクロスの経糸及び緯糸のZ方向のフィラメント本数は、それぞれ、好ましくは8本以下であり、より好ましくは7本以下であり、さらに好ましくは6本以下である。8本以下であることにより、ドリル加工性を大きく改善することができる。特に、ガラスフィラメントAからなるガラス糸を用いた場合、8本以下の改善効果が大きい。また、8本以下にすることにより、ガラスクロスの面内で局所的に厚い箇所がなくなり、層間絶縁性の改善効果をより高めることができる。Z方向のフィラメント数は、任意の20個の糸束を電子顕微鏡により観察し、最大値から求めることができる。
[Number of filaments in the Z direction]
The number of filaments in the Z direction of the warp and weft of the glass cloth is preferably 8 or less, more preferably 7 or less, and further preferably 6 or less, respectively. When the number is 8 or less, the drill workability can be greatly improved. In particular, when a glass thread made of glass filament A is used, the improvement effect of 8 or less is great. Further, when the number is 8 or less, the thick portion is locally eliminated in the plane of the glass cloth, and the effect of improving the interlayer insulation can be further enhanced. The number of filaments in the Z direction can be obtained from the maximum value by observing any 20 yarn bundles with an electron microscope.

〔表面処理〕
ガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメントを含む)は、シランカップリング剤、好ましくは不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤(以下、単に「シランカップリング剤」ともいう。)により表面処理されたものであることが好ましい。不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いるにより、マトリックス樹脂との反応性がより向上し、また、マトリックス樹脂と反応した後に親水性官能基が生じ難く絶縁信頼性がより向上する。
〔surface treatment〕
The glass yarn (including the glass filament) of the glass cloth is surface-treated with a silane coupling agent, preferably a silane coupling agent having an unsaturated double bond group (hereinafter, also simply referred to as “silane coupling agent”). It is preferable that the glass is saturated. By using a silane coupling agent having an unsaturated double-bonding group, the reactivity with the matrix resin is further improved, and the hydrophilic functional group is less likely to be generated after the reaction with the matrix resin, and the insulation reliability is further improved.

シランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、下記の一般式(1)で示される化合物が挙げられる。このようなシランカップリング剤を用いることにより、耐吸湿性がより向上し、結果として絶縁信頼性がより向上する傾向にある。特に、不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることにより、SiO2組成量が98~100質量%であるガラスクロスのドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。
X(R)3-nSiYn ・・・(1)
(式中、Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを1つ以上有する有機官能基であり、Yは、各々独立して、アルコキシ基であり、nは1以上3以下の整数であり、Rは、各々独立して、メチル基、エチル基、及びフェニル基からなる群より選ばれる基である。)
The silane coupling agent is not particularly limited, and examples thereof include compounds represented by the following general formula (1). By using such a silane coupling agent, the hygroscopicity is further improved, and as a result, the insulation reliability tends to be further improved. In particular, by using a silane coupling agent having an unsaturated double bond group, the plating liquid penetration property, insulation reliability, and fluffing after drilling of a glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass are used. The quality can be improved.
X (R) 3-n SiY n ... (1)
(In the formula, X is an organic functional group having at least one of an amino group and an unsaturated double bond group, Y is an independently alkoxy group, and n is 1 or more and 3 or less. R is a group independently selected from the group consisting of a methyl group, an ethyl group, and a phenyl group.)

Xは、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを1つ以上有する有機官能基であり、3つ以上有する有機官能基であることがより好ましく、アミノ基及び不飽和二重結合基の少なくともいずれかを4つ以上有する有機官能基であることがさらに好ましい。Xがこのような官能基であることにより、耐吸湿性がより向上する傾向にある。Xで表される不飽和二重結合基を1つ以上有する有機官能基としては、特に限定されないが、例えば、ビニル基、アリル基、ビニリデン基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基が挙げられる。 X is an organic functional group having at least one of an amino group and an unsaturated double-bonding group, more preferably an organic functional group having three or more, and an amino group and an unsaturated double-bonding group. It is more preferable that the organic functional group has at least four or more of the above. When X is such a functional group, hygroscopicity tends to be further improved. The organic functional group having one or more unsaturated double bond groups represented by X is not particularly limited, and examples thereof include a vinyl group, an allyl group, a vinylidene group, an acryloxy group, and a methacryloxy group.

上記のアルコキシ基としては、何れの形態も使用できるが、ガラスクロスへの安定処理化のためには、炭素数5以下のアルコキシ基が好ましい。 Any form can be used as the above-mentioned alkoxy group, but an alkoxy group having 5 or less carbon atoms is preferable for stable treatment on the glass cloth.

具体的に使用できるシランカップリング剤としては、特に限定されないが、例えば、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、N-β-(N-ジ(ビニルベンジル)アミノエチル)-N-γ-(N-ビニルベンジル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン及びその塩酸塩、アミノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、メタクリロキシオクチルトリメトキシシラン、アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等の公知の物質が挙げられる。上記シランカップリング剤はガラスクロスのガラス糸(ガラスフィラメント)や、基板のマトリックス樹脂、特にラジカル重合系樹脂との反応性に優れる傾向にある。そのため、樹脂とガラスクロスが界面ではがれやすくなることに由来する絶縁信頼性の低下を抑制でき、また、メッキ液がガラスクロスに染み込むことに由来する絶縁信頼性の低下を抑制できる傾向にある。 The silane coupling agent that can be specifically used is not particularly limited, but for example, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N). -Vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropylmethyldimethoxysilane and its hydrochloride, N-β- (N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, N-β -(N-di (vinylbenzyl) aminoethyl) -N-γ- (N-vinylbenzyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane and its hydrochloride, aminopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, methacryloxypropyl Known substances such as trimethoxysilane, methacryloxyoctyltrimethoxysilane, and acryloxypropyltrimethoxysilane can be mentioned. The silane coupling agent tends to have excellent reactivity with the glass thread (glass filament) of the glass cloth and the matrix resin of the substrate, particularly the radical polymerization type resin. Therefore, there is a tendency that it is possible to suppress a decrease in insulation reliability due to the resin and the glass cloth being easily peeled off at the interface, and it is possible to suppress a decrease in insulation reliability due to the plating liquid permeating into the glass cloth.

シランカップリング剤の分子量は、好ましくは100~600であり、より好ましくは150~500であり、さらに好ましくは200~450である。このなかでも、分子量が異なる2種類以上の不飽和二重結合基を有するシランカップリング剤を用いることが好ましい。分子量が異なる2種類以上のシランカップリング剤を用いてガラス糸表面を処理することにより、ガラス表面での処理剤密度が高くなり、マトリックス樹脂との反応性がさらに向上する傾向にある。なお、ガラスクロスのシランカップリング剤による処理量は、以下の強熱減量値で見積もることができる。 The molecular weight of the silane coupling agent is preferably 100 to 600, more preferably 150 to 500, and even more preferably 200 to 450. Among these, it is preferable to use a silane coupling agent having two or more kinds of unsaturated double bond groups having different molecular weights. By treating the surface of the glass yarn with two or more kinds of silane coupling agents having different molecular weights, the density of the treatment agent on the glass surface tends to be high, and the reactivity with the matrix resin tends to be further improved. The amount of glass cloth treated with the silane coupling agent can be estimated by the following ignition loss value.

〔ガラスクロスの強熱減量値〕
ガラスクロスの強熱減量値は、好ましくは0.2質量%以上であり、より好ましくは0.25質量%以上であり、さらに好ましくは0.30質量%以上である。また、ガラスクロスの強熱減量値の上限は、好ましくは1.0質量%以下であり、より好ましくは0.90質量%以下であり、さらに好ましくは0.8質量%以下である。ガラスクロスの強熱減量値が0.2質量%以上であることにより、SiO2組成量が98~100質量%であるガラスクロスのドリル加工後のメッキ液染込み性、絶縁信頼性、及び毛羽立ち品質を改善することができる。さらに、耐吸湿性がより向上し、吸湿に由来する絶縁信頼性の低下をより抑制することができる。また、ガラスクロスの強熱減量値が1.0質量%以下であることにより、ガラスクロスへの樹脂浸透性がより向上し、その結果として絶縁信頼性がより向上する。
[Ignition weight loss value of glass cloth]
The ignition loss value of the glass cloth is preferably 0.2% by mass or more, more preferably 0.25% by mass or more, and further preferably 0.30% by mass or more. The upper limit of the ignition loss value of the glass cloth is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.90% by mass or less, and further preferably 0.8% by mass or less. When the ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more, the plating liquid penetration property, insulation reliability, and fluffing of the glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass after drilling are performed. The quality can be improved. Further, the hygroscopicity is further improved, and the deterioration of the insulation reliability due to the hygroscopicity can be further suppressed. Further, when the ignition loss value of the glass cloth is 1.0% by mass or less, the resin permeability to the glass cloth is further improved, and as a result, the insulation reliability is further improved.

ここで言うガラスクロスの「強熱減量値」とは、JISR3420に記載されている方法に従って測定することができる。すなわち、まずガラスクロスを110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥する。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。次に、ガラスクロスをマッフル炉で625℃、20分間加熱する。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラスクロスを0.1mg以下の単位で量る。以上の測定方法で求める強熱減量値により、ガラスクロスのシランカップリング剤による処理量を定義する。 The "ignition weight loss value" of the glass cloth referred to here can be measured according to the method described in JIS R3420. That is, first, the glass cloth is placed in a dryer at 110 ° C. and dried for 60 minutes. After drying, transfer the glass cloth to a desiccator, leave it for 20 minutes, and allow it to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass cloth in units of 0.1 mg or less. Next, the glass cloth is heated in a muffle furnace at 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, transfer the glass cloth to a desiccator, leave it for 20 minutes, and allow it to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass cloth in units of 0.1 mg or less. The amount of glass cloth treated with the silane coupling agent is defined by the ignition loss value obtained by the above measurement method.

〔ガラスクロスの誘電率〕
ガラスクロスの誘電率は、好ましくは4.3以下であり、より好ましくは4.1以下であり、さらに好ましくは3.9以下である。ガラスクロスの誘電率は実施例に記載の方法により測定することができる。
[Dielectric constant of glass cloth]
The dielectric constant of the glass cloth is preferably 4.3 or less, more preferably 4.1 or less, and further preferably 3.9 or less. The dielectric constant of the glass cloth can be measured by the method described in Examples.

〔ガラスクロスの製造方法〕
本実施形態のガラスクロスの製造方法は、ガラス糸に糊剤を2質量%以上10質量%以下付着させる糊付け工程と、前記糊付け工程により得られるガラス糸を、経糸と緯糸として用い、ガラスクロスを製織する製織工程と、前記製織工程により得られたガラスクロスに付着した前記糊剤を除去し、前記糊剤の付着量を0.1質量%以下とする脱糊工程と、を含む。
また、本実施形態のガラスクロスの製造方法では、前記脱糊工程の前に、前記糊付け工程を複数回行ってもよい。
[Manufacturing method of glass cloth]
In the method for producing a glass cloth of the present embodiment, a gluing step of adhering a glue to the glass thread by 2% by mass or more and 10% by mass or less, and the glass thread obtained by the gluing step are used as warp and weft to obtain a glass cloth. It includes a weaving step of weaving and a degluing step of removing the glue adhering to the glass cloth obtained by the weaving step so that the amount of the glue adhered is 0.1% by mass or less.
Further, in the method for producing a glass cloth of the present embodiment, the gluing step may be performed a plurality of times before the degluing step.

上記糊付け工程によって、糊剤の付着量が2質量%以上10質量%以下であるガラス糸を得ることができる。糊付け工程では、例えば、糊剤の水溶液をガラス糸に塗布することによって、ガラス糸に糊剤を付着させることができる。糊剤の水溶液をガラス糸に塗布する方法としては、例えば、糊剤の水溶液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法(以下、「浸漬法」という。)等が可能である。
また、糊剤の付着量を調整するために、例えば、糊剤の水溶液をガラス糸に塗布した後、スクイズロール等により、糊剤が塗布されたガラス糸を絞る工程を含んでいてもよい。
By the above gluing step, a glass yarn having an adhesive amount of 2% by mass or more and 10% by mass or less can be obtained. In the gluing step, for example, the adhesive can be attached to the glass thread by applying an aqueous solution of the adhesive to the glass thread. As a method of applying the aqueous solution of the adhesive to the glass thread, for example, a method of storing the aqueous solution of the adhesive in a bath and immersing and passing the glass cloth (hereinafter referred to as "immersion method") is possible.
Further, in order to adjust the adhesion amount of the adhesive, for example, a step of applying an aqueous solution of the adhesive to the glass thread and then squeezing the glass thread to which the adhesive is applied by a squeeze roll or the like may be included.

糊剤の水溶液における糊剤の濃度は、糊剤の付着量が2質量%以上10質量%以下であるガラス糸とすることができる濃度であれば特に制限されず、好ましくは2質量%以上8質量%以下であり、より好ましくは2質量%以上5質量%以下であり、さらに好ましくは2質量%以上4質量%以下である。 The concentration of the sizing agent in the aqueous solution of the sizing agent is not particularly limited as long as it can be a glass thread having an adhering amount of the sizing agent of 2% by mass or more and 10% by mass or less, and is preferably 2% by mass or more and 8 by mass. It is 1% by mass or less, more preferably 2% by mass or more and 5% by mass or less, and further preferably 2% by mass or more and 4% by mass or less.

脱糊工程は、例えば、製織工程により得られたガラスクロスを加熱することによって、上記ガラス糸に付着した糊剤を除去し、糊剤の付着量を0.1質量%以下とすることができる。脱糊工程における加熱温度は、使用する糊剤の種類等により適宜調整すればよく、好ましくは400℃前後である。 In the degluing step, for example, by heating the glass cloth obtained in the weaving step, the glue adhering to the glass yarn can be removed, and the amount of the glue adhering can be reduced to 0.1% by mass or less. .. The heating temperature in the degluing step may be appropriately adjusted depending on the type of glue used and the like, and is preferably around 400 ° C.

糊付け工程における糊剤の付着量の下限値は、製織時の安定性や毛羽数低減の観点から、2質量%以上とすることが好ましい。糊付け工程における糊剤の付着量の上限値は、ガラスクロスへの樹脂浸透性を向上させ、その結果絶縁信頼性を向上させる観点から、10質量%以下であることが好ましく、より好ましくは8質量%以下であり、さらに好ましくは5質量%以下であり、特に好ましくは4質量%以下である。 The lower limit of the amount of the adhesive adhered in the gluing step is preferably 2% by mass or more from the viewpoint of stability during weaving and reduction of the number of fluffs. The upper limit of the amount of the adhesive adhered in the gluing step is preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass, from the viewpoint of improving the resin permeability to the glass cloth and, as a result, improving the insulation reliability. % Or less, more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 4% by mass or less.

糊剤の付着量は、以下の強熱減量値から求めることができる。ここで言うガラス糸の「強熱減量値」とは、JISR3420に記載されている方法に従って測定することができる。すなわち、まずガラス糸を110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥する。乾燥後、ガラス糸をデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラス糸を0.1mg以下の単位で量る。次に、ガラス糸をマッフル炉で625℃、20分間加熱する。マッフル炉で加熱後、ガラス糸をデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラス糸を0.1mg以下の単位で量る。ガラス糸の糊剤の付着量は、糊剤が付着したガラス糸の質量に対する、糊剤の質量(乾燥後に測定したガラス糸の質量とマッフル炉で加熱後に測定したガラス糸の質量との差)の比率によって表される。
なお、本発明のガラスクロスの糊剤には、シランカップリング剤を実質的に含まない。ガラスクロスを製織後に、加熱や水洗等により糊剤をほぼ完全に除去するため、シランカップリング剤を含むと、ガラス表面に異物として残る可能性がある。
The amount of adhesive adhered can be obtained from the following ignition loss values. The "ignition weight loss value" of the glass yarn referred to here can be measured according to the method described in JIS R3420. That is, first, the glass yarn is placed in a dryer at 110 ° C. and dried for 60 minutes. After drying, the glass yarn is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass thread in units of 0.1 mg or less. Next, the glass yarn is heated in a muffle furnace at 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass yarn is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, weigh the glass thread in units of 0.1 mg or less. The amount of glue attached to the glass thread is the mass of the glue with respect to the mass of the glass thread to which the glue is attached (the difference between the mass of the glass thread measured after drying and the mass of the glass thread measured after heating in a muffle furnace). It is represented by the ratio of.
The glass cloth adhesive of the present invention does not substantially contain a silane coupling agent. After weaving the glass cloth, the adhesive is almost completely removed by heating, washing with water, etc. Therefore, if a silane coupling agent is contained, it may remain as a foreign substance on the glass surface.

糊剤としては、例えば、澱粉、ポリビニルアルコール、ポリエチレンオキサイド、ポリエステル、及びポリアミド等からなる群より選択される1種以上を含むことが好ましい。 The adhesive preferably contains, for example, one or more selected from the group consisting of starch, polyvinyl alcohol, polyethylene oxide, polyester, polyamide and the like.

また、本実施形態のガラスクロスの製造方法は、シランカップリング剤によりガラス糸表面を表面処理する場合には、濃度0.1~3.0質量%の処理液によってほぼ完全にガラスフィラメントの表面をシランカップリング剤で覆う被覆工程と、加熱乾燥によりシランカップリング剤をガラスフィラメントの表面に固着させる固着工程と、ガラスフィラメントの表面に固着したシランカップリング剤の少なくとも一部を高圧スプレー水等により洗浄することにより、強熱減量値が0.2~1.0質量%になるように、シランカップリング剤の付着量を調整する調製工程と、を有する方法が挙げられる。 Further, in the method for producing glass cloth of the present embodiment, when the surface of the glass thread is surface-treated with a silane coupling agent, the surface of the glass filament is almost completely treated with a treatment liquid having a concentration of 0.1 to 3.0% by mass. A coating step of covering the glass with a silane coupling agent, a fixing step of fixing the silane coupling agent to the surface of the glass filament by heating and drying, and a high-pressure spray water or the like for at least a part of the silane coupling agent fixed to the surface of the glass filament. Examples thereof include a method having a preparation step of adjusting the adhesion amount of the silane coupling agent so that the strong heat loss value becomes 0.2 to 1.0% by mass by washing with.

シランカップリング剤を溶解又は分散させる溶媒としては、水、又は有機溶媒の何れも使用できるが、安全性、地球環境保護の観点から、水を主溶媒とすることが好ましい。水を主溶媒とした処理液を得る方法としては、シランカップリング剤を直接水に投入する方法、シランカップリング剤を水溶性有機溶媒に溶解させて有機溶媒溶液とした後に該有機溶媒溶液を水に投入する方法、の何れかの方法が好ましい。シランカップリング剤の処理液中での水分散性、安定性を向上させるために、界面活性剤を併用することも可能である。 As the solvent for dissolving or dispersing the silane coupling agent, either water or an organic solvent can be used, but from the viewpoint of safety and protection of the global environment, it is preferable to use water as the main solvent. As a method of obtaining a treatment liquid using water as a main solvent, a method of directly adding a silane coupling agent to water, a method of dissolving the silane coupling agent in a water-soluble organic solvent to prepare an organic solvent solution, and then using the organic solvent solution. Any method of putting it in water is preferable. It is also possible to use a surfactant in combination in order to improve the water dispersibility and stability of the silane coupling agent in the treatment liquid.

被覆工程、固着工程、及び調製工程は、製織工程後に、ガラスクロスに対して行うことが好ましい。さらに、必要に応じて、製織工程後に、ガラスクロスのガラス糸を開繊する開繊工程を有してもよい。なお、調製工程を製織工程後に行う場合には、調製工程が開繊工程を兼ねるものであってもよい。なお、開繊前後ではガラスクロスの組成は通常変化しない。 The coating step, the fixing step, and the preparation step are preferably performed on the glass cloth after the weaving step. Further, if necessary, a fiber opening step of opening the glass yarn of the glass cloth may be provided after the weaving process. When the preparation step is performed after the weaving step, the preparation step may also serve as the fiber opening step. The composition of the glass cloth usually does not change before and after opening the fiber.

上記製造方法により、ガラス糸を構成するガラスフィラメント1本1本の表面全体に、ほぼ完全、かつ均一にシランカップリング剤層を形成することができると考えられる。 It is considered that the silane coupling agent layer can be formed almost completely and uniformly on the entire surface of each glass filament constituting the glass yarn by the above manufacturing method.

処理液をガラスクロスに塗布する方法としては、(ア)処理液をバスに溜め、ガラスクロスを浸漬、通過させる方法(以下、「浸漬法」という。)、(イ)ロールコーター、ダイコーター、またはグラビアコーター等で処理液をガラスクロスに直接塗布する方法、等が可能である。上記(ア)の浸漬法にて塗布する場合は、ガラスクロスの処理液への浸漬時間を0.5秒以上、1分以下に選定することが好ましい。 As a method of applying the treatment liquid to the glass cloth, (a) a method of collecting the treatment liquid in a bath and immersing and passing the glass cloth (hereinafter referred to as "immersion method"), (b) a roll coater, a die coater, and the like. Alternatively, a method of directly applying the treatment liquid to the glass cloth with a gravure coater or the like is possible. When applying by the dipping method of (a) above, it is preferable to select the immersion time of the glass cloth in the treatment liquid to be 0.5 seconds or more and 1 minute or less.

また、ガラスクロスに処理液を塗布した後、溶媒を加熱乾燥させる方法としては、熱風、電磁波等公知の方法が挙げられる。 Further, as a method of applying the treatment liquid to the glass cloth and then heating and drying the solvent, known methods such as hot air and electromagnetic waves can be mentioned.

加熱乾燥温度は、シランカップリング剤とガラスとの反応が十分に行われるように、90℃以上が好ましく、100℃以上であればより好ましい。また、シランカップリング剤が有する有機官能基の劣化を防ぐために、300℃以下が好ましく、200℃以下であればより好ましい。 The heating and drying temperature is preferably 90 ° C. or higher, and more preferably 100 ° C. or higher so that the reaction between the silane coupling agent and the glass can be sufficiently performed. Further, in order to prevent deterioration of the organic functional group of the silane coupling agent, the temperature is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 200 ° C. or lower.

また、開繊工程の開繊方法としては、特に限定されないが、例えば、ガラスクロスを、スプレー水(高圧水開繊)、バイブロウォッシャー、超音波水、マングル等で開繊加工する方法が挙げられる。開繊加工において、SiO2組成量が98~100質量%であるガラスクロスの場合、毛羽立ちが発生し易い。これに対して、本実施形態のガラスクロスの強熱減量値は、0.2質量%以上であることにより、毛羽立ちを抑えることができる。また、開繊加工によるガラスクロスの引張強度の低下を抑えるため、ガラス糸を製織する際の接触部材の低摩擦化や、集束剤の最適化と高付着量化、等の対策を施すことが好ましい。開繊加工時に、ガラスクロスにかける張力を下げることにより、通気度をより小さくすることができる傾向にある。 The method for opening the fiber in the fiber opening step is not particularly limited, and examples thereof include a method for opening the glass cloth with spray water (high pressure water opening), vibro washer, ultrasonic water, mangle, and the like. .. In the fiber opening process, in the case of glass cloth having a SiO 2 composition amount of 98 to 100% by mass, fluffing is likely to occur. On the other hand, when the ignition loss value of the glass cloth of the present embodiment is 0.2% by mass or more, fluffing can be suppressed. Further, in order to suppress the decrease in the tensile strength of the glass cloth due to the fiber opening process, it is preferable to take measures such as reducing the friction of the contact member when weaving the glass yarn, optimizing the sizing agent and increasing the adhesion amount. .. By lowering the tension applied to the glass cloth during the fiber opening process, the air permeability tends to be smaller.

開繊工程後においても、任意の工程を有していてもよい。任意の工程としては、特に限定されないが、例えば、スリット加工工程が挙げられる。 It may have an arbitrary step even after the fiber opening step. The arbitrary process is not particularly limited, and examples thereof include a slitting process.

ガラスクロスが表面処理された後、マトリックス樹脂が塗布されて、プリプレグが製造される。ガラスクロスが表面処理されて、マトリックス樹脂が塗布されるまでの間の保管期間は2年間以内であることが好ましい。また、保管温度は10~40℃とすることが好ましい。保管温度が30℃以下であることにより、ガラスクロス表面のシランカップリング剤の不飽和二重結合基の失活を抑制することができ、マトリックス樹脂との反応性を維持できる傾向にある。また、保管期間が2年間以内であることにより、ガラス表面に付着した水によりシランカップリング剤同士が反応し、ガラスフィラメント束の集束性が高まることを抑制できる傾向にある。これにより、マトリックス樹脂の浸透性を向上できる傾向にある。 After the glass cloth is surface-treated, a matrix resin is applied to produce a prepreg. The storage period from the surface treatment of the glass cloth to the application of the matrix resin is preferably within 2 years. The storage temperature is preferably 10 to 40 ° C. When the storage temperature is 30 ° C. or lower, the deactivation of the unsaturated double bond group of the silane coupling agent on the surface of the glass cloth can be suppressed, and the reactivity with the matrix resin tends to be maintained. Further, when the storage period is within 2 years, it tends to be possible to suppress the reaction between the silane coupling agents due to the water adhering to the glass surface and the increase in the cohesiveness of the glass filament bundle. This tends to improve the permeability of the matrix resin.

〔プリプレグ〕
本実施形態のプリプレグは、上記ガラスクロスと、該ガラスクロスに含侵されたマトリックス樹脂と、を有する。これにより、薄くて、誘電率が低く、上記各理由に関連する絶縁信頼性の向上と耐吸湿性の向上による絶縁信頼性の向上が図られたプリプレグを提供することができる。
[Prepreg]
The prepreg of the present embodiment has the above glass cloth and a matrix resin impregnated in the glass cloth. This makes it possible to provide a prepreg that is thin, has a low dielectric constant, and has improved insulation reliability by improving insulation reliability and moisture absorption resistance related to each of the above reasons.

マトリックス樹脂としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂の何れも使用可能である。熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、a)エポキシ基を有する化合物と、エポキシ基と反応するアミノ基、フェノール基、酸無水物基、ヒドラジド基、イソシアネート基、シアネート基、及び水酸基等の少なくとも1つを有する化合物と、を、無触媒で、又は、イミダゾール化合物、3級アミン化合物、尿素化合物、燐化合物等の反応触媒能を持つ触媒を添加して、反応させて硬化させるエポキシ樹脂;b)アリル基、メタクリル基、及びアクリル基の少なくとも1つを有する化合物を、熱分解型触媒、または光分解型触媒を反応開始剤として使用して、硬化させるラジカル重合型硬化樹脂;c)シアネート基を有する化合物と、マレイミド基を有する化合物と、を反応させて硬化させるマレイミドトリアジン樹脂;d)マレイミド化合物と、アミン化合物と、を反応させて硬化させる熱硬化性ポリイミド樹脂;e)ベンゾオキサジン環を有する化合物を加熱重合により架橋硬化させるベンゾオキサジン樹脂等が例示される。 As the matrix resin, either a thermosetting resin or a thermoplastic resin can be used. The thermosetting resin is not particularly limited, but for example, a) a compound having an epoxy group and an amino group, a phenol group, an acid anhydride group, a hydrazide group, an isocyanate group, a cyanate group, and a hydroxyl group that react with the epoxy group. An epoxy that is cured by reacting with a compound having at least one of the above, without a catalyst, or by adding a catalyst having a reaction catalytic ability such as an imidazole compound, a tertiary amine compound, a urea compound, and a phosphorus compound. Resin; b) A radical polymerization type curing resin in which a compound having at least one of an allyl group, a methacrylic group, and an acrylic group is cured by using a thermal decomposition type catalyst or a photodegradable type catalyst as a reaction initiator; c. ) Maleimide triazine resin in which a compound having a cyanate group and a compound having a maleimide group are reacted and cured; d) A thermosetting polyimide resin in which a maleimide compound and an amine compound are reacted and cured; e) Benzo Examples thereof include a benzoxazine resin in which a compound having an oxazine ring is cross-linked and cured by heat polymerization.

また、熱可塑性樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリフェニレンエーテル、変性ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンサルファイド、ポリスルホン、ポリエーテルスルフォン、ポリアリレート、芳香族ポリアミド、ポリエーテルエーテルケトン、熱可塑性ポリイミド、不溶性ポリイミド、ポリアミドイミド、フッ素樹脂等が例示される。また、熱硬化性樹脂と、熱可塑性樹脂を併用してもよい。 The thermoplastic resin is not particularly limited, but for example, polyphenylene ether, modified polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyether sulfone, polyarylate, aromatic polyamide, polyether ether ketone, thermoplastic polyimide, insoluble polyimide, etc. Examples thereof include polyamide-imide and fluororesin. Further, the thermosetting resin and the thermoplastic resin may be used in combination.

〔プリント配線板〕
本実施形態のプリント配線板は、上記プリプレグを有する。これにより、誘電率が低く、絶縁信頼性の向上が図られたプリント配線板を提供することができる。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of this embodiment has the above-mentioned prepreg. This makes it possible to provide a printed wiring board having a low dielectric constant and improved insulation reliability.

次に、本発明を実施例、比較例によって本発明をさらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例によって何ら限定されるものではない。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

(実施例1)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が2.2質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Example 1)
An aqueous sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 2.2% by mass, SiO 2 A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が2.1質量%である、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を製造した。 Similarly, a warp (of the glass filament) composed of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 53% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 23% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 2.1% by mass. An average filament diameter of 6 μm, a number of filaments of 200, and a driving density of 61 / inch) were manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(実施例2)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が3.0質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Example 2)
An aqueous solution of a sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 3.0% by mass. A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が3.0質量%である、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を製造した。 Similarly, a warp (of the glass filament) composed of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 53% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 23% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 3.0% by mass. An average filament diameter of 6 μm, a number of filaments of 200, and a driving density of 61 / inch) were manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(実施例3)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が3.5質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Example 3)
An aqueous solution of a sizing agent containing 5 % by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method to perform a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread, and the amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 3.5% by mass. A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が3.5質量%である、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を製造した。 Similarly, a warp (of the glass filament) made of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 53% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 23% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 3.5% by mass. An average filament diameter of 6 μm, a number of filaments of 200, and a driving density of 61 / inch) were manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(実施例4)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が2.6質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Example 4)
An aqueous solution of a sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method to perform a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread, and the amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 2.6 % by mass. A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が2.6質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。 Similarly, a warp yarn made of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 99.9% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 2.6% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100). A book, a driving density of 54 pieces / inch) was manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量69g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.24質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 69 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.24% by mass.

(実施例5)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が3.7質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Example 5)
An aqueous solution of a sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 3.7% by mass. A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が3.6質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。 Similarly, a warp yarn made of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 99.9% by mass (the average filament diameter of the glass filament is 9 μm, the number of filaments is 100), in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 3.6% by mass. A book, a driving density of 54 pieces / inch) was manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量69g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.24質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 69 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.24% by mass.

(比較例1)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が1.9質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Comparative Example 1)
An aqueous sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 1.9% by mass, SiO 2 A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が1.9質量%である、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を製造した。 Similarly, a warp (of the glass filament) composed of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 53% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 23% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 1.9% by mass. An average filament diameter of 6 μm, a number of filaments of 200, and a driving density of 61 / inch) were manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(比較例2)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が1.9質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Comparative Example 2)
An aqueous sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 1.9% by mass, SiO 2 A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程後おける糊剤の付着量が2.5質量%である、SiO2組成量53質量%、B23組成量23質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径6μm、フィラメント数200本、打ち込み密度61本/inch)を製造した。 Similarly, a warp (glass filament) made of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 53% by mass and a B 2 O 3 composition amount of 23% by mass, in which the amount of the glue adhered after the gluing step is 2.5% by mass. The average filament diameter of 6 μm, the number of filaments was 200, and the driving density was 61 / inch).

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、布重量70g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.32質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, cloth weight 70 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.32% by mass.

(比較例3)
ポリビニルアルコールを濃度5質量%含む糊剤水溶液を浸漬法によって塗布し、ガラス糸に糊剤を付着する糊付け工程を行い、糊付け工程における糊剤の付着量が2.5質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる緯糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。
(Comparative Example 3)
An aqueous solution of a sizing agent containing 5% by mass of polyvinyl alcohol is applied by a dipping method, and a gluing step of adhering the sizing agent to the glass thread is performed. The amount of the sizing agent adhered in the sizing step is 2.5 % by mass. A weft made of a glass filament having a composition amount of 99.9% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100, driving density 54 / inch) was produced.

また、同様にして、糊付け工程における糊剤の付着量が1.5質量%である、SiO2組成量99.9質量%のガラスフィラメントからなる経糸(ガラスフィラメントの平均フィラメント径9μm、フィラメント数100本、打ち込み密度54本/inch)を製造した。 Similarly, a warp yarn made of a glass filament having a SiO 2 composition amount of 99.9% by mass, in which the amount of the glue adhered in the gluing step is 1.5% by mass (average filament diameter of glass filament 9 μm, number of filaments 100). A book, a driving density of 54 pieces / inch) was manufactured.

上記のようにして得られた経糸及び緯糸を用いて、ガラスクロス(厚さ78μm、質量69g/m2)を製織した。製織されたガラスクロスに対し、400℃の加熱によって糊剤を除去する脱糊工程を行った。得られたガラスクロスを、N-β-(N-ビニルベンジルアミノエチル)-γ-アミノプロピルトリメトキシシランの塩酸塩(東レダウコーニング株式会社製;Z6032)、を水に分散させた処理液に浸漬し、加熱乾燥した。次にスプレーで高圧水開繊を実施し、加熱乾燥して製品を得た。ガラスクロスの強熱減量値は0.24質量%であった。 Using the warp and weft obtained as described above, a glass cloth (thickness 78 μm, mass 69 g / m 2 ) was woven. The woven glass cloth was subjected to a degluing step of removing the adhesive by heating at 400 ° C. The obtained glass cloth was added to a treatment solution in which N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (manufactured by Toray Dow Corning Co., Ltd .; Z6032) was dispersed in water. Soaked and heated to dry. Next, high-pressure water defibration was carried out by spraying, and the product was obtained by heating and drying. The ignition loss value of the glass cloth was 0.24% by mass.

<ガラスクロスの強熱減量値の評価方法>
JIS R 3420に記載されている方法に従って強熱減量値を測定した。具体的には、ガラスクロスを105℃±5℃の乾燥機の中に入れ、少なくとも30分間乾燥した。乾燥後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。次に、ガラスクロスをマッフル炉で、約625℃で20分間加熱した。マッフル炉で加熱後、ガラスクロスをデシケータに移し、室温まで放冷した。放冷後、ガラスクロスの重さを0.1mg以下の単位で測定した。マッフル炉の加熱前後の重量変化を測定して、処理剤付着量として強熱減量値を計算した。
<Evaluation method of ignition loss value of glass cloth>
The ignition loss value was measured according to the method described in JIS R 3420. Specifically, the glass cloth was placed in a dryer at 105 ° C. ± 5 ° C. and dried for at least 30 minutes. After drying, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. The glass cloth was then heated in a muffle furnace at about 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass cloth was transferred to a desiccator and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the weight of the glass cloth was measured in units of 0.1 mg or less. The weight change before and after heating of the muffle furnace was measured, and the ignition loss value was calculated as the amount of the treatment agent adhered.

<糊剤の付着量の評価方法>
JISR3420に記載されている方法に従って糊剤の付着量を測定した。具体的には、糊剤が付着したガラス糸を110℃の乾燥機の中に入れ、60分間乾燥した。乾燥後、ガラス糸をデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷した。放冷後、ガラス糸を0.1mg以下の単位で測定した。次に、ガラス糸をマッフル炉で625℃、20分間加熱した。マッフル炉で加熱後、ガラス糸をデシケータに移し、20分間置き、室温まで放冷する。放冷後、ガラス糸を0.1mg以下の単位で測定した。以上の測定方法で求める強熱減量値から、ガラス糸の糊剤の付着量(糊剤が付着したガラス糸の質量に対する、糊剤の質量(乾燥後に測定したガラス糸の質量とマッフル炉で加熱後に測定したガラス糸の質量との差)の比率)を求めた。
<Evaluation method of adhesive amount>
The amount of adhesive adhered was measured according to the method described in JIS R3420. Specifically, the glass thread to which the adhesive was attached was placed in a dryer at 110 ° C. and dried for 60 minutes. After drying, the glass yarn was transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the glass yarn was measured in units of 0.1 mg or less. Next, the glass yarn was heated in a muffle furnace at 625 ° C. for 20 minutes. After heating in a muffle furnace, the glass yarn is transferred to a desiccator, left for 20 minutes, and allowed to cool to room temperature. After allowing to cool, the glass yarn was measured in units of 0.1 mg or less. From the ignition loss value obtained by the above measurement method, the amount of glue adhered to the glass thread (the mass of the glue relative to the mass of the glass thread to which the glue adhered (the mass of the glass thread measured after drying and heating in a muffle furnace). The ratio) of the difference from the mass of the glass thread measured later) was determined.

<ガラスクロスの厚さの評価方法>
JIS R 3420の7.10に準じて、マイクロメータを用いて、スピンドルを静かに回転させて測定面に平行に軽く接触させた。ラチェットが3回音をたてた後の目盛を読み取った。
<Evaluation method of glass cloth thickness>
According to JIS R 3420 7.10, the spindle was gently rotated using a micrometer to bring it into light contact parallel to the measurement surface. I read the scale after the ratchet made three sounds.

<ガラスクロスの毛羽評価(耐屈曲性評価)>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスを、Roll-to-Rollの検査台にて、張力100N/1000mmをかけて、ハロゲンランプを照射しながら、目視にて1m2あたりの1mm以上の突起箇所の数を求めた。
<Evaluation of fluff of glass cloth (evaluation of bending resistance)>
The glass cloths obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples were visually applied with a tension of 100 N / 1000 mm on a Roll-to-Roll inspection table and irradiated with a halogen lamp to 1 mm or more per 1 m 2 . The number of protrusions was calculated.

<基板の作製方法>
上述の実施例及び比較例で得たガラスクロスに、ポリフェニレンエーテル樹脂ワニス(変性ポリフェニレンエーテル樹脂30質量部、トリアリルイソシアヌレート10質量部、トルエン60質量部、触媒0.1質量部の混合物)を含浸させ、120℃で2分間乾燥後プリプレグを得た。このプリプレグを重ね、さらに上下に厚さ12μmの銅箔を重ね、200℃、40kg/cm2で60分間加熱加圧して基板を得た。
<How to make a substrate>
A polyphenylene ether resin varnish (a mixture of 30 parts by mass of a modified polyphenylene ether resin, 10 parts by mass of triallyl isocyanurate, 60 parts by mass of toluene, and 0.1 part by mass of a catalyst) was added to the glass cloths obtained in the above Examples and Comparative Examples. It was impregnated and dried at 120 ° C. for 2 minutes to obtain a prepreg. This prepreg was layered, and copper foil having a thickness of 12 μm was layered on top and bottom, and heated and pressed at 200 ° C. and 40 kg / cm 2 for 60 minutes to obtain a substrate.

<基板及びガラスクロスの誘電率の評価方法>
上記のようにしてプリプレグ100質量%あたりの樹脂含量が60質量%となるように基板を作製し、銅箔を除去して誘電率評価のための試料を得た。得られた試料の周波数1GHzにおける誘電率を、インピーダンスアナライザー(Agilent Technologies社製)を用いて測定した。得られた基板誘電率から、ガラスクロスの体積分率、及び樹脂誘電率2.5をもとに、ガラスクロスの誘電率を算出した。
<Evaluation method of dielectric constant of substrate and glass cloth>
As described above, a substrate was prepared so that the resin content per 100% by mass of the prepreg was 60% by mass, and the copper foil was removed to obtain a sample for dielectric constant evaluation. The dielectric constant of the obtained sample at a frequency of 1 GHz was measured using an impedance analyzer (manufactured by Agilent Technologies). From the obtained substrate dielectric constant, the dielectric constant of the glass cloth was calculated based on the volume fraction of the glass cloth and the resin dielectric constant of 2.5.

<基板の絶縁信頼性の評価方法>
上記のようにして厚さ0.4mmとなるように基板を作製し、基板の両面の銅箔上に、0.15mm間隔のスルーホールを配する配線パターンを作製して絶縁信頼性評価の試料を得た。得られた試料に対して温度120℃湿度85%RHの雰囲気下で10Vの電圧をかけ、抵抗値の変化を測定した。この際、試験開始後500時間以内に抵抗が1MΩ未満になった場合を絶縁不良としてカウントした。10枚の試料について同様の測定を行い、10枚中絶縁不良とならなかったサンプルの割合を算出した。
<Evaluation method of insulation reliability of substrate>
As described above, a substrate is prepared so as to have a thickness of 0.4 mm, and a wiring pattern in which through holes are arranged at intervals of 0.15 mm is prepared on copper foils on both sides of the substrate to prepare a sample for insulation reliability evaluation. Got A voltage of 10 V was applied to the obtained sample in an atmosphere of a temperature of 120 ° C. and a humidity of 85% RH, and the change in resistance value was measured. At this time, when the resistance became less than 1 MΩ within 500 hours after the start of the test, it was counted as an insulation defect. The same measurement was performed on 10 samples, and the ratio of the samples that did not have insulation failure in 10 samples was calculated.

<基板の層間絶縁信頼性の評価方法>
上記のようにして厚さ0.1mmとなるように基板を作製し、基板両面の銅箔を塩化鉄水溶液で部分的にエッチングし、基板両面に10mmΦの銅箔部を残して、層間絶縁信頼性評価の試料を得た。得られた試料に対して温度120℃湿度85%RHの雰囲気下で10Vの電圧をかけ、抵抗値の変化を測定した。この際、試験開始後500時間以内に抵抗が1MΩ未満になった場合を絶縁不良としてカウントした。10枚の試料について同様の測定を行い、10枚中絶縁不良とならなかったサンプルの割合を算出した。
<Evaluation method of interlayer insulation reliability of substrate>
As described above, a substrate is prepared so as to have a thickness of 0.1 mm, the copper foils on both sides of the substrate are partially etched with an aqueous iron chloride solution, and the copper foil portions of 10 mmΦ are left on both sides of the substrate. A sample for sex evaluation was obtained. A voltage of 10 V was applied to the obtained sample in an atmosphere of a temperature of 120 ° C. and a humidity of 85% RH, and the change in resistance value was measured. At this time, when the resistance became less than 1 MΩ within 500 hours after the start of the test, it was counted as an insulation defect. The same measurement was performed on 10 samples, and the ratio of the samples that did not have insulation failure in 10 samples was calculated.

実施例と比較例で示したガラスクロスの評価結果を表1にまとめた。 The evaluation results of the glass cloth shown in Examples and Comparative Examples are summarized in Table 1.

Figure 0007011396000001
Figure 0007011396000001

実施例のガラスクロスを用いて得られた基板は、低誘電率で、絶縁信頼性に非常に優れていることが分かった。 It was found that the substrate obtained by using the glass cloth of the example had a low dielectric constant and was extremely excellent in insulation reliability.

本発明のガラスクロスは、電子・電気分野で使用されるプリント配線板に用いられる基材として産業上の利用可能性を有する。 The glass cloth of the present invention has industrial applicability as a base material used for a printed wiring board used in the electronic and electrical fields.

Claims (10)

複数本のガラスフィラメントからなるガラス糸を経糸及び緯糸として製織してなるガラスクロスであって、
前記経糸及び前記緯糸を構成する前記ガラスフィラメントの平均フィラメント径が、3μm~10μmであり、
前記経糸及び前記緯糸のガラスフィラメント数が、20~300本であり、
前記経糸及び前記緯糸の打ち込み密度が、各々独立して20~140本/inchであり、
前記ガラスクロスの厚さが、8μm~100μmであり、
Roll-to-Rollにより張力100N/1000mmをかけた場合に観察される長さ1mm以上の毛羽の数が、10個/m2以下であり、
前記経糸及び前記緯糸の一方のSiO2組成量が、98質量%以上、100質量%以下である、
ガラスクロス。
A glass cloth made by weaving glass threads composed of a plurality of glass filaments as warps and wefts.
The average filament diameter of the warp and the glass filament constituting the weft is 3 μm to 10 μm.
The number of glass filaments of the warp and weft is 20 to 300, and the number of glass filaments is 20 to 300.
The driving densities of the warp and the weft are independently 20 to 140 threads / inch, respectively.
The thickness of the glass cloth is 8 μm to 100 μm.
The number of fluffs having a length of 1 mm or more observed when a tension of 100 N / 1000 mm is applied by Roll-to-Roll is 10 pieces / m 2 or less.
The SiO 2 composition amount of one of the warp and weft is 98% by mass or more and 100% by mass or less.
Glass cloth.
前記経糸及び前記緯糸におけるZ方向に並ぶガラスフィラメントが、各々独立して8本以下である、請求項1に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1, wherein the number of glass filaments arranged in the Z direction in the warp and the weft is 8 or less independently. 前記ガラスクロスの強熱減量値が、0.2質量%以上、1.0質量%以下である、請求項1又は2に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to claim 1 or 2, wherein the ignition loss value of the glass cloth is 0.2% by mass or more and 1.0% by mass or less. 前記経糸及び前記緯糸の一方のSiO2組成量が、98質量%以上、99.99質量%以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to any one of claims 1 to 3, wherein the SiO 2 composition amount of one of the warp and weft is 98% by mass or more and 99.99% by mass or less. 前記ガラスクロスの誘電率が、4.3以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to any one of claims 1 to 4, wherein the glass cloth has a dielectric constant of 4.3 or less. 前記ガラス糸の表面が、シランカップリング剤で処理された、請求項1~5のいずれか1項に記載のガラスクロス。 The glass cloth according to any one of claims 1 to 5, wherein the surface of the glass thread is treated with a silane coupling agent. ガラス糸にポリビニルアルコールを含む糊剤を2質量%以上10質量%以下付着させる糊付け工程と、
前記糊付け工程により得られるガラス糸を、経糸と緯糸として用い、ガラスクロスを製織する製織工程と、
前記製織工程により得られたガラスクロスに付着した前記糊剤を除去し、前記糊剤の付着量を0.1質量%以下とする脱糊工程と、
を含み、
前記経糸及び前記緯糸の一方のSiO 2 組成量が、98質量%以上100質量%以下である、
ガラスクロスの製造方法。
A gluing step of adhering a glue containing polyvinyl alcohol to glass yarn in an amount of 2% by mass or more and 10% by mass or less.
A weaving step of weaving a glass cloth using the glass yarn obtained by the gluing step as a warp and a weft,
A degluing step of removing the adhesive adhering to the glass cloth obtained by the weaving step and reducing the amount of the adhesive adhering to 0.1% by mass or less.
Including
The SiO 2 composition amount of one of the warp and weft is 98% by mass or more and 100% by mass or less.
How to make glass cloth.
前記脱糊工程の前に、前記糊付け工程を複数回行う、請求項7に記載のガラスクロスの製造方法。 The method for producing a glass cloth according to claim 7, wherein the gluing step is performed a plurality of times before the degluing step. 請求項1~6のいずれか1項に記載のガラスクロスと、
該ガラスクロスに含浸されたマトリックス樹脂と、を含む、
プリプレグ。
The glass cloth according to any one of claims 1 to 6 and the glass cloth.
A matrix resin impregnated in the glass cloth, and the like.
Pre-preg.
請求項に記載のプリプレグを有する、プリント配線板。 A printed wiring board having the prepreg according to claim 9 .
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