JP6971454B2

JP6971454B2 - Cylinder device with detection valve

Info

Publication number: JP6971454B2
Application number: JP2017218546A
Authority: JP
Inventors: 慶多朗米澤
Original assignee: Kosmek KK
Current assignee: Kosmek KK
Priority date: 2017-11-13
Filing date: 2017-11-13
Publication date: 2021-11-24
Anticipated expiration: 2037-11-13
Also published as: JP2019090453A

Description

この発明は、検出弁を備えるシリンダ装置に関する。 The present invention relates to a cylinder device including a detection valve.

この種の検出弁付きシリンダ装置には、従来では、特許文献１(日本国・特開昭６０−１２９４１０号公報)に記載されたものがある。その従来技術は、次のように構成されている。
ハウジング内にピストンが左右方向へ移動可能に挿入される。そのピストンの右側に作動室が形成される。ハウジングの右壁内に検出エア用の流路が形成される。その流路の途中部に検出弁が設けられる。また、流路は、入口側に形成される供給路と、検出弁内に形成される弁孔と、出口側に形成される排出路とを有する。その弁孔内に検出部材が封止部材を介して保密状で左右方向へ移動可能に挿入される。その検出部材がピストンに当接可能となるようにシリンダ孔内に向けて突出されている。また、弁孔の内周壁に弁座が形成され、その弁座に向けて検出部材の弁面が進出バネによって付勢されている。
そして、ピストンが検出部材から左方へ離間されているときには、進出バネが検出部材の弁面を弁座に当接させて検出弁が閉弁されている。また、ピストンが検出部材を右方へ移動させるときには、ピストンの右方への押圧力が進出バネの付勢力に抗して検出部材の弁面を弁座から離間させて検出弁が開弁される。 Conventionally, there is a cylinder device with a detection valve of this type described in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 60-129410). The prior art is configured as follows.
The piston is movably inserted into the housing in the left-right direction. A working chamber is formed on the right side of the piston. A flow path for detection air is formed in the right wall of the housing. A detection valve is provided in the middle of the flow path. Further, the flow path has a supply path formed on the inlet side, a valve hole formed in the detection valve, and a discharge path formed on the outlet side. The detection member is tightly inserted into the valve hole via the sealing member so as to be movable in the left-right direction. The detection member is projected toward the inside of the cylinder hole so as to be able to come into contact with the piston. Further, a valve seat is formed on the inner peripheral wall of the valve hole, and the valve surface of the detection member is urged toward the valve seat by an advance spring.
Then, when the piston is separated from the detection member to the left, the advance spring brings the valve surface of the detection member into contact with the valve seat, and the detection valve is closed. Further, when the piston moves the detection member to the right, the pressing force to the right of the piston separates the valve surface of the detection member from the valve seat against the urging force of the advancing spring, and the detection valve is opened. NS.

特開昭６０−１２９４１０号公報(図１)Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-129410 (Fig. 1)

上記の従来技術は次の問題がある。
上記の供給路と弁孔と排出路とをハウジングの右壁内に設けるので、ハウジングの寸法が大きくなる。このため、上記のシリンダ装置の全体寸法が大きくなる。
本発明の目的は、コンパクトな検出弁付きシリンダ装置を提供することにある。 The above-mentioned prior art has the following problems.
Since the above supply path, valve hole and discharge path are provided in the right wall of the housing, the size of the housing becomes large. Therefore, the overall size of the cylinder device becomes large.
An object of the present invention is to provide a compact cylinder device with a detection valve.

上記の目的を達成するため、本発明は、例えば、図５Ａから図６Ｂ，図７Ａおよび図７Ｂ，図８Ａおよび図８Ｂに示すように、検出弁付きシリンダ装置を次のように構成した。
ハウジング１内に形成されたシリンダ孔２に、出力部材５が軸方向に移動可能に挿入される。前記ハウジング１に形成される流路２０，４０に、検出用の圧力流体が供給される。前記出力部材５によって前記流路２０，４０を開閉させる検出弁２５，４５が、前記流路２０，４０に設けられる。前記流路２０，４０は、供給路２１，４１と、弁孔２６，４６と、排出路２３，４３とを有する。供給路２１，４１は、前記ハウジング１内に形成される。前記検出弁２５，４５内に形成される弁孔２６，４６は、前記供給路２０，４０に連通される。前記シリンダ孔２と前記出力部材５との間に形成される排出路２３，４３が、前記弁孔２６，４６に連通される。前記検出弁２５，４５は、仕切り面２９ａ，４９ａと弁部材３１，５１と閉じ面３１ａ，５１ａとを有する。前記弁孔２６，４６の内周壁に仕切り面２９ａ，４９ａが形成される。前記弁孔２６，４６内に進退可能に挿入される弁部材３１，５１が、前記弁孔２６，４６内に設けられる付勢手段３３，５３によって前記出力部材５に向けて付勢される。前記弁部材３１，５１の外周壁に閉じ面３１ａ，５１ａが形成される。そして、前記閉じ面３１ａ，５１ａが前記仕切り面２９ａ，４９ａに対面する位置へ前記出力部材５が前記弁部材３１，５１を移動させるときに、前記検出弁２５，４５が閉弁される。前記閉じ面３１ａ，５１ａが前記仕切り面２９ａ，４９ａに対面する位置から前記付勢手段３３，５３が前記弁部材３１，５１を離間させるときに、前記検出弁２５，４５が開弁される。 In order to achieve the above object, the present invention configures a cylinder device with a detection valve as follows, for example, as shown in FIGS. 5A to 6B, 7A and 7B, 8A and 8B.
The output member 5 is inserted into the cylinder hole 2 formed in the housing 1 so as to be movable in the axial direction. The pressure fluid for detection is supplied to the flow paths 20 and 40 formed in the housing 1. Detection valves 25 and 45 for opening and closing the flow paths 20 and 40 by the output member 5 are provided in the flow paths 20 and 40. The flow paths 20 and 40 have supply passages 21 and 41, valve holes 26 and 46, and discharge passages 23 and 43. The supply paths 21 and 41 are formed in the housing 1. The valve holes 26, 46 formed in the detection valves 25, 45 communicate with the supply paths 20, 40. The discharge passages 23, 43 formed between the cylinder hole 2 and the output member 5 communicate with the valve holes 26, 46. The detection valves 25 and 45 have partition surfaces 29a and 49a, valve members 31, 51 and closed surfaces 31a and 51a. Partition surfaces 29a and 49a are formed on the inner peripheral walls of the valve holes 26 and 46. The valve members 31, 51 which are inserted into the valve holes 26, 46 so as to be able to advance and retreat are urged toward the output member 5 by the urging means 33, 53 provided in the valve holes 26, 46. Closed surfaces 31a, 51a are formed on the outer peripheral walls of the valve members 31, 51. Then, when the output member 5 moves the valve members 31, 51 to a position where the closed surfaces 31a, 51a face the partition surfaces 29a, 49a, the detection valves 25, 45 are closed. The detection valves 25 and 45 are opened when the urging means 33 and 53 separate the valve members 31 and 51 from the positions where the closed surfaces 31a and 51a face the partition surfaces 29a and 49a.

上記の本発明は次の作用効果を奏する。
本発明では、前記出力部材が先端側限界位置や基端側限界位置等の所定位置へ移動したとき、または所定位置から移動したときに、その出力部材が検出弁を開弁させる。すると、供給路を通って検出弁の弁孔に供給される検出用流体が、開弁隙間とシリンダ孔内の排出路を通って外部へ排出される。このため、供給路の圧力が変化し、その圧力変化を圧力スイッチ等のセンサで検出することにより、シリンダ装置の作動状態を検知できる。従って、従来技術のように、排出路がハウジングの周壁内に設けられる場合に比べて、本発明では、検出用流体の排出路をシリンダ孔内に設けるので、検出弁付きシリンダ装置をコンパクトに造ることができる。 The above-mentioned invention has the following effects.
In the present invention, when the output member moves to or from a predetermined position such as the tip end side limit position or the proximal end side limit position, the output member opens the detection valve. Then, the detection fluid supplied to the valve hole of the detection valve through the supply path is discharged to the outside through the valve opening gap and the discharge path in the cylinder hole. Therefore, the pressure in the supply path changes, and the operating state of the cylinder device can be detected by detecting the pressure change with a sensor such as a pressure switch. Therefore, as compared with the case where the discharge path is provided in the peripheral wall of the housing as in the prior art, in the present invention, the discharge path for the detection fluid is provided in the cylinder hole, so that the cylinder device with a detection valve can be made compact. be able to.

本発明は、下記（１）又は（２）の構成を加えることが好ましい。
In the present invention, it is preferable to add the following configuration (1) or (2) .

（１）例えば、図５Ａから図６Ｂ，図７Ａおよび図７Ｂ，図８Ａおよび図８Ｂに示すように、前記出力部材５の外周壁に操作部５５と凹部５６とが軸方向に並べられるように形成される。前記出力部材５が軸方向のリリース位置からロック側限界位置まで移動可能となっている。前記リリース位置と前記ロック側限界位置との間の所定位置にロック位置が設定される。前記出力部材５が前記リリース位置から前記ロック位置直前まで移動されるときに、前記操作部５５が前記弁部材５１を操作して前記検出弁４５が開弁状態または閉弁状態に維持される。前記出力部材５が前記ロック位置に移動されたときに、前記凹部５６に前記弁部材５１が挿入されて前記検出弁４５が前記開弁状態から閉弁状態に切換えられ、または、前記閉弁状態から開弁状態に切換えられる。前記出力部材５が前記ロック位置から前記ロック側限界位置に向けて所定距離を越えて移動されたときに、前記凹部５６のロック側に形成される異常検出用のカム部５７が前記弁部材５１を操作して前記検出弁４５が前記閉弁状態から開弁状態に切換えられ、または、前記開弁状態から閉弁状態に切換えられる。
この場合、前記出力部材が前記ロック位置から前記ロック側限界位置に向けて所定距離を越えて移動されたことが検出弁によって確実に検出される。
(1) For example, as shown in FIGS. 5A to 6B, 7A and 7B, 8A and 8B, the operation portion 55 and the recess 56 are arranged in the axial direction on the outer peripheral wall of the output member 5. It is formed. The output member 5 can move from the release position in the axial direction to the limit position on the lock side. The lock position is set at a predetermined position between the release position and the lock side limit position. When the output member 5 is moved from the release position to immediately before the lock position, the operation unit 55 operates the valve member 51 to maintain the detection valve 45 in the valve open state or the valve closed state. When the output member 5 is moved to the locked position, the valve member 51 is inserted into the recess 56 to switch the detection valve 45 from the valve open state to the valve closed state, or the valve closed state. It is switched to the valve open state from. When the output member 5 is moved from the lock position to the lock side limit position by a predetermined distance, the abnormality detection cam portion 57 formed on the lock side of the recess 56 is the valve member 51. The detection valve 45 is switched from the valve closed state to the valve open state, or from the valve open state to the valve closed state.
In this case, the detection valve reliably detects that the output member has been moved beyond a predetermined distance from the lock position to the lock side limit position.

（２）例えば、図５Ａから図６Ｂ，図７Ａおよび図７Ｂ，図８Ａおよび図８Ｂに示すように、複数の前記検出弁２５，４５が前記ハウジング１の胴部１ｂに周方向に間隔をあけて設けられる。
この場合、複数の前記検出弁によって出力部材の作動状態を確実に検知できる。 (2) For example, as shown in FIGS. 5A to 6B, 7A and 7B, 8A and 8B, the plurality of detection valves 25 and 45 are spaced apart from the body portion 1b of the housing 1 in the circumferential direction. Is provided.
In this case, the operating state of the output member can be reliably detected by the plurality of detection valves.

図１Ａは、参考の第１実施形態を示し、検出弁付きシリンダ装置のリリース状態を示す立面視の断面図である。図１Ｂは、図１Ａ中の１Ｂ−１Ｂ線の矢視図に相当する図である。FIG. 1A is a cross-sectional view taken from an elevation view showing a first embodiment for reference and showing a release state of a cylinder device with a detection valve. FIG. 1B is a diagram corresponding to an arrow view of line 1B-1B in FIG. 1A. 図２Ａは、上記の検出弁付きシリンダ装置のロック状態を示す立面視の断面図であり、図１Ａに類似する図である。図２Ｂは、上記の検出弁付きシリンダ装置の異常状態を示し、図２Ａに類似する図である。FIG. 2A is an elevational cross-sectional view showing the locked state of the cylinder device with a detection valve, which is similar to FIG. 1A. FIG. 2B shows an abnormal state of the cylinder device with a detection valve, and is a diagram similar to FIG. 2A. 図３は、参考の第２実施形態を示す図である。図３Ａは、検出弁付きシリンダ装置のリリース状態を示す図であり、図１Ａに類似する図である。図３Ｂは、図３Ａ中の３Ｂ−３Ｂ線の矢視図に相当する図である。Figure 3 is a diagram showing a second embodiment of the reference. FIG. 3A is a diagram showing a release state of the cylinder device with a detection valve, and is a diagram similar to FIG. 1A. FIG. 3B is a diagram corresponding to an arrow view of line 3B-3B in FIG. 3A. 図４Ａは、検出弁付きシリンダ装置のロック状態を示す図であり、図２Ａに類似する図である。図４Ｂは、検出弁付きシリンダ装置の異常状態を示す図であり、図２Ｂに類似する図である。FIG. 4A is a diagram showing a locked state of the cylinder device with a detection valve, and is a diagram similar to FIG. 2A. FIG. 4B is a diagram showing an abnormal state of the cylinder device with a detection valve, and is a diagram similar to FIG. 2B. 図５は、本発明の第３実施形態を示す図である。図５Ａは、検出弁付きシリンダ装置のロック状態を示す図であり、図２Ａに類似する図である。図５Ｂは、図５Ａ中の５Ｂ−５Ｂ線の矢視図に相当する図である。FIG. 5 is a diagram showing a third embodiment of the present invention. FIG. 5A is a diagram showing a locked state of the cylinder device with a detection valve, and is a diagram similar to FIG. 2A. FIG. 5B is a diagram corresponding to an arrow view of line 5B-5B in FIG. 5A. 図６Ａは、図５Ｂ中の６Ａに示す部分の拡大図であり、上記シリンダ装置の第１検出弁の閉弁状態を示す図である。図６Ｂは、上記第１検出弁の開弁状態を示す図である。FIG. 6A is an enlarged view of the portion shown in FIG. 6A in FIG. 5B, and is a diagram showing a closed state of the first detection valve of the cylinder device. FIG. 6B is a diagram showing a valve open state of the first detection valve. 図７は、第３実施形態の第１変形例を示す部分拡大図である。図７Ａは、図６Ａに類似する図である。図７Ｂは、図６Ｂに類似する図である。FIG. 7 is a partially enlarged view showing a first modification of the third embodiment. FIG. 7A is a diagram similar to FIG. 6A. FIG. 7B is a diagram similar to FIG. 6B. 図８は、第３実施形態の第２変形例を示す部分拡大図である。図８Ａは、図６Ａに類似する図である。図８Ｂは、図６Ｂに類似する図である。FIG. 8 is a partially enlarged view showing a second modification of the third embodiment. FIG. 8A is a diagram similar to FIG. 6A. FIG. 8B is a diagram similar to FIG. 6B.

以下、参考の実施形態を図１Ａから図２Ｂ,図３Ａから図４Ｂ，図５Ａから図６Ｂ，図７Ａおよび図７Ｂ，図８Ａおよび図８Ｂによって説明する。
図１Ａから図２Ｂは、参考の第１実施形態を示している。
固定台としてのテーブルＴにハウジング１が取り付けられ、そのハウジング１内にシリンダ孔２が形成される。そのハウジング１は、下側から順に形成される下壁１ａ（基端壁）と筒状の胴部１ｂと上壁１ｃ（先端壁）とを有する。
Hereinafter, reference embodiments will be described with reference to FIGS. 1A to 2B, 3A to 4B, 5A to 6B, 7A and 7B, 8A and 8B.
1A-2B show a first embodiment for reference.
A housing 1 is attached to a table T as a fixing base, and a cylinder hole 2 is formed in the housing 1. The housing 1 has a lower wall 1a (base end wall), a cylindrical body portion 1b, and an upper wall 1c (tip wall) formed in order from the lower side.

図１Ａに示すように、上記のシリンダ孔２に出力部材５が上下方向へ移動可能に挿入される。その出力部材５が、下側から順に形成されるピストン本体６と操作ロッド７と出力ロッド８とを有する。ピストン本体６がシリンダ孔２に保密状に挿入される。そのピストン本体６の上側に設けられる操作ロッド７が、シリンダ孔２内に挿入される。その操作ロッド７から上方へ突設される出力ロッド８が、ハウジング１の上壁１ｃに挿入される。
なお、この実施形態では、上記ピストン本体６と操作ロッド７と出力ロッド８とを一体に形成しているが、これら３つの部材を、それぞれ、別体に形成してもよい。 As shown in FIG. 1A, the output member 5 is movably inserted into the cylinder hole 2 in the vertical direction. The output member 5 has a piston body 6, an operation rod 7, and an output rod 8 which are formed in order from the lower side. The piston body 6 is tightly inserted into the cylinder hole 2. The operation rod 7 provided on the upper side of the piston body 6 is inserted into the cylinder hole 2. The output rod 8 projecting upward from the operation rod 7 is inserted into the upper wall 1c of the housing 1.
In this embodiment, the piston body 6, the operation rod 7, and the output rod 8 are integrally formed, but these three members may be formed separately.

上記ピストン本体６と下壁１ａとの間に作動室１１が形成され、その作動室１１に圧油（圧力流体）が供給および排出される。その作動室１１は、給排路１２を介して圧油の供給源（図示せず）へ連通される。また、操作ロッド７と上壁１ｃとの間にバネ室１３が形成される。そのバネ室１３は、ハウジング１の胴部１ｂに形成される呼吸孔１４によって外部に連通される。そのバネ室１３に装着されるリリースバネ１５が、出力部材５を下方へ付勢している。 An operating chamber 11 is formed between the piston body 6 and the lower wall 1a, and pressure oil (pressure fluid) is supplied and discharged to the operating chamber 11. The operating chamber 11 communicates with a pressure oil supply source (not shown) via a supply / discharge passage 12. Further, a spring chamber 13 is formed between the operation rod 7 and the upper wall 1c. The spring chamber 13 is communicated to the outside by a breathing hole 14 formed in the body portion 1b of the housing 1. The release spring 15 mounted on the spring chamber 13 urges the output member 5 downward.

図１Ｂに示すように、操作ロッド７の外周壁に案内溝１６が上下方向に形成される。また、ハウジング１の胴部１ｂの周壁からピン１７が操作ロッド７に向けて突設され、そのピン１７が案内溝１６に挿入される。このため、出力部材５がハウジング１内で上下方向へ移動可能に回り止めされる。 As shown in FIG. 1B, a guide groove 16 is formed in the vertical direction on the outer peripheral wall of the operation rod 7. Further, a pin 17 is projected from the peripheral wall of the body portion 1b of the housing 1 toward the operation rod 7, and the pin 17 is inserted into the guide groove 16. Therefore, the output member 5 is movably stopped in the housing 1 in the vertical direction.

図１Ａに示すように、ハウジング１内に第１流路（流路）２０が設けられる。その第１流路２０は、第１供給路（供給路）２１と（後述する）第１弁孔（弁孔）２６と第１排出路（排出路）２３とを有する。その第１供給路２１が、前記ハウジング１の胴部１ｂに形成されている。また、ハウジング１の胴部１ｂに半径方向に形成される第１装着孔２４に第１検出弁２５が装着される。その第１検出弁（検出弁）２５内に形成される第１弁孔２６に第１供給路２１が連通される。その第１弁孔２６は、操作ロッド７の外周壁に形成される第１排出溝９と、バネ室１３と、呼吸孔１４とを通ってハウジング１の外部へ連通される。
なお、本実施形態において、第１排出路（排出路）２３は、第１排出溝９とバネ室１３と呼吸孔１４とによって構成される。 As shown in FIG. 1A, a first flow path (flow path) 20 is provided in the housing 1. The first flow path 20 has a first supply path (supply path) 21, a first valve hole (valve hole) 26 (described later), and a first discharge path (discharge path) 23. The first supply path 21 is formed in the body portion 1b of the housing 1. Further, the first detection valve 25 is mounted in the first mounting hole 24 formed in the body portion 1b of the housing 1 in the radial direction. The first supply path 21 communicates with the first valve hole 26 formed in the first detection valve (detection valve) 25. The first valve hole 26 communicates with the outside of the housing 1 through the first discharge groove 9 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7, the spring chamber 13, and the breathing hole 14.
In the present embodiment, the first discharge path (discharge path) 23 is composed of a first discharge groove 9, a spring chamber 13, and a breathing hole 14.

また、前記ハウジング１内に第２流路（流路）４０が設けられる。前記ハウジング１の胴部１ｂに第２流路４０の第２供給路（供給路）４１が形成される。ハウジング１の胴部１ｂに半径方向に形成される第２装着孔４４に第２検出弁（検出弁）４５が装着される。第２検出弁４５内に形成される第２弁孔（弁孔）４６に第２供給路４１が連通される。その第２弁孔４６は、操作ロッド７の外周壁に形成される第２排出溝１０と、バネ室１３と、呼吸孔１４とを通ってハウジング１の外部へ連通される。
なお、本実施形態において、第２排出路（排出路）４３は、第２排出溝１０とバネ室１３と呼吸孔１４とによって構成される。 Further, a second flow path (flow path) 40 is provided in the housing 1. A second supply path (supply path) 41 of the second flow path 40 is formed in the body portion 1b of the housing 1. The second detection valve (detection valve) 45 is mounted in the second mounting hole 44 formed in the body portion 1b of the housing 1 in the radial direction. The second supply path 41 communicates with the second valve hole (valve hole) 46 formed in the second detection valve 45. The second valve hole 46 communicates with the outside of the housing 1 through the second discharge groove 10 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7, the spring chamber 13, and the breathing hole 14.
In the present embodiment, the second discharge path (discharge path) 43 is composed of the second discharge groove 10, the spring chamber 13, and the breathing hole 14.

上記第１検出弁２５および第２検出弁４５は、主として図１Ａに示すように、ハウジング１の胴部１ｂの同じ高さ位置に周方向へ所定の間隔をあけて設けられている。その第１検出弁２５が、次のように構成されている。
前記ハウジング１の第１装着孔２４に第１検出弁２５の筒状の第１弁ケース２７が装着される。その第１弁ケース２７の筒壁に第１連通路２８が形成され、第１供給路２１が第１連通路２８と第１弁ケース２７の筒孔２９とを通ってシリンダ孔２に連通されている。その筒孔２９の内周壁にテーパ状の第１弁座（弁座）３０が形成される。その筒孔２９内に、弁部材としての第１係合ボール３１が左右方向に移動可能に挿入される。その第１係合ボール３１の左側面に第１弁面（弁面）３２が形成され、その第１弁面３２が第１弁座３０に当接可能となっている。筒孔２９内に装着される第１閉弁バネ（付勢手段）３３が第１係合ボール３１を第１弁座３０に向けて左方へ付勢している。
なお、本実施形態において、第１弁孔２６は、第１連通路２８と第１弁ケース２７の筒孔２９とによって構成される。 As shown mainly in FIG. 1A, the first detection valve 25 and the second detection valve 45 are provided at the same height position of the body portion 1b of the housing 1 at predetermined intervals in the circumferential direction. The first detection valve 25 is configured as follows.
The tubular first valve case 27 of the first detection valve 25 is mounted in the first mounting hole 24 of the housing 1. A first communication passage 28 is formed in the cylinder wall of the first valve case 27, and the first supply passage 21 is communicated to the cylinder hole 2 through the first communication passage 28 and the cylinder hole 29 of the first valve case 27. ing. A tapered first valve seat (valve seat) 30 is formed on the inner peripheral wall of the tubular hole 29. The first engaging ball 31 as a valve member is inserted into the cylinder hole 29 so as to be movable in the left-right direction. A first valve surface (valve surface) 32 is formed on the left side surface of the first engaging ball 31, and the first valve surface 32 can come into contact with the first valve seat 30. The first valve closing spring (urging means) 33 mounted in the cylinder hole 29 urges the first engaging ball 31 to the left toward the first valve seat 30.
In the present embodiment, the first valve hole 26 is composed of the first continuous passage 28 and the tubular hole 29 of the first valve case 27.

前記の第１係合ボール３１の左端面に第１被操作部３４が形成される。第１係合ボール３１が左方へ移動されたときに、第１被操作部３４がシリンダ孔２の内周面からハウジング１の軸心に向けて突出される。また、その第１被操作部３４は、操作ロッド７の外周壁（本実施形態においては、第１排出溝９の底壁）に形成される第１操作部３５に当接可能となっていると共に、その第１操作部３５の上側であって操作ロッド７の外周壁に形成される第１凹部３６に挿入可能となっている。
そして、その第１被操作部３４が第１操作部３５に当接されるときに、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０から離間されて第１検出弁２５が開弁される。また、第１被操作部３４が第１凹部３６内に挿入されるときに、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０に当接されて第１検出弁２５が閉弁される。 The first operated portion 34 is formed on the left end surface of the first engaging ball 31. When the first engaging ball 31 is moved to the left, the first operated portion 34 is projected from the inner peripheral surface of the cylinder hole 2 toward the axial center of the housing 1. Further, the first operated portion 34 can be brought into contact with the first operated portion 35 formed on the outer peripheral wall of the operating rod 7 (in the present embodiment, the bottom wall of the first discharge groove 9). At the same time, it can be inserted into the first recess 36 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7 on the upper side of the first operation portion 35.
Then, when the first operated portion 34 comes into contact with the first operating portion 35, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 is separated from the first valve seat 30 and the first detection valve 25 is separated from the first valve seat 30. Is opened. Further, when the first operated portion 34 is inserted into the first recess 36, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 is brought into contact with the first valve seat 30 and the first detection valve 25 is brought into contact with the first valve seat 30. The valve is closed.

上記第２検出弁４５は、次のように構成されている。
前記ハウジング１の第２装着孔４４に第２検出弁４５の筒状の第２弁ケース４７が装着される。その第２弁ケース４７の筒壁に第２連通路４８が形成され、第２供給路４１が第２連通路４８と第２弁ケース４７の筒孔４９とを通ってシリンダ孔２に連通されている。その筒孔４９の内周壁にテーパ状の第２弁座（弁座）５０が形成される。その筒孔４９内に、弁部材としての第２係合ボール５１が左右方向に移動可能に挿入される。その第２係合ボール５１の右側面に第２弁面（弁面）５２が形成され、その第２弁面５２が第２弁座５０に当接可能となっている。筒孔４９内に装着される第２閉弁バネ（付勢手段）５３が第２係合ボール５１を第２弁座５０に向けて右方へ付勢している。
なお、本実施形態において、第２弁孔４６は、第２連通路４８と第２弁ケース４７の筒孔４９とによって構成される。 The second detection valve 45 is configured as follows.
The tubular second valve case 47 of the second detection valve 45 is mounted in the second mounting hole 44 of the housing 1. A second communication passage 48 is formed in the cylinder wall of the second valve case 47, and the second supply passage 41 is communicated to the cylinder hole 2 through the second communication passage 48 and the cylinder hole 49 of the second valve case 47. ing. A tapered second valve seat (valve seat) 50 is formed on the inner peripheral wall of the tubular hole 49. A second engaging ball 51 as a valve member is inserted into the cylinder hole 49 so as to be movable in the left-right direction. A second valve surface (valve surface) 52 is formed on the right side surface of the second engaging ball 51, and the second valve surface 52 can come into contact with the second valve seat 50. A second valve closing spring (urging means) 53 mounted in the cylinder hole 49 urges the second engaging ball 51 to the right toward the second valve seat 50.
In the present embodiment, the second valve hole 46 is composed of the second connecting passage 48 and the tubular hole 49 of the second valve case 47.

前記の第２係合ボール５１の右端面に第２被操作部５４が形成される。第２係合ボール５１が右方へ移動されるときに、第２被操作部５４がシリンダ孔２の内周面からハウジング１の軸心に向けて突出される。また、その第２被操作部５４は、操作ロッド７の外周壁（本実施形態においては、第２排出溝１０の底壁）に形成される第２操作部５５に当接可能となっていると共に、その第２操作部５５の下側であって操作ロッド７の外周壁に形成される第１凹部５６に挿入可能となっている。
そして、その第２被操作部５４が第２操作部５５に当接されるときに、第２係合ボール５１の第２弁面５２が第２弁座５０から離間されて第２検出弁４５が開弁される。また、第２被操作部５４が第２凹部５６に挿入されるときに、第２係合ボール５１の第２弁面５２が第２弁座５０に当接されて第２検出弁４５が閉弁される。 A second operated portion 54 is formed on the right end surface of the second engaging ball 51. When the second engaging ball 51 is moved to the right, the second operated portion 54 is projected from the inner peripheral surface of the cylinder hole 2 toward the axial center of the housing 1. Further, the second operated portion 54 can be brought into contact with the second operated portion 55 formed on the outer peripheral wall of the operating rod 7 (in the present embodiment, the bottom wall of the second discharge groove 10). At the same time, it can be inserted into the first recess 56 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7 under the second operation portion 55.
Then, when the second operated portion 54 comes into contact with the second operating portion 55, the second valve surface 52 of the second engaging ball 51 is separated from the second valve seat 50 and the second detection valve 45 is separated. Is opened. Further, when the second operated portion 54 is inserted into the second recess 56, the second valve surface 52 of the second engaging ball 51 is brought into contact with the second valve seat 50, and the second detection valve 45 is closed. Be spoken.

上記の検出弁付きシリンダ装置は、図１Ａから図２Ｂに示すように、次のように作動する。
図１Ａに示す検出弁付きシリンダ装置のリリース状態では、作動室１１から圧油が排出されており、リリースバネ１５が出力部材５を下限位置へ移動させている。このとき、第１検出弁２５の第１係合ボール３１が出力部材５の第１凹部３６に挿入され、第１検出弁２５が閉弁されている。また、第２検出弁４５の第２係合ボール５１が出力部材５の第２操作部５５に当接され、第２検出弁４５が開弁されている。
上記のリリース状態で、シリンダ装置の出力ロッド８の上方からワーク６０が搬入され、テーブルＴから上方に突設される支持ピン６１上に載置される。 As shown in FIGS. 1A to 2B, the cylinder device with a detection valve operates as follows.
In the released state of the cylinder device with a detection valve shown in FIG. 1A, pressure oil is discharged from the operating chamber 11, and the release spring 15 moves the output member 5 to the lower limit position. At this time, the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 is inserted into the first recess 36 of the output member 5, and the first detection valve 25 is closed. Further, the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 is in contact with the second operation portion 55 of the output member 5, and the second detection valve 45 is opened.
In the above released state, the work 60 is carried in from above the output rod 8 of the cylinder device and placed on the support pin 61 projecting upward from the table T.

上記の検出弁付きシリンダ装置を図１Ａに示すリリース状態から図２Ａに示すロック状態へロック駆動するときには、作動室１１に圧油を供給する。すると、作動室１１の圧油が出力部材５のピストン本体６をリリースバネ１５の下方への付勢力に抗して下限位置（リリース位置）から上限位置（ロック側限界位置）に向けて上方へ移動させていく。このとき、第１凹部３６の周壁が第１検出弁２５の第１係合ボール３１を右方へ開弁移動させていく。これにより、第１弁孔２６内の圧力が所定圧力よりも下降する。その結果、その下降圧力を圧力スイッチ（図示せず）で検出することにより、出力部材５が下限位置から上方へ移動されたことが検出される。
そして、出力ロッド８の上端面８ａがワーク６０の下面６０ａを押していくと、出力ロッド８がワーク６０を所定高さ位置（ロック位置）に移動させて停止される。このとき、第２検出弁４５の第２係合ボール５１が出力部材５の第２凹部５６に挿入される。このため、第２係合ボール５１の第２弁面５２が第２弁座５０に当接され、第２検出弁４５が閉弁される。これにより、第２弁孔４６内の圧力が所定圧力よりも上昇する。その結果、その上昇圧力を圧力スイッチ（図示せず）で検出することにより、出力部材５が所定高さ位置に移動されたことが検出される。 When the cylinder device with a detection valve is lock-driven from the release state shown in FIG. 1A to the lock state shown in FIG. 2A, pressure oil is supplied to the operating chamber 11. Then, the pressure oil in the working chamber 11 pushes the piston body 6 of the output member 5 upward from the lower limit position (release position) to the upper limit position (lock side limit position) against the downward urging force of the release spring 15. I will move it. At this time, the peripheral wall of the first recess 36 opens the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 to the right. As a result, the pressure in the first valve hole 26 drops below the predetermined pressure. As a result, by detecting the downward pressure with a pressure switch (not shown), it is detected that the output member 5 has been moved upward from the lower limit position.
Then, when the upper end surface 8a of the output rod 8 pushes the lower surface 60a of the work 60, the output rod 8 moves the work 60 to a predetermined height position (lock position) and is stopped. At this time, the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 is inserted into the second recess 56 of the output member 5. Therefore, the second valve surface 52 of the second engaging ball 51 comes into contact with the second valve seat 50, and the second detection valve 45 is closed. As a result, the pressure in the second valve hole 46 rises above the predetermined pressure. As a result, by detecting the rising pressure with a pressure switch (not shown), it is detected that the output member 5 has been moved to a predetermined height position.

上記の検出弁付きシリンダ装置を図２Ａに示すロック状態から図１Ａに示すリリース状態へリリース駆動するときには、作動室１１の圧油を排出する。すると、リリースバネ１５が出力部材５のピストン本体６を下方へ移動させていく。このとき、第２凹部５６の周壁が第２検出弁４５の第２係合ボール５１を左方へ開弁移動させていく。これにより、第２弁孔４６内の圧力が所定圧力よりも下降する。その結果、その下降圧力を圧力スイッチで検出することにより、出力部材５が所定高さ位置から下方へ移動されたことが検出される。
そして、ピストン本体６の下端面がハウジング１の下壁１ａに受け止められる直前に、第１検出弁２５の第１係合ボール３１が出力部材５の第１凹部３６に挿入される。すると、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０に当接されて、第１検出弁２５が閉弁される。これにより、第１弁孔２６内の圧力が所定圧力よりも上昇する。その結果、その上昇圧力を圧力スイッチで検出することにより、出力部材５が下限位置に移動されたことが検出される。 When the cylinder device with a detection valve is released and driven from the locked state shown in FIG. 2A to the release state shown in FIG. 1A, the pressure oil in the working chamber 11 is discharged. Then, the release spring 15 moves the piston body 6 of the output member 5 downward. At this time, the peripheral wall of the second recess 56 opens the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 to the left. As a result, the pressure in the second valve hole 46 drops below the predetermined pressure. As a result, by detecting the downward pressure with the pressure switch, it is detected that the output member 5 has been moved downward from the predetermined height position.
Then, just before the lower end surface of the piston body 6 is received by the lower wall 1a of the housing 1, the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 is inserted into the first recess 36 of the output member 5. Then, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 comes into contact with the first valve seat 30, and the first detection valve 25 is closed. As a result, the pressure in the first valve hole 26 rises above the predetermined pressure. As a result, by detecting the rising pressure with the pressure switch, it is detected that the output member 5 has been moved to the lower limit position.

上記シリンダ装置は、異常状態で、例えば、ワーク６０が未搬入である状態、または、ワーク６０が所定寸法よりも小さいことにより出力部材がロック位置を越えて過剰に移動可能な状態で、次のように作動する。
上記の異常状態でクランプ装置をロック駆動（空クランプ）させると、作動室１１の圧油が出力部材５をリリースバネ１５の付勢力に抗して、図１Ａのリリース位置から図２Ａに示す所定高さ位置（ロック位置）を越えて上限位置（ロック側限界位置）に向けて上方へ移動されていく。すると、図２Ｂに示すように、操作ロッド７の上端部が上壁１ｃに受け止められる。このとき、第２凹部５６の下側に形成される異常検出用のカム部５７によって第２係合ボール５１が左方へ移動される。このため、第２係合ボール５１の第２弁面５２が第２弁座５０から左方へ離間され、第２検出弁４５が開弁される。これにより、第２弁孔４６内の圧力が所定圧力によりも下降して、その下降圧力が圧力スイッチによって検出される。また、このとき、第１検出弁２５も開弁状態に維持されている。その結果、シリンダ装置の出力部材５がロック位置およびリリース位置以外の位置で停止している状態（異常状態）であることが確認される。 The cylinder device is in an abnormal state, for example, in a state where the work 60 has not been carried in, or in a state where the output member can be excessively moved beyond the lock position because the work 60 is smaller than a predetermined dimension. Works like this.
When the clamp device is locked (empty clamped) in the above abnormal state, the pressure oil in the working chamber 11 resists the urging force of the release spring 15 and the predetermined position shown in FIG. 2A from the release position of FIG. 1A. It moves upward beyond the height position (lock position) toward the upper limit position (lock side limit position). Then, as shown in FIG. 2B, the upper end portion of the operation rod 7 is received by the upper wall 1c. At this time, the second engaging ball 51 is moved to the left by the cam portion 57 for detecting an abnormality formed under the second recess 56. Therefore, the second valve surface 52 of the second engaging ball 51 is separated from the second valve seat 50 to the left, and the second detection valve 45 is opened. As a result, the pressure in the second valve hole 46 also drops due to the predetermined pressure, and the falling pressure is detected by the pressure switch. Further, at this time, the first detection valve 25 is also maintained in the valve open state. As a result, it is confirmed that the output member 5 of the cylinder device is stopped at a position other than the lock position and the release position (abnormal state).

上記の第１実施形態は次の長所を奏する。
第１排出路２３の一部および第２排出路４３の一部がシリンダ孔２内に形成される。このため、上記の従来技術のように、排出路がハウジングの周壁内に設けられる場合に比べて、本実施形態では、第１排出路２３および第２排出路４３を簡素に造ることができる。従って、検出弁付きシリンダ装置をコンパクトかつ安価に造ることができる。 The first embodiment described above has the following advantages.
A part of the first discharge passage 23 and a part of the second discharge passage 43 are formed in the cylinder hole 2. Therefore, in the present embodiment, the first discharge passage 23 and the second discharge passage 43 can be simply constructed as compared with the case where the discharge passage is provided in the peripheral wall of the housing as in the above-mentioned prior art. Therefore, the cylinder device with a detection valve can be manufactured compactly and inexpensively.

図３Ａから図４Ｂ,図５Ａから図６Ｂ，図７Ａおよび図７Ｂ，図８Ａおよび図８Ｂは、参考の第２実施形態，本発明の第３実施形態および第３実施形態の変形例を示している。この第２実施形態，第３実施形態および第３実施形態の変形例においては、上記の第１実施形態の構成部材と同じ部材(または類似する部材)には原則として同一の参照数字を付けて説明する。 3A to 4B, FIGS. 5A to 6B, 7A and 7B, 8A and 8B show modifications of the second embodiment, the third embodiment and the third embodiment of the present invention for reference. There is. In the modified examples of the second embodiment, the third embodiment, and the third embodiment, the same reference numbers are attached to the same members (or similar members) as the constituent members of the first embodiment described above. explain.

図３Ａから図４Ｂに示す第２実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。
図３Ａに示すように、ハウジング１内に形成されるシリンダ孔２に出力部材５が上下方向へ移動可能に挿入される。その出力部材５が、下側から順に形成されるピストン本体６と出力ロッド８とを有する。ピストン本体６がシリンダ孔２に保密状に挿入される。より詳しくいえば、ピストン本体６の外周壁に下側封止部材６４と上側封止部材６５とが上下に並べられるように周方向に設けられる。また、下封止部材６４および上封止部材６５によって上下に封止された環状隙間６３が、シリンダ孔２の内周面とピストン本体６の外周面との間に形成される。その環状隙間６３は、ハウジング１の胴部１ｂに形成される排出孔６６を通ってハウジング１の外部に連通される。そのピストン本体６から上方へ突設される出力ロッド８が、ハウジング１の上壁１ｃに保密状に挿入される。
なお、この実施形態では、第１排出路２３および第２排出路４３は、環状隙間６３と排出孔６６とによって構成される。 The second embodiment shown in FIGS. 3A to 4B differs from the above-mentioned first embodiment as follows.
As shown in FIG. 3A, the output member 5 is movably inserted into the cylinder hole 2 formed in the housing 1 in the vertical direction. The output member 5 has a piston body 6 and an output rod 8 formed in order from the lower side. The piston body 6 is tightly inserted into the cylinder hole 2. More specifically, the lower sealing member 64 and the upper sealing member 65 are provided on the outer peripheral wall of the piston body 6 in the circumferential direction so as to be arranged vertically. Further, an annular gap 63 vertically sealed by the lower sealing member 64 and the upper sealing member 65 is formed between the inner peripheral surface of the cylinder hole 2 and the outer peripheral surface of the piston body 6. The annular gap 63 communicates with the outside of the housing 1 through the discharge hole 66 formed in the body portion 1b of the housing 1. The output rod 8 projecting upward from the piston body 6 is hermetically inserted into the upper wall 1c of the housing 1.
In this embodiment, the first discharge passage 23 and the second discharge passage 43 are composed of an annular gap 63 and a discharge hole 66.

上記ピストン本体６と下壁１ａとの間にロック室６７が形成され、上記ピストン本体６と上壁１ｃとの間にリリース室６８が形成される。そのロック室６７に圧油（圧力流体）が給排路６９を通って供給および排出される。そのリリース室６８に圧油が別の給排路７０を通って供給および排出される。 A lock chamber 67 is formed between the piston body 6 and the lower wall 1a, and a release chamber 68 is formed between the piston body 6 and the upper wall 1c. Pressure oil (pressure fluid) is supplied to and discharged from the lock chamber 67 through the supply / discharge passage 69. Pressure oil is supplied to and discharged from the release chamber 68 through another supply / discharge passage 70.

図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第１検出弁２５の筒状の第１弁ケース２７が、ハウジング１の第１装着孔２４に半径方向へ調節可能に螺合されて、その第１弁ケース２７の右端部にロックナット７１が取り付けられている。
また、第２検出弁４５の筒状の第２弁ケース４７が、ハウジング１の第２装着孔４４に半径方向へ調節可能に螺合されて、その第２弁ケース４７の左端部にロックナット７２が取り付けられている。 As shown in FIGS. 3A and 3B, the tubular first valve case 27 of the first detection valve 25 is radially adjustablely screwed into the first mounting hole 24 of the housing 1, and the first valve thereof. A locknut 71 is attached to the right end of the case 27.
Further, the tubular second valve case 47 of the second detection valve 45 is screwed into the second mounting hole 44 of the housing 1 so as to be adjustable in the radial direction, and a lock nut is attached to the left end portion of the second valve case 47. 72 is attached.

前記の出力部材５のピストン本体６の外周壁に第１操作部３５が形成される。その第１操作部３５の上側であってピストン本体６の外周壁に第１凹部３６が形成され、その第１操作部３５の下側に異常検出用の凹部７３が形成される。第１検出弁２５の第１被操作部３４は、ピストン本体６の外周壁に形成される第１操作部３５に当接可能となっていると共に、第１凹部３６と異常検出用の凹部７３とに挿入可能となっている。
そして、その第１被操作部３４が第１操作部３５に当接されるときに、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０から離間されて第１検出弁２５が開弁される。また、第１被操作部３４が第１凹部３６または異常検出用の凹部７３に挿入されるときに、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０に当接されて第１検出弁２５が閉弁される。 The first operation unit 35 is formed on the outer peripheral wall of the piston body 6 of the output member 5. A first recess 36 is formed on the outer peripheral wall of the piston body 6 above the first operating portion 35, and a recess 73 for detecting an abnormality is formed on the lower side of the first operating portion 35. The first operated portion 34 of the first detection valve 25 can abut on the first operating portion 35 formed on the outer peripheral wall of the piston body 6, and also has the first recess 36 and the recess 73 for detecting an abnormality. It can be inserted into and.
Then, when the first operated portion 34 comes into contact with the first operating portion 35, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 is separated from the first valve seat 30 and the first detection valve 25 is separated from the first valve seat 30. Is opened. Further, when the first operated portion 34 is inserted into the first recess 36 or the recess 73 for detecting an abnormality, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 is brought into contact with the first valve seat 30. The first detection valve 25 is closed.

上記の検出弁付きシリンダ装置は、図３Ａから図４Ｂに示すように、次のように作動する。
図３Ａに示す検出弁付きシリンダ装置のリリース状態では、ロック室６７から圧油が排出されると共に、リリース室６８に圧油が供給されている。このため、リリース室６８の圧油が出力部材５を下限位置へ移動させている。このとき、第１検出弁２５の第１係合ボール３１が出力部材５の第１凹部３６に挿入され、第１検出弁２５が閉弁されている。また、第２検出弁４５の第２係合ボール５１が出力部材５の第２操作部５５に当接され、第２検出弁４５が開弁されている。
上記のリリース状態で、シリンダ装置の出力ロッド８の上方からワーク６０が搬入され、テーブルＴから上方に突設される支持ピン６１上に載置される。 As shown in FIGS. 3A to 4B, the cylinder device with a detection valve operates as follows.
In the released state of the cylinder device with a detection valve shown in FIG. 3A, the pressure oil is discharged from the lock chamber 67 and the pressure oil is supplied to the release chamber 68. Therefore, the pressure oil in the release chamber 68 moves the output member 5 to the lower limit position. At this time, the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 is inserted into the first recess 36 of the output member 5, and the first detection valve 25 is closed. Further, the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 is in contact with the second operation portion 55 of the output member 5, and the second detection valve 45 is opened.
In the above released state, the work 60 is carried in from above the output rod 8 of the cylinder device and placed on the support pin 61 projecting upward from the table T.

上記の検出弁付きシリンダ装置を図３Ａに示すリリース状態から図４Ａに示すロック状態へロック駆動するときには、リリース室６８から圧油を排出すると共に、ロック室６７に圧油を供給する。すると、ロック室６７の圧油が出力部材５のピストン本体６を下限位置（リリース位置）から上限位置（ロック側限界位置）に向けて上方へ移動させていく。すると、第１凹部３６の周壁が第１検出弁２５の第１係合ボール３１を右方へ開弁移動させていく。これにより、第１弁孔２６内の圧力が所定圧力よりも下降する。その結果、その下降圧力を圧力スイッチ（図示せず）で検出することにより、出力部材５がリリース位置（下限位置）から上方へ移動されたことが検出される。
次いで、図４Ａに示すように、出力ロッド８の上端面８ａがワーク６０の下面６０ａを上方へ押して、出力ロッド８がワーク６０を所定高さ位置（ロック位置）へ移動させたときに、第２検出弁４５の第２係合ボール５１が出力部材５の第２凹部５６に挿入される。このとき、第２係合ボール５１の第２弁面５２が第２弁座５０に当接されて、第２検出弁４５が閉弁される。これにより、第２弁孔４６内の圧力が所定圧力よりも上昇する。その結果、その上昇圧力を圧力スイッチ（図示せず）で検出することにより、出力部材５が所定高さ位置に移動されたことが検出される。 When the cylinder device with a detection valve is locked and driven from the release state shown in FIG. 3A to the lock state shown in FIG. 4A, the pressure oil is discharged from the release chamber 68 and the pressure oil is supplied to the lock chamber 67. Then, the pressure oil in the lock chamber 67 moves the piston body 6 of the output member 5 upward from the lower limit position (release position) to the upper limit position (lock side limit position). Then, the peripheral wall of the first recess 36 opens and moves the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 to the right. As a result, the pressure in the first valve hole 26 drops below the predetermined pressure. As a result, by detecting the downward pressure with a pressure switch (not shown), it is detected that the output member 5 has been moved upward from the release position (lower limit position).
Next, as shown in FIG. 4A, when the upper end surface 8a of the output rod 8 pushes the lower surface 60a of the work 60 upward and the output rod 8 moves the work 60 to a predetermined height position (lock position), the first 2 The second engaging ball 51 of the detection valve 45 is inserted into the second recess 56 of the output member 5. At this time, the second valve surface 52 of the second engaging ball 51 comes into contact with the second valve seat 50, and the second detection valve 45 is closed. As a result, the pressure in the second valve hole 46 rises above the predetermined pressure. As a result, by detecting the rising pressure with a pressure switch (not shown), it is detected that the output member 5 has been moved to a predetermined height position.

上記の検出弁付きシリンダ装置を図４Ａに示すロック状態から図３Ａに示すリリース状態へリリース駆動するときには、ロック室６７から圧油を排出すると共に、リリース室６８に圧油を供給する。すると、リリース室６８の圧油がピストン本体６を下方へ移動させていく。すると、第２凹部５６の周壁が第２検出弁４５の第２係合ボール５１を左方へ開弁移動させていく。これにより、第２弁孔４６内の圧力が所定圧力よりも下降する。その結果、その下降圧力を圧力スイッチ（図示せず）で検出することにより、出力部材５が所定高さ位置から下方へ移動されたことが検出される。
次いで、ピストン本体６の下端面がハウジング１の下壁１ａに受け止められる直前に、第１検出弁２５の第１係合ボール３１が出力部材５の第１凹部３６に挿入される。すると、第１係合ボール３１の第１弁面３２が第１弁座３０に当接されて、第１検出弁２５が閉弁される。これにより、第１弁孔２６内の圧力が所定圧力よりも上昇する。その結果、その上昇圧力を圧力スイッチで検出することにより、出力部材５が下限位置に移動されたことが検出される。 When the cylinder device with a detection valve is released and driven from the locked state shown in FIG. 4A to the release state shown in FIG. 3A, the pressure oil is discharged from the lock chamber 67 and the pressure oil is supplied to the release chamber 68. Then, the pressure oil in the release chamber 68 moves the piston body 6 downward. Then, the peripheral wall of the second recess 56 opens the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 to the left. As a result, the pressure in the second valve hole 46 drops below the predetermined pressure. As a result, by detecting the downward pressure with a pressure switch (not shown), it is detected that the output member 5 has been moved downward from the predetermined height position.
Next, just before the lower end surface of the piston body 6 is received by the lower wall 1a of the housing 1, the first engaging ball 31 of the first detection valve 25 is inserted into the first recess 36 of the output member 5. Then, the first valve surface 32 of the first engaging ball 31 comes into contact with the first valve seat 30, and the first detection valve 25 is closed. As a result, the pressure in the first valve hole 26 rises above the predetermined pressure. As a result, by detecting the rising pressure with the pressure switch, it is detected that the output member 5 has been moved to the lower limit position.

上記シリンダ装置は、異常状態、例えば、ワーク６０が未搬入である状態、または、ワーク６０が所定寸法よりも小さいことにより出力部材がロック位置を越えて過剰に移動可能な状態で、次のように作動する。
上記の異常状態でクランプ装置をロック駆動（空クランプ）させるときには、リリース室６８から圧油が排出されると共に、ロック室６７に圧油が供給される。すると、ロック室６７の圧油が出力部材５を下限位置から所定高さ位置を越えて上限位置に向けて上方へ移動されていく。次いで、図４Ｂに示すように、ピストン本体６の上端面がハウジング１の上壁１ｃに受け止められる。このとき、第２検出弁４５の第２係合ボール５１が第２凹部５６に挿入されており、第２検出弁４５が閉弁されている。また、第１係合ボール３１が異常検出用の凹部７３に挿入され、第１検出弁２５が閉弁される。これにより、シリンダ装置の出力部材５が上限位置に移動された状態（異常状態）であることが第１検出弁２５と第２検出弁４５とによって確認される。 The cylinder device is described as follows in an abnormal state, for example, a state in which the work 60 has not been carried in, or a state in which the output member can be excessively moved beyond the locked position due to the work 60 being smaller than a predetermined dimension. Works on.
When the clamp device is locked (empty clamped) in the above abnormal state, the pressure oil is discharged from the release chamber 68 and the pressure oil is supplied to the lock chamber 67. Then, the pressure oil in the lock chamber 67 moves the output member 5 upward from the lower limit position to the upper limit position beyond the predetermined height position. Next, as shown in FIG. 4B, the upper end surface of the piston body 6 is received by the upper wall 1c of the housing 1. At this time, the second engaging ball 51 of the second detection valve 45 is inserted into the second recess 56, and the second detection valve 45 is closed. Further, the first engaging ball 31 is inserted into the recess 73 for detecting an abnormality, and the first detection valve 25 is closed. As a result, the first detection valve 25 and the second detection valve 45 confirm that the output member 5 of the cylinder device has been moved to the upper limit position (abnormal state).

図５Ａから図６Ｂに示す第３実施形態が上記の第１実施形態と異なる点は次の通りである。この実施形態では、検出弁付きシリンダ装置を、ワーク６０をテーブルＴ上に固定するクランプ装置に適用した場合を例示してある。
図５Ａおよび図５Ｂに示すように、固定台としてのテーブルＴにクランプ装置が取り付けられる。そのクランプ装置のハウジング１は、右側から順に形成される右壁１ｄと、筒状の胴部１ｅと、その胴部１ｅから左方へ突設される２つの支持壁１ｆ,１ｆとを有する。ハウジング１の上半部分にシリンダ孔２が左右方向へ形成され、シリンダ孔２の左端部がハウジング１の左端面に開口されている。 The third embodiment shown in FIGS. 5A to 6B differs from the above-mentioned first embodiment as follows. In this embodiment, a case where the cylinder device with a detection valve is applied to a clamp device for fixing the work 60 on the table T is illustrated.
As shown in FIGS. 5A and 5B, a clamp device is attached to the table T as a fixing base. The housing 1 of the clamp device has a right wall 1d formed in order from the right side, a tubular body portion 1e, and two support walls 1f and 1f projecting to the left from the body portion 1e. A cylinder hole 2 is formed in the upper half portion of the housing 1 in the left-right direction, and the left end portion of the cylinder hole 2 is opened on the left end surface of the housing 1.

上記シリンダ孔２に出力部材５が左右方向へ移動可能に挿入され、その出力部材５の出力ロッド８が２つの支持壁１ｆ，１ｆの間に挿入される。 The output member 5 is inserted into the cylinder hole 2 so as to be movable in the left-right direction, and the output rod 8 of the output member 5 is inserted between the two support walls 1f and 1f.

図５Ａに示すように、上記ハウジング１のシリンダ孔２の下側にバネ室１３が形成される。そのバネ室１３がハウジング１の左端面に開口されている。バネ室１３にリリースバネ１５が装着される。 As shown in FIG. 5A, the spring chamber 13 is formed on the lower side of the cylinder hole 2 of the housing 1. The spring chamber 13 is opened on the left end surface of the housing 1. The release spring 15 is attached to the spring chamber 13.

本実施形態において、第１流路２０の第１排出路２３は、操作ロッド７の外周壁に形成される第１排出溝８０と、出力ロッド８の外周面と支持壁１ｆ，１ｆとの間に形成される隙間８１とによって構成される。
また、第２流路４０の第２排出路４３は、操作ロッド７の外周壁に形成される第２排出溝８２と、前記の隙間８１とによって構成される。 In the present embodiment, the first discharge passage 23 of the first flow path 20 is between the first discharge groove 80 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7, the outer peripheral surface of the output rod 8, and the support walls 1f and 1f. It is composed of a gap 81 formed in.
Further, the second discharge passage 43 of the second flow path 40 is composed of a second discharge groove 82 formed on the outer peripheral wall of the operation rod 7 and the above-mentioned gap 81.

本実施形態の第１検出弁２５は、図５Ｂおよび図６Ａに示すように、次のように構成される。
上記第１検出弁２５の第１弁ケース２７に形成される筒孔２９は、小径孔と大径孔とを有する。その大径孔に第１弁部材３１の大径部が当該大径孔の軸方向へ進退可能に挿入されると共に、小径孔に第１弁部材３１の小径部が挿入可能となっている。その大径部の外周壁に第１連通溝８３が当該弁部材３１の軸方向へ形成される。また、小径孔の内周壁に仕切り面２９ａが形成されると共に、小径部の外周壁に閉じ面３１ａが形成される。第１弁部材３１は、小径孔に供給される検出用の圧縮エアによって下方へ付勢される。すなわち、本実施形態において、第１付勢手段３３は、小径孔に供給される検出用の圧縮エアによって構成される。
上記の第１弁部材３１の第１被操作部３４が操作ロッド７の第１操作部３５に当接されるときに、第１弁部材３１の小径部が筒孔２９の小径孔に挿入される。このため、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが筒孔２９の仕切り面２９ａに対面する位置へ移動される。従って、第１検出弁２５が閉弁されて、第１供給路２１の圧縮エアが第１排出路２３へ流出することが防止される。
また、図５Ｂに示すように、第１被操作部３４が第１凹部３６に挿入されるときに、第１弁部材３１の小径部が筒孔２９の小径孔から抜き出される。このため、第１弁部材３１の閉じ面２９ａが筒孔２９の仕切り面３１ａから離間されるように移動される。従って、第１検出弁２５が開弁されて、第１供給路２１の圧縮エアが第１排出路２３へ流出する。 As shown in FIGS. 5B and 6A, the first detection valve 25 of the present embodiment is configured as follows.
The tubular hole 29 formed in the first valve case 27 of the first detection valve 25 has a small diameter hole and a large diameter hole. The large-diameter portion of the first valve member 31 can be inserted into the large-diameter hole so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the large-diameter hole, and the small-diameter portion of the first valve member 31 can be inserted into the small-diameter hole. A first communication groove 83 is formed in the outer peripheral wall of the large diameter portion in the axial direction of the valve member 31. Further, a partition surface 29a is formed on the inner peripheral wall of the small diameter hole, and a closed surface 31a is formed on the outer peripheral wall of the small diameter portion. The first valve member 31 is urged downward by the compressed air for detection supplied to the small diameter hole. That is, in the present embodiment, the first urging means 33 is composed of the compressed air for detection supplied to the small diameter hole.
When the first operated portion 34 of the first valve member 31 comes into contact with the first operating portion 35 of the operating rod 7, the small diameter portion of the first valve member 31 is inserted into the small diameter hole of the tubular hole 29. NS. Therefore, the closed surface 31a of the first valve member 31 is moved to a position facing the partition surface 29a of the tubular hole 29. Therefore, the first detection valve 25 is closed to prevent the compressed air in the first supply path 21 from flowing out to the first discharge path 23.
Further, as shown in FIG. 5B, when the first operated portion 34 is inserted into the first recess 36, the small diameter portion of the first valve member 31 is extracted from the small diameter hole of the tubular hole 29. Therefore, the closing surface 29a of the first valve member 31 is moved so as to be separated from the partition surface 31a of the tubular hole 29. Therefore, the first detection valve 25 is opened, and the compressed air in the first supply path 21 flows out to the first discharge path 23.

本実施形態の第２検出弁４５は、図５Ｂに示すように、次のように構成される。
上記第２検出弁４５の第２弁ケース４７に形成される筒孔４９は、小径孔と大径孔とを有する。その大径孔に第２弁部材５１の大径部が当該大径孔の軸方向へ進退可能に挿入されると共に、小径孔に第２弁部材５１の小径部が挿入可能となっている。その大径部の外周壁に第２連通溝８４が当該第２弁部材５１の軸方向へ形成される。また、小径孔の内周壁に仕切り面４９ａが形成されると共に、小径部の外周壁に閉じ面５１ａが形成される。第２弁部材５１は、小径孔に供給される検出用の圧縮エアによって右方へ付勢される。すなわち、本実施形態において、第２付勢手段５３は、小径孔に供給される検出用の圧縮エアによって構成される。上記の第２検出弁４５は、第１検出弁２５と同様に操作ロッド７によって操作される。 As shown in FIG. 5B, the second detection valve 45 of the present embodiment is configured as follows.
The tubular hole 49 formed in the second valve case 47 of the second detection valve 45 has a small diameter hole and a large diameter hole. The large-diameter portion of the second valve member 51 can be inserted into the large-diameter hole so as to be able to advance and retreat in the axial direction of the large-diameter hole, and the small-diameter portion of the second valve member 51 can be inserted into the small-diameter hole. A second communication groove 84 is formed in the outer peripheral wall of the large diameter portion in the axial direction of the second valve member 51. Further, a partition surface 49a is formed on the inner peripheral wall of the small diameter hole, and a closed surface 51a is formed on the outer peripheral wall of the small diameter portion. The second valve member 51 is urged to the right by the compressed air for detection supplied to the small diameter hole. That is, in the present embodiment, the second urging means 53 is composed of the compressed air for detection supplied to the small diameter hole. The second detection valve 45 is operated by the operation rod 7 in the same manner as the first detection valve 25.

図５Ａおよび図５Ｂに示すように、ハウジング１の胴部１ｅから左方へ突設される２つの支持壁１ｆ，１ｆの間に、クランプアーム８７が軸部材８８を中心に揺動可能となるように設けられる。クランプアーム８７の右側面に係止部８９が形成され、その係止部８９が出力ロッド８の左端部８ａに当接可能となっている。クランプアーム８７の左側面に押圧面９０が形成され、その押圧面９０がワーク６０に上方から当接可能となっている。また、クランプアーム８７の下部に受部９１が形成され、バネ室１３内のリリースバネ１５がバネ受け９２と伝達部材９３とを介してクランプアーム８７の受部９１を左方へ付勢している。 As shown in FIGS. 5A and 5B, the clamp arm 87 can swing about the shaft member 88 between the two support walls 1f and 1f projecting to the left from the body portion 1e of the housing 1. It is provided as follows. A locking portion 89 is formed on the right side surface of the clamp arm 87, and the locking portion 89 can be brought into contact with the left end portion 8a of the output rod 8. A pressing surface 90 is formed on the left side surface of the clamp arm 87, and the pressing surface 90 can come into contact with the work 60 from above. Further, a receiving portion 91 is formed in the lower portion of the clamp arm 87, and the release spring 15 in the spring chamber 13 urges the receiving portion 91 of the clamp arm 87 to the left via the spring receiving 92 and the transmission member 93. There is.

図７Ａおよび図７Ｂに示す第３実施形態の第１変形例の検出弁が、上記の第３実施形態の検出弁と異なる点は次の通りである。なお、本実施形態の第２検出弁４５の構造は、第１検出弁２５の構造と同様であり、それらの検出弁の構造を図７Ａおよび図７Ｂに示す第１検出弁２５によって説明する。
上記第１検出弁２５の小径孔の内周壁に第１仕切り面２９ａが形成される。また、第１弁部材３１が有する小径部の外周壁の上半部分に連通溝８５が当該第１弁部材３１の軸方向へ形成されると共に、小径部の外周壁の下半部分に閉じ面３１ａが形成される。大径孔に大径部が上下方向へ移動可能に挿入されると共に、小径孔に小径部が上下方向に案内される。
図７Ａに示すように、第１弁部材３１の第１被操作部３４が操作ロッド７の第１操作部３５に当接されるときに、第１弁部材３１の小径部が筒孔２９に挿入される方向へ移動される。このため、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが筒孔２９の仕切り面２９ａに対面する位置へ移動される。従って、第１検出弁２５が閉弁されて、第１供給路２１の圧縮エアが第１排出路２３へ流出することが防止される。
また、図７Ｂに示すように、第１被操作部３４が第１凹部３６に挿入されるときに、第１弁部材３１の小径部が筒孔２９から抜き出される方向へ移動される。このため、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが筒孔２９の仕切り面２９ａから離間されるように移動される。従って、第１検出弁２５が開弁されて、第１供給路２１の圧縮エアが第１排出路２３へ流出する。 The detection valve of the first modification of the third embodiment shown in FIGS. 7A and 7B is different from the detection valve of the third embodiment as follows. The structure of the second detection valve 45 of the present embodiment is the same as the structure of the first detection valve 25, and the structure of these detection valves will be described with reference to the first detection valve 25 shown in FIGS. 7A and 7B.
The first partition surface 29a is formed on the inner peripheral wall of the small diameter hole of the first detection valve 25. Further, a communication groove 85 is formed in the upper half portion of the outer peripheral wall of the small diameter portion of the first valve member 31 in the axial direction, and a closed surface is formed in the lower half portion of the outer peripheral wall of the small diameter portion. 31a is formed. The large-diameter portion is inserted into the large-diameter hole so as to be movable in the vertical direction, and the small-diameter portion is guided in the small-diameter hole in the vertical direction.
As shown in FIG. 7A, when the first operated portion 34 of the first valve member 31 comes into contact with the first operated portion 35 of the operating rod 7, the small diameter portion of the first valve member 31 enters the cylinder hole 29. Moved in the direction of insertion. Therefore, the closed surface 31a of the first valve member 31 is moved to a position facing the partition surface 29a of the tubular hole 29. Therefore, the first detection valve 25 is closed to prevent the compressed air in the first supply path 21 from flowing out to the first discharge path 23.
Further, as shown in FIG. 7B, when the first operated portion 34 is inserted into the first recess 36, the small diameter portion of the first valve member 31 is moved in the direction of being pulled out from the cylinder hole 29. Therefore, the closing surface 31a of the first valve member 31 is moved so as to be separated from the partition surface 29a of the tubular hole 29. Therefore, the first detection valve 25 is opened, and the compressed air in the first supply path 21 flows out to the first discharge path 23.

図８Ａおよび図８Ｂに示す第３実施形態の第２変形例の検出弁が、上記の第３実施形態の検出弁と異なる点は次の通りである。なお、本実施形態の第２検出弁４５の構造は、第１検出弁２５の構造と同様であり、それらの検出弁の構造を図８Ａおよび８Ｂに示す第１検出弁２５によって説明する。
上記第１検出弁２５の第１弁ケース２７に連通路２８が左右方向に形成され、その連通路２８が筒孔２９の内周面に開口される。その開口部分の下側に第１仕切り面２９ａが形成される。その筒孔２９に第１弁部材３１が上下方向に移動可能に挿入される。その筒孔２９と第１弁部材３１との間に圧縮バネ（付勢手段）３３が装着され、その圧縮バネ３３が第１弁部材３１を操作ロッド７に向けて下方へ付勢している。その第１弁部材３１の外周壁に連通溝８３が形成される。その連通路８３が、第１弁部材３１の外周壁に周方向へ形成された溝と上下方向へ形成された溝とによって構成される。その連通溝８３の上側であって第１弁部材３１の外周壁に閉じ面３１ａが形成される。
図８Ａに示すように、第１弁部材３１の第１被操作部３４が操作ロッド７の第１操作部３５に当接されるときに、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが上記連通路２８の開口部よりも上方へ移動される。このため、第１検出弁２５が開弁されて、第１供給路２１に供給される圧縮エアが連通路２８と連通溝８３とを通って第１排出路２３へ排出される。
また、図８Ｂに示すように、第１被操作部３４が第１凹部３６に挿入されるときに、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが連通路２８の開口部よりも下方へ移動される。このため、第１弁部材３１の閉じ面３１ａが筒孔２９の仕切り面２９ａに対面する。従って、第１検出弁２５が閉弁されて、第１供給路２１の圧縮エアが第１排出路２３へ流出することが防止される。 The detection valve of the second modification of the third embodiment shown in FIGS. 8A and 8B is different from the detection valve of the third embodiment as follows. The structure of the second detection valve 45 of the present embodiment is the same as the structure of the first detection valve 25, and the structure of these detection valves will be described by the first detection valve 25 shown in FIGS. 8A and 8B.
A communication passage 28 is formed in the left-right direction in the first valve case 27 of the first detection valve 25, and the communication passage 28 is opened on the inner peripheral surface of the cylinder hole 29. The first partition surface 29a is formed on the lower side of the opening portion. The first valve member 31 is inserted into the cylinder hole 29 so as to be movable in the vertical direction. A compression spring (urging means) 33 is mounted between the cylinder hole 29 and the first valve member 31, and the compression spring 33 urges the first valve member 31 downward toward the operation rod 7. .. A communication groove 83 is formed on the outer peripheral wall of the first valve member 31. The communication passage 83 is composed of a groove formed in the circumferential direction and a groove formed in the vertical direction on the outer peripheral wall of the first valve member 31. A closed surface 31a is formed on the outer peripheral wall of the first valve member 31 above the communication groove 83.
As shown in FIG. 8A, when the first operated portion 34 of the first valve member 31 comes into contact with the first operating portion 35 of the operating rod 7, the closed surface 31a of the first valve member 31 is in the communication passage. It is moved above the opening of 28. Therefore, the first detection valve 25 is opened, and the compressed air supplied to the first supply passage 21 is discharged to the first discharge passage 23 through the communication passage 28 and the communication groove 83.
Further, as shown in FIG. 8B, when the first operated portion 34 is inserted into the first recess 36, the closed surface 31a of the first valve member 31 is moved below the opening of the communication passage 28. .. Therefore, the closed surface 31a of the first valve member 31 faces the partition surface 29a of the tubular hole 29. Therefore, the first detection valve 25 is closed to prevent the compressed air in the first supply path 21 from flowing out to the first discharge path 23.

上記の各実施形態は次のように変更可能である。
上記の作動室１１,ロック室６７およびリリース室６８に給排される圧力流体は、例示した圧油に代えて、他の液体または圧縮空気等の気体であってもよい。
上記出力部材５は、作動室１１に供給される圧油によってロック駆動されると共にリリースバネ１５によってリリース駆動されるように構成されるのに代えて、ロックバネによってロック駆動されると共に作動室に供給される圧油によってリリース駆動されるように構成されてもよい。
上記の検出弁２５,４５は、ハウジング１の胴部１ｂ，１ｅに２つ設けられることに限られず、１つだけ，または、３つ以上設けるようにしてもよい。
その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。 Each of the above embodiments can be modified as follows.
The pressure fluid supplied to and discharged from the operating chamber 11, the lock chamber 67 and the release chamber 68 may be another liquid or a gas such as compressed air instead of the exemplified pressure oil.
The output member 5 is locked and driven by the lock spring and supplied to the working chamber instead of being locked and driven by the pressure oil supplied to the working chamber 11. It may be configured to be release driven by the pressure oil to be applied.
The above-mentioned detection valves 25, 45 are not limited to being provided on the body portions 1b, 1e of the housing 1, but may be provided alone or in combination of three or more.
Of course, various changes can be made to the extent that a person skilled in the art can imagine.

１：ハウジング，１ｂ：胴部，２：シリンダ孔，５：出力部材，２０: 流路（第１流路），２１：供給路（第１供給路），２３：排出路（第１排出路），２５：検出弁（第１検出弁），２６：弁孔（第１弁孔），２９ａ：仕切り面（第１仕切り面），３０：弁座（第１弁座），３１：弁部材（第１弁部材），３１ａ：閉じ面（第１閉じ面），３３：付勢手段（第１閉弁バネ），４０：流路（第２流路），４１：供給路（第２供給路），４３：排出路（第２排出路），４５：検出弁（第２検出弁），４６：弁孔（第２弁孔），４９ａ：仕切り面（第２仕切り面），５０：弁座（第２弁座），５１：弁部材（第２弁部材），５１ａ：閉じ面（第２閉じ面），５３：付勢手段（第２閉弁バネ），５５：操作部，５６：凹部，５７：異常検出用のカム部． 1: Housing, 1b: Body, 2: Cylinder hole, 5: Output member, 20: Flow path (first flow path), 21: Supply path (first supply path), 23: Discharge path (first discharge path) ), 25: Detection valve (first detection valve), 26: Valve hole (first valve hole), 29a: Partition surface (first partition surface), 30: Valve seat (first valve seat), 31: Valve member (First valve member), 31a: closed surface (first closed surface), 33: urging means (first closed valve spring), 40: flow path (second flow path), 41: supply path (second supply). Road), 43: Discharge path (second discharge path), 45: Detection valve (second detection valve), 46: Valve hole (second valve hole), 49a: Partition surface (second partition surface), 50: Valve Seat (second valve seat), 51: valve member (second valve member), 51a: closed surface (second closed surface), 53: urging means (second valve closing spring), 55: operation unit, 56: Recess, 57: Cam portion for detecting an abnormality.

Claims

An output member (5) that is axially movablely inserted into a cylinder hole (2) formed in the housing (1), and
The flow path (20, 40) formed in the housing (1) so that the pressure fluid for detection is supplied, and
A detection valve (25, 45) for opening and closing the flow path (20, 40) by the output member (5), and a detection valve (25, 45) provided in the flow path (20, 40). Prepare,
The flow path (20, 40) is
A supply path (21, 41) formed in the housing (1) and
A valve hole (26,46) formed in the detection valve (25, 45) so as to communicate with the supply path (21, 41).
A discharge path (23,43) formed between the cylinder hole (2) and the output member (5) so as to communicate with the valve hole (26,46) is provided .
The detection valve (25, 45) is
The partition surface (29a, 49a) formed on the inner peripheral wall of the valve hole (26,46) and
A valve member (31, 51) that is inserted into the valve hole (26, 46) so as to be able to advance and retreat, and is output by the urging means (33, 53) provided in the valve hole (26, 46). The valve member (31, 51) urged toward the member (5) and
A closed surface (31a, 51a) formed on the outer peripheral wall of the valve member (31, 51) is provided.
When the output member (5) moves the valve member (31, 51) to a position where the closed surface (31a, 51a) faces the partition surface (29a, 49a), the detection valve (25, 45) ) Is closed,
When the urging means (33, 53) separates the valve member (31, 51) from the position where the closed surface (31a, 51a) faces the partition surface (29a, 49a), the detection valve ( 25,45) is opened,
A cylinder device with a detection valve.

In the cylinder device with a detection valve according to claim 1,
The operation portion (55) and the recess (56) are formed on the outer peripheral wall of the output member (5) so as to be aligned in the axial direction.
The output member (5) is movable from the release position in the axial direction to the lock side limit position, and the lock position is set at a predetermined position between the release position and the lock side limit position.
When the output member (5) is moved from the release position to just before the lock position, the operation unit (55) operates the valve member (51) to open the detection valve (45). It is kept closed and is kept closed.
When the output member (5) is moved to the locked position, the valve member (51) is inserted into the recess (56) and the detection valve (45) switches from the valve open state to the valve closed state. Or, the valve closed state is switched to the valve open state,
An abnormality detection cam portion (57) formed on the lock side of the recess (56) when the output member (5) is moved from the lock position to the lock side limit position by a predetermined distance. ) Operates the valve member (51) to switch the detection valve (45) from the valve closed state to the valve open state, or from the valve open state to the valve closed state.
A cylinder device with a detection valve.

In the cylinder device with a detection valve according to claim 1 or 2.
A plurality of the detection valves (25) and (45) are provided on the body portion (1b) of the housing (1) at intervals in the circumferential direction.
A cylinder device with a detection valve.