JP7077854B2 - 回転アクチュエータ及びロボット - Google Patents

Description

本発明は、モータと、停止しているモータの回転を規制する回転規制機構と、を備えてロボットなどの産業用機械に搭載可能な回転アクチュエータに関する。

従来の産業用ロボットとして、支持部材としてのベースと、関節部を介してベースに連結される第１アームと、関節部を介して第１アームの先端側に連結される第２アームと、関節部を介して第２アームの先端側に連結される手首部と、を備えるものがある。また、この種の産業用ロボットでは、関節部は、ロータ及びステータを有するモータと、モータに連結される減速機と、ロータの停止状態を維持するための安全ブレーキと、を備えて関節部自体が回転アクチュエータとして構成されている。

そして、このような産業用ロボットに搭載される回転アクチュエータとして、モータと、停止しているモータの回転を規制する回転規制機構と、を備えるものが知られる（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１の回転アクチュエータでは、回転規制機構は、モータのロータに固定される円盤状の回転側規制部材と、回転側規制部材と係合してその回転移動を規制するピン状の規制部材と、規制部材をロータの軸方向へ移動させる駆動機構と、を備えている。また、この回転側規制部材の周縁には、ロータの径方向外側へ突出する複数の突起部が設けられる。そして、規制部材の先端には、周方向で隣り合う突起部間に入り込んで回転側規制部材の回転移動を規制する円環状の規制部が設けられる。

特開２０１７－１８９０８１号公報

特許文献１の回転アクチュエータは、突起部と規制部とが係合（衝突）することでロータを停止させる構造である。このため、例えば、モータの回転中に、突起部の間に規制部が入り込んだ場合には、ロータが停止するまで規制部にそのまま回転力が伝わり衝撃力として過度に負担がかかる。それにより、回転側規制部材又は規制部材が破損又は変形したりしてガタなどが経時的に発生して、その性能が十分に発揮できない可能性があり、耐久性の点で改善の余地があった。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、ロータの回転を規制するための回転規制機構の耐久性を向上させることができる回転アクチュエータとこれを備えるロボットを提供することを目的としている。

（１）
ロータ及びステータを有するモータと、
前記ロータの回転軸に固定された回転部材と、
前記回転部材に対し前記回転軸の方向の一方側に配置された、前記ロータの回転軸に非固定の緩衝部材と、
停止している前記ロータの回転を規制するための回転規制機構と、を備え、
前記回転規制機構は、前記緩衝部材に対し前記一方側に配置された、前記ロータの回転軸に非固定の円環状の回転側規制部材と、前記回転側規制部材の外周面に周方向に沿って形成された複数の突起部の間に挿入されて前記周方向における前記回転側規制部材の移動を規制する規制部材と、前記規制部材を前記回転軸の方向に移動させるための駆動機構と、を有し、
前記緩衝部材は、前記回転部材と前記回転側規制部材の各々に当接し、
前記回転側規制部材に対し前記一方側に配置された、前記緩衝部材と前記回転側規制部材を前記回転部材に向けて付勢する付勢部材と、を備える回転アクチュエータ。

（１）の回転アクチュエータでは、ロータの回転軸に回転部材が固定され、この回転部材と回転側規制部材との間に緩衝部材が介挿された状態で、回転側規制部材と緩衝部材とがロータの回転軸に対し非固定に設けられるとともに回転部材に向けて付勢部材により付勢される。
そのため、通常動作時のロータの回転時、付勢部材の付勢力と緩衝部材の摩擦係数に従って、回転側規制部材と緩衝部材とはロータの回転軸と一体的に回転する。その一方、ロータの回転中に規制部材が回転側規制部材の隣り合う突起部間に入り込んだ場合には、回転側規制部材と緩衝部材とは規制部材により急停止する。しかし、このとき付勢部材の付勢力と緩衝部材の摩擦係数で決定される最大摩擦力が少なくとも回転部材に付加される。これにより、回転部材は回転側規制部材及び緩衝部材の両方を回転させようとしながらもその回転エネルギーが緩衝部材の摩擦力により消費され、結果的に回転部材は緩衝部材を介して緩やかに減速する。

このように、ロータの回転中に規制部材が回転側規制部材の隣り合う突起部間に入り込む際、回転部材と回転側規制部材との間に介挿される緩衝部材の摩擦力により、回転側規制部材が回転部材から受ける力（回転エネルギー）の一部を逃がして規制部材との衝撃力を緩和することができる。従って、回転側規制部材又は規制部材の破損や変形などの発生を抑制して、回転規制機構の耐久性を向上させることができる。

なお、緩衝部材は、その表面で摩擦力を発生できるものであれば特に限定されず、例えばゴム材や樹脂材などが例示される。また、付勢部材は、付勢力を発生するものであれば特に限定されず、例えば付勢力として弾性力を発生可能なバネやゴムなどが例示される。

（２）
（１）記載の回転アクチュエータであって、
前記緩衝部材は、環状の部材であり、
前記回転軸の周囲に前記回転側規制部材と前記緩衝部材が形成されている回転アクチュエータ。

（２）のように構成すると、回転部材に対し回転側規制部材と緩衝部材とを精度良く位置決めして、緩衝部材を回転部材の全周に亘って均等に当接させることができ。このため、摩擦力を均等に発生させて、回転部材を安定的に減速させることができる。

（３）
（２）記載の回転アクチュエータであって、
前記回転側規制部材に対して前記一方側に配置された筒状の保持部材を備え、
前記保持部材の前記回転側規制部材と対向する面には、前記回転軸を取り囲む環状の凹部が形成されており、
前記凹部に前記付勢部材が保持されている回転アクチュエータ。

（３）のように構成すると、環状の凹部がロータの回転軸と同軸に全周に亘って形成され、この環状の凹部に付勢部材が収納される。このため、緩衝部材と回転側規制部材を回転部材に向けて付勢する際、全周に亘って均等に付勢力を発生させることができる。これにより、摩擦力をより均等に発生させることができる。

（４）
（３）記載の回転アクチュエータであって、
前記回転軸の周囲に形成された前記回転軸に非固定の軸受を更に備え、
前記保持部材は、前記回転軸に非固定であり、且つ前記軸受によって支持されている回転アクチュエータ。

（４）のように構成すると、保持部材、付勢部材、回転側規制部材及び緩衝部材は、ロータの回転軸と非固定に回転自在に保持されるので、ロータの回転軸に対し異なる回転速度で回転可能であり、より緩やかに減速させることができる。

（５）
（１）から（４）のいずれか１つに記載の回転アクチュエータであって、
前記緩衝部材は、前記回転側規制部材に固定されている回転アクチュエータ。

（５）のように構成すると、緩衝部材の位置決めを回転側規制部材とともに行うことができるので、組立を簡素化できる。

（６）
（１）から（４）のいずれか１つに記載の回転アクチュエータであって、
前記回転軸の回転数を検出するためのエンコーダを備え、
前記回転軸の方向における前記回転部材の前記付勢部材側と反対側の面には、前記エンコーダの磁石が固定されている回転アクチュエータ。

（６）のように構成すると、剛性が低い磁石でも回転部材に取り付けて支持させることができる。また、回転部材を磁性体とすることでエンコーダの磁石の磁束漏れなどを抑制することができる。

（７）
（１）から（６）のいずれか１つに記載の回転アクチュエータを備えるロボット。

本発明によれば、ロータの回転中に、回転側規制部材の隣り合う突起部間に規制部材が入り込んだ場合に、回転部材と回転側規制部材との間に介挿される緩衝部材の摩擦力により、回転側規制部材が回転部材から受ける力の一部を逃がして、規制部材との衝撃力を緩和することができる。従って、回転側規制部材又は規制部材の破損や変形などの発生を抑制して、回転規制機構の耐久性を向上させることができる。

本発明の実施の形態に係る産業用ロボットの正面図である。 （Ａ）は図１に示す産業用ロボットの斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す産業用ロボットが動作している様子を示す斜視図である。 図１に示す関節部の縦断面図である。 図３に示すＧ部の構成を説明するための拡大図であり、（Ａ）は規制ピンが規制解除位置にある状態を示す拡大図であり、（Ｂ）は規制ピンが規制位置になる状態を示す拡大図である。 図３に示すセンサマグネット、回転部材、ブレーキラバー、座金及び保持部材の分解斜視図である。

以下、図面を参照しながら、本発明に係る実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの概略構成）
まず図１及び図２を参照して、本発明の実施の形態に係る産業用ロボットの構成についてその概略を説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る産業用ロボットの正面図である。図２（Ａ）は図１に示す産業用ロボットの斜視図であり、図２（Ｂ）は図２（Ａ）に示す産業用ロボットが動作している様子を示す斜視図である。

図１及び図２に示すように、本形態の産業用ロボット（以下「ロボット」ともいう）１は、所定の製品の組立や製造などに用いられる多関節ロボットであり、組立ラインや製造ラインに設置されて使用される。ロボット１は、複数の関節部２と、複数のアーム３と、を備えている。本形態では、ロボット１は、６個の関節部２と、２本のアーム３と、を備えている。
なお、以下の説明では、６個の関節部２のそれぞれを区別して表す場合、６個の関節部２のそれぞれを「第１関節部２Ａ」、「第２関節部２Ｂ」、「第３関節部２Ｃ」、「第４関節部２Ｄ」、「第５関節部２Ｅ」及び「第６関節部２Ｆ」とする。また、以下の説明では、２本のアーム３のそれぞれを区別して表す場合、２本のアーム３のそれぞれを「第１アーム３Ａ」及び「第２アーム３Ｂ」とする。

また、ロボット１は、第１関節部２Ａに相対回動可能に連結される支持部材４をさらに備えている。支持部材４は、フランジ部４ａを有して鍔付きの円筒状に形成されている。支持部材４の内周側には、支持部材４の軸方向に貫通する貫通孔（図示省略）が形成されている。フランジ部４ａは、円環状に形成されており、ロボット１のベースとして底面部分を構成している。また、アーム３は、細長い円筒状に形成されている。

ロボット１では、第１関節部２Ａと第２関節部２Ｂとが相対回動可能に連結され、第２関節部２Ｂと第１アーム３Ａの基端とが固定されている。また、第１アーム３Ａの先端と第３関節部２Ｃとが固定され、第３関節部２Ｃと第４関節部２Ｄとが相対回動可能に連結される。さらに、第４関節部２Ｄと第２アーム３Ｂの基端とが相対回動可能に連結され、第２アーム３Ｂの先端と第５関節部２Ｅとが固定され、第５関節部２Ｅと第６関節部２Ｆとが相対回動可能に連結されている。また、第６関節部２Ｆには、ハンドや工具などが相対回動可能に取付可能となっている。

以下、関節部２の具体的な構成を説明する。なお、図１に示すように、本形態では、第１関節部２Ａと第２関節部２Ｂと第３関節部２Ｃとが同じ大きさで形成され、第４関節部２Ｄと第５関節部２Ｅと第６関節部２Ｆとが同じ大きさで形成されている。また、第１関節部２Ａ、第２関節部２Ｂ及び第３関節部２Ｃの大きさは、第４関節部２Ｄ、第５関節部２Ｅ及び第６関節部２Ｆの大きさよりも大きく設けられている。ただし、第１関節部２Ａ、第２関節部２Ｂ及び第３関節部２Ｃと、第４関節部２Ｄ、第５関節部２Ｅ及び第６関節部２Ｆとは、大きさが相違する点を除けば同様に構成されている。

（関節部の構成）
次に、図３～図５を参照して、関節部２の構成について具体的に説明する。図３は、図１に示す関節部２の縦断面図である。図４は、図３に示すＧ部の構成を説明するための拡大図であり、図４（Ａ）は規制ピン（規制部材）３２が規制解除位置にある状態を示す拡大図であり、図４（Ｂ）は規制ピン３２が規制位置になる状態を示す拡大図である。図５は、図３に示すセンサマグネット（磁石）７２、回転部材７０、ブレーキラバー（緩衝部材）７１、座金（波座金７３，平座金７４）及び保持部材７５の分解斜視図である。
なお、以下の説明では、説明の便宜上、図３のＺ１方向側を「上」側とし、その反対側であるＺ２方向側を「下」側とする。また、図３のＸ１方向側を「左」側として、その反対側であるＸ２の方向側を「右」側とする。

図３に示すように、関節部２は、モータ１０と、モータ１０に連結される減速機２０と、モータ１０の回転位置を検出するための位置検出機構６０と、磁石としてのセンサマグネット７２を含み、モータ１０の回転軸１２の回転数を検出するためのエンコーダ（不図示）と、モータ１０、位置検出機構６０及びエンコーダが電気的に接続される回路基板（不図示）と、モータ１０と減速機２０と位置検出機構６０と回路基板とを収納するケース体８０と、を含んで構成されており、関節部２自体が回転アクチュエータとして構成されている。

モータ１０は、径方向の中心に貫通孔が形成された中空モータであり、中空状の回転軸１２を備えている。また、モータ１０は、ロータ１１とステータ１４と、を備えている。また、減速機２０は、径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。モータ１０と減速機２０とは上下方向で重なって配置されている。具体的には、モータ１０が上側に配置され、減速機２０が下側に配置されている。また、モータ１０と減速機２０とは同軸上に配置されている。

本形態の減速機２０は、中空波動歯車装置であり、剛性内歯歯車２１と、可撓性外歯歯車２２と、波動発生部２３と、クロスローラベアリング２６と、を備えている。波動発生部２３は、モータ１０の回転軸１２に連結される中空状の入力軸２４と、入力軸２４の外周側に取り付けられるウエーブベアリング２５と、を備えている。本形態では、剛性内歯歯車２１が減速機２０の出力軸となっている。

また、関節部２は、停止しているロータ１１の回転を規制する回転規制機構３０と、モータ１０の回転軸１２及び減速機２０の入力軸２４の内周側に挿通される筒状の管状部材１７と、剛性内歯歯車２１に固定される出力側部材１８と、をさらに備えている。

モータ１０は、前述したように、ロータ１１とステータ１４とを備えている。ロータ１１は、回転軸１２と、回転軸１２に固定される駆動用磁石１３と、を備えている。回転軸１２は、上下方向に細長い略円筒状に形成されており、回転軸１２の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。すなわち、上下方向は、回転軸１２の軸方向であるとともにロータ１１の軸方向である。そして、駆動用磁石１３は、円筒状に形成されている。駆動用磁石１３の長さ（上下方向の長さ）は、回転軸１２よりも短く設定されており、駆動用磁石１３は回転軸１２の下端側部分の外周面に固定されている。

ステータ１４は、全体として略円筒状に形成されており、駆動用磁石１３の外周面を覆うように駆動用磁石１３の外周側（径方向外側）に配置されている。回転軸１２の上端側部分は、ステータ１４の上端面よりも上側に突出している。このステータ１４は、駆動用コイル（不図示）と、インシュレータを介して駆動用コイルが巻回される複数の突極を有するステータコア（不図示）と、を備えている。ステータコアの突極は、内周側に向かって突出するように形成されており、突極の先端面は、駆動用磁石１３の外周面に対向している。モータ１０は、ケース体８０に固定されている。具体的には、ステータ１４の外周面がケース体８０に固定されている。

図３～図５に示すように、ロータ１１の回転軸１２の上端面には、平板状かつ略円環状の回転部材７０が取り付けられている。回転部材７０は、回転部材７０の厚さ方向と上下方向とが一致するように回転軸１２の上端面にボルト固定されており、位置検出機構６０よりも上側に離間して配置されている。

この回転部材７０の回転軸１２の方向（上下方向）の一方側である回転部材７０の下側には、緩衝部材としてブレーキラバー７１が配置されている。ブレーキラバー７１は環状のゴム部材であり、ロータ１１の回転軸１２の周囲に形成されている。また、ブレーキラバー７１は、ロータ１１の回転軸１２に非固定の状態で、回転部材７０の下端面及び後述する回転側規制部材３１の上端面に当接して支持されている。

エンコーダのセンサマグネット７２は、平板状かつ略円環状に形成されている。センサマグネット７２は、ロータ１１の回転軸１２の上端面に、回転部材７０を介してボルト固定される。すなわち、センサマグネット７２は、回転部材７０の上端面（回転軸１２の方向における、後述する付勢部材としての波座金７３と反対側の面）に当接して配置されている。
なお、本形態では、緩衝部材としてゴム製のブレーキラバー７１を採用したが、これに限定されない。摩擦力が発生できるものであれば、種々のものを採用することができ、例えばレジンや合成樹脂製の部材なども用いることができる。

図３に示すように、減速機２０は、前述したように、剛性内歯歯車２１と、可撓性外歯歯車２２と、波動発生部２３と、クロスローラベアリング２６と、を備えている。剛性内歯歯車２１は、扁平な略円筒状に形成されており、剛性内歯歯車２１の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。すなわち、上下方向は、減速機２０の出力軸である剛性内歯歯車２１の軸方向となっている。そして、剛性内歯歯車２１は、クロスローラベアリング２６の内輪２６ａに固定されている。クロスローラベアリング２６の外輪２６ｂは、ケース体８０の下端側部分に固定されており、剛性内歯歯車２１は、クロスローラベアリング２６を介してケース体８０の下端側部分に回転可能に保持されている。

可撓性外歯歯車２２は、上端にフランジ部２２ａを有して鍔付きの略筒状に形成されている。フランジ部２２ａは、略円環状に形成されており、フランジ部２２ａの外周側部分は、ケース体８０に固定されている。すなわち、減速機２０は、ケース体８０に固定されている。また、剛性内歯歯車２１は、減速機２０の下端側部分を構成している。可撓性外歯歯車２２のフランジ部２２ａは、減速機２０の上端側部分を構成している。剛性内歯歯車２１の内周面には、内歯が形成されている。可撓性外歯歯車２２の下端側の外周面には、剛性内歯歯車２１の内歯と噛み合う外歯が形成されている。

波動発生部２３は、前述したように、入力軸２４とウエーブベアリング２５とを備えている。入力軸２４は、全体として上下方向に細長い筒状に形成されており、入力軸２４の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。また、入力軸２４の、下端側部分以外の部分は、細長い略円筒状に形成されている。入力軸２４の下端側部分は、入力軸２４の軸方向から見たときの内周面の形状が円形状に形成されており、入力軸２４の軸方向から見たときの外周面の形状が楕円形状となる楕円部２４ａとなっている。

波動発生部２３の入力軸２４の上端側部分は、モータ１０の回転軸１２の下端側部分の内周側に挿入されて固定されている。具体的には、入力軸２４の上端側部分は、回転軸１２の、駆動用磁石１３が固定された部分の内周側に挿入されて固定されている。回転軸１２と入力軸２４とは同軸上に配置されている。また、入力軸２４の上端側部分は、接着により回転軸１２に固定されている。

上下方向における入力軸２４の中心部分は、ベアリング１６に回転可能に支持されている。ベアリング１６は、ボールベアリングである。このベアリング１６は軸受保持部材１５に取り付けられ、軸受保持部材１５はケース体８０に固定されている。すなわち、入力軸２４は、軸受保持部材１５を介してケース体８０に取り付けられるベアリング１６に回転可能に支持されている。軸受保持部材１５は、円環状かつ平板状に形成されており、可撓性外歯歯車２２のフランジ部２２ａと上下方向で重なるようにケース体８０に固定されている。

ウエーブベアリング２５は、可撓性の内輪（不図示）及び外輪（不図示）を備えたボールベアリングである。このウエーブベアリング２５は、楕円部２４ａの外周面に沿って配置されており、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車２２の、外歯が形成される下端側部分は、ウエーブベアリング２５を囲むようにウエーブベアリング２５の外周側に配置されており、この部分は、楕円状に撓んでいる。可撓性外歯歯車２２の外歯は、楕円状に撓む可撓性外歯歯車２２の下端側部分の長軸方向の２か所で、剛性内歯歯車２１の内歯と噛み合っている。

出力側部材１８は、フランジ部１８ａと筒部１８ｂとを有して鍔付きの略円筒状に形成されている。この出力側部材１８は、出力側部材１８の軸方向と上下方向とが一致するように配置されており、出力側部材１８の内周側には、上下方向に貫通する貫通孔１８ｃが形成されている。フランジ部１８ａは、平板状かつ円環状に形成されており、筒部１８ｂの下端に繋がっている。フランジ部１８ａは、フランジ部１８ａの上面が剛性内歯歯車２１の下面に接触するように剛性内歯歯車２１に固定されている。また、フランジ部１８ａは、ケース体８０の下端よりも下側に配置されており、ケース体８０の外側に配置されている。

筒部１８ｂの上端側には、筒部１８ｂの下端側部分よりも外径の小さい小径部１８ｄが形成されており、筒部１８ｂの上端側部分の外周側には、上下方向に直交する円環状の段差面１８ｅが形成されている。小径部１８ｄは、管状部材１７の下端側部分の内周側に挿入されており、管状部材１７の下端面は、段差面１８ｅに対向している。また、貫通孔１８ｃは、管状部材１７の内周側に通じている。筒部１８ｂの上端側部分は、減速機２０の入力軸２４の下端側部分の内周側に配置されている。筒部１８ｂの外周面と入力軸２４の下端側部分の内周面との間には、ベアリング１９が配置されている。ベアリング１９は、ボールベアリングである。

管状部材１７は、上下方向に細長い円筒状に形成されており、管状部材１７の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。前述のように、管状部材１７は、回転軸１２及び入力軸２４の内周側に挿通されている。管状部材１７の上端面は、回転軸１２の上端面よりも上側に配置され、管状部材１７の下端面は、入力軸２４の下端面よりも上側に配置されている。また、前述したように、管状部材１７の下端側部分の内周側に出力側部材１８の小径部１８ｄが挿入されるとともに管状部材１７の下端面が段差面１８ｅに対向しており、管状部材１７の下端側は、出力側部材１８に保持されている。

管状部材１７の上端側は、保持部材５０に保持されている。保持部材５０は、支柱５１に固定され、支柱５１は、ケース体８０に固定されている。すなわち、保持部材５０は、支柱５１を介してケース体８０に固定されている。保持部材５０は、管状部材１７の上端側を保持する円筒状の保持部５０ａを備えている。保持部５０ａは、保持部５０ａの軸方向と上下方向とが一致するように配置されており、保持部５０ａの内周側には、上下方向に貫通する貫通孔５０ｂが形成されている。

保持部５０ａの下端側には、保持部５０ａの上端側よりも内径の大きい大径部５０ｃが形成されており、保持部５０ａの下端側部分の内周側には、上下方向に直交する円環状の段差面５０ｄが形成されている。管状部材１７の上端側は大径部５０ｃの内周側に挿入されており、管状部材１７の上端面は段差面５０ｄに対向している。また、貫通孔５０ｂは、管状部材１７の内周側に通じている。

位置検出機構６０は、モータ１０のステータ１４の上側に配置されている。この位置検出機構６０は、回転軸１２の上端側に固定されるスリット板６１と、センサ６２と、を備えている。センサ６２は、互いに対向するように配置される発光素子と受光素子とを備える透過型の光学式センサである。センサ６２は、エンコーダホルダとしての固定部材３５に固定されている。

固定部材３５は、ケース体８０に固定されている。すなわち、センサ６２は、固定部材３５を介してケース体８０に固定されている。位置検出機構６０のスリット板６１は、薄い平板状に形成されるとともに円環状に形成されている。スリット板６１には、スリット板６１の周方向に一定の間隔で複数のスリット孔（不図示）が形成されている。スリット板６１は、スリット板６１の周方向の一部分がセンサ６２の発光素子と受光素子との間に配置されるようにモータ１０の回転軸１２に固定されている。

ケース体８０は、上下の両端が開口するケース本体８１と、ケース本体８１の上端側の開口を塞ぐカバー８２と、を備えている。ケース本体８１の下端側の開口は、減速機２０により塞がれている。ケース本体８１の側面には、上下方向に直交する方向で開口する開口部８１ａが形成されている。すなわち、ケース体８０には、上下方向に直交する方向で開口する開口部８１ａが形成されている。開口部８１ａは、ケース本体８１の側面部分を貫通するように形成されている。

また、カバー８２の上面部分には、後述する駆動機構４０を構成する、ピン４２が配置される貫通孔８２ａが形成されている。すなわち、ケース体８０には、貫通孔８２ａが形成されている。貫通孔８２ａは、上下方向でカバー８２の上面部分を貫通するように形成されており、貫通孔８２ａを介してケース体８０の内部と外部とが連通している。また、貫通孔８２ａは、略丸孔状に形成されている。

図３及び図４に示すように、回転規制機構３０は、停止しているロータ１１をその停止位置で保持するために設けられており、ケース体８０に収容されている。この回転規制機構３０は、平板状かつ略円環状の回転側規制部材３１と、回転側規制部材３１と係合してロータ１１の周方向における回転側規制部材３１の移動を規制する規制部材としての規制ピン３２と、規制ピン３２を上下方向へ案内するリニアブッシュ３３と、規制ピン３２を上側へ付勢する付勢部材としての圧縮コイルバネ３４と、規制ピン３２をロータ１１の軸方向に沿って上下方向へ移動させる駆動機構４０と、を有して構成される。

図３に示すように、駆動機構４０は、プランジャ４１ａを介して規制ピン３２を下側へ移動させるソレノイド４１と、ソレノイド４１のプランジャ４１ａの上端部に取り付けられるピン４２と、を有している。ソレノイド４１は、ソレノイド４１が通電状態となったときにソレノイド４１のプランジャ４１ａが下側へ突出するようにケース体８０に固定されている。プランジャ４１ａの上端部は、ソレノイド４１の本体部４１ｂよりも上側に突出している。本体部４１ｂから上側へ突出しているプランジャ４１ａの上端部には、ピン４２が固定されている。ピン４２は、円柱状の軸部４２ａと、軸部４２ａの一端から径方向の外側へ広がる円環状のフランジ部４２ｂと、を有して鍔付きの円柱状に形成されている。

ピン４２は、ピン４２の軸方向と上下方向とが一致するように、かつ、フランジ部４２ｂが下側に配置されるようにプランジャ４１ａの上端部に固定されている。また、ピン４２は、プランジャ４１ａと同軸上に配置されている。ピン４２の軸部４２ａは、ケース体８０の貫通孔８２ａの中に配置されている。軸部４２ａの外径は、貫通孔８２ａの内径よりもわずかに小さく設定される。なお、ピン４２のフランジ部４２ｂの下面には、プランジャ４１ａの上端部が挿入されて固定されるための凹部が形成されている。

回転側規制部材３１は、回転側規制部材３１の厚さ方向と上下方向とが一致するようにロータ１１の回転軸１２の周囲に形成されている。回転側規制部材３１は、位置検出機構６０の上側でかつブレーキラバー７１の下側となる位置に、ブレーキラバー７１に接着固定された状態で設けられている。すなわち、ブレーキラバー７１は、回転側規制部材３１の上端面に固定して配置されている。

回転側規制部材３１は、後述する保持部材７５のフランジ部７５ａの上端面上に、ロータ１１の回転軸１２に対し非固定の状態で配置されている。このような構成により、回転側規制部材３１は、保持部材７５及びブレーキラバー７１の端面によってロータ１１の回転軸１２に対し回転自在に挟持されている。

図５に示すように、回転側規制部材３１の外周面には、径方向の外側へ突出する複数の突起部３１ａが周方向に沿って一定の間隔で形成されている。本形態では、１２個の突起部３１ａが、回転側規制部材３１の中心に対して３０°ピッチで形成されている。また、突起部３１ａは、上下方向から見たときの形状が略等脚台形状となるように形成されている。
なお、回転側規制部材３１に形成される突起部３１ａの数は特に限定されておらず、１１個以下であってもよいし、１３個以上であってもよい。

規制ピン３２は、上端にフランジ部３２ａを有して鍔付きの円柱状に形成されており、規制ピン３２の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。規制ピン３２のフランジ部３２ａは、円環状に形成されており、上下方向から見たときのフランジ部３２ａの外形は、円形状となっている。規制ピン３２は、規制ピン３２の上側に配置されるプランジャ４１ａに固定されている。具体的には、規制ピン３２は、プランジャ４１ａの下端部に固定されている。規制ピン３２の下端面には、図４に示すように、上側に向かって窪む凹部３２ｂが形成されており、凹部３２ｂの中には、圧縮コイルバネ３４の上端側部分が配置されている。

規制ピン３２は、上下方向から見たときに、回転側規制部材３１の外周側に配置されている。具体的には、図４（Ｂ）、図５に示すように、例えば上下方向から見たときに、回転側規制部材３１の複数の突起部３１ａの先端面を結ぶ仮想円よりも、フランジ部３２ａの一部が、回転側規制部材３１の径方向の内側に位置するように、規制ピン３２が配置されている。

リニアブッシュ３３は、上端にフランジ部３３ａを有して鍔付きの円筒状に形成されており、リニアブッシュ３３の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。リニアブッシュ３３の、フランジ部３３ａよりも下側の部分は、固定部材３５の上面に形成される凹部３５ａ（図４参照）の中に配置されている。凹部３５ａの底面には、圧縮コイルバネ３４の下端側部分が配置される窪み３５ｂが下側に向かって窪むように形成されている。リニアブッシュ３３の内周側には、規制ピン３２の、フランジ部３２ａよりも下側の部分が配置されている。

金属製の波座金７３は、回転側規制部材３１の下側に、回転側規制部材３１の下端面に当接した状態で配置されている。波座金７３は、回転側規制部材３１とブレーキラバー７１を回転部材７０に向けて付勢する付勢部材である。波座金７３は、金属製の円環状の平座金７４を介して、保持部材７５に保持されている。
なお、本形態では、付勢部材として金属製の波座金７３を採用したが、これに限定されない。付勢力を発生可能なものであれば種々の部品（例えば圧縮コイルバネ等）を用いることができる。

保持部材７５は、保持部材７５の上端部にフランジ部７５ａを有して上下方向に延びる鍔付きの円筒状に形成されており、保持部材７５の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。保持部材７５は、ロータ１１の回転軸１２の外周側に所定の隙間を在して挿通され、回転側規制部材３１に対して下側に配置される。また、保持部材７５のフランジ部７５ａにおいてフランジ部７５ａの回転側規制部材３１と対向する面、すなわちフランジ部７５ａの上端面には、ロータ１１の回転軸１２を取り囲む環状の凹部７５ｂが形成されている。この凹部７５ｂに、波座金７３及び平座金７４が収納されている。また、図３に示すように、保持部材７５のフランジ部７５ａよりも下側部分は、ベアリング（軸受）７６に回転可能に支持されている。

ベアリング７６はボールベアリングであり、固定部材３５を介して、ケース体８０に固定されている。また、ベアリング７６は、ロータ１１の回転軸１２の周囲に形成されており、ロータ１１の回転軸１２に非固定の状態にて設置されている。すなわち、保持部材７５は、ロータ１１の回転軸１２に対し非固定の状態で、ベアリング７６を介して回転自在にケース体８０に支持されている。

本形態では、駆動機構４０のソレノイド４１は、モータ１０の停止時に非通電状態となっており、モータ１０の駆動時に通電状態となる。図４（Ｂ）に示すように、ソレノイド４１が通電状態でないとき、回転規制機構３０の圧縮コイルバネ３４の付勢力により、回転側規制部材３１の突起部３１ａの間に規制ピン３２のフランジ部３２ａが配置されるように、規制ピン３２が上昇している。そのため、回転側規制部材３１の突起部３１ａと規制ピン３２のフランジ部３２ａとの係合により、停止しているロータ１１の回転が規制される。

一方、ソレノイド４１が通電状態となると、図４（Ａ）に示すように、プランジャ４１ａが下側へ突出して、回転側規制部材３１の突起部３１ａの間から規制ピン３２のフランジ部３２ａが外れるまで、規制ピン３２が下降する。そのため、ロータ１１が回転可能となる。

このように、駆動機構４０は、回転側規制部材３１の突起部３１ａの間に規制ピン３２のフランジ部３２ａが配置される規制位置（図４（Ｂ）に示す位置）と、回転側規制部材３１の突起部３１ａの間から規制ピン３２のフランジ部３２ａが外れる規制解除位置（図４（Ａ）に示す位置）との間で規制ピン３２を移動させる。また、固定部材３５に収納された回転規制機構３０の圧縮コイルバネ３４は、規制位置に向かって規制ピン３２を付勢する。ソレノイド４１は、規制位置にある規制ピン３２を規制解除位置に向かって移動させる。

本形態の規制ピン３２のフランジ部３２ａは、回転側規制部材３１の突起部３１ａの間に入り込んでロータ１１の周方向における回転側規制部材３１の移動を規制する規制部となっている。なお、規制ピン３２が規制解除位置にあるときには、回転側規制部材３１の外周側に配置される駆動機構４０のプランジャ４１ａは、回転側規制部材３１の突起部３１ａに接触しない位置に配置されている。

上述した不図示の回路基板は、ガラスエポキシ基板などのリジッド基板であり、平板状に形成されている。この回路基板Ｂは、回路基板Ｂの厚さ方向と上下方向とが一致するようにケース体８０に固定されている。また、回路基板Ｂは、ケース体８０の上端側に固定されており、回転側規制部材３１よりも上側に配置されている。管状部材１７の上端は、回路基板Ｂの上面よりも上側に配置されている。

この回路基板には、モータ１０を駆動するためのモータ駆動回路や、回路基板Ｂに入力される信号を回路基板Ｂの外部へ出力するための信号伝達回路が実装されている。また、回路基板Ｂには、少なくとも２個のコネクタが実装されている。２個のコネクタのうちの一方のコネクタに接続される配線は、管状部材１７の内周側を通過するように引き回された後、出力側部材１８の貫通孔１８ｃから引き出されている。他方のコネクタに接続される配線は、ケース体８０の開口部８１ａから引き出されている。

（関節部、アームの連結構造）
再度図２を参照して、本形態に係るロボット１の関節部２及びアーム３の連結構造について説明する。
上述したように、支持部材４と第１関節部２Ａとが相対回動可能に連結され、第１関節部２Ａと第２関節部２Ｂとが相対回動可能に連結されている。また、第２関節部２Ｂと第１アーム３Ａの基端とが固定され、第１アーム３Ａの先端と第３関節部２Ｃとが固定され、第３関節部２Ｃと第４関節部２Ｄとが相対回動可能に連結されている。また、第４関節部２Ｄと第２アーム３Ｂの基端とが相対回動可能に連結され、第２アーム３Ｂの先端と第５関節部２Ｅとが固定され、第５関節部２Ｅと第６関節部２Ｆとが相対回動可能に連結されている。具体的には、たとえば、図２（Ｂ）に示す動作をロボット１が行うことが可能となるように、以下のように、各関節部２及びアーム３が連結されている。

なお、以下の説明では、第１関節部２Ａの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第１関節部２Ａの軸方向」とし、第２関節部２Ｂの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第２関節部２Ｂの軸方向」とする。また、第３関節部２Ｃの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第３関節部２Ｃの軸方向」とし、第４関節部２Ｄの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第４関節部２Ｄの軸方向」とする。また、第５関節部２Ｅの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第５関節部２Ｅの軸方向」とし、第６関節部２Ｆの剛性内歯歯車２１の軸方向を「第６関節部２Ｆの軸方向」とする。

まず、支持部材４と第１関節部２Ａとは、第１関節部２Ａのフランジ部１８ａに、支持部材４の、フランジ部４ａが形成されていない側の端面が固定されることで連結されている。すなわち、第１関節部２Ａの軸方向と支持部材４の軸方向とが一致するように支持部材４と第１関節部２Ａとが連結されている。第１関節部２Ａと第２関節部２Ｂとは、第１関節部２Ａの軸方向と第２関節部２Ｂの軸方向とが直交するように連結されている。また、第２関節部２Ｂのフランジ部１８ａに、第１関節部２Ａのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面が固定されている。

第２関節部２Ｂと第１アーム３Ａとは、第２関節部２Ｂの軸方向と第１アーム３Ａの長手方向（軸方向）とが直交するように連結されている。また、第２関節部２Ｂのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面に第１アーム３Ａの基端が固定されている。第１アーム３Ａと第３関節部２Ｃとは、第１アーム３Ａの長手方向と第３関節部２Ｃの軸方向とが直交するように連結されている。また、第３関節部２Ｃのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面に第１アーム３Ａの先端が固定されている。

第３関節部２Ｃと第４関節部２Ｄとは、第３関節部２Ｃの軸方向と第４関節部２Ｄの軸方向とが直交するように連結されている。また、第３関節部２Ｃのフランジ部１８ａに、第４関節部２Ｄのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面が固定されている。より具体的には、第４関節部２Ｄのケース本体８１の開口部８１ａが形成された側面に固定される連結部材５を介して、第３関節部２Ｃのフランジ部１８ａに、第４関節部２Ｄのケース本体８１の開口部８１ａが形成された側面が固定されている。連結部材５は、第３関節部２Ｃのフランジ部１８ａに固定されるフランジ部５ａを備えて鍔付きの円筒状に形成されている。

第４関節部２Ｄと第２アーム３Ｂとは、第４関節部２Ｄの軸方向と第２アーム３Ｂの長手方向とが一致するように連結されている。また、第４関節部２Ｄのフランジ部１８ａに第２アーム３Ｂの基端が固定されている。
なお、第２アーム３Ｂの基端には、第４関節部２Ｄのフランジ部１８ａに第２アーム３Ｂの基端を固定するためのフランジ部３ａが形成されており、第４関節部２Ｄのフランジ部１８ａとフランジ部３ａとが互いに固定されている。

第２アーム３Ｂと第５関節部２Ｅとは、第２アーム３Ｂの長手方向と第５関節部２Ｅの軸方向とが直交するように連結されている。また、第５関節部２Ｅのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面に第２アーム３Ｂの先端が固定されている。第５関節部２Ｅと第６関節部２Ｆとは、第５関節部２Ｅの軸方向と第６関節部２Ｆの軸方向とが直交するように連結されている。また、第５関節部２Ｅのフランジ部１８ａに、第６関節部２Ｆのケース本体８１の、開口部８１ａが形成された側面が固定されている。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、関節部（回転アクチュエータ）２は、ロータ１１及びステータ１４を有するモータ１０と、ロータ１１の回転軸１２に固定された回転部材７０と、回転部材７０に対し下側（回転軸１２の方向の一方側）に配置された、ロータ１１の回転軸１２に非固定のブレーキラバー（緩衝部材）７１と、停止しているロータ１１の回転を規制するための回転規制機構３０と、を備える。回転規制機構３０は、ブレーキラバー７１に対し下側（一方側）に配置された、ロータ１１の回転軸１２に非固定の円環状の回転側規制部材３１と、回転側規制部材３１の外周面に周方向に沿って形成された複数の突起部３１ａの間に挿入されて周方向における回転側規制部材３１の移動を規制する規制ピン（規制部材）３２と、規制ピン３２を回転軸１２の方向に移動させるための駆動機構４０と、を有する。ブレーキラバー７１は、回転部材７０と回転側規制部材３１の各々に当接する。回転側規制部材３１とブレーキラバー７１は、波座金７３により回転部材７０に向けて付勢される。

すなわち、本形態の関節部２では、ロータ１１の回転軸１２に回転部材７０を固定し、この回転部材７０と回転側規制部材３１との間にブレーキラバー７１を介挿した状態で、回転側規制部材３１とブレーキラバー７１とをロータ１１の回転軸１２に対し非固定に設けるとともに回転部材７０に向けて波座金７３により付勢している。

そのため、通常動作時のロータ１１の回転時、波座金７３の付勢力とブレーキラバー７１の摩擦係数に従って、回転側規制部材３１及びブレーキラバー７１は、回転軸１２に固定された回転部材７０と一体的に回転する。その一方、ロータ１１の回転中に、回転側規制部材３１の隣り合う突起部３１ａ間に規制ピン３２が入り込んだ場合には、回転側規制部材３１とブレーキラバー７１は、回転軸１２には非固定であるため、規制ピン３２により急停止する。このとき、波座金７３の付勢力と、ブレーキラバー７１との間の摩擦係数とで決定される最大摩擦力が回転部材７０に付加される。これにより、回転部材７０は、回転側規制部材３１及びブレーキラバー７１の両方を回転させようとしながらもその回転エネルギーがブレーキラバー７１の摩擦力により徐々に消費され、結果的に回転部材７０はブレーキラバー７１を介して緩やかに減速する。

このように、ロータ１１の回転中に、回転側規制部材３１の隣り合う突起部３１ａ間に規制ピン３２が入り込む際、回転部材７０と回転側規制部材３１との間に介挿されるブレーキラバー７１の摩擦力により、回転側規制部材３１が回転部材７０から受ける力（回転エネルギー）の一部を逃がして、規制ピン３２との衝撃力を緩和することができる。従って、回転側規制部材３１又は規制ピン３２の破損や変形などの発生を抑制して、回転規制機構３０の耐久性を向上させることができる。

また、本形態では、ブレーキラバー（緩衝部材）７１は、環状の部材であり、回転軸１２の周囲に回転側規制部材３１とブレーキラバー７１が形成されている。そのため、回転部材７０に対し、回転側規制部材３１とブレーキラバー７１とを精度良く位置決めすることができる。これにより、ブレーキラバー７１を、回転部材７０の全周に亘って均等に当接させることができるので、摩擦力を均等に発生させて、回転部材７０を安定的に減速させることができる。

また、本形態では、回転側規制部材３１に対して下側（一方側）に配置された筒状の保持部材７５を備え、保持部材７５のフランジ部７５ａの上端面（回転側規制部材３１と対向する面）には、回転軸１２を取り囲む環状の凹部７５ｂが形成されており、凹部７５ｂに波座金（付勢部材）７３が保持されている。

このように、環状の凹部７５ｂが、ロータ１１の回転軸１２と同軸に全周に亘って形成され、この環状の凹部７５ｂに波座金７３は収納されるので、ブレーキラバー７１と回転側規制部材３１を回転部材７０に向けて付勢する際、全周に亘って均等に付勢力を発生させることができる。これにより、摩擦力をより均等に発生させることができる。

また、本形態では、回転軸１２の周囲に形成された回転軸１２に非固定のベアリング（軸受）７６を更に備え、保持部材７５は、回転軸１２に非固定であり、且つベアリング７６によって支持されている。そのため、保持部材７５、波座金７３、回転側規制部材３１及びブレーキラバー７１は、ロータ１１の回転軸１２と非固定に回転自在に保持されるので、ロータ１１の回転軸１２に対し、異なる回転速度で回転可能である。このため、回転部材７０をより緩やかに減速させることができる。

また、本形態では、ブレーキラバー（緩衝部材）７１は、回転側規制部材３１に固定されている。そのため、ブレーキラバー７１の位置決めを回転側規制部材３１とともに行うことができるので、組立を簡素化できる。

また、本形態では、回転軸１２の回転数を検出するためのエンコーダを備え、回転軸１２の方向における回転部材７０の上端面には、このエンコーダのセンサマグネット７２が固定されている。そのため、剛性が低いセンサマグネット７２でも回転部材７０に取り付けて支持させることができる。また、回転部材７０を磁性体とすることで、エンコーダのセンサマグネット７２の磁束漏れなどを抑制することができる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、回転規制機構３０の圧縮コイルバネ３４が規制ピン３２を上側へ付勢し、ソレノイド４１が規制ピン３２を下側へ移動させているが、これに限定されない。例えば、圧縮コイルバネ３４が規制ピン３２を下側へ付勢し、ソレノイド４１が規制ピン３２を上側へ移動させてもよい。また、上述した形態では、回転規制機構３０の圧縮コイルバネ３４により規制ピン３２が付勢されているが、これに限定されない。例えば、引張りコイルバネなどの他のバネ部材により規制ピン３２が付勢されてもよい。

上述した形態では、駆動機構４０のプランジャ４１ａの上端部にピン４２が固定されているが、これに限定されない。例えば、プランジャ４１ａの上端部にピン４２が固定されていなくてもよい。この場合には、ソレノイド４１の本体部４１ｂよりも上側に突出するプランジャ４１ａの上端部の長さが長くなっており、プランジャ４１ａの上端部は、ケース体８０の貫通孔８２ａの中に配置されている。また、規制ピン３２が規制位置にあるとき、プランジャ４１ａの上端部はケース体８０の外部に突出しており、ケース体８０の外部に突出しているプランジャ４１ａの上端部がケース体８０の内部に向かって押されると、規制位置にある規制ピン３２が規制解除位置へ移動する。

上述した形態では、剛性内歯歯車２１が減速機２０の出力軸となっているが、これに限定されない。例えば、可撓性外歯歯車２２が減速機２０の出力軸となっていてもよい。この場合、剛性内歯歯車２１がケース体８０及びクロスローラベアリング２６の内輪２６ａに固定され、可撓性外歯歯車２２がクロスローラベアリング２６の外輪２６ｂ及び出力側部材１８のフランジ部１８ａに固定される。また、上述した形態では、減速機２０は、中空波動歯車装置であるが、これに限定されない。例えば、減速機２０は、中空波動歯車装置以外の中空減速機であってもよい。また、減速機２０は、中空減速機以外の減速機であってもよい。また、上述した形態では、モータ１０は中空モータであるが、これに限定されない。例えば、モータ１０は中空モータ以外のモータであってもよい。また、上述した形態では、モータ１０はいわゆるインナーロータ型のモータであるが、これに限定されない。例えば、モータ１０は、アウターロータ型のモータであってもよい。

上述した形態では、ロボット１は、６個の関節部２を備えているが、これに限定されない。例えば、ロボット１が備える関節部２の数は５個以下であってもよいし、７個以上であってもよい。また、上述した形態では、ロボット１は２本のアーム３を備えているが、これに限定されない。例えば、ロボット１が備えるアーム３の数は、１本であってもよいし、３本以上であってもよい。また、上述した形態では、ロボット１の関節部２がモータ１０及び減速機２０などを有する回転アクチュエータによって構成されているが、これに限定されない。例えば、回転アクチュエータはロボット１の関節部２以外に使用されてもよい。またその他、回転アクチュエータはθステージ（回転ステージ）の駆動部などに使用されてもよい。また、上述した形態では、ロボット１は、産業用ロボットであるが、ロボット１は、様々な用途に適用可能である。例えば、ロボット１は、サービス用ロボットであってもよい。

１ 産業用ロボット
１０ モータ
１１ ロータ
１２ 回転軸
３０ 回転規制機構
３１ 回転側規制部材
３１ａ 突起部
３２ 規制ピン（規制部材）
４０ 駆動機構
４１ ソレノイド
４１ａ プランジャ
７０ 回転部材
７１ ブレーキラバー（緩衝部材）
７２ センサマグネット（磁石）
７３ 波座金（付勢部材）
７４ 平座金
７５ 保持部材
７５ａ フランジ部
７５ｂ 凹部
７６ ベアリング（軸受）

Claims (4)

1. 回転アクチュエータであって、
   ロータ及びステータを有するモータと、
   前記ロータの回転軸に固定された回転部材と、
   前記回転部材に対し前記回転軸の方向の一方側に配置された、前記ロータの回転軸に非固定の緩衝部材と、
   停止している前記ロータの回転を規制するための回転規制機構と、を備え、
   前記回転規制機構は、前記緩衝部材に対し前記一方側に配置された、前記ロータの回転軸に非固定の円環状の回転側規制部材と、前記回転側規制部材の外周面に周方向に沿って形成された複数の突起部の間に挿入されて前記周方向における前記回転側規制部材の移動を規制する規制部材と、前記規制部材を前記回転軸の方向に移動させるための駆動機構と、を有し、
   前記緩衝部材は、前記回転部材と前記回転側規制部材の各々に当接し、
   前記回転側規制部材に対し前記一方側に配置された、前記緩衝部材と前記回転側規制部材を前記回転部材に向けて付勢する付勢部材と、を備え、
   前記緩衝部材は、環状の部材であり、
   前記回転軸の周囲に前記回転側規制部材と前記緩衝部材が形成されおり、
   前記回転アクチュエータは、
   前記回転側規制部材に対して前記一方側に配置された、前記付勢部材を保持する保持部材と、
   前記回転軸の周囲に形成された前記回転軸に非固定の軸受と、を更に備え、
   前記保持部材は、前記回転軸に非固定であり、且つ前記軸受によって支持されている回転アクチュエータ。
2. 請求項１記載の回転アクチュエータであって、
   前記保持部材は筒状であり、
   前記保持部材の前記回転側規制部材と対向する面には、前記回転軸を取り囲む環状の凹部が形成されており、
   前記凹部に前記付勢部材が保持されている回転アクチュエータ。
3. 請求項１から２のいずれか１項記載の回転アクチュエータであって、
   前記緩衝部材は、前記回転側規制部材に固定されている回転アクチュエータ。
4. 請求項１から３のいずれか１項記載の回転アクチュエータであって、
   前記回転軸の回転数を検出するためのエンコーダを備え、
   前記回転軸の方向における前記回転部材の前記付勢部材側と反対側の面には、前記エンコーダの磁石が固定されている回転アクチュエータ。

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