JP6895333B2

JP6895333B2 - コイル部品

Info

Publication number: JP6895333B2
Application number: JP2017134361A
Authority: JP
Inventors: 克文佐々木
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2017-07-10
Filing date: 2017-07-10
Publication date: 2021-06-30
Anticipated expiration: 2037-07-10
Also published as: JP2019016726A; CN208045211U; US20190013133A1; US20210057137A1; CN109243760A

Description

従来、コイル部品としては、特開２０１６−２１３３３３号公報（特許文献１）に記載されたものがある。このコイル部品は、第１磁性体と、第１磁性体に積層された絶縁体と、絶縁体に積層された第２磁性体と、絶縁体内に設けられたコイルとを有する。コイルは、第１磁性体、絶縁体および第２磁性体の積層方向に配列された第１コイル導体層および第２コイル導体層を含む。

特開２０１６−２１３３３３号公報

ところで、前記従来のようなコイル部品を製造して使用しようとすると、絶縁体にクラックが発生するおそれがあることがわかった。具体的に述べると、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いに対向する角が繋がるように絶縁体にクラックが発生する。

本願発明者は、この現象を鋭意検討したところ、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いの角の周辺の絶縁体に応力が集中してクラックが発生し、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いの角の距離が近いため、互いの角のクラックが繋がることを見出した。

そこで、本発明の課題は、２層のコイル導体層に繋がるようなクラックが絶縁体に発生することを防ぐことができるコイル部品を提供することにある。

前記課題を解決するため、本発明のコイル部品は、
第１磁性体と、
前記第１磁性体に積層された絶縁体と、
前記絶縁体に積層された第２磁性体と、
前記絶縁体内に設けられ、前記第１磁性体、前記絶縁体および前記第２磁性体の積層方向に配列された第１コイル導体層および第２コイル導体層を含むコイルと
を備え、
前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の形状は多角形であり、前記第１コイル導体層と前記第２コイル導体層の互いに対向する対向部分のうち、一方の対向部分は辺であり、他方の対向部分は角である。

ここで、一方の対向部分の辺は、平面であってもよく、または、曲面であってもよい。他方の対向部分の角は、鋭角であってもよく、または、曲面であってもよい。

本発明のコイル部品によれば、積層方向に沿った断面において、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いに対向する対向部分のうち、一方の対向部分は辺であり、他方の対向部分は角である。このため、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いに対向する対向部分が辺である場合に比べて、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いの角の距離を離すことができる。これにより、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いの角の周辺の絶縁体に応力が集中してクラックが発生しても、互いの角のクラックは繋がりにくくなる。したがって、第１コイル導体層と第２コイル導体層のマイグレーションによる短絡を防ぐことができる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の多角形の角の数は、奇数である。

前記実施形態によれば、第１コイル導体層および第２コイル導体層の多角形の角の数は、奇数であるので、第１コイル導体層および第２コイル導体層の形状を同一とすると、容易に、一方の対向部分を辺とでき、他方の対向部分を角とできる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の多角形の角は、曲面である。

前記実施形態によれば、第１コイル導体層および第２コイル導体層の多角形の角は、曲面であるので、コイル導体層の角の周辺の絶縁体に対する応力集中を低減でき、絶縁体のクラックの発生を防ぐことができる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の前記第２コイル導体層は、該第２コイル導体層に隣接する前記第１コイル導体層と積層方向に重なる。

前記実施形態によれば、積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の第２コイル導体層と第１コイル導体層を積層方向に重なるようにすることで、一方の対抗部分の辺の両端のそれぞれの角から他方の対抗部分の角までの距離をほぼ均等にすることが出来る。これにより、それぞれの距離が異なる場合よりクラックは繋がりにくくなる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の前記第２コイル導体層は、該第２コイル導体層に隣接するふたつの前記第１コイル導体層の間に位置する前記絶縁体と積層方向に重なる。

前記実施形態によれば、積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の第２コイル導体層と、該第２コイル導体層に隣接するふたつの第１コイル導体層の間に位置する絶縁体と、を積層方向と交差する方向に重なるようにすることで、一方の対抗部分の辺の両端のそれぞれの角から他方の対抗部分の角までの距離をほぼ均等にすることが出来る。これにより、それぞれの距離が異なる場合よりクラックは繋がりにくくなる。
さらに、第１コイル導体層と第２コイル導体層の間の容量をより低減できる。その結果、特性インピーダンスの整合や、カットオフの高周波化に寄与できる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層のそれぞれの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＜Ｔを満たす。

前記実施形態によれば、厚みＴを厚くすることによって、幅Ｗを変更しないで、大電流を流せるコイル導体層を形成できる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層のそれぞれの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＞Ｔを満たす。

前記実施形態によれば、厚みＴを薄くすることによって、コイル部品の高さを変更しないで、コイル導体層の層数を増加できる。

また、コイル部品の一実施形態では、前記積層方向に沿った断面において、前記一方の対向部分の辺は、凹部を有する。

前記実施形態によれば、一方の対向部分の辺の凹部において、第１コイル導体層と第２コイル導体層の距離を広げることができ、第１コイル導体層と第２コイル導体層の間の容量をより低減できる。その結果、特性インピーダンスの整合や、カットオフの高周波化に寄与できる。

本発明のコイル部品によれば、２層のコイル導体層に繋がるようなクラックが絶縁体に発生することを防ぐことができる。

本発明の第１実施形態のコイル部品を示す斜視図である。コイル部品の断面図である。コイル部品の分解斜視図である。図２の一部の拡大図である。従来のコイル部品の拡大図である。コイル導体層の他の実施形態を示す断面図である。複数のコイル導体層の模式図である。本発明のコイル部品の第２実施形態を示す断面図である。本発明のコイル部品の第３実施形態を示す断面図である。本発明のコイル部品の第３実施形態を示す断面図である。本発明のコイル部品の第４実施形態を示す断面図である。コイル導体層の模式図である。

以下、本発明を図示の実施の形態により詳細に説明する。

（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態のコイル部品を示す斜視図である。図２は、コイル部品の断面図である。図３は、コイル部品の分解斜視図である。図１と図２と図３に示すように、コイル部品１０は、積層体１と、積層体１内に設けられたコイル２と、積層体１に設けられた第１〜第４外部電極４１〜４４とを有する。

コイル部品１０は、コモンモードチョークコイルである。コイル部品１０は、例えば、パソコン、ＤＶＤプレーヤー、デジカメ、ＴＶ、携帯電話、カーエレクトロニクスなどの電子機器に搭載される。

積層体１は、第１磁性体１１と、第１磁性体１１に積層された絶縁体１３と、絶縁体１３に積層された第２磁性体１２と、絶縁体１３内に設けられた内部磁性体１４とを有する。第１磁性体１１、絶縁体１３および第２磁性体１２の積層方向は、矢印Ｚ方向である。第１磁性体１１は、下側に位置し、第２磁性体１２は、上側に位置する。

第１磁性体１１、内部磁性体１４および第２磁性体１２は、例えば、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトから構成され、高周波のインピーダンス特性を向上できる。絶縁体１３は、例えば、ホウケイ酸ガラスを含むガラスから構成され、誘電率を低くし、コイルの浮遊容量を小さくして、高周波特性を向上できる。絶縁体１３は、複数の絶縁層１３ａを積層して構成される。

内部磁性体１４は、絶縁体１３内でコイル２の内周側に設けられ、第１磁性体１１と第２磁性体１２に接続されている。積層方向に沿った断面において、内部磁性体１４の幅は、第１磁性体１１から第２磁性体１２に向かって、連続的に大きくなる。具体的に述べると、絶縁体１３のコイル２の内周側の部分には、積層方向に貫通する穴１３ｂが設けられている。内部磁性体１４は、穴１３ｂに設けられている。穴１３ｂの内径は、第１磁性体１１から第２磁性体１２に向かって、連続的に大きくなる。

積層体１は、略直方体状に形成されている。積層体１の表面は、第１端面１１１と第２端面１１２と第１側面１１５と第２側面１１６と第３側面１１７と第４側面１１８とを有する。第１端面１１１と第２端面１１２とは、積層方向に互いに反対側に位置する。第１〜第４側面１１５〜１１８は、第１端面１１１と第２端面１１２との間に、位置する。第１端面１１１は、下側に位置し、第２端面１１２は、上側に位置する。

コイル２は、互いに磁気的に結合された１次コイル２ａと２次コイル２ｂを含む。１次コイル２ａと２次コイル２ｂは、絶縁体１３内に設けられ、積層方向に配置されている。

１次コイル２ａは、互いに電気的に接続される第１コイル導体層２１および第３コイル導体層２３を含む。２次コイル２ｂは、互いに電気的に接続される第２コイル導体層２２および第４コイル導体層２４を含む。

第１〜第４コイル導体層２１〜２４は、積層方向に順に配列される。つまり、１次コイル２ａの２つのコイル導体層２１，２３と２次コイル２ｂの２つのコイル導体層２２，２４は、積層方向に交互に配列される。第１〜第４コイル導体層２１〜２４は、それぞれ、異なる絶縁層１３ａ上に設けられる。第１〜第４コイル導体層２１〜２４は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｕ、Ｎｉもしくは各々を主成分とする合金等の導電性材料から構成される。

第１〜第４コイル導体層２１〜２４は、上方からみて、平面上に螺旋状に巻き回されたスパイラルパターンを有する。第１〜第４コイル導体層２１〜２４の中心軸は、上方からみて、一致している。
また、積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の第２コイル導体層は、該第２コイル導体層に隣接する第１コイル導体層と積層方向に重なる。こうすることで、第２コイル導体層の対抗部分の辺の両端のそれぞれの角から第１コイル導体層の対抗部分の角までの距離をほぼ均等にすることが出来る。これにより、それぞれの距離が異なる場合よりクラックは繋がりにくくなる。なお、第３、第４コイル導体層について同様であってもよい。

第１コイル導体層２１の第１端２１ａは、外周に引き出され、第１コイル導体層２１の第２端２１ｂは、内周に位置する。同様に、第２コイル導体層２２は、第１端２２ａと第２端２２ｂとを有し、第３コイル導体層２３は、第１端２３ａと第２端２３ｂとを有し、第４コイル導体層２４は、第１端２４ａと第２端２４ｂとを有する。

第１コイル導体層２１の第１端２１ａは、第２側面１１６の第１側面１１５側から露出する。第２コイル導体層２２の第１端２２ａは、第２側面１１６の第３側面１１７側から露出する。第３コイル導体層２３の第１端２３ａは、第４側面１１８の第１側面１１５側から露出する。第４コイル導体層２４の第１端２４ａは、第４側面１１８の第３側面１１７側から露出する。

第１コイル導体層２１の第２端２１ｂと第３コイル導体層２３の第２端２３ｂとは、絶縁層１３ａを貫通するビア導体を介して、電気的に接続される。同様に、第２コイル導体層２２の第２端２２ｂと第４コイル導体層２４の第２端２４ｂとは、絶縁層１３ａを貫通するビア導体を介して、電気的に接続される。

第１〜第４外部電極４１〜４４は、例えば、Ａｇ、Ａｇ−Ｐｄ、Ｃｕ、Ｎｉ等の導電性材料から構成される。第１〜第４外部電極４１〜４４は、例えば、導電性材料を積層体１の表面に塗布し焼き付けて、形成される。第１〜第４外部電極４１〜４４は、それぞれ、コ字状に形成される。

第１外部電極４１は、第２側面１１６の第１側面１１５側に設けられる。第１外部電極４１の一端部は、第２側面１１６側から折り返されて第１端面１１１に設けられ、第１外部電極４１の他端部は、第２側面１１６側から折り返されて第２端面１１２に設けられる。第１外部電極４１は、第１コイル導体層２１の第１端２１ａに、電気的に接続される。

同様に、第２外部電極４２は、第２側面１１６の第３側面１１７側に設けられ、第２コイル導体層２２の第１端２２ａに電気的に接続される。第３外部電極４３は、第４側面１１８の第１側面１１５側に設けられ、第３コイル導体層２３の第１端２３ａに電気的に接続される。第４外部電極４４は、第４側面１１８の第３側面１１７側に設けられ、第４コイル導体層２４の第１端２４ａに電気的に接続される。

図４は、図２の一部の拡大図である。図４に示すように、積層方向に沿った断面において、第１コイル導体層２１および第２コイル導体層２２の形状は、多角形である。具体的に述べると、第１と第２コイル導体層２１，２２の形状は、第２磁性体１２側（上側）に凸となる三角形である。以下、第１と第２コイル導体層２１，２２について説明するが、第３と第４コイル導体層２３，２４について同様である。

第１コイル導体層２１は、第２コイル導体層２２に積層方向に対向する対向部分２１ｃを含む。第２コイル導体層２２は、第１コイル導体層２１に積層方向に対向する対向部分２２ｃを含む。第１コイル導体層２１の対向部分２１ｃは、角である。この対向部分２１ｃの角は、鋭角である。第２コイル導体層２２の対向部分２２ｃは、辺である。この対向部分２２ｃの辺は、平面である。

したがって、第１コイル導体層２１の対向部分２１ｃは、角であり、第２コイル導体層２２の対向部分２２ｃは、辺であるので、第１コイル導体層と第２コイル導体層の互いに対向する対向部分が辺である場合に比べて、第１コイル導体層２１の角と第２コイル導体層２２の辺の端部に位置する角との距離Ａを離すことができる。これにより、第１コイル導体層２１と第２コイル導体層２２の互いの角の周辺の絶縁体１３に応力が集中してクラックが発生しても、互いの角のクラックは繋がりにくくなる。したがって、第１コイル導体層２１と第２コイル導体層２２のマイグレーションによる短絡を防ぐことができる。

また、第１と第２コイル導体層２１，２２の断面積を大きく損なうことなく、第１と第２コイル導体層２１，２２の互いの角の距離Ａを広げることができ、Ｒｄｃ等の特性に大きな影響を与えることなく特性インピーダンスを任意に変更することができる。

これに対して、特開２０１６−２１３３３３号公報（特許文献１）では、図５に示すように、第１コイル導体層１２１の対向部分１２１ｃと第２コイル導体層１２２の対向部分１２２ｃは、辺である。このため、第１コイル導体層１２１の辺の端部に位置する角と第２コイル導体層１２２の辺の端部に位置する角との距離Ａ０が近くなる。したがって、第１コイル導体層１２１と第２コイル導体層１２２の互いの角の周辺の絶縁体１１３に応力が集中してクラックが発生し、互いの角のクラックが繋がるおそれがある。そして、第１コイル導体層１２１と第２コイル導体層１２２のマイグレーションによる短絡が発生するおそれがある。

仮に、第１コイル導体層１２１と第２コイル導体層１２２の辺が曲面であっても、辺の端部に角があるので、第１コイル導体層１２１と第２コイル導体層１２２の互いの角が近くなり、互いの角のクラックが繋がるおそれがある。

図４に示すように、第１コイル導体層２１および第２コイル導体層２２の多角形の角の数は、奇数である。したがって、第１コイル導体層２１および第２コイル導体層２２の形状を同一とすると、容易に、一方の対向部分２２ｃを辺とでき、他方の対向部分２１ｃを角とできる。

図６に示すように、第１コイル導体層２１の多角形の角は、曲面であってもよい。これにより、第１コイル導体層２１の角の周辺の絶縁体１３に対する応力集中を低減でき、絶縁体１３のクラックの発生を防ぐことができる。また、第１コイル導体層２１の多角形の辺は、曲面であってもよい。なお、第２から第４コイル導体層２２〜２４について同様であってもよい。

図７は、光学顕微鏡による画像をもとにして描いた複数のコイル導体層の模式図である。実際のコイル導体層の形状は、例えば、図７に示すような種々の形状であり、三角形とは、これらの形状を含むものとする。なお、第１から第４コイル導体層２１〜２４の形状は、三角形以外の多角形であってもよく、このとき、辺は、平面であってもよく、または、曲面であってもよく、角は、鋭角であってもよく、または、曲面であってもよい。

次に、コイル部品１０の製造方法について説明する。

図２と図３に示すように、各コイル導体層２１〜２４を設けた複数の絶縁層１３ａを、第１磁性体１１上に順に積層する。これにより、コイル２が内部に設けられた絶縁体１３を第１磁性体１１上に積層する。

その後、絶縁体１３の上方から下方に向かってレーザーを照射して、絶縁体１３を上下に貫通する穴１３ｂを設ける。穴１３ｂは、レーザー以外に機械的な加工により形成するようにしてもよい。

その後、この穴１３ｂに内部磁性体１４を充填し、絶縁体１３上に第２磁性体１２を積層して、積層体１を形成する。そして、積層体１を焼成して、積層体１に外部電極４１〜４４を設け、コイル部品１０を製造する。

（第２実施形態）
図８は、本発明のコイル部品の第２実施形態を示す断面図である。第２実施形態は、第１実施形態とは、コイル導体層の配置が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構成は、第１実施形態と同じ構成であり、第１実施形態と同一の符号を付してその説明を省略する。

図８に示すように、第２実施形態のコイル部品１０Ａでは、前記積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の第２コイル導体層２２と該第２コイル導体層に隣接するふたつの第１コイル導体層２１の間に位置する前記絶縁体とは、積層方向に重なる。このとき、第１コイル導体層２１の第２コイル導体層２２に対向する対向部分２１ｃは、辺であり、第２コイル導体層２２の第１コイル導体層２１に対向する対向部分２２ｃは、角である。

したがって、前記積層方向に沿った断面において、第２コイル導体層２２と、該第２コイル導体層に隣接するふたつの第１コイル導体層２１の間に位置する絶縁体とを、積層方向に重なるようにすることで、第２コイル導体層２２の対抗部分の辺の両端のそれぞれの角からふたつの第１コイル導体層２１の対抗部分の角までの距離をほぼ均等にすることが出来る。これにより、それぞれの距離が異なる場合よりクラックは繋がりにくくなる。
さらに、第１コイル導体層と第２コイル導体層の間の容量をより低減できる。その結果、特性インピーダンスの整合や、カットオフの高周波化に寄与できる。なお、第３と第４コイル導体層２３，２４について同様であってもよく、また、第２と第３コイル導体層２２，２３について同様であってもよい。

（第３実施形態）
図９Ａと図９Ｂは、本発明のコイル部品の第３実施形態を示す断面図である。図９Ａのコイル導体層と図９Ｂのコイル導体層とは、アスペクト比が異なる。

図９Ａに示すように、積層方向に沿った断面において、第１コイル導体層２１Ａの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＜Ｔを満たす。幅Ｗは、積層方向に直交する方向の大きさであり、厚みＴは、積層方向の大きさである。したがって、厚みＴを厚くすることによって、幅Ｗを変更しないで、大電流を流せる第１コイル導体層２１Ａを形成できる。なお、第２から第４コイル導体層について同様であってもよい。

図９Ｂに示すように、積層方向に沿った断面において、第１コイル導体層２１Ｂの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＞Ｔを満たす。したがって、厚みＴを薄くすることによって、コイル部品の高さを変更しないで、コイルを構成するコイル導体層の層数を増加できる。なお、第２から第４コイル導体層について同様であってもよい。

（第４実施形態）
図１０は、本発明のコイル部品の第４実施形態を示す断面図である。図１０に示すように、積層方向に沿った断面において、第２コイル導体層２２Ｃの対向部分２２ｃの辺は、凹部２２ｄを有する。具体的に述べると、第１コイル導体層２１Ｃの下辺と第２コイル導体層２２Ｃの下辺は、凹部を有する。

したがって、第２コイル導体層２２Ｃの対向部分２２ｃの辺の凹部２２ｄにおいて、第１コイル導体層２１Ｃと第２コイル導体層２２Ｃの距離を広げることができ、第１コイル導体層２１Ｃと第２コイル導体層２２Ｃの間の容量をより低減できる。その結果、特性インピーダンスの整合や、カットオフの高周波化に寄与できる。

図１１は、光学顕微鏡による画像をもとにして描いた第２コイル導体層の模式図である。第２コイル導体層２２Ｃの形状は、例えば、図１１に示すような形状となる。第２コイル導体層２２Ｃの対向部分２２ｃの辺は、凹部２２ｄを有する。このとき、対向部分２２ｃは、平面Ｂと２点で接する。なお、第１、第３から第４コイル導体層について同様であってもよい。

（実施例）
次に、第１実施形態の実施例について説明する。

コイル導体層は、レジストを用いためっき形成により、断面形状が略きのこ形状になるように形成する。より具体的には、導電性を有する支持基板を準備し、この基板上に所定のパターンとなる転写領域を除いた部分にレジストを形成し、転写領域にレジストの厚み以上の厚みでめっき電極を形成する。この際、めっき電極はレジストの上面より飛び出しているため、断面が略きのこ状となる。好ましくは、レジストからコイル導体層を剥離しやすくするために、レジストには、高さ方向に下側から上側に向かい開口部が広くなるようにテーパがつけられている。コイル導体層は、主にＡｇからなり、添加物としてＡｌ_２Ｏ_３やＳｉＯ_２などの酸化物を含んでいても良い。

一方、Ｎｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトや、アルカリ硼珪酸ガラス、アルカリ硼珪酸ガラスとＮｉ−Ｃｕ−Ｚｎ系フェライトの複合材料などからなる磁性層および絶縁層を準備する。絶縁層には、コイル間をつなぐビア穴を形成しＡｇを含む導電性材料を充填しておく。

その後、めっき形成したコイル導体層を絶縁層に転写して、コイル導体層を形成したシートを準備する。コイル導体層は、反転転写されることで、上に凸となる略きのこ形状になる。

磁性層を積層したあとに、コイル導体層を転写した所定枚数の絶縁層を磁性層に対して積層する。その後、コイル導体層の内周部よりも内側にレーザーで穴を形成する。穴のテーパ角度を、４５度以上７０度以下にすることで、８０μｍ以上の厚みの絶縁層を貫通する穴を形成しても、下側の磁性層を貫通させないレーザーエネルギーで加工できるようになる。

コイル導体層の内周部とレーザー穴との最短距離が近すぎると、レーザー加工時のエネルギーによりコイル導体層の周辺の絶縁体（絶縁層）に微小なクラックが入るため、１００μｍ以上の距離が好ましい。コイル導体層の内周部以外に、ビア接続用のランド部も同様である。穴形成の手段は、サンドブラスト等の処理でも良い。

その後、この穴に、磁性体ペーストを充填することで、下に凸となる内部磁性体が形成される。そして、磁性層を続けて積層し、積層体を得る。積層体を静水圧プレスなどの工法により圧着し、カットすることでチップ状の積層体を得る。

チップ状の積層体を８７０℃〜９１０℃で焼成することで、絶縁体のガラスが充分に軟化し、表面張力により球形化しようとする。一方、コイル導体層も焼結することで中心方向への引張り応力がかかるため、絶縁体とコイル導体層の応力の関係で、コイル導体層の角が丸くなる。結果的に、コイル導体層の形状は上に凸となる略きのこ形状から角が丸い略三角形となる。レジストから飛び出した電極寸法を小さくすることで、丸い電極を形成することもできる。

焼成温度を８７０℃付近に下げつつ、焼成雰囲気を制御することで、ガラスの軟化による収縮は抑えつつ、内部磁性体の焼結を進ませて収縮が大きい状態を作り出し、ガラス（絶縁体）と内部磁性体の間に隙間を形成することができる。また、内部磁性体への応力を低減できるので、内部磁性体にクラックが発生しにくくなる。内部磁性体および第１、第２磁性体のポア面積率は１５％以下で、ポアの直径は１．５μｍ以下が好ましい。

ポアの直径、ポア面積率の測定は、以下の通りで測定した。
コイル部品の断面（図２参照）における内部磁性体もしくは第１、第２磁性体の部分を鏡面研磨し、集束イオンビーム加工（ＦＩＢ加工）（ＦＩＢ装置：ＦＥＩ製ＦＩＢ２００ＴＥＭ）した。その後、走査電子顕微鏡（ＦＥ-ＳＥＭ：日本電子製ＪＳＭ−７５００ＦＡ）により観察し、ポアの直径、ポア面積率を測定した。これらは画像処理ソフト（三谷商事(株)製ＷＩＮＲＯＯＦＶｅｒ．５．６）を用いて算出した。

尚、集束イオンビーム加工や、ＦＥ−ＳＥＭの観察条件は以下の通りである。
＜集束イオンビーム加工（ＦＩＢ加工）条件＞
鏡面研磨した試料の研磨面に対し、入射角５°でＦＩＢ加工を行った。
＜走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察条件＞
加速電圧：１５ｋＶ
試料傾斜：８５゜
信号：二次電子
コーティング：Ｐｔ
倍率：２０，０００倍

また、画像処理ソフトによるポアの直径、ポア面積率は、以下の方法で求めた。
まず、画像の計測範囲を１５μｍ×１５μｍとした。次にＦＥ−ＳＥＭで得られた画像を２値化処理し、ポアのみを抽出する。個々のポアの面積をそれぞれ計測し、計測したポアのそれぞれが正円と仮定し、そのときの直径を算出し、ポアの直径とした。また、画像処理ソフトの「総面積・個数計測」機能で計測範囲の面積およびポアの面積を算出し、計測範囲の面積当たりのポアの面積の割合（ポア面積率）を求めた。

焼成後のチップをバレルすることにより、バリを取り除く。外部電極を塗布し、焼き付けることで外部電極を形成する。その後、外部電極にＮｉ、Ｃｕ、Ｓｎ等のめっき処理を施す。めっき処理の後、大気中の水分や不純物の影響で、外部電極間の絶縁抵抗が低下することを防ぐために、表面にシランカップリング系の撥水処理剤でコートする。

前記実施例によれば、めっき形成するコイル導体層は、レジストの高さとテーパ、レジストから飛び出しためっき電極の高さを制御することで、焼成後のコイル導体層の断面形状を、角が丸い形状や、角が丸い略三角形にできる。

また、磁性層はフェライト、絶縁層はガラスを用いることで、高周波特性を向上することができる。また、内部磁性体のテーパ角を４５度〜７０度にすることで、太い磁路を形成でき、インピーダンスは高く、インピーダンスばらつきを小さくすることができる。また、焼成プロセスを制御することで、内部磁性体と絶縁体（ガラス）との間に隙間を形成し、内部磁性体への応力を低減することができる。

また、内部磁性体とコイル導体層の内周が接近することで、その間の絶縁体の寸法が小さくなる。強度自体が低下するため、熱ストレスに対してクラックが発生しやすくなる。しかし、内部磁性体とコイル導体層の内周の間の寸法を１００μｍ以上に確保することで、強度を確保できる。

なお、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で設計変更可能である。例えば、前記第１から前記第４実施形態のそれぞれの特徴点を様々に組み合わせてもよい。

前記実施形態では、１次コイルおよび２次コイルは、それぞれ、２つのコイルから構成されているが、１次コイルおよび２次コイルの少なくとも一方を、１つまたは３つ以上のコイルから構成してもよい。

前記実施形態では、コイル部品として、コモンモードチョークコイルを用いているが、単一のコイルを用いてもよい。また、コイルは、４層のコイル導体層を含んでいるが、少なくとも２層のコイル導体層を含んでいればよい。また、全てのコイル導体層の形状は、同一であるが、少なくとも１つのコイル導体層の形状が、他のコイル導体層の形状と異なっていてもよい。また、積層体に、内部磁性体を設けているが、内部磁性体を省略してもよい。

１積層体
２コイル
２ａ１次コイル
２ｂ２次コイル
１０，１０Ａコイル部品
１１第１磁性体
１１ａ凹部
１２第２磁性体
１３絶縁体
１３ａ絶縁層
１３ｂ穴
１４内部磁性体
１４ａ外周面
２１，２１Ａ〜２１Ｃ第１コイル導体層
２１ｃ対向部分
２２，２２Ｃ第２コイル導体層
２２ｃ対向部分
２２ｄ凹部
２３第３コイル導体層
２４第４コイル導体層
４１〜４４第１〜第４外部電極
Ｗ幅
Ｔ厚み

Claims

第１磁性体と、
前記第１磁性体に積層され、ホウケイ酸ガラスを含むガラスから構成された絶縁体と、
前記絶縁体に積層された第２磁性体と、
前記絶縁体内に設けられ、前記第１磁性体、前記絶縁体および前記第２磁性体の積層方向に配列された第１コイル導体層および第２コイル導体層を含むコイルと
を備え、
前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の形状は前記第２磁性体側に凸となる三角形であり、前記第１コイル導体層と前記第２コイル導体層の互いに対向する対向部分のうち、前記第２コイル導体層の対向部分は辺であり、前記第１コイル導体層の対向部分は角であり、
前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の三角形の角は、曲面である、コイル部品。
前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層の三角形の角の数は、奇数である、請求項１に記載のコイル部品。
前記積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の前記第２コイル導体層は、該第２コイル導体層に隣接する前記第１コイル導体層と積層方向に重なる、請求項１または２に記載のコイル部品。
前記積層方向に沿った断面において、少なくとも一部の前記第２コイル導体層は、該第２コイル導体層に隣接するふたつの前記第１コイル導体層の間に位置する前記絶縁体と積層方向に重なる、請求項１または２に記載のコイル部品。
前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層のそれぞれの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＜Ｔを満たす、請求項１から４の何れか一つに記載のコイル部品。
前記積層方向に沿った断面において、前記第１コイル導体層および前記第２コイル導体層のそれぞれの幅Ｗと厚みＴの関係は、Ｗ＞Ｔを満たす、請求項１から４の何れか一つに記載のコイル部品。
前記積層方向に沿った断面において、前記一方の対向部分の辺は、凹部を有する、請求項１から６の何れか一つに記載のコイル部品。