JP6987141B2 - Oled表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第2絶縁層には、複数の副画素の上方にそれぞれ位置する複数の第1孔が設けられており、複数の開口が複数の第1孔の上方にそれぞれ位置し、前記複数のカラーレジストが第1絶縁層上に設けられて複数の第1孔内にそれぞれ位置するか、又は、
前記第2絶縁層及び第1絶縁層には、複数の副画素の上方にそれぞれ位置する複数の第2孔が設けられており、複数の開口が複数の第2孔の上方にそれぞれ位置し、前記複数のカラーレジストがOLED表示パネル上に設けられて複数の第2孔内にそれぞれ位置する。
前記第2金属層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記第1絶縁層及び第2絶縁層の材料は窒化ケイ素であり、
前記第2絶縁層には、前記第1金属層の上方に位置するビアホールが設けられ、前記第2金属層が前記ビアホールを通して前記第1金属層と接触している。
複数の副画素を備えたOLED表示パネルを提供するステップS1と、
前記OLED表示パネルが、OLED表示パネル上に第1絶縁層を形成し、第1絶縁層上に第1金属層を形成し、第1金属層及び第1絶縁層上に第2絶縁層を形成するステップS2と、
第2絶縁層上に金属材料層、ブラックマトリクス材料層、ハードマスク材料層を順に形成し、金属材料層、ブラックマトリクス材料層及びハードマスク材料層をパターニングして、第2絶縁層上に下から順に設けられた第2金属層、ブラックマトリクス及びハードマスクを形成し、複数の開口が前記第2金属層、ブラックマトリクス及びハードマスクを貫通して複数の副画素にそれぞれ対応して設けられるステップS3と、
OLED表示パネル上における複数の開口内に複数のカラーレジストを形成するテップS4と、を備える。
前記ステップS2では第2絶縁層を形成した後に、第2絶縁層に複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第1孔を形成し、複数の開口が複数の第1孔の上方にそれぞれ位置し、前記ステップS4で、第1絶縁層における複数の第1孔内に複数のカラーレジストを形成するか、又は、
前記ステップS2では第2絶縁層を形成した後に、第2絶縁層及び第1絶縁層に複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第2孔を形成し、複数の開口が複数の第2孔の上方にそれぞれ位置し、前記ステップS4で、OLED表示パネルにおける複数の第2孔内に複数のカラーレジストを形成する。
前記金属材料層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記第1絶縁層及び第2絶縁層の材料は窒化ケイ素であり、
前記ステップS2では第2絶縁層を形成した後に、さらに第1金属層の上方に位置するビアホールを第2絶縁層に形成し、前記第2金属層が前記ビアホールを通して第1金属層と接触している。
第2絶縁層上に金属材料層、ブラックマトリクス材料層、ハードマスク材料層及びフォトレジスト層を順次形成するステップS31と、
フォトレジスト層を露光現像して、複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第3孔を形成するステップS32と、
フォトレジスト層をマスクとして金属材料層、ブラックマトリクス材料層及びハードマスク材料層をパターニングして、第2絶縁層上に順次設けられる第2金属層、ブラックマトリクス及びハードマスクを形成するステップS33と、
フォトレジスト層を剥離するステップS34と、を備える。
図6を参照すると、OLED表示パネル10を提供する。前記OLED表示パネル10が複数の副画素11を備える。
図7を参照すると、OLED表示パネル10上に第1絶縁層20を形成し、第1絶縁層20上に第1金属層30を形成し、第1金属層30及び第1絶縁層20上に第2絶縁層40を形成する。
図8〜図11を参照すると、第2絶縁層40上に金属材料層59、ブラックマトリクス材料層69、ハードマスク材料層79を順に形成し、金属材料層59、ブラックマトリクス材料層69及びハードマスク材料層79をパターニングして、第2絶縁層40上に下から順に設けられた第2金属層50、ブラックマトリクス60及びハードマスク70を形成し、複数の開口51は、前記第2金属層50、ブラックマトリクス60及びハードマスク70を貫通して複数の副画素11にそれぞれ対応して設けられる。
図8を参照すると、第2絶縁層40上に金属材料層59、ブラックマトリクス材料層69、ハードマスク材料層79及びフォトレジスト層901を順次形成する。
図9を参照すると、フォトレジスト層901を露光現像して、複数の副画素11の上方にそれぞれ位置する第3孔9011を形成する。
図10を参照すると、フォトレジスト層901をマスクとして金属材料層59、ブラックマトリックス材料層69及びハードマスク材料層79をパターニングして、第2絶縁層40上に順次設けられる第2金属層50、ブラックマトリックス60及びハードマスク70を形成する。
図11を参照すると、フォトレジスト層901を剥離する。
図12を参照すると、OLED表示パネル10上における複数の開口51内に複数のカラーレジスト80を形成する。
図2を参照すると、ハードマスク70及び複数のカラーレジスト80上に保護層90を形成する。
Claims (10)
- OLED表示パネルと、
前記OLED表示パネル上に設けられた第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上に設けられた第1金属層と、
前記第1金属層及び前記第1絶縁層上に設けられた第2絶縁層と、
前記第2絶縁層上に設けられた第2金属層と、
前記第2金属層上に設けられたブラックマトリクスと、
前記ブラックマトリクス上に設けられたハードマスクと、
前記OLED表示パネル上に設けられた複数のカラーレジストと、を含み、
前記OLED表示パネルは、複数の副画素を含み、
複数の開口は、前記第2金属層、前記ブラックマトリクス及び前記ハードマスクを貫通して前記複数の副画素にそれぞれ対応して設けられ、
前記複数のカラーレジストが前記複数の開口内にそれぞれ位置し、
前記ハードマスクの材料は、窒化ケイ素であるOLED表示装置。 - 前記複数のカラーレジストが前記第2絶縁層上に設けられるか、又は、
前記第2絶縁層には、前記複数の副画素の上方にそれぞれ位置する複数の第1孔が設けられており、前記複数の開口が前記複数の第1孔の上方にそれぞれ位置し、前記複数のカラーレジストが前記第1絶縁層上に設けられて前記複数の第1孔内にそれぞれ位置するか、又は、
前記第2絶縁層及び前記第1絶縁層には、前記複数の副画素の上方にそれぞれ位置する複数の第2孔が設けられており、前記複数の開口が前記複数の第2孔の上方にそれぞれ位置し、前記複数のカラーレジストが前記OLED表示パネル上に設けられて前記複数の第2孔内にそれぞれ位置する請求項1に記載のOLED表示装置。 - 前記ハードマスク及び前記複数のカラーレジスト上に設けられた保護層をさらに含む請求項1に記載のOLED表示装置。
- 前記第1金属層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記第2金属層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層の材料は窒化ケイ素であり、
前記第2絶縁層には、前記第1金属層の上方に位置するビアホールが設けられ、前記第2金属層が前記ビアホールを通して前記第1金属層と接触している請求項1に記載のOLED表示装置。 - 複数の副画素を含むOLED表示パネルを提供するステップS1と、
前記OLED表示パネル上に第1絶縁層を形成し、前記第1絶縁層上に第1金属層を形成し、前記第1金属層及び前記第1絶縁層上に第2絶縁層を形成するステップS2と、
前記第2絶縁層上に金属材料層、ブラックマトリクス材料層、ハードマスク材料層を順に形成し、前記金属材料層、前記ブラックマトリクス材料層及び前記ハードマスク材料層をパターニングして、前記第2絶縁層上に下から順に設けられた第2金属層、ブラックマトリクス及びハードマスクを形成し、複数の開口が前記第2金属層、前記ブラックマトリクス及び前記ハードマスクを貫通して前記複数の副画素にそれぞれ対応して設けられるステップS3と、
前記OLED表示パネル上における前記複数の開口内に複数のカラーレジストを形成するテップS4と、を含み、
前記ハードマスク材料層の材料は、窒化ケイ素であるOLED表示装置の製造方法。 - 前記ステップS4では、前記第2絶縁層上における前記複数の開口内に前記複数のカラーレジストを形成するか、又は、
前記ステップS2では前記第2絶縁層を形成した後に、前記第2絶縁層に前記複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第1孔を形成し、前記複数の開口が複数の第1孔の上方にそれぞれ位置し、前記ステップS4で、前記第1絶縁層における前記複数の第1孔内に前記複数のカラーレジストを形成するか、又は、
前記ステップS2では前記第2絶縁層を形成した後に、前記第2絶縁層及び前記第1絶縁層に前記複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第2孔を形成し、前記複数の開口が複数の第2孔の上方にそれぞれ位置し、前記ステップS4で、前記OLED表示パネルにおける前記複数の第2孔内に前記複数のカラーレジストを形成する請求項5に記載のOLED表示装置の製造方法。 - 前記ハードマスク及び前記複数のカラーレジスト上に保護層を形成するステップS5をさらに含む請求項5に記載のOLED表示装置の製造方法。
- 前記第1金属層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記金属材料層は透明であり、アルミニウム層を挟んだ2層のチタン層から構成され、
前記第1絶縁層及び前記第2絶縁層の材料は窒化ケイ素であり、
前記ステップS2では前記第2絶縁層を形成した後に、さらに前記第1金属層の上方に位置するビアホールを前記第2絶縁層に形成し、前記第2金属層が前記ビアホールを通して前記第1金属層と接触している請求項5に記載のOLED表示装置の製造方法。 - 前記ステップS3は、
前記第2絶縁層上に前記金属材料層、前記ブラックマトリクス材料層、前記ハードマスク材料層及びフォトレジスト層を順次形成するステップS31と、
前記フォトレジスト層を露光現像して、前記複数の副画素の上方にそれぞれ位置する第3孔を形成するステップS32と、
前記フォトレジスト層をマスクとして前記金属材料層、前記ブラックマトリクス材料層及び前記ハードマスク材料層をパターニングして、前記第2絶縁層上に順次設けられる前記第2金属層、前記ブラックマトリクス及び前記ハードマスクを形成するステップS33と、
前記フォトレジスト層を剥離するステップS34と、を含む請求項5に記載のOLED表示装置の製造方法。 - 前記ステップS4では、塗布又はインクジェットプリンタにより前記OLED表示パネル上における前記複数の開口内に前記複数のカラーレジストを形成する請求項5に記載のOLED表示装置の製造方法。
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