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JP6813042B2 - 発光装置、発光デバイス、光学装置及び情報処理装置 - Google Patents

発光装置、発光デバイス、光学装置及び情報処理装置 Download PDF

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JP6813042B2
JP6813042B2 JP2019034457A JP2019034457A JP6813042B2 JP 6813042 B2 JP6813042 B2 JP 6813042B2 JP 2019034457 A JP2019034457 A JP 2019034457A JP 2019034457 A JP2019034457 A JP 2019034457A JP 6813042 B2 JP6813042 B2 JP 6813042B2
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Description

本発明は、発光装置、発光デバイス、光学装置及び情報処理装置に関する。
特許文献1には、複数の垂直共振器型発光素子が平面上に配列された垂直共振器型発光素子モジュールは、基板上の互いに隣接する垂直共振器型発光素子からのレーザビーム間の領域に配置され、かつ、レーザビームの出射方向側に位置する接合用面とレーザビームが伝搬するビーム空間を臨む外壁とを有する垂直共振器型発光素子レーザモジュールが記載されている。
特開2018−32654号公報
ところで、三次元センシングをToF(Time of Flight)法により行うための光源は、測定精度を向上させるために、大電流のオン/オフをより高速に行う必要がある。このため、短時間に大電流を供給するために電荷を放電するためのキャパシタと光源との間に光源からの光を拡散させる拡散板を支える壁が設けられると、壁が邪魔となって光源とキャパシタとを近接させづらい。このため、光源とキャパシタとの間の配線インダクタンスの低減がしづらく、光源を高速にオン/オフさせる場合の制約となる。
本発明の目的は、拡散板を支える壁を他の部分と同じような壁を光源とキャパシタとの間にも設ける場合に比べて、光源とキャパシタとの間を近接させやすい発光装置などを提供する。
請求項1に記載の発明は、基板と、前記基板上に設けられたキャパシタと、前記基板上に設けられ、前記キャパシタに蓄積された電荷により駆動のための電流が供給される光源と、前記光源が出射する光が透過し、且つ、当該光源の光軸方向に配置された覆い部と、前記キャパシタと前記光源との間を除く前記基板上に設けられ、前記覆い部を支持する支持部と、前記光軸方向において、前記基板の上面と距離を有する下面を有し、前記光源の周囲に配置された梁部であって、前記キャパシタ側に向けて設けられた当該梁部によって当該キャパシタと当該光源との距離が増えないように配置された梁部とを有する発光装置である。
請求項2に記載の発明は、前記基板は、前記キャパシタに加え、当該基板上に前記覆い部で覆われていない回路部材を備えることを特徴とする請求項1に記載の発光装置である。
請求項3に記載の発明は、前記梁部は、前記光源からの光の透過を遮断する部材で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置である。
請求項4に記載の発明は、前記梁部は、前記支持部とひとつの部材として構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置である。
請求項5に記載の発明は、基板と、前記基板上に設けられたキャパシタと、前記基板上に設けられ、前記キャパシタに蓄積された電荷により駆動のための電流が供給される光源と、前記光源が出射する光が透過し、且つ、当該光源の光軸方向に配置された覆い部と、前記基板上に設けられ、前記キャパシタと前記光源との間が他の部分に比べて厚さが薄く構成され、前記覆い部を支持する支持部と、を備える発光装置である。
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれか1項に記載された発光装置と、前記発光装置を収容する筐体と、を備え、前記発光装置の覆い部は、拡散板であって、前記筐体は、前記発光装置が備える光源からの光が前記拡散板で拡散された光を透過させる透過部板を有し、前記発光装置は、当該発光装置の備える光源を駆動する駆動部を含み、当該光源と当該駆動部との間隔は、当該光源と前記透過部板との間隔よりも狭い発光デバイスである。
請求項7に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光装置と、前記発光装置が備える光源から出射され被測定物で反射された反射光を受光する受光部と、を備え、前記受光部は、前記光源から光が出射されてから当該受光部で受光されるまでの時間に相当する信号を出力する光学装置である。
請求項8に記載の発明は、請求項7に記載の光学装置と、前記光学装置が備える光源から出射され被測定物で反射され、当該光学装置が備える受光部が受光した反射光に基づき、当該被測定物の三次元形状を特定する形状特定部と、を備える情報処理装置である。
請求項9に記載の発明は、前記形状特定部での特定結果に基づき、自装置の使用に関する認証処理を行う認証処理部と、を備える請求項8に記載の情報処理装置である。
請求項1に記載の発明によれば、拡散板を支える壁を他の部分と同じような壁を光源とキャパシタとの間にも設ける場合に比べて、光源とキャパシタとの間を近接させやすい。
請求項に記載の発明によれば、回路部材まで覆う場合に比べて、高価な覆い部の面積を小さくできる。
請求項に記載の発明によれば、光の透過を遮断する部材で構成されていない場合に比べて、光強度の大きい光の外部への照射が抑制される。
請求項に記載の発明によれば、一つの部材として構成されていない場合に比べ、組み立て工数が削減される。
請求項に記載の発明によれば、同じ厚さで壁を設ける場合に比べて、配線インダクタンスを低減しつつ、覆い部の支持を強化できる。
請求項に記載の発明によれば、光源と駆動部との間隔が光源と透過部板の間隔よりも広い場合に比べ、光源と駆動部とが近接させられる。
請求項に記載の発明によれば、三次元測定が行える光学装置が提供される。
請求項に記載の発明によれば、三次元形状を測定できる情報処理装置が提供される。
請求項に記載の発明によれば、三次元形状に基づく認証処理を搭載した情報処理装置が提供される。
情報処理装置の一例を示す図である。 情報処理装置の構成を説明するブロック図である。 光源の平面図である。 光源における1個のVCSELの断面構造を説明する図である。 拡散板の一例を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のVB−VB線での断面図である。 ローサイド駆動により光源を駆動する等価回路の一例を示す図である。 第1の実施の形態が適用される発光装置を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のVIIB−VIIB線での断面図である。 比較のために示す発光装置を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のVIIIB−VIIIB線での断面図である。 第1の実施の形態が適用される発光装置の変形例を説明する平面図である。(a)は、変形例1の発光装置、(b)は、変形例2の発光装置である。 第2の実施の形態が適用される発光装置を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のXB−XB線での断面図である。 第3の実施の形態が適用される発光装置の平面図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のXIB−XIB線での断面図である。 第3の実施の形態が適用される発光装置の変形例である発光装置を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のXIIB−XIIB線での断面図である。 第4の実施の形態が適用される発光装置を説明する図である。(a)は、平面図、(b)は、(a)のXIIIB−XIIIB線での断面図である。 発光装置を用いた情報処理装置の断面構造を説明する図である。
以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
情報処理装置は、その情報処理装置にアクセスしたユーザがアクセスすることが許可されているか否かを識別し、アクセスが許可されているユーザであることが認証された場合にのみ、自装置(情報処理装置)の使用を許可するようになっていることが多い。これまで、パスワード、指紋、虹彩などにより、ユーザを認証する方法が用いられてきた。最近では、さらにセキュリティ性の高い認証方法が求められている。この方法として、ユーザの顔の形状など、三次元像による認証が行われるようになっている。
ここでは、情報処理装置は、一例として携帯型情報処理端末であるとして説明し、三次元像として捉えられた顔の形状を認識することで、ユーザを認証するとして説明する。なお、情報処理装置は、携帯型情報端末以外のパーソナルコンピュータ(PC)などの情報処理装置に適用しうる。
さらに、本実施の形態で説明する構成、機能、方法等は、顔の形状の認識以外の三次元形状の認識にも適用しうる。すなわち、顔以外の物体の形状の認識にも適用してもよい。また、被測定物までの距離は問わない。
[第1の実施の形態]
(情報処理装置1)
図1は、情報処理装置1の一例を示す図である。前述したように、情報処理装置1は、一例として携帯型情報処理端末である。
情報処理装置1は、ユーザインターフェイス部(以下では、UI部と表記する。)2と三次元像を取得する光学装置3とを備える。UI部2は、例えばユーザに対して情報を表示する表示デバイスとユーザの操作により情報処理に対する指示が入力される入力デバイスとが一体化されて構成されている。表示デバイスは、例えば液晶ディスプレイや有機ELディスプレイであり、入力デバイスは、例えばタッチパネルである。
光学装置3は、発光装置4と、三次元センサ(以下では、3Dセンサと表記する。)5とを備える。発光装置4は、三次元像を取得するための被測定物、ここで説明する例では顔に向けて光を出射する。3Dセンサ5は、発光装置4が出射した光が顔で反射されて戻ってきた光を取得する。ここでは、光の飛行時間による、いわゆるToF(Time of Flight)法に基づいて、顔の三次元像を取得する。以下では、顔の三次元像を取得する場合であっても、顔を被測定物と表記する。なお、顔以外の三次元像を取得してもよい。三次元像を取得することを、3Dセンシングと表記することがある。
なお、情報処理装置1は、CPU、ROM、RAMなどを含むコンピュータとして構成されている。なお、ROMには、不揮発性の書き換え可能なメモリ、例えばフラッシュメモリを含む。そして、ROMに蓄積されたプログラムや定数が、RAMに展開されて、CPUが実行することによって、情報処理装置1が動作し、各種の情報処理が実行される。
図2は、情報処理装置1の構成を説明するブロック図である。
情報処理装置1は、上記した光学装置3と、光学装置制御部8と、システム制御部9とを備える。光学装置制御部8は、光学装置3を制御する。そして、光学装置制御部8は、形状特定部81を含む。システム制御部9は、情報処理装置1全体をシステムとして制御する。そして、システム制御部9は、認証処理部91を含む。そして、システム制御部9には、UI部2、スピーカ92、二次元カメラ(図2では、2Dカメラと表記する。)93などが接続されている。なお、3Dセンサ5は、受光部の一例、光学装置制御部8が制御部の一例である。
以下、順に説明する。
発光装置4は、基板10と、光源20と、拡散板30と、光量監視用受光素子(図2及び以下では、PDと表記する。)40と、駆動部50と、支持部60と、キャパシタ70A、70Bとを備える。光源20、PD40、駆動部50、キャパシタ70A、70Bは、基板10上に設けられている。そして、拡散板30は、支持部60により基板10から予め定められた距離に保持され、光源20及びPD40を覆うように設けられている。拡散板30は、覆い部の一例である。
なお、基板10上には、上記の他に3Dセンサ5、抵抗素子6、キャパシタ7が搭載されている。抵抗素子6、キャパシタ7は、駆動部50や3Dセンサ5を動作させるために設けられている。なお、抵抗素子6及びキャパシタ7は、それぞれ1個が記載されているが、複数が搭載されていてもよい。また、図1では、3Dセンサ5も、基板10上に設けられているが、3Dセンサ5は、基板10上に設けられていなくてもよい。
発光装置4における光源20は、複数の発光素子が二次元に配列された発光素子アレイとして構成されている。発光素子は、一例として垂直共振器面発光レーザ素子VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)である。以下では、発光素子は垂直共振器面発光レーザ素子VCSELであるとして説明する。垂直共振器面発光レーザ素子VCSELをVCSELと表記する。光源20は、基板10に対して垂直方向に光を出射する。ToF法により三次元センシングを行う場合、光源20は、駆動部50により、例えば、100MHz以上で、且つ、立ち上り時間が1ns以下のパルス光を出射することが求められる。以下、出射のパルス光を出射光パルスと呼ぶ。また、顔認証を例とする場合、光が照射される距離は10cm程度から1m程度である。そして、被測定物の3D形状を測定する範囲は、1m角程度である。以下では、光が照射される距離を測定距離と表記し、被測定物の3D形状を測定する範囲を測定範囲又は照射範囲と表記する。また、測定範囲又は照射範囲に仮想的に設けられる面を照射面と表記する。
発光装置4における基板10、拡散板30、PD40、駆動部50、支持部60、キャパシタ70A、70Bについては後述する。また、光源20の詳細も後述する。
3Dセンサ5は、複数の受光セルを備える。例えば、各受光セルは、光源20からの出射光パルスに対する被測定物からの反射光を受光し、受光されるまでの時間に対応する電荷を受光セル毎に蓄積するように構成されている。以下、受光する反射光を受光パルスと呼ぶ。3Dセンサ5は、各受光セルが2つのゲートとそれらに対応した電荷蓄積部とを備えたCMOS構造のデバイスとして構成されている。そして、2つのゲートに交互にパルスを加えることによって、発生した光電子を2つの電荷蓄積部の何れかに高速に転送する。2つの電荷蓄積部には、出射光パルスと受光パルスとの位相差に応じた電荷が蓄積される。そして、3Dセンサ5は、ADコンバータを介して、受光セル毎に出射光パルスと受光パルスとの位相差に応じたデジタル値を信号として出力する。すなわち、3Dセンサ5は、光源20から光が出射されてから3Dセンサ5で受光されるまでの時間に相当する信号を出力する。なお、ADコンバータは、3Dセンサ5が備えてもよく、3Dセンサ5の外部に設けられてもよい。
光学装置制御部8の形状特定部81は、3Dセンサ5から受光セル毎に得られるデジタル値を取得し、受光セル毎に被測定物までの距離を算出する。そして算出された距離により、被測定物の3D形状を特定する。
システム制御部9の認証処理部91は、形状特定部81が特定した被測定物の3D形状がROMなどに予め蓄積された3D形状である場合に、情報処理装置1の使用に関する認証処理を行う。なお、情報処理装置1の使用に関する認証処理とは、一例として、自装置である情報処理装置1の使用を許可するか否かの処理である。例えば、被測定物である顔の3D形状が、ROM等の記憶部材に記憶された顔形状に一致すると判断される場合には、情報処理装置1が提供する各種アプリケーション等を含む情報処理装置1の使用が許可される。
上記の形状特定部81及び認証処理部91は、一例として、プログラムによって構成される。また、ASICやFPGA等の集積回路で構成されてもよい。さらには、プログラム等のソフトウエアとASIC等の集積回路とで構成されてもよい。
図2では、光学装置3、光学装置制御部8及びシステム制御部9をそれぞれ分けて示したが、システム制御部9が光学装置制御部8を含んでもよい。また、光学装置制御部8が光学装置3に含まれてもよい。さらに、光学装置3、光学装置制御部8及びシステム制御部9が一体に構成されてもよい。
発光装置4を説明する前に、発光装置4を構成する光源20、拡散板30、PD40、駆動部50及びキャパシタ70A、70Bを説明する。
(光源20の構成)
図3は、光源20の平面図である。光源20は、複数のVCSELが二次元のアレイ状に配列されて構成されている。紙面の右方向をx方向、紙面の上方向をy方向とする。x方向及びy方向に反時計回りで直交する方向をz方向とする。
VCSELは、半導体基板200(後述する図4参照)上に積層された下部多層膜反射鏡と上部多層膜反射鏡との間に発光領域となる活性領域を設け、半導体基板と垂直方向にレーザ光を出射させる発光素子である。このことから、二次元のアレイ化が容易である。光源20の備えるVCSELの数は、一例として、100個〜1000個である。なお、複数のVCSELは、互いに並列に接続され、並列に駆動される。なお、上記のVCSELの数は一例であり、測定距離や測定範囲に応じて設定されればよい。
光源20の表面には、複数のVCSELに共通のアノード電極218(後述する図4参照)が設けられている。そして、アノード電極218は、ボンディングワイヤ21A、21Bを介して、基板10上に設けられたアノード配線11A、11Bと接続されている。なお、上側(+y方向側)に設けられた複数のボンディングワイヤをボンディングワイヤ21Aと表記し、下側(−y方向側)に設けられた複数のボンディングワイヤをボンディングワイヤ21Bと表記する。ここでは、ボンディングワイヤ21Aがアノード配線11Aに接続され、ボンディングワイヤ21Bがアノード配線11Bに接続されている。なお、アノード配線11Aにキャパシタ70A(図2参照)が接続され、アノード配線11Bにキャパシタ70B(図2参照)が接続される。
そして、光源20の裏面には、カソード電極214(後述する図4参照)が設けられ、カソード電極214が基板10上に設けられたカソード配線12に、導電性接着剤などにより接着されている。導電性接着剤は、例えば銀ペーストである。
ここでは、光源20の上下方向にアノード配線11A、11Bを設け、ボンディングワイヤ21A、21Bにて、アノード電極218と接続している。これにより、光源20には、上下方向から並行して電流が供給されるようになっている。もし、アノード電極218の上方向又は下方向の一方側にボンディングワイヤを設けて、光源20に電流を供給すると、ボンディングワイヤに近い側のVCSELは、電流密度が高くなり光強度が大きく、ボンディングワイヤに遠い側のVCSELは、電流密度が低くなり光強度が小さくなる。つまり、光源20の複数のVCSELにおいて、出射する光強度に偏りが生じやすい。
これに対して、図3に示したように、光源20の上下方向にアノード配線11A、11Bを設け、ボンディングワイヤ21A、21Bにて、アノード電極218と接続することで、光源20は、上下方向から電流が供給される。よって、光源20を構成する複数のVCSELの出射する光強度の偏りが抑制される。なお、アノード配線11A又はアノード配線11Bの一方のみを用いてもよい。この場合、キャパシタ70A、70Bは一方のみでよい。また、図2では、キャパシタ70A、70Bはそれぞれ1個のキャパシタとして示しているが、キャパシタ70A、70Bのそれぞれが並列に設けられた複数のキャパシタから構成されているとしてもよい。
(VCSELの構造)
図4は、光源20における1個のVCSELの断面構造を説明する図である。このVCSELは、λ共振器構造のVCSELである。紙面の上方向をz方向とする。
VCSELは、n型のGaAsなどの半導体基板200上に、Al組成の異なるAlGaAs層を交互に重ねたn型の下部分布ブラック型反射鏡(DBR:Distributed Bragg Reflector)202と、上部スペーサ層及び下部スペーサ層に挟まれた量子井戸層を含む活性領域206と、Al組成の異なるAlGaAs層を交互に重ねたp型の上部分布ブラック型反射鏡208とが順に積層されて構成されている。以下では、分布ブラック型反射鏡をDBRと表記する。
n型の下部DBR202は、Al0.9Ga0.1As層とGaAs層とをペアとした積層体で、各層の厚さはλ/4n(但し、λは発振波長、nは媒質の屈折率)であり、これらを交互に40周期で積層してある。n型不純物であるシリコンをドーピングした後のキャリア濃度は、例えば、3×1018cm−3である。
活性領域206は、下部スペーサ層と、量子井戸活性層と、上部スペーサ層とが積層されて構成されている。例えば、下部スペーサ層は、アンドープのAl0.6Ga0.4As層であり、量子井戸活性層は、アンドープのInGaAs量子井戸層及びアンドープのGaAs障壁層であり、上部スペーサ層は、アンドープのAl0.6Ga0.4As層である。
p型の上部DBR208は、p型のAl0.9Ga0.1As層とGaAs層とをペアとした積層体で、各層の厚さはλ/4nであり、これらを交互に29周期積層してある。p型不純物であるカーボンをドーピングした後のキャリア濃度は、例えば、3×1018cm−3である。好ましくは、上部DBR208の最上層には、p型GaAsからなるコンタクト層が形成され、上部DBR208の最下層もしくはその内部に、p型AlAsの電流狭窄層210が形成されている。
上部DBR208から下部DBR202に至るまで積層された半導体層をエッチングすることにより、半導体基板200上に円筒状のメサMが形成される。これにより、電流狭窄層210は、メサMの側面に露出する。酸化工程により、電流狭窄層210には、メサMの側面から酸化された酸化領域210Aと酸化領域210Aによって囲まれた導電領域210Bとが形成される。なお、酸化工程において、AlAs層はAlGaAs層よりも酸化速度が速く、酸化領域210Aは、メサMの側面から内部に向けてほぼ一定の速度で酸化されるため、導電領域210Bの半導体基板200と平行な平面形状は、メサMの外形を反映した形状、すなわち円形状となり、その中心は、メサMの軸方向(一点鎖線)とほぼ一致する。なお、本実施の形態において、メサMは、柱状構造となっている。
メサMの最上層には、Ti/Auなどを積層した金属製の環状のp側電極212が形成される。p側電極212は、上部DBR208に設けられたコンタクト層にオーミック接触する。環状のp側電極212の内側は、レーザ光が外部へ出射される光出射口212Aとなる。つまり、VCSELでは、半導体基板200に垂直な方向に光が出射され、メサMの軸方向が光軸になる。さらに、半導体基板200の裏面には、n側電極としてカソード電極214が形成される。なお、p側電極212の内側の上部DBR208の表面が光出射面である。
そして、p側電極212のアノード電極(後述するアノード電極218)が接続される部分及び光出射口212Aを除いて、メサMの表面を覆うように、絶縁層216が設けられる。そして、光出射口212Aを除いて、アノード電極218がp側電極212とオーミック接触するように設けられる。なお、アノード電極218は、複数のVCSELに共通に設けられている。つまり、光源20を構成する複数のVCSELは、各々のp側電極212がアノード電極218により並列接続されている。
なお、VCSELは、単一横モードで発振してもよく、多重横モード(マルチモード)で発振してもよい。一例として、VCSELの1個の光出力は、4mW〜8mWである。
+y方向側の端部に位置するVCSEL群22Aは、後述する図7に示すキャパシタ70A側に位置するVCSELであり、−y方向側の端部に位置するVCSEL群22Bは、後述する図7に示すキャパシタ70B側に位置するVCSELである。
(拡散板30の構成)
図5は、拡散板30の一例を説明する図である。図5(a)は、平面図、図5(b)は、図5(a)のVB−VB線での断面図である。図5(a)において、紙面の右方向をx方向、紙面の上方向をy方向とする。x方向及びy方向に反時計回りで直交する方向をz方向とする。よって、図5(b)において、紙面の右方向がx方向、紙面の上方向がz方向となる。
図5(b)に示すように、拡散板30は、両面が平行で平坦なガラス基材31の一方の表面、ここでは、裏面である−z方向側、に光を拡散させるための凹凸が形成された樹脂層32を備える。拡散板30は、光源20のVCSELから入射する光の拡がり角をさらに拡げて出射する。つまり、拡散板30の樹脂層32に形成された凹凸は、光を屈折させたり、散乱させたりして、入射する光の拡がり角αより出射する光の拡がり角βを大きくする。つまり、図5に示すように、VCSELから出射される光の拡がり角αより、拡散板30を透過して拡散板30から出射される光の拡がり角βが大きくなる(α<β)。このため、拡散板30を用いると、拡散板30を用いない場合に比べ、光源20から出射される光が照射される照射面の面積が拡大される。また、照射面における光密度が低下する。なお、光密度とは、単位面積当たりの放射照度を言い、拡がり角α、βは、半値全幅(FWHM)である。
そして、拡散板30は、例えば、平面形状が四角形であって、x方向の幅W及びy方向の縦幅Wが1mm〜10mm、z方向の厚みtが0.1mm〜1mmである。そして、+y方向側の端部を拡散板30の端部33Aとし、−y方向側の端部を拡散板30の端部33Bとする。後述する図7において説明するように、端部33Aがキャパシタ70A側になり、端部33Bがキャパシタ70B側になる。なお、拡散板30は、平面形状が、多角形や円形など、他の形状であってもよい。そして、以上のような大きさ及び形状であれば、特に、携帯型情報端末の顔認証や、数m程度までの比較的近距離の計測に適した光拡散部材が提供される。
(PD40)
PD40は、受光した光量(以下では、受光量と表記する。)に応じた電気信号を出力する、シリコンなどで構成されたフォトダイオードである。PD40は、光源20から出射され、拡散板30の裏面(後述する図7(b)の−z方向の面)で反射した光が受光されるように配置されている。光源20は、PD40の受光量に基づいて、予め定められた光量を維持して出射するように制御される。つまり、光学装置制御部8は、後述するように、PD40の受光量を監視し、駆動部50を制御して光源20の出射する光量を制御する。
(駆動部50及びキャパシタ70A、70B)
光源20をより高速に駆動させたい場合は、ローサイド駆動するのがよい。ローサイド駆動とは、VCSELなどの駆動対象に対して、電流経路の下流側にMOSトランジスタ等の駆動素子を位置させた構成を言う。逆に、上流側に駆動素子を位置させた構成をハイサイド駆動と言う。
図6は、ローサイド駆動により光源20を駆動する等価回路の一例を示す図である。図6では、光源20のVCSELと、駆動部50と、キャパシタ70A、70Bと、電源82と、PD40と、PD40に流れる電流を検出する検出用抵抗素子41とを示す。なお、キャパシタ70A、70Bは、電源82に対して並列接続されている。
電源82は、図2に示した光学装置制御部8に設けられている。電源82は、+側を電源電位とし、−側を接地電位とする直流電圧を発生する。電源電位は、電源線83に供給され、接地電位は、接地線84に供給される。
光源20は、前述したように複数のVCSELが並列接続されて構成されている。VCSELのアノード電極218(図4参照)が基板10上に設けられたアノード配線11A、11Bを介して電源線83に接続されている。
駆動部50は、nチャネル型のMOSトランジスタ51と、MOSトランジスタ51をオンオフする信号発生回路52とを備える。MOSトランジスタ51のドレインは、基板10上に設けられたカソード配線12を介してVCSELのカソード電極214(図4参照)に接続されている。MOSトランジスタ51のソースは、接地線84に接続されている。そして、MOSトランジスタ51のゲートは、信号発生回路52に接続されている。つまり、光源20のVCSELと駆動部50のMOSトランジスタ51とは、電源線83と接地線84との間に直列接続されている。信号発生回路52は、光学装置制御部8の制御により、MOSトランジスタ51をオンにする「Hレベル」の信号と、MOSトランジスタ51をオフにする「Lレベル」とを発生する。
キャパシタ70A、70Bは、一方の端子が電源線83に接続され、他方の端子が接地線84に接続されている。なお、キャパシタ70A、70Bは、例えば電解コンデンサやセラミックコンデンサなどで構成されている。
PD40は、カソードが電源線83に接続され、アノードが検出用抵抗素子41の一方の端子と接続されている。そして、検出用抵抗素子41の他方の端子が接地線84に接続されている。つまり、PD40と検出用抵抗素子41とは、電源線83と接地線84との間に直列接続されている。そして、PD40と検出用抵抗素子41と接続点である出力端子42は、光学装置制御部8に接続されている。
次に、ローサイド駆動である光源20の駆動方法を説明する。
まず、駆動部50における信号発生回路52の発生する信号が「Lレベル」であるとする。この場合、MOSトランジスタ51は、オフ状態である。つまり、MOSトランジスタ51のソース−ドレイン間には電流が流れない。よって、直列接続されたVCSELには、電流が流れない。VCSELは非発光である。
このとき、キャパシタ70A、70Bが、電源82により充電される。つまり、キャパシタ70A、70Bの一方の端子が電源電位になり、他方の端子が接地電位になる。キャパシタ70A、70Bは、容量と電源電圧(電源電位−接地電位)と時間とで決まる電荷を蓄積する。
次に、駆動部50における信号発生回路52の発生する信号が「Hレベル」になると、MOSトランジスタ51がオフからオンに移行する。すると、キャパシタ70A、70Bに蓄積されていた電荷が直列接続されたMOSトランジスタ51とVCSELとに流れて(放電されて)、VCSELが発光する。
そして、駆動部50における信号発生回路52の発生する信号が「Lレベル」になると、MOSトランジスタ51がオンからオフに移行する。これにより、VCSELの発光が停止する。すると、電源82によりキャパシタ70A、70Bへの電荷の蓄積が再開される。
以上説明したように、信号発生回路52の出力する信号が「Lレベル」と「Hレベル」とに移行する毎に、VCSELの発光の停止である非発光と発光とが繰り返される。つまり、VCSELから光パルスが出射される。
なお、キャパシタ70A、70Bを設けずに、電源82からVCSELに電荷(電流)を直接供給してもよいが、キャパシタ70A、70Bに電荷を蓄積し、蓄積された電荷をMOSトランジスタ51のスイッチングによって放電させて、VCSELに電流を急激に供給することで、VCSELの発光の立ち上り時間を短くしている。さらに、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間隔を短くして、配線のインダクタンスを小さくすることで、光源20を高速にオンオフさせられる。ここでは、図3で説明したように、光源20には、+y方向側からキャパシタ70Aにより電荷が供給され、−y方向側からキャパシタ70Bにより電荷が供給される。なお、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間隔は、1mm以下であるとよい。
PD40は、電源線83と接地線84との間に検出用抵抗素子41を介して逆方向接続されている。このため、光が照射されていない状態では、電流が流れない。PD40がVCSELの出射する光の内、拡散板30で反射された光の一部を受光すると、PD40には、受光量に応じた電流が流れる。よって、PD40に流れる電流が出力端子42の電圧によって測定され、光源20の光強度が検知される。そこで、光学装置制御部8は、PD40の受光量により、光源20の光強度が予め定められた光強度になるように制御する。つまり、光学装置制御部8は、光源20の光強度が予め定められた光強度より小さい場合は、電源82の電源電位を高くすることにより、キャパシタ70A、70Bが蓄積する電荷量を増加させて、VCSELに流れる電流を増加させる。一方、光源20の光強度が予め定められた光強度より多い場合は、電源82の電源電位を低くすることにより、キャパシタ70A、70Bが蓄積する電荷量を減少させて、VCSELに流れる電流を低減させる。このようにして、光源20の光強度が制御される。
また、PD40の受光量が極端に低下した場合には、拡散板30が外れたり、破損したりして、光源20が出射する光が直接外部に照射されているおそれがある。このような場合には、光学装置制御部8によって、光源20の光強度が抑制される。例えば、光源20からの光の出射、つまり被測定物への光の照射が停止される。
なお、基板10は、例えば3層の多層基板として構成される。つまり、基板10は、光源20や駆動部50が搭載される側から第1導電層、第2導電層、第3導電層を備える。なお、第1導電層と第2導電層との間、第2導電層と第3導電層との間には、絶縁層が設けられている。例えば、第3導電層を電源線83、第2導電層を接地線84とする。そして、第1導電層により、光源20のアノード配線11A、11B、カソード配線12や、PD40、検出用抵抗素子41、キャパシタ70A、70Bなどが接続される端子などの回路パタンが形成される。第1導電層、第2導電層、第3導電層は、例えば銅(Cu)、銀(Ag)などの金属又はこれらの金属を含む導電性ペーストなどの導電性材料で構成されている。絶縁層は、例えばエポキシ樹脂、セラミックなどで構成されている。
第3導電層の電源線83は、ビアを介して第1導電層に設けられたアノード配線11A、11B、キャパシタ70A、70Bの電源線83が接続される端子、PD40のカソードが接続される端子などに、ビアを介して接続される。同様に、第2導電層の接地線84は、駆動部50のMOSトランジスタ51のソースが接続される端子、検出用抵抗素子41の接地線84が接続される端子などに、ビアを介して接続される。このように、電源線83を第3導電層で構成し、接地線84を第2導電層で構成することで、電源電位及び接地電位の変動が抑制される。
(発光装置4)
次に、発光装置4について、詳細に説明する。
図7は、第1の実施の形態が適用される発光装置4を説明する図である。図7(a)は、平面図、図7(b)は、図7(a)のVIIB−VIIB線での断面図である。ここで、図7(a)において、紙面の右方向をx方向、紙面の上方向をy方向とする。x方向及びy方向に反時計回りで直交する方向をz方向とする。よって、図7(b)において、紙面の右方向がy方向、紙面の上方向がz方向になる。以下に示す同様の図面においても、同じである。
前述したように、発光装置4は、基板10と、光源20と、拡散板30と、PD40と、駆動部50と、支持部60とを備える。なお、発光装置4の基板10上には、3Dセンサ5、抵抗素子6、キャパシタ7などの回路部材も搭載されている。そして、基板10は、前述したように、アノード配線11A、11B、カソード配線12、光源20、PD40、駆動部50、3Dセンサ5、抵抗素子6、キャパシタ7などを接続する回路パタンを備えている。
発光装置4は、一例として、基板10上の+x方向に、PD40と、光源20と、駆動部50とが順に配置されている。そして、基板10の光源20の±y方向に、光源20を挟み込むようにキャパシタ70A、70Bがそれぞれ設けられている。
拡散板30は、光源20及びPD40を覆うように設けられている。なお、拡散板30は、駆動部50、キャパシタ70A、70B、3Dセンサ5、抵抗素子6、キャパシタ7を覆っていない。つまり、基板10上には、拡散板30が覆わない回路部材が搭載されている。拡散板30は、基板10の一部を覆い、基板10全部を覆っていない。
光源20は、上記した回路パタンなどが形成された基板10上に直接搭載されてもよい。また、光源20は、酸化アルミニウムや窒化アルミ等の放熱用基材で構成された放熱用基板上に設けられ、この放熱用基板が基板10上に搭載されてもよい。また、光源20は、光源20が搭載される部分が凹状になった基板に搭載されてもよい。ここでは、基板10は、回路パタンが構成された回路基板、放熱用基板を備える回路基板、さらに光源20を搭載するために凹状になった基板などを含む。
図7(b)に示すように、拡散板30は、支持部60により、光源20から予め定められた距離に支持されている。支持部60は、壁部61A、61Bを備える。壁部61AがPD40側に設けられ、壁部61Bが駆動部50側に設けられている。壁部61A、61Bは、yz面を構成する。つまり、支持部60は、キャパシタ70Aが配置された側(キャパシタ70A側と表記する。他の場合も同様である。)及びキャパシタ70B側には、壁部が設けられていない。つまり、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間には、壁部が設けられていない。ここでは、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間に壁部が設けられていないことを、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間には、支持部60が設けられていないと表記する。また、壁部61A、61Bをそれぞれ区別しない場合は、壁部又は壁と表記することがある。
そして、図7(a)、(b)で示すように、平面形状が四角形の拡散板30は、二辺が支持部60の壁部61A、61Bで支持されている。支持部60は、例えば、液晶ポリマなどの樹脂材料やセラミックなどで一体成型された一つの部材であって、壁部の厚さが300μm、壁部の高さが450〜550μmである。なお、支持部60は、光源20が出射する光を吸収するように黒色などに構成されている。そして、支持部60を構成する壁部の一方の端面が基板10に接着され、他方の端面が拡散板30に接着されている。
図7(a)、(b)に示すように、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間には、壁部、つまり支持部60が設けられていない。このようにすることで、光源20とキャパシタ70A、70Bとを近づけて配置させられるため、キャパシタ70A、70Bから光源20に発光のための電流を供給する配線が短くなり、配線インダクタンスが小さくなる。よって、光源20を高速にオンオフさせられる。
図7(b)に示すように、PD40は、光源20とともに、拡散板30で覆われている。これにより、PD40は、光源20から出射する光の内、拡散板30で反射した光の一部を受光する。よって、図6で説明したように、PD40によって、光源20が出射する光強度が検知(モニタ)される。
(比較のための発光装置4′)
図8は、比較のために示す発光装置4′を説明する図である。図8(a)は、平面図、図8(b)は、図8(a)のVIIIB−VIIIB線での断面図である。以下では、図7に示した第1の実施の形態が適用される発光装置4と異なる部分を説明する。
図8に示す発光装置4′では、支持部60′は、壁部61A、61Bに加え、壁部62A、62Bを備える。壁部62Aは、光源20とキャパシタ70Aとの間に設けられ、壁部62Bは、光源20とキャパシタ70Bとの間に設けられ、共にxz面を構成する。そして、壁部61A、61B、62A、62Bは、側面で互いに連結されている。つまり、支持部60は、z方向の断面形状が四角形の辺になっている。そして、発光装置4′では、光源20及びPD40が、支持部60の壁部61A、61B、62A、62Bにより取り囲まれている。発光装置4′では、光源20とキャパシタ70Aとの間に存在する壁部62A、光源20とキャパシタ70Bとの間に存在する壁部62Bのために、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間の距離を、壁部62A、62Bの厚さ以上に設定せざるを得ない。前述したように、壁部の厚さが300μmであるとすると、キャパシタ70A、70Bから光源20に発光のための電流を供給する配線は、少なくとも壁部62A、62Bの厚さに対応する300μm長くなる。このため、配線インダクタンスの増加により、光源20を高速にオンオフさせる場合の制約になるおそれがある。
図7(a)、(b)に示した第1の実施の形態が適用される発光装置4は、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間に支持部を備えていない。このため、図7(b)に矢印で示すように、光源20からキャパシタ70A側及びキャパシタ70B側に出射される光は、拡散板30を透過することなく、外部に出射されるおそれがある。特に、図3に破線で囲って示す、光源20の駆動部50側の端部に設けられたVCSEL群22A、22Bから光強度の大きい光が外部に出射されるおそれがある。なお、光強度を発光強度と表記することがある。
そこで、図7(b)に示すように、拡散板30のキャパシタ70A側の端部33Aの位置は、VCSEL群22Aが出射する光強度(発光強度)が50%以上の光が拡散板30に入射するように設定され、拡散板30のキャパシタ70B側の端部33Bの位置は、VCSEL群22Bが出射する光強度(発光強度)が50%以上の光が拡散板30に入射するように設定されるのがよい。このようにすることで、拡散板30によって拡散されないで外部に出射される光強度は、VCSELが出射する光強度(発光強度)の50%未満であるように設定される。このようにすることで、光源20から被測定物に光強度が大きい光が照射されることが抑制される。
さらに、拡散板30のキャパシタ70A側の端部33Aの位置は、VCSEL群22Aが出射する光強度(発光強度)が99.9%以上の光が拡散板30に入射するように設定され、拡散板30のキャパシタ70B側の端部33Bの位置は、VCSEL群22Bが出射する光強度である発光強度が99.9%以上の光が拡散板30に入射するように設定されてもよい。このようにすることで、拡散板30によって拡散されないで外部に出射される光強度は、VCSELが出射する光強度(発光強度)の0.1%未満であるように設定される。このようにすることで、光源20から被測定物に光強度が大きい光が照射されることが抑制される。この場合、VSCELの出射する光の拡がり角が同じである場合、拡散板30の端部33A、33Bを、支持部60の支持壁が設けられていない側、つまりキャパシタ70A、70B側にそれぞれ延伸させればよい。
(発光装置4の変形例)
図7に示した第1の実施の形態が適用される発光装置4の変形例を説明する。
発光装置4では、拡散板30は、光源20とPD40とを覆い、キャパシタ70A、70Bを覆っていなかった。第1の実施の形態が適用される発光装置4の変形例では、拡散板30がキャパシタ70A、70Bの表面の一部を覆う。
図9は、第1の実施の形態が適用される発光装置4の変形例を説明する平面図である。図9(a)は、変形例1の発光装置4−1、図9(b)は、変形例2の発光装置4−2である。なお、図9では、光源20、拡散板30、PD40及び支持部60のみを表記する。また、図7に示した発光装置4と同様の部分は、同じ符号を付して説明を省略する。
図9(a)に示す変形例1の発光装置4−1では、拡散板30は、キャパシタ70A、70B側に張り出して、キャパシタ70A、70Bの一部も覆う。図9(b)に示す変形例2の発光装置4−2では、拡散板30は、キャパシタ70A、70B上に張り出して、キャパシタ70A、70Bまで覆う。つまり、発光装置4に比べて、拡散板30の縦幅Wyが大きくなっている。そして、発光装置4−1、4−2では、拡散板30の張り出しに伴って、支持部60の壁部61A、61Bがキャパシタ70A、70B側に張り出している。
発光装置4−1、4−2では、拡散板30がキャパシタ70A、70B側に張り出すことで、光源20のキャパシタ70A、70B側の端部に設けられたVCSEL群22A、22Bと拡散板30の端部33A、33Bとの間の距離を大きくとれる。これにより、光強度の大きい光が、拡散板30の端部から出射することが抑制されやすくなる。例えば、拡散板30を透過する光を50%以上とする場合には、発光装置4−1とし、拡散板30を透過する光を0.1%以上とする場合には、発光装置4−2とするように使い分けてもよい。
[第2の実施の形態]
第2の実施の形態が適用される発光装置4Aでは、拡散板30のキャパシタ70A、70B側に、拡散板30側からキャパシタ70A、70B側に向けて設けられた梁部を備える。
図10は、第2の実施の形態が適用される発光装置4Aを説明する図である。図10(a)は、平面図、図10(b)は、図10(a)のXB−XB線での断面図である。図7に示した発光装置4と同様の部分は、同じ符号を付して説明を省略する。
図10(a)に示すように、拡散板30は、光源20、PD40を覆う。そして、支持部60Aは、基板10に対して拡散板30の二辺を支持する壁部61A、61Bを備える。そして、発光装置4Aは、拡散板30の残りの二辺側からキャパシタ70A、70B側に向けて設けられた梁部65A、65Bを備える。図10(b)に示すように、梁部65A、65Bの上面(+z方向側の面)は、拡散板30に接着されている。そして、梁部65A、65Bの下面(−z方向側の面)は、基板10の上面(+z方向側の面)と距離を有している。ここでは、梁部65A、65Bの下面は、基板10の表面に対向しているが、キャパシタ70A、70Bの表面に対向するように設けられてもよい。このとき、梁部65A、65Bの下面は、キャパシタ70A、70Bの表面に接触してもよい。
支持部60の壁部61A、61Bと梁部65A、65Bとは、一体成型などにより一つの部材として構成されうる。よって、複数の支持部材で組み立てる場合に比べて、組み立て工数が削減される。なお、梁部65A、65Bと一つの部材として構成された支持部60(壁部61A、61B)を支持部60Aと表記することがある。
梁部65A、65Bが、光吸収材料で構成されれば、光源20のキャパシタ70A、70B側の端部に位置するVCSEL群22A、22Bから光強度の大きい光が拡散板30を透過せずに外部に出射されることが抑制される。つまり、梁部65A、65Bを備えない場合に比べて、拡散板30のキャパシタ70A、70B側への張り出しが少なくて済む。つまり、拡散板30の面積が小さくなる。
また、梁部65A、65Bを設けることで、光源20の周囲へのごみや塵などの異物の侵入が抑制される。
[第3の実施の形態]
第3の実施の形態が適用される発光装置4Bでは、支持部60Bは、光源20、PD40、キャパシタ70A、70Bを取り囲むように設けられている。
図11は、第3の実施の形態が適用される発光装置4Bの平面図である。図11(a)は、平面図、図11(b)は、図11(a)のXIB−XIB線での断面図である。図7に示した発光装置4と同様の部分は、同じ符号を付して説明を省略する。
発光装置4Bでは、光源20、PD40、キャパシタ70A、70Bが拡散板30で覆われている。そして、支持部60Bは、壁部61A、61B、66A、66Bで構成され、拡散板30を四辺で支持するとともに、光源20、PD40、キャパシタ70A、70Bを取り囲むように設けられている。なお、支持部60B(壁部61A、61B、66A、66B)は一体成型などにより一つの部材として構成されている。支持部60Bは、光吸収性材料で構成されている。
この場合、発光装置4Bでは、光源20は、光軸方向側が拡散板30で覆われ、側面側が支持部60で覆われている。支持部60は光吸収性材料で構成されているので、光源20から出射する光が直接外部に漏れることが抑制される。また、支持部60Bは、一つの部材として構成されているので、複数の支持部材で組み立てる場合に比べて、組み立て工数が削減される。
(発光装置4Bの変形例)
第3の実施の形態が適用される発光装置4Bでは、拡散板30は、キャパシタ70A、70Bも覆っていた。一般に、拡散板30は、面積が大きいほど価格が高くなる。そして、拡散板30は、キャパシタ70A、70Bを覆うことを要しない。そこで、発光装置4Bの変形例である発光装置4B−1では、図11に示した発光装置4Bの支持部60Bの上側の一部に光の透過を遮断する遮断部を設けて、拡散板30の面積を小さくした。
図12は、第3の実施の形態が適用される発光装置4Bの変形例である発光装置4B−1を説明する図である。図12(a)は、平面図、図12(b)は、図12(a)のXIIB−XIIB線での断面図である。図11に示した発光装置4Bと同様の部分は、同じ符号を付して説明を省略する。
発光装置4B−1では、光源20の光軸方向側にのみ拡散板30を設け、キャパシタ70A、70Bは拡散板30で覆われることなく、遮断部67A、67Bで覆われる。図12(a)に示すように、発光装置4B−1は、発光装置4Bの支持部60Bと同様に壁部61A、61B、66A、66Bを備える。そして、支持部60B(図11)の上側の開口の一部に遮断部67A、67Bを備える。遮断部67Aは、光源20から拡散板30を透過させて出射させる光を遮断しないように、壁部66A側にあって、キャパシタ70Aを覆うように設けられている。遮断部67Bは、光源20から拡散板30を透過させて出射させる光を遮断しないように、壁部66B側にあって、キャパシタ70Bを覆うように設けられている。
そして、遮断部67A、67Bの表面(+z方向側の面)は、壁部61A、61B、66A、66Bの表面と同一面をなしている。また、遮断部67A、67Bの裏面(−z方向側の面)は、キャパシタ70A、70Bが接触しないようにキャパシタ70A、70Bとの間に空隙が設けられている。そして、支持部60B(壁部61A、61B、66A、66B)及び遮断部67A、67Bは、一体成型などにより一つの部材として構成されている。拡散板30は、壁部61A、61Bの上面と遮断部67A、67Bの表面の端部に張り付けられて固定されている。つまり、拡散板30は、壁部61A、61Bと遮断部67A、67Bとで作られた開口を封止するように設けられている。このように、一つの部材となった支持部60Bと遮断部67A、67Bとを支持部60B−1と表記する。
発光装置4B−1においても、光源20は、光軸方向側が拡散板30で覆われ、側面側が支持部60B−1で覆われている。支持部60B−1は光吸収性材料で構成されているので、光源20から出射する光が直接外部に漏れることが抑制される。また、拡散板30の面積が、発光装置4Bの拡散板30に比べて、小さくなる。よって、光学装置3の価格が抑制される。また、支持部60B−1は、一つの部材として構成されているので、複数の支持部材で組み立てる場合に比べて、組み立て工数が削減される。
[第4の実施の形態]
第1の実施の形態が適用される発光装置4、4−1、4−2、第2の実施の形態が適用される発光装置4A、第3の実施の形態が適用される発光装置4B、4B−1では、光源20とキャパシタ70A、70Bとの間には、壁部、つまり支持部が設けられていなかった。第4の実施の形態が適用される発光装置4Cは、光源20と駆動部50との間に壁部68A、68Bを備える支持部60Cを備える。
図13は、第4の実施の形態が適用される発光装置4Cを説明する図である。図13(a)は、平面図、図13(b)は、図13(a)のXIIIB−XIIIB線での断面図である。図7に示した発光装置4と同様の部分は、同じ符号を付して説明を省略する。
発光装置4Cの支持部60Cは、拡散板30の二辺側に設けられた壁部61A、61Bと、残りの二辺側に壁部68A、68Bを備える。そして、壁部61A、61Bと壁部68A、68Bとでは、厚さが異なっている。つまり、壁部61A、61Bの厚さtに比べ、壁部68A、68Bの厚さtを薄くしている(t>t)。厚い壁部61A、61Bにより、拡散板30が主に支持される。なお、壁部68A、68Bの厚さは、光源20とキャパシタ70A、70Bとを接続する配線のインダクタンスへの影響が受けにくいように、設定すればよい。壁部68A、68Bを設けることにより、拡散板30を通過しないで、光源20から外部へ光が出射されるのが抑制される。また、光源20が支持部60Cと拡散板30とで囲まれるので、光源20の周囲へのごみや塵などの異物の侵入が抑制される。
支持部60C(壁部61A、61B、68A、68B)は、一体成型などにより一つの部材として構成される。よって、複数の支持部材で組み立てる場合に比べて、組み立て工数が削減される。
[第5の実施の形態]
第1の実施の形態が適用される発光装置4、4−1、4−2、第2の実施の形態が適用される発光装置4A、第3の実施の形態が適用される発光装置4B、4B−1、又は第4の実施の形態が適用される発光装置4Cを用いた情報処理装置1の断面構造について説明する。なお、情報処理装置1は、発光デバイスの一例である。
(情報処理装置1の断面構造)
ここでは、情報処理装置1が第1の実施の形態が適用される発光装置4を用いるとして、情報処理装置1の断面構造を説明する。なお、他の発光装置を用いた場合も同様である。
図14は、発光装置4を用いた情報処理装置1の断面構造を説明する図である。図14は、図7(a)のxz面での断面を示している。
情報処理装置1は、光学装置3及び筐体100を備える。前述したように光学装置3は、発光装置4と3Dセンサ5とを備える。つまり、筐体100は、発光装置4を収容する。ここでは、図7に示した発光装置4と同様に、発光装置4が備える基板10上に3Dセンサ5が搭載されているとする。
筐体100は、発光装置4が備える光源20が出射する光を透過する透過部板110と、3Dセンサ5が受光する光を透過する透過部板120とを備える。透過部板110は、光源20が光を出射する領域に対応する部分に設けられ、透過部板120は、3Dセンサ5が光を受光する領域に対応する部分に設けられている。筐体100は、例えばアルミニウム、マグネシウムなどの金属材料や樹脂材料で構成されている。そして、透過部板110、120は、ガラスやアクリルなどの透明材料で構成されている。
基板10は、筐体100に対して基板10を保持する基板保持手段101により保持されている。そして、3Dセンサ5上には、透過部板120を透過した光を3Dセンサ5に集光させるレンズ130が設けられている。レンズ130は、基板10に対してレンズ130を保持するレンズ保持手段131により保持されている。基板保持手段101は、例えば、ねじ等の締結手段や、樹脂等で構成された嵌め込み手段である。
このような情報処理装置1において、発光装置4の光源20と駆動部50との間隔は、光源20と透過部板110との間隔より狭く設定されている。
なお、透過部板120がレンズ130の機能を有していてもよい。
発光装置4の光源20から出射した光は、拡散板30を透過したのち、透過部板110を透過して、被測定物に照射される。
このように、発光装置4(光学装置3)を筐体100に収容することで、拡散板30が破損することが抑制される。つまり、拡散板30が破損することで、光強度の大きい光が直接外部に照射されることが抑制される。
上記の第1の実施の形態から第5の実施の形態では、発光素子が出射する光の拡がり角を大きくする拡散板30を、覆い部の一例として説明した。覆い部は、拡散板30の代わりに、光を透過する部材、例えば、保護用のカバーなどの透明基材、拡がり角を逆に小さくする集光作用を有する集光レンズやマイクロレンズアレイなどの光学部材などでもよい。ここでは、これらの部材で構成されたものを覆い部とする。
1…情報処理装置、2…ユーザインターフェイス(UI)部、3…光学装置、4、4−1、4−2、4′、4A、4B、4C…発光装置、5…3Dセンサ、6…抵抗素子、7、70A、70B…キャパシタ、8…光学装置制御部、9…システム制御部、10…基板、20…光源、21A、21B…ボンディングワイヤ、30…拡散板、40…光量監視用受光素子(PD)、41…検出用抵抗素子、50…駆動部、51…MOSトランジスタ、52…信号発生回路、60、60′、60A、60B、60B−1、60C、…支持部、61A、61B、62A、62B、66A、66B、68A、68B…壁部、65A、65B…梁部、67A、67B…遮断部、81…形状特定部、82…電源、83…電源線、84…接地線、91…認証処理部、100…筐体、101…基板保持手段、110、120…透過部板、130…レンズ、131…レンズ保持手段、200…半導体基板、202…下部DBR、206…活性領域、208…上部DBR、210…電流狭窄層、210A…酸化領域、210B…導電領域、M…メサ、VCSEL…垂直共振器面発光レーザ素子

Claims (9)

  1. 基板と、
    前記基板上に設けられたキャパシタと、
    前記基板上に設けられ、前記キャパシタに蓄積された電荷により駆動のための電流が供給される光源と、
    前記光源が出射する光が透過し、且つ、当該光源の光軸方向に配置された覆い部と、
    前記キャパシタと前記光源との間を除く前記基板上に設けられ、前記覆い部を支持する支持部と、
    前記光軸方向において、前記基板の上面と距離を有する下面を有し、前記光源の周囲に配置された梁部であって、前記キャパシタ側に向けて設けられた当該梁部によって当該キャパシタと当該光源との距離が増えないように配置された梁部とを
    有する発光装置。
  2. 前記基板は、前記キャパシタに加え、当該基板上に前記覆い部で覆われていない回路部材を備えることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記梁部は、前記光源からの光の透過を遮断する部材で構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置。
  4. 前記梁部は、前記支持部とひとつの部材として構成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の発光装置。
  5. 基板と、
    前記基板上に設けられたキャパシタと、
    前記基板上に設けられ、前記キャパシタに蓄積された電荷により駆動のための電流が供給される光源と、
    前記光源が出射する光が透過し、且つ、当該光源の光軸方向に配置された覆い部と、
    前記基板上に設けられ、前記キャパシタと前記光源との間が他の部分に比べて厚さが薄く構成され、前記覆い部を支持する支持部と、
    を備える発光装置。
  6. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載された発光装置と、
    前記発光装置を収容する筐体と、を備え、
    前記発光装置の覆い部は、拡散板であって、
    前記筐体は、前記発光装置が備える光源からの光が前記拡散板で拡散された光を透過させる透過部板を有し、
    前記発光装置は、当該発光装置の備える光源を駆動する駆動部を含み、当該光源と当該駆動部との間隔は、当該光源と前記透過部板との間隔よりも狭い発光デバイス。
  7. 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光装置と、
    前記発光装置が備える光源から出射され被測定物で反射された反射光を受光する受光部と、を備え、
    前記受光部は、前記光源から光が出射されてから当該受光部で受光されるまでの時間に相当する信号を出力する光学装置。
  8. 請求項7に記載の光学装置と、
    前記光学装置が備える光源から出射され被測定物で反射され、当該光学装置が備える受光部が受光した反射光に基づき、当該被測定物の三次元形状を特定する形状特定部と、
    を備える情報処理装置。
  9. 前記形状特定部での特定結果に基づき、自装置の使用に関する認証処理を行う認証処理部と、
    を備える請求項8に記載の情報処理装置。
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