[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP7048927B2 - Coating device and coating method - Google Patents

Coating device and coating method Download PDF

Info

Publication number
JP7048927B2
JP7048927B2 JP2018193223A JP2018193223A JP7048927B2 JP 7048927 B2 JP7048927 B2 JP 7048927B2 JP 2018193223 A JP2018193223 A JP 2018193223A JP 2018193223 A JP2018193223 A JP 2018193223A JP 7048927 B2 JP7048927 B2 JP 7048927B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressurized fluid
container
coating liquid
coating
sphere
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018193223A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020059004A (en
Inventor
隆実 浦野
Original Assignee
有限会社浦野技研
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 有限会社浦野技研 filed Critical 有限会社浦野技研
Priority to JP2018193223A priority Critical patent/JP7048927B2/en
Publication of JP2020059004A publication Critical patent/JP2020059004A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7048927B2 publication Critical patent/JP7048927B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Coating Apparatus (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、塗布装置及び塗布方法に関し、より具体的には、球体の表面への塗布を行うための塗布装置及び塗布方法に関する。 The present invention relates to a coating device and a coating method, and more specifically, to a coating device and a coating method for coating a surface of a sphere.

小径の球体の表面に均一な塗布膜を形成するためには、例えば、球体を針等の治具で保持し、あるいは又、真空吸着装置等で保持し、球体を塗布液に浸漬した後、塗布液から引き上げ、塗布液を乾燥させる方法が知られている。しかしながら、このような方法では、球体を保持することが困難な場合が多いし、均一な塗布膜を得ることが難しい。 In order to form a uniform coating film on the surface of a small-diameter sphere, for example, the sphere is held by a jig such as a needle, or is held by a vacuum suction device or the like, and the sphere is immersed in the coating liquid. A method of pulling up from the coating liquid and drying the coating liquid is known. However, with such a method, it is often difficult to hold the sphere, and it is difficult to obtain a uniform coating film.

微小な球体を浮遊させた状態で球体の表面に塗布膜を形成する方法が、例えば、特開平3-018746号公報から周知である。この特許公開公報に開示された技術においては、下方から気体を噴霧し、球状物質を浮遊させた状態でカーボンをスプレー塗布することで、シリコン融体対流観察用トレーサを作製する。 A method of forming a coating film on the surface of a sphere in a state where a minute sphere is suspended is well known from, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-018746. In the technique disclosed in this Patent Publication, a tracer for observing silicon melt convection is produced by spraying a gas from below and spraying carbon in a state where a spherical substance is suspended.

特開平3-018746号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-018746

しかしながら、この特許公開公報には、カーボンをスプレー塗布する方法が具体的に開示されていない。また、スプレー塗布法に基づき球状物質を浮遊させた状態で均一な塗布膜を得ることは困難である。 However, this patent publication does not specifically disclose a method of spray-coating carbon. Further, it is difficult to obtain a uniform coating film in a state where a spherical substance is suspended based on the spray coating method.

従って、本発明の目的は、球体の表面において均一な塗布膜を容易に得ることを可能とする塗布装置、及び、係る塗布装置を用いた塗布方法を提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to provide a coating device capable of easily obtaining a uniform coating film on the surface of a sphere, and a coating method using such a coating device.

上記の目的を達成するための本発明の塗布装置は、
球体の直径より大きな直径を有し、球体を格納する円筒形の容器、
容器内で球体を浮遊させるための浮遊手段、及び、
容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布するための塗布液導入部、
を備えている。
The coating apparatus of the present invention for achieving the above object is
A cylindrical container that has a diameter larger than the diameter of the sphere and stores the sphere,
Floating means for floating spheres in a container, and
Coating liquid introduction part for applying the coating liquid to the surface of the sphere floating in the container,
It is equipped with.

上記の目的を達成するための本発明の塗布方法は、球体の直径より大きな直径を有する円筒形の容器内で、浮遊手段によって球体を浮遊させながら球体の表面に塗布液を塗布する。 In the coating method of the present invention for achieving the above object, the coating liquid is applied to the surface of the sphere while floating the sphere by a floating means in a cylindrical container having a diameter larger than the diameter of the sphere.

本発明の塗布装置あるいは塗布方法にあっては、容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布するので、浮遊した球体は容器内での動きに制約を受けるが、浮遊した球体は容器の側壁に接触することが無いので、球体の表面において均一な塗布膜を容易に得ることができる。 In the coating device or coating method of the present invention, since the coating liquid is applied to the surface of the sphere floating in the container, the floating sphere is restricted in movement in the container, but the floating sphere is the container. Since it does not come into contact with the side wall, a uniform coating film can be easily obtained on the surface of the sphere.

図1は、実施例1の塗布方法を説明するための、実施例1の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 1 is a schematic end view of the coating device of the first embodiment for explaining the coating method of the first embodiment. 図2は、実施例1の塗布方法を説明するための、実施例1の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 2 is a schematic end view of the coating device of the first embodiment for explaining the coating method of the first embodiment. 図3は、実施例1の塗布方法を説明するための、実施例1の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 3 is a schematic end view of the coating device of the first embodiment for explaining the coating method of the first embodiment. 図4は、実施例1の塗布方法を説明するための、実施例1の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 4 is a schematic end view of the coating device of the first embodiment for explaining the coating method of the first embodiment. 図5は、実施例1の塗布装置の変形例の模式的な端面図である。FIG. 5 is a schematic end view of a modified example of the coating device of the first embodiment. 図6は、実施例1の塗布装置の別の変形例の模式的な端面図である。FIG. 6 is a schematic end view of another modification of the coating device of the first embodiment. 図7は、実施例2の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 7 is a schematic end view of the coating device of the second embodiment. 図8は、実施例3の塗布装置の模式的な端面図である。FIG. 8 is a schematic end view of the coating device of the third embodiment. 図9は、実施例3の塗布装置の変形例の模式的な端面図である。FIG. 9 is a schematic end view of a modified example of the coating device of the third embodiment. 図10は、図12の矢印A-Aに沿った、本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図である。FIG. 10 is a schematic end view of a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle suitable for use in the coating apparatus of the present invention, along the arrows AA of FIG. 12. 図11は、図12の矢印A-Aに沿った、本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズルの変形例の模式的な端面図である。FIG. 11 is a schematic end view of a modified example of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle suitable for use in the coating apparatus of the present invention, along the arrows AA of FIG. 12. 図12は、図10の矢印B-Bに沿った模式的な端面図である。FIG. 12 is a schematic end view taken along the arrows BB of FIG. 図13は、図10に示すと同様の本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図である。FIG. 13 is a schematic end view of a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle suitable for use in the coating apparatus of the present invention similar to that shown in FIG. 図14は、図10に示すと同様の本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図において、加圧流体や塗布液の流れを模式的に示す図である。FIG. 14 is a schematic end view of a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle suitable for use in the coating apparatus of the present invention similar to that shown in FIG. 10, in which the flow of the pressurized fluid and the coating liquid is schematically shown. It is a figure which shows. 図15は、本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズルを含む塗布液供給システムの概念図である。FIG. 15 is a conceptual diagram of a coating liquid supply system including a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle suitable for use in the coating apparatus of the present invention.

以下、図面を参照して、実施例に基づき本発明を説明するが、本発明は実施例に限定されるものではなく、実施例における種々の数値や材料は例示である。尚、説明は、以下の順序で行う。
1.本発明の塗布装置及び本発明の塗布方法、全般に関する説明
2.実施例1(本発明の塗布装置及び本発明の塗布方法)
3.実施例2(実施例1の塗布装置の変形)
4.実施例3(実施例1~実施例2の塗布装置の変形)
5.実施例4(本発明の塗布装置での使用に適した塗布液・加圧流体導入ノズル及び塗布液供給システム)
6.その他
Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings, but the present invention is not limited to the examples, and various numerical values and materials in the examples are exemplified. The explanation will be given in the following order.
1. 1. Description of the coating apparatus of the present invention, the coating method of the present invention, and general description 2. Example 1 (coating apparatus of the present invention and coating method of the present invention)
3. 3. Example 2 (Modification of the coating device of Example 1)
4. Example 3 (Modification of the coating apparatus of Example 1 to Example 2)
5. Example 4 (Coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle and coating liquid supply system suitable for use in the coating device of the present invention)
6. others

〈本発明の塗布装置及び本発明の塗布方法〉
本発明の塗布装置において、浮遊手段は、容器内で球体を浮遊させるために容器内に加圧流体を導入する加圧流体導入部から成る形態とすることができる。そして、この場合、容器の底部は閉塞されており;加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられており;塗布液導入部は、容器の上方に配置されている形態とすることができ、更には、容器の上方に乾燥装置を更に備えている形態とすることができる。乾燥装置として、遠赤外線を照射する乾燥装置、熱風を吹き付ける乾燥装置を挙げることができる。塗布液に依っては、乾燥装置が無くとも、加圧流体導入部から導入された加圧流体によって、塗布液を乾燥させることができる。浮遊手段として、その他、球体の材質にも依るが、球体を磁気によって浮遊させ得る装置を挙げることもできる。
<Applying device of the present invention and coating method of the present invention>
In the coating apparatus of the present invention, the floating means can be in the form of a pressurized fluid introduction portion that introduces a pressurized fluid into the container in order to float the sphere in the container. And in this case, the bottom of the container is closed; the pressurized fluid introduction part is attached to the bottom of the container; the coating liquid introduction part can be arranged above the container. Further, a drying device may be further provided above the container. Examples of the drying device include a drying device that irradiates far infrared rays and a drying device that blows hot air. Depending on the coating liquid, the coating liquid can be dried by the pressurized fluid introduced from the pressurized fluid introduction portion without a drying device. As the floating means, a device capable of magnetically floating the sphere can also be mentioned, although it depends on the material of the sphere.

更には、本発明の塗布装置の上記各種の好ましい形態において、浮遊手段は、容器内で球体を浮遊させるために容器内に加圧流体を導入する第2加圧流体導入部を更に備えている形態とすることができる。そして、この場合、容器の底部は閉塞されており;第2加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられている形態とすることができる。第2加圧流体導入部の数nは、1以上であればよい。n≧2の場合、第2加圧流体導入部を、容器の軸線を対称軸としたn回対称(360/n度対称)に配置することが望ましい。第2加圧流体導入部から導入される加圧流体の流れは、球体に向かって、且つ、容器の上方に向かって流れる方向である。 Further, in the various preferred embodiments of the coating apparatus of the present invention, the floating means further includes a second pressurized fluid introduction unit that introduces a pressurized fluid into the container in order to float the sphere in the container. It can be in the form. And in this case, the bottom of the container is closed; the second pressurized fluid introduction portion can be in the form of being attached to the bottom of the container. The number n of the second pressurized fluid introduction portions may be 1 or more. When n ≧ 2, it is desirable to arrange the second pressurized fluid introduction portion in n-fold symmetry (360 / n-degree symmetry) with the axis of the container as the axis of symmetry. The flow of the pressurized fluid introduced from the second pressurized fluid introduction portion is in the direction of flowing toward the sphere and toward the upper side of the container.

更には、本発明の塗布装置の上記各種の好ましい形態において、加圧流体は、ガス状物質から成る形態とすることができる。そして、この場合、加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御する形態とすることができる。ガス状物質として、具体的には、空気、窒素ガスを例示することができる。球体の表面と容器の側壁によって形成された隙間の間隔Gを制御することで、塗布液の厚さの制御を行うことができるが、隙間の間隔Gは、例えば、加圧流体の圧力及び流量によって行うことができる。隙間の間隔Gは、球体の表面に沿って不均一である形態とすることができるが、場合によっては均一である形態を含み得る。隙間の間隔Gは、球体の直径をR1、容器の直径をR2としたとき、
0<G<(R2-R1
で表すことができるが、例えば、
0.01mm≦(R2-R1)/2≦0.5mm
を満足することが好ましい。
Furthermore, in the various preferred embodiments of the coating apparatus of the present invention, the pressurized fluid can be in the form of a gaseous substance. In this case, the thickness of the coating liquid can be controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid. Specific examples of the gaseous substance include air and nitrogen gas. The thickness of the coating liquid can be controlled by controlling the gap G formed by the surface of the sphere and the side wall of the container. The gap G can be, for example, the pressure and flow rate of the pressurized fluid. Can be done by. The gap G may be in a non-uniform form along the surface of the sphere, but may include a uniform form in some cases. The gap G is when the diameter of the sphere is R 1 and the diameter of the container is R 2 .
0 <G <(R 2 -R 1 )
Can be represented by, for example
0.01 mm ≤ (R 2 -R 1 ) / 2 ≤ 0.5 mm
It is preferable to satisfy.

あるいは又、容器内で球体を浮遊させるために容器内に加圧流体を導入する加圧流体導入部から浮遊手段が成る形態の本発明の塗布装置において、容器の底部は閉塞されており;塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられており;ガス状物質から成る加圧流体及び塗布液は、加圧流体導入部から容器内に導入される形態とすることができる。そして、この場合、容器内に導入された塗布液は、容器の上部に設けられた塗布液排出部から排出される形態とすることができる。 Alternatively, in the coating apparatus of the present invention, which comprises a floating means from a pressurized fluid introduction portion that introduces a pressurized fluid into the container to suspend the sphere in the container, the bottom of the container is closed; coating. The pressurized fluid introduction part that also serves as the liquid introduction part is attached to the bottom of the container; the pressurized fluid and the coating liquid made of a gaseous substance are introduced into the container from the pressurized fluid introduction part. be able to. In this case, the coating liquid introduced into the container can be discharged from the coating liquid discharging portion provided in the upper part of the container.

更には、本発明の塗布装置における以上に説明した各種の好ましい形態において、加圧流体導入部の軸線は、容器の軸線上には無い形態とすることができるし、あるいは又、加圧流体導入部の軸線は、容器の軸線と非平行である形態とすることができる。 Furthermore, in the various preferred embodiments described above in the coating apparatus of the present invention, the axis of the pressurized fluid introduction portion may be formed not on the axis of the container, or the pressurized fluid introduction portion may be introduced. The axis of the portion can be in a form that is not parallel to the axis of the container.

更には、以上に説明した各種の好ましい形態、構成を含む本発明の塗布装置において、球体は、浮遊した状態において回転させられる形態とすることができる。球体の回転数として、1rpm乃至8000rpmを例示することができる。但し、これに限定するものではなく、球体は、浮遊した状態において回転していない形態とすることもできる。 Further, in the coating apparatus of the present invention including various preferable forms and configurations described above, the sphere can be in a form that can be rotated in a floating state. As the rotation speed of the sphere, 1 rpm to 8000 rpm can be exemplified. However, the present invention is not limited to this, and the sphere may be in a non-rotating form in a floating state.

本発明の塗布方法にあっては、球体の表面と容器の側壁によって形成された隙間に塗布液の液溜りが生成される形態とすることができる。そして、球体の表面と容器の側壁によって形成された隙間の間隔Gを制御することで、塗布液の厚さの制御を行うことができる。間隔Gに関しては、上述したとおりである。 In the coating method of the present invention, a pool of coating liquid can be formed in the gap formed by the surface of the sphere and the side wall of the container. Then, the thickness of the coating liquid can be controlled by controlling the gap G between the surface of the sphere and the gap formed by the side wall of the container. The interval G is as described above.

上記の好ましい形態を含む本発明の塗布方法にあっては、容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布した後、容器内において球体が浮遊した状態で塗布液を乾燥させる形態とすることができるし、容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布した後、浮遊手段によって球体を容器の上方に移動させ、容器の上方において球体が浮遊した状態で塗布液を乾燥させる形態とすることができる。尚、乾燥には、水や有機溶媒といった溶媒の蒸発だけでなく、塗布液組成物の化学変化、化学反応等が含まれる。乾燥方法として、遠赤外線を照射する乾燥方法、熱風を吹き付ける乾燥方法を挙げることができる。塗布液に依っては、加圧流体導入部から導入された加圧流体によって塗布液を乾燥させることもできる。 In the coating method of the present invention including the above-mentioned preferable form, the coating liquid is applied to the surface of the sphere floating in the container, and then the coating liquid is dried while the sphere is floating in the container. After applying the coating liquid to the surface of the sphere floating in the container, the sphere is moved above the container by the floating means, and the coating liquid is dried while the sphere is floating above the container. be able to. The drying includes not only evaporation of a solvent such as water or an organic solvent, but also chemical changes and chemical reactions of the coating liquid composition. Examples of the drying method include a drying method of irradiating far infrared rays and a drying method of blowing hot air. Depending on the coating liquid, the coating liquid can also be dried by the pressurized fluid introduced from the pressurized fluid introduction unit.

上記の各種好ましい形態を含む本発明の塗布方法にあっては、容器内で球体を浮遊させるために、ガス状物質から成る加圧流体が浮遊手段から容器内に導入される構成とすることができる。この場合の浮遊手段として、前述した加圧流体導入部を挙げることができる。そして、この場合、複数箇所から加圧流体が容器内に導入される構成とすることができる。複数箇所の浮遊手段として、前述した加圧流体導入部及び第2加圧流体導入部を挙げることができる。更には、これらの場合、加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御する構成とすることができる。 In the coating method of the present invention including the above-mentioned various preferable forms, in order to suspend the sphere in the container, a pressurized fluid made of a gaseous substance may be introduced into the container from the suspending means. can. As the floating means in this case, the above-mentioned pressurized fluid introduction section can be mentioned. Then, in this case, the pressurized fluid can be introduced into the container from a plurality of places. As the floating means at a plurality of locations, the above-mentioned pressurized fluid introduction section and the second pressurized fluid introduction section can be mentioned. Further, in these cases, the thickness of the coating liquid can be controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid.

あるいは又、上記の好ましい形態を含む本発明の塗布方法にあっては、容器内で球体を浮遊させるためのガス状物質から成る加圧流体、及び、塗布液が、浮遊手段から容器内に導入される構成とすることができる。そして、この場合、容器内に導入された塗布液は、容器の上部から排出される構成とすることもできる。 Alternatively, in the coating method of the present invention including the above preferred embodiment, a pressurized fluid composed of a gaseous substance for suspending spheres in the container and a coating liquid are introduced into the container from the floating means. Can be configured to be. In this case, the coating liquid introduced into the container may be discharged from the upper part of the container.

更には、本発明の塗布方法の以上に説明した好ましい構成において、容器内に導入された加圧流体の主たる流れ(具体的には、球体に向かって、且つ、容器の上方に向かって流れる加圧流体の主たる流れであり、以下の説明においても同様)は、容器の軸線上には無い形態とすることができるし、あるいは又、容器内に導入された加圧流体の主たる流れは、容器の軸線と非平行である形態とすることができる。 Furthermore, in the preferred configuration described above of the coating method of the present invention, the main flow of the pressurized fluid introduced into the container (specifically, the addition flowing toward the sphere and toward the upper part of the container). The main flow of the pressure fluid (also in the following description) can be in a form that is not on the axis of the container, or the main flow of the pressurized fluid introduced into the container is the container. It can be in a form that is non-parallel to the axis of.

更には、以上に説明した好ましい形態、構成を含む本発明の塗布方法において、球体は、浮遊した状態において回転させられる形態とすることができるが、これに限定するものではなく、浮遊した状態において回転していない形態とすることもできる。 Furthermore, in the coating method of the present invention including the preferred forms and configurations described above, the sphere can be in a form that can be rotated in a floating state, but is not limited to this, and in a floating state. It can also be in a non-rotating form.

本発明の塗布装置あるいは塗布方法において、球体の直径R1として、例えば、0.5mm乃至30mmを挙げることができる。また、球体を構成する材料として、アクリル系樹脂、アクリロニトリル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリカーボネートやポリスチレンといったポリスチレン系樹脂、ポリメチルメタアクリレート樹脂、ポリアクリロニトリル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、メラミン系樹脂等の各種プラスチック材料;酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、酸化セリウム、酸化ハフニウム、五酸化ニオブ、五酸化タンタル、酸化インジウム、酸化スズ、ITO、酸化亜鉛等の各種酸化物;窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化ガリウム等の各種窒化物;各種のガラス材料;SiC等の各種炭化物;水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、マグネシウムシリケート、シリコン(Si)、各種金属、各種合金を挙げることができる。あるいは又、球体を構成する材料として食品を挙げることもできる。 In the coating apparatus or coating method of the present invention, the diameter R 1 of the sphere can be, for example, 0.5 mm to 30 mm. As materials constituting the sphere, acrylic resin, acrylonitrile resin, polyurethane resin, polyvinyl chloride resin, polystyrene resin such as polycarbonate and polystyrene, polymethylmethacrylate resin, polyacrylonitrile resin, polyamide resin, etc. Various plastic materials such as polysiloxane resin and melamine resin; silicon oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, titanium oxide, cerium oxide, hafnium oxide, niobium pentoxide, tantalum pentoxide, indium oxide, tin oxide, ITO, zinc oxide Various oxides such as; various nitrides such as silicon nitride, aluminum nitride, gallium nitride; various glass materials; various carbides such as SiC; aluminum hydroxide, barium sulfate, magnesium silicate, silicon (Si), various metals, various An alloy can be mentioned. Alternatively, food can be mentioned as a material constituting the sphere.

容器を構成する材料として、ステンレス鋼(SUS304、SUS316等)、シリコン、石英を挙げることができるし、あるいは又、例えば、ポリカーボネート(PC)樹脂;ポリテトラフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン-ヘキサフルオロプロピレン共重合体、ポリクロロトリフルオロエチレン、テトラフルオロエチレン-エチレン共重合体、クロロトリフルオロエチレン-エチレン共重合体、ポリビニリデンフルオライド、ポリビニルフルオライド等のフッ素系樹脂;ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂やポリブチレンテレフタレート(PBT)樹脂;ポリイミド(PI)系樹脂;ポリアミド(PA)系樹脂;ポリスルホン(PSF)系樹脂;ポリエーテルスルホン(PES)系樹脂;ポリフェニレンスルフィド(PPS)系樹脂;ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)系樹脂;ポリエチレンナフタレート(PEN)系樹脂;シクロオレフィンポリマー(COP)樹脂といった各種樹脂を挙げることもできる。 Materials constituting the container may include stainless steel (SUS304, SUS316, etc.), silicon, quartz, or, for example, a polycarbonate (PC) resin; polytetrafluoroethylene, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether. Copolymers, tetrafluoroethylene-hexafluoropropylene copolymers, polychlorotrifluoroethylene, tetrafluoroethylene-ethylene copolymers, chlorotrifluoroethylene-ethylene copolymers, polyvinylidenefluorides, polyvinylfluorides, etc. Fluorine-based resin; Polyethylene terephthalate (PET) resin or polybutylene terephthalate (PBT) resin; Polyimide (PI) -based resin; Polypolymer (PA) -based resin; Polysulfone (PSF) -based resin; Polyether sulfone (PES) -based resin; Polyphenylene Various resins such as sulfide (PPS) -based resin; polyether ether ketone (PEEK) -based resin; polyethylene naphthalate (PEN) -based resin; cycloolefin polymer (COP) resin can also be mentioned.

加圧流体導入部や第2加圧流体導入部は、周知の加圧流体用のノズルから構成することができる。また、塗布液導入部は、例えば、ディスペンサや注射器、小型ポンプ、マイクロポンプから構成することができるし、あるいは又、塗布液及び加圧流体を噴霧、吐出するノズルから構成することもできる。 The pressurized fluid introduction section and the second pressurized fluid introduction section can be configured from a well-known nozzle for the pressurized fluid. Further, the coating liquid introduction unit may be composed of, for example, a dispenser, a syringe, a small pump, or a micropump, or may be composed of a nozzle for spraying and discharging the coating liquid and the pressurized fluid.

塗布液を構成する材料として、塗料、インク[銅(Cu)や銀(Ag)、アルミニウム(Al)、金(Au)、クロム(Cr)、これらの合金や化合物を含む導電性インクを含む]、ワックス状物質、レジスト材料、二酸化チタン(TiO2)を挙げることができる。これらの材料は、水や有機溶媒といった、塗布液を構成する材料に適した溶媒と共に、塗布液を構成する。塗布液の粘度として、1mPa・s乃至400mPa・sを例示することができる。塗布液の塗布量や供給量は、球体の表面積、要求される塗布膜の厚さ等から決定すればよい。塗布液を乾燥させた後の塗布膜の厚さとして、5×10-6m(5μm)乃至2×10-4m(200μm)を例示することができるし、塗布時の塗布液塗布量として0.004cm3乃至0.5cm3を例示することができる。塗布と乾燥を、所望の回数、繰り返すことで、所望の塗布膜の厚さを得ることもできる。 The materials constituting the coating liquid include paints and inks [including conductive inks containing copper (Cu), silver (Ag), aluminum (Al), gold (Au), chromium (Cr), and alloys and compounds thereof]. , Wax-like substances, resist materials, titanium dioxide (TiO 2 ). These materials constitute a coating liquid together with a solvent suitable for the material constituting the coating liquid, such as water and an organic solvent. As the viscosity of the coating liquid, 1 mPa · s to 400 mPa · s can be exemplified. The coating amount and the supply amount of the coating liquid may be determined from the surface area of the sphere, the required thickness of the coating film, and the like. As the thickness of the coating film after the coating liquid is dried, 5 × 10 -6 m (5 μm) to 2 × 10 -4 m (200 μm) can be exemplified, and the coating liquid coating amount at the time of coating can be exemplified. 0.004 cm 3 to 0.5 cm 3 can be exemplified. A desired coating film thickness can also be obtained by repeating coating and drying a desired number of times.

塗料として、アクリル系樹脂、スチレン・アクリル系樹脂、酢酸ビニル系樹脂、アクリル・シリコーン系樹脂等の各種塗料用バインダーを水や溶媒に分散、溶解させた樹脂溶液に、二酸化チタン、黒色酸化鉄、ベンガラ、クロムグリーン、カーボンブラック、銅フタロシアニン、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、クレーの無機顔料や有機顔料、及び、分散剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、成膜助剤、防カビ剤等の添加剤を必要量添加し、混合及び分散させたものを挙げることができる。 As paints, titanium dioxide, black iron oxide, etc. are added to a resin solution in which various paint binders such as acrylic resin, styrene / acrylic resin, vinyl acetate resin, acrylic / silicone resin are dispersed and dissolved in water or a solvent. Bengala, chrome green, carbon black, copper phthalocyanine, calcium carbonate, barium sulfate, talc, clay inorganic and organic pigments, dispersants, defoaming agents, leveling agents, thickeners, film forming aids, antifungal agents. Examples thereof include those in which a required amount of an additive such as an agent is added, mixed and dispersed.

実施例1は、本発明の塗布装置及び塗布方法(球体表面へのスピンコーティング法)に関する。 Example 1 relates to a coating device and a coating method (spin coating method on a sphere surface) of the present invention.

模式的な端面図を図1に示すように、実施例1の塗布装置は、
球体10の直径R1より大きな直径R2を有し、球体10を格納する円筒形の容器20、
容器20内で球体10を浮遊させるための浮遊手段、及び、
容器20内で浮遊した球体10の表面に塗布液を塗布するための塗布液導入部40、
を備えている。
As shown in FIG. 1 for a schematic end view, the coating device of the first embodiment is
A cylindrical container 20, having a diameter R 2 larger than the diameter R 1 of the sphere 10 and accommodating the sphere 10.
Floating means for suspending the sphere 10 in the container 20 and
Coating liquid introduction unit 40 for applying the coating liquid to the surface of the sphere 10 floating in the container 20,
It is equipped with.

実施例1の塗布装置において、浮遊手段は、容器20内で球体10を浮遊させるために容器20内に加圧流体を導入する加圧流体導入部30から成る。そして、容器20の底部21は閉塞されており、加圧流体導入部30は容器20の底部の中心に取り付けられている。容器20の底部21は半球状の形状を有する。加圧流体導入部30の軸線は容器20の軸線と一致している。塗布液導入部40は容器20の上方に配置されている。塗布液導入部40は容器20の軸線上には位置していない。これによって、後述するように、球体10の表面に塗布液導入部40から球体10の表面に塗布液を滴下したとき、球体10の領域Bに向う移動が一層容易になる。塗布液導入部40はアーム部42の一端に取り付けられており、アーム部42の他端は、アーム部42を回動及び上下動させる駆動装置41に取り付けられている。 In the coating device of the first embodiment, the floating means comprises a pressurized fluid introduction unit 30 that introduces a pressurized fluid into the container 20 in order to float the sphere 10 in the container 20. The bottom portion 21 of the container 20 is closed, and the pressurized fluid introduction portion 30 is attached to the center of the bottom portion of the container 20. The bottom 21 of the container 20 has a hemispherical shape. The axis of the pressurized fluid introduction section 30 coincides with the axis of the container 20. The coating liquid introduction portion 40 is arranged above the container 20. The coating liquid introduction portion 40 is not located on the axis of the container 20. As a result, as will be described later, when the coating liquid is dropped from the coating liquid introducing portion 40 onto the surface of the sphere 10 onto the surface of the sphere 10, the movement of the sphere 10 toward the region B becomes easier. The coating liquid introduction portion 40 is attached to one end of the arm portion 42, and the other end of the arm portion 42 is attached to a drive device 41 that rotates and moves the arm portion 42 up and down.

加圧流体は、ガス状物質、具体的には、空気から成る。そして、加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さが制御される。球体10の表面と容器20の側壁20Aによって形成された隙間の間隔Gを制御することで、塗布液の厚さの制御を行う。ここで、隙間の間隔Gは、例えば、加圧流体の圧力及び流量によって行う。隙間の間隔Gは、図1には、球体10の赤道面に沿って均一である状態を示しているが、実際には、図2に示すように、不均一である。隙間の間隔Gは、
0<G<(R2-R1
で表すことができるが、例えば、
0.01mm≦(R2-R1)/2≦0.5mm
を満足することが好ましい。ここで、具体的には、R1を5.0mmとし、R2を(R1+0.01mm)乃至(R1+0.5mm)とした。球体10は、浮遊した状態において回転させられる。球体10の回転数として、1rpm乃至8000rpmを例示することができる。
The pressurized fluid consists of a gaseous substance, specifically air. Then, the thickness of the coating liquid is controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid. The thickness of the coating liquid is controlled by controlling the gap G between the surface of the sphere 10 and the gap G formed by the side wall 20A of the container 20. Here, the gap G is determined by, for example, the pressure and flow rate of the pressurized fluid. The gap G is uniform along the equatorial plane of the sphere 10 in FIG. 1, but is actually non-uniform as shown in FIG. The gap G is
0 <G <(R 2 -R 1 )
Can be represented by, for example
0.01 mm ≤ (R 2 -R 1 ) / 2 ≤ 0.5 mm
It is preferable to satisfy. Here, specifically, R 1 is set to 5.0 mm, and R 2 is set to (R 1 + 0.01 mm) to (R 1 + 0.5 mm). The sphere 10 is rotated in a floating state. As the rotation speed of the sphere 10, 1 rpm to 8000 rpm can be exemplified.

実施例1において、球体10は直径R1=5.0mmのガラス球から成る。塗布液を構成する材料として、アセトン(粘度25mPa・s)を溶媒とするメタリック塗料(粘度50mPa・s)を塗布液(粘度200mPa・s)として用いた。また、容器20をステンレス鋼から作製した。加圧流体導入部30を、周知の加圧流体用のノズルから構成し、塗布液導入部40を、例えば、ディスペンサから構成した。厚さ0.1mmの塗布膜を得るために、塗布液の固形分を30%としたとき、塗布時の塗布量を約0.03cm3とした。 In Example 1, the sphere 10 is made of a glass sphere having a diameter R 1 = 5.0 mm. As a material constituting the coating liquid, a metallic paint (viscosity 50 mPa · s) using acetone (viscosity 25 mPa · s) as a solvent was used as the coating liquid (viscosity 200 mPa · s). Further, the container 20 was made of stainless steel. The pressurized fluid introduction unit 30 was composed of a well-known nozzle for pressurized fluid, and the coating liquid introduction unit 40 was composed of, for example, a dispenser. In order to obtain a coating film having a thickness of 0.1 mm, when the solid content of the coating liquid was 30%, the coating amount at the time of coating was set to about 0.03 cm 3 .

実施例1の塗布方法は、球体10の直径より大きな直径を有する円筒形の容器20内で、浮遊手段によって球体10を浮遊させながら球体10の表面に塗布液を塗布する。 In the coating method of Example 1, the coating liquid is applied to the surface of the sphere 10 while floating the sphere 10 by a floating means in a cylindrical container 20 having a diameter larger than the diameter of the sphere 10.

以下、実施例1の塗布装置の模式的な端面図である図1、図2、図3及び図4を参照して、実施例1の塗布方法を説明する。尚、これらの図において、容器20の軸線及び加圧流体導入部30の軸線を一点鎖線で示し、球体10の中心を通り、容器20の軸線と平行な球体中心線を二点鎖線で示す。 Hereinafter, the coating method of Example 1 will be described with reference to FIGS. 1, 2, 3, and 4 which are schematic end views of the coating apparatus of Example 1. In these figures, the axis of the container 20 and the axis of the pressurized fluid introduction portion 30 are shown by a alternate long and short dash line, and the center line of the sphere that passes through the center of the sphere 10 and is parallel to the axis of the container 20 is indicated by the alternate long and short dash line.

先ず、容器20の底部21に取り付けられた加圧流体導入部30から加圧空気を容器20の内部に導入する。そして、図1に示すように、塗布液導入部40を容器20の上方に位置させない状態で、例えば、真空吸着装置(図示せず)を用いて球体を容器20の内部に配置する。容器20内で球体10を浮遊させるために、ガス状物質(具体的には、空気)から成る加圧流体を浮遊手段(加圧流体導入部30)から容器20内に導入する。球体10は、円筒形の容器20内で浮遊手段(具体的には、加圧流体導入部30)から導入された加圧流体によって、浮遊状態となる。具体的には、加圧流体導入部30から空気を噴射し、球体10の質量と浮遊力(揚力)のバランスを図示しないマスフローコントローラで制御して球体を浮遊させる。次いで、図2に示すように、駆動装置41を作動させて、塗布液導入部40を容器20の上方に位置させる。そして、図3に示すように、塗布液導入部40から球体10の表面に塗布液を滴下する。 First, pressurized air is introduced into the container 20 from the pressurized fluid introduction unit 30 attached to the bottom 21 of the container 20. Then, as shown in FIG. 1, the sphere is arranged inside the container 20 by using, for example, a vacuum suction device (not shown) in a state where the coating liquid introduction portion 40 is not positioned above the container 20. In order to suspend the sphere 10 in the container 20, a pressurized fluid made of a gaseous substance (specifically, air) is introduced into the container 20 from the suspending means (pressurized fluid introduction unit 30). The sphere 10 is brought into a floating state by the pressurized fluid introduced from the floating means (specifically, the pressurized fluid introduction unit 30) in the cylindrical container 20. Specifically, air is injected from the pressurized fluid introduction unit 30, and the balance between the mass of the sphere 10 and the floating force (lift) is controlled by a mass flow controller (not shown) to float the sphere. Next, as shown in FIG. 2, the drive device 41 is operated to position the coating liquid introduction portion 40 above the container 20. Then, as shown in FIG. 3, the coating liquid is dropped from the coating liquid introduction portion 40 onto the surface of the sphere 10.

ところで、初期に加圧流体の吹き付けバランスを崩した状態で加圧流体導入部30から空気を球体10に吹き付けると、図1の「A」で示す球体10と容器20の側壁20Aの領域Aにおける圧力と、図1の「B」で示す球体10と容器20の側壁20Aの領域Bにおける圧力とが、等しくなくなる。その結果、球体10は、浮遊した状態において回転を開始し、マグナス効果が発生し、領域Aの圧力が高くなり、領域Bの圧力が低く成る。そして、球体10には力が働き、球体10は領域Bに向かって数十μm移動する(図2参照)。 By the way, when air is blown to the sphere 10 from the pressurized fluid introduction portion 30 in a state where the spraying balance of the pressurized fluid is initially lost, in the region A of the sphere 10 shown by “A” in FIG. 1 and the side wall 20A of the container 20. The pressure and the pressure in the region B of the side wall 20A of the sphere 10 and the side wall 20A of the container 20 shown by “B” in FIG. 1 are not equal. As a result, the sphere 10 starts rotating in a floating state, the Magnus effect is generated, the pressure in the region A becomes high, and the pressure in the region B becomes low. Then, a force acts on the sphere 10, and the sphere 10 moves toward the region B by several tens of μm (see FIG. 2).

そして、この状態において、球体10の表面に塗布液導入部40から球体10の表面に塗布液を滴下すると、領域Bには楔効果も働き、圧力が低下しても、球体10の赤道面よりも下方には塗布液は浸入し難く、球体10の表面と容器20の側壁20Aによって形成された隙間に余剰の塗布液の液溜りが生成され(図3参照)、しかも、塗布液はレベリングされ、余剰の塗布液は押し戻され、塗布膜の膜厚が一定となるように働く。一方、領域Aは高圧吹き出し側であり、球体10の赤道面より下方には塗布液は浸入し難い。そして、塗布液は球体10の上面に万遍無く広がり、球体10の表面に塗布液が展開する(図4参照)。球体10は回転しながらズレていくため、一定方向の回転ではなく、回転軸が種々の方向に徐々にずれるので(移動するので)、球体10の全表面に塗布液が行き渡る。しかも、球体10は浮遊しているが故に、塗布中及び塗布後にも球体10は容器20の側壁20Aに触れることがない。球体10の表面と容器20の側壁20Aによって形成された隙間の間隔Gを制御することで、塗布液の厚さの制御を行うことができるし、加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御することができる。尚、塗布液の供給が完了したならば、駆動装置41を作動させて、塗布液導入部40を容器20の上方に位置しない位置に移動させる。 Then, in this state, when the coating liquid is dropped on the surface of the sphere 10 from the coating liquid introducing portion 40 on the surface of the sphere 10, a wedge effect also acts on the region B, and even if the pressure drops, it is from the equatorial plane of the sphere 10. However, it is difficult for the coating liquid to penetrate below, and an excess coating liquid pool is generated in the gap formed by the surface of the sphere 10 and the side wall 20A of the container 20 (see FIG. 3), and the coating liquid is leveled. , The excess coating liquid is pushed back and works so that the film thickness of the coating film becomes constant. On the other hand, the region A is on the high-pressure blowing side, and it is difficult for the coating liquid to penetrate below the equatorial plane of the sphere 10. Then, the coating liquid spreads evenly on the upper surface of the sphere 10, and the coating liquid develops on the surface of the sphere 10 (see FIG. 4). Since the sphere 10 shifts while rotating, the axis of rotation gradually shifts (because it moves) in various directions instead of rotating in a fixed direction, so that the coating liquid spreads over the entire surface of the sphere 10. Moreover, since the sphere 10 is floating, the sphere 10 does not touch the side wall 20A of the container 20 during and after coating. By controlling the gap G between the surface of the sphere 10 and the side wall 20A of the container 20, the thickness of the coating liquid can be controlled, the pressure and flow rate of the pressurized fluid, and the coating liquid can be controlled. The thickness of the coating liquid can be controlled based on the supply amount of. When the supply of the coating liquid is completed, the drive device 41 is operated to move the coating liquid introduction unit 40 to a position not located above the container 20.

容器20内で浮遊した球体10の表面に塗布液を塗布した後、容器20内において球体10が浮遊した状態で塗布液を乾燥させる。具体的には、塗布液の塗布完了後、加圧流体導入部30から導入された加圧流体によって、塗布液を乾燥する。このとき、加圧流体を加熱して、熱風乾燥を行ってもよい。また、容器20の上方に乾燥装置(図示せず)を更に備えている形態とすることもできる。乾燥装置として、遠赤外線を照射する乾燥装置、熱風を吹き付ける乾燥装置を挙げることができ、乾燥装置を用いた遠赤外線を照射する乾燥方法や熱風を吹き付ける乾燥方法によって、球体10を乾燥させてもよい。あるいは又、これらの両方を実行してもよい。 After applying the coating liquid to the surface of the sphere 10 suspended in the container 20, the coating liquid is dried while the sphere 10 is suspended in the container 20. Specifically, after the coating of the coating liquid is completed, the coating liquid is dried by the pressurized fluid introduced from the pressurized fluid introduction unit 30. At this time, the pressurized fluid may be heated to perform hot air drying. Further, a drying device (not shown) may be further provided above the container 20. Examples of the drying device include a drying device that irradiates far infrared rays and a drying device that blows hot air, and even if the sphere 10 is dried by a drying method that irradiates far infrared rays using a drying device or a drying method that blows hot air. good. Alternatively, both may be performed.

あるいは又、容器20内で浮遊した球体10の表面に塗布液を塗布した後、加圧流体の流量や圧力を増加させることで浮遊手段によって球体10を容器20の上方に移動させ、容器20の上方において球体が浮遊した状態で塗布液を乾燥させることもできる。この場合には、容器20の上方に乾燥装置(図示せず)を配置すればよい。乾燥装置として、遠赤外線を照射する乾燥装置、熱風を吹き付ける乾燥装置を挙げることができ、乾燥装置を用いた遠赤外線を照射する乾燥方法や熱風を吹き付ける乾燥方法によって、球体10を乾燥させればよい。 Alternatively, after applying the coating liquid to the surface of the sphere 10 suspended in the container 20, the sphere 10 is moved above the container 20 by the floating means by increasing the flow rate and pressure of the pressurized fluid, and the container 20 is moved. It is also possible to dry the coating liquid with the sphere floating above. In this case, a drying device (not shown) may be placed above the container 20. Examples of the drying device include a drying device that irradiates far infrared rays and a drying device that blows hot air. If the sphere 10 is dried by a drying method that irradiates far infrared rays using a drying device or a drying method that blows hot air. good.

以上のとおり、本発明の塗布装置あるいは塗布方法にあっては、容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布するので、浮遊した球体は容器内での動きに制約を受けるが、浮遊した球体は容器の側壁に接触することが無いので、球体の表面において均一な塗布膜を容易に得ることができる。また、塗布液を乾燥するための乾燥部を特別に設ける必要が無いので、塗布装置の構造、構成の簡素化を図ることができる。 As described above, in the coating apparatus or coating method of the present invention, since the coating liquid is applied to the surface of the sphere floating in the container, the floating sphere is restricted in movement in the container, but floats. Since the sphere does not come into contact with the side wall of the container, a uniform coating film can be easily obtained on the surface of the sphere. Further, since it is not necessary to provide a special drying portion for drying the coating liquid, the structure and configuration of the coating apparatus can be simplified.

加圧流体の吹き付けバランスを崩した状態で加圧流体導入部30から空気を球体10に吹き付けるために、図5に示すように、加圧流体導入部30の軸線は、容器20の軸線上には無い状態で、即ち、加圧流体導入部30は、容器20の底部21に、但し、底部21の中心以外の所に取り付けられている形態とすることができる。加圧流体導入部30の軸線は容器20の軸線と平行である。そして、容器20内に導入された加圧流体の主たる流れ(具体的には、球体10に向かって、且つ、容器20の上方に向かって流れる加圧流体の主たる流れ)は、容器20の軸線上には無い。あるいは又、図6に示すように、加圧流体導入部30の軸線は、容器20の軸線と非平行である形態とすることもできる。加圧流体導入部30は、容器20の底部21の中心に取り付けられていてもよいし、底部21の中心以外の所に取り付けられていてもよい。そして、容器20内に導入された加圧流体の主たる流れは、容器20の軸線と非平行である。 In order to blow air from the pressurized fluid introduction unit 30 onto the sphere 10 in a state where the spraying balance of the pressurized fluid is lost, the axis of the pressurized fluid introduction unit 30 is on the axis of the container 20 as shown in FIG. That is, the pressurized fluid introduction portion 30 may be attached to the bottom portion 21 of the container 20, except for the center of the bottom portion 21. The axis of the pressurized fluid introduction section 30 is parallel to the axis of the container 20. The main flow of the pressurized fluid introduced into the container 20 (specifically, the main flow of the pressurized fluid flowing toward the sphere 10 and upward of the container 20) is the axis of the container 20. Not on the line. Alternatively, as shown in FIG. 6, the axis of the pressurized fluid introduction unit 30 may be in a form that is not parallel to the axis of the container 20. The pressurized fluid introduction portion 30 may be attached to the center of the bottom portion 21 of the container 20, or may be attached to a place other than the center of the bottom portion 21. The main flow of the pressurized fluid introduced into the container 20 is non-parallel to the axis of the container 20.

実施例2の塗布装置は、実施例1の塗布装置の変形である。模式的な端面図を図7に示すように、浮遊手段は、容器20内で球体10を浮遊させるために容器20内に加圧流体を導入する第2加圧流体導入部31を更に備えている。そして、複数箇所から加圧流体が容器20内に導入される。容器20の底部21は閉塞されており、第2加圧流体導入部31は容器20の底部21に取り付けられている。第2加圧流体導入部31の数は、1以上であればよい。具体的には、加圧流体導入部30は容器20の底部21の中心に取り付けられており、第2加圧流体導入部31は容器20の底部21の中心から離れた所に取り付けられている。第2加圧流体導入部31の数を3とし、各第2加圧流体導入部31を、容器20の軸線を中心軸とした3回対称(120度対称)に配置した。但し、第2加圧流体導入部31の数、各第2加圧流体導入部31の配置状態は、これに限定するものではない。尚、図7には、3つの第2加圧流体導入部31の内の1つを図示している。このように、第2加圧流体導入部31を配置することで、加圧流体の圧力、流量及び流れの方向の高精度、高精密な制御を一層容易に行うことができる。 The coating device of the second embodiment is a modification of the coating device of the first embodiment. As shown in FIG. 7 for a schematic end view, the floating means further includes a second pressurized fluid introduction unit 31 that introduces a pressurized fluid into the container 20 in order to suspend the sphere 10 in the container 20. There is. Then, the pressurized fluid is introduced into the container 20 from a plurality of places. The bottom portion 21 of the container 20 is closed, and the second pressurized fluid introduction portion 31 is attached to the bottom portion 21 of the container 20. The number of the second pressurized fluid introduction portions 31 may be 1 or more. Specifically, the pressurized fluid introduction portion 30 is attached to the center of the bottom 21 of the container 20, and the second pressurized fluid introduction portion 31 is attached to a place away from the center of the bottom 21 of the container 20. .. The number of the second pressurized fluid introduction portions 31 was set to 3, and each of the second pressurized fluid introduction portions 31 was arranged in a three-fold symmetry (120-degree symmetry) with the axis of the container 20 as the central axis. However, the number of the second pressurized fluid introduction units 31 and the arrangement state of each second pressurized fluid introduction unit 31 are not limited to this. Note that FIG. 7 illustrates one of the three second pressurized fluid introduction units 31. By arranging the second pressurized fluid introduction unit 31 in this way, it is possible to more easily perform highly accurate and highly accurate control of the pressure, flow rate and flow direction of the pressurized fluid.

以上の点を除き、実施例2の塗布装置の構成、構造は、実施例1の塗布装置あるいはその変形の構成、構造と同様とすることができるし、実施例2の塗布装置を用いた塗布方法は、実施例1の塗布方法と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。 Except for the above points, the configuration and structure of the coating device of Example 2 can be the same as the configuration and structure of the coating device of Example 1 or a modification thereof, and the coating using the coating device of Example 2 can be used. Since the method can be the same as the coating method of Example 1, detailed description thereof will be omitted.

実施例3は、実施例1~実施例2の塗布装置の変形である。実施例3の塗布装置にあっても、浮遊手段は、容器20内で球体10を浮遊させるために容器20内に加圧流体を導入する加圧流体導入部から成る。そして、模式的な端面図を図8に示すように、容器20の底部は閉塞されているが、実施例1の塗布装置と異なり、塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部32が容器20の底部に取り付けられており、ガス状物質から成る加圧流体及び塗布液は加圧流体導入部32から容器20内に導入される。場合によっては、容器20内に導入された塗布液は、容器20の上部に設けられた塗布液排出部から排出される。また、実施例3の塗布方法にあっては、容器20内で球体10を浮遊させるためのガス状物質から成る加圧流体、及び、塗布液が、浮遊手段から容器20内に導入される。場合によっては、容器20内に導入された塗布液は、容器20の上部から排出される。 Example 3 is a modification of the coating apparatus of Examples 1 to 2. Even in the coating device of the third embodiment, the floating means includes a pressurized fluid introduction unit that introduces a pressurized fluid into the container 20 in order to float the sphere 10 in the container 20. As shown in FIG. 8, a schematic end view shows that the bottom of the container 20 is closed, but unlike the coating device of the first embodiment, the pressurized fluid introduction portion 32 that also serves as the coating liquid introduction portion is the container. A pressurized fluid and a coating liquid, which are attached to the bottom of the 20 and are made of a gaseous substance, are introduced into the container 20 from the pressurized fluid introduction portion 32. In some cases, the coating liquid introduced into the container 20 is discharged from the coating liquid discharging portion provided in the upper part of the container 20. Further, in the coating method of Example 3, a pressurized fluid composed of a gaseous substance for suspending the sphere 10 in the container 20 and a coating liquid are introduced into the container 20 from the floating means. In some cases, the coating liquid introduced into the container 20 is discharged from the upper part of the container 20.

尚、実施例3においても、回転する球体10の下面に吹き付けられた塗布液は、球体10の回転に伴い、領域A側から回転する球体10の上面に展開されるが、楔効果が働く領域Bにおいて、球体10の赤道面よりも下方には塗布液は浸入し難い。そして、球体10の表面と容器20の側壁20Aによって形成された隙間に余剰の塗布液の液溜りが生成され(図3参照)、しかも、塗布液はレベリングされ、余剰の塗布液は押し戻され、塗布膜の膜厚が一定となるように働く。そして、塗布液は球体10の表面に万遍無く広がり、球体10の表面に塗布液が展開する(図4参照)。球体10は回転しながらズレていくため、一定方向の回転ではなく、回転軸が種々の方向に徐々にずれるので(移動するので)、球体10の全表面に塗布液が行き渡る。しかも、球体10は浮遊しているが故に、塗布中及び塗布後にも球体10は容器20の側壁20Aに触れることがない。球体10の表面と容器20の側壁20Aによって形成された隙間の間隔Gを制御することで、塗布液の厚さの制御を行うことができるし、加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御することができる。 Also in Example 3, the coating liquid sprayed on the lower surface of the rotating sphere 10 is developed on the upper surface of the rotating sphere 10 from the region A side as the sphere 10 rotates, but the region where the wedge effect works. In B, it is difficult for the coating liquid to penetrate below the equatorial plane of the sphere 10. Then, a pool of excess coating liquid is generated in the gap formed by the surface of the sphere 10 and the side wall 20A of the container 20 (see FIG. 3), and the coating liquid is leveled and the excess coating liquid is pushed back. It works so that the film thickness of the coating film is constant. Then, the coating liquid spreads evenly on the surface of the sphere 10, and the coating liquid develops on the surface of the sphere 10 (see FIG. 4). Since the sphere 10 shifts while rotating, the axis of rotation gradually shifts (because it moves) in various directions instead of rotating in a fixed direction, so that the coating liquid spreads over the entire surface of the sphere 10. Moreover, since the sphere 10 is floating, the sphere 10 does not touch the side wall 20A of the container 20 during and after coating. By controlling the gap G between the surface of the sphere 10 and the side wall 20A of the container 20, the thickness of the coating liquid can be controlled, the pressure and flow rate of the pressurized fluid, and the coating liquid can be controlled. The thickness of the coating liquid can be controlled based on the supply amount of.

場合によっては、模式的な端面図を図9に示すように、容器20の上端部に加圧流体排出口23を有する蓋22を取り付けてもよい。蓋22を、図示しない開閉装置によって開閉すればよい。蓋22と球体10の上面とによって形成される空間を塗布液で満たしてもよい。容器20内に導入された塗布液は、加圧流体排出口23から排出することができるが、この排出された塗布液は、廃棄してもよいし、回収してもよい。 In some cases, as shown in FIG. 9 as a schematic end view, a lid 22 having a pressurized fluid discharge port 23 may be attached to the upper end portion of the container 20. The lid 22 may be opened and closed by an opening / closing device (not shown). The space formed by the lid 22 and the upper surface of the sphere 10 may be filled with the coating liquid. The coating liquid introduced into the container 20 can be discharged from the pressurized fluid discharge port 23, and the discharged coating liquid may be discarded or recovered.

以上の点を除き、実施例3の塗布装置の構成、構造は、実施例1~実施例2の塗布装置あるいはその変形の構成、構造と同様とすることができるし、実施例3の塗布装置を用いた塗布方法は、実施例1の塗布方法と同様とすることができるので、詳細な説明は省略する。 Except for the above points, the configuration and structure of the coating apparatus of Example 3 can be the same as the configuration and structure of the coating apparatus of Examples 1 to 2 or a modification thereof, and the coating apparatus of Example 3 can be used. Since the coating method using the above can be the same as the coating method of Example 1, detailed description thereof will be omitted.

尚、模式的な端面図を図9に示した蓋22を配する例では、加圧流体導入部30や第2加圧流体導入部31を容器20の底部21に取り付け、蓋22に塗布液供給口及び加圧流体排出口を設けてもよい。そして、蓋22と球体10の上面とによって形成される空間を塗布液で満たしてもよい。容器20内に導入された塗布液は、加圧流体排出口から排出することができるが、この排出された塗布液は、廃棄してもよいし、回収してもよい。場合によっては、容器20の底部21に塗布液排出口を設けてもよい。 In the example in which the lid 22 whose schematic end view is shown in FIG. 9 is arranged, the pressurized fluid introduction portion 30 and the second pressurized fluid introduction portion 31 are attached to the bottom portion 21 of the container 20, and the coating liquid is attached to the lid 22. A supply port and a pressurized fluid discharge port may be provided. Then, the space formed by the lid 22 and the upper surface of the sphere 10 may be filled with the coating liquid. The coating liquid introduced into the container 20 can be discharged from the pressurized fluid discharge port, and the discharged coating liquid may be discarded or recovered. In some cases, a coating liquid discharge port may be provided at the bottom 21 of the container 20.

ところで、塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部32として、如何なる装置を用いることもできるが、以下、その一例を実施例4として説明する。尚、以下の説明において、塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部32を、『塗布液・加圧流体導入ノズル』と呼ぶ。 By the way, any device can be used as the pressurized fluid introduction unit 32 that also serves as the coating liquid introduction unit, and an example thereof will be described below as Example 4. In the following description, the pressurized fluid introduction unit 32 that also serves as the coating liquid introduction unit is referred to as a “coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle”.

実施例4は、本発明の塗布装置に組み込まれる塗布液・加圧流体導入ノズル(加圧流体導入部32)に関する。実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルの先端部を適切な方法で、実施例1~実施例3において説明した塗布装置における容器20の底部21に取り付ければよい。 Example 4 relates to a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle (pressurized fluid introduction unit 32) incorporated in the coating apparatus of the present invention. The tip of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4 may be attached to the bottom 21 of the container 20 in the coating apparatus described in Examples 1 to 3 by an appropriate method.

図12の矢印A-Aに沿った実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図(任意の方向に延びる第2仮想平面で切断したときの塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な断面図)を図10に示し、図10の矢印B-Bに沿った模式的な端面図を図12に示す。また、図10に示すと同様の実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図を図13に示し、図10に示すと同様の実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルの模式的な端面図において、加圧流体や塗布液の流れを模式的に図14に示す。更には、実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルを含む塗布液供給システムの概念図を図15に示す。尚、以下の説明において、ノズル部材の軸線をX軸、X軸に垂直であって、任意の方向に延びる軸をY軸、X軸及びY軸に垂直な軸線をZ軸とする。 Schematic end view of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4 along the arrows AA of FIG. 12 (introduction of coating liquid / pressurized fluid when cut in a second virtual plane extending in an arbitrary direction). A schematic cross-sectional view of the nozzle) is shown in FIG. 10, and a schematic end view along the arrows BB of FIG. 10 is shown in FIG. Further, a schematic end view of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4 similar to that shown in FIG. 10 is shown in FIG. 13, and the coating liquid / pressurized fluid of Example 4 similar to that shown in FIG. 10 is shown. In the schematic end view of the introduction nozzle, the flow of the pressurized fluid and the coating liquid is schematically shown in FIG. Further, FIG. 15 shows a conceptual diagram of the coating liquid supply system including the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4. In the following description, the axis of the nozzle member is the X-axis, the axis perpendicular to the X-axis is the Y-axis, and the X-axis and the axis perpendicular to the Y-axis are the Z-axis.

図10に示すように、実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズル120は、ケーシング部材130、及び、ケーシング部材130内に格納されたノズル部材140から成り、ノズル部材140の後端部から供給された塗布液(図14において、白抜きの矢印で示す)をノズル部材140の先端部から吐出し、塗布膜を得る塗布液・加圧流体導入ノズルである。 As shown in FIG. 10, the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle 120 of the fourth embodiment is composed of a casing member 130 and a nozzle member 140 housed in the casing member 130, from the rear end portion of the nozzle member 140. This is a coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle for obtaining a coating film by discharging the supplied coating liquid (indicated by a white arrow in FIG. 14) from the tip of the nozzle member 140.

そして、ノズル部材140は、ノズル部材140の先端部からノズル部材140の後端部に向かって、第1領域141、第2領域142、第3領域143及び第4領域144から構成されており、
ノズル部材140は、
ノズル部材140(具体的には、ノズル部材140の中心部)をノズル部材140の軸線AXに沿って貫通する塗布液流路150、
塗布液流路150の後端部に設けられた塗布液供給口151、及び、
塗布液流路150の先端部に設けられた塗布液吐出口152、
を備えている。
The nozzle member 140 is composed of a first region 141, a second region 142, a third region 143, and a fourth region 144 from the tip end portion of the nozzle member 140 toward the rear end portion of the nozzle member 140.
The nozzle member 140 is
The coating liquid flow path 150, which penetrates the nozzle member 140 (specifically, the central portion of the nozzle member 140) along the axis AX of the nozzle member 140,
The coating liquid supply port 151 provided at the rear end of the coating liquid flow path 150, and
Coating liquid discharge port 152 provided at the tip of the coating liquid flow path 150,
It is equipped with.

また、第1領域141の外面141’は円筒形状を有し、第1領域141と対向するケーシング部材130の内面131と、第1領域141の外面141’との間には、第1隙間部161が設けられており、
第3領域143と対向するケーシング部材130の内面133と、第3領域143の外面143’との間には、空間部145が設けられており、
第3領域143と対向するケーシング部材130には、空間部145に連通した加圧流体供給口135が設けられており、
第4領域144は、空間部145を閉塞している。
Further, the outer surface 141'of the first region 141 has a cylindrical shape, and a first gap portion is provided between the inner surface 131 of the casing member 130 facing the first region 141 and the outer surface 141'of the first region 141. 161 is provided,
A space portion 145 is provided between the inner surface 133 of the casing member 130 facing the third region 143 and the outer surface 143'of the third region 143.
The casing member 130 facing the third region 143 is provided with a pressurized fluid supply port 135 communicating with the space portion 145.
The fourth region 144 closes the space portion 145.

更には、ノズル部材140の軸線AXに垂直な第1仮想平面と平行な仮想平面で切断したときの第3領域143の外面143’の断面の少なくとも一部は、第2領域142に向かって縮小しており、
第2領域142には、ノズル部材140の軸線AXを含む第2仮想平面に対して平行な仮想平面(便宜上、『第3仮想平面』と呼ぶ)内に含まれたスリット部163が形成されており(図12参照)、
加圧流体供給口135から空間部145に導入された加圧流体は、第3領域143の外面143’と衝突して旋回流となり、旋回流となった加圧流体は、スリット部163から第1隙間部161を経由して外部に噴出(噴射、吐出)される。
Further, at least a part of the cross section of the outer surface 143'of the third region 143 when cut in the virtual plane parallel to the first virtual plane perpendicular to the axis AX of the nozzle member 140 is reduced toward the second region 142. And
In the second region 142, a slit portion 163 included in a virtual plane parallel to the second virtual plane including the axis AX of the nozzle member 140 (referred to as a “third virtual plane” for convenience) is formed. Slit (see Figure 12),
The pressurized fluid introduced into the space portion 145 from the pressurized fluid supply port 135 collides with the outer surface 143'of the third region 143 and becomes a swirling flow, and the pressurized fluid that has become a swirling flow is the first from the slit portion 163. 1 It is ejected (injected, discharged) to the outside via the gap portion 161.

尚、より具体的には、第2領域142は第1領域側に切頭円錐形状の外面142’を有し、第2領域142と対向するケーシング部材130の内面132と、第2領域142の切頭円錐形状の外面142’との間には、第2隙間部162が設けられている。また、より具体的には、加圧流体供給口135から空間部145に導入された加圧流体は、第3領域143の外面143’と衝突して旋回流(図14において、黒い矢印で示す)となり、旋回流となった加圧流体は、第2隙間部162及びスリット部163から第1隙間部161を経由して外部に噴出(噴射、吐出)される。尚、図14において、外部に噴出(噴射、吐出)された加圧流体(便宜上、『噴出加圧流体』と呼ぶ)を矢印及び黒い矢印で示し、塗布液吐出口152から吐出された塗布液を白丸で示す。 More specifically, the second region 142 has a truncated cone-shaped outer surface 142'on the first region side, and the inner surface 132 of the casing member 130 facing the second region 142 and the second region 142. A second gap 162 is provided between the truncated cone-shaped outer surface 142'and the outer surface 142'. More specifically, the pressurized fluid introduced from the pressurized fluid supply port 135 into the space portion 145 collides with the outer surface 143'of the third region 143 and swirls (indicated by a black arrow in FIG. 14). ), And the pressurized fluid that has become a swirling flow is ejected (injected, discharged) from the second gap portion 162 and the slit portion 163 to the outside via the first gap portion 161. In FIG. 14, the pressurized fluid ejected (injected and discharged) to the outside (referred to as “spouting pressurized fluid” for convenience) is indicated by an arrow and a black arrow, and the coating liquid discharged from the coating liquid discharge port 152 is indicated by an arrow and a black arrow. Is indicated by a white circle.

円筒形状を有する第1領域141の外面141’と、切頭円錐形状を有する第2領域142の外面142’とは、繋がっている。第3領域143の外面143’の断面の少なくとも一部は、第2領域142に繋がる部分である。即ち、第3領域143の外面143’の断面の縮小した部分は、第2領域に繋がる部分から第4領域に向かって延びている。スリット部163は、空間部145と連通し、且つ、第1隙間部161と連通している。スリット部163は、第2隙間部162と連通していてもよいし、第2隙間部162と連通していなくともよい。スリット部163は第3仮想平面内に含まれるが、第3仮想平面は第2仮想平面と厳密に平行である必要は無い。第1隙間部161は、第1領域141と対向するケーシング部材130の内面131と第1領域141の外面141’との間の全周に設けられていることが望ましいが、これらの間の一部分に設けられていてもよい。第2隙間部162は、第2領域142と対向するケーシング部材130の内面132と第2領域142の外面142’との間の全周に設けられていることが望ましいが、これらの間の一部分に設けられていてもよい。加圧流体供給口135は、第2仮想平面内に位置する。切頭円錐形状の外面142’のノズル部材後端部側の直径をRTC-2、第2領域に繋がった第3領域143の外面143’の直径をR30としたとき(図13参照)、RTC-2とR30は、限定するものではないが、0.3≦R30/RTC-2≦0.7を満足することが好ましい。 The outer surface 141'of the first region 141 having a cylindrical shape and the outer surface 142' of the second region 142 having a truncated cone shape are connected to each other. At least a part of the cross section of the outer surface 143'of the third region 143 is a portion connected to the second region 142. That is, the reduced portion of the cross section of the outer surface 143'of the third region 143 extends from the portion connected to the second region toward the fourth region. The slit portion 163 communicates with the space portion 145 and also communicates with the first gap portion 161. The slit portion 163 may or may not communicate with the second gap portion 162, or may not communicate with the second gap portion 162. The slit portion 163 is included in the third virtual plane, but the third virtual plane does not have to be exactly parallel to the second virtual plane. It is desirable that the first gap portion 161 is provided on the entire circumference between the inner surface 131 of the casing member 130 facing the first region 141 and the outer surface 141'of the first region 141, but a part between them. It may be provided in. It is desirable that the second gap portion 162 is provided on the entire circumference between the inner surface 132 of the casing member 130 facing the second region 142 and the outer surface 142'of the second region 142, but a part between them. It may be provided in. The pressurized fluid supply port 135 is located in the second virtual plane. When the diameter of the outer surface 142'of the truncated cone shape on the rear end side of the nozzle member is R TC-2 , and the diameter of the outer surface 143'of the third region 143 connected to the second region is R 30 (see FIG. 13). , R TC-2 and R 30 are not limited, but preferably satisfy 0.3 ≤ R 30 / R TC-2 ≤ 0.7.

また、実施例4の塗布液供給システム110は、図15に示すように、
上述した実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズル120、
ノズル部材140を構成する塗布液供給口151に塗布液を供給する塗布液供給装置170(塗布液供給系)、及び、
加圧流体供給口135に加圧流体を供給する加圧流体供給装置180(加圧流体供給系)、
を備えている。
Further, as shown in FIG. 15, the coating liquid supply system 110 of Example 4 has a coating liquid supply system 110.
The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle 120 of Example 4 described above,
The coating liquid supply device 170 (coating liquid supply system) that supplies the coating liquid to the coating liquid supply port 151 constituting the nozzle member 140, and
Pressurized fluid supply device 180 (pressurized fluid supply system) that supplies pressurized fluid to the pressurized fluid supply port 135,
It is equipped with.

実施例4の塗布液供給システム110において、図15に示すように、塗布液供給装置(塗布液供給系)170は、ポンプ171、塗布液供給口151とポンプ171とを結ぶ配管172、及び、配管172の途中に配設された2つのオリフィス173,174を備えている。更には、2つのオリフィス173,174の間の配管172には排出管175が接続されており、排出管175の途中にはトラップ部176が設けられており、排出管175は、圧力調整手段177を介して系外に繋がっている。 In the coating liquid supply system 110 of the fourth embodiment, as shown in FIG. 15, the coating liquid supply device (coating liquid supply system) 170 includes a pump 171 and a pipe 172 connecting the coating liquid supply port 151 and the pump 171. It is provided with two orifices 173 and 174 arranged in the middle of the pipe 172. Further, a discharge pipe 175 is connected to the pipe 172 between the two orifices 173 and 174, a trap portion 176 is provided in the middle of the discharge pipe 175, and the discharge pipe 175 is a pressure adjusting means 177. It is connected to the outside of the system via.

ポンプ171は、如何なる形式のポンプからも構成することができ、例えば、サーボ機構付きのシリンジポンプを例示することができる。また、トラップ部176は、塗布液の流量調整のために設けられているし、塗布液に生じる圧力変動、圧力の脈動を吸収するために設けられており、コイル状に巻かれた細管(調圧コイル)から成る。2つのオリフィス173,174を設けることで、塗布液・加圧流体導入ノズル120を移動させたときに塗布液・加圧流体導入ノズル120内の塗布液に生じた圧力変動、圧力の脈動が塗布液供給系に及ぼす影響を小さくすることができる。圧力調整手段177は、具体的には、塗布液の圧力調整絞り弁及び排出弁から成る。圧力調整手段177の上流には圧力計178が配置されている。 The pump 171 can be configured from any type of pump, for example, a syringe pump with a servo mechanism can be exemplified. Further, the trap portion 176 is provided for adjusting the flow rate of the coating liquid, and is provided for absorbing the pressure fluctuation and the pulsation of the pressure generated in the coating liquid, and is a thin tube (adjustment) wound in a coil shape. It consists of a pressure coil). By providing the two orifices 173 and 174, the pressure fluctuation and pressure pulsation generated in the coating liquid in the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle 120 when the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle 120 is moved are applied. The effect on the liquid supply system can be reduced. Specifically, the pressure adjusting means 177 includes a pressure adjusting throttle valve and a discharge valve for the coating liquid. A pressure gauge 178 is arranged upstream of the pressure adjusting means 177.

加圧流体供給装置(加圧流体供給系)180は、加圧流体源、加圧流体流量制御装置及び加圧流体圧力制御装置を備えており、具体的には、例えば、加圧流体源181、精密レギュレータ182、流量安定アキュムレータ183、マスフローコントローラ184、加圧流体流量制御装置185から構成されており、これらは配管187で結ばれている。精密レギュレータ182の下流には圧力計186が配置されている。加圧流体は、空気又は窒素ガスから成る。配管187は、加圧流体供給口135に繋がっている。 The pressurized fluid supply device (pressurized fluid supply system) 180 includes a pressurized fluid source, a pressurized fluid flow rate control device, and a pressurized fluid pressure control device. Specifically, for example, the pressurized fluid source 181 , Precision regulator 182, flow rate stabilizing accumulator 183, mass flow controller 184, and pressurized fluid flow rate control device 185, which are connected by a pipe 187. A pressure gauge 186 is arranged downstream of the precision regulator 182. The pressurized fluid consists of air or nitrogen gas. The pipe 187 is connected to the pressurized fluid supply port 135.

実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルにおいて、第1仮想平面と平行な仮想平面(YZ仮想平面)で切断したときの第3領域143の断面形状は円形であり、第2仮想平面(XY仮想平面)で切断したときの第3領域143の外面の断面形状はアーチ状(クラウン状)である。そして、(第3領域143の断面形状の最大半径)/(第3領域143の長さ)の値は0.01乃至0.5であることが好ましく、具体的には、0.2とした。加圧流体供給口135は、第1仮想平面と平行な仮想平面で切断したときの第3領域143の断面形状が最大である部分(便宜上、『最大半径部分143”』と呼ぶ場合がある)よりもノズル部材140の後端部側の部分に対応したケーシング部材130に設けられている。具体的には、加圧流体供給口135の中心は、最大半径部分143”よりも、1mm乃至5mm、ノズル部材140の後端部側に位置し、より具体的には、0.5mmノズル部材140の後端部側に位置する。加圧流体供給口135の数は、1以上であればよく、複数であってもよい。 In the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4, the cross-sectional shape of the third region 143 when cut in a virtual plane (YZ virtual plane) parallel to the first virtual plane is circular, and the second virtual plane ( The cross-sectional shape of the outer surface of the third region 143 when cut in the XY virtual plane) is arch-shaped (crown-shaped). The value of (maximum radius of the cross-sectional shape of the third region 143) / (length of the third region 143) is preferably 0.01 to 0.5, specifically 0.2. .. The pressurized fluid supply port 135 is a portion having the maximum cross-sectional shape of the third region 143 when cut in a virtual plane parallel to the first virtual plane (for convenience, it may be referred to as “maximum radius portion 143”). It is provided in the casing member 130 corresponding to the portion on the rear end side of the nozzle member 140. Specifically, the center of the pressurized fluid supply port 135 is 1 mm to 5 mm from the maximum radius portion 143 ". , It is located on the rear end side of the nozzle member 140, and more specifically, it is located on the rear end side of the 0.5 mm nozzle member 140. The number of the pressurized fluid supply ports 135 may be one or more, and may be a plurality.

加圧流体供給口135の数が複数(M)の場合、第1仮想平面に加圧流体供給口135を正射影したときの正射影像は、対称軸(回転軸)をノズル部材140の軸線としたM回の回転対称に配置されていることが好ましく、これによって、空間部145に導入された加圧流体を一層容易に旋回流とすることができる。第2仮想平面で切断したときの第3領域143の外面の断面形状をアーチ状(クラウン状)とすることで、加圧流体供給口135から空間部145に導入された加圧流体を容易に旋回流とすることができるし、噴出加圧流体の旋回速度の増加を図ることができる。場合によっては、第2仮想平面で切断したときの第3領域143の外面の断面形状を、直線状(テーパー状)としてもよい。加圧流体供給口135の軸線は、ノズル部材140の軸線と交差していてもよいし、交差していなくともよい。後者の場合、空間部145に導入された加圧流体を一層容易に旋回流とすることができる。また、ノズル部材140の軸線と加圧流体供給口135の入り口中心部とを通る仮想平面への加圧流体供給口135の軸線の正射影像と、この仮想平面へのノズル部材140の軸線の正射影像は90度で交わっていてもよいし、90度以外の角度で交わっていてもよい。後者の場合、ノズル部材140の先端部へ向かうノズル部材140の軸線の方向を正方向としたとき、この仮想平面への加圧流体供給口135の軸線の正射影像と、この仮想平面へのノズル部材140の軸線の正射影像とは、鋭角で交わっていることが好ましい。 When the number of the pressurized fluid supply ports 135 is a plurality (M), the normal projection image when the pressurized fluid supply port 135 is normally projected onto the first virtual plane has the axis of symmetry (rotational axis) as the axis of the nozzle member 140. It is preferable that the fluid is arranged symmetrically with respect to the rotation of M times, whereby the pressurized fluid introduced into the space portion 145 can be made into a swirling flow more easily. By making the cross-sectional shape of the outer surface of the third region 143 arch-shaped (crown-shaped) when cut in the second virtual plane, the pressurized fluid introduced into the space portion 145 from the pressurized fluid supply port 135 can be easily applied. It can be a swirling flow, and the swirling speed of the ejected pressurized fluid can be increased. In some cases, the cross-sectional shape of the outer surface of the third region 143 when cut in the second virtual plane may be linear (tapered). The axis of the pressurized fluid supply port 135 may or may not intersect the axis of the nozzle member 140. In the latter case, the pressurized fluid introduced into the space portion 145 can be made into a swirling flow more easily. Further, a normal projection image of the axis of the pressurized fluid supply port 135 to the virtual plane passing through the axis of the nozzle member 140 and the central portion of the entrance of the pressurized fluid supply port 135, and the axis of the nozzle member 140 to the virtual plane. The orthophotographs may intersect at 90 degrees or at angles other than 90 degrees. In the latter case, when the direction of the axis of the nozzle member 140 toward the tip of the nozzle member 140 is the positive direction, the normal projection image of the axis of the pressurized fluid supply port 135 to this virtual plane and the normal projection image to this virtual plane. It is preferable that the normal projection image of the axis of the nozzle member 140 intersects at a sharp angle.

更には、第1領域141と対向するケーシング部材130の先端面は、第1領域141の先端面よりもノズル部材140の後端部側に位置することが好ましく、この場合、第1領域141と対向するケーシング部材130の先端面から第1領域141の先端面までの距離L1として、限定するものではないが、0.1mm乃至1mmを挙げることができる。 Further, the front end surface of the casing member 130 facing the first region 141 is preferably located closer to the rear end portion of the nozzle member 140 than the front end surface of the first region 141. In this case, the first region 141 and the front end surface thereof. The distance L 1 from the tip surface of the facing casing member 130 to the tip surface of the first region 141 may be, but is not limited to, 0.1 mm to 1 mm.

更には、スリット部163の数(N)は、使用する塗布液に依存して、適宜、決定すればよく、例えば、1乃至8とすることができる。スリット部163の幅として、限定するものではないが、0.05mm乃至0.5mmを例示することができる。N≧2の場合、第1仮想平面にスリット部163を正射影したときの正射影像は、対称軸(回転軸)をノズル部材140の軸線としたN回の回転対称に配置されていることが好ましい。第2隙間部162が設けられている場合、スリット部163は、第2隙間部162に連通していることが望ましいが、連通していなくともよい。複数のスリット部163を設ける場合、スリット部163の幅(あるいはスリット部163の断面積)は、同じであってもよいし、異なっていてもよい。 Further, the number (N) of the slit portions 163 may be appropriately determined depending on the coating liquid to be used, and may be, for example, 1 to 8. The width of the slit portion 163 is not limited, but 0.05 mm to 0.5 mm can be exemplified. When N ≧ 2, the orthographic image when the slit portion 163 is projected onto the first virtual plane is arranged in N rotation symmetry with the axis of symmetry (rotational axis) as the axis of the nozzle member 140. Is preferable. When the second gap portion 162 is provided, it is desirable that the slit portion 163 communicates with the second gap portion 162, but it does not have to communicate with the second gap portion 162. When a plurality of slit portions 163 are provided, the width of the slit portions 163 (or the cross-sectional area of the slit portions 163) may be the same or different.

ケーシング部材130及びノズル部材140は、例えば、ステンレス鋼(SUS304、SUS316等)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、又は、全芳香族ポリイミド樹脂(具体的には、例えば、ベスペル(登録商標))から作製されている。 The casing member 130 and the nozzle member 140 are, for example, stainless steel (SUS304, SUS316, etc.), polyetheretherketone (PEEK) resin, or total aromatic polyimide resin (specifically, for example, Vespel (registered trademark)). It is made from.

第1領域141と対向するケーシング部材130の先端面130Aは、第1領域141の先端面141Aよりもノズル部材140の後端部側に位置する。ここで、第1領域141と対向するケーシング部材130の先端面130Aから第1領域141の先端面141Aまでの距離L1を、具体的には、以下の表1のとおりとした。実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルにおいて、スリット部163の数(N)を4とし、スリット部163の幅WSlit(図12参照)を、具体的には、以下の表1のとおりとした。第1仮想平面にスリット部163を正射影したときの正射影像は、対称軸をノズル部材140の軸線AXとした4回の回転対称に配置されている。ケーシング部材130及びノズル部材140を、全芳香族ポリイミド樹脂(具体的には、ベスペル)から、切削加工によって作製した。また、
(A)第1隙間部161の幅W1
(B)第2隙間部162の幅W2
(C)第3領域143の断面形状の最大半径rmax
(D)第3領域143と対向するケーシング部材130の内面の半径r30
(E)塗布液流路150の後端部に設けられた塗布液供給口151の直径Rin
(F)塗布液流路150の先端部に設けられた塗布液吐出口152の直径Rout
(G)加圧流体供給口135の直径Rgas
(H)切頭円錐形状の外面142’のノズル部材先端部側の直径RTC-1
(I)切頭円錐形状の外面142’のノズル部材後端部側の直径RTC-2
(J)第2領域に繋がった第3領域143の外面143’の直径をR30
(K)ノズル部材140の軸線AXを含む第2仮想平面と、スリット部163が設けられた仮想平面(第3仮想平面)との間の距離DSlit(図12参照)、
を以下の表1のとおりとした。以上に説明したL1、 W1 、W2 、rmax 、r30、Rin、Rout 、Rgas 、RTC-1、RTC-2及びR30に関しては、図13を参照のこと。
The tip surface 130A of the casing member 130 facing the first region 141 is located closer to the rear end portion of the nozzle member 140 than the tip surface 141A of the first region 141. Here, the distance L 1 from the tip surface 130A of the casing member 130 facing the first region 141 to the tip surface 141A of the first region 141 is specifically set as shown in Table 1 below. In the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of Example 4, the number (N) of the slit portions 163 is set to 4, and the width W Slit (see FIG. 12) of the slit portions 163 is specifically shown in Table 1 below. I did. The orthographic image when the slit portion 163 is projected onto the first virtual plane is arranged in four rotational symmetries with the axis of symmetry as the axis AX of the nozzle member 140. The casing member 130 and the nozzle member 140 were made from a total aromatic polyimide resin (specifically, Vespel) by cutting. also,
(A) Width W 1 of the first gap 161
(B) Width W 2 of the second gap 162
(C) Maximum radius r max of the cross-sectional shape of the third region 143
(D) Radius r 30 of the inner surface of the casing member 130 facing the third region 143.
(E) Diameter R in of the coating liquid supply port 151 provided at the rear end of the coating liquid flow path 150.
(F) Diameter R out of the coating liquid discharge port 152 provided at the tip of the coating liquid flow path 150.
(G) Diameter R gas of pressurized fluid supply port 135
(H) Diameter R TC-1 on the tip side of the nozzle member of the outer surface 142'of the truncated cone shape.
(I) Diameter R TC-2 on the rear end side of the nozzle member on the outer surface 142'of the truncated cone shape.
(J) The diameter of the outer surface 143'of the third region 143 connected to the second region is R 30 .
(K) Distance D Slit (see FIG. 12) between the second virtual plane including the axis AX of the nozzle member 140 and the virtual plane (third virtual plane) provided with the slit portion 163.
Is as shown in Table 1 below. See FIG. 13 for L 1 , W 1 , W 2 , r max , r 30 , R in , R out , R gas , RTC-1 , RTC-2 and R30 described above.

〈表1〉
1 :0.5mm
Slit:0.3mm
Slit:0.5mm
1 :0.1mm
2 :0.1mm
max :252mm
30 :4.2mm
in :1.0mm
out :2.0mm
gas :2.4mm
TC-1:3.2mm
TC-2:7.0mm
30 :4.0mm
<Table 1>
L 1 : 0.5 mm
W Slit : 0.3mm
D Slit : 0.5mm
W 1 : 0.1 mm
W 2 : 0.1 mm
r max : 252 mm
r 30 : 4.2 mm
R in : 1.0 mm
R out : 2.0 mm
R gas : 2.4 mm
R TC-1 : 3.2 mm
R TC-2 : 7.0 mm
R 30 : 4.0 mm

実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルにあっては、スリット部が形成されているので、外部に噴出(噴射、吐出)される加圧流体(噴出加圧流体)は旋回流となり、しかも、噴出加圧流体によって、塗布液吐出口の近傍の空間は減圧状態あるいは真空状態となる。尚、噴出加圧流体を旋回流にすることで、より効率良く、塗布液吐出口の近傍の空間を減圧状態あるいは真空状態にすることができる。そして、以上の結果として、塗布液吐出口から吐出された塗布液は、旋回流となった噴出加圧流体と混合される。塗布液及び加圧流体の流量及び圧力を制御することで、塗布液吐出口から吐出される塗布液は均一・均質な微粒子状となり得るが故に、ミクロン・オーダーでの塗布液の厚さの制御を容易に行うことができる。 In the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of the fourth embodiment, since the slit portion is formed, the pressurized fluid (spouting pressurized fluid) ejected (injected and discharged) to the outside becomes a swirling flow. Moreover, due to the ejected pressurized fluid, the space in the vicinity of the coating liquid discharge port is in a reduced pressure state or a vacuum state. By making the ejected pressurized fluid a swirling flow, it is possible to more efficiently put the space in the vicinity of the coating liquid discharge port into a decompressed state or a vacuum state. As a result of the above, the coating liquid discharged from the coating liquid discharge port is mixed with the jet pressurized fluid that has become a swirling flow. By controlling the flow rate and pressure of the coating liquid and the pressurized fluid, the coating liquid discharged from the coating liquid discharge port can be in the form of uniform and homogeneous fine particles. Can be easily performed.

しかも、塗布液の利用効率が高い。例えば、従来のスプレー装置を使用した場合と比較して塗料の使用量を約1/2とすることができた。例えば、塗料において、顔料や添加物の粒径等に制限、制約は余り無いし、使用する溶剤の制限も余り無い。幅広い厚さ範囲(例えば、5μm乃至200μm)の塗布膜の形成が可能である。 Moreover, the utilization efficiency of the coating liquid is high. For example, the amount of paint used could be reduced to about 1/2 as compared with the case of using a conventional spray device. For example, in paints, there are not many restrictions or restrictions on the particle size of pigments and additives, and there are not many restrictions on the solvent used. It is possible to form a coating film in a wide thickness range (for example, 5 μm to 200 μm).

実施例4の塗布液・加圧流体導入ノズルにあっては、スリット部が形成されているので、外部に噴出(噴射、吐出)される噴出加圧流体は旋回流となり、しかも、噴出加圧流体によって、塗布液吐出口の近傍の空間は減圧状態あるいは真空状態となる。その結果、塗布液吐出口から吐出された塗布液は、旋回流となった噴出加圧流体と混合される。 In the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle of the fourth embodiment, since the slit portion is formed, the ejected pressurized fluid ejected (injected and discharged) to the outside becomes a swirling flow, and moreover, the ejected pressurization is performed. Depending on the fluid, the space near the coating liquid discharge port is in a depressurized state or a vacuum state. As a result, the coating liquid discharged from the coating liquid discharge port is mixed with the ejected pressurized fluid that has become a swirling flow.

以上、本発明を好ましい実施例に基づき説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。実施例にあっては、球体を回転している状態で塗布液を塗布したが、これに限定するものではなく、浮遊した状態ではあるが、回転していない状態で塗布液を塗布してもよい。複数の塗布装置を配設して、所謂多数個取りの方式を採用してもよい。容器の底部を半球状にしたが、平坦な形状としてもよい。加圧流体導入部や第2加圧流体導入部を容器の底部側に適切な方法で取り付けることができるのならば、容器の底部を閉塞することは必須ではない。 Although the present invention has been described above based on preferred examples, the present invention is not limited to these examples. In the embodiment, the coating liquid is applied while the sphere is rotating, but the present invention is not limited to this, and the coating liquid may be applied even if the coating liquid is applied in a floating state but not in a rotating state. good. A so-called multi-piece picking method may be adopted by disposing a plurality of coating devices. The bottom of the container is hemispherical, but it may be flat. It is not essential to close the bottom of the container if the pressurized fluid introduction and the second pressurized fluid introduction can be attached to the bottom side of the container in an appropriate manner.

実施例4において説明した塗布液・加圧流体導入ノズル、塗布液供給システムの構成、構造も例示であり、適宜、変更することができる。図13の矢印A-Aに沿った塗布液・加圧流体導入ノズルの変形例の模式的な端面図を図11に示すように、ノズル部材140の第3領域143とノズル部材140の第2領域142の境界近傍のノズル部材140の第3領域143の部分、及び/又は、ノズル部材140の第3領域143とノズル部材140の第4領域144の境界近傍のノズル部材140の第3領域143の部分に、旋回流の流れの制御のための凹部143aを形成してもよい。 The configuration and structure of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle and the coating liquid supply system described in the fourth embodiment are also examples, and can be appropriately changed. As shown in FIG. 11, a schematic end view of a modified example of the coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle along the arrows AA of FIG. 13 is shown in FIG. 11, the third region 143 of the nozzle member 140 and the second nozzle member 140. A portion of the third region 143 of the nozzle member 140 near the boundary of the region 142 and / or a third region 143 of the nozzle member 140 near the boundary between the third region 143 of the nozzle member 140 and the fourth region 144 of the nozzle member 140. A recess 143a for controlling the flow of the swirling flow may be formed in the portion of the above.

尚、本発明は、以下のような構成を取ることもできる。
[A01]《塗布装置》
球体の直径より大きな直径を有し、球体を格納する円筒形の容器、
容器内で球体を浮遊させるための浮遊手段、及び、
容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布するための塗布液導入部、
を備えている塗布装置。
[A02]浮遊手段は、容器内で球体を浮遊させるために容器内に加圧流体を導入する加圧流体導入部から成る[A01]に記載の塗布装置。
[A03]容器の底部は閉塞されており、
加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられており、
塗布液導入部は、容器の上方に配置されている[A02]に記載の塗布装置。
[A04]容器の上方に乾燥装置を更に備えている[A03]に記載の塗布装置。
[A05]浮遊手段は、容器内で球体を浮遊させるために容器内に加圧流体を導入する第2加圧流体導入部を更に備えている[A02]乃至[A04]のいずれか1項に記載の塗布装置。
[A06]容器の底部は閉塞されており、
第2加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられている[A05]に記載の塗布装置。
[A07]加圧流体は、ガス状物質から成る[A02]乃至[A06]のいずれか1項に記載の塗布装置。
[A08]加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御する[A07]に記載の塗布装置。
[A09]容器の底部は閉塞されており、
塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部は、容器の底部に取り付けられており、
ガス状物質から成る加圧流体及び塗布液は、加圧流体導入部から容器内に導入される[A02]に記載の塗布装置。
[A10]加圧流体導入部の軸線は、容器の軸線上には無い[A02]乃至[A09]のいずれか1項に記載の塗布装置。
[A11]加圧流体導入部の軸線は、容器の軸線と非平行である[A02]乃至[A09]のいずれか1項に記載の塗布装置。
[A12]球体は、浮遊した状態において回転させられる[A01]乃至[A11]のいずれか1項に記載の塗布装置。
[B01]《塗布方法》
球体の直径より大きな直径を有する円筒形の容器内で、浮遊手段によって球体を浮遊させながら球体の表面に塗布液を塗布する塗布方法。
[B02]球体の表面と容器の側壁によって形成された隙間に塗布液の液溜りが生成される[B01]に記載の塗布方法。
[B03]容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布した後、容器内において球体が浮遊した状態で塗布液を乾燥させる[B01]又は[B02]に記載の塗布方法。
[B04]容器内で浮遊した球体の表面に塗布液を塗布した後、浮遊手段によって球体を容器の上方に移動させ、容器の上方において球体が浮遊した状態で塗布液を乾燥させる[B01]又は[B02]に記載の塗布方法。
[B05]容器内で球体を浮遊させるために、ガス状物質から成る加圧流体が浮遊手段から容器内に導入される[B01]乃至[B04]のいずれか1項に記載の塗布方法。
[B06]複数箇所から加圧流体が容器内に導入される[B05]に記載の塗布方法。
[B07]加圧流体の圧力及び流量、並びに、塗布液の供給量に基づき、塗布液の厚さを制御する[B05]又は[B06]に記載の塗布方法。
[B08]容器内で球体を浮遊させるためのガス状物質から成る加圧流体、及び、塗布液が、浮遊手段から容器内に導入される[B01]乃至[B04]のいずれか1項に記載の塗布方法。
[B09]容器内に導入された加圧流体の主たる流れは、容器の軸線上には無い[B05]乃至[B08]のいずれか1項に記載の塗布方法。
[B10]容器内に導入された加圧流体の主たる流れは、容器の軸線と非平行である[B05]乃至[B08]のいずれか1項に記載の塗布方法。
[B11]球体は、浮遊した状態において回転させられる[B01]乃至[B10]のいずれか1項に記載の塗布方法。
[C01]《塗布液・加圧流体導入ノズル》
ケーシング部材、及び、ケーシング部材内に格納されたノズル部材から成り、ノズル部材の後端部から供給された塗布液をノズル部材の先端部から吐出し、塗布膜を得る塗布液・加圧流体導入ノズルであって、
ノズル部材は、ノズル部材の先端部からノズル部材の後端部に向かって、第1領域、第2領域、第3領域及び第4領域から構成されており、
ノズル部材は、
ノズル部材をノズル部材の軸線に沿って貫通する塗布液流路、
塗布液流路の後端部に設けられた塗布液供給口、及び、
塗布液流路の先端部に設けられた塗布液吐出口、
を備えており、
第1領域の外面は円筒形状を有し、第1領域と対向するケーシング部材の内面と、第1領域の外面との間には、第1隙間部が設けられており、
第3領域と対向するケーシング部材の内面と、第3領域の外面との間には、空間部が設けられており、
第3領域と対向するケーシング部材には、空間部に連通した加圧流体供給口が設けられており、
第4領域は、空間部を閉塞しており、
ノズル部材の軸線に垂直な第1仮想平面と平行な仮想平面で切断したときの第3領域の外面の断面の少なくとも一部は、第2領域に向かって縮小しており、
第2領域には、ノズル部材の軸線を含む第2仮想平面に対して平行な仮想平面内に含まれたスリット部が形成されており、
加圧流体供給口から空間部に導入された加圧流体は、第3領域の外面と衝突して旋回流となり、旋回流となった加圧流体は、スリット部から第1隙間部を経由して外部に噴出される塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C02]第2領域は第1領域側に切頭円錐形状の外面を有し、第2領域と対向するケーシング部材の内面と、第2領域の切頭円錐形状の外面との間には、第2隙間部が設けられており、
加圧流体供給口から空間部に導入された加圧流体は、第3領域の外面と衝突して旋回流となり、旋回流となった加圧流体は、第2隙間部及びスリット部から第1隙間部を経由して外部に噴出される[C01]に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C03]第1仮想平面と平行な仮想平面で切断したときの第3領域の断面形状は円形であり、
第2仮想平面で切断したときの第3領域の外面の断面形状はアーチ状である[C01]又は[C02]に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C04](第3領域の断面形状の最大半径)/(第3領域の長さ)の値は0.01乃至0.1である[C03]に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C05]加圧流体供給口は、第1仮想平面と平行な仮想平面で切断したときの第3領域の断面形状が最大である部分よりもノズル部材の後端部側の部分に対応したケーシング部材に設けられている[C03]又は[C04]に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C06]加圧流体供給口の中心は、第1仮想平面で切断したときの第3領域の断面形状が最大である部分よりも、1mm乃至5mm、ノズル部材の後端部側に位置する[C05]に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C07]第1領域と対向するケーシング部材の先端面は、第1領域の先端面よりもノズル部材の後端部側に位置する[C01]乃至[C06]のいずれか1項に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C08]スリット部の数は1乃至8である[C01]乃至[C07]のいずれか1項に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C09]ケーシング部材及びノズル部材は、ステンレス鋼、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、又は、全芳香族ポリイミド樹脂から作製されている[C01]乃至[C08]のいずれか1項に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[C10]加圧流体は、空気又は窒素ガスから成る[C01]乃至[C09]のいずれか1項に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル。
[D01]《塗布液供給システム》
[C01]乃至[C10]のいずれか1項に記載の塗布液・加圧流体導入ノズル、
ノズル部材を構成する塗布液供給口に塗布液を供給する塗布液供給装置、及び、
加圧流体供給口に加圧流体を供給する加圧流体供給装置、
を備えている塗布液供給システム。
[D02]塗布液供給装置は、ポンプ、塗布液供給口とポンプとを結ぶ配管、及び、配管の途中に配設された2つのオリフィスを備えている[D01]に記載の塗布液供給システム。
[D03]2つのオリフィスの間の配管には、排出管が接続されており、
排出管の途中にはトラップ部が設けられており、
排出管は、圧力調整手段を介して系外に繋がっている[D02]に記載の塗布液供給システム。
[D04]加圧流体供給装置は、加圧流体源、加圧流体流量制御装置及び加圧流体圧力制御装置を備えている[D01]乃至[D03]のいずれか1項に記載の塗布液供給システム。
The present invention may also have the following configuration.
[A01] << Coating device >>
A cylindrical container that has a diameter larger than the diameter of the sphere and stores the sphere,
Floating means for floating spheres in a container, and
Coating liquid introduction part for applying the coating liquid to the surface of the sphere floating in the container,
A coating device equipped with.
[A02] The coating device according to [A01], wherein the floating means comprises a pressurized fluid introduction unit that introduces a pressurized fluid into the container in order to float the sphere in the container.
[A03] The bottom of the container is closed and
The pressurized fluid inlet is attached to the bottom of the container and
The coating device according to [A02], wherein the coating liquid introduction portion is arranged above the container.
[A04] The coating device according to [A03], further comprising a drying device above the container.
[A05] In any one of [A02] to [A04], the floating means further includes a second pressurized fluid introduction section for introducing a pressurized fluid into the container in order to float the sphere in the container. The coating device described.
[A06] The bottom of the container is closed and
The coating device according to [A05], wherein the second pressurized fluid introduction section is attached to the bottom of the container.
[A07] The coating device according to any one of [A02] to [A06], wherein the pressurized fluid is made of a gaseous substance.
[A08] The coating apparatus according to [A07], which controls the thickness of the coating liquid based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid.
[A09] The bottom of the container is closed and
The pressurized fluid introduction part, which also serves as the coating liquid introduction part, is attached to the bottom of the container.
The coating device according to [A02], wherein the pressurized fluid and the coating liquid made of a gaseous substance are introduced into the container from the pressurized fluid introduction portion.
[A10] The coating device according to any one of [A02] to [A09], wherein the axis of the pressurized fluid introduction section is not on the axis of the container.
[A11] The coating device according to any one of [A02] to [A09], wherein the axis of the pressurized fluid introduction portion is not parallel to the axis of the container.
[A12] The coating device according to any one of [A01] to [A11], wherein the sphere is rotated in a floating state.
[B01] << Application method >>
A coating method in which a coating liquid is applied to the surface of a sphere while floating the sphere by a floating means in a cylindrical container having a diameter larger than the diameter of the sphere.
[B02] The coating method according to [B01], wherein a pool of coating liquid is generated in a gap formed by a surface of a sphere and a side wall of a container.
[B03] The coating method according to [B01] or [B02], wherein the coating liquid is applied to the surface of a sphere suspended in the container, and then the coating liquid is dried while the sphere is suspended in the container.
[B04] After applying the coating liquid to the surface of the sphere floating in the container, the sphere is moved above the container by the floating means, and the coating liquid is dried with the sphere floating above the container [B01] or. The coating method according to [B02].
[B05] The coating method according to any one of [B01] to [B04], wherein a pressurized fluid made of a gaseous substance is introduced into the container from the floating means in order to suspend the sphere in the container.
[B06] The coating method according to [B05], wherein the pressurized fluid is introduced into the container from a plurality of locations.
[B07] The coating method according to [B05] or [B06], wherein the thickness of the coating liquid is controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid.
[B08] The item according to any one of [B01] to [B04], wherein the pressurized fluid made of a gaseous substance for suspending the sphere in the container and the coating liquid are introduced into the container from the suspending means. Application method.
[B09] The coating method according to any one of [B05] to [B08], wherein the main flow of the pressurized fluid introduced into the container is not on the axis of the container.
[B10] The coating method according to any one of [B05] to [B08], wherein the main flow of the pressurized fluid introduced into the container is non-parallel to the axis of the container.
[B11] The coating method according to any one of [B01] to [B10], wherein the sphere is rotated in a floating state.
[C01] << Coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle >>
Introducing a coating liquid / pressurized fluid which is composed of a casing member and a nozzle member stored in the casing member and discharges a coating liquid supplied from the rear end portion of the nozzle member from the tip end portion of the nozzle member to obtain a coating film. It ’s a nozzle,
The nozzle member is composed of a first region, a second region, a third region, and a fourth region from the front end portion of the nozzle member toward the rear end portion of the nozzle member.
The nozzle member is
A coating liquid flow path that penetrates the nozzle member along the axis of the nozzle member,
A coating liquid supply port provided at the rear end of the coating liquid flow path, and a coating liquid supply port, and
Coating liquid discharge port provided at the tip of the coating liquid flow path,
Equipped with
The outer surface of the first region has a cylindrical shape, and a first gap portion is provided between the inner surface of the casing member facing the first region and the outer surface of the first region.
A space is provided between the inner surface of the casing member facing the third region and the outer surface of the third region.
The casing member facing the third region is provided with a pressurized fluid supply port communicating with the space.
The fourth region closes the space and
At least a part of the cross section of the outer surface of the third region when cut in the virtual plane parallel to the first virtual plane perpendicular to the axis of the nozzle member is reduced toward the second region.
In the second region, a slit portion included in a virtual plane parallel to the second virtual plane including the axis of the nozzle member is formed.
The pressurized fluid introduced into the space from the pressurized fluid supply port collides with the outer surface of the third region and becomes a swirling flow, and the pressurized fluid that has become a swirling flow passes from the slit portion to the first gap portion. A nozzle for introducing a coating liquid / pressurized fluid that is ejected to the outside.
[C02] The second region has a truncated cone-shaped outer surface on the first region side, and between the inner surface of the casing member facing the second region and the outer surface of the truncated cone shape of the second region. A second gap is provided,
The pressurized fluid introduced into the space from the pressurized fluid supply port collides with the outer surface of the third region and becomes a swirling flow, and the pressurized fluid that has become a swirling flow is the first from the second gap portion and the slit portion. The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to [C01], which is ejected to the outside via a gap.
[C03] The cross-sectional shape of the third region when cut in a virtual plane parallel to the first virtual plane is circular.
The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to [C01] or [C02], wherein the cross-sectional shape of the outer surface of the third region when cut in the second virtual plane is arch-shaped.
The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to [C03], wherein the value of [C04] (maximum radius of the cross-sectional shape of the third region) / (length of the third region) is 0.01 to 0.1.
[C05] The pressurized fluid supply port is a casing corresponding to a portion on the rear end portion side of the nozzle member rather than a portion having the maximum cross-sectional shape of the third region when cut in a virtual plane parallel to the first virtual plane. The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to [C03] or [C04] provided on the member.
[C06] The center of the pressurized fluid supply port is located 1 mm to 5 mm on the rear end side of the nozzle member with respect to the portion having the maximum cross-sectional shape of the third region when cut in the first virtual plane [C06]. C05]. The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle.
[C07] The coating according to any one of [C01] to [C06], wherein the front end surface of the casing member facing the first region is located closer to the rear end portion of the nozzle member than the front end surface of the first region. Liquid / pressurized fluid introduction nozzle.
[C08] The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to any one of [C01] to [C07], wherein the number of slit portions is 1 to 8.
[C09] The coating liquid / addition according to any one of [C01] to [C08], wherein the casing member and the nozzle member are made of stainless steel, polyetheretherketone resin, or all-aromatic polyimide resin. Pressure fluid introduction nozzle.
[C10] The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to any one of [C01] to [C09], wherein the pressurized fluid is composed of air or nitrogen gas.
[D01] << Coating liquid supply system >>
The coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle according to any one of [C01] to [C10].
A coating liquid supply device that supplies the coating liquid to the coating liquid supply port that constitutes the nozzle member, and
Pressurized fluid supply device that supplies pressurized fluid to the pressurized fluid supply port,
The coating liquid supply system is equipped with.
[D02] The coating liquid supply system according to [D01], wherein the coating liquid supply device includes a pump, a pipe connecting the coating liquid supply port and the pump, and two orifices arranged in the middle of the piping.
[D03] A discharge pipe is connected to the pipe between the two orifices.
A trap part is provided in the middle of the discharge pipe,
The coating liquid supply system according to [D02], wherein the discharge pipe is connected to the outside of the system via a pressure adjusting means.
[D04] The coating liquid supply according to any one of [D01] to [D03], wherein the pressurized fluid supply device includes a pressurized fluid source, a pressurized fluid flow rate control device, and a pressurized fluid pressure control device. system.

10・・・球体、20・・・容器、20A・・・容器の側壁、21・・・容器の底部、22・・・蓋、23・・・加圧流体排出口、30・・・加圧流体導入部、31・・・第2加圧流体導入部、32・・・塗布液導入部を兼ねた加圧流体導入部、40・・・塗布液導入部、41・・・駆動装置、42・・・アーム部、110・・・塗布液供給システム、120・・・塗布液・加圧流体導入ノズル、130・・・ケーシング部材、130A・・・ケーシング部材の先端面、131・・・第1領域と対向するケーシング部材の内面、132・・・第2領域と対向するケーシング部材の内面、133・・・第3領域と対向するケーシング部材の内面、135・・・加圧流体供給口、140・・・ノズル部材、141・・・ノズル部材の第1領域、141’・・・第1領域の外面、141A・・・第1領域の先端面、142・・・ノズル部材の第2領域、142’・・・切頭円錐形状の外面、143・・・ノズル部材の第3領域、143’・・・第3領域の外面、143”・・・最大半径部分、143a・・・凹部、144・・・ノズル部材の第4領域、145・・・空間部、150・・・塗布液流路、151・・・塗布液供給口、152・・・塗布液吐出口、161・・・第1隙間部、162・・・第2隙間部、163・・・スリット部、170・・・塗布液供給装置、171・・・ポンプ、172・・・配管、173,174・・・オリフィス、175・・・排出管、176・・・トラップ部、177・・・圧力調整手段、178・・・圧力計、180・・・加圧流体供給装置、181・・・加圧流体源、182・・・精密レギュレータ、183・・・流量安定アキュムレータ、184・・・マスフローコントローラ、185・・・加圧流体流量制御装置、186・・・圧力計、187・・・配管、AX・・・ノズル部材の軸線 10 ... Sphere, 20 ... Container, 20A ... Container side wall, 21 ... Container bottom, 22 ... Lid, 23 ... Pressurized fluid outlet, 30 ... Pressurized Fluid introduction section, 31 ... Second pressurized fluid introduction section, 32 ... Pressurized fluid introduction section that also serves as a coating liquid introduction section, 40 ... Coating solution introduction section, 41 ... Drive device, 42 ... Arm part, 110 ... Coating liquid supply system, 120 ... Coating liquid / pressurized fluid introduction nozzle, 130 ... Casing member, 130A ... Tip surface of casing member, 131 ... Inner surface of the casing member facing the 1st region, 132 ... Inner surface of the casing member facing the 2nd region, 133 ... Inner surface of the casing member facing the 3rd region, 135 ... Pressurized fluid supply port, 140 ... Nozzle member, 141 ... First region of nozzle member, 141'... Outer surface of first region, 141A ... Tip surface of first region, 142 ... Second region of nozzle member , 142'... outer surface of truncated conical shape, 143 ... third region of nozzle member, 143'... outer surface of third region, 143 "... maximum radius portion, 143a ... recessed, 144 ... Fourth region of nozzle member, 145 ... Space, 150 ... Coating liquid flow path, 151 ... Coating liquid supply port, 152 ... Coating liquid discharge port, 161 ... 1 gap, 162 ... second gap, 163 ... slit, 170 ... coating liquid supply device, 171 ... pump, 172 ... piping, 173, 174 ... orifice, 175 ... Discharge pipe, 176 ... Trap unit, 177 ... Pressure adjusting means, 178 ... Pressure gauge, 180 ... Pressurized fluid supply device, 181 ... Pressurized fluid source, 182 ... -Precision regulator, 183 ... Stable flow accumulator, 184 ... Mass flow controller, 185 ... Pressurized fluid flow control device, 186 ... Pressure gauge, 187 ... Piping, AX ... Nozzle member Axis

Claims (21)

球体の直径より大きな直径を有し、底部が閉塞され、球体を格納する円筒形の容器、
前記容器内に加圧流体を導入する加圧流体導入部が前記容器の底部に取り付けられ、前記加圧流体導入部から上方に噴射される加圧流体により前記球体を前記容器内で浮遊させる浮遊手段、及び、
前記容器内で浮遊した前記球体の表面に塗布液を塗布するための塗布液導入部、
を備えている塗布装置。
A cylindrical container, which has a diameter larger than the diameter of the sphere, has a closed bottom, and stores the sphere.
A pressurized fluid introduction section for introducing a pressurized fluid into the container is attached to the bottom of the container, and the sphere is suspended in the container by the pressurized fluid jetted upward from the pressurized fluid introduction section. Means and
A coating liquid introduction unit for applying a coating liquid to the surface of the sphere floating in the container,
A coating device equipped with.
前記塗布液導入部は、前記容器の上方に配置されている請求項に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 1 , wherein the coating liquid introduction unit is arranged above the container. 前記容器の上方に乾燥装置を更に備えている請求項に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 2 , further comprising a drying device above the container. 前記浮遊手段は、前記容器内で前記球体を浮遊させるために前記容器内に加圧流体を導入する第2加圧流体導入部を更に備えている請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の塗布装置。 One of claims 1 to 3 , wherein the floating means further includes a second pressurized fluid introduction unit that introduces a pressurized fluid into the container in order to float the sphere in the container. The coating device according to. 前記第2加圧流体導入部は、前記容器の底部に取り付けられている請求項に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 4 , wherein the second pressurized fluid introduction section is attached to the bottom of the container. 前記加圧流体は、ガス状物質から成る請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 5 , wherein the pressurized fluid is made of a gaseous substance. 前記加圧流体の圧力及び流量、並びに、前記塗布液の供給量に基づき、前記塗布液の厚さを制御する請求項に記載の塗布装置。 The coating device according to claim 6 , wherein the thickness of the coating liquid is controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid. 布液導入部を兼ねた前記加圧流体導入部は、前記容器の底部に取り付けられており、
ガス状物質から成る前記加圧流体及び塗布液は、前記加圧流体導入部から前記容器内に導入される請求項に記載の塗布装置。
The pressurized fluid introduction portion that also serves as a coating liquid introduction portion is attached to the bottom of the container.
The coating device according to claim 1 , wherein the pressurized fluid and the coating liquid made of a gaseous substance are introduced into the container from the pressurized fluid introduction unit.
前記加圧流体導入部の軸線は、前記容器の軸線上には無い請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 8 , wherein the axis of the pressurized fluid introduction portion is not on the axis of the container. 前記加圧流体導入部の軸線は、前記容器の軸線と非平行である請求項乃至請求項のいずれか1項に記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 8 , wherein the axis of the pressurized fluid introduction portion is not parallel to the axis of the container. 球体は、浮遊した状態において回転させられる請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の塗布装置。 The coating device according to any one of claims 1 to 10 , wherein the sphere is rotated in a floating state. 球体の直径より大きな直径を有する円筒形の容器内で、浮遊手段によって前記容器内に噴射された加圧流体で浮遊させた球体と容器の側壁との間に形成された隙間の一部に塗布液の液溜りを生成させながら球体の表面に塗布液を塗布する塗布方法。 In a cylindrical container having a diameter larger than the diameter of the sphere, the coating is applied to a part of the gap formed between the sphere suspended by the pressurized fluid jetted into the container by the floating means and the side wall of the container. A coating method in which a coating liquid is applied to the surface of a sphere while creating a liquid pool . 前記容器内で浮遊した前記球体の表面に前記塗布液を塗布した後、前記容器内において前記球体が浮遊した状態で前記塗布液を乾燥させる請求項1に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 1 and 2 , wherein the coating liquid is applied to the surface of the sphere floating in the container, and then the coating liquid is dried while the sphere is suspended in the container. 前記容器内で浮遊した前記球体の表面に前記塗布液を塗布した後、噴射された加圧流体で前記球体を前記容器の上方に移動させ、前記容器の上方において前記球体が浮遊した状態で前記塗布液を乾燥させる請求項1に記載の塗布方法。 After applying the coating liquid to the surface of the sphere floating in the container, the sphere is moved above the container by the jetted pressurized fluid, and the sphere is suspended above the container. The coating method according to claim 1 and 2 , wherein the coating liquid is dried. 前記加圧流体は、ガス状物質から成る請求項1乃至請求項1のいずれか1項に記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 12 to 14 , wherein the pressurized fluid is made of a gaseous substance. 複数箇所から前記加圧流体が前記容器内に導入される請求項1に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 15 , wherein the pressurized fluid is introduced into the container from a plurality of locations. 前記加圧流体の圧力及び流量、並びに、前記塗布液の供給量に基づき、前記塗布液の厚さを制御する請求項1又は請求項1に記載の塗布方法。 The coating method according to claim 15 or 16 , wherein the thickness of the coating liquid is controlled based on the pressure and flow rate of the pressurized fluid and the supply amount of the coating liquid. 前記容器内で球体を浮遊させるための加圧流体、及び、前記塗布液が、前記浮遊手段から前記容器内に導入される請求項1乃至請求項1のいずれか1項に記載の塗布方法。 The coating according to any one of claims 12 to 14 , wherein the pressurized fluid for suspending the sphere in the container and the coating liquid are introduced into the container from the floating means. Method. 前記容器内に導入された前記加圧流体の主たる流れは、前記容器の軸線上には無い請求項1乃至請求項1のいずれか1項に記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 15 to 18 , wherein the main flow of the pressurized fluid introduced into the container is not on the axis of the container. 前記容器内に導入された前記加圧流体の主たる流れは、前記容器の軸線と非平行である請求項1乃至請求項18のいずれか1項に記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 15 to 18 , wherein the main flow of the pressurized fluid introduced into the container is non-parallel to the axis of the container. 前記球体は、浮遊した状態において回転させられる請求項1乃至請求項2のいずれか1項に記載の塗布方法。 The coating method according to any one of claims 12 to 20 , wherein the sphere is rotated in a floating state.
JP2018193223A 2018-10-12 2018-10-12 Coating device and coating method Active JP7048927B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018193223A JP7048927B2 (en) 2018-10-12 2018-10-12 Coating device and coating method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018193223A JP7048927B2 (en) 2018-10-12 2018-10-12 Coating device and coating method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020059004A JP2020059004A (en) 2020-04-16
JP7048927B2 true JP7048927B2 (en) 2022-04-06

Family

ID=70219259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018193223A Active JP7048927B2 (en) 2018-10-12 2018-10-12 Coating device and coating method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7048927B2 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012192180A (en) 2011-03-15 2012-10-11 Nike Internatl Ltd Golf ball coating system using magnetic levitation

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61234356A (en) * 1985-04-10 1986-10-18 Toray Fuji Baionikusu Kk Automatic cleaning nozzle
JPS6287276A (en) * 1985-10-15 1987-04-21 Toray Ind Inc Device for curing coating film on spherical ornamental article
JPH0635979B2 (en) * 1987-02-28 1994-05-11 康信 月岡 Method and device for removing cleaning solution of reaction beads in inspection of blood, etc.
JP2547070B2 (en) * 1988-05-18 1996-10-23 旭サナック株式会社 Sphere coating method and device
JPH01307468A (en) * 1988-06-06 1989-12-12 Haatec:Kk Method and equipment for coating in air
JPH02177974A (en) * 1988-12-29 1990-07-11 Okamoto Ind Inc Manufacture of ball for window ping-pong
JP2782796B2 (en) * 1989-06-15 1998-08-06 日本電気株式会社 Manufacturing method of tracer for melt observation

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012192180A (en) 2011-03-15 2012-10-11 Nike Internatl Ltd Golf ball coating system using magnetic levitation

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020059004A (en) 2020-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6595630B2 (en) Method and apparatus for controlling depth of deposition of a solvent free functional material in a receiver
EP1479446B1 (en) Device for the production of capillary jets and micro- and nanometric particles
AU737688B2 (en) Device and method for creating dry particles
US5088648A (en) Nozzle head for a paint spray gun
JP5170409B2 (en) Swirl type microbubble generator
JPWO2006075452A1 (en) Microbubble generator, vortex breaking nozzle for microbubble generator, wing body for swirl flow generation for microbubble generator, microbubble generating method and microbubble application apparatus
US7220456B2 (en) Process for the selective deposition of particulate material
JP2008194696A (en) Spray gun
JP2017192939A (en) Liquid supply system for gravity spray device
JP7048927B2 (en) Coating device and coating method
Tse et al. Airflow assisted printhead for high-resolution electrohydrodynamic jet printing onto non-conductive and tilted surfaces
Ionkin et al. Note: A versatile 3D-printed droplet-on-demand generator
TWI606865B (en) Substrate processing apparatus
JP2012187496A (en) Apparatus of mixing fluid
Cooper et al. A review of some experimental spray methods for marine cloud brightening
CN104275253A (en) Improvements in and relating to liquid dispensing apparatus
IE61429B1 (en) A device for producing a particulate dispersion
CN110001057A (en) A kind of aerosol printing injection apparatus and printer
WO2018131714A1 (en) Fluid mixing device, and method for producing mixed fluid using this mixing device
Baghel et al. Dispensing uniform droplets of phosphate buffer saline using electrohydrodynamic jetting
JPH1176889A (en) Coating equipment
US5409170A (en) Impaction classifier
JPS6380866A (en) Atomizer
JPH11165791A (en) Powdery and granular material storage tank
KR20160128261A (en) Fluid mixing machine

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20210210

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20210308

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210916

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210921

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211029

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220301

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220311

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7048927

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150