JP6898748B2 - 設備異常分析システム、設備異常分析方法、およびプログラム - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様に係る設備異常分析システムは、設備に関する情報であって前記設備が属するロットを特定する情報を少なくとも含む設備情報が予め記憶された領域、および、入力された前記設備の故障に関する情報である故障情報を記憶する領域を有する記憶部と、前記記憶部から前記設備情報および前記故障情報を取得し、取得した前記設備情報および前記故障情報に基づいて所定の設備における故障率、および、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められるものであって、前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性の判定基準に用いられるモデルを算出する算出部と、算出された前記故障率、および、前記モデルを用いて算出された値を比較することにより前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性を判定する判定部と、が設けられていることを特徴とする。
このようにモデルとして少なくとも1年間の故障情報に基づいてモデルを求めるため、少なくとも1年の間に変動する故障情報を平滑化したモデルが求められる。そのため、故障情報の変動から受ける影響を減らしたロット不良の発生可能性の判定が可能となる。
このように設備に発生した異常を報知する異常情報を記憶部に記憶される故障情報とすることにより、故障情報は設備に発生した異常に基づく情報となる。異常情報は設備の故障の際に最初に報知される情報であり、設備故障により発生した異常の報知と設備故障とは別の原因により発生した異常の報知とが含まれるものである。異常情報から設備故障とは別の原因により発生した異常を除くことなく、異常情報を故障情報とすることにより、設備故障により発生した異常の報知が誤って除かれる可能性を抑制しやすくなる。言い換えると、故障情報から設備の故障に関連する情報が漏れる可能性を抑制しやすくなる。
このように作業員に対して設備の故障の確認を指示する指示情報を記憶部に記憶される故障情報とすることにより、故障情報は設備の故障の確認指示に基づく情報となる。指示情報は、設備の管理者が設備の故障確認の必要性を認めた際に、作業者に故障確認を指示する情報であり、上述の異常情報と比較して設備故障の確率が高いものである。言い換えると、指示情報は、一時的な停電などのように設備の故障とは関係ないと容易に判定できる事象に起因して報知される情報が除かれた情報である。指示情報を故障情報とすることにより、故障情報に設備の故障とは関係ないと容易に判定できる情報が含まれることを抑制しやすくなる。
このように設備の故障確認に関する確認情報を記憶部に記憶される故障情報とすることにより、設備の故障確認に基づく情報となる。確認情報は、設備の故障の確認に係る情報であり、より具体的には、故障を起こした設備を個体識別する情報や、故障の態様や、故障の原因や、故障修理の処理などを含む情報である。言い換えると、確認情報は、設備の故障に関連する情報のみが含まれる情報である。確認情報を故障情報とすることにより、故障情報に設備の故障とは関係ない情報が含まれることを抑制しやすくなる。
このように設備50に発生した異常を報知する異常情報を記憶部に記憶される故障情報とすることにより、故障情報は設備50に発生した異常に基づく情報となる。異常情報は設備50の故障の際に最初に報知される情報であり、設備故障により発生した異常の報知と設備故障とは別の原因により発生した異常の報知とが含まれるものである。異常情報から設備故障とは別の原因により発生した異常を除くことなく、異常情報を故障情報とすることにより、設備故障により発生した異常の報知が誤って除かれる可能性を抑制しやすくなる。言い換えると、故障情報から設備の故障に関連する情報が漏れる可能性を抑制しやすくなる。
Claims (12)
- 設備に関する情報であって前記設備が属するロットを特定する情報を少なくとも含む設備情報が予め記憶された領域、および、入力された前記設備の故障に関する情報である故障情報を記憶する領域を有する記憶部と、
前記記憶部から前記設備情報および前記故障情報を取得し、取得した前記設備情報および前記故障情報に基づいて所定の設備における故障率、および、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められるものであって、前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性の判定に用いられるモデルを算出する算出部と、
算出された前記故障率、および、前記モデルを用いて算出された値を比較することにより前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性を判定する判定部と、
が設けられていることを特徴とする設備異常分析システム。 - 前記モデルは、前記所定の設備に関する少なくとも1年間の前記故障情報に基づいて求められた故障率の平均値であることを特徴とする請求項1記載の設備異常分析システム。
- 前記モデルは、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められた故障率であって、1年を複数に分割した区間に基づいて算出された故障率であることを特徴とする請求項1記載の設備異常分析システム。
- 前記モデルは、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められた故障率であって、前記所定の設備が製造されてから経過した期間を複数に分割した区間に基づいて算出された故障率であることを特徴とする請求項1記載の設備異常分析システム。
- 前記モデルは、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められた故障率であって、前記所定の設備が製造されてから経過した期間を複数に分割した区間であり、かつ、1年を複数に分割した区間に基づいて算出された故障率であることを特徴とする請求項1記載の設備異常分析システム。
- 前記記憶部に記憶される前記故障情報は、前記設備に発生した異常を報知する異常情報であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の設備異常分析システム。
- 前記記憶部に記憶される前記故障情報は、作業員に対して前記設備の故障の確認を指示する情報である指示情報であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の設備異常分析システム。
- 前記記憶部に記憶される前記故障情報は、前記設備の故障確認に関する情報である確認情報であることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の設備異常分析システム。
- 前記判定部は、前記モデルに基づく故障率である判定基準値を算出するとともに前記判定基準値から所定の広がりを有する信頼区間を設け、算出された前記故障率が前記信頼区間を超えるか否かにより、前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性を判定することを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の設備異常分析システム。
- 前記判定部によりロット不良が生じている可能性があると判定された前記所定の設備に関する情報であるロット不良情報を外部に通知する通知部が更に設けられていることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載の設備異常分析システム。
- 記憶部と算出部と判定部とが設けられた設備異常分析システムを用いた設備異常分析方法であって、
前記算出部が、設備に関する情報であって前記設備が属するロットを特定する情報を少なくとも含む設備情報、および、入力された前記設備の故障に関する情報である故障情報を記憶する前記記憶部から前記設備情報および前記故障情報を取得する取得ステップと、
前記算出部が、取得した前記設備情報および前記故障情報に基づいて所定の設備における故障率、および、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められるものであって、前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性の判定に用いられるモデルを算出する算出ステップと、
前記判定部が、算出された前記故障率、および、前記モデルを用いて算出された値を比較することにより前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性を判定する判定ステップと、
を有することを特徴とする設備異常分析方法。 - コンピュータに、
設備に関する情報であって前記設備が属するロットを特定する情報を少なくとも含む設備情報、および、入力された前記設備の故障に関する情報である故障情報を記憶する記憶部から前記設備情報および前記故障情報を取得する取得機能と、
取得した前記設備情報および前記故障情報に基づいて所定の設備における故障率、および、前記所定の設備に関する前記故障情報に基づいて求められるものであって、前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性の判定に用いられるモデルを算出する算出機能と、
算出された前記故障率、および、前記モデルを用いて算出された値を比較することにより前記所定の設備が属するロットにロット不良が生じている可能性を判定する判定機能と、
を実現させることを特徴とするプログラム。
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