JP7077259B2 - ノズル洗浄装置 - Google Patents

Description

この発明は、接着剤等の吐出物を塗布対象物に塗布するためのノズルを洗浄するノズル洗浄装置に関する。

接着剤等の吐出物を塗布対象物に塗布するために、ノズルを備えた塗布装置（ディスペンサ）が使用されることがある。吐出物の一例は、粘性を有する接着剤やペースト状の導電材料である。このような吐出物を塗布対象物に塗布するために、吐出物を加圧してノズルの先端開口部から押し出すようにしている。塗布する際の吐出物の圧力（塗布圧）は吐出物の粘性等に応じて設定されるが、数１００ＫＰａに及ぶ場合もある。

使用後のノズルは洗浄され、ノズルに付着した吐出物が除去される。特にノズルの内部やノズルの先端部に付着した吐出物を念入りに洗浄する必要がある。ノズルの内部や先端部を洗浄するには、例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、加圧された洗浄液をノズルの内部に流すのが通例である。

特開２０１０－４５０９４号公報 特開２０１８－７９４１７号公報

例えばハードディスク装置（ＨＤＤ）に使用されるＨＤＤサスペンションのような小さな塗布対象物に吐出物を塗布するためには、吐出孔の内径が１ｍｍ以下（例えば内径φ０．１－０．１６ｍｍ）のノズルが使用される。しかも吐出孔の長さは、吐出孔の内径と比較してかなり長い。このように細くて長いノズルの内部を洗浄するために、数１０ＭＰａに加圧された高圧の洗浄液がノズルに供給されることもある。

しかし高圧洗浄を行ってもノズルを十分に洗浄することが困難なこともある。特にノズルの先端開口部付近に付着した吐出物は、ノズルの内部に高圧の洗浄液を流すだけでは除去しにくく、吐出物がノズルに付着したまま残ってしまうことがある。もしもノズルの先端付近に吐出物が付着した状態で塗布を行うと、塗布量や塗布形状が安定しないため好ましくない。

このためノズルを確実に洗浄するために、ブラシ等の洗浄具を用いて、手作業による洗浄が行われることもある。しかしそのような手作業は時間がかかるだけでなく、小さなノズルをくまなく洗浄するには熟練が必要であり、場合によってはノズルの先端開口部付近に吐出物が残ってしまうこともあるなど、改善の余地があった。

従って本発明の目的はノズルを十分洗浄することができ、特にノズルの先端開口部付近に付着している吐出物も効果的に除去することが可能なノズル洗浄装置を提供することにある。

１つの実施形態に係るノズル洗浄装置は、洗浄槽と、洗浄すべきノズルを取り付け可能な接続部を有した一方の洗浄液出口と、前記洗浄液出口に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、前記洗浄液供給手段によって洗浄液が供給される他方の洗浄液出口と、前記他方の洗浄液出口に接続される洗浄アタッチメントとを具備している。前記洗浄アタッチメントは、前記一方の洗浄液出口に取り付けたノズルの先端部を挿入するノズル保持部と、外側洗浄液噴射口と、洗浄室と、前記洗浄室に流入した前記洗浄液を排出する洗浄液排出孔とを具備している。

前記外側洗浄液噴射口は、前記ノズル保持部に挿入されたノズルの先端部と対向し、前記他方の洗浄液出口に供給された前記洗浄液を前記ノズルの先端部に向けて噴射する。前記洗浄室は、前記ノズルの先端部が前記ノズル保持部に挿入された状態において、前記ノズルの吐出部が配置され、前記吐出部から第１の方向に噴出した前記洗浄液と、前記外側洗浄液噴射口から第２の方向に噴出した洗浄液とが互いに衝突する。

前記洗浄アタッチメントが、前記ノズル保持部と前記洗浄室とを有し前記ノズルに取り付けるノズルカバーと、前記外側洗浄液噴射口と前記洗浄室とに連通する洗浄液流入室を有し前記ノズルカバーに取り付ける洗浄ホルダと、前記他方の洗浄液出口に接続される継手と、前記継手と前記外側洗浄液噴射口との間に設けられたパイプとを備えてもよい。好ましくは、前記洗浄ホルダの軸線に沿う方向に、前記ノズルの先端部と、前記洗浄室と、前記外側洗浄液噴射口とを有しているとよい。

前記洗浄ホルダが、前記洗浄液流入室に連通する前記洗浄液排出孔を有してもよい。また、互いに形状が共通の前記一方の洗浄液出口と、前記他方の洗浄液出口と、さらに別の洗浄液出口とを有し、これら洗浄液出口を塞ぐ栓部材を具備してもよい。前記洗浄槽が、洗浄槽本体と、前記洗浄槽本体の開口部を開閉する蓋とを有し、前記蓋に前記全ての洗浄液出口が配置されてもよい。

本発明のノズル洗浄装置によれば、ノズルから第１の方向に噴出する洗浄液（内側洗浄液）と、ノズルに向かって外側洗浄液噴射口から第２の方向に噴出する洗浄液（外側洗浄液）とが洗浄室内のノズルの先端部付近で衝突することにより、ノズルを十分洗浄することができ、特にノズルの先端開口部付近も確実に洗浄することができる。

１つの実施形態に係るノズル洗浄装置の斜視図。 図１に示されたノズル洗浄装置を含む洗浄設備の一部のブロック図。 ノズルと塗布対象物の一例を示す斜視図。 ノズルの先端部の斜視図。 図１に示されたノズル洗浄装置の蓋を開け、洗浄アタッチメントを取り付ける前の状態を示す斜視図。 図５に示されたノズル洗浄装置に洗浄アタッチメントを取り付けた状態を示す斜視図。 洗浄アタッチメントの一部とノズルの一部を示す分解斜視図。 図７に示された洗浄アタッチメントをノズルに取り付けた状態の斜視図。 図８に示された洗浄アタッチメントとノズルの断面図。

以下に１つの実施形態に係るノズル洗浄装置１を備えた洗浄設備２について、図１から図９を参照して説明する。図１はノズル洗浄装置１の斜視図である。図２はノズル洗浄装置１を含む洗浄設備２の一部のブロック図である。図２に示された洗浄設備２は、ノズル洗浄装置１に洗浄液を供給する洗浄液供給系３と、ノズル洗浄装置１から洗浄液を回収するための洗浄液回収系４とを含んでいる。図２中の矢印Ｆは洗浄液が流れる方向を示している。

洗浄液供給系３は、洗浄液供給手段として機能する洗浄液供給管５と、洗浄液を洗浄液供給管５に供給するポンプ６と、リリーフ弁７と、開閉弁８と、圧力計９などを含んでいる。洗浄液供給管５はポンプ６の吐出口に接続されている。洗浄液回収系４は、洗浄液排出手段として機能する洗浄液排出管１０と、洗浄液を濾過するフィルタ１１などを含んでいる。洗浄液排出管１０はポンプ６の吸入口に接続されている。ノズル洗浄装置１に圧力計１２が設けられていてもよい。

洗浄するノズルの種類は特に問わないが、例えば図３に示すように、塗布対象物Ｗ１の塗布部Ｗ２に接着剤等の吐出物を塗布するノズル２０である。ノズル２０は塗布装置（ディスペンサ）の一部をなし、加圧室２１を有するノズルボディ２２と、ノズルボディ２２に設けられたピン形の吐出部２３とを有している。吐出部２３の数は１つでもよいし、あるいは２以上でもよい。塗布対象物Ｗ１の一例は、ハードディスク装置に使用されるＨＤＤサスペンションである。

図３に示すように、ノズル２０の吐出部２３から吐出物が押し出されて塗布部Ｗ２に供給される。吐出物の一例はペースト状の導電材料（例えば銀ペースト）であるが、硬化前の液状の接着剤などが使用されることもある。塗布の際に吐出物に加える圧力（塗布圧）は、吐出物の粘性等の性状に応じて設定されるが、例えば数１００ＫＰａに及ぶ場合もある。

図４はノズル２０の先端部２０ａに設けられた吐出部２３を示している。吐出部２３の先端に先端開口部２５が形成されている。吐出部２３の内側に吐出孔２６が形成されている。吐出孔２６はノズルボディ２２の加圧室２１と先端開口部２５とに連通している。吐出孔２６の内径は問わないが、例えばφ０．１－０．１６ｍｍである。吐出孔２６の長さは内径の１０倍を超えることもある。使用後のノズル２０には吐出物が付着している。このため本実施形態のノズル洗浄装置１によってノズル２０が洗浄される。

図１と図５および図６に示すように、ノズル洗浄装置１は洗浄槽３０を有している。洗浄槽３０は、上面に開口部３１を有する洗浄槽本体３２と、開口部３１を塞ぐことができる蓋３３と、蓋３３のためのヒンジ機構３４およびクランプ機構３５とを有している。蓋３３はヒンジ機構３４によって上下方向に回動することができる。洗浄槽本体３２の底部に洗浄液排出管１０が接続されている。

蓋３３の内側には、洗浄槽本体３２との合わせ面を密封するためのＯリング等のシール材３６が設けられている。蓋３３に取っ手３７が設けられている。作業者は取っ手３７を使って蓋３３を開閉させることができる。洗浄槽本体３２の正面または側面には、洗浄槽３０の内部を目視できるように透明な材料からなる観察用の窓部３８が設けられている。

図１は蓋３３が閉じた状態を示している。図５と図６とは、それぞれ蓋３３が開いた状態を示している。クランプ機構３５は、洗浄槽本体３２に設けられた受け金具３５ａと、蓋３３に設けられたクランプレバー３５ｂとを有している。蓋３３を閉じ、クランプレバー３５ｂをロック位置に移動させて受け金具３５ａに係合させることにより、蓋３３を閉位置に固定することができる。クランプレバー３５ｂをロック解除位置に操作すれば、蓋３３を開けることができる。

図５と図６とに示されるように、蓋３３の内側に複数（例えば６つ）の洗浄液出口４０ａ－４０ｆが設けられている。これら洗浄液出口４０ａ－４０ｆは互いに共通の形状であり、ノズル２０と、栓部材４１と、洗浄アタッチメント５０の継手５４と、のいずれも取り付けることが可能なねじ部を有する接続部４２（図５に一部のみ示す）が形成されている。

蓋３３には、洗浄液出口４０ａ－４０ｆに連通する洗浄液流通部４５（図５に一部のみ示す）が形成されている。洗浄液流通部４５に洗浄液供給管５が接続されている。洗浄液出口４０ａ－４０ｆには、洗浄液流通部４５を介して互いに実質的に同等の圧力の洗浄液が供給される。洗浄槽本体３２の底部には、洗浄槽本体３２の内部に流入した洗浄液を排出するための洗浄液排出管１０が接続されている。

この明細書では、図５と図６とに示すように、６か所の洗浄液出口４０ａ－４０ｆのうち、第１の洗浄液出口４０ａと第２の洗浄液出口４０ｂとを用いてノズル２０を洗浄する場合について説明する。例えばノズル２０は一方の洗浄液出口４０ａに取り付けられる。また、他方の洗浄液出口４０ｂに洗浄アタッチメント５０が取り付けられる。洗浄アタッチメント５０については後に詳しく説明する。洗浄に使用しない洗浄液出口４０ｃ－４０ｆは、着脱可能な栓部材４１によって塞がれている。

なお、第１の洗浄液出口４０ａと第２の洗浄液出口４０ｂ以外の洗浄液出口４０ｃ－４０ｆを使用してノズルを洗浄することもできる。その場合も、２つの洗浄液出口のうちの一方にノズルを取り付け、他方に洗浄アタッチメント５０を取り付ける。洗浄に使用しない洗浄液出口は、栓部材４１によって塞がれる。

以下に洗浄アタッチメント５０について説明する。
図７はノズル２０と洗浄アタッチメント５０の一部を示す分解斜視図である。図８は、洗浄アタッチメント５０をノズル２０に取り付けた状態の斜視図である。図９は、ノズル２０と洗浄アタッチメント５０の軸線Ｘ１に沿う断面図である。

洗浄アタッチメント５０は、ノズルカバー５１と、洗浄ホルダ５２と、接続部材５３（図５と図６に示す）とを含んでいる。接続部材５３は、洗浄液出口４０ａ－４０ｆに着脱可能な継手５４と、可撓性のパイプ５５とを有している。継手５４は、洗浄液出口４０ａ－４０ｆのいずれにも取り付けることができるが、図５と図６に示す例では第１の洗浄液出口４０ａに接続されている。洗浄ホルダ５２にパイプ５５の一端が接続されている。パイプ５５の他端は継手５４に接続されている。

ノズルカバー５１の一例は、略円筒形の樹脂の成形品であり、ノズルカバー５１をノズル２０に固定する際に使用する固定部材６０，６１が取り付けられている。固定部材６０，６１の一例はボルトであり、ノズルカバー５１の径方向に突出している。ノズルカバー５１は、ノズル２０を挿入するノズル挿入孔６２が形成されたノズル保持部６３と、ノズル２０の吐出部２３を収容する洗浄室６４とを有している。

固定部材６０，６１をそれぞれノズルカバー５１のねじ孔６５，６６に挿入し、ノズル２０の外周面に締め付けることにより、ノズルカバー５１がノズル２０に固定される。図９に示されるように、ノズル２０の先端部２０ａがノズルカバー５１に挿入された状態において、ノズル２０の吐出部２３が洗浄室６４に位置する。またノズル２０の吐出部２３が洗浄ホルダ５２の軸線Ｘ１に沿う方向に突き出る。

洗浄ホルダ５２は略円筒形をなし、ノズルカバー５１が挿入される穴７０を有する筒部５２ａと、洗浄室６４に連通する洗浄液流入室７１（図９に示す）と、洗浄液流入室７１に連通する外側洗浄液噴射口７２と、洗浄液流入室７１に流入した洗浄液を排出するための洗浄液排出孔７３とを有している。外側洗浄液噴射口７２は、雌ねじ部を有する接続口７４を介して、洗浄アタッチメント５０のパイプ５５の一端に接続されている。洗浄ホルダ５２の軸線Ｘ１に沿う方向に、ノズル２０の先端部２０ａと、洗浄室６４と、外側洗浄液噴射口７２とが設けられている。

洗浄ホルダ５２の筒部５２ａには、固定部材６０，６１に係止可能な嵌合部８０，８１が設けられている。嵌合部８０，８１は、洗浄ホルダ５２をノズルカバー５１に固定するために使用される。嵌合部８０，８１の一例は、洗浄ホルダ５２の軸線Ｘ１に沿う方向に延びる第１溝部８２，８３と、洗浄ホルダ５２の周方向に延びる第２溝部８４，８５とを有している。

洗浄ホルダ５２をノズルカバー５１に固定する際に、固定部材６０，６１を第１溝部８２，８３に挿入し、さらに洗浄ホルダ５２を少し回転させることにより、固定部材６０，６１を第２溝部８４，８５に挿入する。こうすることにより、固定部材６０，６１が洗浄ホルダ５２の軸線Ｘ１に沿う方向に移動することが阻止され、ノズルカバー５１に対する洗浄ホルダ５２の抜け止めがなされる。

図９に示されるように、ノズルカバー５１が洗浄ホルダ５２の筒部５２ａの穴７０に挿入された状態において、ノズル２０の先端部２０ａと、洗浄室６４と、洗浄液流入室７１と、外側洗浄液噴射口７２とが、洗浄ホルダ５２の軸線Ｘ１上に位置している。このためノズル２０の吐出部２３から第１の方向に噴出する洗浄液は、洗浄室６４を通り、洗浄液流入室７１に向かう。これに対し、外側洗浄液噴射口７２から第２の方向に噴出する洗浄液は、洗浄液流入室７１を通り、ノズル２０の吐出部２３に向かう。

以下に本実施形態のノズル洗浄装置１を備えた洗浄設備２の作用について説明する。
図５に示すように洗浄槽３０の蓋３３を開ける。蓋３３の内側には互いに共通の形状の洗浄液出口４０ａ－４０ｆが設けられている。これら洗浄液出口４０ａ－４０ｆのうち、例えば第１の洗浄液出口４０ａにノズル２０を取り付ける。第２の洗浄液出口４０ｂには洗浄アタッチメント５０の継手５４を接続する。洗浄に使用しない洗浄液出口４０ｃ－４０ｆは、栓部材４１によって塞がれている。なお、第１の洗浄液出口４０ａに洗浄アタッチメント５０の継手５４を接続し、第２の洗浄液出口４０ｂにノズル２０を取り付けてもよい。

第１の洗浄液出口４０ａと第２の洗浄液出口４０ｂ以外の洗浄液出口４０ｃ－４０ｆを用いてノズルを洗浄することもできる。例えば第３の洗浄液出口４０ｃにノズルを取り付け、第４の洗浄液出口４０ｄに洗浄アタッチメント５０を取り付けてもよい。また、第５の洗浄液出口４０ｅにノズルを取り付け、第６の洗浄液出口４０ｆに洗浄アタッチメント５０を取り付けてもよい。

このように本実施形態のノズル洗浄装置１は、６つの洗浄液出口４０ａ－４０ｆのうち対をなす洗浄液出口を用いて、最大３個のノズルを洗浄することができる。洗浄液出口の数が偶数の場合には、洗浄液出口の数の２分の１の数のノズルを洗浄することが可能である。ただし洗浄液出口の数が奇数であってもよい。洗浄に使用しない洗浄液出口は栓部材４１によって塞ぐ。

図６に示された例では、複数の洗浄液出口４０ａ－４０ｆのうち第１の洗浄液出口４０ａにノズル２０を取り付け、第２の洗浄液出口４０ｂに洗浄アタッチメント５０の継手５４が接続されている。洗浄に使用しない洗浄液出口４０ｃ－４０ｆは栓部材４１によって塞がれている。

図１に示すように洗浄槽３０の蓋３３を閉じ、クランプ機構３５のクランプレバー３５ｂをロック位置に移動させることにより、蓋３３を洗浄槽本体３２に固定する。この状態のもとで、ポンプ６（図２に示す）によって加圧された洗浄液を洗浄液供給管５に供給することにより、洗浄液を一方の洗浄液出口４０ａと他方の洗浄液出口４０ｂに供給する。供給する圧力は、数ＭＰａ（例えば２－４ＭＰａ）から数１０ＭＰａ（例えば２０－４０ＭＰａ）である。

洗浄液供給管５から一方の洗浄液出口４０ａに供給された洗浄液は、図９に矢印Ａで示すようにノズル２０の内部に入る。そしてこの洗浄液はノズル２０の吐出孔２６（図４に示す）を通り、吐出部２３の先端開口部２５から洗浄室６４に向けて第１の方向に噴出する。このとき吐出孔２６の内部を流れる洗浄液によって、吐出孔２６の内面に付着していた吐出物が洗い流される。

一方、洗浄液供給管５から他方の洗浄液出口４０ｂに供給された洗浄液は、洗浄アタッチメント５０のパイプ５５を通り、図９に矢印Ｂで示すように、外側洗浄液噴射口７２からノズル２０の吐出部２３に向けて第２の方向に噴出する。このため外側洗浄液噴射口７２から洗浄室６４に向けて噴出する洗浄液と、ノズル２０から洗浄室６４に噴出する洗浄液とが洗浄室６４において激しく衝突し、洗浄液の激流と乱流が生じる。衝突によって洗浄液に混入した微細な気泡が洗浄作用を促進することもある。

従来のようにノズル２０の内部に洗浄液を流すだけでは、十分に洗浄することができず吐出部２３の先端開口部２５付近に吐出物（図４に２点鎖線Ｙで示す）が残ることがあった。これに対し本実施形態のノズル洗浄装置１によれば、洗浄室２４内に配置された吐出部２３付近で激しく衝突する洗浄液に吐出部２３がさらされることにより、吐出部２３を効果的に洗浄することができた。特に、吐出部２３の先端開口部２５付近に付着していた吐出物も確実に除去され、ノズル２０を十分洗浄することができた。

図９に示されるように、ノズル２０から噴出した洗浄液と、外側洗浄液噴射口７２から噴出した洗浄液とは、矢印Ｃで示すように洗浄液流入室７１から洗浄液排出孔７３を通って洗浄ホルダ５２の外に排出される。洗浄ホルダ５２から排出された洗浄液は、洗浄槽３０の底部へ流れる。そして洗浄液排出管１０を通り、フィルタ１１によって濾過されたのち、再びポンプ６によってノズル洗浄装置１に供給される。こうして洗浄液がノズル洗浄装置１とポンプ６との間を循環することにより、ノズル２０が洗浄される。

ノズルの種類や吐出物の種類によっては、ノズルの内部に洗浄液を流すだけで十分洗浄できることもある。そのような場合には、洗浄アタッチメント５０を使用することなく、ノズルのみを洗浄液出口４０ａ－４０ｆのいずれかに取り付け、ノズルから洗浄液を噴出させればよい。

なお本発明を実施するに当たり、ノズル洗浄装置を構成する洗浄槽や洗浄アタッチメントをはじめとして、洗浄液供給系や洗浄液回収系などの具体的な態様を必要に応じて変形して実施できることは言うまでもない。本発明に係るノズル洗浄装置は、様々な形態のノズルを洗浄する場合に使用することができる。
洗浄アタッチメントを構成するノズルカバーと洗浄ホルダとが互いに一体の部品であってもよい。また、少なくとも一対の洗浄液出口（ノズルを取り付ける洗浄液出口と、洗浄アタッチメントを取り付ける洗浄液出口）が、蓋以外の部材、例えば洗浄槽本体や補助部材などに配置されてもよい。

１…ノズル洗浄装置、２…洗浄設備、３…洗浄液供給系、４…洗浄液回収系、５…洗浄液供給管（洗浄液供給手段）、６…ポンプ、１０…洗浄液排出管（洗浄液排出手段）、２０…ノズル、２０ａ…先端部、２３…吐出部、２５…先端開口部、２６…吐出孔、３０…洗浄槽、３２…洗浄槽本体、３３…蓋、４０ａ－４０ｆ…洗浄液出口、４１…栓部材、４５…洗浄液流通部、５０…洗浄アタッチメント、５１…ノズルカバー、５２…洗浄ホルダ、Ｘ１…軸線、５３…接続部材、５４…継手、５５…パイプ、６０，６１…固定部材、６２…ノズル挿入孔、６３…ノズル保持部、６４…洗浄室、７１…洗浄液流入室、７２…外側洗浄液噴射口、７３…洗浄液排出孔。

Claims (6)

1. 洗浄槽と、
   洗浄すべきノズルを取り付け可能な接続部を有した一方の洗浄液出口と、
   前記洗浄液出口に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、
   前記洗浄液供給手段によって洗浄液が供給される他方の洗浄液出口と、
   前記他方の洗浄液出口に接続される洗浄アタッチメントとを具備し、
   前記洗浄アタッチメントが、
   前記一方の洗浄液出口に取り付けたノズルの先端部を挿入するノズル保持部と、
   前記ノズル保持部に挿入された前記ノズルの先端部と対向し、前記他方の洗浄液出口に供給された前記洗浄液を前記ノズルの先端部に向けて噴射する外側洗浄液噴射口と、
   前記ノズルの先端部が前記ノズル保持部に挿入された状態において、前記ノズルの吐出部が配置され、前記吐出部から第１の方向に噴出した洗浄液と前記外側洗浄液噴射口から第２の方向に噴出した洗浄液とが互いに衝突する洗浄室と、
   前記洗浄室に流入した前記洗浄液を排出する洗浄液排出孔と、
   を具備したことを特徴とするノズル洗浄装置。
2. 前記洗浄アタッチメントが、
   前記ノズル保持部と前記洗浄室とを有し前記ノズルに取り付けるノズルカバーと、
   前記外側洗浄液噴射口と前記洗浄室とに連通する洗浄液流入室を有し、前記ノズルカバーに取り付ける洗浄ホルダと、
   前記他方の洗浄液出口に接続される継手と、
   前記継手と前記外側洗浄液噴射口との間に設けられたパイプと、
   を具備したことを特徴とする請求項１に記載のノズル洗浄装置。
3. 前記洗浄ホルダの軸線に沿う方向に、前記ノズルの先端部と、前記洗浄室と、前記外側洗浄液噴射口とを有したことを特徴とする請求項２に記載のノズル洗浄装置。
4. 前記洗浄ホルダが、前記洗浄液流入室に連通する前記洗浄液排出孔を有したことを特徴とする請求項２に記載のノズル洗浄装置。
5. 互いに形状が共通の前記一方の洗浄液出口と、前記他方の洗浄液出口と、さらに別の洗浄液出口とを有し、これら洗浄液出口を塞ぐ栓部材を具備したことを特徴とする請求項１に記載のノズル洗浄装置。
6. 前記洗浄槽が、洗浄槽本体と、前記洗浄槽本体の開口部を開閉する蓋とを有し、
   前記蓋に前記全ての洗浄液出口が配置されたことを特徴とする請求項５に記載のノズル洗浄装置。

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