JP6905919B2

JP6905919B2 - 洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法

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Publication number: JP6905919B2
Application number: JP2017222028A
Authority: JP
Inventors: 隆太川端
Original assignee: JATCO Ltd
Current assignee: JATCO Ltd
Priority date: 2017-11-17
Filing date: 2017-11-17
Publication date: 2021-07-21
Anticipated expiration: 2037-11-17
Also published as: JP2019093316A

Description

本発明は、ＮＣ洗浄機を管理する洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法に関するものである。

ワークの加工過程等においてワークを洗浄する洗浄工程で、洗浄液を噴射するノズル等を、ＮＣ制御（数値制御）を用いて制御するＮＣ洗浄機が用いられている。適切な洗浄を行うためには、ＮＣ洗浄機の管理が必要になる。現状では、ＮＣ洗浄機の要因系管理項目として、洗浄液の吐出圧力や狙い目検査を実施している。

洗浄液の吐出圧力としては、洗浄ノズルに洗浄液を圧送する高圧ポンプの元圧を確認し、この元圧が正常であるか否かを日常的に管理する。
狙い目検査としては、ワークをカラースプレーによって着色したうえでＮＣ洗浄機を作動させて洗浄ノズルから洗浄液を噴射してワークを洗浄し、その洗浄結果（着色した塗料の残り具合）を限度見本と比較して、洗浄機の能力（位置精度、圧力、流量）が低下していないことを確認する。

また、特許文献１には、半導体ウエハ等の基板を水平姿勢で保持して鉛直軸回りに回転させながらノズルから基板に洗浄液を吐出して洗浄を行う洗浄装置において、ノズルから吐出される洗浄液の流量や圧力を測定することにより、ノズルからの洗浄液の吐出流量や吐出圧力を管理する技術が開示されている。

特許第３０９５３２４号公報

しかし、ＮＣ洗浄機の要因系管理項目として現状で行われている洗浄液の吐出圧力や狙い目検査では、以下の課題がある。
つまり、吐出圧力に関しては高圧ポンプの元圧管理によるものが一般的であるが、元圧管理では実際の洗浄部品に加わっている圧力はわからない。また使用する洗浄機によっては、高圧ポンプ容量が同一でも使用する洗浄ノズルによって穴径や穴数などの仕様も異なるため詳細の管理は困難である。

また、ノズルの狙い目検査では、実際にＮＣ洗浄機をワークに合わせて作動させて洗浄検査するため、ノズルの様々な動作に対応して洗浄状態を検査できるが、カラースプレーを用いると、洗浄ノズルの当たり検査を全て限度見本による比較を行う必要があり洗浄機の劣化等の異常が発見しづらく、また、判断する作業者にもバラツキが生じる。また、ワークに着色する塗料が機内へ飛散して付着するため、これに対する対策も必要になる。

特許文献１の技術は、洗浄機がＮＣ洗浄機であるかは不明であるが、ノズルから吐出される洗浄液の流量や圧力を測定するため、ワークに加わる圧力を把握することができる。しかし、単に歪みゲージを用いてノズルから吐出される洗浄液の圧力を測定すると記載されているだけであり、ノズルの性能を適切に評価するには十分でない。また、上記の狙い目検査のように、ＮＣ制御に応じて検査するものではないので、ノズルの様々な動作に対応して洗浄状態を検査することは困難と考えられる。

本発明は、このような課題に着目して創案されたもので、数値制御によって制御される洗浄機において洗浄ノズルの性能を適切に評価し、洗浄ノズルを移動させる機構の性能をも評価することができるようにした洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法を提供することを目的としている。

（１）上記の目的を達成するために、本発明の洗浄機管理装置は、洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理装置であって、前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ設置され、複数の圧力測定点を有する受圧板と、前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させる位置制御手段と、前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射制御手段と、前記噴射制御手段によって前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価し、この評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を総合評価する評価手段と、を有することを特徴としている。

（２）前記所定位置は前記洗浄ノズルが前記受圧板に対して所定距離だけ離隔した位置であり、前記所定姿勢は前記受圧板に正対する姿勢であって、前記受圧板の前記複数の圧力測定点は、前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルからの洗浄液の噴射領域のうち少なくとも一直径の全域を含むように配置され、前記評価手段は、前記受圧特性データを、前記一直径上の各検出点位置と前記各検出点位置に対する測定値とから形成される波形パターンに処理し、この測定値に対応した測定波形パターンを前記基準受圧特性としての基準波形パターンと比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価することが好ましい。
（３）前記評価手段は、前記測定波形パターンが前記基準波形パターンを中心に設定される基準波形領域内にあるか否かによって前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価することが好ましい。

（４）前記ノズル移動機構は、前記洗浄ノズルを、原点位置からそれぞれが互いに直交するＸ軸方向，Ｙ軸方向及びＺ軸方向の三方向にそれぞれ移動させるＸ軸方向移動系統，Ｙ軸方向移動系統及びＺ軸方向移動系統を有し、前記受圧板は、前記原点位置に設置された原点受圧板と、前記原点位置から前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、前記原点位置から前記Ｘ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＸ軸方向診断位置に設置されたＸ軸受圧板と、前記原点位置から前記Ｙ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＹ軸方向診断位置に設置されたＹ軸受圧板と、前記原点位置から前記Ｚ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＺ軸方向診断位置に設置されたＺ軸受圧板と、を備え、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、前記評価手段は、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性の評価を実施することが好ましい。
（５）前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にかかるそれぞれの前記所定距離は、前記ノズル移動機構によって前記原点位置から移動可能な前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向のそれぞれの最大移動距離であることが好ましい。

（６）前記評価手段は、前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第１判定を実施し、前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記Ｘ軸方向移動系統，前記Ｙ軸方向移動系統，前記Ｚ軸方向移動系統の各性能が何れも正常であると判断し、前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第２判定を実施し、前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第３判定を実施し、前記第３判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記軸方向移動系統の性能が正常でないと判定することが好ましい。

（７）前記洗浄機は、前記洗浄空間内に前記洗浄対象物を固定する固定台と、前記固定台を初期姿勢から所定軸の周りに回転させる回転駆動機構と、をさらに備えると共に、前記制御手段は、前記回転駆動機構を含めて数値制御を行い、前記受圧板は、前記原点位置に前記固定台の前記初期姿勢に応じて設置された原点受圧板と、前記原点位置から前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させると共に、前記固定台を前記初期姿勢から前記所定軸の軸周りに所定角度だけ回転させた状態に応じた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記Ｘ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＸ軸方向診断位置に設置されたＸ軸受圧板と、前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記Ｙ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＹ軸方向診断位置に設置されたＹ軸受圧板と、前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台の前記Ｚ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＺ軸方向診断位置に設置されたＺ軸受圧板と、前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台を前記所定軸の周りに前記所定角度だけ回転させた位置に設置された回転対応受圧板と、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、前記評価手段は、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価することが好ましい。
（８）前記所定軸の周りの回転の回転にかかる前記所定角度は、前記回転駆動機構により駆動される最大回転角度であることが好ましい。

（９）前記評価手段は、前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第１判定を実施し、前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記Ｘ軸方向移動系統，前記Ｙ軸方向移動系統，前記Ｚ軸方向移動系統，前記回転駆動機構の性能が正常であると判断し、前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第２判定を実施し、前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第３判定を実施し、前記第３判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記ノズル移動機構又は前記回転駆動機構の性能が正常でないと判定することが好ましい。

（１０）本発明の洗浄機管理方法は、洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理方法であって、前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ、複数の圧力測定点を有する受圧板を設置し、前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させるノズル移動工程と、前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射工程と、前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価する噴射特性評価工程と、前記噴射特性評価工程の評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を評価する総合評価工程と、を実施することを特徴としている。

本発明によれば、受圧板の複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、この受圧特性データを基準受圧特性と比較して洗浄ノズルの性能を評価するので、洗浄ノズルの性能を適切に評価することができるようになる。
また、洗浄空間内の洗浄ノズルの原点位置とノズル移動機構により洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ設置された各受圧板における洗浄ノズルの性能評価の結果から総合的に評価することにより、洗浄ノズルの性能と移動機構の性能とを切り分けて評価することができるようになる。

本発明の一実施形態に係るＮＣ洗浄機及び洗浄機管理装置の構成を示すブロック図である。本発明の一実施形態に係るＮＣ洗浄機の基本構成を説明する斜視図である。本発明の一実施形態に係る受圧板の配置を説明する斜視図である。本発明の一実施形態に係る測定波形パターンと基準波形パターンとを説明する図であり、（ａ）は測定状態を説明する洗浄ノズルと受圧板との配置図であり、（ｂ）は測定波形パターンと基準波形パターンとを例示するグラフである。本発明の一実施形態に係る洗浄機管理方法による各受圧板による測定及び測定結果による評価の手順を説明するフローチャートである。本発明の一実施形態に係る洗浄機管理方法の要部を説明するフローチャートである。

以下、図面を参照して本発明にかかる洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法の実施形態を説明する。なお、以下に示す実施形態はあくまでも例示に過ぎず、以下の実施形態で明示しない種々の変形や技術の適用を排除する意図はない。かかる実施形態を部分的に用いて実施したり、一部を変更して実施したり、同等の機能を有する他の機構や装置に置き換えて実施したりすることができるものである。

〔洗浄機の構成〕
まず、本実施形態に係る洗浄機を説明する。
本洗浄機には、ＮＣ制御（数値制御）を用いて各部を制御されるＮＣ洗浄機が用いられている。図１はＮＣ洗浄機及び洗浄機管理装置の構成を示すブロック図であり、図２はＮＣ洗浄機の基本構成を説明する斜視図である。図１，２に示すように、ＮＣ洗浄機１０は、図示しない壁部で囲繞される洗浄空間１１と、洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズル１２と、洗浄空間１１内に洗浄対象物１４を固定する固定台１３と、を備えている。

洗浄ノズル１２には、洗浄液噴射ポンプ(以下、単にポンプという)４０が接続されている。ポンプ４０は、図示しないタンク内の洗浄液を吸引加圧して洗浄ノズル１２に加圧供給する。これによって、洗浄ノズル１２の図示しないノズル開口から洗浄液が噴射される。

また、洗浄ノズル１２は、ノズル移動機構２０によって移動されるようになっている。本実施形態では、ノズル移動機構２０は、洗浄ノズル１２を、Ｘ方向に移動させるＸ方向移動系統２１と、Ｙ方向に移動させるＹ方向移動系統２２と、Ｚ方向に移動させるＺ方向移動系統２３とを備え、洗浄ノズル１２は、Ｘ方向，Ｙ方向，Ｚ方向の三方向に三次元的に移動されるようになっている。なお、ここでは、Ｚ方向は鉛直方向であり、Ｘ方向，Ｙ方向は何れも水平方向でありＸ方向，Ｙ方向は互いに直交し、洗浄ノズル１２の位置は、Ｘ，Ｙ，Ｚ座標系の座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）としてあらわすことができる。

固定台１３は、回転駆動機構３０によって所定軸の周りに回転されるようになっている。本実施形態では、回転駆動機構３０は、固定台１３を水平な軸線（以下、Ａ軸という）３１ｃを中心として回転させるＡ軸周り回転系統３１と、鉛直な軸線（以下、Ｃ軸という）３２ｃを中心として回転させるＣ軸周り回転系統３２と、とを備え、固定台１３は、これらの二軸周りに回転することで姿勢や位置を変更されるようになっている。なお、ここでは、Ａ軸は水平方向に設定され、Ｃ軸は鉛直方向に設定される。ただし、Ｃ軸はＺ軸とは異なっている。

なお、洗浄ノズル１２の位置（ここでは、洗浄ノズル１２のノズル開口の位置）として、座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が（０，０，０）の原点位置があり、本実施形態では、ＮＣ洗浄機１０の始動時には、洗浄ノズル１２のノズル開口は、この原点位置から移動し、ＮＣ洗浄機１０の停止時にはこの原点位置に戻るようになっている。
また、固定台１３は、洗浄対象物１４を固定する固定面１３ａを備え、固定面１３ａが水平で且つＣ軸周りに所定方向を向いた状態を初期姿勢とし、回転駆動機構３０によって、この初期姿勢からＡ軸周り及びＣ軸周りに適宜回転駆動される。

ＮＣ洗浄機１０は、このようなポンプ４０，ノズル移動機構２０，回転駆動機構３０を数値制御するＮＣ制御装置（制御手段）５０を備えている。
ＮＣ制御装置５０は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等からなるコンピュータによって構成されており、洗浄ノズル１２の位置を数値制御する位置制御部（位置制御手段）５１と、固定台１３の回転方向の姿勢を数値制御する回転制御部（回転制御手段）５２と、ポンプ４０の作動を制御する噴射制御部（噴射制御手段）５３とを備えている。

ノズル移動機構２０のＸ方向移動系統２１，Ｙ方向移動系統２２，Ｚ方向移動系統２３、及び回転駆動機構３０のＡ軸周り回転系統３１，Ｃ軸周り回転系統３２にはそれぞれサーボ機構が装備され、洗浄ノズル１２は数値により指示された位置に移動制御され、固定台１３は数値によって指示された方向に姿勢制御される。

〔洗浄機管理装置の構成〕
次に、本実施形態に係る洗浄機管理装置を説明する。
本洗浄機管理装置は、ＮＣ制御装置５０を利用して構成されており、受圧板６０と、受圧板６０からの出力信号に対応して洗浄ノズル１２の位置や固定台１３の姿勢を数値制御する位置制御部５１及び回転制御部５２と、ポンプ４０の作動を制御する噴射制御部５３と、洗浄ノズル１２の噴射特性を評価し、この評価結果に基づいて洗浄ノズル１２自体の性能やノズル移動機構２０や回転駆動機構３０の性能を評価する評価部（評価手段）５４とを備えている。なお、本実施形態では、ＮＣ制御装置５０内に評価部５４を備えているが、評価部５４はＮＣ制御装置５０とは別のハードウェアに装備してもよい。

受圧板６０は、図４（ａ）に示すように、洗浄ノズル１２から噴射される洗浄液を受ける受圧面６０Ｆを備え、受圧面６０Ｆには複数の圧力測定点（図示略）が備えられている。これらの複数の圧力測定点は、洗浄ノズル１２が受圧面６０Ｆに対して所定位置に所定姿勢で位置すれば、洗浄ノズル１２からの洗浄液の噴射領域のうち少なくとも一直径の全域を含むように配置されている。

つまり、洗浄ノズル１２が受圧面６０Ｆに対して所定距離だけ離れた位置（所定位置）に中心線ＣＬを一致するように配置され且つ受圧面６０Ｆに対して正対する姿勢（所定姿勢）とされて洗浄液を噴射した場合に、受圧面６０Ｆには円形に圧力が加わる。受圧面６０Ｆには、圧力測定点がこの円形の中心上の直線（円形の一直径（何れか１つの直径）の全域を含む）に均等に多数配置されている。

したがって、図４（ｂ）に示すように、受圧板６０の圧力測定点の位置を横軸とし、受圧面６０Ｆで受ける圧力（衝撃力）を縦軸とすると、各形状のドットで示すように、受圧面６０Ｆの中心線ＣＬ箇所（径方向位置に０．０と表示する）を中心に一定の範囲で高圧となって、受圧縁部で圧力が低下する特性の波形パターンを示す。なお、図４（ｂ）には、洗浄ノズル１２が正常に洗浄液を噴射した場合であって、ノズル開口から受圧面６０Ｆまでの距離Ｌが僅かずつ異なる３つのパターン（Ｌ＝Ｌ_１，Ｌ_２，Ｌ_３、ただし、Ｌ_１＜Ｌ_２＜Ｌ_３）を例示する。

洗浄液の噴射が正常に行われた場合に受圧板６０で検出される波形パターンは、図４（ｂ）に示すように、特定の大きさ及び形状のハット型を示しており、このような正常な波形パターンを、測定波形パターンを評価するための基準波形パターンに設定することができる。ここでは、ノズル開口から受圧面６０Ｆまでの距離の誤差などを含む測定誤差を考慮して、図４（ｂ）に破線で囲む領域として示すように、基準波形パターンを中心として幅を持った基準波形領域を設定し、評価部５４では、測定波形パターンがこの基準波形領域内にあるか否かによって洗浄ノズル１２の噴射特性を評価する。

受圧板６０は、図３に示すように、洗浄空間１１内の各位置Ｐ１〜Ｐ７に応じてそれぞれ配置される。
総合診断位置（診断点）Ｐ１に対しては、診断点受圧板６１が設置されている。総合診断位置Ｐ１は、洗浄ノズル１２のノズル開口が、原点位置（原点）Ｐ２からＸ軸方向，Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ所定距離（ここでは、各移動系統２１〜２３の最大移動距離）だけ移動させると共に、固定台１３を初期姿勢からＡ軸周り及びC軸周りに、それぞれ所定角度（ここでは、各回転系統３１，３２の最大回転角度）だけ回転させた状態に応じた位置である。

原点位置Ｐ２に対しては、原点受圧板６２が設置されている。
Ｘ軸方向診断位置Ｐ３に対しては、Ｘ軸受圧板６３が設置されている。Ｘ軸方向診断位置Ｐ３は、原点位置Ｐ２且つ固定台１３の初期姿勢からＸ軸方向にのみ所定距離（ここでは、移動系統２１の最大移動距離）だけ移動させた位置である。

Ｙ軸方向診断位置Ｐ４に対しては、Ｙ軸受圧板６４が設置されている。Ｙ軸方向診断位置Ｐ４は、原点位置Ｐ２且つ固定台１３の初期姿勢からＹ軸方向にのみ所定距離（ここでは、移動系統２２の最大移動距離）だけ移動させた位置である。
Ｚ軸方向診断位置Ｐ５に対しては、Ｚ軸受圧板６５が設置されている。Ｚ軸方向診断位置Ｐ５は、原点位置Ｐ２且つ固定台１３の初期姿勢からＺ軸方向にのみ所定距離（ここでは、移動系統２３の最大移動距離）だけ移動させた位置である。

Ａ軸回転位置Ｐ６に対しては、Ａ軸回転対応受圧板６６が設置されている。Ａ軸回転位置Ｐ６は、原点位置Ｐ２且つ固定台１３の初期姿勢から固定台１３をＡ軸の周りにのみ所定角度（ここでは、回転系統３１の最大回転角度）だけ回転させた位置であり、Ａ軸回転対応受圧板６６は固定台１３に設置されている。
Ｃ軸回転位置Ｐ７に対しては、Ｃ軸回転対応受圧板６７が設置されている。Ｃ軸回転位置Ｐ７は、原点位置Ｐ２且つ固定台１３の初期姿勢から固定台１３をＣ軸の周りにのみ所定角度（ここでは、回転系統３２の最大回転角度）だけ回転させた位置であり、Ｃ軸回転対応受圧板６７は固定台１３に設置されている。

各受圧板６１〜６７は、それぞれの位置Ｐ１〜Ｐ７において、受圧面６０Ｆを洗浄ノズル１２の洗浄液の噴射方向に対して正対させた姿勢で且つ受圧面６０Ｆの中心が各位置Ｐ１〜Ｐ７から所定距離Ｌだけ離隔した箇所に設置される。本実施形態では、洗浄ノズル１２は洗浄液の噴射方向を鉛直下方に設定されているので、各受圧板６１〜６７は、それぞれの受圧面６０Ｆを鉛直上方に向けて設置される。

評価部５４は、このような原点受圧板６２，診断点受圧板６１，Ｘ軸受圧板６３，Ｙ軸受圧板６４，Ｚ軸受圧板６５，Ａ軸回転対応受圧板６６及びＣ軸回転対応受圧板６７から得られる受圧特性データを基準受圧特性と比較して洗浄ノズル１２の噴射特性を評価する。特に、各受圧板６１〜６７の評価結果に基づいて洗浄ノズル１２の性能及びノズル移動機構２０並びに回転駆動機構３０の性能を評価する。この性能評価にかかる処理内容は後述する。

〔洗浄機の管理方法〕
次に、洗浄機管理装置による洗浄機の管理方法及びこれに用いられる評価部５４の処理内容を図５，図６のフローチャート及び表１を参照しながら説明する。
なお、原点受圧板６２，診断点受圧板６１，Ｘ軸受圧板６３，Ｙ軸受圧板６４，Ｚ軸受圧板６５，Ａ軸回転対応受圧板６６及びＣ軸回転対応受圧板６７をそれぞれ洗浄空間１１内の所定の位置（位置Ｐ１〜Ｐ７に応じた位置）に所定の姿勢で設置されている。

図５は受圧板６０（受圧板６１〜６７の何れか）による測定及び測定結果による評価の手順を説明するフローチャートである。図５に示すように、まず、洗浄ノズル１２を所定の位置（位置Ｐ１〜Ｐ７の何れか）へ移動させて（ステップＳ１０、ノズル移動工程）、移動後に、洗浄液を噴射する（ステップＳ２０、噴射工程）。このときの噴射時間は、受圧板６０で噴射圧を適正に検出できるだけの時間、即ち、噴射圧が安定するまでの時間であればよい。そして、噴射圧が安定したところで、受圧板６０の出力（受圧データ）を取り込む。

この受圧板６０の出力として得られる、複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを、図４（ｂ）に示すような波形パターンに処理して、この測定波形パターンを予め登録された基準波形パターンと比較するパターン照合を実施して洗浄ノズルの噴射特性を評価する（ステップＳ３０、噴射特性評価工程（第１評価工程））。

ここでは、図４（ｂ）に破線で囲む領域として示すように、基準波形パターンを中心として幅を持った基準波形領域を設定し、測定波形パターンがこの基準波形領域内にあるか否かによって洗浄ノズル１２の噴射特性を評価する。つまり、測定波形パターンがこの基準波形領域内にあれば洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定し、測定波形パターンがこの基準波形領域から少しでも外れれば洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定する。

そして、洗浄ノズル１２の噴射特性の評価結果に基づいて、噴射系統，ノズル移動機構２０及び回転駆動機構３０の性能を評価する（ステップＳ４０、総合評価工程（第２評価工程））。この第２評価工程では、検出に用いた受圧板６０の個別の特性に応じて、及び、洗浄ノズル１２の噴射特性の評価結果の組み合わせに応じて、各性能を評価する。
この第２評価工程の結果に応じて、他の受圧板６０の測定データが必要であるか否かを判断し、測定データが必要であれば、再びステップＳ２０に進んで洗浄液を噴射し、所要の受圧板６０に対応した位置のデータを取得して各性能を評価する（ステップＳ３０，Ｓ４０）。

ここで、表１を参照して、各受圧板６０のデータに基づいた各位置Ｐ１〜Ｐ７での洗浄ノズル１２の噴射特性の評価結果の組み合わせに応じた、洗浄ノズル１２、ノズル移動機構２０、及び回転駆動機構３０の各性能の評価内容を説明する。

表１に示すパターン１〜パターン８は、洗浄ノズル１２の噴射特性の各位置Ｐ１〜Ｐ７での評価結果の組み合わせを表している。○は洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であること（ＯＫ）を、×は洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないこと（ＮＧ）を、それぞれ示す。

パターン１は、診断点（総合診断位置）Ｐ１，原点（原点位置）Ｐ２，Ｘ軸診断点（Ｘ軸診断位置）Ｐ３，Ｙ軸診断点（Ｙ軸診断位置）Ｐ４，Ｚ軸診断点（Ｚ軸診断位置）Ｐ５，Ａ軸診断点（Ａ軸回転位置）Ｐ６，Ｃ軸診断点（Ｃ軸回転位置）Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン２は、診断点Ｐ１，原点Ｐ２の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、Ｘ軸診断点Ｐ３，Ｙ軸診断点Ｐ４，Ｚ軸診断点Ｐ５，Ａ軸診断点Ｐ６，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン３は、診断点Ｐ１，Ｘ軸診断点Ｐ３の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、原点Ｐ２，Ｙ軸診断点Ｐ４，Ｚ軸診断点Ｐ５，Ａ軸診断点Ｐ６，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン４は、診断点Ｐ１，Ｙ軸診断点Ｐ４の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、Ｘ軸診断点Ｐ３，原点Ｐ２，Ｚ軸診断点Ｐ５，Ａ軸診断点Ｐ６，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン５は、診断点Ｐ１，Ｚ軸診断点Ｐ５の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、Ｘ軸診断点Ｐ３，Ｙ軸診断点Ｐ４，原点Ｐ２，Ａ軸診断点Ｐ６，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン６は、診断点Ｐ１，Ａ軸診断点Ｐ６の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、Ｘ軸診断点Ｐ３，Ｙ軸診断点Ｐ４，Ｚ軸診断点Ｐ５，原点Ｐ２，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン７は、診断点Ｐ１，Ｃ軸診断点Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価され、Ｘ軸診断点Ｐ３，Ｙ軸診断点Ｐ４，Ｚ軸診断点Ｐ５，原点Ｐ２，Ａ軸診断点Ｐ６の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常であると評価された場合である。

パターン８は、診断点（総合診断位置）Ｐ１，原点（原点位置）Ｐ２，Ｘ軸診断点（Ｘ軸診断位置）Ｐ３，Ｙ軸診断点（Ｙ軸診断位置）Ｐ４，Ｚ軸診断点（Ｚ軸診断位置）Ｐ５，Ａ軸診断点（Ａ軸回転位置）Ｐ６，Ｃ軸診断点（Ｃ軸回転位置）Ｐ７の各位置で、洗浄ノズル１２の噴射特性が何れも正常でないと評価された場合である。

診断点Ｐ１で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると評価されるには、噴射系統の性能が正常であることと、洗浄ノズル１２がＸ軸方向，Ｙ軸方向，Ｚ軸方向の何れの方向にも可動限界まで（最大移動距離）適切に移動し、固定台１３がＡ軸周り，Ｂ軸周りの何れの方向にも可動限界まで（最大回転角度）適切に回転していることが必要である。したがって、総合診断位置Ｐ１で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常とされた場合には、パターン１のように、他の各位置Ｐ２〜Ｐ７でも洗浄ノズル１２の噴射特性が正常とされる。したがって、診断点Ｐ１で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると評価されたら、噴射系統，ノズル移動機構２０及び回転駆動機構３０の各性能が何れも正常であると判定することができる。

一方、診断点Ｐ１で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される場合は、噴射系統，ノズル移動機構２０及び回転駆動機構３０の何れか１つまたは複数の性能が正常でないためである。この場合には、原点Ｐ２での洗浄ノズル１２の噴射特性を評価することで、噴射系統の異常であるか、ノズル移動機構２０や回転駆動機構３０の異常であるかを絞り込むことができる。

つまり、原点Ｐ２での洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であれば、ノズル移動機構２０や回転駆動機構３０の何れかが異常であると絞り込むことができる。また、原点Ｐ２での洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でなければ、噴射系統に異常があるか又は原点Ｐ２への移動に異常があると推測することができる。この場合に、他の位置Ｐ３〜Ｐ７で何れも洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると評価されると（パターン２）、ノズル移動機構２０や回転駆動機構３０は正常であると判定することができる。

噴射系統に異常があれば、位置Ｐ１〜Ｐ７で何れも洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価されることになる（パターン８）が、逆に、位置Ｐ１〜Ｐ７で何れも洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価されたからといって、噴射系統に異常があると特定することはできない。つまり、各位置Ｐ１〜Ｐ７への移動等の系統に複合的に異常がある場合も、パターン８となる。したがって、パターン８の場合は、何れに異常があるかを特定するには、別途検査を実施することが必要になる。

診断点Ｐ１で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないが、原点Ｐ２での洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であれば、ノズル移動機構２０や回転駆動機構３０の何れかが異常であると絞り込むことができるため、各位置Ｐ３〜Ｐ７において洗浄ノズル１２の噴射特性を評価すれば、対応する移動系統２１〜２３や回転系統３１，３２の何れに異常があるかを特定することができる。

つまり、Ｘ方向移動系統２１の性能に異常があれば、Ｘ軸診断点Ｐ３で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される（パターン３）。Ｙ方向移動系統２２の性能に異常があれば、Ｙ軸診断点Ｐ４で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される（パターン４）。Ｚ方向移動系統２３の性能に異常があれば、Ｚ軸診断点Ｐ５で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される（パターン５）。また、Ａ軸周り回転系統３１の性能に異常があれば、Ａ軸診断点Ｐ６で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される（パターン６）。Ｃ軸周り回転系統３２の性能に異常があれば、Ｃ軸診断点Ｐ７で洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと評価される（パターン７）。

本装置では、上記のように、各位置Ｐ１〜Ｐ７での洗浄ノズル１２の噴射特性の評価（第１評価工程）に基づく第２評価工程による評価を実施する。以下、図６を参照して第２評価工程を説明する。
図６に示すように、まず、洗浄ノズル１２を総合診断位置（診断点）Ｐ１に移動させて、診断点受圧板６１による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第１判定）し、その結果を判断する（ステップＡ１０）。

診断点受圧板６１の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、表１のパターン１に相当し、噴射系統（洗浄ノズル１２の噴射性能）の性能とノズル移動機構２０の性能と回転駆動機構３０の性能とが、何れも正常であると判定する（ステップＡ１２）。

一方、診断点受圧板６１の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、噴射系統，ノズル移動機構２０，回転駆動機構３０のうち少なくとも何れかの性能が正常でないと判定することができる。

この場合には、本実施形態の場合、洗浄ノズル１２を原点位置（原点）Ｐ２に移動させて、原点受圧板６２による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第２判定）し、その結果を判断する（ステップＡ２０）。

原点受圧板６２の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、洗浄ノズル１２をＸ軸方向診断位置Ｐ３に移動させて、Ｘ軸受圧板６３の測定によって測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第３判定）し、その結果を判断する（ステップＡ３０）。
一方、原点受圧板６２の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、噴射系統の性能が正常でないと判定して（ステップＡ２２）、ステップＡ３０に進む。

Ｘ軸方向診断位置Ｐ３の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、洗浄ノズル１２をＹ軸方向診断位置Ｐ４に移動させて、Ｙ軸受圧板６４による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第３判定）し、その結果を判断する（ステップＡ４０）。一方、Ｘ軸方向診断位置Ｐ３の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、Ｘ方向移動系統２１の性能が正常でないと判定して（ステップＡ３２）、ステップＡ４０に進む。

Ｙ軸方向診断位置Ｐ４の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、洗浄ノズル１２をＺ軸方向診断位置Ｐ５に移動させて、Ｚ軸受圧板６５による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第３判定）し、その結果を判断する（ステップＡ５０）。一方、Ｙ軸方向診断位置Ｐ４の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、Ｙ方向移動系統２２の性能が正常でないと判定して（ステップＡ４２）、ステップＡ５０に進む。

Ｚ軸方向診断位置Ｐ５の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、洗浄ノズル１２をＡ軸回転位置Ｐ６に移動させて、Ａ軸回転対応受圧板６６による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第３判定）し、その結果を判断する（ステップＡ６０）。一方、Ｚ軸方向診断位置Ｐ５の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、Ｚ方向移動系統２３の性能が正常でないと判定して（ステップＡ５２）、ステップＡ６０に進む。

Ａ軸回転位置Ｐ６の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、洗浄ノズル１２をＣ軸回転位置Ｐ７に移動させて、Ｃ軸回転対応受圧板６７による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定（第３判定）し、その結果を判断する（ステップＡ７０）。一方、Ａ軸回転位置Ｐ６の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、Ａ軸周り回転系統３１の性能が正常でないと判定して（ステップＡ６２）、ステップＡ７０に進む。

Ｃ軸回転位置Ｐ７の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常であると判定された場合には、他部の異常をチェックする（ステップＡ８０）。一方、Ｃ軸回転位置Ｐ７の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル１２の噴射特性が正常でないと判定された場合には、Ｃ軸周り回転系統３２の性能が正常でないと判定して（ステップＡ７２）、ステップＡ８０に進む。

他部の異常をチェックしたら、各評価結果に基づいて以上と評価された部分を修理するよう案内（例えば案内表示）する（ステップＡ９０）。
なお、ステップＡ１２で、噴射系統（洗浄ノズル１２の噴射性能）の性能とノズル移動機構２０の性能と回転駆動機構３０の性能とが、何れも正常であると判定された場合には、評価処理終了後に、洗浄サイクルに移行する。
また、上記の第３判定に係るステップＡ３０，Ａ４０，Ａ５０，Ａ６０，Ａ７０についての順序は限定されない。

〔作用及び効果〕
本実施形態に係る洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法によれば、上記のように、受圧板６０の複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、この受圧特性データから測定波形パターンを生成して、この測定波形パターンを、基準波形パターンを基準受圧特性と比較して洗浄ノズル１２の性能を評価するので、洗浄ノズル１２の性能を適切に評価することができるようになる。

つまり、洗浄ノズル１２からの噴射圧力を複数の圧力測定点によって評価するので、噴射圧力を単一の圧力測定点によって評価する場合に見落とされる可能性のある異常をも検出して評価することができ、評価能力が向上する。
特に、波形パターンを用いて、測定波形パターンを基準波形パターンと比較照合することで洗浄ノズル１２の噴射性能を評価するので容易に評価を行うことができる。

また、洗浄空間１１内の洗浄ノズル１２の原点位置Ｐ２とノズル移動機構により洗浄ノズルが移動される移動位置Ｐ１，Ｐ３〜Ｐ７とにそれぞれ設置された各受圧板６１〜６７における洗浄ノズル１２の噴射性能を評価結果から、噴射系統（洗浄ノズル１２の噴射性能）の性能とノズル移動機構２０の性能と回転駆動機構３０の性能とを切り分けて評価し、異常を特定することができるので、メンテナンス性能を向上させることができる。
特に、診断点受圧板６１を設けることによって、異常のない場合に速やかに評価結果を得ることができ、洗浄サイクルへの移行を速やかに実施することができる。

〔その他〕
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲でかかる実施形態を種々変更して実施することができる。
例えば、上記の実施形態では、移動位置Ｐ１，Ｐ３〜Ｐ７として、移動機構２０や回転駆動機構３０の可動限界まで（最大移動距離，最大回転角度）移動した位置としているが、これに替えて或いは加えて、ノズル移動機構２０や回転駆動機構３０の可動限界まではいかない移動距離，回転角度を移動位置に設定してもよい。

また、上記実施形態では、回転駆動機構３０についても評価対象としたが、洗浄ノズル１２の噴射系統とノズル移動機構２０のみを評価対象にしてもよい。
さらに、修理個所を修理した後に、本装置や方法を適用して、修理によって正常になったかを確認することも好ましく、また、受圧板６０による測定で取得した測定波形パターンを、対応する洗浄対象と紐付して記録し、部品の管理や洗浄機１０の管理に利用することも好ましい。

１０ＮＣ洗浄機
１１洗浄空間
１２洗浄ノズル
１３固定台
１３ａ固定面
１４洗浄対象物
２０ノズル移動機構
２１Ｘ方向移動系統
２２Ｙ方向移動系統
２３Ｚ方向移動系統
３０回転駆動機構
３１Ａ軸周り回転系統
３２Ｃ軸周り回転系統
３１ｃＡ軸
３２ｃＣ軸
４０洗浄液噴射ポンプ(ポンプ)
５０ＮＣ制御装置（制御手段）
５１位置制御部（位置制御手段）
５２回転制御部（回転制御手段）
５３噴射制御部（噴射制御手段）
５４評価部（評価手段）
６０受圧板
６０Ｆ受圧面
６１診断点受圧板
６２原点受圧板
６３Ｘ軸受圧板
６４Ｙ軸受圧板
６５Ｚ軸受圧板
６６Ａ軸回転対応受圧板
６７Ｃ軸回転対応受圧板
Ｐ１総合診断位置（診断点）
Ｐ２原点位置（原点）
Ｐ３Ｘ軸方向診断位置
Ｐ４Ｙ軸方向診断位置
Ｐ５Ｚ軸方向診断位置
Ｐ６Ａ軸回転位置
Ｐ７Ｃ軸回転位置

Claims

洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理装置であって、
前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ設置され、複数の圧力測定点を有する受圧板と、
前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させる位置制御手段と、
前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射制御手段と、
前記噴射制御手段によって前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価し、この評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を総合評価する評価手段と、を有する
ことを特徴とする洗浄機管理装置。
前記所定位置は前記洗浄ノズルが前記受圧板に対して所定距離だけ離隔した位置であり、前記所定姿勢は前記受圧板に正対する姿勢であって、
前記受圧板の前記複数の圧力測定点は、前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルからの洗浄液の噴射領域のうち少なくとも一直径の全域を含むように配置され、
前記評価手段は、前記受圧特性データを、前記一直径上の各検出点位置と前記各検出点位置に対する測定値とから形成される波形パターンに処理し、この測定値に対応した測定波形パターンを前記基準受圧特性としての基準波形パターンと比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項１に記載された洗浄機管理装置。
前記評価手段は、前記測定波形パターンが前記基準波形パターンを中心に設定される基準波形領域内にあるか否かによって前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項２に記載された洗浄機管理装置。
前記ノズル移動機構は、前記洗浄ノズルを、原点位置からそれぞれが互いに直交するＸ軸方向，Ｙ軸方向及びＺ軸方向の三方向にそれぞれ移動させるＸ軸方向移動系統，Ｙ軸方向移動系統及びＺ軸方向移動系統を有し、
前記受圧板は、
前記原点位置に設置された原点受圧板と、
前記原点位置から前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、
前記原点位置から前記Ｘ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＸ軸方向診断位置に設置されたＸ軸受圧板と、
前記原点位置から前記Ｙ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＹ軸方向診断位置に設置されたＹ軸受圧板と、
前記原点位置から前記Ｚ軸方向にのみ所定距離だけ移動させたＺ軸方向診断位置に設置されたＺ軸受圧板と、を備え、
前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、
前記評価手段は、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性の評価を実施する
ことを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載された洗浄機管理装置。
前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にかかるそれぞれの前記所定距離は、前記ノズル移動機構によって前記原点位置から移動可能な前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向のそれぞれの最大移動距離である
ことを特徴とする請求項４に記載された洗浄機管理装置。
前記評価手段は、
前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第１判定を実施し、
前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記Ｘ軸方向移動系統，前記Ｙ軸方向移動系統，前記Ｚ軸方向移動系統の各性能が何れも正常であると判断し、
前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第２判定を実施し、
前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、
前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第３判定を実施し、
前記第３判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板及び前記Ｚ軸受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記軸方向移動系統の性能が正常でないと判定する
ことを特徴とする請求項４又は５に記載された洗浄機管理装置。
前記洗浄機は、前記洗浄空間内に前記洗浄対象物を固定する固定台と、前記固定台を初期姿勢から所定軸の周りに回転させる回転駆動機構と、をさらに備えると共に、前記制御手段は、前記回転駆動機構を含めて数値制御を行い、
前記受圧板は、
前記原点位置に前記固定台の前記初期姿勢に応じて設置された原点受圧板と、
前記原点位置から前記Ｘ軸方向，前記Ｙ軸方向及び前記Ｚ軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させると共に、前記固定台を前記初期姿勢から前記所定軸の軸周りに所定角度だけ回転させた状態に応じた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記Ｘ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＸ軸方向診断位置に設置されたＸ軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記Ｙ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＹ軸方向診断位置に設置されたＹ軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台の前記Ｚ軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたＺ軸方向診断位置に設置されたＺ軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台を前記所定軸の周りに前記所定角度だけ回転させた位置に設置された回転対応受圧板と、
前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、
前記評価手段は、前記原点受圧板，前記診断点受圧板，前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項４又は５に記載された洗浄機管理装置。
前記所定軸の周りの回転の回転にかかる前記所定角度は、前記回転駆動機構により駆動される最大回転角度である
ことを特徴とする請求項７に記載された洗浄機管理装置。
前記評価手段は、
前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第１判定を実施し、
前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記Ｘ軸方向移動系統，前記Ｙ軸方向移動系統，前記Ｚ軸方向移動系統，前記回転駆動機構の性能が正常であると判断し、
前記第１判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第２判定を実施し、
前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、
前記第２判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第３判定を実施し、
前記第３判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記Ｘ軸受圧板，前記Ｙ軸受圧板，前記Ｚ軸受圧板及び前記回転対応受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記ノズル移動機構又は前記回転駆動機構の性能が正常でないと判定する
ことを特徴とする請求項７又は８に記載された洗浄機管理装置。
洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理方法であって、
前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ、複数の圧力測定点を有する受圧板を設置し、
前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させるノズル移動工程と、
前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射工程と、
前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価する噴射特性評価工程と、
前記噴射特性評価工程の評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を評価する総合評価工程と、を実施する
ことを特徴とする洗浄機管理方法。